JP5099386B2 - 基板用のカセットの載置台 - Google Patents

Description

この発明は、移載装置あるいはロードポート等での、基板用のカセットの載置台に関する。

液晶ディスプレイ基板、プラズマパネルディスプレイ基板、太陽電池基板、等の基板用のカセットは多数の梁を備えたスケルトン状の構造をし、内部に基板を複数枚収容するようにされている。このようなカセットは大形の基板を搬送及び保管するために用いられる。基板を収容したカセットは重量物なので、載置台に載置すると、載置台が変形し振動が生じる。この振動は基板に悪影響を与える。これに対して、特許文献１（JP2008-24461A）は、載置台の振動を抑制するように、チルト制御を施すことを開示している。このためには載置台をチルトさせるチルト機構と、正確な制御とが必要である。これに対して発明者は、より簡便にカセットの振動を低減することを検討し、この発明に到った。なお特許文献２（JP2008-298065A）は、無人搬送車のスカラアームに防振ゲルを設けることを開示している。しかしながら特許文献２は、基板用のカセットを載置台で支持することを検討していない。

JP2008-24461A JP2008-298065A

この発明の基本的課題は、基板用の大形のカセットを載置台で支持する際に、簡単に振動を低減することにある。

この発明は、複数本の梁を底面に備えた、基板用のカセットを載置するための載置台であって、粘弾性体を備えた梁の受台が複数個、載置台本体に取り付けられ、受台でカセットの底面を支持するように構成されている。粘弾性体は例えば建築物等の構造体の防振用のものである。

カセットを載置台に載置すると、カセットの重量で載置台は変形し、この時、カセットからの重力と載置台の弾性力とが釣り合う位置を越えて変形するため、振動が始まる。この発明では、カセットを粘弾性体を備えた受台で支持するので、載置台とカセットの振動のエネルギーを粘弾性体で熱に変換し、カセットと載置台の振動を小さくする。このように小さな粘弾性体で大きなカセットの振動を低減できる。

この発明では、粘弾性体は上下双方から少なくとも一対の金属板で挟み込まれ、下方の金属板は載置台本体に固定され、上方の金属板の上面側に梁の底面を支持する導電性樹脂のパッドが取り付けられ、さらにパッドを載置台本体に接地するアース線が設けられている。粘弾性体を上下双方から金属板で挟み込むことにより、載置台本体に簡単に取り付けることができる。一般に粘弾性体は絶縁体であるが、上方の金属板の上面側に導電性樹脂のパッドを設けてアースすると、カセットを確実にアースでき、静電気による基板へのパーティクルの付着と基板の損傷を防止できる。さらにカセットを台に載置する際に、導電性樹脂のパッドが梁の底面を支持するので、低衝撃でカセットを載置台に載置できる。

この発明では、上方の金属板及びパッドは梁よりも幅広で、梁の左右の両外側で、左右一対の取付板がパッドの上面に押し当てられ、かつ左右一対の取付板は上方の金属板に締結されている。この明細書で梁の左右とは、梁の長手方向に水平面内で直角な方向での左右である。パッドは梁の底面から加わる力で摩耗するが、取付板を外すと簡単にパッドのみを交換できる。また取付板は梁の左右両外側にあって、梁とは接触しない。

好ましくは、梁を両側から案内する一対のガイドからなるガイド部が、載置台本体に設けられている。このようにすると、梁はガイド部で案内されて、粘弾性体を備えた受台に載置され、カセットからの荷重は粘弾性体に所定のパターンで加わる。

実施例の基板用のカセットの載置台の平面図 載置台上の受台を示す要部拡大平面図 載置台上の受台を示す要部拡大側面図 載置台上のガイドを示す要部拡大側面図

以下に本発明を実施するための最適実施例を示す。この発明の範囲は、特許請求の範囲の記載に基づき、明細書の記載とこの分野での周知技術とを参酌し、当業者の理解に従って定められるべきである。

図１〜図４に、実施例の載置台２を示す。載置台２は液晶カセット１６等を載置し、スカラアーム、スライドフォーク等の移載装置の一部として用いるが、自動倉庫での液晶カセット１６等の棚として用いても良い。また液晶カセット１６に代えて、プラズマパネルディスプレイ等の基板のカセットとしても良い。さらに粘弾性体を備えた受台２０による制振に、特許文献１に記載の載置台２のチルト制御を併用しても良い。

各図において、載置台２は例えば一対の金属製フレーム４，４を備え、フレーム４，４間はビーム５，６で接続されている。８はダブルアームのスカラアームで、載置台２はスカラアーム８の先端のハンドであるが、シングルアームのスカラアーム、あるいはスライドフォーク等に載置台２を取り付けても良い。１０，１０は個別のアーム、１２は軸、１４は載置台２の取付部で、スカラアーム８は例えばスタッカークレーンの昇降台、あるいは無人搬送車、ロードポート等に取り付ける。

