JPWO2020174809A1 - 天井搬送車 - Google Patents

Abstract

天井搬送車は、ベース部と、防振部を介して鉛直方向下方からベース部を鉛直方向に移動可能に支持する第一支持部（第二支持部）と、を有する昇降装置を備える。防振部は、支持部とベース部との両方に接触した状態で設けられ、第一本体部材（第三本体部材）及びベース部を互いに遠ざける方向に付勢する第一付勢部と、第一本体部材（第三本体部材）及びベース部の一方に設けられ、第一付勢部に所定値以上の荷重が加わると、第一本体部材（第三本体部材）及びベース部の両方に接触すると共に第一本体部材（第三本体部材）及びベース部を互いに遠ざける方向に付勢する第二付勢部と、を有している。

Description

本発明の一側面は、天井搬送車に関する。

軌道に沿って走行可能な本体部と、物品を把持する把持部を有し、前記本体部に対し複数の吊持部材が巻き取り及び繰り出しされることにより昇降する昇降部と、を備えた天井搬送車が知られている。例えば、特許文献１には、昇降部が、把持部が設けられるベース部と、防振部を介してベース部を鉛直方向下方から鉛直方向に移動可能に支持する支持部を有すると共に吊持部材が取り付けられる複数の緩衝機構と、を備え、これらの複数の緩衝機構がリンク機構によって連結されている天井搬送車が開示されている。この天井搬送車では、リンク機構は、互いに連結されている複数の緩衝機構における支持部とベース部との間の各距離同士を互いに近づけるように動作するので、物品に伝わる振動を低減しつつ、物品の揺れを抑制することができる。

国際公開第２０１８／０７９１４６号公報

上記従来の天井搬送車では、物品（ＦＯＵＰ）の重量が最も重くなる場合（ＦＯＵＰに最大収容数の収容物が収容されたとき）に、防振部としてのバネ部材等が確実に機能するように反発強度を調整し、物品に振動が伝わることを防止していた。ところが、このように調整された防振部では、相対的に軽い物品に対しては反発機能が機能せず、振動を防止することができない場合がある。

そこで、本発明の一側面の目的は、搬送する物品の重量に幅がある場合であっても、物品に伝わる振動を低減することができる天井搬送車を提供することにある。

本発明の一側面に係る天井搬送車は、軌道に沿って走行可能な本体部と、物品を把持する把持部を有すると共に本体部に対して吊持部材によって昇降される昇降部と、を備えた天井搬送車であって、昇降部は、把持部が設けられるベース部と、防振部を介して鉛直方向下方からベース部を鉛直方向に移動可能に支持する支持部と、を備え、防振部は、支持部とベース部との両方に接触した状態で設けられ、支持部及びベース部を互いに遠ざける方向に付勢する第一付勢部と、支持部及びベース部の一方に設けられ、第一付勢部に所定値以上の荷重が加わると、支持部及びベース部の両方に接触すると共に支持部及びベース部を互いに遠ざける方向に付勢する第二付勢部と、を有している。

この構成の天井搬送車では、相対的に軽い物品を把持する場合には、第一付勢部の付勢力のみがベース部と支持部との間に作用し、所定値より重く相対的に重い物品を把持する場合には、第一付勢部の付勢力と第二付勢部の付勢力との両方がベース部と支持部との間に作用する。すなわち、この構成の天井搬送車では、把持する物品が所定値よりも重くなると第二付勢部がベース部と支持部との間に付勢力を作用させることになる。これにより、相対的に軽い物品を把持する場合には、第一付勢部の作用によって物品に伝わる振動を低減することができ、相対的に重い物品を把持する場合には、第一付勢部と第二付勢部との作用によって物品に伝わる振動を低減することができる。この結果、搬送する物品の重量に幅がある場合であっても、物品に伝わる振動を低減することができる。

本発明の一側面に係る天井搬送車では、支持部は、複数設けられると共にリンク機構によって互いに連結されており、リンク機構は、互いに連結される支持部とベース部との間の各距離同士を互いに近づけるように動作してもよい。この構成の天井搬送車では、リンク機構が、互いに連結されている支持部とベース部との間の距離同士を互いに近づけるので、ベース部にロール運動が生じることを抑制できる。このため、ベース部における傾きを小さくすることができ、ひいては物品の揺れを抑制できる。

本発明の一側面に係る天井搬送車では、第二付勢部は、粘弾性を有する部材によって形成されていてもよい。この構成では、被搬送物の揺れを減衰させることができ、効果的に物品の揺れを抑制できる。

本発明の一側面に係る天井搬送車では、物品は、被収容物が収容されていない空の容器、又は、被収容物が収容された容器であり、第一付勢部は、空の容器を把持したときに圧縮されないように与圧されていてもよい。この構成では、空の容器を把持したとしても第一付勢部が縮まないので、空の容器を把持した段階で第二付勢部が支持部とベース部との両方に接触することを容易に防止できる。

本発明の一側面に係る天井搬送車では、昇降部は、一端が支持部に設けられると共に、ベース部に設けられた挿通孔を挿通する軸部を更に有し、第一付勢部は、軸部に挿通されており、軸部における他端には、ベース部との間で第三付勢部を挟持する挟持部材が設けられており、第三付勢部は、ベース部及び挟持部材の両方に接触すると共にベース部及び挟持部材を互いに遠ざける方向に付勢されていてもよい。この構成では、第二付勢部が収縮したときの跳ね返り時の振動を低減することができる。

本発明の一側面に係る天井搬送車では、弾性部材は、粘弾性を有する部材によって形成されていてもよい。この構成では、跳ね返り時の振動を減衰させることができ、効果的に物品の揺れを抑制できる。

