JP2007146898A - 除振装置 - Google Patents

Abstract

【課題】比較的簡単な構成で良好な除振特性を得ることができる除振装置を提供する。
【解決手段】本発明の除振装置１は、設置用の脚部３ａを有するフレーム３と、フレーム３側と振動絶縁すべき除振の対象物を載せる架台１２と、架台１２をフレーム３上に支持する架台支持機構２０と、架台支持機構２０に設けられ、架台１２の被支持部１２ａとフレーム３上の支持部１４ｄとの間に介在された粘弾性体３１、３２を有する粘弾性ダンパ機構５とを備える。
【選択図】図２

Description

本発明は、外来振動に対して、精密機器などの除振対象物を絶縁するために用いる除振装置に関する。

従来、半導体の製造・検査装置、電子顕微鏡などを始めとする精密機器は、その機能及び仕様の高機能化や超精密化が図られているため、設置基礎又は床側からの振動を機器側に対して遮断する必要がある。

したがって、このようなスペックの高い精密機器の設置に際しては、ばね定数の低い防振ゴム、コイルばね、空気ばねなどで精密機器を搭載した定盤を支持しつつ、これらを受動に制御して除振を行う例えばパッシブ（受動）型の除振装置が利用されている（例えば特許文献１参照）。
特開平５−２９６２８８号公報

しかしながら、定盤の支持機構部分に単に空気ばねなどを採用する上記したパッシブ型の除振装置では、振動の減衰性能の向上が絶えず要請されており、この減衰性能を含む除振特性全般の改善が求められている。

ここで、定盤の変位量を検出しつつアクチュエータなどを通じて定盤を能動的に制御するアクティブ型の除振装置を適用することなどが考えられるが、アクティブ型の除振装置は、高精度な駆動制御が必要になるため装置構成が複雑な構造となる。

そこで本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、比較的簡単な構成で良好な除振特性を得ることができる除振装置の提供を目的とする。

上記目的を達成するために、本発明に係る除振装置は、振動絶縁すべき除振の対象物を載せる架台と、前記架台を支持する粘弾性体の介在された架台支持機構と、を具備することを特徴とする。

この発明の除振装置によれば、除振の対象物を載せる架台が粘弾性体を介して支持されるので、外来振動に対し架台側を、粘弾性体の持つ粘性抵抗によって効果的に絶縁することができ、これにより、簡易的な構成で優れた除振特性を得ることができる。

また、本発明に係る除振装置は、設置用の脚部を有するフレームと、前記フレーム側と振動絶縁すべき除振の対象物を載せる架台と、前記架台を前記フレーム上に支持する架台支持機構と、前記架台支持機構に設けられ、前記架台の被支持部と前記フレーム上の支持部との間に介在された粘弾性体と、を具備することを特徴とする。

この発明の除振装置では、設置基礎又は床などに設置されるフレーム上に粘弾性体を介して架台が支持されるので、外来振動の伝わり得るフレーム側に対し、除振対象物を載せる架台側を、粘弾性体の持つ粘性抵抗によって絶縁することができる。

さらに、本発明の除振装置は、前記粘弾性体を鉛直方向から挟持する挟持部材を備えることを特徴とする。
この発明では、挟持部材に挟持されている粘弾性体全体で垂直（鉛直）方向の振動を減衰させることができる。

また、本発明の除振装置は、前記架台支持機構が、前記挟持部材による前記粘弾性体の挟持力を調整可能な挟持力調整機構を備えることを特徴とする。
この発明では、粘弾性体に加わる圧縮力を変更可能にすることで、粘弾性体自体が発揮し得る振動の減衰特性に調整を加えることができる。したがって、この発明によれば、除振装置を設置する環境、つまり、除振装置の設置部分に発生し易い帯域の振動周波数などに応じて、粘弾性体に加わる圧縮力（挟持部材による挟持力）を調整することで、除振装置の設置環境にとって最適な除振性能を発揮させることができる。

また、本発明の除振装置は、前記粘弾性体が、貫通穴を有し、さらに、前記架台支持機構が、この架台支持機構の上部に配置される前記架台側又はこの架台支持機構のさらに底部に配置される部材側に固定され、かつ前記粘弾性体の前記貫通穴に鉛直方向から挿通される挿通部材を備えることを特徴とする。

