KR101399399B1 - 기판용 카세트의 재치대 - Google Patents

Abstract

기판용 카세트의 진동을 저감시킨다. 복수 개의 빔을 저면에 구비한 기판용 카세트를 재치하는 재치대의 본체에 점탄성체를 구비한 빔의 받침대를 복수 개 장착하여, 받침대로 카세트의 저면을 지지한다.

Description

기판용 카세트의 재치대{MOUNTING TABLE OF CASSETTE FOR SUBSTRATE}

본 발명은 이동 재치(載置) 장치 혹은 로드 포트 등에서의 기판용 카세트의 재치대에 관한 것이다.

액정 디스플레이 기판, 플라즈마 패널 디스플레이 기판, 태양 전지 기판 등의 기판용 카세트는 다수의 빔을 구비한 스켈레톤 형상의 구조를 하고, 내부에 기판을 복수 매 수용하도록 되어 있다. 이러한 카세트는 대형 기판을 반송 및 보관하기 위하여 이용된다. 기판을 수용한 카세트는 중량물(重量物)이므로, 재치대에 재치하면 재치대가 변형하고 진동이 발생한다. 이 진동은 기판에 악영향을 미친다. 이에 대하여 특허 문헌 1(일본특허공개공보 2008-24461호)은 재치대의 진동을 억제하도록 틸트 제어를 실시하는 것을 개시하고 있다. 이를 위해서는 재치대를 틸트시키는 틸트 기구와 정확한 제어가 필요하다. 이에 대하여 발명자는 보다 간편하게 카세트의 진동을 저감시키는 것을 검토하여 이 발명에 도달하였다. 또한, 특허 문헌 2(일본특허공개공보 2008-298065호)는 무인 반송차의 스카라 암(SCARA arm)에 방진 겔을 설치하는 것을 개시하고 있다. 그러나, 특허 문헌 2는 기판용 카세트를 재치대에서 지지하는 것을 검토하지 않았다.

일본특허공개공보 2008-24461호 일본특허공개공보 2008-298065호

본 발명의 기본적 과제는 기판용의 대형 카세트를 재치대에서 지지할 때에 간단히 진동을 저감시키는 것에 있다.

본 발명은, 복수 개의 빔을 저면(底面)에 구비한 기판용 카세트를 재치하기 위한 재치대로서, 점탄성체를 구비한 빔의 받침대가 복수 개 재치대 본체에 장착되어, 받침대로 카세트의 저면을 지지하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 한다. 점탄성체는 예를 들면 건축물 등의 구조체의 방진용의 것이다.

카세트를 재치대에 재치하면 카세트의 중량으로 재치대는 변형되며, 이때, 카세트로부터의 중력과 재치대의 탄성력이 균형을 이루는 위치를 초과하여 변형되기 때문에 진동이 시작된다. 본 발명에서는 카세트를 점탄성체를 구비한 받침대로 지지하므로, 재치대와 카세트의 진동의 에너지를 점탄성체에서 열로 변환하여 카세트와 재치대의 진동을 줄인다. 이와 같이 작은 점탄성체로 큰 카세트의 진동을 저감시킬 수 있다.

바람직하게, 점탄성체는 상하 쌍방에서부터 적어도 한 쌍의 금속판으로 샌드위치되며, 하방의 금속판은 재치대 본체에 고정되고, 상방의 금속판의 상면측에 빔의 저면을 지지하는 도전성 수지의 패드가 장착되며, 또한 패드를 재치대 본체에 접지시키는 접지선이 설치되어 있다. 점탄성체를 상하 쌍방에서부터 금속판으로 샌드위치함으로써 재치대 본체에 간단히 장착할 수 있다. 일반적으로 점탄성체는 절연체이지만, 상방의 금속판의 상면측에 도전성 수지의 패드를 설치하여 접지시키면 카세트를 확실하게 접지시킬 수 있어 정전기에 의한 기판으로의 파티클의 부착과 기판의 손상을 방지할 수 있다. 또한 카세트를 받침대에 재치할 때에 도전성 수지의 패드가 빔의 저면을 지지하므로, 저충격으로 카세트를 재치대에 재치할 수 있다.

더 바람직하게, 상방의 금속판 및 패드는 빔보다 큰 폭이며, 빔의 좌우의 양(兩) 외측에서 좌우 한 쌍의 장착판이 패드의 상면에 압착되고, 또한 좌우 한 쌍의 장착판은 상방의 금속판에 체결되어 있다. 본 명세서에서 빔의 좌우란, 빔의 길이 방향으로 수평면 내에서 직각인 방향에서의 좌우이다. 패드는 빔의 저면으로부터 가해지는 힘으로 마모되는데, 장착판을 분리하면 간단히 패드만을 교환할 수 있다. 또한 장착판은 빔의 좌우 양 외측에 있으며 빔과는 접촉하지 않는다.

