CN116547220A - 搬送车系统 - Google Patents

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Abstract

搬送车系统(100)具备：测定部(80)，其对测定对象部位进行测定；被测定部(90)，其形成有测定对象部位；和控制部(8)，其按照预先确定的设定值使升降部(7)升降。控制部(8)根据由把持部(7)把持的测定部(80)及被测定部(90)中的一方和形成于或载置于规定位置的测定部(80)及形成于或载置于规定位置的被测定部(90)中的另一方对升降部(7)进行升降控制，以使得测定部(80)能够测定被测定部(90)，并且，控制部基于测定部(7)测定被测定部(90)而得到的结果来修正设定值。

Description

搬送车系统
技术领域
本发明的一个方面涉及搬送车系统。
背景技术
公知有一种空中搬送车，该空中搬送车设有：行驶部，该行驶部在铺设于顶棚等的轨道上行驶；和升降部，该升降部具有向置物架或加载部等移载部移载物品的把持部。升降部由带等多个吊持部件悬挂保持，通过卷绕或放出该吊持部件来升降。在这样的空中搬送车中，要求在升降时使升降部维持与移载部平行(在移载部水平的情况下，升降部也维持水平)。
例如，在专利文献1中公开有如下空中搬送车：设定有双层卷绕的两根吊持部件相对于筒的固定端位置和从筒的卷绕面延伸的两吊持部件的卷出角，以使得因两根吊持部件(升降带)向下一层的卷绕转移的定时的偏离引起的筒每旋转一圈的卷绕差的累积不足能将升降部(装货台)保持在需要的水平度的规定值。根据该空中搬送车，能够将两根吊持部件的卷绕差抑制在容许范围内，不管升降位置如何，都能够水平地把持物品。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开平10-194410号公报
发明内容
不过，即使利用上述以往的方法将两根吊持部件的卷绕差抑制在容许范围内，也有可能由于每个空中搬送车的特性(即机差)而无法在升降时恰当地调整升降部的状态。
因此，本发明的一个方面的目的在于，提供不借助人手就能够针对每个空中搬送车恰当地调整升降部的状态的搬送车系统。
本发明的一个方面的搬送车系统具备空中搬送车，该空中搬送车利用多个吊持部件使具有把持物品的把持部的升降部升降，其中，搬送车系统具备：测定部，该测定部对测定对象部位进行测定；被测定部，该被测定部形成有测定对象部位；和控制部，该控制部按照预先确定的设定值使升降部升降，控制部根据由把持部把持的测定部及被测定部中的一方和形成于或载置于规定位置的测定部及形成于或载置于规定位置的被测定部中的另一方对升降部进行升降控制，以使得测定部能够测定被测定部，并且，控制部基于测定部测定被测定部而得到的结果来修正设定值。
在空中搬送车中，在使升降部升降之际，基于预先确定的设定值进行控制，此外，在本发明的搬送车系统中，基于由被测定部和测定部所获取的测定结果(即、使升降部相对于移载部升降了时的认为表示当前的升降部的状态的信息)而恰当地修正设定值。由此，不借助人手，就能够针对每个空中搬送车恰当地调整升降部的状态。
在本发明的一个方面的搬送车系统中，也可以是，测定部及被测定部中的一方形成为能够被把持部把持的第一单元部件，测定部及被测定部中的另一方形成为能够载置于规定位置的第二单元部件，第一单元部件及第二单元部件中的一方在支承于第一单元部件及第二单元部件中的另一方的状态下载置于规定位置。在该结构中，能够迅速地执行由测定部和被测定部进行的自动测定。
也可以是，本发明的一个方面的搬送车系统还具备通信部，该通信部向设于空中搬送车的控制装置发送测定部测定被测定部而得到的结果，被测定部以由把持部把持的状态使用，测定部以载置于规定位置的状态使用。在该结构中，不大幅度改变空中搬送车的结构，就能够执行由测定部和被测定部进行的自动测定。
也可以是，本发明的一个方面的搬送车系统还具备维护架台，该维护架台设于空中搬送车的行驶区域，形成有成为规定位置的载置台。在该结构中，在载置部之外设有能够执行由测定部和被测定部进行的自动测定的位置，因此，能够高效地测定空中搬送车。
在本发明的一个方面的搬送车系统中，也可以是，空中搬送车具有：主体部；升降部，该升降部以通过卷绕及放出多个吊持部件而能够相对于主体部升降的方式设置；和滑动部，该滑动部使升降部在与空中搬送车的搬送方向及铅垂方向这两方正交的方向上移动，维护架台具备：第一载置台，该第一载置台设于通过不使滑动部工作而使升降部下降从而能够载置物品的位置；第二载置台，该第二载置台设于第一载置台的铅垂方向上的上方，并且以能够从第一载置台的铅垂方向上的上方区域向水平方向退避的方式设置；和第三载置台，该第三载置台设于通过至少使滑动部工作而能够载置物品的位置。在该结构中，能够分别在相对于空中搬送车的行驶位置设于相对低的位置的载置部、设于相对高的位置的载置部、以及使滑动部工作而载置的载置部中恰当地调整每个空中搬送车的升降部的倾斜。
在本发明的一个方面的搬送车系统中，也可以是，控制部使空中搬送车定期地向维护架台移动，并使测定部测定被测定部。在该结构中，能够进行定期的设定值的调整。
在本发明的一个方面的搬送车系统中，也可以是，设定值针对每个物品的载置部设定，测定部及被测定部中的一方以由把持部把持的状态使用，测定部及被测定部中的另一方以形成于作为测定对象的载置部的状态使用，或者以载置于作为测定对象的载置部的状态使用。在该结构中，能够针对每个载置部进行最佳的设定值的调整。