この発明では、挟持部材に挟持されている粘弾性体全体で垂直方向の振動を減衰させることができるとともに、挿通部材の外形部分に接触し得る粘弾性体の貫通穴の内壁部分で垂直方向の振動を減衰させることができ、これにより、３軸方向のいずれの方向においても良好な除振特性を得ることができる。

また、本発明の除振装置では、前記挟持部材は、前記挿通部材がそれぞれの貫通穴に挿通された一対の粘弾性体を鉛直方向から挟持し、さらに、前記架台支持機構は、この架台支持機構の上部に配置される前記架台側又はこの架台支持機構のさらに底部に配置される部材側に固定され、かつ前記挟持部材に挟持される前記架台側の粘弾性体と前記フレーム側の粘弾性体との間に介挿される介挿部を持つ介挿部材を備えることを特徴とする。
この発明では、架台支持機構のさらに底部側及び架台側に設けられた各粘弾性体によって、介挿部材の介挿部を境界として架台支持機構のさらに底部側で起こり得る振動と架台側の振動とを個別に減衰させることができるので、系全体の除振を効果的に行うことができる。

さらに、本発明の除振装置は、前記架台支持機構が、前記架台の底部の複数個所を支持する複数の空気ばねをさらに有することを特徴とする。
この発明では、架台の底部の複数個所を空気ばねと粘弾性体とを併用するかたちで支持するので、空気ばねの内部損失抵抗と粘弾性体の持つ粘性抵抗とから得られる作用により、この架台支持機構では良好な振動絶縁効果を期待できる。

また、本発明の除振装置においては、高い除振効果を得るために前記粘弾性体の損失係数は、０．６〜２．０の範囲内にあることが望ましい。損失係数が、０．６未満では、粘弾性体の物性が一般のゴムの物性に近似することになり、良好な振動減衰特性を得ることが難しくなる。一方、損失係数が２．０を超えると、流動性が高くなりすぎて、所望の形状に成形することが困難となる。

また、本発明の除振装置は、前記架台支持機構の複数の空気ばねを通じて前記架台側の制振をパッシブ制御により行う架台制振機構をさらに備えることを特徴とする。
この発明では、粘弾性体の近傍で共に架台を支持する空気ばねを受動的に制御するので、アクティブ型の除振装置などと異なり簡易的な構造で、振動の減衰性能の高い除振装置を構成することができる。

このように本発明によれば、比較的簡単な構成で良好な除振特性を得ることが可能な除振装置を提供することができる。

以下、本発明を実施するための形態を図面に基づき説明する。
図１は、本発明の実施形態に係る除振装置を示す平面図、図２は、この除振装置の正面図、図３は、除振装置の右側面図、図４は、除振装置の架台支持機構の一部を構成する粘弾性ダンパ機構を詳細に示す図である。ここで、図１では、架台の支持構造を視覚的に把握し易くするために架台の外形を想像線（二点鎖線）で表している。

図１〜図４に示すように、除振台などとも称する本実施形態の除振装置１は、いわゆるパッシブタイプ（受動型）の空気ばね式除振装置である。除振装置１は、設置基礎又は床上に設置される脚部３ａを有するフレーム（フレームユニット）３と、フレーム３側と振動絶縁すべき除振の対象物を載せる定盤とも称する架台１２と、架台１２をフレーム３上に支持する架台支持機構２０と、架台支持機構２０に設けられ、架台１２の被支持部１２ａとフレーム３上の支持部１４ｄとの間に介在された一対の粘弾性体３１、３２を有する粘弾性ダンパ機構５とを備える。

フレーム３は、矩形状の架台１２の各コーナ部近傍に対し設置基礎又は床面に対し起立した姿勢で配置される四つの垂直フレーム３ｂと、垂直フレーム３ｂの上部間及び下部間に水平に架け渡される水平フレーム１４ａ、１４ｂと、水平フレーム１４ｂの中央部間に架け渡される水平フレーム１４ｃとを備える。設置基礎又は床面に敷かれる敷板１１と垂直フレーム３ｂの下方に位置する脚部３ａとの間には、床面などに対するレベル合わせのためのレベリングボルト９が設けられている。また、垂直フレーム３ｂの下部間に架け渡される水平フレーム１４ａの底部には、除振装置１本体を移動させるためのキャスタ８が取り付けられている。

