JPS627409B2 - - Google Patents
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- JPS627409B2 JPS627409B2 JP56021605A JP2160581A JPS627409B2 JP S627409 B2 JPS627409 B2 JP S627409B2 JP 56021605 A JP56021605 A JP 56021605A JP 2160581 A JP2160581 A JP 2160581A JP S627409 B2 JPS627409 B2 JP S627409B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- load
- piston
- bearing member
- pneumatic
- carrying chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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-
- G—PHYSICS
- G12—INSTRUMENT DETAILS
- G12B—CONSTRUCTIONAL DETAILS OF INSTRUMENTS, OR COMPARABLE DETAILS OF OTHER APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G12B3/00—Details of movements not otherwise provided for
- G12B3/04—Suspensions
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16F—SPRINGS; SHOCK-ABSORBERS; MEANS FOR DAMPING VIBRATION
- F16F15/00—Suppression of vibrations in systems; Means or arrangements for avoiding or reducing out-of-balance forces, e.g. due to motion
- F16F15/02—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems
- F16F15/023—Suppression of vibrations of non-rotating, e.g. reciprocating systems; Suppression of vibrations of rotating systems by use of members not moving with the rotating systems using fluid means
-
- G—PHYSICS
- G12—INSTRUMENT DETAILS
- G12B—CONSTRUCTIONAL DETAILS OF INSTRUMENTS, OR COMPARABLE DETAILS OF OTHER APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G12B9/00—Housing or supporting of instruments or other apparatus
- G12B9/08—Supports; Devices for carrying
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Aviation & Aerospace Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Vibration Prevention Devices (AREA)
- Fluid-Damping Devices (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は振動絶縁装置における空気式ピストン