本発明の一側面によれば、搬送する物品の重量に幅がある場合であっても、物品に伝わる振動を低減することができる。

図１は、一実施形態に係る天井搬送車を示す正面図である。 図２は、図１の天井搬送車を前方向から見た側面図である。 図３は、第一支持部を右方向から見た正面図である。 図４は、第二支持部を左方向から見た正面図である。 図５は、リンク機構の斜視図である。 図６は、ベース部の背面に配置されたリンク機構の斜視図である。 図７は、ベース部の背面に配置されたリンク機構の斜視図である。

以下、図面を参照して、一実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明において、同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。

図１は、一実施形態に係る天井搬送車を示す正面図であり、図２は、図１の天井搬送車を前方向から見た側面図である。図１及び図２では、リンク機構７０の図示は省略している。図１に示される天井搬送車１は、クリーンルームの天井等、床面より高い位置に設けられる走行レール（軌道）２に沿って走行する。天井搬送車１は、例えば保管設備と所定のロードポートとの間で物品としてのＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）（物品・容器）９０を搬送する。ＦＯＵＰ９０には、例えば、複数枚の半導体ウェハ又はレチクル等が収容される。ＦＯＵＰ９０は、天井搬送車１に保持されるフランジ９８を有している。

以下の説明では、説明の便宜のため、図１における左右方向（Ｘ軸方向）を天井搬送車１の前後方向とする。図１における上下方向を天井搬送車１の上下（鉛直）方向（Ｚ軸方向）とする。図１における奥行方向を天井搬送車１の左右方向又は幅方向（Ｙ軸方向）とする。Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸は互いに直交する。

図１に示されるように、天井搬送車１は、走行駆動部３と、水平駆動部（本体部）５と、回転駆動部（本体部）６と、昇降駆動部（本体部）７と、昇降装置（昇降部）１０と、保持装置（把持部）１１と、第一支持部（支持部）５０（図３参照）と、第二支持部（支持部）４０（図４参照）と、リンク機構７０（図５参照）と、を有している。

天井搬送車１には、水平駆動部５、回転駆動部６、昇降駆動部７、昇降装置１０及び保持装置１１を覆うように前後方向に一対のカバー８，８が設けられている。一対のカバー８，８は、昇降装置１０が上昇端まで上昇した状態において保持装置１１の下方に、ＦＯＵＰ９０が収容される空間を形成している。落下防止機構８Ａは、昇降装置１０が上昇端まで上昇した状態において保持装置１１に保持されたＦＯＵＰ９０の落下を防止する。また、揺れ抑制機構８Ｂは、走行時における保持装置１１に保持されたＦＯＵＰ９０の天井搬送車１の前後方向（走行方向）及び左右方向の揺れを抑制する。

走行駆動部３は、天井搬送車１を走行レール２に沿って移動させる。走行駆動部３は、走行レール２内に配置されている。走行駆動部３は、走行レール２を走行するローラ（図示しない）を駆動する。走行駆動部３の下部には、軸３Ａを介して水平駆動部５が設けられている。水平駆動部５は、回転駆動部６、昇降駆動部７及び昇降装置１０を水平面内で走行レール２の延在方向に直交する方向（左右方向）に移動させる。回転駆動部６は、水平面内で昇降駆動部７及び昇降装置１０を回転させる。昇降駆動部７は、四本のベルト（吊持部材）９の巻き上げ及び繰り出しにより昇降装置１０を昇降させる。なお、昇降駆動部７におけるベルト９は、ワイヤ及びロープ等、適宜の吊持部材を用いてもよい。

図１及び図２に示されるように、本実施形態における昇降装置１０は、昇降駆動部７によって昇降可能に設けられており、天井搬送車１における昇降台として機能している。昇降装置１０は、ＦＯＵＰ９０を把持する保持装置１１を有すると共に、本体部としての水平駆動部５、回転駆動部６、及び昇降駆動部７に対してベルト９によって昇降される。保持装置１１は、ＦＯＵＰ９０を保持する。保持装置１１は、Ｌ字状である一対のアーム１２，１２と、各アーム１２，１２に固定されたハンド１３，１３と、一対のアーム１２，１２を開閉させる開閉機構１５と、を備えている。

一対のアーム１２，１２は、開閉機構１５に設けられている。開閉機構１５は、一対のアーム１２，１２を、互いに近接する方向及び互いに離間する方向に移動させる。開閉機構１５の動作により、一対のアーム１２，１２は、前後方向に進退する。これにより、アーム１２，１２に固定された一対のハンド１３，１３が開閉する。本実施形態では、一対のハンド１３，１３が開状態のときに、ハンド１３の保持面がフランジ９８の下面の高さより下方となるように、保持装置１１（昇降装置１０）の高さ位置が調整される。そして、この状態で一対のハンド１３，１３が閉状態となることで、ハンド１３，１３の保持面がフランジ９８の下面の下方へ進出し、この状態で昇降装置１０を上昇させることにより、一対のハンド１３，１３によってフランジ９８が保持（把持）され、ＦＯＵＰ９０の支持が行われる。

昇降装置１０は、保持装置１１が設けられるベース部１０Ａと、ベース部１０Ａを覆うカバー部１０Ｂと、ベース部１０Ａを防振部５０Ａを介して鉛直方向下方から鉛直方向に移動可能に支持する第一支持部５０と、ベース部１０Ａを防振部４０Ａを介して鉛直方向下方から鉛直方向に移動可能に支持する第二支持部４０と、を備える。

図３は、第一支持部の概略構成を示した正面図であり、図４は、第二支持部の概略構成を示した正面図である。なお、図３は、説明の便宜のため後述する第一本体部材５４の一部及び第一支持部５０に連結されるリンク機構７０の一部図示を省略している。図３及び図４に示されるように、第一支持部５０及び第二支持部４０は、ベルト９と昇降装置１０（図１参照）とを連結する機構であると共に、走行駆動部３が走行するとき又は昇降装置１０が昇降するときの振動がＦＯＵＰ９０に伝わることを抑制する機構である。