架台支持機構２０は、上記した粘弾性ダンパ機構５と、空気ばね２と、防振ゴム４とから主に構成される。空気ばね２は、四つの垂直フレーム３ｂの上端部にそれぞれ配置されており、架台１２の各コーナ部近傍を底部側から支持する。防振ゴム４は、架台１２の各コーナ部に配置された空気ばね２と各垂直フレーム３ｂの上端部との間に四つずつ介在されている。除振装置１には、例えばコンプレッサなどの空気源に接続されたフィルタレギュレータ７と、架台１２の底面における所定の三箇所に対し、高さ位置検出部を接触させた自動圧力調整器６とが設けられている。空気源からフィルタレギュレータ７を通じて供給される圧縮空気は、三箇所の自動圧力調整器６を通って空気ばね２に給気される。この自動圧力調整器６による検知結果に基づいて、架台１２のレベル（高さ方向の位置及び傾き）は、空気ばね２を通じて自動的に設定される。すなわち、フィルタレギュレータ７及び自動圧力調整器６は、複数の空気ばねを通じて架台１２側の制振をパッシブ制御により行う架台制振機構として機能する。

ここで、上記した粘弾性体３１、３２について説明する。
粘弾性体３１、３２は、液状の当該粘弾性体の構成材料（主剤と硬化剤を含む）を型中に入れ、所定の条件で処理を施して例えばゲル状に形成されている。粘弾性体３１、３２の構成材料としては、例えば、軟質ポリウレタン、シリコーンゲル、ＭＮＣＳ(Micro Network Controlled Structure)などが例示される。軟質ポリウレタン、シリコーンゲル、ＭＮＣＳは、引張強度（Ｋｇｆ／ｃｍ²）が、それぞれ５〜２３、２、１０〜２５程度である。また、軟質ポリウレタン、シリコーンゲル、ＭＮＣＳは、それぞれ（環境温度を２０℃、振動数を１〜３０Ｈｚとした場合の）損失係数が、各々１．２〜１．４、１．２〜１．５、０．６〜２．０程度であり、さらに、反発弾性（％）が、それぞれ５〜２２、１５〜２０、１〜１０程度の特性を有する。

ここで、本発明において粘弾性体（３１、３２）とは、いわゆるゴム及び粘土の両方の性質を有するものである。この粘弾性体に、引張力を瞬間的に与えると、ゴムの性質により、元の形状に戻ろうとするものの、粘度の性質である粘性抵抗によりゆっくりとした復元動作となる。したがって、この粘弾性体に振動が加わった場合には、当該粘弾性体は、振動エネルギを粘性抵抗により熱エネルギに変換して振動を減衰させることができる。

上記の粘弾性体は、正弦波加振において、ばね要素とダッシュポット要素とが並列で配置されたモデルで表されることがある。この際、粘弾性体の剛性である、ばね要素のばね定数Ｋは、下記の式（１）に示すように、せん断弾性剛性Ｇ₁と、粘弾性体の総面積Ａと厚さｔの関数で表すことができる。
Ｋ∝Ｇ1・Ａ／ｔ …式（１）

上記式（１）により、粘弾性体の剛性のＫは、粘弾性体の総面積Ａに比例し、厚さｔに反比例する性質を持っている。また、粘弾性体の減衰係数となるダッシュポット要素の減衰係数Ｃは、下記の式（２）に示すように、せん断ロス剛性Ｇ₂と、粘弾性体の体積Ｖ、振動数ｆの関数で表すことができる。
Ｃ＝Ｇ₂・Ｖ／２・π・ｆ …式（２）