組立体に係るものである。
組立体に係るものである。
具体的には、本発明は“空気ばね”型空気式振
動絶縁装置に関するものであつて、この空気式装
置は邪魔な振動の水平成分を減衰すると共に、空
気式装置の垂直方向絶縁特性をも改善する。
動絶縁装置に関するものであつて、この空気式装
置は邪魔な振動の水平成分を減衰すると共に、空
気式装置の垂直方向絶縁特性をも改善する。
建物はすべて振動する。そして床を通して伝達
される振動は様々な程度に器具や装置類に影響を
与える。振動絶縁装置は最も低い床振動数より著
しく低い固有振動数（共鳴）を有しなければなら
ない。高振動数（25Hzを越える）の振動は、ゴ
ム・パツド、コルク、フアイバーガラスまたは膨
脹せられたバツグに支持された大理石板のような
従来からの静的制御装置で容易に減衰され得る。
しかし床が低い振動数（７〜25Hz）で振動する時
には、重大な問題が通常発生する。大低の静的装
置はこの振動数範囲のなか、または以上で共鳴
し、それ故、実際には低振動数の振動を増巾す
る。低振動数の振動問題向けに設計された従来の
静的装置は普通大き過ぎるか、または不安定過ぎ
るために大抵の適用例については実用的でない。
いずれの静的低振動数装置も、頂部表面における
レベル変化と明白な運転員問題とを引き起すよう
な荷重変動には非常に敏感である。
される振動は様々な程度に器具や装置類に影響を
与える。振動絶縁装置は最も低い床振動数より著
しく低い固有振動数（共鳴）を有しなければなら
ない。高振動数（25Hzを越える）の振動は、ゴ
ム・パツド、コルク、フアイバーガラスまたは膨
脹せられたバツグに支持された大理石板のような
従来からの静的制御装置で容易に減衰され得る。
しかし床が低い振動数（７〜25Hz）で振動する時
には、重大な問題が通常発生する。大低の静的装
置はこの振動数範囲のなか、または以上で共鳴
し、それ故、実際には低振動数の振動を増巾す
る。低振動数の振動問題向けに設計された従来の
静的装置は普通大き過ぎるか、または不安定過ぎ
るために大抵の適用例については実用的でない。
いずれの静的低振動数装置も、頂部表面における
レベル変化と明白な運転員問題とを引き起すよう
な荷重変動には非常に敏感である。
空気式絶縁装置は静的なものではない。代表的
なこれらの空気式絶縁装置は高度の減衰性
（attenuation and damping）を提供する超低固
有振動数を有する。マサチユーセツツ州ウオーバ
ーン（Worburn）のテクニカル・マニユフアクチ
ユアリング・コーポレーシヨン（Technical
Manufacturing Corporation）が販売しているマ
イクロ・ｇ（Micro−ｇ）装置のようなある種の
装置は、高い安定性とゼロ静的たわみとを提供す
る自動式自己レベリングを有する。代表的には、
これらの空気式絶縁装置は、自蔵式テーブル、ベ
ンチ・トツプユニツトなどとして利用できる。こ
れらの空気式装置は“空気ばね”型であつて、荷
重担持用ピストンは空気圧式に支持され、たわみ
エレメントで保持されるようになつている。これ
らの装置は顕微鏡、電子はかりなどのような器具
のための研究室や、微小型回路や関連部品の製造
業のような工業界で、主として用いられる。
なこれらの空気式絶縁装置は高度の減衰性
（attenuation and damping）を提供する超低固
有振動数を有する。マサチユーセツツ州ウオーバ
ーン（Worburn）のテクニカル・マニユフアクチ
ユアリング・コーポレーシヨン（Technical
Manufacturing Corporation）が販売しているマ
イクロ・ｇ（Micro−ｇ）装置のようなある種の
装置は、高い安定性とゼロ静的たわみとを提供す
る自動式自己レベリングを有する。代表的には、
これらの空気式絶縁装置は、自蔵式テーブル、ベ
ンチ・トツプユニツトなどとして利用できる。こ
れらの空気式装置は“空気ばね”型であつて、荷
重担持用ピストンは空気圧式に支持され、たわみ
エレメントで保持されるようになつている。これ
らの装置は顕微鏡、電子はかりなどのような器具
のための研究室や、微小型回路や関連部品の製造