図２に示されるように、第一支持部５０は、左右方向において昇降装置１０の右側に設けられている。また、第一支持部５０は、図３に示されるように前後方向において二箇所に配置されている。第一支持部５０は、接続部材５１と、揺動部材５３と、第一本体部材５４と、第二本体部材５６と、第一軸部（軸部）５７，５７と、連結部材９６と、挟持部材９５と、防振部５０Ａと、を有している。防振部５０Ａは、一対の第一付勢部５８，５８と、一対の第二付勢部９１Ａ，９１Ａと、一対の第三付勢部９２Ａ，９２Ａと、を有している。

接続部材５１は、ベルト９に取り付けられる部材である。揺動部材５３は、接続部材５１に連結される部材である。揺動部材５３は、第一ピン部材５２を介して接続部材５１に回転可能に連結される。第一本体部材５４は、上端が開口する略Ｕ字状の部材であり、その底部は、水平方向に平坦となるように形成されている。第一本体部材５４は、その上端が揺動部材５３の両端にボルト５５によって連結されている。第一本体部材５４は、第一支持部材５４Ａ（図５及び図６参照）と、第二支持部材５４Ｂ（図５及び図６参照）とを有している。

第一支持部材５４Ａは、第一付勢部５８を下方から支持する。第二支持部材５４Ｂは、第一支持部材５４Ａに直交する部材である。第二本体部材５６は、前後方向における揺動部材５３及び第一本体部材５４の略中心部同士を連結する部材である。一対の第一軸部５７，５７は、第一支持部材５４Ａから上方に延びる棒状の部材であり、前後方向に第二本体部材５６を挟むように配置されている。第一軸部５７の一端は、第一本体部材５４に接続されている。第一軸部５７は、ベース部１０Ａに形成された挿通孔に挿通されている。第一軸部５７におけるベース部１０Ａ側の他端には、ベース部１０Ａとの間で第三付勢部９２Ａを挟持する挟持部材９５が設けられている。

一対の第一付勢部５８，５８は、所定のバネ定数を有する圧縮コイルバネであり、一対の第一軸部５７，５７にそれぞれ挿通されている。一対の第一付勢部５８，５８のそれぞれの上端は、ベース部１０Ａに接触され、その下端は第一支持部材５４Ａに接触された状態で配置されている。すなわち、一対の第一付勢部５８，５８のそれぞれは、第一支持部材５４Ａとベース部１０Ａとの両方に接触した状態で設けられ、第一支持部材５４Ａ及びベース部１０Ａを互いに遠ざける方向に付勢する。防振部としての第一付勢部５８は、互いに接触する部材間に伝わる振動を低減する役割を有する。

一対の第二付勢部９１Ａ，９１Ａは、ウレタンゴムからなる部材であり、粘弾性を有する。第一付勢部５８，５８に所定値以上の荷重が加わらないとき、一対の第二付勢部９１Ａ，９１Ａの上端は、ベース部１０Ａと隙間をあけて配置され、その下端は第一支持部材５４Ａに接触された状態で配置されている。すなわち、第一付勢部５８，５８に所定値以上の荷重が加わらないとき、一対の第二付勢部９１Ａ，９１Ａのそれぞれは、第一支持部材５４Ａにのみ接触した状態で設けられ、第一付勢部５８，５８に所定値以上の荷重が加わると、連結部材９６及びベース部１０Ａの両方に接触すると共に連結部材９６及びベース部１０Ａを互いに遠ざける方向に付勢する。

一対の第三付勢部９２Ａ，９２Ａは、ウレタンゴムからなる部材であり、粘弾性を有する。一対の第三付勢部９２Ａ，９２Ａのそれぞれは、ベース部１０Ａと挟持部材９５との間に配置される。一対の第三付勢部９２Ａ，９２Ａのそれぞれは、ベース部１０Ａ及び挟持部材９５の両方に接触すると共にベース部１０Ａ及び挟持部材９５を互いに遠ざける方向に付勢する。

図２に示されるように、第二支持部４０は、左右方向において昇降装置１０の左側に設けられている。第二支持部４０は、図４に示されるように、前後方向において中央部近傍に配置されている。第二支持部４０は、接続部材４１，４１と、揺動部材４３と、第三本体部材４５と、第四本体部材４６と、第二軸部（軸部）４７，４７と、挟持部材９４と、防振部４０Ａと、を有している。防振部４０Ａは、一対の第一付勢部４８，４８と、一対の第二付勢部９１Ｂ，９１Ｂと、一対の第三付勢部９２Ｂ，９２Ｂと、を有している。

接続部材４１，４１は、ベルト９，９が取り付けられる部材である。揺動部材４３は、一対の接続部材４１，４１と、第三本体部材４５とを連結する部材である。一対の接続部材４１，４１と揺動部材４３とは、双方向に回転可能に連結され、一対の第三ピン部材４２，４２を介して連結される。揺動部材４３と第三本体部材４５とは、双方向に回転可能に連結され、第四ピン部材４４を介して連結されている。

第四本体部材４６は、第三本体部材４５の下端に連結されており、水平方向に延びる板材である。第四本体部材４６は、第三支持部材４６Ａと、第四支持部材４６Ｂとを有している。第三本体部材４５は、第一付勢部４８，４８を下方から支持する。第三支持部材４６Ａは、第二付勢部９１Ｂ，９１Ｂを下方から支持する。第四支持部材４６Ｂは、第三支持部材４６Ａに直交する部材である。一対の第二軸部４７，４７は、第三本体部材４５の下端から上方に延びる棒状の部材であり、前後方向に第三本体部材４５を挟むように配置されている。第二軸部４７の一端は、第四本体部材４６に接続される。第二軸部４７は、ベース部１０Ａに形成された挿通孔に挿通されている。第二軸部４７におけるベース部１０Ａ側の他端には、ベース部１０Ａとの間で第三付勢部９２Ｂを挟持する挟持部材９４が設けられている。