上記式（２）により、粘弾性体の減衰係数Ｃは、粘弾性体の体積Ｖに比例し、振動数ｆに反比例する性質を持っている。また、減衰性能を表すパラメータとしては、例えば、上記した損失係数η（ｔａｎδとも称する）などが用いられる。この損失係数ηは、下記の式（３）で求めることができる。
η＝Ｇ₂／Ｇ₁ …式（３）
すなわち、損失係数ηは、粘性項が支配的な場合には大きく弾性項が支配的な場合には小さい値となる。一般には、減衰ゴムなどは、０．４程度である。

また、粘弾性ダンパ機構５に適用される粘弾性体３１、３２の損失係数ηは、０．６〜２．０の範囲内にあることが望ましい。損失係数ηが、０．６未満では、粘弾性体の物性が一般のゴムの物性に近似することになり、良好な振動減衰特性を得ることが難しくなる。一方、損失係数ηが、２．０を超えると、流動性が高くなりすぎて成形が困難となる。

次に、このような粘弾性体３１、３２を備える粘弾性ダンパ機構５の構造について詳述する。
図１〜図３に示すように、粘弾性ダンパ機構５は、架台１２の底部において、空気ばね２を架台１２のコーナ部側に挟むようにして個々の空気ばね２の近傍にそれぞれ２セット若しくは１セットずつ配置（本実施形態では２セットずつ配置）されており、架台１２の底部の水平フレーム１４ａ、１４ｂ上に固定されている。このように、架台１２のコーナ部近傍の底部を空気ばね２（及び防振ゴム４）と粘弾性体とを併用するかたちで支持するので、空気ばね２の内部損失抵抗（空気抵抗など）と粘弾性体の持つ粘性抵抗とから得られる作用により、この架台支持機構２０では良好な振動絶縁効果を期待できる。

また、本実施形態の粘弾性ダンパ機構５は、中央部分にそれぞれ貫通穴３１ａ、３２ａを有する例えばリング状の粘弾性体３１、３２と、粘弾性体３１、３２の貫通穴３１ａ、３２ａに鉛直方向から挿通される挿通部材として機能するボルト１７と、介挿部材としての断面Ｌ字状の介挿プレート１６と、プレート状に形成された一対の挟持部材である挟持プレート１９ａ、１９ｂとで主に構成される。

ボルト１７は、その基端部が取付プレート２３及びナット２１、２２を介して架台１２側に固定されている。挟持プレート１９ａ、１９ｂは、ボルト１７の雄ねじ部分がそれぞれの貫通穴３１ａ、３１ｂに挿通された一対の粘弾性体３１、３２を鉛直方向から挟持する。粘弾性体３１、３２を挟持する挟持力は、挟持プレート１９ａ、１９ｂの各々の外側面と接触する位置でボルト１７の雄ねじ部分と螺合するナット１８ａ、１８ｂによって得られる。なお、ナット１８ｂのさらに外側（水平フレーム１４ａ側）には、ナット１８ｂが取り付けられている。

介挿プレート１６は、架台１２側又はフレーム３側のいずれか一方に基端部が固定（本実施形態では、フレーム３側に固定）されており、折曲された先端部分には、挟持プレート１９ａ、１９ｂに挟持される架台１２側の粘弾性体３１とフレーム３側の粘弾性体３２との間に介挿される介挿部１６ａが設けられている。介挿プレート１６の先端側の介挿部１６ａには、ボルト１７の雄ねじ部分が挿通される挿通穴１６ｂが穿孔されている。したがって、粘弾性ダンパ機構５では、ボルト１７の雄ねじ部分が貫通穴３１ａ、挿通穴１６ｂ、貫通穴３１ｂに挿通されたかたちで、且つ架台１２側から順に、粘弾性体３１、介挿プレート１６の介挿部１６ａ、粘弾性体３２が重ねられた状態のものが挟持プレート１９ａ、１９ｂ間に挟持されている。

ここで、ボルト１７とこのボルト１７に螺合するナット１８ａ、１８ｂは、挟持プレート１９ａ、１９ｂによる粘弾性体３１、３２の挟持力を調整可能な挟持力調整機構として機能する。この構成によって、粘弾性体３１、３２に加わる圧縮力を変更することが可能なので、粘弾性体自体が発揮し得る振動の減衰特性に調整を加えることができる。したがって、除振装置１を設置する環境、つまり例えば、除振装置１の設置部分に発生し易い帯域の振動周波数などに応じて、粘弾性体３１、３２に加わる圧縮力（挟持プレート１９ａ、１９ｂによる挟持力）を調整することで、除振装置１の設置環境にとって最適な除振性能を発揮させることが可能となる。