業のような工業界で、主として用いられる。
本発明に最も関係のある従来技術は２つの異種
の型式のたわみエレメントを使用している。これ
らのたわみエレメントは普通、織物で補強したゴ
ム製である。これら２種のたわみエレメントは高
さが非常に違つていて、水平方向に利用できるた
わみが違つたものになるようにすることができ
る。
の型式のたわみエレメントを使用している。これ
らのたわみエレメントは普通、織物で補強したゴ
ム製である。これら２種のたわみエレメントは高
さが非常に違つていて、水平方向に利用できるた
わみが違つたものになるようにすることができ
る。
たわみ装置の第１の応用例は通例、ダイアフラ
ム装置として述べられている。この装置は垂直方
向に可撓であるが、水平方向の可撓性は少い。可
撓ダイアフラム密封エレメントは外側保持リング
の壁と荷重担持用ピストンの側面との間で上下に
うねることができるようになつている。このダイ
アフラム装置は環状ロール部分の高さと巾とを変
えることにより様々な型式のものとなり、種々の
所望量の水平方向たわみが得られるようにしてあ
る。
ム装置として述べられている。この装置は垂直方
向に可撓であるが、水平方向の可撓性は少い。可
撓ダイアフラム密封エレメントは外側保持リング
の壁と荷重担持用ピストンの側面との間で上下に
うねることができるようになつている。このダイ
アフラム装置は環状ロール部分の高さと巾とを変
えることにより様々な型式のものとなり、種々の
所望量の水平方向たわみが得られるようにしてあ
る。
この型式の装置は、垂直方向たわみとほとんど
同じ様には有効な水平方向たわみを有していな
い。ダイアフラム装置のもつ長所は、垂直方向に
コンパクトであることと、水平方向では不要な揺
動の起きないようにしつかり固定されることであ
る。この技術の典型的な応用において、このよう
なダイアフラムは薄い（0.254〜0.635mm）（0.010
〜0.025インチ）から、どちらかというとたわみ
易い。
同じ様には有効な水平方向たわみを有していな
い。ダイアフラム装置のもつ長所は、垂直方向に
コンパクトであることと、水平方向では不要な揺
動の起きないようにしつかり固定されることであ
る。この技術の典型的な応用において、このよう
なダイアフラムは薄い（0.254〜0.635mm）（0.010
〜0.025インチ）から、どちらかというとたわみ
易い。
たわみエレメントの第２の応用例では、この装
置はより高く作られて、多数の回旋部を有するこ
ともあり、かつ水平方向たわみを許容するために
延長高さや回旋部を利用するように使用される。
置はより高く作られて、多数の回旋部を有するこ
ともあり、かつ水平方向たわみを許容するために
延長高さや回旋部を利用するように使用される。
この後者のたわみエレメントは非常に大きな正
味応力に耐えなければならないから、ダイアフラ
ムエレメントよりずつと頑丈に作られることが多
い。後者のたわみエレメントは、エレメント自体
の構造のなかで水平方向たわみを得られるという
長所を有する。しかし、このエレメントは拘束さ
れない限り、激しい揺動をうけ易い。揺動の条件
は、エレメントがさらにふくらまされるにつれ
て、またはエレメントが上方の範囲に移行する
と、複雑になるかもしれない。
味応力に耐えなければならないから、ダイアフラ
ムエレメントよりずつと頑丈に作られることが多
い。後者のたわみエレメントは、エレメント自体
の構造のなかで水平方向たわみを得られるという
長所を有する。しかし、このエレメントは拘束さ
れない限り、激しい揺動をうけ易い。揺動の条件
は、エレメントがさらにふくらまされるにつれ
て、またはエレメントが上方の範囲に移行する
と、複雑になるかもしれない。
振動はどの建物にも自然に存在しており、この
振動は何らかの形で建物を通して、かつたとえば
テーブル、ベンチなどのような建物内の物品を通
して伝達される。振動は建物内の物品に力を作用
させ、かつ垂直方向および水平方向（並進的な）
力は組合わされて物品内に複雑な運動を起させる
傾向がある。すなわち、建物内の単一モードの運
動はむしろ急速に物品内に他の複数モードの運動
を起こすことになろう。ある建物のなかでテーブ