在本发明的一个方面的搬送车系统中，也可以是，空中搬送车具备：卷绕筒，该卷绕筒通过进行多个吊持部件的卷绕及放出而使升降部升降；至少一个引导辊，该至少一个引导辊供从卷绕筒放出的吊持部件卷挂；主体部，该主体部支承卷绕筒及引导辊；至少一个位置调整部，该至少一个位置调整部通过使引导辊相对于主体部的相对位置移动，从而使吊持部件的相对于升降部连接的连接部分在升降方向上移动；和控制装置，该控制装置基于与升降部的倾斜有关的信息而控制由位置调整部进行的引导辊的移动，设定值包含与倾斜有关的信息。在该结构中，能够以简易的结构调整升降部的倾斜。
发明效果
根据本发明的一个方面，不借助人手，就能够针对每个空中搬送车恰当地调整升降部的状态。
附图说明
图1是一个实施方式的空中搬送车的侧视图。
图2是保持单元的主视图。
图3是第一缓冲机构及第二缓冲机构的立体图。
图4是升降驱动单元的主视图。
图5是升降驱动单元的侧视图。
图6的(A)及图6的(B)是表示升降驱动单元的动作的主视图。
图7的(A)及图7的(B)是表示升降驱动单元的动作的侧视图。
图8是测定单元及被测定单元的立体图。
图9是表示测定单元对被测定单元进行测定时的各距离传感器的测定对象的示意图。
图10的(A)～(C)是表示单元控制器计算空中搬送车的状态的方法的示意图。
图11是表示搬送车系统的功能构成的框图。
图12的(A)是表示维护架台的侧视图，图12的(B)是表示从图12的(A)的B方向观察的维护架台的俯视图。
图13的(A)及图13的(B)是说明使用维护架台获取空中搬送车的状态的顺序的图。
图14的(A)及图14的(B)是说明使用维护架台获取空中搬送车的状态的顺序的图。
图15是说明使用维护架台获取空中搬送车的状态的顺序的图。
具体实施方式
以下，参照附图详细地说明本发明的一个方面的优选的一个实施方式。此外，在附图的说明中，对相同要素标注相同的附图标记并省略重复说明
一个实施方式的搬送车系统100具备多个空中搬送车1(参照图1)、形成空中搬送车1的行驶路径的轨道20(参照图1)、区域控制器110(参照图11)、测定单元(测定部)80(参照图11)、和被测定单元(被测定部)90(参照图8)。多个空中搬送车1中的至少一台具备调整保持单元(升降部)7相对于水平面的倾斜的直动机构(位置调整部)67(参照图4)。
如图1所示，一个实施方式的空中搬送车1沿着铺设于制造半导体器件的无尘室的顶棚附近的轨道20行驶。一个实施方式的空中搬送车1进行收容有多个半导体晶片的FOUP(Front Opening Unified Pod：前开式晶圆传送盒)(物品)200的搬送、及FOUP200相对于设于对半导体晶片实施各种处理的处理装置上的加载部(移载部)300等的移载。
如图1及图11所示，空中搬送车1具备机架单元2、行驶单元3、横向单元4、θ单元5、升降驱动单元6、保持单元7、搬送车控制器(控制部)8、存储部8A和通信部9。机架单元2具有中心机架15、前机架16和后机架17。前机架16从中心机架15中的前侧(空中搬送车1的行驶方向上的前侧)的端部向下侧延伸。后机架17从中心机架15中的后侧(空中搬送车1的行驶方向上的后侧)的端部向下侧延伸。
行驶单元3配置于中心机架15的上侧。行驶单元3例如以非接触的方式从沿着轨道20铺设的高频电流线接受电力的供给，从而沿着轨道20行驶。横向单元4配置于中心机架15的下侧。横向单元4使θ单元5、升降驱动单元6及保持单元7向横向(空中搬送车1的行驶方向上的侧方)移动。θ单元5配置于横向单元4的下侧。θ单元5使升降驱动单元6和保持单元7在水平面内转动。
升降驱动单元6配置于θ单元5的下侧。升降驱动单元6使保持单元7升降。保持单元7配置于升降驱动单元6的下侧。保持单元7保持FOUP200的凸缘201。
搬送车控制器(控制装置)8配置于中心机架15。搬送车控制器8是由CPU(中央处理单元：Central Processing Unit)、ROM(只读存储器：Read only memory)及RAM(随机存取存储器：Random access memory)等构成的电子控制单元。搬送车控制器8控制空中搬送车1的各部。
作为一个例子，如以上这样构成的空中搬送车1如下这样动作。在从加载部300向空中搬送车1移载FOUP200的情况下，未保持FOUP200的空中搬送车1停止在加载部300上方的预先确定的位置。于在停止位置处要下降的保持单元7的位置从相对于加载部300(载置于加载部300的FOUP200)的规定位置偏离的情况下，通过驱动横向单元4和θ单元5，从而调整保持单元7的水平位置和水平角度。另外，在通过放出带(吊持部件)B而下降的保持单元7相对于水平面倾斜的情况下，通过使直动机构67(参照图4)工作来调整保持单元7的倾斜。
搬送车控制器8基于存储于存储部8A的设定值而实施保持单元7的水平位置及水平角度、以及保持单元7的倾斜的调整。接着，升降驱动单元6使保持单元7下降，保持单元7保持载置于加载部300上的FOUP200的凸缘201。接着，升降驱动单元6使保持单元7上升到上升端，将FOUP200配置于前机架16与后机架17之间。接着，保持着FOUP200的空中搬送车1开始行驶。
