KR102580660B1 - 비히클 및 비히클의 수평도 조절 방법 - Google Patents

비히클 및 비히클의 수평도 조절 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명에 따른 비히클은, 카세트를 파지하여 고정시키기 위한 핸드 유닛과, 천장의 주행 레일을 따라 제1 수평 방향으로 주행하는 주행 유닛과, 상기 핸드 유닛과 연결된 벨트들을 구비하고 상기 벨트들을 권취하거나 권출하여 상기 핸드 유닛을 승강시키는 호이스트 유닛과, 상기 주행 유닛의 하부에 장착되며 상기 제1 수평 방향과 직교하는 제2 수평 방향으로 상기 호이스트 유닛을 이동시키기 위한 슬라이드 유닛과, 상기 핸드 유닛의 수평도를 조절하는 수평도 조절 유닛을 포함한다. 상기 수평도 조절 유닛은, 상기 핸드 유닛에 구비되며 상기 핸드 유닛의 수평도를 감지하는 감지부와, 상기 호이스트 유닛에 구비되며 상기 벨트들을 승강시켜 상기 벨트들의 높이를 조절하는 제1 조절부와, 상기 핸드 유닛에 구비되며 상기 벨트들을 수평 이동시켜 상기 벨트들의 높이를 조절하는 제2 조절부와, 상기 감지부의 감지 결과에 따라 상기 핸드 유닛이 수평 상태를 유지하도록 상기 제1 조절부 및 제2 조절부를 제어하는 제어부를 포함한다.

Description

비히클 및 비히클의 수평도 조절 방법{Vehicle and method of controlling a level of a vehicle}
본 발명은 비히클 및 비히클의 수평도 조절 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 카세트를 고정하는 핸드 유닛의 수평도를 조절하기 위한 비히클 및 상기 비히클의 수평도 조절 방법에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위한 반도체 공정 장치들은 연속적으로 배치되어 반도체 기판에 대해 다양한 공정을 수행한다. 상기 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물을 카세트에 수납된 상태로 각 반도체 공정 장치로 제공되거나 상기 카세트를 이용하여 상기 각 반도체 공정 장치로부터 회수될 수 있다.
상기 카세트는 OHT(Overhead Hoist Transport)에 의해 이송된다. 상기 OHT는 상기 반도체 공정 장치들이 구비된 공간의 천장을 따라 구비되는 주행 레일 및 상기 카세트를 파지하며 상기 주행 레일을 따라 주행하는 비히클을 포함한다.
상기 비히클은 상기 카세트를 고정하는 핸드 유닛 및 상기 핸드 유닛을 승강시키기 위한 호이스트 유닛을 포함한다.
상기 호이스트 유닛은 다수의 벨트들로 상기 핸드 유닛을 고정하고, 상기 벨트들을 권취하거나 권출하여 상기 핸드 유닛을 승강시킨다.
그러나, 상기 주행 레일의 설치 상태, 상기 비히클로부터 슬라이딩되는 상기 호이스트 유닛의 처짐 정도, 상기 벨트들의 상태, 상기 카세트의 무게 등에 따라 상기 핸드 유닛의 수평을 유지하지 못하고 기울어질 수 있다.
상기 핸드 유닛이 기울어지면, 상기 핸드 유닛이 승강하면서 수평 방향으로 흔들리면서 주변 구조물과 충돌할 수 있다. 상기 핸드 유닛이 상기 주변 구조물과 충동하는 것을 방지하기 위해 작업자가 수작업으로 상기 핸드 유닛의 수평도를 조절한다. 따라서, 작업자마다 수평도에 대한 기준이 다르므로, 상기 핸드 유닛의 수평도에 일정하게 조절되기 어렵다. 또한, 상기 수평도 조절에 많은 시간이 소요될 수 있다.
본 발명은 핸드 유닛의 수평도를 정확하고 신속하게 조절할 수 있는 비히클을 제공한다.
본 발명은 핸드 유닛의 수평도를 정확하고 신속하게 조절할 수 있는 비히클의 수평도 조절 방법을 제공한다.
본 발명에 따른 비히클은, 카세트를 파지하여 고정시키기 위한 핸드 유닛과, 천장의 주행 레일을 따라 제1 수평 방향으로 주행하는 주행 유닛과, 상기 핸드 유닛과 연결된 벨트들을 구비하고 상기 벨트들을 권취하거나 권출하여 상기 핸드 유닛을 승강시키는 호이스트 유닛과, 상기 주행 유닛의 하부에 장착되며 상기 제1 수평 방향과 직교하는 제2 수평 방향으로 상기 호이스트 유닛을 이동시키기 위한 슬라이드 유닛과, 상기 핸드 유닛의 수평도를 조절하는 수평도 조절 유닛을 포함할 수 있다.
