KR20230104707A - 반송차 시스템 - Google Patents

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KR20230104707A
KR20230104707A KR1020237019649A KR20237019649A KR20230104707A KR 20230104707 A KR20230104707 A KR 20230104707A KR 1020237019649 A KR1020237019649 A KR 1020237019649A KR 20237019649 A KR20237019649 A KR 20237019649A KR 20230104707 A KR20230104707 A KR 20230104707A
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마코토 코바야시
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무라다기카이가부시끼가이샤
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Abstract

반송차 시스템(100)은 측정 대상 개소를 측정하는 측정부(80)와, 측정 대상 개소가 형성된 피측정부(90)와, 미리 결정된 설정값에 따라서 승강부(7)를 승강시키는 제어부(8)를 구비한다. 제어부(8)는 파지부(7)에 의해 파지되는 측정부(80) 및 피측정부(90) 중 일방과, 소정 위치에 형성 또는 적재되는 측정부(80) 및 소정 위치에 형성 또는 적재되는 피측정부(90) 중 타방에 의해, 측정부(80)가 피측정부(90)를 측정 가능하게 되도록 승강부(7)를 승강 제어함과 아울러, 측정부(7)가 피측정부(90)를 측정한 결과에 의거해서 설정값을 보정한다.

Description

반송차 시스템
본 발명의 일 측면은 반송차 시스템에 관한 것이다.
천장 등에 부설된 궤도를 주행하는 주행부와, 선반 또는 로드 포트 등의 이재부로 물품을 이재하는 파지부를 갖는 승강부가 설치된 천장 반송차가 알려져 있다. 승강부는 벨트 등의 복수의 매달림 부재에 의해 아래로 매달아 유지되어 있고, 상기 매달림 부재를 권취 내지 조출함으로써 승강된다. 이와 같은 천장 반송차에서는, 승강시에 승강부를 이재부에 대하여 평행(이재부가 수평인 경우에는, 승강부도 수평)하게 유지하는 것이 요구되고 있다.
예를 들면, 특허문헌 1에는 이중 권취된 2개의 매달림 부재(승강 벨트)가 다음층의 권취로 이행하는 타이밍의 어긋남에 기인하는 드럼 1회전당 권취차의 누적이 승강부(짐받이)를 필요한 수평도로 유지할 수 있는 소정값 미만이 되도록, 양 매달림 부재의 드럼에 대한 고정단 위치와, 드럼의 권취면으로부터 연장되는 양 매달림 부재의 권출각이 설정되어 있는 천장 반송차가 개시되어 있다. 이 천장 반송차에 의하면, 2개의 매달림 부재의 권취차를 허용 범위 내로 억제하여, 승강 위치에 상관없이 물품을 수평으로 파지할 수 있다.
일본 특허 공개 평 제10-194410호 공보
그런데, 상기 종래의 방법에 의해 2개의 매달림 부재의 권취차를 허용 범위 내로 억제했다고 해도, 천장 반송차별 특성(즉, 기차(機差))에 의해, 승강시에 승강부의 상태를 적절하게 조정할 수 없을 우려가 있다.
그래서, 본 발명의 일 측면의 목적은 사람의 손을 거치지 않고, 천장 반송차별로 승강부의 상태를 적절하게 조정하는 것이 가능하게 되는 반송차 시스템을 제공하는 것에 있다.
본 발명의 일 측면에 의한 반송차 시스템은 물품을 파지하는 파지부를 갖는 승강부를 복수의 매달림 부재에 의해 승강시키도록 한 천장 반송차를 구비하는 반송차 시스템으로서, 측정 대상 개소를 측정하는 측정부와, 측정 대상 개소가 형성된 피측정부와, 미리 결정된 설정값에 따라서 승강부를 승강시키는 제어부를 구비하고, 제어부는 파지부에 의해 파지되는 측정부 및 피측정부 중 일방과, 소정 위치에 형성 또는 적재되는 측정부 및 소정 위치에 형성 또는 적재되는 피측정부 중 타방에 의해, 측정부가 피측정부를 측정 가능하게 되도록 승강부를 승강 제어함과 아울러, 측정부가 피측정부를 측정한 결과에 의거해서 설정값을 보정한다.
천장 반송차에서는, 승강부를 승강할 때에, 미리 결정된 설정값에 의거해서 제어되는 바, 본 발명의 반송차 시스템에서는, 피측정부 및 측정부에 의해 취득된 측정 결과(즉, 이재부에 승강부를 승강시켰을 때의 현재의 승강부의 상태를 나타내고 있다고 생각되는 정보)에 의거해서, 설정값이 적절하게 보정된다. 이것에 의해, 사람의 손을 거치지 않고, 천장 반송차별로 승강부의 상태를 적절하게 조정하는 것이 가능하게 된다.
본 발명의 일 측면에 의한 반송차 시스템에서는, 측정부 및 피측정부 중 일방은 파지부에 파지 가능한 제 1 유닛 부재로서 형성되어 있고, 측정부 및 피측정부 중 타방은 소정 위치에 적재 가능한 제 2 유닛 부재로서 형성되어 있고, 제 1 유닛 부재 및 제 2 유닛 부재 중 일방이 제 1 유닛 부재 및 제 2 유닛 부재 중 타방에 지지된 상태로 소정 위치에 적재되어 있어도 좋다. 이 구성에서는, 측정부 및 피측정부에 의한 자동 측정을 신속하게 실행할 수 있다.
본 발명의 일 측면에 의한 반송차 시스템은 측정부가 피측정부를 측정한 결과를 천장 반송차에 설치되어 있는 제어 장치로 송신하는 통신부를 더 구비하고 있고, 피측정부가 파지부에 의해 파지된 상태로 이용되고, 측정부가 소정 위치에 적재된 상태로 이용되어도 좋다. 이 구성에서는, 천장 반송차의 구성을 크게 변경하지 않고, 측정부 및 피측정부에 의한 자동 측정이 가능하게 된다.
본 발명의 일 측면에 의한 반송차 시스템은 천장 반송차의 주행 영역에 설치되어 있고, 소정 위치가 되는 적재대가 형성된 메인터넌스 가대를 더 구비해도 좋다. 이 구성에서는, 적재부와는 별도로, 측정부 및 피측정부에 의한 자동 측정이 가능하게 되는 위치가 형성되므로, 효율적으로 천장 반송차를 측정할 수 있다.
본 발명의 일 측면에 의한 반송차 시스템에서는, 천장 반송차는 본체부와, 복수의 매달림 부재가 권취 및 조출됨으로써 본체부에 대하여 승강 가능하게 설치되는 승강부와, 천장 반송차의 반송 방향 및 연직 방향의 양방에 직교하는 방향으로 승강부를 이동시키는 슬라이딩부를 갖고, 메인터넌스 가대는 슬라이딩부를 작동시키지 않고 승강부를 하강시킴으로써 물품을 적재 가능한 위치에 설치되는 제 1 적재대와, 제 1 적재대의 연직 방향에 있어서의 상방에 설치됨과 아울러, 제 1 적재대의 연직 방향에 있어서의 상방 영역으로부터 수평 방향으로 퇴피 가능하게 설치되는 제 2 적재대와, 적어도 슬라이딩부를 작동시킴으로써 물품을 적재 가능한 위치에 설치되는 제 3 적재대를 구비하고 있어도 좋다. 이 구성에서는, 천장 반송차의 주행 위치에 대하여 상대적으로 낮은 위치에 설치되는 적재부와, 상대적으로 높은 위치에 설치되는 적재부와, 슬라이딩부를 작동시켜 적재하는 적재부의 각각에 있어서, 천장 반송차별 승강부의 기울기를 적절하게 조정하는 것이 가능하게 된다.
본 발명의 일 측면에 의한 반송차 시스템에서는, 제어부는 천장 반송차를 정기적으로 메인터넌스 가대로 이동시켜, 측정부에 피측정부를 측정시켜도 좋다. 이 구성에서는, 정기적인 설정값의 조정이 가능하게 된다.
본 발명의 일 측면에 의한 반송차 시스템에서는, 설정값은 물품의 적재부별로 설정되어 있고, 측정부 및 피측정부 중 일방이 파지부에 의해 파지된 상태로 이용되고, 측정부 및 피측정부 중 타방은 측정 대상이 되는 적재부에 형성 또는 적재된 상태로 이용되어도 좋다. 이 구성에서는, 적재부별로 최적의 설정값의 조정이 가능하게 된다.
본 발명의 일 측면에 의한 반송차 시스템에서는, 천장 반송차는 복수의 매달림 부재의 권취 및 조출을 행함으로써, 승강부를 승강시키는 권취 드럼과, 권취 드럼으로부터 조출되는 매달림 부재가 감기는 적어도 하나의 안내 롤러와, 권취 드럼 및 안내 롤러를 지지하는 본체부와, 본체부에 대한 안내 롤러의 상대 위치를 이동시킴으로써, 매달림 부재의 승강부에의 접속 부분을 승강 방향으로 이동시키는 적어도 하나의 위치 조정부와, 승강부에 있어서의 기울기에 관한 정보에 의거해서 위치 조정부에 의한 안내 롤러의 이동을 제어하는 제어 장치를 구비하고, 설정값에는 기울기에 관한 정보가 포함되어도 좋다. 이 구성에서는, 간이한 구성으로 승강부의 기울기를 조정할 수 있다.