また、粘弾性体３１、３２の貫通穴３１ａ、貫通穴３１ｂの穴径よりも、介挿プレート１６の介挿部１６ａに穿孔された挿通穴１６ｂの穴径は、大きい穴径で形成されている。このように構成される粘弾性ダンパ機構５では、挟持プレート１９ａ、１９ｂにより介挿部１６ａを介して挟持されている粘弾性体３１、３２全体で垂直（鉛直）方向の振動を減衰させることができるとともに、ボルト１７の雄ねじ部分に接触し得る粘弾性体３１、３２の貫通穴３１ａ、貫通穴３１ｂの内壁部分で垂直方向の振動を減衰させることができ、これにより、３軸方向のいずれの方向においても良好な除振特性を得ることができる。また、このような構造の粘弾性ダンパ機構５では、粘弾性体３１、３２の変形量（たわみ）が小さく抑えられ、これにより、振動が短時間で減衰される。さらに、粘弾性ダンパ機構５では、架台１２側及びフレーム３側に設けられた各粘弾性体３１、３２によって、介挿プレート１６の介挿部１６ａを境界としてフレーム３側で起こり得る振動と架台１２側の振動とを個別に減衰させることができるので、系全体の除振を効果的に行うことができる。

次に、このような粘弾性ダンパ機構５を備えた架台支持機構２０によって得られる除振効果について、実際の測定データを参照しつつその説明を行う。ここで、図５は、空気ばね２、防振ゴム４及び粘弾性ダンパ機構５を備えた架台支持機構２０を有する本実施形態の除振装置１において、この架台支持機構２０を介して支持された架台１２の振動減衰特性を示す図、図６は、粘弾性ダンパ機構５を取り外した架台支持機構で支持された架台１２の振動減衰特性を示す図である。

詳述すると、図５、図６では、除振装置のフレーム側に同一量の振動を与えた場合において、時間の経過に伴う架台１２の変位量が示されている。これらの図から明らかなように、粘弾性ダンパ機構５を有する架台支持機構２０を適用した除振装置１では、架台１２の初期変位量を小さく抑えることができ、また、振動の減衰も短時間で行われる。これにより、架台１２上に搭載される測定機器などに振動により移動荷重が生じた場合でも、これを迅速に低減でき、測定機器による測定を好適に行うことができる。

既述したように、本実施形態の除振装置１では、設置基礎又は床などに設置されるフレーム３上に粘弾性体３１、３２を介して架台１２が支持されるので、外来振動の伝わるフレーム３側に対し、除振対象物を載せる架台１２側を、粘弾性体の持つ粘性抵抗によって効果的に絶縁することができ、これにより、比較的簡単な構成で優れた除振特性を得ることができる。

以上、本発明を実施の形態により具体的に説明したが、本発明は前記実施形態にのみ限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。例えば、上述した実施形態の除振装置１では、設置基礎又は床上に設置される脚部３ａを有するフレーム３を介して架台支持機構２０が架台１２を支持するものであったが、これに代えて、図７に示すように、上記のフレームを削除した構成の除振装置５１によっても本発明を実現することができる。この除振装置５１では、床などに設置されるプレート状の基台５２上に架台支持機構２０が配置される構成となる。また、本発明においては、架台支持機構２０が、除振特性に優れる粘弾性ダンパ機構５を備えているので、例えばコストの削減などを考慮して、防振ゴム４を上記の除振装置１、５１から削除することも可能である。

