TW201448129A - 保管架 - Google Patents

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TW201448129A
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    • A47B55/00—Cabinets, racks or shelf units, having essential features of rigid construction
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Abstract

本發明提供一種可一方面確保承載荷重，一方面減少振動之保管架。保管架1具備有載置FOUP100之載置部20a~20d、及支撐載置部20a~20d之框部10，載置部20a、20c係具備有：框架22a、22c，其等經由第1彈性體40、41而配置於框部10；及架板24，其經由第2彈性體60、61而配置於框架22a、22c，並且載置有FOUP100。

Description

保管架
本發明係關於一種用以保管前開式晶圓盒(FOUP，Front-Opening Unified Pod)之保管架。
於半導體搬送系統中，設置有暫時保管作為晶圓載具之FOUP之保管架。作為保管架，存在有自高架搬送車之軌道或天花板垂吊者，其存在有當高架搬送車移行時，振動會傳遞至該保管架的情況。由於晶圓為精密構件，因此期望能減少振動之影響。
作為抑制振動之機構，例如已知有專利文獻1所記載者。於專利文獻1所記載之機構中，於載置物品之載台設置有黏彈性體。
[先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本專利特開2012-15371號公報
通常，為了使用防振構件(彈性體)而獲得減少振動之效果，必須將防振構件之彈性常數設定為較低，以使由防振對象物及防振構件所構成系統之固有振動數與輸入振動之固有振動數的 比值變大。然而，若使防振構件之彈性常數較低，則會產生無法於維持彈性之狀態下支撐防振對象物等問題。
本發明係為了解決上述問題而完成者，其目的在於提供一種可一方面確保耐負重，一方面減少振動之保管架。
關於本發明一態樣之保管架係一種具備有載置對象物之載置部、及支撐該載置部之框部者，其特徵在於：載置部係具備有：框架，其經由第1彈性體而配置於框部；及架板，其經由第2彈性體而配置於框架，並且載置有對象物。
於該保管架中，框架係經由第1彈性體而配置於框部，而載置有對象物之架板係經由第2彈性體而配置於框架。藉此，於保管架中，第1彈性體及第2彈性體係串聯地設置。因此，於保管架中，為了一方面確保耐負重，一方面獲得防振效果，可將彈性常數設定為較低，而可減少振動。
於一實施形態中，亦可為：對象物係為收納晶圓之FOUP，載置部係具備有配置於框架與架板之間，且剛性比第1及第2彈性體較高之第3彈性體，並且於FOUP載置於架板上時，第3彈性體係配置在FOUP之蓋所在之側。通常，FOUP之蓋側較重。因此，FOUP之重心偏向蓋側。因此，於保管架中，會將剛性較第1及第2彈性體高之第3彈性體配置於FOUP之蓋所在之側。藉此，於保管架中，可一方面減少振動，一方面抑制FOUP傾斜。
於一實施形態中，亦可為：框部係具備有相互對向之一對樑構件，框架係架設於一對樑構件上，且包含有：凹部，其位於一對樑構件之間，並且具有延伸在一對樑構件的對向方向之基 部、及自該基部之兩端部立起之一對立起部；以及伸出部，其自立起部之端部伸出並且經由第1彈性體而安裝於樑構件；第2彈性體係配置於框架之凹部。藉此，於保管架中，即便為串聯地設置第1彈性體及第2彈性體之構成，亦可抑制架板之位置變高。因此，於保管架中，可實現載置部之高度方向之省空間化。
於一實施形態中，亦可為：框部係安裝於移行台車之軌道或支撐該軌道之支撐構件。藉此，於保管架中，無需另行準備用以支撐該保管架之構件，可實現構成之簡易化。
根據本發明，可一方面確保耐負重，一方面減少振動。
1、1A‧‧‧保管架
3a~3d‧‧‧垂吊構件
5a、5b‧‧‧連結構件
7a、7b‧‧‧樑構件
10‧‧‧框部
9a、9b、12a、12b‧‧‧圍欄構件
20a~20d‧‧‧載置部
22a~22c‧‧‧框架
24‧‧‧架板
24a‧‧‧載置面
30‧‧‧凹部
30a‧‧‧基部
30b、30c‧‧‧立起部