본 발명의 일 측면에 의하면, 사람의 손을 거치지 않고, 천장 반송차별로 승강부의 상태를 적절하게 조정하는 것이 가능하게 된다.
도 1은 일 실시형태의 천장 반송차의 측면도이다.
도 2는 유지 유닛의 정면도이다.
도 3은 제 1 완충 기구 및 제 2 완충 기구의 사시도이다.
도 4는 승강 구동 유닛의 정면도이다.
도 5는 승강 구동 유닛의 측면도이다.
도 6(A) 및 도 6(B)은 승강 구동 유닛의 동작을 나타내는 정면도이다.
도 7(A) 및 도 7(B)은 승강 구동 유닛의 동작을 나타내는 측면도이다.
도 8은 측정 유닛 및 피측정 유닛의 사시도이다.
도 9는 측정 유닛이 피측정 유닛을 측정할 때의 각 거리 센서의 측정 대상을 나타내는 모식도이다.
도 10(A)∼도 10(C)은 유닛 컨트롤러가 천장 반송차의 상태를 산출하는 방법을 나타내는 모식도이다.
도 11은 반송차 시스템의 기능 구성을 나타내는 블록도이다.
도 12(A)는 메인터넌스 가대를 나타내는 측면도이고, 도 12(B)는 도 12(A)의 B방향으로부터 본 메인터넌스 가대를 나타내는 평면도이다.
도 13(A) 및 도 13(B)은 메인터넌스 가대를 이용해서 천장 반송차의 상태를 취득하는 순서를 설명하는 도면이다.
도 14(A) 및 도 14(B)는 메인터넌스 가대를 이용해서 천장 반송차의 상태를 취득하는 순서를 설명하는 도면이다.
도 15는 메인터넌스 가대를 이용해서 천장 반송차의 상태를 취득하는 순서를 설명하는 도면이다.
이하, 도면을 참조하여, 본 발명의 일 측면의 바람직한 일 실시형태에 대해서 상세하게 설명한다. 또한, 도면의 설명에 있어서, 동일 요소에는 동일 부호를 부여하고, 중복되는 설명을 생략한다.
일 실시형태의 반송차 시스템(100)은 복수의 천장 반송차(1)(도 1 참조)와, 천장 반송차(1)의 주행로를 형성하는 궤도(20)(도 1 참조)와, 에리어 컨트롤러(110)(도 11 참조)와, 측정 유닛(측정부)(80)(도 11 참조)과, 피측정 유닛(피측정부)(90)(도 8 참조)을 구비하고 있다. 복수의 천장 반송차(1) 중 적어도 1대는 수평면에 대한 유지 유닛(승강부)(7)의 기울기를 조정하는 직동 기구(위치 조정부)(67)(도 4 참조)를 구비하고 있다.
도 1에 나타내어지는 바와 같이, 일 실시형태의 천장 반송차(1)는 반도체 디바이스가 제조되는 클린룸의 천장 부근에 부설된 궤도(20)를 따라서 주행한다. 일 실시형태의 천장 반송차(1)는 복수의 반도체 웨이퍼가 수용된 FOUP(Front Opening Unified Pod)(물품)(200)의 반송, 및 반도체 웨이퍼에 각종 처리를 실시하는 처리 장치에 설치된 로드 포트(이재부)(300) 등에 대한 FOUP(200)의 이재를 행한다.
도 1 및 도 11에 나타내어지는 바와 같이, 천장 반송차(1)는 프레임 유닛(2)과, 주행 유닛(3)과, 래터럴 유닛(4)과, 세타 유닛(5)과, 승강 구동 유닛(6)과, 유지 유닛(7)과, 반송차 컨트롤러(제어부)(8)와, 기억부(8A)와, 통신부(9)를 구비하고 있다. 프레임 유닛(2)은 센터 프레임(15)과, 프론트 프레임(16)과, 리어 프레임(17)을 갖고 있다. 프론트 프레임(16)은 센터 프레임(15)에 있어서의 전측(천장 반송차(1)의 주행 방향에 있어서의 전측)의 단부로부터 하측으로 연장되어 있다. 리어 프레임(17)은 센터 프레임(15)에 있어서의 후측(천장 반송차(1)의 주행 방향에 있어서의 후측)의 단부로부터 하측으로 연장되어 있다.
주행 유닛(3)은 센터 프레임(15)의 상측에 배치되어 있다. 주행 유닛(3)은 예를 들면, 궤도(20)를 따라서 부설된 고주파 전류선으로부터 비접촉으로 전력의 공급을 받음으로써, 궤도(20)를 따라서 주행한다. 래터럴 유닛(4)은 센터 프레임(15)의 하측에 배치되어 있다. 래터럴 유닛(4)은 세타 유닛(5), 승강 구동 유닛(6) 및 유지 유닛(7)을 횡방향(천장 반송차(1)의 주행 방향에 있어서의 측방)으로 이동시킨다. 세타 유닛(5)은 래터럴 유닛(4)의 하측에 배치되어 있다. 세타 유닛(5)은 승강 구동 유닛(6) 및 유지 유닛(7)을 수평면 내에 있어서 회동시킨다.
승강 구동 유닛(6)은 세타 유닛(5)의 하측에 배치되어 있다. 승강 구동 유닛(6)은 유지 유닛(7)을 승강시킨다. 유지 유닛(7)은 승강 구동 유닛(6)의 하측에 배치되어 있다. 유지 유닛(7)은 FOUP(200)의 플랜지(201)를 유지한다.
반송차 컨트롤러(제어 장치)(8)는 센터 프레임(15)에 배치되어 있다. 반송차 컨트롤러(8)는 CPU(Central Processing Unit), ROM(Read only memory) 및 RAM(Random access memory) 등에 의해 구성된 전자 제어 유닛이다. 반송차 컨트롤러(8)는 천장 반송차(1)의 각 부를 제어한다.
이상과 같이 구성된 천장 반송차(1)는 일례로서, 다음과 같이 동작한다. 로드 포트(300)로부터 천장 반송차(1)로 FOUP(200)를 이재하는 경우에는, FOUP(200)를 유지하고 있지 않은 천장 반송차(1)가 로드 포트(300)의 상방의 미리 결정된 위치에 정지한다. 정지 위치에 있어서 하강시키는 유지 유닛(7)의 위치가 로드 포트(300)(로드 포트(300)에 적재된 FOUP(200))에 대한 소정 위치로부터 어긋나는 경우에는, 래터럴 유닛(4) 및 세타 유닛(5)을 구동함으로써, 유지 유닛(7)의 수평 위치 및 수평 각도를 조정한다. 또한, 벨트(매달림 부재)(B)가 조출됨으로써 하강된 유지 유닛(7)이 수평면에 대하여 기울어지는 경우에는, 직동 기구(67)(도 4 참조)를 작동시킴으로써 유지 유닛(7)의 기울기를 조정한다.
반송차 컨트롤러(8)는 기억부(8A)에 기억된 설정값에 의거해서, 유지 유닛(7)의 수평 위치 및 수평 각도, 및 유지 유닛(7)의 기울기의 조정을 실시한다. 계속해서, 승강 구동 유닛(6)이 유지 유닛(7)을 하강시켜, 유지 유닛(7)이 로드 포트(300)에 적재되어 있는 FOUP(200)의 플랜지(201)를 유지한다. 계속해서, 승강 구동 유닛(6)이 유지 유닛(7)을 상승단까지 상승시키고, 프론트 프레임(16)과 리어 프레임(17) 사이에 FOUP(200)를 배치한다. 계속해서, FOUP(200)를 유지한 천장 반송차(1)가 주행을 개시한다.
한편, 천장 반송차(1)로부터 로드 포트(300)로 FOUP(200)를 이재하는 경우에는, FOUP(200)를 유지한 천장 반송차(1)가 로드 포트(300)의 상방의 미리 결정된 위치에 정지한다. 정지 위치에 있어서 하강시키는 유지 유닛(7)(FOUP(200))의 위치가 로드 포트(300)에 대한 소정 위치로부터 어긋나는 경우에는, 래터럴 유닛(4) 및 세타 유닛(5)을 구동함으로써, 유지 유닛의 수평 위치 및 수평 각도를 조정한다. 또한, 벨트(B)가 조출됨으로써 하강된 유지 유닛(7)이 수평면에 대하여 기울어지는 경우에는, 직동 기구(67)(도 4 참조)를 작동시킴으로써 유지 유닛(7)의 기울기를 조정한다.