一対の第一付勢部４８，４８は、所定のバネ定数を有する圧縮コイルバネであり、一対の第二軸部４７，４７にそれぞれ挿通されている。一対の第一付勢部４８，４８のそれぞれの上端は、ベース部１０Ａに接触され、その下端は第三本体部材４５に接触された状態で配置されている。すなわち、一対の第一付勢部４８，４８のそれぞれは、第三本体部材４５とベース部１０Ａとの両方に接触した状態で設けられ、第三本体部材４５及びベース部１０Ａを互いに遠ざける方向に付勢する。防振部としての第一付勢部４８は、互いに接触する部材間に伝わる振動を低減する役割を有する。

一対の第二付勢部９１Ｂ，９１Ｂは、ウレタンゴムからなる部材であり、粘弾性を有する。第一付勢部４８，４８に所定値以上の荷重が加わらないとき、一対の第二付勢部９１Ｂ，９１Ｂの上端は、ベース部１０Ａと隙間をあけて配置され、その下端は第三支持部材４６Ａに接触された状態で配置されている。すなわち、第一付勢部４８，４８に所定値以上の荷重が加わらないとき、一対の第二付勢部９１Ｂ，９１Ｂのそれぞれは、第三支持部材４６Ａにのみ接触した状態で設けられ、第一付勢部４８，４８のそれぞれに所定値以上の荷重が加わると、第三支持部材４６Ａ及びベース部１０Ａの両方に接触すると共に第三支持部材４６Ａ及びベース部１０Ａを互いに遠ざける方向に付勢する。

一対の第三付勢部９２Ｂ，９２Ｂは、ウレタンゴムからなる部材であり、粘弾性を有する。第三付勢部９２Ｂ，９２Ｂのそれぞれは、挟持部材９４とベース部１０Ａとの間に配置され、挟持部材９４及びベース部１０Ａの両方に接触すると共に挟持部材９４及びベース部１０Ａを互いに遠ざける方向に付勢する。

図５〜図７に示されるように、リンク機構７０は、前後方向（走行方向）及び上下方向（鉛直方向）の両方に直交する左右方向（幅方向）に配列された二つの第一支持部５０及び第二支持部４０を連結すると共に、前後方向に配列された二つの第一支持部５０，５０同士を連結する。リンク機構７０は、第一支持部５０における第一本体部材５４（連結部材９６）とベース部１０Ａとの間の距離と、第二支持部４０における第四本体部材４６とベース部１０Ａとの間の距離と、を互いに近づけるように動作する。また、リンク機構７０は、左側に配置される第一支持部５０における第一本体部材５４とベース部１０Ａとの間の距離と、右側に配置される第一支持部５０における第一本体部材５４とベース部１０Ａとの間の距離とを互いに近づけるように動作する。以下、リンク機構７０の詳細について説明する。

リンク機構７０は、第一シャフト７１と、第二シャフト７２と、第三シャフト７３と、第四シャフト７４と、第一ブッシュ８１と、第一ブロック８２と、第二ブロック８３と、第二ブッシュ８４と、第三ブッシュ８５と、固定部８６と、連結部８８と、を有している。

第一シャフト７１は、第二支持部４０における第四支持部材４６Ｂに固着された第一ブッシュ８１に支持されており、前後方向に延在している。第一シャフト７１は、第一ブッシュ８１の挿通孔８１Ａに挿通され、第一ブッシュ８１に対して回転可能かつ軸方向へ摺動可能に設けられている。第一ブッシュ８１の材料は、第一シャフト７１が所定の回転性かつ所定の摺動性を有するように適宜選定される。前後方向に配列される二つの第一シャフト７１は、前後方向に略一直線上に配置されている。また、それぞれの第一シャフト７１は、前後方向において一対の第一付勢部４８，４８がそれぞれ挿通される第二軸部４７，４７（図４参照）と一直線上になるように配置されている。

第三シャフト７３は、第一支持部５０における第二支持部材５４Ｂに固着された第二ブッシュ８４に支持されており、前後方向に延在している。第三シャフト７３は、第二ブッシュ８４の挿通孔８４Ａに挿通され、第二ブッシュ８４に対して回転可能かつ軸方向へ摺動可能に設けられている。第四シャフト７４は、第一支持部５０における第二支持部材５４Ｂに固着された第三ブッシュ８５に支持されており、前後方向に延在している。第四シャフト７４は、第三ブッシュ８５の挿通孔８５Ａに挿通され、第三ブッシュ８５に対して回転可能かつ軸方向へ摺動可能に設けられている。第二ブッシュ８４及び第三ブッシュ８５の材料も、第一ブッシュ８１と同様に、第三シャフト７３及び第四シャフト７４が所定の回転性かつ所定の摺動性を有するように適宜選定される。

第三シャフト７３と第四シャフト７４とは、第一支持部５０を挟んで互いに平行となるように配置されている。前後方向に配列される二つの第三シャフト７３，７３は、前後方向に一直線上に配置されており、後段にて詳述する連結部８８を介して連結されている。また、前後方向に配列される二つの第四シャフト７４，７４は、前後方向に一直線上に配置されている。

第二シャフト７２は、ベース部１０Ａの底面に固着された第一ブロック８２及び第二ブロック８３に支持されており、左右方向に延在している。第二シャフト７２は、第一ブロック８２の挿通孔８２Ａ及び第二ブロック８３の挿通孔８３Ａに挿通され、第一ブロック８２及び第二ブロック８３に対して回転可能かつ軸方向へ摺動可能に設けられている。