另一方面，在从空中搬送车1向加载部300移载FOUP200的情况下，保持着FOUP200的空中搬送车1停止在加载部300上方的预先确定的位置。于在停止位置处要其下降的保持单元7(FOUP200)的位置从相对于加载部300的规定位置偏离的情况下，通过驱动横向单元4及θ单元5，从而调整保持单元的水平位置及水平角度。另外，在通过放出带B而下降的保持单元7相对于水平面倾斜的情况下，通过使直动机构67(参照图4)工作而调整保持单元7的倾斜。
搬送车控制器8基于存储于存储部8A的设定值而实施保持单元7的水平位置及水平角度、以及保持单元7的倾斜的调整。接着，升降驱动单元6使保持单元7下降，将FOUP200载置于加载部300，保持单元7释放FOUP200的凸缘201的保持。接着，升降驱动单元6使保持单元7上升到上升端。接着，未保持FOUP200的空中搬送车1开始行驶。
接下来，详细地说明保持单元7的结构。如图1及图2所示，保持单元7具有基座11、一对夹具(把持部)12、12和壳体13。一对夹具12、12以能够沿水平方向开闭的方式由基座11支承。一对夹具12、12通过驱动马达(省略图示)及连杆机构(省略图示)而开闭。在本实施方式中，在一对夹具12、12处于开状态时，调整保持单元7的高度位置，以使夹具12的保持面处于比凸缘201的下表面的高度靠下方的位置。并且，通过在该状态下使一对夹具12、12成为闭状态，从而夹具12的保持面进入凸缘201的下表面的下方，通过在该状态下使升降驱动单元6上升，从而由一对夹具12、12保持(把持)凸缘201，支承FOUP200。在保持单元7中，基座11构成壳体13的底壁，相对于壳体13的位置固定。
如图3所示，在本实施方式的保持单元7上，借助第一缓冲机构50及第二缓冲机构40连接有带B的一端。在此，对第一缓冲机构50及第二缓冲机构40详细地进行说明。第一缓冲机构50及第二缓冲机构40是将带B和保持单元7(参照图1)连结的机构，且是抑制行驶单元3行驶时或保持单元7升降时的振动向FOUP200传递的机构。
第一缓冲机构50具有从铅垂方向下方将基座11以能够在铅垂方向上移动的方式支承的弹性部件58，在从铅垂方向观察的俯视时配置于与空中搬送车1的行驶方向正交的宽度方向的一方。在本实施方式中，第一缓冲机构50在左右方向上设于保持单元7的右侧。第一缓冲机构50具有连接部件51、摆动部件53、第一主体部件54、第二主体部件56和一对弹性部件58、58。此外，本实施方式中的左右方向是指从行驶方向前方观察空中搬送车1时的左右方向。
连接部件51是安装于带B的部件。摆动部件53是与连接部件51连结的部件。摆动部件53借助销部件52以能够向双方向旋转的方式与连接部件51连结。第一主体部件54是大致L字状的部件，其底部以平坦的方式形成。第一主体部件54的上端与摆动部件53连接。第一主体部件54的底部利用螺栓等与第二主体部件56连接。第二主体部件56从下方支承弹性部件58，并且，支承第一主体部件54的底部。
一对弹性部件58、58是具有规定的弹簧常数的螺旋弹簧。一对弹性部件58、58支承于第二主体部件56，并且从下方支承基座11。弹性部件58的下端固定于第二主体部件56。弹性部件58的上端未固定于基座11，通过接触来支承基座11。即，一对弹性部件58、58分别在处于以与第二主体部件56和基座11这两方接触的状态收缩的状态时，对第二主体部件56和基座11向互相远离的方向施力。弹性部件58具有减少在互相接触的部件之间传递的振动的作用。此外，也可以是，弹性部件58固定于基座11，以能够相对于第二主体部件56接触、分离的方式设置。
第二缓冲机构40具有从铅垂方向下方将基座11以能够在铅垂方向上移动的方式支承的弹性部件48，在从铅垂方向观察的俯视时配置于与空中搬送车1的行驶方向正交的宽度方向的另一方(在宽度方向上与第一缓冲机构50相反的一侧)。在本实施方式中，第二缓冲机构40在左右方向上设于保持单元7的左侧。第二缓冲机构40具有连接部件41、41、摆动部件43、第三主体部件45、第四主体部件46、限制部件47和一对弹性部件48、48。
连接部件41、41是供带B、B安装的部件。摆动部件43是将一对连接部件41、41和第三主体部件45连结的部件。一对连接部件41、41与摆动部件43以能够向双方向旋转的方式连结，借助一对销部件42、42而连结。摆动部件43与第三主体部件45以能够向双方向旋转的方式连结，借助销部件44而连结。第四主体部件46从下方支承弹性部件48、48。
一对弹性部件48、48是具有规定的弹簧常数的螺旋弹簧。一对弹性部件48、48支承于第四主体部件46，并且，从下方支承基座11。弹性部件48的下端固定于第四主体部件46。限制部件47限制基座11相对于第四主体部件46分开规定距离以上。更详细而言，限制部件47卡定要相对于第四主体部件46分开规定距离以上的基座11的上表面。弹性部件48的上端未固定于基座11，通过接触来支承基座11。即，一对弹性部件48、48分别在处于与第四主体部件46和基座11这两方接触的状态时，对第四主体部件46及基座11向互相远离的方向施力。弹性部件48具有削减在互相接触的部件之间传递的振动的作用。此外，也可以是，弹性部件48固定于基座11，以能够相对于第四主体部件46接触、分离的方式设置。
此外，虽未图示，但保持单元7也可以具备连杆机构，该连杆机构连结第一缓冲机构50和第二缓冲机构40，并且，以使第一缓冲机构50与基座11之间的铅垂方向上的距离和第二缓冲机构40与基座11之间的铅垂方向上的距离彼此接近的方式动作。