반송차 컨트롤러(8)는 기억부(8A)에 기억된 설정값에 의거해서, 유지 유닛(7)의 수평 위치 및 수평 각도, 및 유지 유닛(7)의 기울기의 조정을 실시한다. 계속해서, 승강 구동 유닛(6)이 유지 유닛(7)을 하강시켜, 로드 포트(300)에 FOUP(200)를 적재하고, 유지 유닛(7)이 FOUP(200)의 플랜지(201)의 유지를 해방한다. 계속해서, 승강 구동 유닛(6)이 유지 유닛(7)을 상승단까지 상승시킨다. 계속해서, FOUP(200)를 유지하고 있지 않은 천장 반송차(1)가 주행을 개시한다.
이어서, 유지 유닛(7)의 구성에 대해서 상세하게 설명한다. 도 1 및 도 2에 나타내어지는 바와 같이, 유지 유닛(7)은 베이스(11)와, 한쌍의 그리퍼(파지부)(12, 12)와, 하우징(13)을 갖고 있다. 한쌍의 그리퍼(12, 12)는 수평 방향을 따라서 개폐 가능하게 되도록 베이스(11)에 의해 지지되어 있다. 한쌍의 그리퍼(12, 12)는 구동 모터(도시 생략) 및 링크 기구(도시 생략)에 의해 개폐된다. 본 실시형태에서는, 한쌍의 그리퍼(12, 12)가 열림 상태일 때에, 그리퍼(12)의 유지면이 플랜지(201)의 하면의 높이보다 하방이 되도록, 유지 유닛(7)의 높이 위치가 조정된다. 그리고, 이 상태에서 한쌍의 그리퍼(12, 12)가 닫힘 상태가 됨으로써, 그리퍼(12)의 유지면이 플랜지(201)의 하면의 하방으로 진출하고, 이 상태에서 승강 구동 유닛(6)을 상승시킴으로써, 한쌍의 그리퍼(12, 12)에 의해 플랜지(201)가 유지(파지)되어, FOUP(200)가 지지된다. 유지 유닛(7)에 있어서, 베이스(11)는 하우징(13)의 바닥벽을 구성하고 있어, 하우징(13)에 대한 위치가 고정되어 있다.
도 3에 나타내어지는 바와 같이, 본 실시형태의 유지 유닛(7)에는 제 1 완충 기구(50) 및 제 2 완충 기구(40)를 통해서 벨트(B)의 일단이 접속된다. 여기서, 제 1 완충 기구(50) 및 제 2 완충 기구(40)에 대해서 상세하게 설명을 행한다. 제 1 완충 기구(50) 및 제 2 완충 기구(40)는 벨트(B)와 유지 유닛(7)(도 1 참조)을 연결하는 기구이며, 주행 유닛(3)이 주행할 때 또는 유지 유닛(7)이 승강할 때의 진동이 FOUP(200)로 전달되는 것을 억제하는 기구이다.
제 1 완충 기구(50)는 연직 방향 하방으로부터 베이스(11)를 연직 방향으로 이동 가능하게 지지하는 탄성 부재(58)를 갖고, 연직 방향으로부터 본 평면시에 있어서 천장 반송차(1)의 주행 방향에 직교하는 폭방향 중 일방에 배치된다. 본 실시형태에서는, 제 1 완충 기구(50)는 좌우 방향에 있어서 유지 유닛(7)의 우측에 설치되어 있다. 제 1 완충 기구(50)는 접속 부재(51)와, 요동 부재(53)와, 제 1 본체 부재(54)와, 제 2 본체 부재(56)와, 한쌍의 탄성 부재(58, 58)를 갖고 있다. 또한, 본 실시형태에 있어서의 좌우 방향이란 천장 반송차(1)를 주행 방향 전방으로부터 보았을 때의 좌우 방향을 의미한다.
접속 부재(51)는 벨트(B)에 부착되는 부재이다. 요동 부재(53)는 접속 부재(51)에 연결되는 부재이다. 요동 부재(53)는 핀 부재(52)를 통해서 접속 부재(51)에 쌍방향으로 회전 가능하게 연결된다. 제 1 본체 부재(54)는 대략 L자 형상의 부재이며, 그 바닥부는 평탄하게 되도록 형성되어 있다. 제 1 본체 부재(54)는 그 상단이 요동 부재(53)에 접속되어 있다. 제 1 본체 부재(54)는 바닥부가 제 2 본체 부재(56)에 볼트 등에 의해 접속되어 있다. 제 2 본체 부재(56)는 탄성 부재(58)를 하방으로부터 지지함과 아울러, 제 1 본체 부재(54)의 바닥부를 지지한다.
한쌍의 탄성 부재(58, 58)는 소정 스프링 정수를 갖는 코일 스프링이다. 한쌍의 탄성 부재(58, 58)는 제 2 본체 부재(56)에 지지됨과 아울러 베이스(11)를 하방으로부터 지지한다. 탄성 부재(58)의 하단은 제 2 본체 부재(56)에 고정되어 있다. 탄성 부재(58)의 상단은 베이스(11)에 고정되어 있지는 않고, 접촉함으로써 베이스(11)를 지지한다. 즉, 한쌍의 탄성 부재(58, 58)의 각각은 제 2 본체 부재(56)와 베이스(11)의 양방에 접촉한 상태에서 수축된 상태에 있을 때, 제 2 본체 부재(56)와 베이스(11)를 서로 멀어지는 방향으로 바이어싱한다. 탄성 부재(58)는 서로 접촉하는 부재 사이에 전달되는 진동을 저감하는 역할을 갖는다. 또한, 베이스(11)에 고정되어, 제 2 본체 부재(56)에 이접 가능하게 설치되어도 좋다.
제 2 완충 기구(40)는 연직 방향 하방으로부터 베이스(11)를 연직 방향으로 이동 가능하게 지지하는 탄성 부재(48)를 갖고, 연직 방향으로부터 본 평면시에 있어서 천장 반송차(1)의 주행 방향에 직교하는 폭방향의 타방(폭방향에 있어서 제 1 완충 기구(50)와는 반대측)에 배치된다. 본 실시형태에서는, 제 2 완충 기구(40)는 좌우 방향에 있어서 유지 유닛(7)의 좌측에 설치되어 있다. 제 2 완충 기구(40)는 접속 부재(41, 41)와, 요동 부재(43)와, 제 3 본체 부재(45)와, 제 4 본체 부재(46)와, 규제 부재(47)와, 한쌍의 탄성 부재(48, 48)를 갖고 있다.
접속 부재(41, 41)는 벨트(B, B)가 부착되는 부재이다. 요동 부재(43)는 한쌍의 접속 부재(41, 41)와, 제 3 본체 부재(45)를 연결하는 부재이다. 한쌍의 접속 부재(41, 41)와 요동 부재(43)는 쌍방향으로 회전 가능하게 연결되고, 한쌍의 핀 부재(42, 42)를 통해서 연결된다. 요동 부재(43)와 제 3 본체 부재(45)는 쌍방향으로 회전 가능하게 연결되고, 핀 부재(44)를 통해서 연결되어 있다. 제 4 본체 부재(46)는 탄성 부재(48, 48)를 하방으로부터 지지한다.
한쌍의 탄성 부재(48, 48)는 소정 스프링 정수를 갖는 코일 스프링이다. 한쌍의 탄성 부재(48, 48)는 제 4 본체 부재(46)에 지지되어 있음과 아울러 베이스(11)를 하방으로부터 지지한다. 탄성 부재(48)의 하단은 제 4 본체 부재(46)에 고정되어 있다. 규제 부재(47)는 제 4 본체 부재(46)에 대하여 베이스(11)가 소정 거리 이상 떨어지는 것을 규제한다. 보다 상세하게는, 규제 부재(47)는 제 4 본체 부재(46)에 대하여 소정 거리 이상 멀어지려고 하는 베이스(11)의 상면을 록킹한다. 탄성 부재(48)의 상단은 베이스(11)에 고정되어 있지는 않고, 접촉함으로써 베이스(11)를 지지한다. 즉, 한쌍의 탄성 부재(48, 48)의 각각은 제 4 본체 부재(46)와 베이스(11)의 양방에 접촉한 상태에 있을 때, 제 4 본체 부재(46) 및 베이스(11)를 서로 멀어지는 방향으로 바이어싱한다. 탄성 부재(48)는 서로 접촉하는 부재 사이에 전달되는 진동을 저감하는 역할을 갖는다. 또한, 탄성 부재(48)는 베이스(11)에 고정되어, 제 4 본체 부재(46)에 이접 가능하게 설치되어도 좋다.
또한, 도시는 하지 않지만, 유지 유닛(7)은 제 1 완충 기구(50)와 제 2 완충 기구(40)를 연결함과 아울러, 연직 방향에 있어서의 제 1 완충 기구(50)와 베이스(11) 사이의 거리와, 연직 방향에 있어서의 제 2 완충 기구(40)과 베이스(11) 사이의 거리를 서로 근접하도록 동작하는 링크 기구를 구비하고 있어도 좋다.