31、32‧‧‧伸出部
40、41‧‧‧第1彈性體
42、51、62、71‧‧‧凝膠構件
43、63‧‧‧螺旋彈簧
44、52、64、72‧‧‧螺釘部
45、53、65、66、73‧‧‧螺帽
50‧‧‧第3彈性體
60、61‧‧‧第2彈性體
70‧‧‧第4彈性體(第3彈性體)
100‧‧‧FOUP
102‧‧‧蓋
D1、D2‧‧‧間隔
P1~P3‧‧‧銷
圖1係表示一實施形態之保管架之立體圖。
圖2係表示載置部之立體圖。
圖3係載置有FOUP之保管架之側視圖。
圖4係另一實施形態之保管架之側視圖。
以下，參照隨附圖式，對本發明較佳之實施形態進行詳細說明。再者，於圖式之說明中，對相同或相當之元件標註相同元件符號，並省略重複之說明。又，「X方向」、「Y方向」及「Z方向」之用語係根據圖示之方向而為了方便起見所使用者。
圖1係表示一實施形態之保管架之立體圖。圖1所示之保管架1，例如設置於半導體製造工廠之半導體搬送系統。保管架1係用以保管收納晶圓之FOUP(前開式晶圓盒，Front-Opening Unified Pod：晶圓載具)100(參照圖3)。FOUP100收納有複數片例如直徑為300mm或450mm之晶圓。
保管架1具備有框部10及載置部20a、20b、20c、20d。框部10支撐有載置部20a~20d。框部10具備有垂吊構件3a~3d、連結構件5a、5b、及樑構件7a、7b。
垂吊構件3a~3d為沿上下方向(Z方向)延伸之柱構件，且設置有複數根(於本實施形態中為4根)。垂吊構件3a~3d係於X方向及Y方向上隔開既定之間隔而對向地配置。垂吊構件3a~3d係安裝於高架搬送車(移行台車)之軌道、支撐該軌道之支撐構件、或天花板之任一者。於垂吊構件3a、3b之下端側橫架有於X方向延伸之圍欄構件9a。於垂吊構件3c、3d之下端側，橫架有沿X方向延伸之圍欄構件9b。圍欄構件9a、9b係用以防止FOUP100之掉落。
連結構件5a為沿X方向延伸之構件，且連結垂吊構件3a與垂吊構件3c之下端部。連結構件5b為沿X方向延伸之構件，且連結垂吊構件3b與垂吊構件3d之下端部。
樑構件7a、7b為沿Y方向延伸之構件，且架設於連結構件5a、5b上。樑構件7a、7b係於X方向上隔開既定之間隔而相互對向。
載置部20a~20d係載置有FOUP100。載置部20a~20d係由框部10所支撐。載置部20a~20d係於框部10沿著Y方向配置有數個(此處為4個)。各載置部20a~20d具有相同之構成。此處，以載置部20a為一例進行具體說明。
圖2係表示載置部之圖。圖3係載置有FOUP之保管 架之側視圖。如圖2及圖3所示，載置部20a具備有框架22a、22b、22c、及架板24。
框架22a~22c係架設於樑構件7a、7b上。框架22a~22c係於Y方向上隔開既定之間隔而依序配置。亦即，框架22b係配置於框架22a與框架22c之間(大致中央部)。各框架22a~22c具有相同之構成。此處，以框架22a為一例進行具體說明。
框架22a具有呈凹形狀之凹部30、及自凹部30之端部向兩側伸出之伸出部31、32。框架22a為板狀之構件，且藉由例如板金加工而一體地形成凹部30及伸出部31、32。
凹部30具有：基部30a，其沿X方向(一對樑構件7a、7b之對向方向)延伸；及立起部30b、30c，其等自基部30a之X方向(長度方向)之端部大致垂直地立起。伸出部31、32之各者係自立起部30b、30c之上端部，以於X方向上相互朝向外側之方式伸出。伸出部31、32係與基部30a大致平行。
框架22a係經由第1彈性體40、41而配置於樑構件7a、7b。詳細而言，框架22a之伸出部31、32係經由第1彈性體40、41而配置於樑構件7a、7b。第1彈性體40、41具有相同之構成。此處，以第1彈性體40為一例進行具體說明。
第1彈性體40具有凝膠構件42、螺旋彈簧43、及上下一對螺釘部44。凝膠構件42係配置於螺旋彈簧43之內側。螺釘部44係以螺釘自圓盤狀之基部向上方或下方突出之方式構成，且設為利用上下一對螺釘部44夾住凝膠構件42及螺旋彈簧43。
框架22a係於形成於伸出部31、32之貫通孔(未圖示)插通有第1彈性體40、41之螺釘部44，並藉由螺帽45固定於第1 彈性體40、41(具體而言為螺釘部44之基部)。同樣地，第1彈性體40、41係藉由未圖示之螺帽固定於樑構件7a、7b。藉此，框架22a係經由第1彈性體40、41而固定於樑構件7a、7b。