ルのような物品は、本来の励起力の方向に関係な
くその高さと質量の持ち上げられた中心とによる
揺動と捩れの複雑な運動を受ける。上に述べたた
わみエレメントは水平面に垂直に働くこれらの力
を有効に減衰（dampen and attenuate）する。
振動は何らかの形で建物を通して、かつたとえば
テーブル、ベンチなどのような建物内の物品を通
して伝達される。振動は建物内の物品に力を作用
させ、かつ垂直方向および水平方向（並進的な）
力は組合わされて物品内に複雑な運動を起させる
傾向がある。すなわち、建物内の単一モードの運
動はむしろ急速に物品内に他の複数モードの運動
を起こすことになろう。ある建物のなかでテーブ
ルのような物品は、本来の励起力の方向に関係な
くその高さと質量の持ち上げられた中心とによる
揺動と捩れの複雑な運動を受ける。上に述べたた
わみエレメントは水平面に垂直に働くこれらの力
を有効に減衰（dampen and attenuate）する。
本発明は加圧された空気式ピストンを具体化し
たもので、そのピストンは振動によつて引き起さ
れた垂直方向力と水平方向力、および両者の組合
わされたものを減衰する。
たもので、そのピストンは振動によつて引き起さ
れた垂直方向力と水平方向力、および両者の組合
わされたものを減衰する。
本発明によれば、荷重担持室と、前記荷重担持
室に圧力密封状態をなして可撓的に受け入れられ
ている環状のピストンであつて、吊下されている
端部において上方に向いた軸受表面を備えている
ピストンウエルを有する、前記環状のピストン
と、前記荷重担持室内に前記ピストンを可撓的に
固定するための環状ダイアフラムであつて、前記
ピストンは前記荷重担持室内の圧力によつて支持
され、前記荷重担持室と前記ピストンとは垂直方
向ロール領域における垂直方向ロール中心に関し
て一方が他方に対して相対的に移動するようにな
つている、前記環状ダイアフラムと、前記ピスト
ンを通る細長い荷重支持部材であつて、前記垂直
方向ロール領域よりも下で前記ピストンウエルの
前記軸受表面に枢動可能に係合していて前記ピス
トンと前記荷重支持部材との間の相対的枢動運動
を許容するようになつており、上端部に絶縁され
るべき荷重を支持する支持板を備えている、前記
細長い荷重支持部材と、前記垂直方向ロール領域
の上限及び下限間で前記環状のピストン及び前記
細長い荷重支持部材の垂直方向運動を制限する制
限装置とを有し、前記荷重担持室に作用する力は
前記細長い荷重支持部材の位置に対して移動する
前記環状のピストンによつて実質的に吸収され、
それによつて前記細長い荷重支持部材と支持され
ている荷重とを前記の力から絶縁するようになつ
ていることを特徴とする空気式絶縁装置における
空気式ピストン組立体が提供される。
室に圧力密封状態をなして可撓的に受け入れられ
ている環状のピストンであつて、吊下されている
端部において上方に向いた軸受表面を備えている
ピストンウエルを有する、前記環状のピストン
と、前記荷重担持室内に前記ピストンを可撓的に
固定するための環状ダイアフラムであつて、前記
ピストンは前記荷重担持室内の圧力によつて支持
され、前記荷重担持室と前記ピストンとは垂直方
向ロール領域における垂直方向ロール中心に関し
て一方が他方に対して相対的に移動するようにな
つている、前記環状ダイアフラムと、前記ピスト
ンを通る細長い荷重支持部材であつて、前記垂直
方向ロール領域よりも下で前記ピストンウエルの
前記軸受表面に枢動可能に係合していて前記ピス
トンと前記荷重支持部材との間の相対的枢動運動
を許容するようになつており、上端部に絶縁され
るべき荷重を支持する支持板を備えている、前記
細長い荷重支持部材と、前記垂直方向ロール領域
の上限及び下限間で前記環状のピストン及び前記
細長い荷重支持部材の垂直方向運動を制限する制
限装置とを有し、前記荷重担持室に作用する力は
前記細長い荷重支持部材の位置に対して移動する
前記環状のピストンによつて実質的に吸収され、
それによつて前記細長い荷重支持部材と支持され
ている荷重とを前記の力から絶縁するようになつ
ていることを特徴とする空気式絶縁装置における
空気式ピストン組立体が提供される。