이어서, 승강 구동 유닛(6)의 구성에 대해서 상세하게 설명한다. 도 4 및 도 5에 나타내어지는 바와 같이, 승강 구동 유닛(6)은 베이스(본체부)(61)와, 지지부(62)와, 4개(복수)의 권취 드럼(63)과, 구동 모터(권취 구동부)(63A)와, 제 1 아이들러 롤러(안내 롤러)(65A)와, 제 2 아이들러 롤러(안내 롤러)(65B)와, 제 3 아이들러 롤러(안내 롤러)(64)와, 직동 기구(위치 조정부)(67)와, 요동 부재(68)와, 4개(복수)의 벨트(B)를 갖고 있다.
베이스(61)는 지지부(62)를 통해서 권취 드럼(63), 제 1 아이들러 롤러(65A) 및 제 3 아이들러 롤러(64)를 지지하고 있다. 지지부(62)는 4개의 권취 드럼(63)을 회전 가능하게 지지한다. 4개의 권취 드럼(63)은 전후 방향으로 배열되어 있고, 구동 모터(63A)에 의한 구동에 의해 4개의 벨트(B)의 각각을 권취 또는 조출한다. 지지부(62)는 제 1 아이들러 롤러(65A) 및 요동 부재(68)의 일단부(68A)를 요동 가능하게 지지하고 있다.
각 권취 드럼(63)은 회전 가능하게 되도록 지지부(62)를 통해서 베이스(61)에 부착되어 있다. 구동 모터(63A)는 각 권취 드럼(63)을 회전시키기 위한 구동원이며, 베이스(61)에 고정되어 있다. 4개의 권취 드럼(63)은 도시하지 않는 공통의 회동축에 부착되거나, 혹은 도시하지 않는 연동 기구로 연결됨으로써, 하나의 구동 모터(63A)에 의해 구동된다.
각 벨트(B)의 일단은 유지 유닛(7)에 접속되어 있고, 각 벨트(B)의 타단은 각 권취 드럼(63)에 접속되어 있다. 본 실시형태에서는, 4개의 벨트(B)는 유지 유닛(7)의 3점을 아래로 매달도록 설치되어 있다. 보다 상세하게는, 유지 유닛(7)은 4개의 벨트(B)에 의해 아래로 매달려 있고, 4개 중 2개의 벨트(B)는 유지 유닛(7)에 대하여 요동 가능하게 설치된 하나의 요동 부재(43)(도 3 참조)에 접속 부재(41)를 통해서 접속되어 있고, 4개 중 나머지의 2개의 벨트의 각각은 유지 유닛(7)에 대하여 요동 가능하게 설치된 요동 부재(53)에 접속 부재(51)를 통해서 접속되어 있다.
제 1 아이들러 롤러(65A) 및 제 2 아이들러 롤러(65B)는 제 1 완충 기구(50)에 접속되는 벨트(B)의 이동을 안내한다. 제 1 완충 기구(50)에 접속되는 벨트(B)는 2개 있고, 제 1 아이들러 롤러(65A) 및 제 2 아이들러 롤러(65B)도 각각의 벨트(B)에 대응해서 설치된다. 제 1 아이들러 롤러(65A)는 지지부(62)에 설치되어 있고, 베이스(61)에 대하여 상대적으로 이동하지 않는다. 제 2 아이들러 롤러(65B)는 후술하는 요동 부재(68)에 설치되어 있고, 베이스(61)에 대하여 상대적으로 이동한다. 또한, 제 2 아이들러 롤러(65B)가 베이스(61)에 대하여 상대적으로 이동하는 구성은 후단에서 설명한다. 제 3 아이들러 롤러(64)는 제 2 완충 기구(40)에 접속되는 벨트(B)의 이동을 안내한다. 제 2 완충 기구(40)에 접속되는 벨트(B)는 2개 있고, 제 3 아이들러 롤러(64)도 각각의 벨트(B)에 대응해서 설치된다.
직동 기구(67)는 주로, 구동 모터(67A)와, 나사축(67B)과, 볼너트(67C)를 갖고 있고, 구동 모터(67A)의 회전 운동을 직선 운동으로 변환하는 공지의 기구이다. 직동 기구(67)는 브래킷(66)을 통해서 베이스(61)에 고정되어 있다. 구동 모터(67A)의 구동에 의해, 나사축(67B)을 따라서 이동하는 볼너트(67C)에는 요동 부재(68)의 타단부(68B)가 요동 가능하게 접속되어 있다. 본 실시형태에서는, 나사축(67B)을 따라서 볼너트(67C)가 이동함으로써 요동 부재(68)가 요동하고, 상기 요동 부재(68)의 요동에 따라 제 2 아이들러 롤러(65B)가 베이스(61)에 대하여 상대적으로 이동한다. 이와 같이, 직동 기구(67)는 벨트(B)의 유지 유닛(7)(제 1 완충 기구(50))에의 접속 부분(벨트(B)의 일단)이 승강 방향으로 이동하도록, 제 2 아이들러 롤러(65B)의 위치를 이동시킨다. 또한, 요동 부재(68)를 직동 기구(67)에 의해 외팔 지지되는 상하로 이동 가능한 부재로 변경하고, 이 부재를 상하로 이동시킴으로써 제 2 아이들러 롤러(65B)의 위치를 직선적으로 이동시키도록 해도 좋다.
예를 들면, 도 6(A)에 나타내어지는 바와 같이, 양방의 직동 기구(67)를 작동시켜, 제 2 아이들러 롤러(65B)를 상방으로(베이스(61)에 근접하도록) 이동시키면, 유지 유닛(7)의 우측을 상방으로 기울일 수 있다. 또한, 예를 들면 도 6(B)에 나타내어지는 바와 같이, 양방의 직동 기구(67)를 작동시켜, 제 2 아이들러 롤러(65B)를 하방으로(베이스(61)로부터 멀어지도록) 이동시키면, 유지 유닛(7)의 우측을 하방으로 기울일 수 있다.
또한, 예를 들면 도 7(A)에 나타내어지는 바와 같이, 2개의 직동 기구(67) 중 일방(전측)의 직동 기구(67)를 작동시켜, 제 2 아이들러 롤러(65B)를 상방으로(베이스(61)에 근접하도록) 이동시키면, 유지 유닛(7)의 전측을 상방으로 기울일 수 있다. 유지 유닛(7)의 전측을 상방으로 기울이고자 하는 경우에는, 2개의 직동 기구(67) 중 타방(후측)의 직동 기구(67)를 작동시켜, 제 2 아이들러 롤러(65B)를 하방으로(베이스(61)로부터 멀어지도록) 이동시켜도 좋다.
또한, 예를 들면 도 7(B)에 나타내어지는 바와 같이, 2개의 직동 기구(67) 중 타방(후측)의 직동 기구(67)를 작동시켜, 제 2 아이들러 롤러(65B)를 상방으로(베이스(61)에 근접하도록) 이동시키면, 유지 유닛(7)의 후측을 상방으로 기울일 수 있다. 유지 유닛(7)의 후측을 상방으로 기울이고자 하는 경우에는, 2개의 직동 기구(67) 중 일방(전측)의 직동 기구(67)를 작동시켜, 제 2 아이들러 롤러(65B)를 하방으로(베이스(61)로부터 멀어지도록) 이동시켜도 좋다.
상술한 바와 같이, 본 실시형태의 천장 반송차(1)는 2개의 직동 기구(67)의 양방 또는 일방을 작동시킴으로써 유지 유닛(7)의 수평면에 대한 기울기를 조정할 수 있다. 또한, 본 실시형태의 천장 반송차(1)에서는, 천장 반송차(1)의 상태(승강부에 있어서의 기울기에 관한 정보)에 의거해서, 직동 기구(67)의 동작이 제어된다. 천장 반송차(1)의 상태는 예를 들면, 센터 프레임(15)에 설치된 기억부(8A)에 기억되어 있다. 또한, 천장 반송차(1)의 상태는 티칭시에 취득되는 천장 반송차(1)의 상태와, 측정 유닛(80) 및 피측정 유닛(90)에 의해 취득되는 천장 반송차(1)의 상태가 포함된다.
여기서, 천장 반송차(1)의 각각은 반송차 시스템(100)을 가동시키기 전에 티칭이 실시된다. 티칭이란 천장 반송차(1)가 로드 포트(300)에 있어서 FOUP(200)의 이재를 행하기 위해서, 천장 반송차(1)가 궤도(20)의 미리 결정된 소정 위치에 정지함과 아울러 유지 유닛(7)이 소정 거리 하강한 상태에서, 유지 유닛(7)의 위치(더 상세하게는, 그리퍼(12)의 위치)가 목표 위치로부터 얼마나 어긋나는지를 지득하기 위해서 천장 반송차(1)의 상태를 취득하고, 이 천장 반송차(1)의 상태에 의거해서, 반송차 시스템(100)의 가동시에 목표 위치로부터의 어긋남이 허용 범위에 들어가도록, 천장 반송차(1)에 실시해야 할 동작을 기억시키는 것을 말한다. 천장 반송차(1)의 상태의 예는 로드 포트(300)의 기준 위치를 원점으로 한 경우의 그리퍼(12)의 실제 위치(X좌표, Y좌표, Z좌표), 각도(θ), 각도(αx) 및 각도(αy) 등의 정보이다.