液晶カセット１６（以下単に、カセット１６）は、複数の柱（図示せず）と桟１８，１９等を結合した直方体状の形状をし、桟１８，１９及び図示しない柱等の部分以外は開放しており、スケルトン状の形状をしている。載置台２は、複数個の受台２０，２１によりカセット１６の桟１８，もしくは１９を支持し、ガイド部２２により桟１８，１９をガイドして、桟１８を受台２０，２１の左右方向に対して位置決めする。

受台２０の構造を図２，図３に示し、受台２１も同様である。２６は板状もしくは層状の粘弾性体で、例えばアクリル樹脂等の構造物の防振用の粘弾性体である。粘弾性体２６は上下両面を金属板２４，２５に接着されて挟み込まれ、下方の金属板２４はビス３４、あるいはボルト等でフレーム４に締結されている。導電性の樹脂パッド２８が、例えば金属の取付板３３と、ビス３５，ボルト，ネジ等の締結具により、上方の金属板２５に締結されている。樹脂パッド２８はポリウレタン、ポリエチレン等の弾性材料から成り、カーボン等の導電性材料を混合して導電化されている。アース線３２が、例えば金属板２５にビス３６等で取り付けられ、保護用のカバー３０に設けた小孔を介して金属製のフレーム４に取り付けられてアースされている。なおカバー３０は設けなくても良い。アース線３２は導電性樹脂パッド２８に導電性接着剤等で接着しても良い。

粘弾性体２６の左右の幅は桟１８の左右の幅以上とし、例えば桟１８の幅よりもやや大きくする。金属板２５と樹脂パッド２８の左右の幅は桟１８の左右の幅よりも大きくし、桟１８から左右の両外側に外れた位置に取付板３３，３３を配置して、ビス３５等の締結具により、樹脂パッド２８を挟み込んだ取付板３３を金属板２５に締結する。金属板２４，２５は剛性が必要なので金属とするが、取付板３３は高い剛性は不要で、プラスチック板等でも良く、またアース線３２をフレーム４に接続するための構成は任意である。

受台２１は、受台２０と同じ構造で、例えばアース線３２を設けていない点が異なる。これらの受台２０，２１の全てに粘弾性体２６を設ける必要はなく、一部の受台２０，２１では、粘弾性体２０，２１に代えて、ウレタンゴム、エチレンプロピレンゴム等の弾性体、好ましくは導電性材料で導電化した弾性体を設けても良い。しかし粘弾性体２６は複数個の受台２０，２１に設け、複数箇所で振動エネルギーを吸収する。またアース線３２は全ての受台２０，２１に設ける必要はないが、複数個の受台２０，２１に設ける。

図４に、ガイド部２２の取り付けを示す。ガイド部２２では、一対の金属ガイドが、桟１８，１９よりもやや大きな間隔を空けて、桟１８等を案内するように配置されている。ガイドの上面にはテーパー面４０が設けられて、桟１８等をガイドする。２３は、ガイド部２２をフレーム４、ビーム５，６等に取り付ける取付板である。

実施例の作用効果を示す。カセット１６を載置台２に載置する際に、ガイド部２２は桟１８，１９等をガイドし、受台２０，２に対して所定の位置に載るようにガイドする。受台２０，２１の上面は導電性の樹脂パッド２８で構成されているので、カセット１６が載置台２に接触する際の衝撃が小さくなる。そしてカセット１６からの荷重で、載置台２は変形し、カセット１６と載置台２とが振動するが、この振動エネルギーを粘弾性体２６で吸収し、振動を低減する。このため例えば制振用のチルト機構とチルト制御が不要になる。樹脂パッド２８は桟１８，１９等に接触するので損耗するが、ビス３５と取付板３３とを外すと、容易に交換できる。またアース線３２によりカセット１６を確実にアースできる。

２ 載置台
４ フレーム
５，６ ビーム
８ ダブルアームのスカラアーム
１０ アーム
１２ 軸
１４ 取付部
１６ 液晶カセット
１８，１９ 桟
２０，２１ 受台
２２ ガイド部
２３ 取付板
２４，２５ 金属板
２６ 粘弾性体
２８ 樹脂パッド
３０ カバー
３３ 取付板
３２ アース線
３４〜３６ ビス

Claims (2)

1. 複数本の梁を底面に備えた、基板用のカセットを載置するための載置台であって、
   粘弾性体を備えた、前記梁の受台が複数個、載置台本体に取り付けられ、前記受台で前記カセットの底面を支持するように構成され、
   前記粘弾性体は上下双方から少なくとも一対の金属板で挟み込まれ、下方の金属板は前記載置台本体に固定され、上方の金属板の上面側に前記梁の底面を支持する導電性樹脂のパッドが取り付けられ、
   さらに前記パッドを前記載置台本体に接地するアース線が設けられ、
   前記上方の金属板及び前記パッドは前記梁よりも幅広で、
   前記梁の左右の両外側で、左右一対の取付板が前記パッドの上面に押し当てられ、かつ前記左右一対の取付板は前記上方の金属板に締結されていることを特徴とする、基板用のカセットの載置台。
2. 前記梁を両側から案内する一対のガイドからなるガイド部が、前記載置台本体に設けられていることを特徴とする、請求項１の基板用のカセットの載置台。
   

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