바람직하게는, 빔을 양측에서부터 안내하는 한 쌍의 가이드로 이루어지는 가이드부가 재치대 본체에 설치되어 있다. 이와 같이 하면, 빔은 가이드부에서 안내되어 점탄성체를 구비한 받침대에 재치되고, 카세트로부터의 하중은 점탄성체에 소정의 패턴으로 가해진다.

도 1은 실시예의 기판용 카세트의 재치대의 평면도이다.
도 2는 재치대 상의 받침대를 도시한 주요부 확대 평면도이다.
도 3은 재치대 상의 받침대를 도시한 주요부 확대 측면도이다.
도 4는 재치대 상의 가이드를 도시한 주요부 확대 측면도이다.

이하에 본 발명을 실시하기 위한 최적의 실시예를 나타낸다. 본 발명의 범위는 특허 청구의 범위의 기재에 기초하고 명세서의 기재와 이 분야에서의 주지 기술을 참작하여 당업자의 이해에 따라 정해져야 하며, 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 다양한 변경이 가능하다. 특히, 본 명세서에 기재된 복수의 실시예 및 변형예는 필요에 따라 임의로 조합 가능하다.

[실시예]

도 1 내지 도 4에 실시예의 재치대(2)를 도시한다. 재치대(2)는 액정 카세트(16) 등을 재치(載置)하며, 스카라 암, 슬라이드 포크 등의 이동 재치 장치의 일부로서 이용되지만, 자동 창고에서의 액정 카세트(16) 등의 선반으로서 이용되어도 좋다. 또한, 액정 카세트(16) 대신에 플라즈마 패널 디스플레이 등의 기판의 카세트로 해도 좋다. 또한, 점탄성체(粘彈性體)를 구비한 받침대(20)에 의한 진동 제어에 특허 문헌 1에 기재된 재치대(2)의 틸트 제어를 병용해도 좋다.

각 도면에서 재치대(2)는, 예를 들면 한 쌍의 금속제 프레임(4, 4)을 구비하며, 프레임(4, 4) 사이는 빔(5, 6)으로 접속되어 있다. 8은 더블 암인 스카라 암이고, 재치대(2)는 스카라 암(8)의 선단의 핸드이지만, 싱글 암인 스카라 암 혹은 슬라이드 포크 등에 재치대(2)를 장착해도 좋다. 10, 10은 개별 암, 12는 축, 14는 재치대(2)의 장착부이며, 스카라 암(8)은, 예를 들면 스태커 크레인의 승강대 혹은 무인 반송차, 로드 포트 등에 장착된다.

액정 카세트(16)(이하 간단히 카세트(16))는 복수의 기둥(도시하지 않음)과 빔(18, 19) 등을 결합한 직육면체 형상을 하고, 빔(18, 19) 및 도시하지 않은 기둥 등의 부분 이외에는 개방되어 있으며 스켈레톤 형상을 하고 있다. 재치대(2)는 복수 개의 받침대(20, 21)에 의해 카세트(16)의 빔(18) 혹은 빔(19)을 지지하고, 가이드부(22)에 의해 빔(18, 19)을 가이드하여, 빔(18)을 받침대(20, 21)의 좌우 방향에 대하여 위치 결정한다.

받침대(20)의 구조를 도 2, 도 3에 도시하며, 받침대(21)도 동일하다. 26은 판상(板狀) 혹은 층 형상의 점탄성체이며, 예를 들면 아크릴 수지 등의 구조물의 방진용의 점탄성체이다. 점탄성체(26)는 상하 양면이 금속판(24, 25)에 접착되어 샌드위치되고, 하방의 금속판(24)은 비스(vis)(34) 혹은 볼트 등으로 프레임(4)에 체결되어 있다. 도전성의 수지 패드(28)가, 예를 들면 금속의 장착판(33)과 비스(35), 볼트, 나사 등의 체결구에 의해 상방의 금속판(25)에 체결되어 있다. 수지 패드(28)는 폴리우레탄, 폴리에틸렌 등의 탄성 재료로 이루어지며, 카본 등의 도전성 재료를 혼합하여 도전화(導電化)되어 있다. 접지선(32)이, 예를 들면 금속판(25)에 비스(36) 등에 의해 장착되고, 보호용 커버(30)에 형성된 작은 홀을 거쳐 금속제 프레임(4)에 장착되어 접지되어 있다. 또한, 커버(30)는 설치하지 않아도 된다. 접지선(32)은 도전성 수지 패드(28)에 도전성 접착제 등으로 접착시켜도 좋다.