상기 수평도 조절 유닛은, 상기 핸드 유닛에 구비되며 상기 핸드 유닛의 수평도를 감지하는 감지부와, 상기 호이스트 유닛에 구비되며 상기 벨트들을 승강시켜 상기 벨트들의 높이를 조절하는 제1 조절부와, 상기 핸드 유닛에 구비되며 상기 벨트들을 수평 이동시켜 상기 벨트들의 높이를 조절하는 제2 조절부와, 상기 감지부의 감지 결과에 따라 상기 핸드 유닛이 수평 상태를 유지하도록 상기 제1 조절부 및 제2 조절부를 제어하는 제어부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제1 조절부는 상기 호이스트 유닛에 구비되어 상기 벨트들을 권취하거나 권출할 때 상기 벨트를 가이드하는 제1 가이드 롤러를 승강시키며, 상기 제2 조절부는 상기 핸드 유닛에 구비되어 상기 벨트들을 권취하거나 권출할 때 상기 벨트를 가이드하는 제2 가이드 롤러를 수평 이동시킬 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제1 조절부는, 상기 제1 가이드 롤러를 지지하며 하부면에 제1 경사면을 갖는 상부 웨지와, 상기 상부 웨지의 하부에 구비되며, 상부면에 상기 제1 경사면과 접촉하는 제2 경사면을 갖는 하부 웨지와, 상기 제1 가이드 롤러를 승강시키기 위해 상기 상부 웨지가 상기 제2 경사면을 따라 이동하도록 상기 하부 웨지를 수평 방향으로 이동시키는 제1 구동부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제2 조절부는, 상기 제2 가이드 롤러를 수평 방향으로 이동시키는 제2 구동부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 비히클은, 상기 핸드 유닛에 구비되며, 상기 핸드 유닛의 무게 중심을 조절하는 제3 조절부를 더 포함하고, 상기 제어부는 상기 감지부의 감지 결과에 따라 상기 핸드 유닛이 수평 상태를 유지하도록 상기 제3 조절부를 추가로 제어할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 제3 조절부는, 상기 핸드 유닛의 상부면에 구비되는 적어도 하나의 질량체 및 상기 카세트를 고정한 상기 핸드 유닛의 기울어짐을 보상하기 위해 상기 질량체를 수평 방향으로 이동 및 회전시키는 제3 구동부를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 비히클의 수평도 조절 방법은, 비히클에서 핸드 유닛의 카세트 고정 여부를 확인하는 단계와, 상기 핸드 유닛이 상기 카세트를 고정하고 있지 않는 경우, 상기 핸드 유닛의 승강시 흔들림을 방지하기 위해 상기 핸드 유닛의 수평도를 조절하는 단계 및 상기 핸드 유닛이 상기 카세트를 고정하고 있는 경우, 상기 핸드 유닛의 승강시 흔들림을 방지하기 위해 상기 카세트의 무게를 고려하여 상기 카세트를 고정한 상기 핸드 유닛의 수평도를 조절하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 핸드 유닛의 수평도를 조절하는 단계는, 상기 핸드 유닛의 수평도를 감지하는 단계 및 상기 핸드 유닛이 수평 상태를 유지하도록 상기 핸드 유닛을 승강시키는 벨트들의 높이를 개별적으로 조절하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 벨트들의 높이를 조절하는 단계는, 상기 벨트들을 지지하는 제1 가이드 롤러를 승강시켜 상기 벨트들의 높이를 일차로 조절하는 단계 및 상기 벨트들을 지지하는 제2 가이드 롤러를 수평 이동시켜 상기 벨트들의 높이를 이차로 조절하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 카세트를 고정한 상기 핸드 유닛의 수평도를 조절하는 단계는, 상기 핸드 유닛의 수평도를 감지하는 단계와, 상기 핸드 유닛에 구비된 질량체의 위치를 변경하여 상기 핸드 유닛의 무게 중심을 조절하는 단계 및 상기 핸드 유닛이 수평 상태를 유지하도록 상기 핸드 유닛을 승강시키는 벨트들의 높이를 개별적으로 조절하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 벨트들의 높이를 조절하는 단계는, 상기 벨트들을 지지하는 제1 가이드 롤러를 승강시켜 상기 벨트들의 높이를 일차로 조절하는 단계 및 상기 벨트들을 지지하는 제2 가이드 롤러를 수평 이동시켜 상기 벨트들의 높이를 이차로 조절하는 단계를 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 비히클은 상기 핸드 유닛의 수평도를 감지하고, 상기 감지 결과에 따라 상기 호이스트 유닛의 벨트 높이를 조절하거나, 상기 핸드 유닛에 구비된 질량체의 위치를 조절함으로써 상기 핸드 유닛의 수평도를 조절할 수 있다. 상기 핸드 유닛의 수평도 조절이 자동으로 이루어지므로, 상기 핸드 유닛의 수평도를 균일하게 조절할 수 있고, 상기 핸드 유닛의 수평도를 신속하게 조절할 수 있다.
본 발명에 따른 비히클의 수평도 조절 방법은 상기 핸드 유닛이 카세트를 고정하고 있지 않은 경우, 상기 호이스트 유닛의 벨트 높이를 조절하여 상기 핸드 유닛의 수평도를 조절한다. 상기 핸드 유닛이 카세트를 고정하는 경우, 상기 핸드 유닛에 구비된 질량체의 위치를 조절하고 상기 호이스트 유닛의 벨트 높이를 조절하여 상기 핸드 유닛의 수평도를 조절할 수 있다. 따라서, 상기 핸드 유닛이 기울어진 상태로 상기 카세트를 로딩 및 언로딩하는 것을 방지할 수 있다. 그러므로, 상기 비히클은 상기 카세트를 안정적으로 로딩 및 언로딩할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 비히클을 설명하기 위한 측면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 연결 유닛을 설명하기 위한 측단면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 호이스트 유닛, 핸드 유닛 및 수평도 조절 유닛을 설명하기 위한 측면도이다.
도 4는 도 3에 도시된 제1 조절부의 동작을 설명하기 위한 측면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 비히클의 수평도 조절 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
도 6은 도 5에 도시된 벨트들의 길이 조절 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 비히클을 설명하기 위한 측면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 연결 유닛을 설명하기 위한 측단면도이고, 도 3은 도 1에 도시된 호이스트 유닛, 핸드 유닛 및 수평도 조절 유닛을 설명하기 위한 측면도이고, 도 4는 도 3에 도시된 제1 조절부의 동작을 설명하기 위한 측면도이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 상기 비히클(100)은 천장에 구비된 주행 레일(10)을 따라 카세트(20)를 이송하기 위한 것으로, 주행 유닛(110), 프레임 유닛(120), 슬라이드 유닛(130), 호이스트 유닛(140), 핸드 유닛(150), 연결 유닛(160) 및 수평도 조절 유닛(170)을 포함한다.
상기 주행 유닛(110)은 상기 비히클(100)을 상기 주행 레일(10)을 따라 이동시킨다. 상기 주행 유닛(110)의 양 측면에 주행 롤러(112)가 구비된다. 상기 주행 롤러(112)는 별도의 구동부에 의해 회전한다. 따라서, 상기 비히클(100)이 상기 주행 레일(10)을 따라 주행한다. 예를 들면, 상기 비히클(100)은 X축 방향을 따라 이동할 수 있다.
한편, 상기 주행 유닛(110)은 상부면에 조향 롤러(미도시)를 구비한다. 상기 조향 롤러는 상기 주행 레일(10)의 상방에 구비되는 조향 레일(미도시)과 선택적으로 접촉할 수 있다. 상기 주행 레일(10)의 분기 지점에서 상기 비히클(100)의 주행 방향을 조절할 수 있다.
상기 프레임 유닛(120)은 상기 주행 유닛(110)이 하부면에 고정된다. 상기 프레임 유닛(120)은 상기 카세트(20)를 수용하기 위해 내부가 빈 형태를 갖는다. 또한, 상기 카세트(20)가 Y축 방향 및 Z축 방향을 따라 이동할 수 있도록 상기 프레임 유닛(120)은 하부면과 상기 Y축 방향 일측면이 개방될 수 있다.
상기 슬라이드 유닛(130)은 상기 프레임 유닛(120)의 내측 상부면에 구비된다. 상기 슬라이드 유닛(130)은 상기 호이스트 유닛(140)을 상기 Y축 방향으로 수평 이동시킬 수 있다. 이때, 상기 호이스트 유닛(140)은 상기 프레임 유닛(120)의 개방된 일측면을 통해 수평 이동할 수 있다.