框架22b之伸出部31係經由第3彈性體50而配置於樑構件7a。第3彈性體50具有凝膠構件51、及上下一對螺釘部52。螺釘部52係以螺釘自圓盤狀之基部向上方或下方突出之方式構成，且設為利用上下一對螺釘部44夾住凝膠構件51。第3彈性體50之剛性較第1彈性體40、41及後述之第2彈性體60、61高。亦即，第3彈性體50之適當負重較第1彈性體40、41之適當負重大。
框架22b係於形成於伸出部31之貫通孔(未圖示)插通有第3彈性體50之螺釘部52，並藉由螺帽53固定於第3彈性體50(具體而言為螺釘部52之基部)。第3彈性體50係藉由未圖示之螺帽而固定於樑構件7a。藉此，框架22b係經由第3彈性體50而固定於樑構件7a。框架22b之伸出部32係經由第1彈性體41而固定於樑構件7b。
於保管架1中，於位於Y方向上之兩端部之載置部20a、20d，設置有圍欄構件12a、12b。圍欄構件12a係安裝於載置部20a之框架22a之基部30a。圍欄構件12b係安裝於載置部20d之框架22c之基部30a。圍欄構件12a、12b係用以防止FOUP100之掉落。
架板24為呈大致矩形形狀之板狀構件，且載置有FOUP100。架板24具有載置FOUP100之載置面24a。架板24於X方向上之寬度較框架22a~22c之立起部30b、30c之間隔小，且位於框架22a~22c之凹部30。
於架板24設置有銷P1、P2、P3。銷P1~P3係自架板24之載置面24a向上方突出。銷P1~P3係配置於與設置於FOUP100底部之定位孔(未圖示)對應之位置。於本實施形態中，FOUP100係以蓋102位於圖示左側之方向而載置於架板24。
架板24係經由第2彈性體60、61而配置於框架22a、22c。詳細而言，架板24係經由第2彈性體60、61而配置於框架22a、22c之凹部30之基部30a。第2彈性體60、61具有相同之構成。此處，以第2彈性體60為一例進行具體說明。
第2彈性體60具有與第1彈性體40、41相同之構成，且具有凝膠構件62、螺旋彈簧63、及上下一對螺釘部64。凝膠構件62係配置於螺旋彈簧63之內側。螺釘部64係以螺釘自圓盤狀之基部向上方或下方突出之方式構成，且設為利用上下一對螺釘部64夾住凝膠構件62。第2彈性體60、61之適當負重與第1彈性體40、41之適當負重大致同等。
架板24係於其貫通孔(未圖示)插通有第2彈性體60、61之螺釘部64，並藉由螺帽65固定於第2彈性體60、61(具體而言為螺釘部64之基部)。第2彈性體60、61係藉由螺帽66而固定於框架22a、22c之基部30a。藉此，架板24係經由第2彈性體60、61而固定於框架22a、22c。
第2彈性體60與第2彈性體61係隔開既定間隔而固定於架板24之角部。於本實施形態中，如圖3所示，於FOUP100配置於架板24時，第2彈性體60、61相對於框架22a、22c之安裝位置係偏向FOUP100之蓋102側。具體而言，第2彈性體60、61相對於框架22a、22c之安裝位置，係設為架板24之前端(圖示 左端)與立起部30b之間隔D1小於架板24之後端(圖示右側)與立起部30c之間隔D2的位置。
又，架板24係經由第4彈性體(第3彈性體)70而配置於框架22b。詳細而言，架板24係經由第4彈性體70而配置於框架22b之凹部30之基部30a。於FOUP100配置於架板24時，第4彈性體70係配置於FOUP100之蓋102側。
第4彈性體70具有與第3彈性體50同等之構成，且具有凝膠構件71、及上下一對螺釘部72。螺釘部72係以螺釘自圓盤狀之基部向上方或下方突出之方式構成，且設為利用上下一對螺釘部72夾住凝膠構件71。第4彈性體70之剛性較第1彈性體40、41及第2彈性體60、61高。第4彈性體70之適當負重與第3彈性體50之適當負重大致同等。
架板24係於其貫通孔(未圖示)插通有第4彈性體70之螺釘部72，並藉由螺帽73固定於第4彈性體70。第4彈性體70係藉由螺帽73而固定於框架22b之基部30a。藉此，架板24係經由第4彈性體70而固定於框架22b。
架板24之高度位置係設為與框架22a~22c之伸出部31、32之高度位置大致同等。
如以上所說明般，於本實施形態之保管架1中，框架22a~22c係經由第1彈性體40、41及第3彈性體50而架設於樑構件7a、7b上，且載置有FOUP100之架板24係經由第2彈性體60、61而配置於框架22a、22c。藉此，由於在保管架1中，串聯地設置有第1彈性體40、41與第2彈性體60、61，因此可一方面確保耐負重，一方面為了獲得防振效果而將彈性常數設定為較低，從而 可減少振動。