接着，详细地说明升降驱动单元6的结构。如图4及图5所示，升降驱动单元6具有基座(主体部)61、支承部62、四个(多个)卷绕筒63、驱动马达(卷绕驱动部)63A、第一导辊(引导辊)65A、第二导辊(引导辊)65B、第三导辊(引导辊)64、直动机构(位置调整部)67、摆动部件68和四个(多个)带B。
基座61借助支承部62支承卷绕筒63、第一导辊65A及第三导辊64。支承部62将四个卷绕筒63以能够旋转的方式支承。四个卷绕筒63在前后方向上排列，利用驱动马达63A的驱动分别卷绕或放出四个带B。支承部62将第一导辊65A及摆动部件68的一端部68A以能够摆动的方式支承。
各卷绕筒63以能够旋转的方式借助支承部62安装于基座61。驱动马达63A是用于使各卷绕筒63旋转的驱动源，固定于基座61。四个卷绕筒63安装于未图示的共同的转动轴，或者由未图示的联动机构连结，从而由一个驱动马达63A驱动。
各带B的一端与保持单元7连接，各带B的另一端与各卷绕筒63连接。在本实施方式中，四根带B以悬挂保持单元7的三点的方式设置。更详细而言，保持单元7由四根带B悬挂，四根中的两根带B借助连接部件41与设成能够相对于保持单元7摆动的一个摆动部件43(参照图3)连接，四根中的剩余的两根带分别借助连接部件51与设成能够相对于保持单元7摆动的摆动部件53连接。
第一导辊65A及第二导辊65B引导与第一缓冲机构50连接的带B的移动。与第一缓冲机构50连接的带B具有两根，第一导辊65A及第二导辊65B也与各带B相对应地设置。第一导辊65A设于支承部62，不相对于基座61相对移动。第二导辊65B设于后述的摆动部件68，相对于基座61相对移动。此外，第二导辊65B相对于基座61相对移动的结构在后段中说明。第三导辊64引导与第二缓冲机构40连接的带B的移动。与第二缓冲机构40连接的带B具有两根，第三导辊64也与各带B相对应地设置。
直动机构67主要具有驱动马达67A、丝杆轴67B和球螺母67C，是将驱动马达67A的旋转运动转换成直线运动的公知机构。直动机构67借助托架66固定于基座61。在利用驱动马达67A的驱动而沿着丝杆轴67B移动的球螺母67C上，以能够摆动的方式连接有摆动部件68的另一端部68B。在本实施方式中，通过球螺母67C沿着丝杆轴67B移动，摆动部件68摆动，随着该摆动部件68的摆动，第二导辊65B相对于基座61相对移动。如此，直动机构67使第二导辊65B的位置移动，以使得带B的相对于保持单元7(第一缓冲机构50)连接的连接部分(带B的一端)在升降方向上移动。此外，也可以是，将摆动部件68变更成由直动机构67悬臂支承的上下运动自由的部件，通过使该部件上下运动从而使第二导辊65B的位置直线移动。
例如，如图6的(A)所示，若使两方的直动机构67工作而使第二导辊65B向上方(以接近基座61的方式)移动，则能够使保持单元7的右侧向上方倾斜。另外，例如，如图6的(B)所示，若使两方的直动机构67工作而使第二导辊65B向下方(以远离基座61的方式)移动，则能够使保持单元7的右侧向下方倾斜。
另外，如例如图7的(A)所示，若使两个直动机构67中的一方(前侧)的直动机构67工作而使第二导辊65B向上方(以接近基座61的方式)移动，则能够使保持单元7的前侧向上方倾斜。也可以是，在要使保持单元7的前侧向上方倾斜的情况下，使两个的直动机构67中的另一方(后侧)的直动机构67工作而使第二导辊65B向下方(以远离基座61的方式)移动。
另外，如例如图7的(B)所示，若使两个的直动机构67中的另一方(后侧)的直动机构67工作而使第二导辊65B向上方(以接近基座61的方式)移动，则能够使保持单元7的后侧向上方倾斜。也可以是，在要使保持单元7的后侧向上方倾斜的情况下，使两个直动机构67中的一方(前侧)的直动机构67工作而使第二导辊65B向下方(以远离基座61的方式)移动。
如上述这样，本实施方式的空中搬送车1能够通过使两个的直动机构67中的两方或一方工作来调整保持单元7相对于水平面的倾斜。而且，在本实施方式的空中搬送车1中，基于空中搬送车1的状态(与升降部中的倾斜有关的信息)而控制直动机构67的动作。空中搬送车1的状态例如存储于设于中心机架15的存储部8A。另外，空中搬送车1的状态包括在示教时所获取的空中搬送车1的状态和由测定单元80及被测定单元90获取的空中搬送车1的状态。
在此，空中搬送车1分别在使搬送车系统100运转之前实施示教。示教(teaching)是指，空中搬送车1为了在加载部300处进行FOUP200的移载，在空中搬送车1停止在轨道20的预先确定的规定位置、并且保持单元7下降了规定距离的状态下，为了知晓保持单元7的位置(更详细而言，夹具12的位置)相对于目标位置偏离多少而获取空中搬送车1的状态，并基于该空中搬送车1的状态使空中搬送车1存储应该实施的动作，以使得在搬送车系统100的运转时相对于目标位置的偏离处于容许范围。空中搬送车1的状态的例子是以加载部300的基准位置为原点的情况下的夹具12的实际位置(X坐标，Y坐标，Z坐标)、角度θ、角度αx及角度αy等信息。
详细地说明测定单元80及被测定单元90。如图8及图9所示，测定单元80及被测定单元90是用于不借助人手地获取空中搬送车1的状态的单元。图8是测定单元80及被测定单元90的立体图，图9是表示测定单元80对被测定单元90进行测定时的各距离传感器83X1、83Y1、83Y2、83Z1、83Z2、83Z3的测定对象的示意图。图8及图9所示的实线箭头和虚线箭头表示各距离传感器83X1、83Y1、83Y2、83Z1、83Z2、83Z3中的激光的输出方向。