左右方向における第二シャフト７２の一端は、第一シャフト７１に連結されている。具体的には、第一シャフト７１の端部が第二シャフト７２に形成された挿通孔７２Ａに挿通されている。左右方向における第二シャフト７２の他端は、第三シャフト７３に連結されている。具体的には、第三シャフト７３の端部が第二シャフト７２に形成された挿通孔７２Ｂに挿通されている。また、第二シャフト７２は、左右方向における第一ブロック８２と第二ブロック８３との間において、第四シャフト７４に連結されている。第二シャフト７２は、ベース部１０Ａの底面に固着された固定部８６を介して第四シャフト７４に連結されている。固定部８６は、第四シャフト７４と第二シャフト７２との取付公差を吸収する。

天井搬送車１を右方向から見たときに、前側に配置される第一支持部５０に連結される第三シャフト７３と、後側に配置される第一支持部５０に連結される第三シャフト７３とは、連結部８８を介して連結されている。連結部８８は、前後方向に配列された二つの第二ブッシュ８４，８４の略中心となる位置に配置されている。連結部８８は、前側に配置される第三シャフト７３の外径よりも大きな内径を有する内挿部８８Ａを有する。第三シャフト７３は、例えば、内挿部８８Ａ内における一箇所で樹脂等の支持部材を介して固定されている。これにより、第三シャフト７３は、内挿部８８Ａの内部を上下左右方向に移動可能に設けられる。

次に、図３を用いて第一支持部５０の動作の一例を説明する。圧縮バネである第一付勢部５８には、保持装置１１が空のＦＯＵＰ９０を保持したときに第一付勢部５８が縮まないように予め与圧が付与されている。具体的には、ベース部１０Ａ、保持装置１１、及び空のＦＯＵＰ９０の重量の和と同じ反発力が得られるように圧縮されている。このため、第一付勢部５８は、保持装置１１が何らかの被収容物を収容したＦＯＵＰ９０を把持し、第一所定値よりも大きな荷重が第一付勢部５８に作用すると圧縮される。なお、比較的軽い被収容物が収容されている場合（第一付勢部５８の縮み量が所定値以下の場合）、ベース部１０Ａは、第二付勢部９１Ａの端部には接触しない。すなわち、ベース部１０Ａは、第一付勢部５８のみを介して第一本体部材５４（連結部材９６）に支持される。

第一所定値よりも更に大きな第二所定値の荷重が第一付勢部５８に作用すると、第一付勢部５８は更に圧縮され、ベース部１０Ａが、第二付勢部９１Ａの端部に接触するようになる。すなわち、ベース部１０Ａは、第一付勢部５８及び第二付勢部９１Ａを介して第一本体部材５４（連結部材９６）に支持されるようになる。ベース部１０Ａは、第一付勢部５８のみを介して第一本体部材５４（連結部材９６）に支持される場合と比べて、第一付勢部５８及び第二付勢部９１Ａを介して第一本体部材５４（連結部材９６）に支持される場合には、同じ重量に対する沈み量（ベース部１０Ａと第一本体部材５４（連結部材９６）との接近量）が小さくなる。すなわち、防振部５０Ａの反発係数は、第二所定値の荷重が第一付勢部５８に作用するときを境にして切り替わる。

また、第一付勢部５８が縮み、第二付勢部９１Ａがベース部１０Ａに接触すると、第二付勢部９１Ａに反発力が生じる。当該反発力は、ベース部１０Ａに振動を生じさせ得る。ベース部１０Ａと挟持部材９５との間に配置される第三付勢部９２Ａは、当該反発力によって生じる上方向への衝撃を吸収する。

次に、図４を用いて第二支持部４０の動作の一例を説明する。圧縮バネである第一付勢部４８には、保持装置１１が空のＦＯＵＰ９０を保持したときに第一付勢部４８が縮まないように予め与圧が付与されている。具体的には、第一支持部５０と同様に、ベース部１０Ａ、保持装置１１、及び空のＦＯＵＰ９０の重量の和と同じ反発力が得られるように圧縮されている。このため、第一付勢部４８は、保持装置１１が何らかの被収容物を収容したＦＯＵＰ９０を把持し、第一所定値よりも大きな荷重が第一付勢部４８に作用すると圧縮される。なお、比較的軽い被収容物が収容されている場合（第一付勢部４８の縮み量が所定値以下の場合）、ベース部１０Ａは、第二付勢部９１Ｂの端部には接触しない。すなわち、ベース部１０Ａは、第一付勢部４８のみを介して第四本体部材４６に支持される。

第一所定値よりも更に大きな第二所定値の荷重が第一付勢部４８に作用すると、第一付勢部４８は更に圧縮され、ベース部１０Ａが、第二付勢部９１Ｂの端部に接触するようになる。すなわち、ベース部１０Ａは、第一付勢部４８及び第二付勢部９１Ｂを介して第四本体部材４６に支持されるようになる。ベース部１０Ａは、第一付勢部４８のみを介して第四本体部材４６に支持される場合と比べて、第一付勢部４８及び第二付勢部９１Ｂを介して第四本体部材４６に支持される場合には、同じ重量に対する沈み量（ベース部１０Ａと第四本体部材４６との接近量）が小さくなる。すなわち、防振部４０Ａの反発係数は、第二所定値の荷重が第一付勢部４８に作用するときを境にして切り替わる。

また、第一付勢部４８が縮み、第二付勢部９１Ｂがベース部１０Ａに接触すると、第二付勢部９１Ｂに反発力が生じる。当該反発力は、ベース部１０Ａに振動を生じさせ得る。ベース部１０Ａと挟持部材９４との間に配置される第三付勢部９２Ｂは、当該反発力によって生じる上方向への衝撃を吸収する。