此處，FOUP100之蓋102側變重，且重心偏向蓋102側。因此，若於架板24載置FOUP100，則有FOUP100向蓋102側傾斜之虞。
相對於此，於本實施形態中，於FOUP100之蓋102所在之側，配置有剛性較第1彈性體40、41及第2彈性體60、61高之第3彈性體50及第4彈性體70。亦即，於載置部20a~20d中，於FOUP100之蓋102側，配置較蓋102側之相反側更多的彈性體，並且使該彈性體之剛性較高。進而，於本實施形態中，第2彈性體60、61及第4彈性體70係於框架22a~22c之凹部30，偏向FOUP100之蓋102所在之側而配置。藉此，於本實施形態中，可藉由根據FOUP100之重心配置彈性體，而抑制FOUP100向蓋102側傾斜。
於本實施形態中，框架22a~22c具有位於一對樑構件7a、7b之間之凹部30。架板24係配置於框架22a~22c之凹部30。藉此，架板24之高度位置係設為與框架22a~22c之伸出部31、32之高度位置大致同等。因此，於保管架1中，即便為串聯地設置第1彈性體40、41與第2彈性體60、61之構成，亦可實現載置部20a~20d之高度方向之省空間化。
本發明並不限定於上述實施形態者。圖4為另一實施形態之保管架之側視圖。如圖4所示，於保管架1A中，架板24之前端(圖示左端)與立起部30b之間隔D1和後端(圖示右側)與立起部30c之間隔D2係設為大致同等。於保管架1A中，較佳為於FOUP100之蓋102側配置剛性較配置於與蓋102相反側之彈性體高 之第1及第2彈性體40、60。藉此，於保管架1A中，可抑制FOUP100之傾斜。
於上述實施形態中雖然使用第1彈性體40、41、第2彈性體60、61、第3彈性體50、第4彈性體70，但亦可僅使用第1彈性體40、41及第2彈性體60、61。於該情況下，較佳為將架皮24配置於偏向FOUP100之蓋102側。
於上述實施形態中，雖然已以具備複數個框架22a~22c之構成為一例進行說明，但框架亦可為1個。
又，配置彈性體之位置、彈性體之數量及彈性體之種類，只要根據防振對象物之重量或重心適當設定即可。
於上述實施形態中，雖然已以於保管架1保管FOUP100之形態為一例進行說明，但對象物亦可為其他種類之晶圓載具，例如前開式運輸盒(FOSB，Front Opening Shipping Box)或多重應用搬運器(MAC，Multiple Application Carrier)等。
7a、7b‧‧‧樑構件
20a‧‧‧載置部
22a~22c‧‧‧框架
24‧‧‧架板
24a‧‧‧載置面
30‧‧‧凹部
30a‧‧‧基部
30b、30c‧‧‧立起部
31、32‧‧‧伸出部
40、41‧‧‧第1彈性體
42、51、62、71‧‧‧凝膠構件
43、63‧‧‧螺旋彈簧
44、52、64、72‧‧‧螺釘部
45、53、65、73‧‧‧螺帽
50‧‧‧第3彈性體
60、61‧‧‧第2彈性體
70‧‧‧第4彈性體(第3彈性體)
P1~P3‧‧‧銷

Claims (4)

  1. 一種保管架，其具備有載置對象物之載置部、及支撐該載置部之框部；其特徵在於：上述載置部係具備有：框架，其經由第1彈性體而配置於上述框部；及架板，其經由第2彈性體而配置於上述框架，並且載置有上述對象物。
  2. 如申請專利範圍第1項之保管架，其中，上述對象物係為收納晶圓之FOUP，上述載置部係具備有配置於上述框架與上述架板之間，且剛性比上述第1及第2彈性體較高之第3彈性體，並且於上述FOUP載置於上述架板上時，上述第3彈性體係配置在上述FOUP之蓋所在之側。
  3. 如申請專利範圍第1或2項之保管架，其中，上述框部係具備有相互對向之一對樑構件，上述框架係架設於上述一對樑構件上，且包含有：凹部，其位於一對上述樑構件之間，並且具有延伸在一對上述樑構件的對向方向之基部、及自該基部之兩端部立起之一對立起部；及伸出部，其自上述立起部之端部伸出並且經由上述第1彈性體而配置於上述樑構件；且上述第2彈性體係配置於上述框架之凹部。
  4. 如申請專利範圍第1項之保管架，其中，上述框部係安裝於移行台車之軌道或支撐該軌道之支撐構件。
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