在本实施方式的搬送车系统100中，在获取空中搬送车1的状态之际，被测定单元90搭载于空中搬送车1，测定单元80搭载于加载部300。即，被测定单元(第一单元部件)90由一对夹具12、12把持而使用，测定单元(第二单元部件)80载置于加载部300而使用。在空中搬送车1停止在轨道20的规定位置、使保持单元7下降规定距离、且被测定单元90在加载部300的上方与测定单元80隔开间隔的状态下，获取空中搬送车1的状态。
测定单元80具备主体部81、单元控制器82(参照图11)、多个距离传感器83X1、83Y1、83Y2、83Z1、83Z2、83Z3、安装部84、支承部85和引导部86。主体部81是支承单元控制器82、安装部84及引导部86的平板状的部件。单元控制器82以支承于主体部81的状态设置，进行测定单元80中的电气性的各种处理。
各距离传感器83X1、83Y1、83Y2、83Z1、83Z2、83Z3是例如激光式的距离传感器，安装于安装部84。距离传感器83X1使激光沿着X轴方向朝向主体部81的内方出射，由此测定与对象物之间的距离。距离传感器83Y1、83Y2使激光沿着Y轴方向朝向主体部81的内方出射，由此测定与对象物之间的距离。距离传感器83Z1、83Z2、83Z3使激光沿着Z轴方向朝向上方出射，由此测定与对象物之间的距离。
安装部84是供各距离传感器83X1、83Y1、83Y2、83Z1、83Z2、83Z3安装的部分，立设于主体部81。支承部85是支承被测定单元90的部分，立设于主体部81。引导部86是在使支承部85支承被测定单元90时进行引导以将被测定单元90定位于规定位置的部分。引导部86立设于主体部81。
被测定单元90具备凸缘91、底板92、多个靶板93、94、95、和支脚部97。凸缘91是以能够由夹具12把持的方式设置的部分。底板92与凸缘91连接，供多个靶板93、94、95立设。底板92及多个靶板93、94、95是形成由各距离传感器83X1、83Y1、83Y2、83Z1、83Z2、83Z3进行测定的测定对象面的部分。
各靶板93、94、95固定于底板92的规定位置。靶板93中的与距离传感器83X1相对的表面93a是与X轴方向垂直的面，与加载部300的基准位置(加载部300的载置面的中心位置)具有规定的位置关系。靶板94中的与距离传感器83Y1相对的表面94a及靶板95中的与距离传感器83Y2相对的表面95a是与Y轴方向垂直的面，与加载部300的基准位置具有规定的位置关系。支脚部97分别设于靶板93、94、95的下部，在被测定单元90由测定单元80支承时与测定单元80的主体部81接触。
根据以上内容，测定单元80的单元控制器82能够获取由距离传感器83X1测定的测定距离X1、由距离传感器83Y1测定的测定距离Y1、由距离传感器83Y2测定的测定距离Y2、由距离传感器83Z1测定的测定距离Z1、由距离传感器83Z2测定的测定距离Z2以及由距离传感器83Z3测定的测定距离Z3。并且，单元控制器82能够基于所获取的多个测定距离X1、Y1、Y2、Z1、Z2、Z3而计算以加载部300的基准位置为原点的情况下的夹具12的实际位置(X坐标，Y坐标，Z坐标)、以及角度θ、角度αx及角度αy。
在此，如图10的(A)所示，角度θ是测定单元80绕Z轴相对于被测定单元90旋转的旋转角度(即，夹具12绕Z轴相对于加载部300旋转的旋转角度)。若将距离传感器83Y1与距离传感器83Y2之间的距离设为L1，则角度θ表示为θ＝tan-1[(Y1-Y2)/L1]。此外，在图10的(A)中，省略了距离传感器83X1、83Z1、83Z2、83Z3等的图示。
另外，如图10的(B)所示，角度αx是测定单元80绕Y轴相对于被测定单元90的底板92的表面92a倾斜的倾斜角度(即，夹具12绕Y轴相对于加载部300的基准面倾斜的倾斜角度)。若将距离传感器83Z1与距离传感器83Z3之间的距离设为L2，则角度αx表示为αx＝tan-1[(Z3-Z1)/L2]。此外，在图10的(B)中，省略了距离传感器83X1、83Y1、83Y2和靶板93、94、95等的图示。
另外，如图10的(C)所示，角度αy是测定单元80绕X轴相对于被测定单元90的底板92的表面92a倾斜的倾斜角度(即、夹具12绕X轴相对于加载部300的基准面倾斜的倾斜角度)。若将由距离传感器83Z1测定的测定距离Z1与由距离传感器83Z3测定的测定距离Z3的平均值(即、(Z1+Z3)/2)设为Z13、将连结距离传感器83Z1和距离传感器83Z3的直线与距离传感器83Z2之间的距离设为L3，则角度αy表示为αy＝tan-1[(Z2-Z13)/L3]。此外，在图10的(C)中，省略了距离传感器83X1、83Y1、83Y2和靶板93、94、95等的图示。
在本实施方式的搬送车系统100中，在规定的加载部300中，代替获取以加载部300的基准位置为原点的情况下的夹具12的实际位置(X坐标，Y坐标，Z坐标)、以及角度θ、角度αx及角度αy(以下，也简称为“空中搬送车1的状态”。)，而使用设于图12的(A)和图12的(B)所示的维护架台150的第一载置台151、第二载置台152及一对第三载置台153、153上载置的测定单元80和至少一个被测定单元90而获取空中搬送车1的状态。