また、本発明によるときには、荷重担持室と、
一次ピストンであつて、それに固定された吊下す
る円筒壁を有し、この一次ピストンは前記荷重担
持室内に圧力密状態をなして可撓的に受け入れら
れている、前記一次ピストンと、前記円筒壁の吊
下端部に可撓的に結合された二次ピストンと、前
記荷重担持室内に前記一次ピストンを可撓的に固
定するための固定装置であつて、前記一次ピスト
ンは前記荷重担持室内の圧力によつて支持され、
前記荷重担持室と前記一次ピストンとは垂直方向
ロール領域における垂直方向ロール中心に関して
一方が他方に対して相対的に移動するようになつ
ている、前記固定装置と、前記一次ピストンを通
る細長い荷重支持部材であつて、前記垂直方向ロ
ール領域よりも下で前記一次ピストンに係合して
いて前記一次ピストンと前記細長い荷重支持部材
との間の相対的枢動運動を許容するようになつて
いる、前記細長い荷重支持部材と、前記垂直方向
ロール領域の上限及び下限間で前記一次ピストン
及び前記細長い荷重支持部材の垂直方向運動を制
限する制限装置とを有し、前記荷重担持室に作用
する力は前記細長い荷重支持部材の位置に対して
移動する前記一次ピストンによつて実質的に吸収
され、それによつて前記細長い荷重支持部材と支
持されている荷重とを前記の力から絶縁するよう
になつていることを特徴とする空気式絶縁装置に
おける空気式ピストン組立体が提供される。
一次ピストンであつて、それに固定された吊下す
る円筒壁を有し、この一次ピストンは前記荷重担
持室内に圧力密状態をなして可撓的に受け入れら
れている、前記一次ピストンと、前記円筒壁の吊
下端部に可撓的に結合された二次ピストンと、前
記荷重担持室内に前記一次ピストンを可撓的に固
定するための固定装置であつて、前記一次ピスト
ンは前記荷重担持室内の圧力によつて支持され、
前記荷重担持室と前記一次ピストンとは垂直方向
ロール領域における垂直方向ロール中心に関して
一方が他方に対して相対的に移動するようになつ
ている、前記固定装置と、前記一次ピストンを通
る細長い荷重支持部材であつて、前記垂直方向ロ
ール領域よりも下で前記一次ピストンに係合して
いて前記一次ピストンと前記細長い荷重支持部材
との間の相対的枢動運動を許容するようになつて
いる、前記細長い荷重支持部材と、前記垂直方向
ロール領域の上限及び下限間で前記一次ピストン
及び前記細長い荷重支持部材の垂直方向運動を制
限する制限装置とを有し、前記荷重担持室に作用
する力は前記細長い荷重支持部材の位置に対して
移動する前記一次ピストンによつて実質的に吸収
され、それによつて前記細長い荷重支持部材と支
持されている荷重とを前記の力から絶縁するよう
になつていることを特徴とする空気式絶縁装置に
おける空気式ピストン組立体が提供される。
本発明はかような特徴的構成を備えて、水平方
向に向けられた力が、ピストンをジンバルのよう
に作動させる。すなわち、ピストンとダイアフラ
ムのたわみとは水平方向の力を垂直方向運動に移
すように応動するのであつて、ピストンの一方側
は上がり、他方側は下がつてジンバル状に運動す
る。
向に向けられた力が、ピストンをジンバルのよう
に作動させる。すなわち、ピストンとダイアフラ
ムのたわみとは水平方向の力を垂直方向運動に移
すように応動するのであつて、ピストンの一方側
は上がり、他方側は下がつてジンバル状に運動す
る。
ピストンは上下限において運動が制限されてお
り、損傷されたり不安定になつたりすることがな
いようになつている。
り、損傷されたり不安定になつたりすることがな
いようになつている。
ダイアフラムによつてもたらされるピストンの
ジンバル運動の効果は、単にピストンと同じ長さ
の振子が運動することによつてもたらされる効果
と同じではない。
ジンバル運動の効果は、単にピストンと同じ長さ
の振子が運動することによつてもたらされる効果
と同じではない。
本発明においては、細長い荷重支持部材が垂直
方向ロール領域よりも下でピストンに枢動可能に
係合している点に注目しなければならない。この
特徴的構成を有するが故に、ピストンは、それと
同じ長さの振子の共振振動数よりもはるかに低い
共振振動数（最も低い床振動数よりも著しく低い