상기 호이스트 유닛(140)은 상기 슬라이드 유닛(130)의 하부면에 상기 Y축 방향으로 수평 이동 가능하도록 구비된다.
상기 호이스트 유닛(140)은 상기 핸드 유닛(150)을 고정하여 상기 Z축 방향을 따라 승강시킬 수 있다. 예를 들면, 상기 호이스트 유닛(140)은 다수의 벨트(142)들로 상기 핸드 유닛(150)을 고정한다. 상기 호이스트 유닛(140)은 상기 벨트(142)들을 권취하거나 권출하여 상기 핸드 유닛(150)을 승강시킬 수 있다.
구체적으로, 플레이트(144)는 평판 형태를 가지며, 상기 슬라이드 유닛(130)의 하부면에 상기 Y축 방향으로 이동 가능하도록 결합된다.
권취 드럼(146)은 상기 플레이트(144)의 상부면에 구비되며, 상기 벨트(142)를 권취한다. 상기 권취 드럼(146)은 구동 모터(미도시)와 연결되며, 상기 구동 모터에 의해 회전하면서 상기 벨트(142)를 권취하거나 권출할 수 있다.
제1 가이드 롤러(148)는 상기 플레이트(144)의 상부면에 구비되며, 상기 벨트(142)가 상기 권취 드럼(146)에 권취되거나 권출될 때 상기 벨트(142)를 가이드한다.
제2 가이드 롤러(149)는 상기 핸드 유닛(150)의 상부면에 구비되며, 상기 벨트(142)가 승강할 때 상기 벨트(142)의 측면을 가이드한다.
상기 권취 드럼(146) 및 상기 제1 가이드 롤러(148)는 상기 플레이트(144)의 상부면에 구비되는 축 지지부재에 각각 회전 가능하게 지지될 수 있고, 상기 제2 가이드 롤러(148)는 상기 핸드 유닛(154)의 상부면에 구비되는 축 지지부재에 회전 가능하게 지지될 수 있다.
상기 벨트(142), 상기 권취 드럼(146), 상기 구동 모터, 상기 제1 가이드 롤러(148), 상기 제2 가이드 롤러(149) 등이 하나의 세트를 형성하고, 상기 세트가 상기 플레이트(144)의 상부면 및 상기 핸드 유닛(150)의 상부면에 복수로 구비될 수 있다.
상기 핸드 유닛(150)은 상기 벨트(142)의 단부에 고정되며, 상기 카세트(20)를 고정한다.
상기 핸드 유닛(150)은 상기 슬라이드 유닛(130)에 의해 상기 호이스트 유닛(140)과 같이 상기 수평 방향으로 이동하며, 상기 호이스트 유닛(140)에 의해 승강할 수 있다.
상기 핸드 유닛(150)은 상기 카세트(20)를 고정하기 위한 로봇 암(미도시)을 구비한다. 상기 로봇 암(미도시)의 동작 상태를 통해 상기 핸드 유닛(150)이 상기 카세트(20)를 고정하고 있는지 여부를 확인할 수 있다.
한편, 상기 핸드 유닛(150)의 하부면에 상기 카세트(20)를 감지하기 위한 별도의 센서(미도시)를 구비할 수 있다. 상기 센서를 이용하여 상기 핸드 유닛(150)이 상기 카세트(20)를 고정하고 있는지 여부를 확인할 수도 있다.
상기 연결 유닛(160)은 상기 슬라이드 유닛(130)과 상기 호이스트 유닛(140) 사이에 구비되며, 상기 호이스트 유닛(140)을 상기 슬라이드 유닛(130)에 대해 상기 Y축 방향으로 이동 가능하도록 연결한다.
상기 호이스트 유닛(140)이 상기 Y축 방향으로 안정적으로 이동하도록 상기 연결 유닛(160)은 한 쌍이 구비될 수 있다. 이때, 상기 한 쌍의 연결 유닛(160)은 서로 평행하도록 배치될 수 있다.
상기 연결 유닛(160)은 가이드 레일(161), 이동 블록(162), 제1 고정 브래킷(163), 제2 고정 브래킷(164), 제1 나사(165) 및 제2 나사(166)를 포함할 수 있다.
상기 가이드 레일(161)은 상기 슬라이드 유닛(130)과 상기 호이스트 유닛(140) 사이에 구비되며, 상기 Y축 방향을 따라 배치된다.
상기 이동 블록(162)은 상기 가이드 레일(161)의 일측면에 상기 Y축 방향을 따라 이동 가능하도록 구비된다. 따라서, 상기 이동 블록(162)은 상기 가이드 레일(161)을 따라 상기 Y축 방향으로 이동할 수 있다.
예를 들면, 상기 가이드 레일(161) 및 상기 이동 블록(162)은 LM 가이드일 수 있다.
상기 제1 고정 브래킷(163)은 상기 슬라이드 유닛(130)의 하부면에 고정된다. 상세하게 도시되지는 않았지만, 상기 제1 고정 브래킷(163)은 상기 슬라이드 유닛(130)과 나사(미도시)에 의해 고정될 수 있다.
또한, 상기 제1 고정 브래킷(163)은 상기 가이드 레일(161)의 상기 제1 측면과 반대되는 제2 측면에 결합될 수 있다. 상기 제1 고정 브래킷(163)과 상기 가이드 레일(161)은 상기 제1 나사(165)에 의해 결합될 수 있다.
구체적으로, 상기 제1 나사(165)는 상기 제1 고정 브래킷(163)을 관통하여 상기 가이드 레일(161)과 체결된다. 따라서, 상기 제1 고정 브래킷(163)과 상기 가이드 레일(161)이 안정적으로 결합될 수 있다.
상기 제1 고정 브래킷(163)은 제1 홈(163a)을 갖는다. 상기 제1 홈(163a)은 상기 제1 고정 브래킷(163)에서 상기 가이드 레일(161)과 마주보는 측면에 구비된다. 상기 제1 홈(163a)은 상기 Y축 방향을 따라 연장할 수 있다. 상기 제1 홈(163a)의 상기 Z축 방향 폭은 상기 가이드 레일(161)의 상기 Z축 방향의 폭과 같거나 약간 클 수 있다. 따라서, 상기 가이드 레일(161)이 상기 제1 홈(163a)에 삽입될 수 있다.
상기 제1 고정 브래킷(163)과 상기 가이드 레일(161)이 결합될 때, 상기 제1 홈(163a)은 상기 가이드 레일(161)의 결합 위치를 안내할 수 있다. 따라서, 상기 제1 고정 브래킷(163)과 상기 가이드 레일(161)을 정확하게 결합할 수 있다.