接着，详细地说明维护架台150。如图12的(A)所示，维护架台150设于沿轨道20的规定位置。第一载置台151、第二载置台152及一对第三载置台153、153支承于机架154。第一载置台151设于轨道20的下方、且相对于第二载置台152相对低的位置(换言之，用于载置FOUP200的带B的放出量相对大的位置)。
第二载置台152设于轨道20的下方、且相对于第一载置台151相对高的位置(换言之，用于载置FOUP200的带B的放出量相对小的位置)。第二载置台152在从铅垂方向上方观察的俯视时设于与第一载置台151错开的位置(在本实施方式中向后方错开的位置)。第二载置台152设为能够在前后方向上滑动，并设为能够在位于第一载置台151上方的区域的进入位置与未位于第一载置台151上方的区域的退避位置之间移动。在利用第二载置台152获取空中搬送车1的状态的情况下，使第二载置台152移动到进入位置。
一对第三载置台153、153在从上方观察的俯视时以隔着轨道20的方式配置。一对第三载置台153、153设于若不使横向单元4工作、则无法移载FOUP200的位置。一对第三载置台153、153与第二载置台152不同，固定成无法移动。
在如上述这样具有第一载置台151、第二载置台152及一对第三载置台153、153的维护架台150中，能够按第一载置台151、第二载置台152及一对第三载置台153、153获取空中搬送车1的状态。即，在维护架台150中，能够利用第一载置台151获取带B的放出量相对大时的空中搬送车1的状态，能够利用第二载置台152获取带B的放出量相对小时的空中搬送车1的状态，能够利用一对第三载置台153、153获取使横向单元4工作而放出带B时的空中搬送车1的状态。
接着，说明利用维护架台150获取空中搬送车1的状态时的流程。如图13的(A)所示，区域控制器110在规定的定时使空中搬送车1移动至维护架台150。区域控制器110(参照图11)使空中搬送车1按照预先确定的规程(定期地)向维护架台150移动。在维护架台150的第一载置台151上以支承于测定单元80的状态载置有被测定单元90(参照图8)。
如图13的(B)所示，空中搬送车1在停止于第一载置台151的上方的状态下放出带B，使保持单元7下降。空中搬送车1在放出规定量的带B之后，使夹具12工作而把持被测定单元90的凸缘91。之后，卷绕规定量的带B，使支承于测定单元80的状态的被测定单元90与测定单元80分离。载置于第一载置台151的测定单元80以该状态测定距被测定单元90的底板92和靶板93、94、95的距离X1、Y1、Y2、Z1、Z2、Z3。
在由载置于第一载置台151的测定单元80进行测定之后，空中搬送车1在把持着被测定单元90的状态下卷绕带B，使保持单元7移动到比第二载置台152高的高度位置。接着，如图14的(A)所示，使第二载置台152滑动而移动到第一载置台151上方的进入位置。空中搬送车1放出带B，使保持着被测定单元90的保持单元7下降。空中搬送车1放出规定量的带B，使被测定单元90定位成与载置于第二载置台152的测定单元80分离规定量的状态。载置于第二载置台152的测定单元80在该状态下测定距被测定单元90的底板92和靶板93、94、95的距离X1、Y1、Y2、Z1、Z2、Z3。
在由载置于第二载置台152的测定单元80进行测定之后，空中搬送车1在把持着被测定单元90的状态下卷绕带B，接着，使横向单元4工作，使保持单元7移动到一对第三载置台153中的一方第三载置台153的上方。空中搬送车1放出带B，使保持着被测定单元90的保持单元7下降。空中搬送车1放出规定量的带B，使被测定单元90定位成与载置于一对第三载置台153中的一方第三载置台153上的测定单元80分离规定量的状态。载置于一对第三载置台153中的一方第三载置台153上的测定单元80在该状态下测定距被测定单元90的底板92和靶板93、94、95的距离X1、Y1、Y2、Z1、Z2、Z3。
在由载置于一对第三载置台153中的一方第三载置台153上的测定单元80进行测定之后，空中搬送车1在把持着被测定单元90的状态下卷绕带B，使横向单元4工作，此次，使保持单元7移动到一对第三载置台153中的另一方第三载置台153的上方。空中搬送车1放出带B，使保持着被测定单元90的保持单元7下降。空中搬送车1放出规定量的带B，使被测定单元90定位成与载置于一对第三载置台153中的另一方第三载置台153上的测定单元80分离规定量的状态。载置于一对第三载置台153中的另一方第三载置台153上的测定单元80在该状态下测定距被测定单元90的底板92和靶板93、94、95的距离X1、Y1、Y2、Z1、Z2、Z3。
在由载置于一对第三载置台153中的另一方第三载置台153上的测定单元80进行测定之后，空中搬送车1在把持着被测定单元90的状态下卷绕带B，使横向单元4工作，此次，使保持单元7移动到第一载置台151的上方。接着，如图14的(B)所示，第二载置台152移动到从第一载置台151的上方退避的退避位置。此外，第二载置台152向退避位置的移动可以在由载置于第二载置台152的测定单元80进行的测定之后在适时的定时执行。
空中搬送车1在停止于第一载置台151的上方的状态下放出带B，使保持着被测定单元90的保持单元7下降。如图15所示，空中搬送车1在将带B放出到被测定单元90成为支承于第一载置台151上所载置的测定单元80的状态之后，使夹具12工作而释放被测定单元90中的凸缘91的把持。被测定单元90成为支承于第一载置台151上所载置的测定单元80的状态。之后，空中搬送车1卷绕带B直到保持单元7成为能够行驶状态。区域控制器110使空中搬送车1从维护架台150退出。