共振振動数）を有することになるのであつて、か
くて、支持された荷重を荷重担持室に作用する振
動から良好に絶縁することができるのである。
方向ロール領域よりも下でピストンに枢動可能に
係合している点に注目しなければならない。この
特徴的構成を有するが故に、ピストンは、それと
同じ長さの振子の共振振動数よりもはるかに低い
共振振動数（最も低い床振動数よりも著しく低い
共振振動数）を有することになるのであつて、か
くて、支持された荷重を荷重担持室に作用する振
動から良好に絶縁することができるのである。
以下本発明の実施例を、添付図面を参照して説
明する。
明する。
第１図に示される無振動・絶縁テーブル１０は
脚１２と、空気式絶縁装置１４と、頂部表面１６
とを有している。斜視図によつて、これらの部品
は示されている。
脚１２と、空気式絶縁装置１４と、頂部表面１６
とを有している。斜視図によつて、これらの部品
は示されている。
絶縁装置１４は３ケの弁調整パツド１８、サー
ボ弁２０、テーブル空気圧計２２、空気入口２４
および４ケの荷重担持用空気式ピストン組立体３
０を有している。１ツのピストン組立体３０の詳
細は第２図に示されている。
ボ弁２０、テーブル空気圧計２２、空気入口２４
および４ケの荷重担持用空気式ピストン組立体３
０を有している。１ツのピストン組立体３０の詳
細は第２図に示されている。
第２図を参照して、ピストン組立体３０は荷重
担持室３２を有し、その荷重担持室は床３４、４
つの壁３６及び内部に延びる環状板３８を有して
いる。この環状板３８はテーブルに堅固に固定さ
れている。取付具４０は、加圧空気を荷重担持室
へ導くために、圧力管路（図示されていない）に
接続されている。取付具４２は、加圧された減衰
室（図示されていない）に連通するオリフイスを
備えた圧力ホースに接続されている。
担持室３２を有し、その荷重担持室は床３４、４
つの壁３６及び内部に延びる環状板３８を有して
いる。この環状板３８はテーブルに堅固に固定さ
れている。取付具４０は、加圧空気を荷重担持室
へ導くために、圧力管路（図示されていない）に
接続されている。取付具４２は、加圧された減衰
室（図示されていない）に連通するオリフイスを
備えた圧力ホースに接続されている。
第１の細長い部材５０は荷重担持室３２に収容
されている。この第１の細長い部材５０はピスト
ン５２を有し、そのピストンは環状の端部５６を
含む懸架スカート５４を有している。空間リング
５８と運動制限デスク６０とはピストンと端部５
６との間に挿置されている。ピストン・ウエル６
２の両端にはねじが切られており、そのピスト
ン・ウエル６２の上端部は密封状態をなしてピス
トン５２の内部表面に接合されている。上方に面
した軸受板６６を備えるキヤツプ６４はウエル６
２の下端部に密封状態をなして接合されている。
されている。この第１の細長い部材５０はピスト
ン５２を有し、そのピストンは環状の端部５６を
含む懸架スカート５４を有している。空間リング
５８と運動制限デスク６０とはピストンと端部５
６との間に挿置されている。ピストン・ウエル６
２の両端にはねじが切られており、そのピスト
ン・ウエル６２の上端部は密封状態をなしてピス
トン５２の内部表面に接合されている。上方に面
した軸受板６６を備えるキヤツプ６４はウエル６
２の下端部に密封状態をなして接合されている。
第１の細長い部材５０は、可撓的密封状態をな
して荷重担持室３２に固着されている。環状ダイ
アフラム６８はリング５８とピストン５２の間で
締付けリング７０によつて板３８に固着されてい
る。
して荷重担持室３２に固着されている。環状ダイ
アフラム６８はリング５８とピストン５２の間で
締付けリング７０によつて板３８に固着されてい
る。
第１の細長い部材５０は加圧された荷重担持室
３２内に空気圧式に支持されている。第１の細長
い部材の上向き垂直方向運動は運動制限デスク６
０によつて制御される。第１の細長い部材の下向
き垂直方向運動は、締付リング７０に係合する板
８４によつて制御される。
３２内に空気圧式に支持されている。第１の細長
い部材の上向き垂直方向運動は運動制限デスク６
０によつて制御される。第１の細長い部材の下向