측정 유닛(80) 및 피측정 유닛(90)에 대해서 상세하게 설명한다. 도 8 및 도 9에 나타내어지는 바와 같이, 측정 유닛(80) 및 피측정 유닛(90)은 천장 반송차(1)의 상태를 사람의 손을 거치지 않고 취득하기 위한 유닛이다. 도 8은 측정 유닛(80) 및 피측정 유닛(90)의 사시도이고, 도 9는 측정 유닛(80)이 피측정 유닛(90)을 측정할 때의 각 거리 센서(83X1, 83Y1, 83Y2, 83Z1, 83Z2, 83Z3)의 측정 대상을 나타내는 모식도이다. 도 8 및 도 9에 나타내어지는 실선 화살표 및 파선 화살표는 각 거리 센서(83X1, 83Y1, 83Y2, 83Z1, 83Z2, 83Z3)에 있어서의 레이저의 출력 방향을 나타내고 있다.
본 실시형태의 반송차 시스템(100)에서는, 천장 반송차(1)의 상태를 취득할 때에, 천장 반송차(1)에 피측정 유닛(90)이 탑재되고, 로드 포트(300)에 측정 유닛(80)이 탑재된다. 즉, 피측정 유닛(제 1 유닛 부재)(90)은 한쌍의 그리퍼(12, 12)에 의해 파지되어 이용되고, 측정 유닛(제 2 유닛 부재)(80)은 로드 포트(300)에 적재되어 이용된다. 천장 반송차(1)는 궤도(20)의 소정 위치에 정지하고, 유지 유닛(7)이 소정 거리 하강되어, 피측정 유닛(90)이 로드 포트(300)의 상방에 있어서 측정 유닛(80)으로부터 이간한 상태에서, 천장 반송차(1)의 상태가 취득된다.
측정 유닛(80)은 본체부(81)와, 유닛 컨트롤러(82)(도 11 참조)와, 복수의 거리 센서(83X1, 83Y1, 83Y2, 83Z1, 83Z2, 83Z3)와, 부착부(84)와, 지지부(85)와, 가이드부(86)를 구비하고 있다. 본체부(81)는 유닛 컨트롤러(82), 부착부(84) 및 가이드부(86)를 지지하는 평판 형상의 부재이다. 유닛 컨트롤러(82)는 본체부(81)에 지지된 상태로 설치되어 있고, 측정 유닛(80)에 있어서의 전기적인 각종 처리를 행한다.
각 거리 센서(83X1, 83Y1, 83Y2, 83Z1, 83Z2, 83Z3)는 예를 들면 레이저식의 거리 센서이며, 부착부(84)에 부착되어 있다. 거리 센서(83X1)는 X축 방향을 따라서 본체부(81)의 내방을 향해서 레이저광을 출사함으로써, 대상물과의 거리를 측정한다. 거리 센서(83Y1, 83Y2)는 Y축 방향을 따라서 본체부(81)의 내방을 향해서 레이저광을 출사함으로써, 대상물과의 거리를 측정한다. 거리 센서(83Z1, 83Z2, 83Z3)는 Z축 방향을 따라서 상방을 향해서 레이저광을 출사함으로써, 대상물과의 거리를 측정한다.
부착부(84)는 각 거리 센서(83X1, 83Y1, 83Y2, 83Z1, 83Z2, 83Z3)가 부착되는 부분이며, 본체부(81)에 세워 설치되어 있다. 지지부(85)는 피측정 유닛(90)을 지지하는 부분이며, 본체부(81)에 세워 설치되어 있다. 가이드부(86)는 피측정 유닛(90)을 지지부(85)에 지지시킬 때, 피측정 유닛(90)이 소정 위치에 위치 결정되도록 안내하는 부분이다. 가이드부(86)는 본체부(81)에 세워 설치되어 있다.
피측정 유닛(90)은 플랜지(91)와, 베이스 플레이트(92)와, 복수의 타깃 플레이트(93, 94, 95)와, 다리부(97)를 구비하고 있다. 플랜지(91)는 그리퍼(12)에 의해 파지 가능하게 설치되는 부분이다. 베이스 플레이트(92)는 플랜지(91)에 접속되어 있고, 복수의 타깃 플레이트(93, 94, 95)가 세워 설치된다. 베이스 플레이트(92) 및 복수의 타깃 플레이트(93, 94, 95)는 각 거리 센서(83X1, 83Y1, 83Y2, 83Z1, 83Z2, 83Z3)에 의한 측정 대상면을 형성하는 부분이다.
각 타깃 플레이트(93, 94, 95)는 베이스 플레이트(92)의 소정 위치에 고정되어 있다. 타깃 플레이트(93)에 있어서 거리 센서(83X1)와 대향하는 표면(93a)은 X축 방향에 수직인 면이며, 로드 포트(300)의 기준 위치(로드 포트(300)의 적재면의 중심 위치)와 소정 위치 관계를 갖고 있다. 타깃 플레이트(94)에 있어서 거리 센서(83Y1)와 대향하는 표면(94a), 및 타깃 플레이트(95)에 있어서 거리 센서(83Y2)와 대향하는 표면(95a)은 Y축 방향에 수직인 면이며, 로드 포트(300)의 기준 위치와 소정 위치 관계를 갖고 있다. 다리부(97)는 타깃 플레이트(93, 94, 95)의 하부에 각각 설치되어 있고, 측정 유닛(80)에 의해 피측정 유닛(90)이 지지될 때에, 측정 유닛(80)의 본체부(81)에 접촉한다.
이상에 의해, 측정 유닛(80)의 유닛 컨트롤러(82)는 거리 센서(83X1)에 의한 측정 거리(X1), 거리 센서(83Y1)에 의한 측정 거리(Y1), 거리 센서(83Y2)에 의한 측정 거리(Y2), 거리 센서(83Z1)에 의한 측정 거리(Z1), 거리 센서(83Z2)에 의한 측정 거리(Z2) 및 거리 센서(83Z3)에 의한 측정 거리(Z3)를 취득할 수 있다. 그리고, 유닛 컨트롤러(82)는 취득한 복수의 측정 거리(X1, Y1, Y2, Z1, Z2, Z3)에 의거해서, 로드 포트(300)의 기준 위치를 원점으로 한 경우의 그리퍼(12)의 실제 위치(X좌표, Y좌표, Z좌표), 및 각도(θ), 각도(αx) 및 각도(αy)를 산출할 수 있다.
여기서, 각도(θ)는 도 10(A)에 나타내어지는 바와 같이, 피측정 유닛(90)에 대하여 측정 유닛(80)이 Z축 주위로 회전하고 있는 회전 각도(즉, 로드 포트(300)에 대하여 그리퍼(12)가 Z축 주위로 회전하고 있는 회전 각도)이다. 거리 센서(83Y1)와 거리 센서(83Y2)의 거리를 L1이라고 하면, 각도(θ)는 θ=tan-1[(Y1-Y2)/L1]로 나타내어진다. 또한, 도 10(A)에서는, 거리 센서(83X1, 83Z1, 83Z2, 83Z3) 등의 도시가 생략되어 있다.
또한, 각도(αx)는 도 10(B)에 나타내어지는 바와 같이, 피측정 유닛(90)의 베이스 플레이트(92)의 표면(92a)에 대하여 측정 유닛(80)이 Y축 주위로 기울어져 있는 경사 각도(즉, 로드 포트(300)의 기준면에 대하여 그리퍼(12)가 Y축 주위로 기울어져 있는 경사 각도)이다. 거리 센서(83Z1)와 거리 센서(83Z3)의 거리를 L2라고 하면, 각도(αx)는 αx=tan-1[(Z3-Z1)/L2]로 나타내어진다. 또한, 도 10(B)에서는, 거리 센서(83X1, 83Y1, 83Y2) 및 타깃 플레이트(93, 94, 95) 등의 도시가 생략되어 있다.
또한, 각도(αy)는 도 10(C)에 나타내어지는 바와 같이, 피측정 유닛(90)의 베이스 플레이트(92)의 표면(92a)에 대하여 측정 유닛(80)이 X축 주위로 기울어져 있는 경사 각도(즉, 로드 포트(300)의 기준면에 대하여 그리퍼(12)가 X축 주위로 기울어져 있는 경사 각도)이다. 거리 센서(83Z1)에 의한 측정 거리(Z1)와 거리 센서(83Z3)에 의한 측정 거리(Z3)의 평균값(즉, (Z1+Z3)/2)을 Z13이라고 하고, 거리 센서(83Z1)와 거리 센서(83Z3)를 연결하는 직선과 거리 센서(83Z2)의 거리를 L3이라고 하면, 각도(αy)는 αy=tan-1[(Z2-Z13)/L3]으로 나타내어진다. 또한, 도 10(C)에서는, 거리 센서(83X1, 83Y1, 83Y2) 및 타깃 플레이트(93, 94, 95) 등의 도시가 생략되어 있다.