상기 가이드 레일(161)이 상기 제1 홈(163a)에 삽입되면, 상기 제1 고정 브래킷(163)이 상기 가이드 레일(161)의 하부면을 지지할 수 있다. 따라서, 상기 제1 고정 브래킷(163)은 상기 가이드 레일(161)이 하방으로 이동하거나 처지는 것을 방지할 수 있으며, 상기 제1 고정 브래킷(163)과 상기 가이드 레일(161)의 결합 상태를 안정적으로 유지할 수 있다.
상기 제2 고정 브래킷(164)은 상기 호이스트 유닛(140)의 상부면, 구체적으로 상기 플레이트(144)의 상부면에 고정된다. 상세하게 도시되지는 않았지만, 상기 제2 고정 브래킷(164)은 상기 호이스트 유닛(140)과 나사(미도시)에 의해 고정될 수 있다.
또한, 상기 제2 고정 브래킷(164)은 상기 이동 블록(162)과 결합된다. 구체적으로, 상기 이동 블록(162)은 상기 가이드 레일(161)의 상기 제1 측면과 결합되는 제3 측면 및 상기 제3 측면과 반대되는 제4 측면을 갖는다. 상기 제2 고정 브래킷(164)은 상기 제4 측면에 결합될 수 있다.
그러므로, 상기 연결 부재(160)는 상기 X축 방향으로 따라 상기 제1 고정 브래킷(163), 상기 가이드 레일(161), 상기 이동 블록(162), 상기 제2 고정 브래킷(164)의 순이나 이들의 역순으로 결합될 수 있다.
상기 제2 고정 브래킷(164)과 상기 이동 블록(162)은 상기 제2 나사(166)에 의해 결합될 수 있다.
구체적으로, 상기 제2 나사(166)는 상기 제2 고정 브래킷(164)을 관통하여 상기 이동 블록(162)과 체결된다. 따라서, 상기 제2 고정 브래킷(164)과 상기 이동 블록(162)이 안정적으로 결합될 수 있다.
상기 제2 고정 브래킷(164)은 제2 홈(164a)을 갖는다. 상기 제2 홈(164a)은 상기 제2 고정 브래킷(164)에서 상기 이동 블록(162)과 마주보는 측면에 구비된다. 상기 제2 홈(164a)은 상기 Y축 방향을 따라 연장할 수 있다. 상기 제2 홈(164a)의 상기 Z축 방향 폭은 상기 이동 블록(162)의 상기 Z축 방향의 폭과 같거나 약간 클 수 있다. 따라서, 상기 이동 블록(162)이 상기 제2 홈(164a)에 용이하게 삽입될 수 있다.
상기 제2 고정 브래킷(164)과 상기 이동 블록(162)이 결합될 때, 상기 제2 홈(164a)은 상기 이동 블록(162)의 결합 위치를 안내할 수 있다. 따라서, 상기 제2 고정 브래킷(164)과 상기 이동 블록(162)을 정확하게 결합할 수 있다.
상기 이동 블록(162)이 상기 제2 홈(164a)에 삽입되면, 상기 제2 고정 브래킷(164)이 상기 이동 블록(162)의 하부면을 지지할 수 있다. 따라서, 상기 제2 고정 브래킷(164)은 상기 이동 블록(162)이 하방으로 이동하거나 처지는 것을 방지할 수 있으며, 상기 제2 고정 브래킷(164)과 상기 이동 블록(162)의 결합 상태를 안정적으로 유지할 수 있다.
상기 제1 고정 브래킷(163)에 의해 상기 가이드 레일(161)이 상기 슬라이드 유닛(130)에 고정되고, 상기 제2 고정 브래킷(164)에 의해 상기 이동 블록(162)이 상기 호이스트 유닛(140)에 고정된다. 또한, 상기 이동 블록(162)이 상기 가이드 레일(161)을 따라 상기 Y축 방향을 따라 이동한다. 그러므로, 상기 연결 유닛(160)에 의해 상기 호이스트 유닛(140)이 상기 슬라이드 유닛(130)에 대해 상기 Y축 방향을 따라 안정적으로 수평 이동할 수 있다.
상기 연결 유닛(160)이 서로 평행하도록 한 쌍 구비되는 경우, 상기 제2 고정 브래킷(164)이 상기 X축 방향의 외측의 향하도록 배치될 수 있다. 이때, 상기 제1 고정 브래킷(163)은 서로 마주보도록 배치된다. 따라서, 상기 제2 고정 브래킷(164)과 상기 이동 블록(162)을 체결하는 상기 제2 나사(166)가 외부로 노출될 수 있다.
상기 노출된 제2 나사(166)를 분리 및 조립함으로써 상기 슬라이드 유닛(130)과 상기 호이스트 유닛(140)을 분리하거나 조립할 수 있다. 또한, 상기 슬라이드 유닛(130)과 상기 호이스트 유닛(140)을 분리하거나 조립하기 위해 상기 호이스트 유닛(140)을 분리할 필요가 없다. 그러므로, 상기 슬라이드 유닛(130)과 상기 호이스트 유닛(140)의 분리와 결합이 단순하면서도 신속하게 이루어질 수 있다.
한편, 상기 연결 유닛(160)이 서로 평행하도록 한 쌍 구비되는 경우, 상기 제1 고정 브래킷(163)이 상기 X축 방향의 외측의 향하도록 배치될 수 있다. 이때, 상기 제2 고정 브래킷(164)은 서로 마주보도록 배치된다. 따라서, 상기 제1 고정 브래킷(163)과 상기 가이드 레일(161)을 체결하는 상기 제1 나사(165)가 외부로 노출될 수 있다.
상기 노출된 제1 나사(165)를 분리 및 조립함으로써 상기 슬라이드 유닛(130)과 상기 호이스트 유닛(140)을 분리하거나 조립할 수 있다. 또한, 상기 슬라이드 유닛(130)과 상기 호이스트 유닛(140)을 분리하거나 조립하기 위해 상기 호이스트 유닛(140)을 분리할 필요가 없다. 그러므로, 상기 슬라이드 유닛(130)과 상기 호이스트 유닛(140)의 분리와 결합이 단순하면서도 신속하게 이루어질 수 있다.
상기 수평도 조절 유닛(170)은 상기 핸드 유닛(150)의 수평도를 조절한다. 상기 수평도 조절 유닛(170)은 감지부(171), 제1 조절부(172), 제2 조절부(173), 제3 조절부(174) 및 제어부(175)를 포함한다.
상기 감지부(171)는 상기 핸드 유닛(150)에 구비되며, 상기 벨트(142)들에 의해 고정된 상기 핸드 유닛(150)의 수평도를 감지한다.