점탄성체(26)의 좌우의 폭은 빔(18)의 좌우의 폭 이상으로 하며, 예를 들면 빔(18)의 폭보다 약간 크게 한다. 금속판(25)과 수지 패드(28)의 좌우의 폭은 빔(18)의 좌우의 폭보다 크게 하고, 빔(18)에서부터 좌우의 양 외측으로 이격된 위치에 장착판(33, 33)을 배치하여, 비스(35) 등의 체결구에 의해 수지 패드(28)를 샌드위치한 장착판(33)을 금속판(25)에 체결한다. 금속판(24, 25)은 강성이 필요하므로 금속으로 하지만, 장착판(33)은 높은 강성은 불필요하여 플라스틱판 등이어도 좋으며, 또한 접지선(32)을 프레임(4)에 접속시키기 위한 구성은 임의이다.

받침대(21)는 받침대(20)와 동일한 구조이며, 예를 들면 접지선(32)을 설치하지 않은 점이 상이하다. 이들 받침대(20, 21) 모두에 점탄성체(26)를 설치할 필요는 없으며, 일부의 받침대(20, 21)에서는 점탄성체(20, 21) 대신에 우레탄 고무, 에틸렌프로필렌 고무 등의 탄성체, 바람직하게는 도전성 재료로 도전화된 탄성체를 설치해도 좋다. 그러나, 점탄성체(26)는 복수 개의 받침대(20, 21)에 설치되어 복수 개소에서 진동 에너지를 흡수한다. 또한, 접지선(32)은 모든 받침대(20, 21)에 설치될 필요는 없으나, 복수 개의 받침대(20, 21)에 설치된다.

도 4에 가이드부(22)의 장착을 도시한다. 가이드부(22)에서는 한 쌍의 금속 가이드가 빔(18, 19)보다 약간 큰 간격을 두고 빔(18) 등을 안내하도록 배치되어 있다. 가이드의 상면에는 테이퍼면(40)이 형성되어 빔(18) 등을 가이드한다. 23은 가이드부(22)를 프레임(4), 빔(5, 6) 등에 장착하는 장착판이다.

실시예의 작용 효과를 나타낸다. 카세트(16)를 재치대(2)에 재치할 때에 가이드부(22)는 바(18, 19) 등을 가이드하여 받침대(20, 21)에 대해 소정의 위치에 재치하도록 가이드한다. 받침대(20, 21)의 상면은 도전성의 수지 패드(28)로 구성되어 있으므로, 카세트(16)가 재치대(2)에 접촉할 때의 충격이 적어진다. 그리고 카세트(16)로부터의 하중으로 재치대(2)는 변형되고 카세트(16)와 재치대(2)가 진동하는데, 이 진동 에너지를 점탄성체(26)에서 흡수하여 진동을 저감시킨다. 이 때문에, 예를 들면 진동 제어용의 틸트 기구와 틸트 제어가 불필요해진다. 수지 패드(28)는 빔(18, 19) 등에 접촉하므로 손상 및 마모되는데, 비스(35)와 장착판(33)을 분리하면 용이하게 교환할 수 있다. 또한, 접지선(32)에 의해 카세트(16)를 확실하게 접지할 수 있다.

2: 재치대
4: 프레임
5, 6: 빔
8: 더블 암인 스카라 암
10: 암
12: 축
14: 장착부
16: 액정 카세트
18, 19: 빔
20, 21: 받침대
22: 가이드부
23: 장착판
24, 25: 금속판
26: 점탄성체
28: 수지 패드
30: 커버
33: 장착판
32: 접지선
34 ~ 36: 비스

Claims (4)

1. 복수 개의 빔을 저면에 구비한 기판용 카세트를 재치(載置)하기 위한 재치대로서,
   점탄성체(粘彈性體)를 구비한 상기 빔의 받침대가 복수 개 재치대 본체에 장착되고, 상기 받침대에서 상기 카세트의 저면을 지지하도록 구성되어 있고,
   상기 점탄성체는 상하 쌍방에서부터 한 쌍의 금속판에 의해 샌드위치되고, 하방의 금속판은 상기 재치대 본체에 고정되며, 상방의 금속판의 상면측에 상기 빔의 저면을 지지하는 도전성 수지의 패드가 장착되고,
   상기 패드를 상기 재치대 본체에 접지시키는 접지선이 설치되어 있고,
   상기 상방의 금속판 및 상기 패드는 상기 빔보다 큰 폭이며,
   상기 빔의 좌우의 양 외측에서 좌우 한 쌍의 장착판이 상기 패드의 상면에 압착되고, 상기 좌우 한 쌍의 장착판은 상기 상방의 금속판에 체결되어 있는 것을 특징으로 하는 기판용 카세트의 재치대.
   
2. 삭제
3. 삭제
4. 제 1 항에 있어서,
   상기 빔을 양측에서부터 안내하는 한 쌍의 가이드로 이루어지는 가이드부가 상기 재치대 본체에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판용 카세트의 재치대.

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