次に、図５〜図７を用いて、左右方向に配列された第二支持部４０と第一支持部５０とを連結するリンク機構７０の動作の一例を説明する。例えば、走行時の遠心力により、左側の第二支持部４０の第一付勢部４８，４８に力が作用したとする。第二支持部４０の第一付勢部４８，４８に力が作用すると第一付勢部４８，４８は縮められ、第四本体部材４６は上方（矢印Ｄ１）に移動する。すなわち、第四本体部材４６とベース部１０Ａとの距離が縮まる。第四本体部材４６が上方に移動すると、第四本体部材４６に第一ブッシュ８１を介して固定された第一シャフト７１の第一ブッシュ８１側の端部が、第二シャフト７２に連結される側の端部を基点として上方（矢印Ｄ２）に移動する。

第一シャフト７１の第一ブッシュ８１側の端部が上方に移動すると、第二シャフト７２は、左側から見て右回り（矢印Ｄ３）に回転する。第二シャフト７２が右回りに回転すると、これに連結された第三シャフト７３の連結部８８側の端部が、第二シャフト７２に連結される側の端部を基点として上方（矢印Ｄ４）に移動する。また、第二シャフト７２が右回りに回転すると、これに連結された第四シャフト７４の第二シャフト７２に連結される側とは反対側の端部が、第二シャフト７２に連結される側の端部を基点として上方（矢印Ｄ４）に移動する。これにより、第二ブッシュ８４を介して第三シャフト７３に固定されると共に第三ブッシュ８５を介して第四シャフト７４に固定された第一本体部材５４は上方（矢印Ｄ５）に押し上げられる。第一本体部材５４が上方に押し上げられると、一対の第一付勢部５８，５８が縮められる。すなわち、第一本体部材５４とベース部１０Ａとの距離が縮まる。

一方、第一付勢部４８，４８が伸び、第四本体部材４６は下方（矢印Ｄ１とは反対方向）に移動すると、第一シャフト７１の第一ブッシュ８１側の端部が、第二シャフト７２に連結される側の端部を基点として下方（矢印Ｄ２とは反対方向）に移動する。第一シャフト７１の第一ブッシュ８１側の端部が下方に移動すると、第二シャフト７２は、左側から見て左回り（矢印Ｄ３とは反対方向）に回転する。第二シャフト７２が左回りに回転すると、第三シャフト７３の連結部８８側の端部が、第二シャフト７２に連結される側の端部を基点として下方（矢印Ｄ４とは反対方向）に移動し、第四シャフト７４の第二シャフト７２に連結される側とは反対側の端部が、第二シャフト７２に連結される側の端部を基点として下方（矢印Ｄ４とは反対方向）に移動する。これにより、第一本体部材５４が下方（矢印Ｄ５とは反対方向）に押し下げられ、一対の第一付勢部５８，５８が伸ばされる。

このように、左右方向に配列される第二支持部４０と第一支持部５０とを連結するリンク機構７０は、第二支持部４０及び第一支持部５０の一方のバネ部材が縮んだり伸びたりすれば、ベース部１０Ａの底面に固着された第一ブロック８２及び第二ブロック８３を支点に第二シャフト７２が追従して回転運動し、第二支持部４０及び第一支持部５０の他方のバネ部材を縮めたり、伸ばしたりする。すなわち、リンク機構７０は、互いに連結されている第二支持部４０及び第一支持部５０におけるベース部１０Ａと第四本体部材４６との距離と、ベース部１０Ａと第一本体部材５４との距離との間に差が生じたときに、互いに連結されている第二支持部４０及び第一支持部５０におけるベース部１０Ａと第四本体部材４６との距離と、ベース部１０Ａと第一本体部材５４との距離とを互いに近づけるように動作する。

リンク機構７０は、互いに連結される第二支持部４０及び第一支持部５０におけるベース部１０Ａと第四本体部材４６との距離と、ベース部１０Ａと第一本体部材５４との距離との間に差が生じたときに応力（捻り応力）が発生する第二シャフト７２を有している。第二シャフト７２に発生した応力に対する反力は、互いに連結されている第二支持部４０及び第一支持部５０におけるベース部１０Ａと第四本体部材４６との距離と、ベース部１０Ａと第一本体部材５４との距離とを互いに近づける力として作用する。

次に、前後方向に配列された第一支持部５０同士を連結するリンク機構７０の動作の一例を説明する。例えば、走行時の加速又は減速により、後側の第一支持部５０の第一付勢部５８，５８に力が作用したとする。第一支持部５０の第一付勢部５８，５８に力が作用すると第一付勢部５８，５８は縮められ、第一本体部材５４は上方（矢印Ｄ５）に移動する。すなわち、第一本体部材５４とベース部１０Ａとの距離が縮まる。第一本体部材５４が上方（矢印Ｄ５）に移動すると、第二ブッシュ８４を介して第一本体部材５４に固定された第三シャフト７３の連結部８８側の端部が、第二シャフト７２に連結される側の端部を基点として上方（矢印Ｄ６）に移動する。

連結部８８が上方（矢印Ｄ６）に移動すると、連結部８８に連結される他方の第三シャフト７３（図５において左方に配置された第三シャフト７３）も、第二シャフト７２に連結される側の端部を基点として連結部８８側の端部が上方（矢印Ｄ６）に移動する。これにより、第二ブッシュ８４を介して第三シャフト７３に固定された前側の第一支持部５０の第一本体部材５４が上方（矢印Ｄ７）に押し上げられる。第一本体部材５４が上方に押し上げられると、一対の第一付勢部５８，５８が縮められる。すなわち、第一本体部材５４とベース部１０Ａとの距離が縮まる。

一方、前側の第一支持部５０の第一付勢部５８，５８が伸び、第一本体部材５４が下方（矢印Ｄ５とは反対方向）に移動すると、第三シャフト７３の連結部８８側の端部が、第二シャフト７２に連結される側の端部を基点として下方（矢印Ｄ６とは反対方向）に移動する。連結部８８が下方に移動すると、連結部８８に連結される他方の第三シャフト７３も、第二シャフト７２に連結される側の端部を基点として連結部８８側の端部が下方（矢印Ｄ６とは反対方向）に移動する。これにより、前側の第一支持部５０の第一本体部材５４が下方（矢印Ｄ７とは反対方向）に押し下げられる。第一本体部材５４が下方に押し下げられると、一対の第一付勢部５８，５８が伸ばされる。