본 실시형태의 반송차 시스템(100)에서는, 소정 로드 포트(300)에 있어서, 로드 포트(300)의 기준 위치를 원점으로 한 경우의 그리퍼(12)의 실제 위치(X좌표, Y좌표, Z좌표), 및 각도(θ), 각도(αx) 및 각도(αy)(이하, 간단히 「천장 반송차(1)의 상태」라고도 칭한다)를 취득하는 대신에, 도 12(A) 및 도 12(B)에 나타내어지는 메인터넌스 가대(150)에 설치된 제 1 적재대(151), 제 2 적재대(152) 및 한쌍의 제 3 적재대(153, 153)에 적재되는 측정 유닛(80)과, 적어도 하나의 피측정 유닛(90)을 이용해서 천장 반송차(1)의 상태를 취득한다.
이어서, 메인터넌스 가대(150)에 대해서 상세하게 설명한다. 도 12(A)에 나타내어지는 바와 같이, 메인터넌스 가대(150)는 궤도(20)를 따른 소정 위치에 설치되어 있다. 제 1 적재대(151), 제 2 적재대(152), 및 한쌍의 제 3 적재대(153, 153)는 프레임(154)에 지지되어 있다. 제 1 적재대(151)는 궤도(20)의 하방이며, 제 2 적재대(152)에 대하여 상대적으로 낮은 위치(바꿔 말하면, FOUP(200)를 적재하기 위한 벨트(B)의 조출량이 상대적으로 큰 위치)에 설치되어 있다.
제 2 적재대(152)는 궤도(20)의 하방이며, 제 1 적재대(151)에 대하여 상대적으로 높은 위치(바꿔 말하면, FOUP(200)를 적재하기 위한 벨트(B)의 조출량이 상대적으로 작은 위치)에 설치되어 있다. 제 2 적재대(152)는 연직 방향 상방으로부터 본 평면시에 있어서, 제 1 적재대(151)와 어긋난 위치(본 실시형태에서는, 후방으로 어긋난 위치)에 설치되어 있다. 제 2 적재대(152)는 전후 방향으로 슬라이딩 가능하게 설치되어 있고, 제 1 적재대(151)의 상방의 영역에 위치하는 진출 위치와, 제 1 적재대(151)의 상방의 영역에 위치하지 않는 퇴피 위치 사이에서 이동 가능하게 설치되어 있다. 제 2 적재대(152)를 이용해서 천장 반송차(1)의 상태를 취득하는 경우에는, 제 2 적재대(152)를 진출 위치로 이동시킨다.
한쌍의 제 3 적재대(153, 153)는 상방으로부터 본 평면시에 있어서 궤도(20)를 사이에 두도록 배치되어 있다. 한쌍의 제 3 적재대(153, 153)는 래터럴 유닛(4)을 작동시키지 않으면 FOUP(200)를 이재할 수 없는 위치에 설치되어 있다. 한쌍의 제 3 적재대(153, 153)는 제 2 적재대(152)와는 달리 이동 불가하게 고정되어 있다.
상술한 바와 같이 제 1 적재대(151), 제 2 적재대(152) 및 한쌍의 제 3 적재대(153, 153)를 갖는 메인터넌스 가대(150)에서는, 제 1 적재대(151), 제 2 적재대(152) 및 한쌍의 제 3 적재대(153, 153)별로 천장 반송차(1)의 상태를 취득할 수 있다. 즉, 메인터넌스 가대(150)에서는, 제 1 적재대(151)를 이용해서, 벨트(B)의 조출량이 상대적으로 클 때의 천장 반송차(1)의 상태를 취득할 수 있고, 제 2 적재대(152)를 이용해서, 벨트(B)의 조출량이 상대적으로 작을 때의 천장 반송차(1)의 상태를 취득할 수 있고, 한쌍의 제 3 적재대(153, 153)를 이용해서, 래터럴 유닛(4)을 작동시켜 벨트(B)를 조출했을 때의 천장 반송차(1)의 상태를 취득할 수 있다.
이어서, 메인터넌스 가대(150)를 이용해서, 천장 반송차(1)의 상태를 취득할 때의 흐름을 설명한다. 도 13(A)에 나타내어지는 바와 같이, 에리어 컨트롤러(110)는 소정 타이밍에서 천장 반송차(1)를 메인터넌스 가대(150)로 이동시킨다. 에리어 컨트롤러(110)(도 11 참조)는 미리 결정된 스케줄에 따라서(정기적으로) 천장 반송차(1)를 메인터넌스 가대(150)로 이동시킨다. 메인터넌스 가대(150)의 제 1 적재대(151)에는 피측정 유닛(90)이 측정 유닛(80)에 지지된 상태로 적재되어 있다(도 8 참조).
천장 반송차(1)는 도 13(B)에 나타내어지는 바와 같이, 제 1 적재대(151)의 상방에 정지한 상태로 벨트(B)를 조출해서, 유지 유닛(7)을 강하시킨다. 천장 반송차(1)는 소정량의 벨트(B)를 조출한 후, 그리퍼(12)를 작동시켜 피측정 유닛(90)의 플랜지(91)를 파지한다. 그 후, 소정량의 벨트(B)를 권취하고, 측정 유닛(80)에 지지된 상태의 피측정 유닛(90)을 측정 유닛(80)으로부터 이반시킨다. 제 1 적재대(151)에 적재된 측정 유닛(80)은 이 상태에서 피측정 유닛(90)의 베이스 플레이트(92) 및 타깃 플레이트(93, 94, 95)까지의 거리(X1, Y1, Y2, Z1, Z2, Z3)를 측정한다.
제 1 적재대(151)에 적재된 측정 유닛(80)에 의한 측정 후, 천장 반송차(1)는 피측정 유닛(90)을 파지한 상태로 벨트(B)를 권취하고, 제 2 적재대(152)보다 높은 높이 위치까지 유지 유닛(7)을 이동시킨다. 이어서, 도 14(A)에 나타내어지는 바와 같이, 제 2 적재대(152)를 슬라이딩시켜, 제 1 적재대(151)의 상방의 진출 위치까지 이동시킨다. 천장 반송차(1)는 벨트(B)를 조출해서, 피측정 유닛(90)을 유지한 유지 유닛(7)을 강하시킨다. 천장 반송차(1)는 소정량의 벨트(B)를 조출해서, 제 2 적재대(152)에 적재된 측정 유닛(80)으로부터 소정량 이반하는 상태가 되도록 피측정 유닛(90)을 위치시킨다. 제 2 적재대(152)에 적재된 측정 유닛(80)은 이 상태에서 피측정 유닛(90)의 베이스 플레이트(92) 및 타깃 플레이트(93, 94, 95)까지의 거리(X1, Y1, Y2, Z1, Z2, Z3)를 측정한다.
제 2 적재대(152)에 적재된 측정 유닛(80)에 의한 측정 후, 천장 반송차(1)는 피측정 유닛(90)을 파지한 상태로 벨트(B)를 권취하고, 그 다음에는 래터럴 유닛(4)을 작동시켜, 유지 유닛(7)을 한쌍의 제 3 적재대(153) 중 일방의 상방으로 이동시킨다. 천장 반송차(1)는 벨트(B)를 조출해서, 피측정 유닛(90)을 유지한 유지 유닛(7)을 강하시킨다. 천장 반송차(1)는 소정량의 벨트(B)를 조출해서, 한쌍의 제 3 적재대(153) 중 일방에 적재된 측정 유닛(80)으로부터 소정량 이반하는 상태가 되도록 피측정 유닛(90)을 위치시킨다. 한쌍의 제 3 적재대(153) 중 일방에 적재된 측정 유닛(80)은 이 상태에서 피측정 유닛(90)의 베이스 플레이트(92) 및 타깃 플레이트(93, 94, 95)까지의 거리(X1, Y1, Y2, Z1, Z2, Z3)를 측정한다.
한쌍의 제 3 적재대(153) 중 일방에 적재된 측정 유닛(80)에 의한 측정 후, 천장 반송차(1)는 피측정 유닛(90)을 파지한 상태로 벨트(B)를 권취해서, 래터럴 유닛(4)을 작동시켜, 이번에는 유지 유닛(7)을 한쌍의 제 3 적재대(153) 중 타방의 상방으로 이동시킨다. 천장 반송차(1)는 벨트(B)를 조출해서, 피측정 유닛(90)을 유지한 유지 유닛(7)을 강하시킨다. 천장 반송차(1)는 소정량의 벨트(B)를 조출해서, 한쌍의 제 3 적재대(153) 중 타방에 적재된 측정 유닛(80)으로부터 소정량 이반하는 상태가 되도록 피측정 유닛(90)을 위치시킨다. 한쌍의 제 3 적재대(153) 중 타방에 적재된 측정 유닛(80)은 이 상태에서 피측정 유닛(90)의 베이스 플레이트(92) 및 타깃 플레이트(93, 94, 95)까지의 거리(X1, Y1, Y2, Z1, Z2, Z3)를 측정한다.