구체적으로, 상기 감지부(171)는 상기 핸드 유닛(150)의 상부면 네 변의 중앙 부위 또는 네 모서리 부위에 각각 구비되거나, 상기 핸드 유닛(150)의 상부면 중앙 부위에 하나가 구비되거나, 상기 핸드 유닛(150)의 상부면 중앙 부위 및 상기 상부면 네 변의 중앙 부위 또는 네 모서리 부위에 각각 구비될 수 있다.
상기 감지부(171)의 예로는 기울기 센서를 들 수 있다.
상기 제1 조절부(172)는 상기 호이스트 유닛(140)에 구비되며, 상기 벨트(142)들의 높이를 조절한다.
구체적으로, 상기 제1 조절부(172)는 상기 플레이트(144)의 상부면에 구비되며, 상기 제1 가이드 롤러(148)를 승강시켜 상기 벨트(142)의 높이를 조절한다.
상기 제1 조절부(172)는 상부 웨지(172a), 하부 웨지(172b) 및 제1 구동부(172c)를 포함할 수 있다.
상기 상부 웨지(172a)는 상기 제1 가이드 롤러(148)를 지지한다. 예를 들면, 상기 상부 웨지(172a)는 상기 제1 가이드 롤러(148)를 지지하는 상기 축 지지부재의 하부면에 구비될 수 있다.
상기 상부 웨지(172a)는 하부면에 제1 경사면을 갖는다.
상기 하부 웨지(172b)는 상기 상부 웨지(172a)와 상기 플레이트(144) 사이에 구비되며, 상기 웨지(173)를 지지한다.
상기 하부 웨지(172b)는 상부면에 제2 경사면을 갖는다. 상기 제2 경사면은 상기 제1 경사면과 접촉한다. 이때, 상기 제1 경사면과 상기 제2 경사면은 실질적으로 동일한 경사를 갖는다.
상기 제1 구동부(172c)는 상기 플레이트(144)의 상부면에 구비되어 상기 하부 웨지(172b)는 수평 방향으로 이동시킨다. 상기 제1 구동부(172c)의 예로는 볼 스크류, 리니어 모터, 실린더 등을 들 수 있다.
상기 하부 웨지(172b)가 상기 수평 방향으로 이동함에 따라 상기 상부 웨지(172a)가 상기 제2 경사면을 따라 이동하면서 승강할 수 있다. 상기 상부 웨지(172a)가 승강함에 따라 상기 제1 가이드 롤러(148) 및 상기 제1 가이드 롤러(148)에 의해 가이드되는 상기 벨트(142)도 승강할 수 있다. 그러므로, 상기 벨트(142)의 높이를 조절할 수 있다.
한편, 상기 제1 조절부(172)는 상기 상부 웨지(172a) 및 상기 하부 웨지(172b)를 구비하지 않으며, 상기 제1 구동부(172c)가 상기 제1 가이드 롤러(148)를 직접 승강시킬 수도 있다.
또한, 상기 제1 가이드 롤러(148)가 상기 벨트들(142)에 각각 구비되는 경우, 상기 제1 조절부(172)는 상기 제1 가이드 롤러(148)에 각각 구비될 수 있다. 따라서, 상기 제1 조절부(172)는 상기 벨트(142)들의 높이를 개별적으로 조절할 수 있다.
상기 제2 조절부(173)는 상기 핸드 유닛(150)에 구비되며, 상기 벨트(142)들의 높이를 조절한다. 구체적으로, 상기 제2 조절부(173)는 상기 핸드 유닛(150)의 상부면에 구비되며, 상기 제2 가이드 롤러(149)를 수평 이동시켜 상기 벨트(142)의 높이를 조절한다.
상기 제2 조절부(173)는 제2 구동부(173)를 포함할 수 있다.
상기 제2 구동부(173)는 상기 제2 가이드 롤러(149)를 수평 이동시킬 수 있다. 상기 제2 가이드 롤러(149)가 수평 이동함에 따라 상기 제2 가이드 롤러(149)에 의해 가이드되는 상기 벨트(142)도 수평 이동한다. 상기 벨트(142)가 상기 제2 가이드 롤러(149)에 의해 꺾이므로, 상기 벨트(142)의 높이를 조절할 수 있다.
상기 제2 조절부(173)에 의해 조절되는 상기 벨트(142)의 높이 폭이 상기 제1 조절부(172)에 의해 조절되는 상기 벨트(142)의 높이 폭보다 상대적으로 적다. 따라서, 상기 제2 조절부(173)는 상기 벨트(142)의 높이를 미세하게 조절할 수 있다.
또한, 상기 제2 가이드 롤러(149)가 상기 벨트들(142)에 각각 구비되는 경우, 상기 제2 조절부(173)는 상기 제2 가이드 롤러(149)에 각각 구비될 수 있다. 따라서, 상기 제2 조절부(173)는 상기 벨트(142)들의 높이를 개별적으로 조절할 수 있다.
상기 제1 조절부(172) 및 상기 제2 조절부(173)는 상기 핸드 유닛(150)이 정지한 상태에서 상기 벨트(142)들의 높이를 조절할 수 있다. 즉, 상기 벨트(142)가 권취되거나 권출되지 않는 상태에서 상기 벨트(142)의 높이가 조절될 수 있다.
또한, 상기 제1 조절부(172) 및 상기 제2 조절부(173)는 상기 핸드 유닛(150)이 승강하는 상태에서 상기 벨트(142)들의 높이를 조절할 수도 있다. 즉, 상기 벨트(142)가 권취되거나 권출되는 동안에 상기 벨트(142)의 높이가 조절될 수 있다.
상기 제3 조절부(174)는 상기 핸드 유닛(150)에 구비되며, 상기 핸드 유닛(150)의 무게 중심을 조절한다.
상기 제3 조절부(174)는 질량체(174a) 및 제3 구동부(174b)를 포함할 수 있다.
상기 질량체(174a)는 상기 핸드 유닛(150)의 상부면에 구비된다. 상기 질량체(174a)는 단수 혹은 복수로 구비되며, 상기 X축 방향 및 상기 Y축 방향을 따라 수평 이동 가능하도록 구비되거나, 상기 수평 방향을 따라 회전 가능하도록 구비될 수 있다.
상기 제3 구동부(174b)는 상기 질량체를 상기 X축 방향 및 상기 Y축 방향을 따라 수평 이동시키거나, 상기 수평 방향을 따라 회전시킬 수 있다. 상기 질량체의 위치를 변경함으로써 상기 핸드 유닛(150)의 무게 중심을 조절할 수 있다.
상기 질량체(174a)가 복수로 구비되는 경우, 상기 제3 구동부(174b)는 상기 질량체들(174a)을 개별적으로 상기 수평 이동 및 상기 회전 이동시킬 수 있다.