このように、前後方向に配列される第一支持部５０同士を連結するリンク機構７０は、一方の第一支持部５０の一方の第一付勢部５８，５８が縮んだり伸びたりすれば、連結部８８を支点に一方の第三シャフト７３の動きに他方の第三シャフト７３の動きが追従して、他方の第一支持部５０の第一付勢部５８，５８を縮めたり伸ばしたりする。すなわち、リンク機構７０は、互いに連結されている第一支持部５０におけるベース部１０Ａと各第一本体部材５４，５４との間の距離同士を互いに近づけるように動作する。

リンク機構７０は、互いに連結される第一支持部５０同士におけるベース部１０Ａと第一本体部材５４との各距離の間に差が生じたときに応力が発生する第三シャフト７３を有している。第三シャフト７３に発生した応力に対する反力は、互いに連結されている第一支持部５０同士におけるベース部１０Ａと第一本体部材５４との各距離を互いに近づける力として作用する。

上記実施形態の天井搬送車１の作用効果について説明する。上記天井搬送車１の第一支持部５０では、相対的に軽いＦＯＵＰ９０を把持する場合には、第一付勢部５８の反発力（付勢力）のみがベース部１０Ａと第一本体部材５４（連結部材９６）との間に作用し、第二所定値より重く相対的に重いＦＯＵＰ９０を把持する場合には、第一付勢部５８と第二付勢部９１Ａの両方の反発力（付勢力）がベース部１０Ａと第一本体部材５４（連結部材９６）との間に作用する。同様に、上記天井搬送車１の第二支持部４０では、相対的に軽いＦＯＵＰ９０を把持する場合には、第一付勢部４８の反発力のみがベース部１０Ａと第四本体部材４６との間に作用し、第二所定値より重く相対的に重いＦＯＵＰ９０を把持する場合には、第一付勢部４８と第二付勢部９１Ｂとの両方の反発力がベース部１０Ａと第四本体部材４６との間に単独で作用する。これにより、相対的に軽いＦＯＵＰ９０を把持する場合には、第一付勢部５８（第一付勢部４８）の作用によってＦＯＵＰ９０に伝わる振動を低減することができ、相対的に重いＦＯＵＰ９０を把持する場合には、第一付勢部５８（第一付勢部４８）と第二付勢部９１Ａ（第二付勢部９１Ｂ）との相互の作用によってＦＯＵＰ９０に伝わる振動を低減することができる。この結果、搬送するＦＯＵＰ９０の重量に幅がある場合であっても、ＦＯＵＰ９０に伝わる振動を低減することができる。

上記天井搬送車１では、第二付勢部９１Ａ，９１Ｂは、粘弾性を有する部材によって形成されている。これにより、ＦＯＵＰ９０の揺れを減衰させることができ、効果的にＦＯＵＰ９０の揺れを抑制できる。

上記天井搬送車１では、第一付勢部４８，５８は、空のＦＯＵＰ９０を把持したときに圧縮されないように与圧されている。これにより、空のＦＯＵＰ９０を把持したとしても第一付勢部４８，５８が縮まないので、空のＦＯＵＰ９０を把持した段階で第二付勢部９１Ａ，９１Ｂが第一本体部材５４（第四本体部材４６）とベース部１０Ａとの両方に接触することを容易に防止できる。

上記天井搬送車１では、第一本体部材５４（第四本体部材４６）とベース部１０Ａとの間に第三付勢部９２Ａ，９２Ｂが配置されている。これにより、第二付勢部９１Ａ，９１Ｂが収縮したときの跳ね返り時の振動を低減することができる。

上記天井搬送車１では、第三付勢部９２Ａ，９２Ｂは、粘弾性を有する部材によって形成されている。これにより、跳ね返り時の振動の揺れを減衰させることができ、効果的にＦＯＵＰ９０の揺れを抑制できる。

上記天井搬送車１では、ベース部１０Ａは、第一付勢部５８及び第一付勢部４８を介して第一本体部材５４及び第四本体部材４６に対して上下方向に移動可能に設けられているので、走行駆動部３が走行するとき又は昇降装置１０が昇降するときの振動が物品に伝わることを抑制できる。また、上記天井搬送車１では、リンク機構７０が、互いに連結されている第二支持部４０及び第一支持部５０におけるベース部１０Ａと第四本体部材４６との距離と、ベース部１０Ａと第一本体部材５４との距離との間に差が生じたときに、互いに連結されている第二支持部４０及び第一支持部５０におけるベース部１０Ａと第四本体部材４６との距離と、ベース部１０Ａと第一本体部材５４との距離とを互いに近づけるので、ベース部１０Ａにロール運動が生じることを抑制できる。このため、ベース部１０Ａにおける傾きを小さくすることができ、ＦＯＵＰ９０の揺れを抑制できる。これらの結果、ＦＯＵＰ９０に伝わる振動を低減しつつ、ＦＯＵＰ９０の揺れを抑制することができる。

リンク機構７０は、走行駆動部３が走行する前後方向及び上下方向の両方に直交する左右方向（幅方向）に配列された二つの第一支持部５０及び第二支持部４０同士を連結するので、カーブ走行時又はＦＯＵＰ９０を横方向へ移載する時に発生する幅方向へのロール運動を抑制できる。また、リンク機構７０は、走行駆動部３が走行する方向に配列された二つの第一支持部５０同士を連結するので、走行時の加速又は減速によって発生する前後方向へのロール運動を抑制できる。

以上、一実施形態について説明したが、本発明の一側面は、上記実施形態に限られるものではなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