根据以上的流程，分别载置于对距底板92和靶板93、94、95的距离X1、Y1、Y2、Z1、Z2、Z3进行了测定的第一载置台151、第二载置台152及一对第三载置台153、153上的被测定单元90分别基于所测定出的距离X1、Y1、Y2、Z1、Z2、Z3而计算以各载置台的基准位置为原点的情况下的夹具12的实际位置(X坐标，Y坐标，Z坐标)、角度θ、角度αx及角度αy等信息。这些信息经由设于维护架台150的通信部88向空中搬送车1的通信部9发送。维护架台150的通信部88和空中搬送车1的通信部9能够通过光通信、无线通信等适当手段通信。
搬送车控制器8使经由通信部9所接收到的、以各载置台的基准位置为原点的情况下的夹具12的实际位置(X坐标，Y坐标，Z坐标)、角度θ、角度αx及角度αy等信息存储于存储部8A(参照图11)。即，搬送车控制器8使存储部8A存储(更新)由测定单元80及被测定单元90所获取的最新的空中搬送车1的状态。搬送车控制器8基于存储于该存储部8A中的空中搬送车1的状态而控制直动机构67的动作。
对上述实施方式的搬送车系统100的作用效果进行说明。在这样的搬送车系统100中，在使保持单元7升降之际，基于预先确定的设定值而进行控制，此外，在上述实施方式的搬送车系统100中，基于由测定单元80和被测定单元90所获取的测定结果、即、使保持单元7相对于加载部300等移载部升降了时的认为表示当前的保持单元7的状态的信息，而恰当地修正设定值。由此，不借助人手，就能够针对每个空中搬送车1恰当地调整保持单元7的状态。
在上述实施方式的搬送车系统100中，被测定单元90形成为能够被夹具72把持的单元部件，测定单元80形成为能够载置于维护架台150的各载置台上的单元部件。并且，在空中搬送车1要开始空中搬送车1的状态的获取时，被测定单元90以支承于测定单元80的状态载置于第一载置台151。由此，能够迅速地执行由测定单元80和被测定单元90进行的自动测定。
在上述实施方式的搬送车系统100中，被测定单元90以由夹具12把持的状态使用，测定单元80以载置于维护架台150的各载置台上的状态使用。由此，无需大幅度改变空中搬送车1的结构，就能够执行由测定单元80和被测定单元90进行的自动测定。
在上述实施方式的搬送车系统100中，在加载部300之外，在空中搬送车1的行驶区域设有维护架台150，因此，不使搬送车系统100的运转停止，就能够高效地测定空中搬送车1。
在上述实施方式的搬送车系统100中，具备维护架台150，该维护架台150具备第一载置台151、第二载置台152和第三载置台153，因此，能够分别在相对于空中搬送车1的行驶位置设于相对低的位置的加载部300、设于相对高的位置的加载部300、和使滑动部工作而载置的加载部300中，针对每个空中搬送车1恰当地调整保持单元7的倾斜。
在上述实施方式的搬送车系统100中，空中搬送车1定期地使维护架台150移动，使测定单元80对被测定单元90进行测定，因此，能够进行定期的设定值的调整。
在上述实施方式的空中搬送车1中，能够通过使直动机构67工作而调整保持单元7相对于水平面的倾斜。并且，基于与作为空中搬送车1的状态的保持单元7的倾斜有关的信息(角度αx及角度αy等信息)而自动地调整直动机构67的工作量(引导辊的移动量)，因此，能够将保持单元7调整成所期望的倾斜。即、本实施方式的空中搬送车1不借助人手就能够恰当地调整保持单元7的倾斜。
以上，对一个实施方式进行了说明，但本发明的一个方面并不限于上述实施方式。在不脱离发明的一个方面的主旨的范围内能进行各种改变。
(变形例1)
在上述实施方式的空中搬送车1中，列举通过使空中搬送车1入场至维护架台150来获取空中搬送车1的状态的例子进行了说明，但也可以针对每个构筑搬送车系统100的加载部300获取空中搬送车1的状态。在该结构中，能够针对每个实际载置FOUP200的加载部300将保持单元7调整成最佳的倾斜。
(变形例2)
在上述实施方式及上述变形例的空中搬送车1中，列举如下例子进行了说明：通过保持单元7把持被测定单元90，从而从测定单元80和被测定单元90获取空中搬送车1的状态，但也可以是，通过使把持着测定单元(第一单元部件)80的保持单元7相对于载置于各载置台上的被测定单元(第二单元部件)90分离/接近，从而获取空中搬送车1的状态。在该结构中，在维护架台150的各载置台配置比测定单元80廉价的被测定单元90，因此，能够廉价地构筑维护架台150。
(变形例3)
在上述实施方式及上述变形例的空中搬送车1中，作为使存储部8A存储的空中搬送车1的状态，列举以规定的基准位置为原点的情况下的夹具12的实际位置(X坐标，Y坐标，Z坐标)、角度θ、角度αx及角度αy等信息为例进行了说明，但也可以是基于这样的实际位置(X坐标，Y坐标，Z坐标)、角度θ、角度αx及角度αy等信息而决定的直动机构67的工作量(引导辊的移动量)等的设定值。
(变形例4)
在上述实施方式及上述变形例的一部分中，列举在维护架台150的各载置台配置有形成有作为测定单元80的测定对象的靶板93、94、95的被测定单元90的例子进行了说明，但例如若是加载部300，则也可以代替载置被测定单元90而将在载置FOUP200的部分形成的定位销等用作测定单元80的测定对象，还可以在维护架台150的各载置台直接形成作为测定对象的靶。