さらに、図４に示した粘弾性ダンパ機構５に代えて、図８に示す粘弾性ダンパ機構２５を適用してもよい。この粘弾性ダンパ機構２５は、フレーム３側（水平フレーム１４ａ側）に基端部が固定された断面Ｌ字状の保持プレート２６と、架台１２側に基端部が固定された上記ボルト１７と、上記の挟持プレート１９ａと同一の構造を有する挟持プレート２７と、上記した粘弾性体３１、３２と同一材料を適用した、貫通穴３３ａを有するリング状の単一の粘弾性体３３とで主に構成される。すなわち、挿通穴２７ａを有する挟持プレート２７と、保持プレート２６の折曲された挿通穴２６ａを有する先端部分は、粘弾性体３３を鉛直方向から挟持する挟持部材として機能する。したがって、このような構造の粘弾性ダンパ機構２５によっても良好な除振性能を得ることができる。

また、上記図４及び図８に示した粘弾性ダンパ機構５に代えて、図９（ａ）、図９（ｂ）に示す粘弾性ダンパ機構３５を本発明として適用することが可能である。ここで、図９（ａ）は、この粘弾性ダンパ機構３５の構造を示す断面図、図９（ｂ）は、この粘弾性ダンパ機構３５における図９（ａ）に対する側面図である。これらの図に示すように、この粘弾性ダンパ機構３５は、架台１２側に基端部が固定された断面Ｌ字状の介挿プレート３８と、水平フレーム１４ａ側（又は基台５２側）に基端部が固定された平板状の保持プレート４３と、ボルト４１及びナット４２を介して保持プレート４３上に一端部が固定された断面Ｌ字状の挟持プレート３９、４０と、上記の粘弾性体３１、３２、３３と同一材料を適用した、貫通穴の形成されていない一対の粘弾性体３６、３７とで主に構成される。

介挿プレート３８の折曲された先端部分には、挟持プレート３９、４０の各他端部に挟持される架台１２側の粘弾性体３６と水平フレーム１４ａ側（又は基台５２側に）の粘弾性体３７との間に介挿される介挿部３８ａが設けられている。また、この介挿部３８ａを挟んで粘弾性体３６、３７を挟持する挟持プレート３９、４０は、各々に一組ずつ設けられた孔部３９ａ、４０ａ及び保持プレート４３上の四つの長孔４３ａ内に、ボルト４１の雄ねじ部分４１ａを挿通させるようにして、保持プレート４３上にナット４２を介して締結されている。

ここで、ボルト４１及びナット４２を介しての長孔４３ａの長手方向における挟持プレート３９、４０の固定位置を適宜選択することで、挟持プレート３９、４０による粘弾性体３６、３７の挟持力を調整することが可能となる。すなわち、粘弾性体３６、３７に加わる圧縮力を変更することが可能なので、粘弾性体自体が発揮し得る振動の減衰特性に調整を加えることができる。したがって、このような構造の粘弾性ダンパ機構３５においても、除振装置１、５１の設置環境にとって最適な除振性能を発揮させることが可能となる。また、粘弾性ダンパ機構３５によれば、架台１２側及び水平フレーム１４ａ側（又は基台５２側）に設けられた各粘弾性体３６、３７によって、介挿プレート３８の介挿部３８ａを境界としてフレーム側などで起こり得る振動と架台１２側の振動とを個別に減衰させることができるので、系全体の除振を効果的に行うことができる。

また、上述した図９（ａ）などに示した粘弾性ダンパ機構３５に代えて、この粘弾性ダンパ機構３５を９０°傾けたかたちで設置される図１０に示す粘弾性ダンパ機構４５を適用してもよい。この粘弾性ダンパ機構４５は、粘弾性ダンパ機構３５の断面Ｌ字状の介挿プレート３８及び平板状の保持プレート４３に代えて、平板状の介挿プレート４７及び断面Ｌ字状の保持プレート４６を備えて構成されている。すなわち、粘弾性ダンパ機構４５は、粘弾性体３６、３７が水平方向から挟持される構成となるので、横方向（水平方向）の振動に対して優れた制振性能を発揮することができる。なお、図４や図８に例示した粘弾性ダンパ機構５、２５を９０°傾けて設置し、粘弾性体３１、３２、３３を水平方向から挟持する構成としてもよい。また、このような粘弾性体を水平方向から挟持する構成の粘弾性ダンパ機構と、粘弾性体を垂直方向から挟持する構成の粘弾性ダンパ機構との両方を上記した除振装置１、５１に搭載させることで、縦横（垂直及び水平方向）のいずれの方向の外来振動に対しても優れた制振性能を発揮する除振装置を得ることができる。