한쌍의 제 3 적재대(153) 중 타방에 적재된 측정 유닛(80)에 의한 측정 후, 천장 반송차(1)는 피측정 유닛(90)을 파지한 상태로 벨트(B)를 권취해서, 래터럴 유닛(4)을 작동시켜, 이번에는 유지 유닛(7)을 제 1 적재대(151)의 상방으로 이동시킨다. 이어서, 도 14(B)에 나타내어지는 바와 같이, 제 2 적재대(152)는 제 1 적재대(151)의 상방으로부터 퇴피한 퇴피 위치로 이동한다. 또한, 제 2 적재대(152)에 있어서의 퇴피 위치로의 이동은 제 2 적재대(152)에 적재된 측정 유닛(80)에 의한 측정 후, 적시의 타이밍에서 실행되어도 좋다.
천장 반송차(1)는 제 1 적재대(151)의 상방에 정지한 상태로 벨트(B)를 조출해서, 피측정 유닛(90)을 유지한 유지 유닛(7)을 강하시킨다. 도 15에 나타내어지는 바와 같이, 천장 반송차(1)는 피측정 유닛(90)이 제 1 적재대(151)에 적재된 측정 유닛(80)에 지지되는 상태가 될 때까지 벨트(B)를 조출한 후, 그리퍼(12)를 작동시켜 피측정 유닛(90)에 있어서의 플랜지(91)의 파지를 개방한다. 피측정 유닛(90)은 제 1 적재대(151)에 적재된 측정 유닛(80)에 지지된 상태가 된다. 그 후, 천장 반송차(1)는 유지 유닛(7)이 주행 가능 상태가 될 때까지 벨트(B)를 권취한다. 에리어 컨트롤러(110)는 천장 반송차(1)를 메인터넌스 가대(150)로부터 퇴출시킨다.
이상의 흐름에 의해, 베이스 플레이트(92) 및 타깃 플레이트(93, 94, 95)까지의 거리(X1, Y1, Y2, Z1, Z2, Z3)를 측정한 제 1 적재대(151),제 2 적재대(152) 및 한쌍의 제 3 적재대(153, 153)의 각각에 적재된 피측정 유닛(90)의 각각은 측정한 거리(X1, Y1, Y2, Z1, Z2, Z3)에 의거해서, 각 적재대의 기준 위치를 원점으로 한 경우의 그리퍼(12)의 실제 위치(X좌표, Y좌표, Z좌표), 각도(θ), 각도(αx) 및 각도(αy) 등의 정보가 산출된다. 이들 정보는 메인터넌스 가대(150)에 설치된 통신부(88)를 통해서, 천장 반송차(1)의 통신부(9)로 송신된다. 메인터넌스 가대(150)의 통신부(88)와 천장 반송차(1)의 통신부(9)는 광통신, 무선 통신 등의 적당한 수단에 의해 통신할 수 있다.
반송차 컨트롤러(8)는 통신부(9)를 통해서 수신한, 각 적재대의 기준 위치를 원점으로 한 경우의 그리퍼(12)의 실제 위치(X좌표, Y좌표, Z좌표), 각도(θ), 각도(αx) 및 각도(αy) 등의 정보를 기억부(8A)(도 11 참조)에 기억시킨다. 즉, 반송차 컨트롤러(8)는 측정 유닛(80) 및 피측정 유닛(90)에 의해 취득한 최신의 천장 반송차(1)의 상태를 기억부(8A)에 기억(갱신)시킨다. 반송차 컨트롤러(8)는 이 기억부(8A)에 기억된 천장 반송차(1)의 상태에 의거해서, 직동 기구(67)의 동작을 제어한다.
상기 실시형태의 반송차 시스템(100)에 있어서의 작용 효과에 대해서 설명한다. 이와 같은 반송차 시스템(100)에서는, 유지 유닛(7)을 승강할 때에 미리 결정된 설정값에 의거해서 제어되는 바, 상기 실시형태의 반송차 시스템(100)에서는, 측정 유닛(80) 및 피측정 유닛(90)에 의해 취득된 측정 결과, 즉 로드 포트(300) 등의 이재부에 유지 유닛(7)을 승강시켰을 때의 현재의 유지 유닛(7)의 상태를 나타내고 있다고 생각되는 정보에 의거해서, 설정값이 적절하게 보정된다. 이것에 의해, 사람의 손을 거치지 않고, 천장 반송차(1)별로 유지 유닛(7)의 상태를 적절하게 조정하는 것이 가능하게 된다.
상기 실시형태의 반송차 시스템(100)에서는, 피측정 유닛(90)은 그리퍼(72)로 파지 가능한 유닛 부재로서 형성되어 있고, 측정 유닛(80)은 메인터넌스 가대(150)의 각 적재대에 적재 가능한 유닛 부재로서 형성되어 있다. 그리고, 천장 반송차(1)가 천장 반송차(1)의 상태의 취득을 개시하려고 할 때, 피측정 유닛(90)이 측정 유닛(80)에 지지된 상태로 제 1 적재대(151)에 적재되어 있다. 이것에 의해, 측정 유닛(80) 및 피측정 유닛(90)에 의한 자동 측정을 신속하게 실행할 수 있다.
상기 실시형태의 반송차 시스템(100)에서는, 피측정 유닛(90)이 그리퍼(12)에 의해 파지된 상태로 이용되고, 측정 유닛(80)이 메인터넌스 가대(150)의 각 적재대에 적재된 상태로 이용된다. 이것에 의해, 천장 반송차(1)의 구성을 크게 변경하지 않고, 측정 유닛(80) 및 피측정 유닛(90)에 의한 자동 측정이 가능하게 된다.
상기 실시형태의 반송차 시스템(100)에서는, 로드 포트(300)와는 별도로, 천장 반송차(1)의 주행 영역에 메인터넌스 가대(150)가 설치되어 있으므로, 반송차 시스템(100)에 의한 가동을 정지시키지 않고, 효율적으로 천장 반송차(1)를 측정할 수 있다.
상기 실시형태의 반송차 시스템(100)에서는, 제 1 적재대(151)와, 제 2 적재대(152)와, 제 3 적재대(153)를 구비하는 메인터넌스 가대(150)를 구비하므로, 천장 반송차(1)의 주행 위치에 대하여 상대적으로 낮은 위치에 설치되는 로드 포트(300)와, 상대적으로 높은 위치에 설치되는 로드 포트(300)와, 슬라이딩부를 작동시켜 적재하는 로드 포트(300)의 각각에 있어서, 천장 반송차(1)별 유지 유닛(7)의 기울기를 적절하게 조정하는 것이 가능하게 된다.
상기 실시형태의 반송차 시스템(100)에서는, 천장 반송차(1)가 정기적으로 메인터넌스 가대(150)로 이동시켜, 측정 유닛(80)에 피측정 유닛(90)을 측정시키므로, 정기적인 설정값의 조정이 가능하게 된다.
상기 실시형태의 천장 반송차(1)에서는, 직동 기구(67)를 작동시킴으로써 유지 유닛(7)에 있어서의 수평면에 대한 기울기를 조정할 수 있다. 그리고, 직동 기구(67)의 작동량(안내 롤러의 이동량)은 천장 반송차(1)의 상태인 유지 유닛(7)에 있어서의 기울기에 관한 정보(각도(αx) 및 각도(αy) 등의 정보)에 의거해서 자동적으로 조정되므로, 유지 유닛(7)을 소망의 기울기로 조정할 수 있다. 즉, 본 실시형태의 천장 반송차(1)는 사람의 손을 거치지 않고, 유지 유닛(7)의 기울기를 적절하게 조정하는 것이 가능하게 된다.
이상, 일 실시형태에 대해서 설명했지만, 본 발명의 일 측면은 상기 실시형태에 한정되지 않는다. 발명의 일 측면의 취지를 일탈하지 않는 범위에서 다양한 변경이 가능하다.
(변형예 1)
상기 실시형태의 천장 반송차(1)에서는, 메인터넌스 가대(150)로 천장 반송차(1)를 입장시킴으로써, 천장 반송차(1)의 상태를 취득하는 예를 들어 설명했지만, 반송차 시스템(100)을 구축하는 로드 포트(300)별로, 천장 반송차(1)의 상태를 취득해도 좋다. 이 구성에서는, 유지 유닛(7)을 실제로 FOUP(200)가 적재되는 로드 포트(300)별로 최적의 기울기로 조정할 수 있다.
(변형예 2)
상기 실시형태 및 상기 변형예의 천장 반송차(1)에서는, 유지 유닛(7)이 피측정 유닛(90)을 파지함으로써, 측정 유닛(80) 및 피측정 유닛(90)으로부터 천장 반송차(1)의 상태를 취득하는 예를 들어 설명했지만, 각 적재대에 적재된 피측정 유닛(제 2 유닛 부재)(90)에 대하여, 측정 유닛(제 1 유닛 부재)(80)을 파지한 유지 유닛(7)을 이반·접근시킴으로써, 천장 반송차(1)의 상태를 취득해도 좋다. 이 구성에서는, 메인터넌스 가대(150)의 각 적재대에는 측정 유닛(80)과 비교해서 저렴한 피측정 유닛(90)이 배치되므로, 메인터넌스 가대(150)를 저렴하게 구축할 수 있다.