(其他变形例)
在上述实施方式的空中搬送车1中，也可以代替具有为了使带B的一端在升降方向上移动而使至少一个第二导辊65B的位置移动的功能的直动机构67，而设置具有同样的功能的凸轮机构(位置调整部)。
在上述实施方式的空中搬送车1中，列举通过使至少一个第二导辊65B的位置移动而使带B的一端在升降方向上移动的例子进行了说明，但也可以设为如下结构，通过代替第二导辊65B而使第一导辊65A的位置移动，从而使带B的一端在升降方向上移动。
在上述实施方式及变形例中，列举采用滚珠丝杆作为直动机构67的例子进行了说明，但也可以采用工作缸、线性导轨等。
上述实施方式和变形例的保持单元7列举借助第一缓冲机构50及第二缓冲机构40与带B的一端连接的例子进行了说明，但也可以与保持单元7直接连接。另外，四根带B也可以直接与保持单元7连接。另外，也可以利用三根带B与保持单元7连接。
在上述实施方式和变形例中，列举在空中搬送车1与测定单元80之间借助通信部直接交换信息的例子进行了说明，但也可以借助区域控制器110交换各种信息。
也可以是，在上述实施方式和上述变形例的测定单元80的结构的基础上，还具备电池和通信部，使用它们一体地构成的测定单元。
附图标记说明
1：空中搬送车，7：保持单元，8：搬送车控制器(控制部)，61：基座(主体部)，64：第三导辊(引导辊)，65A：第一导辊(引导辊)，65B：第二导辊(引导辊)，67：直动机构(位置调整部)，80：测定单元(测定部)，82：单元控制器，83X1、83Y1、83Y2、83Z1、83Z2、83Z3：距离传感器，88：通信部，90：被测定单元(被测定部)，93、94、95：靶板，100：搬送车系统，110：区域控制器。

Claims (20)

1.一种搬送车系统，其具备空中搬送车，所述空中搬送车利用多个吊持部件使具有把持物品的把持部的升降部升降，其中，
所述搬送车系统具备：
测定部，该测定部对测定对象部位进行测定；
被测定部，该被测定部形成有所述测定对象部位；和
控制部，该控制部按照预先确定的设定值使所述升降部升降，
所述控制部根据由所述把持部把持的所述测定部及所述被测定部中的一方和形成于或载置于规定位置的所述测定部及形成于或载置于规定位置的所述被测定部中的另一方对所述升降部进行升降控制，以使得所述测定部能够测定所述被测定部，并且，所述控制部基于所述测定部测定所述被测定部而得到的结果来修正所述设定值。
2.根据权利要求1所述的搬送车系统，其中，
所述测定部及所述被测定部中的一方形成为能够被所述把持部把持的第一单元部件，
所述测定部及所述被测定部中的另一方形成为能够载置于所述规定位置的第二单元部件，
所述第一单元部件及所述第二单元部件中的一方在支承于所述第一单元部件及所述第二单元部件中的另一方的状态下载置于所述规定位置。
3.根据权利要求1或2所述的搬送车系统，其中，
所述搬送车系统还具备通信部，所述通信部向设于所述空中搬送车的控制装置发送所述测定部测定所述被测定部而得到的结果，
所述被测定部以由所述把持部把持的状态使用，所述测定部以载置于所述规定位置的状态使用。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的搬送车系统，其中，
所述搬送车系统还具备维护架台，所述维护架台设于所述空中搬送车的行驶区域，形成有成为所述规定位置的载置台。
5.根据权利要求4所述的搬送车系统，其中，
所述空中搬送车具有：主体部；所述升降部，该升降部以通过卷绕及放出所述多个吊持部件而能够相对于所述主体部升降的方式设置；和滑动部，该滑动部使所述升降部在与所述空中搬送车的搬送方向及铅垂方向这两方正交的方向上移动，
所述维护架台具备：第一载置台，该第一载置台设于通过不使所述滑动部工作而使所述升降部下降从而能够载置所述物品的位置；第二载置台，该第二载置台设于所述第一载置台的铅垂方向上的上方，并且以能够从所述第一载置台的铅垂方向上的上方区域向水平方向退避的方式设置；和第三载置台，该第三载置台设于通过至少使所述滑动部工作而能够载置所述物品的位置。
6.根据权利要求4或5所述的搬送车系统，其中，
所述控制部使所述空中搬送车定期地向所述维护架台移动，使所述测定部测定所述被测定部。
7.根据权利要求1至3中任一项所述的搬送车系统，其中，
所述设定值针对每个所述物品的载置部设定，
所述测定部及所述被测定部中的一方以由所述把持部把持的状态使用，
所述测定部及所述被测定部中的另一方以形成于作为测定对象的所述载置部的状态使用，或者以载置于作为测定对象的所述载置部的状态使用。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的搬送车系统，其中，
所述空中搬送车具备：
卷绕筒，该卷绕筒通过进行所述多个吊持部件的卷绕及放出而使所述升降部升降；
至少一个引导辊，该至少一个引导辊供从所述卷绕筒放出的所述吊持部件卷挂；
主体部，该主体部支承所述卷绕筒及所述引导辊；
至少一个位置调整部，该至少一个位置调整部通过使所述引导辊相对于所述主体部的相对位置移动，从而使所述吊持部件的相对于所述升降部连接的连接部分在升降方向上移动；和
控制装置，该控制装置基于与所述升降部的倾斜有关的信息而控制由所述位置调整部进行的所述引导辊的移动，
所述设定值包含与所述倾斜有关的信息。
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