상기 핸드 유닛(150)의 무게 중심과 상기 핸드 유닛(150)에 고정된 카세트(20)의 무게 중심이 서로 달라 상기 핸드 유닛(150)이 기울어지더라도 상기 제3 조절부(174)를 이용하여 상기 핸드 유닛(150)의 무게 중심을 조절한다. 따라서, 상기 카세트(20)를 고정한 상기 핸드 유닛(150)의 기울어짐을 보상할 수 있다.
상기 제3 조절부(174)는 상기 핸드 유닛(150)이 고정된 상태이거나, 상기 핸드 유닛(150)이 승강하는 상태에서 상기 핸드 유닛(150)의 무게 중심을 조절할 수 있다.
상기 제1 조절부(172), 상기 제2 조절부(173) 및 상기 제3 조절부(174)는 상기 핸드 유닛(150)의 상태와 무관하게 상기 벨트(142)들의 높이 및 상기 핸드 유닛(150)의 무게 중심을 조절할 수 있다. 따라서, 상기 핸드 유닛(150)의 수평도를 실시간으로 조절할 수 있다.
상기 제어부(175)는 상기 감지부(171)로부터 상기 핸드 유닛(150)의 수평도에 관한 정보를 전달받는다. 예를 들면, 상기 제어부(175)와 상기 감지부(171)는 무선 통신 또는 유선 통신을 통해 연결될 수 있다.
또한, 상기 제어부(175)는 상기 핸드 유닛(150)의 수평도에 관한 정보에 따라 상기 제1 조절부(172), 상기 제2 조절부(173) 및 상기 제3 조절부(174)를 제어한다.
구체적으로, 상기 핸드 유닛(150)이 기 설정된 기준 수평도 범위를 벗어나는 경우, 상기 제어부(175)는 상기 벨트(142)들의 높이가 조절되도록 상기 제1 조절부(172) 및 상기 제2 조절부(173)를 제어한다. 상기 제어부(175)의 제어에 따라 상기 제1 조절부(172)가 먼저 상기 벨트들(142)의 높이를 조절한 후, 상기 제2 조절부(173)가 상기 벨트들(142)의 높이를 추가적으로 조절한다. 따라서, 상기 핸드 유닛(150)을 수평 상태를 유지할 수 있다.
또한, 상기 핸드 유닛(150)이 상기 카세트(20)를 고정한 상태에서 기 설정된 기준 수평도 범위를 벗어나는 경우, 상기 제어부(175)는 상기 제3 조절부(174)를 제어하여 상기 핸드 유닛(150)의 무게 중심을 조절한다. 따라서, 상기 핸드 유닛(150)을 수평 상태를 유지할 수 있다.
상기 핸드 유닛(150)이 기울어진 경우, 상기 수평도 조절 유닛(170)이 상기 핸드 유닛(150)의 수평도를 자동으로 조절할 수 있다. 따라서, 상기 핸드 유닛(150)이 기울어진 상태로 상기 카세트(20)를 로딩 및 언로딩하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 상기 비히클(100)은 상기 카세트(20)를 안정적으로 로딩 및 언로딩할 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 비히클의 수평도 조절 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
도 5를 참조하면, 비히클(100)의 수평도를 조절하는 방법은 다음과 같다.
먼저, 상기 비히클(100)에서 핸드 유닛(150)의 카세트(20) 고정 여부를 확인한다.(S110)
상기 핸드 유닛(150)에 구비되는 상기 카세트(20)를 고정하기 위한 로봇 암(미도시)의 동작 상태를 통해 상기 핸드 유닛(150)이 상기 카세트(20)를 고정하고 있는지 여부를 확인할 수 있다.
상기 핸드 유닛(150)의 하부면에 상기 카세트(20)를 감지하기 위한 별도의 센서(미도시)를 구비하고, 상기 센서를 이용하여 상기 핸드 유닛(150)이 상기 카세트(20)를 고정하고 있는지 여부를 확인할 수도 있다.
다음으로, 상기 핸드 유닛(150)이 상기 카세트(20)를 고정하고 있지 않는 경우, 빈 상태의 상기 핸드 유닛(150)의 수평도를 조절한다.(S120)
구체적으로, 상기 핸드 유닛(150)의 수평도를 감지한다.(S122)
상기 핸드 유닛(150)에 구비된 감지부(171)를 이용하여 상기 핸드 유닛(150)의 수평도를 감지한다.
상기 핸드 유닛(150)의 수평도 감지 결과에 따라 상기 핸드 유닛(150)이 수평 상태를 유지하도록 상기 핸드 유닛(150)을 승강시키는 벨트들(142)의 높이를 개별적으로 조절한다.(S124)
도 6은 도 5에 도시된 벨트들의 높이 조절 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
도 6을 참조하면, 상기 벨트들(142)의 높이를 조절하는 방법은 다음과 같다.
먼저, 상기 제어부(176)가 상기 감지부(171)로부터 상기 핸드 유닛(150)의 수평도에 관한 정보를 전달받은 다음, 상기 제어부(176)의 제어에 따라 상기 제1 조절부(172)가 상기 벨트들(142)의 높이를 조절한다.
구체적으로, 상기 벨트들(142)을 지지하는 제1 가이드 롤러(148)를 승강시켜 상기 벨트들(142)의 높이를 일차로 조절한다.(S125)
다음으로, 상기 벨트들(142)의 높이가 일차로 조절되면, 상기 제어부(176)의 제어에 따라 상기 제2 조절부(173)가 상기 벨트들(142)의 높이를 조절한다.
구체적으로, 상기 벨트들(142)을 지지하는 제2 가이드 롤러(149)를 수평 이동시켜 상기 벨트들(142)의 높이를 이차로 조절한다.(S126)
상기 제1 조절부(172)에 의해 조절되는 상기 벨트(142)의 높이 폭이 상대적으로 크고, 상기 제2 조절부(173)에 의해 조절되는 상기 벨트(142)의 높이 폭이 상대적으로 적으므로, 상기 제1 조절부(172)로 상기 벨트들(142)의 높이를 일차로 조절한 후, 상기 제2 조절부(173)로 상기 벨트(142)의 높이를 이차로 조절함으로써 상기 핸드 유닛(150)의 수평도를 신속하고 정확하게 조절할 수 있다.
상기 핸드 유닛(150)이 상기 카세트(20)를 고정하고 있는 경우, 상기 카세트(20)를 고정한 상기 핸드 유닛(150)의 수평도를 조절한다.(S130)
상기 카세트(20)의 무게를 고려하여 상기 핸드 유닛(150)의 수평도를 조절함으로써 상기 핸드 유닛(150)의 승강시 흔들림을 방지할 수 있다.