(변형예 3)
상기 실시형태 및 상기 변형예의 천장 반송차(1)에서는, 기억부(8A)에 기억시키는 천장 반송차(1)의 상태로서, 소정 기준 위치를 원점으로 한 경우의 그리퍼(12)의 실제 위치(X좌표, Y좌표, Z좌표), 각도(θ), 각도(αx) 및 각도(αy) 등의 정보를 예로 들어 설명했지만, 이와 같은 실제 위치(X좌표, Y좌표, Z좌표), 각도(θ), 각도(αx) 및 각도(αy) 등의 정보에 의거해서 결정되는 직동 기구(67)의 작동량(안내 롤러의 이동량) 등의 설정값이어도 좋다.
(변형예 4)
상기 실시형태 및 상기 변형예의 일부에서는, 메인터넌스 가대(150)의 각 적재대에, 측정 유닛(80)의 측정 대상이 되는 타깃 플레이트(93, 94, 95)가 형성되어 있는 피측정 유닛(90)이 배치되어 있는 예를 들어 설명했지만, 예를 들면 로드 포트(300)이면, 피측정 유닛(90)을 적재하는 대신에 FOUP(200)가 적재대되는 부분에 형성된 위치 결정 핀 등을 측정 유닛(80)의 측정 대상으로서 이용해도 좋고, 메인터넌스 가대(150)의 각 적재대에 측정 대상이 되는 타깃을 직접 형성해도 좋다.
(그 외의 변형예)
상기 실시형태의 천장 반송차(1)에 있어서, 벨트(B)의 일단을 승강 방향으로 이동시키기 위해서 적어도 하나의 제 2 아이들러 롤러(65B)의 위치를 이동시키는 기능을 갖는 직동 기구(67) 대신에, 마찬가지의 기능을 갖는 캠 기구(위치 조정부)를 설치해도 좋다.
상기 실시형태의 천장 반송차(1)에서는, 적어도 하나의 제 2 아이들러 롤러(65B)의 위치를 이동시킴으로써, 벨트(B)의 일단을 승강 방향으로 이동시키는 예를 들어 설명했지만, 제 2 아이들러 롤러(65B) 대신에 제 1 아이들러 롤러(65A)의 위치를 이동시킴으로써, 벨트(B)의 일단을 승강 방향으로 이동시키는 구성으로 해도 좋다.
상기 실시형태 및 변형예에서는, 직동 기구(67)로서 볼나사를 채용한 예를 들어 설명했지만, 실린더, 리니어 가이드 등을 채용해도 좋다.
상기 실시형태 및 변형예의 유지 유닛(7)은 제 1 완충 기구(50) 및 제 2 완충 기구(40)를 통해서 벨트(B)의 일단과 접속되어 있는 예를 들어 설명했지만, 유지 유닛(7)에 직접 접속되어도 좋다. 또한, 4개의 벨트(B)가 그대로 직접 유지 유닛(7)에 접속되어도 좋다. 또한, 3개의 벨트(B)에 의해 유지 유닛(7)에 접속되어도 좋다.
상기 실시형태 및 변형예에서는, 천장 반송차(1)와 측정 유닛(80) 사이에서, 통신부를 통해서 직접 교환하는 예를 들어 설명했지만, 에리어 컨트롤러(110)를 통해서 각종 정보를 교환해도 좋다.
상기 실시형태 및 상기 변형예의 측정 유닛(80)의 구성에 추가해서, 배터리 및 통신부를 구비하고, 이것들이 일체적으로 구성된 측정 유닛을 이용해도 좋다.
1: 천장 반송차
7: 유지 유닛
8: 반송차 컨트롤러(제어부)
61: 베이스(본체부)
64: 제 3 아이들러 롤러(안내 롤러)
65A: 제 1 아이들러 롤러(안내 롤러)
65B: 제 2 아이들러 롤러(안내 롤러)
67: 직동 기구(위치 조정부)
80: 측정 유닛(측정부)
82: 유닛 컨트롤러
83X1, 83Y1, 83Y2, 83Z1, 83Z2, 83Z3: 거리 센서
88: 통신부
90: 피측정 유닛(피측정부)
93, 94, 95: 타깃 플레이트
100: 반송차 시스템
110: 에리어 컨트롤러

Claims (8)

  1. 물품을 파지하는 파지부를 갖는 승강부를 복수의 매달림 부재에 의해 승강시키도록 한 천장 반송차를 구비하는 반송차 시스템으로서,
    측정 대상 개소를 측정하는 측정부와,
    상기 측정 대상 개소가 형성된 피측정부와,
    미리 결정된 설정값에 따라서 상기 승강부를 승강시키는 제어부를 구비하고,
    상기 제어부는 상기 파지부에 의해 파지되는 상기 측정부 및 상기 피측정부 중 일방과, 소정 위치에 형성 또는 적재되는 상기 측정부 및 소정 위치에 형성 또는 적재되는 상기 피측정부 중 타방에 의해, 상기 측정부가 상기 피측정부를 측정 가능하게 되도록 상기 승강부를 승강 제어함과 아울러, 상기 측정부가 상기 피측정부를 측정한 결과에 의거해서 상기 설정값을 보정하는 반송차 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 측정부 및 상기 피측정부 중 일방은 상기 파지부에 파지 가능한 제 1 유닛 부재로서 형성되어 있고,
    상기 측정부 및 상기 피측정부 중 타방은 상기 소정 위치에 적재 가능한 제 2 유닛 부재로서 형성되어 있고,
    상기 제 1 유닛 부재 및 상기 제 2 유닛 부재 중 일방이 상기 제 1 유닛 부재 및 상기 제 2 유닛 부재 중 타방에 지지된 상태로 상기 소정 위치에 적재되어 있는 반송차 시스템.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 측정부가 상기 피측정부를 측정한 결과를 상기 천장 반송차에 설치되어 있는 제어 장치로 송신하는 통신부를 더 구비하고 있고,
    상기 피측정부가 상기 파지부에 의해 파지된 상태로 이용되고, 상기 측정부가 상기 소정 위치에 적재된 상태로 이용되는 반송차 시스템.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 천장 반송차의 주행 영역에 설치되어 있고, 상기 소정 위치가 되는 적재대가 형성된 메인터넌스 가대를 더 구비하는 반송차 시스템.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 천장 반송차는 본체부와, 상기 복수의 매달림 부재가 권취 및 조출됨으로써 상기 본체부에 대하여 승강 가능하게 설치되는 상기 승강부와, 상기 천장 반송차의 반송 방향 및 연직 방향의 양방에 직교하는 방향으로 상기 승강부를 이동시키는 슬라이딩부를 갖고,
    상기 메인터넌스 가대는 상기 슬라이딩부를 작동시키지 않고 상기 승강부를 하강시킴으로써 상기 물품을 적재 가능한 위치에 설치되는 제 1 적재대와, 상기 제 1 적재대의 연직 방향에 있어서의 상방에 설치됨과 아울러, 상기 제 1 적재대의 연직 방향에 있어서의 상방 영역으로부터 수평 방향으로 퇴피 가능하게 설치되는 제 2 적재대와, 적어도 상기 슬라이딩부를 작동시킴으로써 상기 물품을 적재 가능한 위치에 설치되는 제 3 적재대를 구비하고 있는 반송차 시스템.
  6. 제 4 항 또는 제 5 항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 천장 반송차를 정기적으로 상기 메인터넌스 가대로 이동시켜, 상기 측정부에 상기 피측정부를 측정시키는 반송차 시스템.
  7. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 설정값은 상기 물품의 적재부별로 설정되어 있고,
    상기 측정부 및 상기 피측정부 중 일방이 상기 파지부에 의해 파지된 상태로 이용되고,
    상기 측정부 및 상기 피측정부 중 타방은 측정 대상이 되는 상기 적재부에 형성 또는 적재된 상태로 이용되는 반송차 시스템.
  8. 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 천장 반송차는,
    상기 복수의 매달림 부재의 권취 및 조출을 행함으로써, 상기 승강부를 승강시키는 권취 드럼과,
    상기 권취 드럼으로부터 조출되는 상기 매달림 부재가 감기는 적어도 하나의 안내 롤러와,
    상기 권취 드럼 및 상기 안내 롤러를 지지하는 본체부와,
    상기 본체부에 대한 상기 안내 롤러의 상대 위치를 이동시킴으로써, 상기 매달림 부재의 상기 승강부에의 접속 부분을 승강 방향으로 이동시키는 적어도 하나의 위치 조정부와,
    상기 승강부에 있어서의 기울기에 관한 정보에 의거해서 상기 위치 조정부에 의한 상기 안내 롤러의 이동을 제어하는 제어 장치를 구비하고,
    상기 설정값에는 상기 기울기에 관한 정보가 포함되는 반송차 시스템.
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