本発明の実施形態に係る除振装置の平面図。 図１に示す除振装置の正面図。 図１に示す除振装置の右側面図。 図１の除振装置の架台支持機構の一部を構成する粘弾性ダンパ機構を詳細に示す図。 図１に示す除振装置の架台支持機構上に支持された架台の振動減衰特性を示す図。 図１に示す除振装置において、粘弾性ダンパ機構を取り外した架台支持機構上に支持された架台の振動減衰特性を示す図。 図１〜図３に示す除振装置と構造と異なる他の除振装置の正面図。 図４に示す粘弾性ダンパ機構と構造の異なる他の粘弾性ダンパ機構を示す図。 図４及び図８に示す粘弾性ダンパ機構と構造の異なる他の粘弾性ダンパ機構を示す図。 図４、図８及び図９に示す粘弾性ダンパ機構と構造の異なる他の粘弾性ダンパ機構を示す図。

符号の説明

１，５１…除振装置、２…空気ばね、３…フレーム（フレームユニット）、３ａ…脚部、３ｂ…垂直フレーム、４…防振ゴム、５，２５，３５，４５…粘弾性ダンパ機構、６…自動圧力調整器、７…フィルタレギュレータ、１２…架台（定盤）、１２ａ…被支持部、１４ａ，１４ｂ，１４ｃ…水平フレーム、１４ｄ…支持部、１６，３８…介挿プレート、１６ａ，３８ａ…介挿部、１６ｂ…挿通穴、１９ａ，１９ｂ，３９，４０，４７…挟持プレート、２０…架台支持機構、３１，３２，３３，３６，３７…粘弾性体、３１ａ，３２ａ，３３ａ…貫通穴。

Claims (9)

1. 振動絶縁すべき除振の対象物を載せる架台と、
   前記架台を支持する粘弾性体の介在された架台支持機構と、
   を具備することを特徴とする除振装置。
2. 設置用の脚部を有するフレームと、
   前記フレーム側と振動絶縁すべき除振の対象物を載せる架台と、
   前記架台を前記フレーム上に支持する架台支持機構と、
   前記架台支持機構に設けられ、前記架台の被支持部と前記フレーム上の支持部との間に介在された粘弾性体と、
   を具備することを特徴とする除振装置。
3. 前記粘弾性体を鉛直方向から挟持する挟持部材を備えることを特徴とする請求項１又は２記載の除振装置。
4. 前記架台支持機構は、前記挟持部材による前記粘弾性体の挟持力を調整可能な挟持力調整機構を備えることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１項に記載の除振装置。
5. 前記粘弾性体は、貫通穴を有し、
   さらに、前記架台支持機構は、この架台支持機構の上部に配置される前記架台側又はこの架台支持機構のさらに底部に配置される部材側に固定され、かつ前記粘弾性体の前記貫通穴に鉛直方向から挿通される挿通部材を備えることを特徴とする請求項３又は４記載の除振装置。
6. 前記挟持部材は、前記挿通部材がそれぞれの貫通穴に挿通された一対の粘弾性体を鉛直方向から挟持し、
   さらに、前記架台支持機構は、この架台支持機構の上部に配置される前記架台側又はこの架台支持機構のさらに底部に配置される部材側に固定され、かつ前記挟持部材に挟持される前記架台側の粘弾性体と前記フレーム側の粘弾性体との間に介挿される介挿部を持つ介挿部材を備えることを特徴とする請求項５記載の除振装置。
7. 前記架台支持機構は、前記架台の底部の複数個所を支持する複数の空気ばねをさらに有することを特徴とする請求項１ないし６のいずれか１項に記載の除振装置。
8. 前記粘弾性体の損失係数は、０．６〜２．０の範囲内にあることを特徴とする請求項１ないし７のいずれか１項に記載の除振装置。
9. 前記架台支持機構の複数の空気ばねを通じて前記架台側の制振をパッシブ制御により行う架台制振機構をさらに備えることを特徴とする請求項７又は８記載の除振装置。

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