구체적으로, 상기 핸드 유닛(150)의 수평도를 감지한다.(S132)
상기 핸드 유닛(150)에 구비된 감지부(171)를 이용하여 상기 핸드 유닛(150)의 수평도를 감지한다.
상기 핸드 유닛(150)의 수평도 감지 결과에 따라, 상기 핸드 유닛(150)에 구비된 질량체(174a)의 위치를 변경하여 상기 핸드 유닛(150)의 무게 중심을 조절한다.(S134)
제3 조절부(174)의 제3 구동부(174b)가 상기 질량체(174a)를 상기 X축 방향 및 상기 Y축 방향을 따라 수평 이동시키거나, 상기 수평 방향을 따라 회전시켜 상기 질량체(174a)의 위치를 변경할 수 있다. 따라서, 상기 핸드 유닛(150)의 무게 중심을 조절할 수 있다.
상기 핸드 유닛(150)의 무게 중심과 상기 핸드 유닛(150)에 고정된 카세트(20)의 무게 중심이 서로 달라 상기 핸드 유닛(150)이 기울어지더라도 상기 제3 조절부(174)를 이용하여 상기 핸드 유닛(150)의 무게 중심을 조절한다. 따라서, 상기 카세트(20)를 고정한 상기 핸드 유닛(150)의 기울어짐을 보상할 수 있다.
상기 핸드 유닛(150)의 무게 중심을 조절한 후, 상기 핸드 유닛(150)이 수평 상태를 유지하도록 상기 핸드 유닛(150)을 승강시키는 벨트들(142)의 높이를 개별적으로 조절한다.(S136)
상기 핸드 유닛(150)의 무게 중심을 조절한 후에도 상기 핸드 유닛(150)이 수평 상태가 아닌 경우, 상기 벨트들(142)의 높이 조절이 추가로 이루어질 수 있다.
한편, 상기 핸드 유닛(150)의 무게 중심을 조절한 후, 상기 벨트들(142)의 높이 조절이 이루어지기 전에 상기 감지부(171)를 이용하여 상기 핸드 유닛(150)의 수평도를 추가로 감지할 수 있다.
상기 벨트들(142)의 높이를 조절하는 단계(S136)에 관한 구체적인 설명은 도 6을 참조한 상기 벨트들(142)의 높이를 조절하는 단계(S124)에 관한 구체적인 설명과 유사하므로 생략한다.
상기 비히클의 수평도 조절 방법은 상기 핸드 유닛(150)이 상기 카세트(20)를 고정하고 있지 않은 경우, 상기 호이스트 유닛(140)의 벨트들(142) 높이를 조절하여 상기 핸드 유닛(150)의 수평도를 조절한다. 상기 핸드 유닛(150)이 상기 카세트(20)를 고정하는 경우, 상기 핸드 유닛(150)에 구비된 상기 질량체(174a)의 위치를 조절하고 상기 호이스트 유닛(140)의 벨트들(142) 높이를 조절하여 상기 핸드 유닛(150)의 수평도를 조절할 수 있다. 따라서, 상기 핸드 유닛(150)이 기울어진 상태로 승강하거나, 상기 카세트(20)를 로딩 및 언로딩하는 것을 방지할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 상기 비히클 및 상기 비히클의 수평도 조절 방법은 상기 핸드 유닛의 수평도를 신속하고 정확하게 조절할 수 있다. 상기 핸드 유닛이 항상 수평 상태로 유지할 수 있으므로, 상기 비히클의 승강시 흔들림을 방지할 수 있고, 상기 카세트를 안정적으로 로딩 및 언로딩할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100 : 비히클 110 : 주행 유닛
120 : 프레임 유닛 130 : 슬라이드 유닛
140 : 호이스트 유닛 150 : 핸드 유닛
160 : 연결 유닛 170 : 수평도 조절 유닛
10 : 주행 레일 20 : 카세트

Claims (17)

  1. 카세트를 파지하여 고정시키기 위한 핸드 유닛;
    천장의 주행 레일을 따라 제1 수평 방향으로 주행하는 주행 유닛;
    상기 핸드 유닛과 연결된 벨트들을 구비하고 상기 벨트들을 권취하거나 권출하여 상기 핸드 유닛을 승강시키는 호이스트 유닛;
    상기 주행 유닛의 하부에 장착되며 상기 제1 수평 방향과 직교하는 제2 수평 방향으로 상기 호이스트 유닛을 이동시키기 위한 슬라이드 유닛; 및
    상기 핸드 유닛의 수평도를 조절하는 수평도 조절 유닛을 포함하고,
    상기 수평도 조절 유닛은, 상기 핸드 유닛에 구비되며 상기 핸드 유닛의 수평도를 감지하는 감지부와, 상기 호이스트 유닛에 구비되며 상기 벨트들을 승강시켜 상기 벨트들의 높이를 조절하는 제1 조절부와, 상기 핸드 유닛에 구비되며 상기 벨트들을 수평 이동시켜 상기 벨트들의 높이를 조절하는 제2 조절부와, 상기 감지부의 감지 결과에 따라 상기 핸드 유닛이 수평 상태를 유지하도록 상기 제1 조절부 및 제2 조절부를 제어하는 제어부를 포함하되,
    상기 제1 조절부는 상기 호이스트 유닛에 구비되어 상기 벨트들을 권취하거나 권출할 때 상기 벨트를 가이드하는 제1 가이드 롤러를 승강시키며, 상기 제2 조절부는 상기 핸드 유닛에 구비되어 상기 벨트들을 권취하거나 권출할 때 상기 벨트를 가이드하는 제2 가이드 롤러를 수평 이동시키는 것을 특징으로 하는 비히클.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서, 상기 제1 조절부는,
    상기 제1 가이드 롤러를 지지하며 하부면에 제1 경사면을 갖는 상부 웨지;
    상기 상부 웨지의 하부에 구비되며 상부면에 상기 제1 경사면과 접촉하는 제2 경사면을 갖는 하부 웨지; 및
    상기 제1 가이드 롤러를 승강시키기 위해 상기 상부 웨지가 상기 제2 경사면을 따라 이동하도록 상기 하부 웨지를 수평 방향으로 이동시키는 제1 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클.
  4. 제1항에 있어서, 상기 제2 조절부는, 상기 제2 가이드 롤러를 수평 방향으로 이동시키는 제2 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클.
  5. 제1항에 있어서, 상기 핸드 유닛에 구비되며 상기 핸드 유닛의 무게 중심을 조절하는 제3 조절부를 더 포함하고,
    상기 제어부는 상기 감지부의 감지 결과에 따라 상기 핸드 유닛이 수평 상태를 유지하도록 상기 제3 조절부를 추가로 제어하는 것을 특징으로 하는 비히클.