上記実施形態では、左右方向に配列された二つの第一支持部５０及び第二支持部４０を連結すると共に、前後方向に配列された二つの第一支持部５０，５０同士を連結するリンク機構７０が設けられている例を挙げて説明したが、リンク機構７０が設けられない構成の天井搬送車１であってもよい。この場合でも、搬送するＦＯＵＰ９０の重量に幅がある場合であっても、ＦＯＵＰ９０に伝わる振動を低減することができる。

上記実施形態及び変形例では、第一支持部５０は左右方向において昇降装置１０の右側に設けられ、第二支持部４０は左右方向において昇降装置１０の左側に設けられる例を挙げて説明したがこれに限定されない。例えば、左右方向において第一支持部５０と第二支持部４０との位置を入れ替えてもよいし、左右方向の両側に第一支持部５０又は第二支持部４０を配置してもよい。

上記実施形態及び変形例では、第二付勢部９１Ａ，９１Ａは、第一支持部材５４Ａに固着されている例を挙げて説明したが、ベース部１０Ａの下面に固着されていてもよい。同様に、第二付勢部９１Ｂ，９１Ｂは、第三支持部材４６Ａに固着されている例を挙げて説明したが、ベース部１０Ａの下面に固着されていてもよい。

上記実施形態及び変形例の第一付勢部５８又は第一付勢部４８に代えて、又は加えて、例えばシリコーン樹脂等によって形成されるゲル状の弾性体を配置してもよい。この場合であっても、第一付勢部５８又は第一付勢部４８を配置する場合と同様に振動及び衝撃を吸収することができる。

上記実施形態及び変形例では、左右方向に配列される第一支持部５０及び第二支持部４０がリンク機構７０により連結されると共に、前後方向に配列される第一支持部５０同士がリンク機構７０によって連結されている例を挙げて説明したがこれに限定されない。例えば、左右方向に配列される第一支持部５０及び第二支持部４０のみがリンク機構７０により連結される構成の天井搬送車であってもよい。この場合であっても、カーブ走行時又はＦＯＵＰを横方向へ移載する時に発生する幅方向へのロール運動を抑制できる。また、前後方向に配列される第一支持部５０同士のみがリンク機構７０により連結される構成の天井搬送車であってもよい。この場合であっても、走行時の加速又は減速によって発生する前後方向へのロール運動を抑制できる。

上記実施形態及び変形例では、第二付勢部９１Ａ，９１Ａは、第一支持部材５４Ａとベース部１０Ａとの間に配置され、第二付勢部９１Ｂ，９１Ｂは、第三支持部材４６Ａとベース部１０Ａとの間に配置される例を挙げて説明したがこれに限定されない。例えば、第二付勢部９１Ａ，９１Ａは、例えば、ベース部１０Ａの下面に設けられ、第一付勢部５８が所定量縮んだときに第三シャフト７３が移動する位置に設けられてもよい。すなわち、第二付勢部９１Ａ，９１Ａは、第二所定値より重たいＦＯＵＰ９０を把持したときの第三シャフト７３に接触するように設けられてもよい。同様に、第二付勢部９１Ｂ，９１Ｂは、第二所定値より重たいＦＯＵＰ９０を把持したときの第一シャフト７１に接触するように設けられてもよい。

１…天井搬送車、１０…昇降装置（昇降部）、１０Ａ…ベース部、１１…保持装置（把持部）、４０…第二支持部（支持部）、４０Ａ…防振部、４７…第二軸部（軸部）、４８…第一付勢部、５０…第一支持部（支持部）、５０Ａ…防振部、５７…第一軸部（軸部）、５８…第一付勢部、７０…リンク機構、９１Ａ，９１Ｂ…第二付勢部、９２Ａ，９２Ｂ…第三付勢部、９４…挟持部材、９５…挟持部材、９６…連結部材。

Claims (6)

1. 軌道に沿って走行可能な本体部と、物品を把持する把持部を有すると共に前記本体部に対して吊持部材によって昇降される昇降部と、を備えた天井搬送車であって、
   前記昇降部は、
   前記把持部が設けられるベース部と、
   防振部を介して鉛直方向下方から前記ベース部を鉛直方向に移動可能に支持する支持部と、を備え、
   前記防振部は、
   前記支持部と前記ベース部との両方に接触した状態で設けられ、前記支持部及び前記ベース部を互いに遠ざける方向に付勢する第一付勢部と、
   前記支持部及び前記ベース部の一方に設けられ、前記第一付勢部に所定値以上の荷重が加わると、前記支持部及び前記ベース部の両方に接触すると共に前記支持部及び前記ベース部を互いに遠ざける方向に付勢する第二付勢部と、を有している、天井搬送車。
2. 前記支持部は、複数設けられると共にリンク機構によって互いに連結されており、
   前記リンク機構は、互いに連結される前記支持部と前記ベース部との間の各距離同士を互いに近づけるように動作する、請求項１記載の天井搬送車。
3. 前記第二付勢部は、粘弾性を有する部材によって形成されている、請求項１又は２記載の天井搬送車。
4. 前記物品は、被収容物が収容されていない空の容器、又は、前記被収容物が収容された容器であり、
   前記第一付勢部は、前記空の容器を把持したときに圧縮されないように与圧されている、請求項１〜３の何れか一項記載の天井搬送車。
5. 前記昇降部は、一端が前記支持部に設けられると共に、前記ベース部に設けられた挿通孔を挿通する軸部を更に有し、
   前記第一付勢部は、前記軸部に挿通されており、
   前記軸部における他端には、前記ベース部との間で第三付勢部を挟持する挟持部材が設けられており、
   前記第三付勢部は、前記ベース部及び前記挟持部材の両方に接触すると共に前記ベース部及び前記挟持部材を互いに遠ざける方向に付勢する、請求項１〜４の何れか一項記載の天井搬送車。
6. 前記第三付勢部は、粘弾性を有する部材によって形成されている、請求項５記載の天井搬送車。

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