  6. 제5항에 있어서, 상기 제3 조절부는,
    상기 핸드 유닛의 상부면에 구비되는 적어도 하나의 질량체; 및
    상기 카세트를 고정한 상기 핸드 유닛의 기울어짐을 보상하기 위해 상기 질량체를 수평 방향으로 이동 및 회전시키는 제3 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클.
  7. 비히클에서 핸드 유닛이 카세트를 파지하여 고정하고 있는지 여부를 확인하는 단계;
    상기 핸드 유닛이 상기 카세트를 고정하고 있지 않는 경우, 상기 핸드 유닛의 승강시 흔들림을 방지하기 위해 상기 핸드 유닛의 수평도를 조절하는 제1 수평도 조절 단계; 및
    상기 핸드 유닛이 상기 카세트를 고정하고 있는 경우, 상기 핸드 유닛의 승강시 흔들림을 방지하기 위해 상기 카세트의 무게를 고려하여 상기 카세트를 고정한 상기 핸드 유닛의 수평도를 조절하는 제2 수평도 조절 단계를 포함하되,
    상기 제1 수평도 조절 단계는, 상기 핸드 유닛의 수평도를 감지하는 단계와, 상기 핸드 유닛이 수평 상태를 유지하도록 상기 핸드 유닛을 승강시키는 벨트들의 높이를 개별적으로 조절하는 단계를 포함하고,
    상기 벨트들의 높이를 조절하는 단계는, 상기 벨트들을 지지하는 제1 가이드 롤러를 승강시켜 상기 벨트들의 높이를 일차로 조절하는 단계와, 상기 벨트들을 지지하는 제2 가이드 롤러를 수평 이동시켜 상기 벨트들의 높이를 이차로 조절하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클의 수평도 조절 방법.
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 제7항에 있어서, 상기 제2 수평도 조절 단계는,
    상기 핸드 유닛의 수평도를 감지하는 단계;
    상기 핸드 유닛에 구비된 질량체의 위치를 변경하여 상기 핸드 유닛의 무게 중심을 조절하는 단계; 및
    상기 핸드 유닛이 수평 상태를 유지하도록 상기 핸드 유닛을 승강시키는 벨트들의 높이를 개별적으로 조절하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클의 수평도 조절 방법.
  11. 비히클에서 핸드 유닛이 카세트를 파지하여 고정하고 있는지 여부를 확인하는 단계;
    상기 핸드 유닛이 상기 카세트를 고정하고 있지 않는 경우, 상기 핸드 유닛의 승강시 흔들림을 방지하기 위해 상기 핸드 유닛의 수평도를 조절하는 제1 수평도 조절 단계; 및
    상기 핸드 유닛이 상기 카세트를 고정하고 있는 경우, 상기 핸드 유닛의 승강시 흔들림을 방지하기 위해 상기 카세트의 무게를 고려하여 상기 카세트를 고정한 상기 핸드 유닛의 수평도를 조절하는 제2 수평도 조절 단계를 포함하되,
    상기 제2 수평도 조절 단계는, 상기 핸드 유닛의 수평도를 감지하는 단계와, 상기 핸드 유닛에 구비된 질량체의 위치를 변경하여 상기 핸드 유닛의 무게 중심을 조절하는 단계와, 상기 핸드 유닛이 수평 상태를 유지하도록 상기 핸드 유닛을 승강시키는 벨트들의 높이를 개별적으로 조절하는 단계를 포함하고,
    상기 벨트들의 높이를 조절하는 단계는, 상기 벨트들을 지지하는 제1 가이드 롤러를 승강시켜 상기 벨트들의 높이를 일차로 조절하는 단계와, 상기 벨트들을 지지하는 제2 가이드 롤러를 수평 이동시켜 상기 벨트들의 높이를 이차로 조절하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클의 수평도 조절 방법.
  12. 호이스트 유닛의 벨트들에 고정되어 승강하는 핸드 유닛의 수평도를 조절하는 수평도 조절 유닛에 있어서,
    상기 핸드 유닛에 구비되며 상기 핸드 유닛의 수평도를 감지하는 감지부;
    상기 호이스트 유닛에 구비되며 상기 벨트들을 승강시켜 상기 벨트들의 높이를 조절하는 제1 조절부;
    상기 핸드 유닛에 구비되며 상기 벨트들을 수평 이동시켜 상기 벨트들의 높이를 조절하는 제2 조절부; 및
    상기 감지부의 감지 결과에 따라 상기 핸드 유닛이 수평 상태를 유지하도록 상기 제1 조절부 및 제2 조절부를 제어하는 제어부를 포함하되,
    상기 제1 조절부는 상기 호이스트 유닛에 구비되어 상기 벨트들을 권취하거나 권출할 때 상기 벨트를 가이드하는 제1 가이드 롤러를 승강시키며, 상기 제2 조절부는 상기 핸드 유닛에 구비되어 상기 벨트들을 권취하거나 권출할 때 상기 벨트를 가이드하는 제2 가이드 롤러를 수평 이동시키는 것을 특징으로 하는 수평도 조절 유닛.
  13. 삭제
  14. 제12항에 있어서, 상기 제1 조절부는,
    상기 제1 가이드 롤러를 지지하며 하부면에 제1 경사면을 갖는 상부 웨지;
    상기 상부 웨지의 하부에 구비되며, 상부면에 상기 제1 경사면과 접촉하는 제2 경사면을 갖는 하부 웨지; 및
    상기 제1 가이드 롤러를 승강시키기 위해 상기 상부 웨지가 상기 제2 경사면을 따라 이동하도록 상기 하부 웨지를 수평 방향으로 이동시키는 제1 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 수평도 조절 유닛.
  15. 제12항에 있어서, 상기 제2 조절부는, 상기 제2 가이드 롤러를 수평 방향으로 이동시키는 제2 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 수평도 조절 유닛.
  16. 제12항에 있어서, 상기 핸드 유닛에 구비되며 상기 핸드 유닛의 무게 중심을 조절하는 제3 조절부를 더 포함하고,
    상기 제어부는 상기 감지부의 감지 결과에 따라 상기 핸드 유닛이 수평 상태를 유지하도록 상기 제3 조절부를 추가로 제어하는 것을 특징으로 하는 수평도 조절 유닛.
  17. 제16항에 있어서, 상기 제3 조절부는,
    상기 핸드 유닛의 상부면에 구비되는 적어도 하나의 질량체; 및
    카세트를 고정한 상기 핸드 유닛의 기울어짐을 보상하기 위해 상기 질량체를 수평 방향으로 이동 및 회전시키는 제3 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 수평도 조절 유닛.
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