き垂直方向運動は、締付リング７０に係合する板
８４によつて制御される。
ウエル６２に枢動可能に収容されているのは第
２の細長い部材即ち荷重支持部材８０であり、そ
の荷重支持部材は、支持板８４を受けている上端
及び凹所８６のあることを特徴とする下端部を有
する支持ロツド８２を有している。軸受板６６に
係合されている。玉軸受８８は凹所８６に保持さ
れる。水平方向支持面はこの係合点SPを通る。
可撓性Ｏ−リング９０は、ピストン・ウエルと整
合するように、第２の細長い部材８０を維持し、
または片寄らせている。すなわち、理想的な静的
条件のもとでは、第１及び第２の細長い部材の長
手方向軸線は一致している。
２の細長い部材即ち荷重支持部材８０であり、そ
の荷重支持部材は、支持板８４を受けている上端
及び凹所８６のあることを特徴とする下端部を有
する支持ロツド８２を有している。軸受板６６に
係合されている。玉軸受８８は凹所８６に保持さ
れる。水平方向支持面はこの係合点SPを通る。
可撓性Ｏ−リング９０は、ピストン・ウエルと整
合するように、第２の細長い部材８０を維持し、
または片寄らせている。すなわち、理想的な静的
条件のもとでは、第１及び第２の細長い部材の長
手方向軸線は一致している。
垂直方向ロール中心（VRC）は第２図に図示
されている。垂直方向ロール領域には斜線が付さ
れている。玉軸受が軸受板に接する場所、すなわ
ち、荷重の力が担持される場所はダイアフラムの
垂直方向ロール領域よりも充分に下の点である。
されている。垂直方向ロール領域には斜線が付さ
れている。玉軸受が軸受板に接する場所、すなわ
ち、荷重の力が担持される場所はダイアフラムの
垂直方向ロール領域よりも充分に下の点である。
本発明の効果を知るために、振動力を１０のご
とき振動絶縁テーブルに加えることによつて、テ
ストを行つた。この例では、荷重204.1Kg（450ポ
ンド）を得るよう寸法決めされた、約610mm×864
mm（24インチ×34インチ）の頂部板を有する、マ
イクロ・ｇ絶縁テーブル、モデルNo.2536−S16
−４−30Fを用いた。販売されているような標準
モデルと異なる点は、使用される空気式ピストン
が上述したごときピストンであつたことだけであ
る。減衰室との連通は商用に市販されているモデ
ルのものと同一であり、平衡状態にある両方の室
における圧力はゲージ圧で4.2Kg／cm2（60lbs）で
あつた。荷重担持室（第２図の３２）に作用する
５Hzおよび10Hzの垂直方向振動は90％以上減衰さ
れ、また水平方向の５Hzおよび10Hzの振動も90％
以上減衰された。測定は地震計で行つた。従来技
術の装置では、水平方向力（振動）は本質的には
減衰されない。
とき振動絶縁テーブルに加えることによつて、テ
ストを行つた。この例では、荷重204.1Kg（450ポ
ンド）を得るよう寸法決めされた、約610mm×864
mm（24インチ×34インチ）の頂部板を有する、マ
イクロ・ｇ絶縁テーブル、モデルNo.2536−S16
−４−30Fを用いた。販売されているような標準
モデルと異なる点は、使用される空気式ピストン
が上述したごときピストンであつたことだけであ
る。減衰室との連通は商用に市販されているモデ
ルのものと同一であり、平衡状態にある両方の室
における圧力はゲージ圧で4.2Kg／cm2（60lbs）で
あつた。荷重担持室（第２図の３２）に作用する
５Hzおよび10Hzの垂直方向振動は90％以上減衰さ
れ、また水平方向の５Hzおよび10Hzの振動も90％
以上減衰された。測定は地震計で行つた。従来技
術の装置では、水平方向力（振動）は本質的には
減衰されない。
本発明の他の実施例は第３図に示されている。
組立体１００は荷重担持室１０２、床１０４およ
び壁１０６を有している。圧力管路入口ポートお
よび減衰室への接続部は図示されていない。テー
ブルに頑丈に固定されている環状頂部支持板１０
８は壁１０６に接合されている。
組立体１００は荷重担持室１０２、床１０４およ
び壁１０６を有している。圧力管路入口ポートお
よび減衰室への接続部は図示されていない。テー
ブルに頑丈に固定されている環状頂部支持板１０
８は壁１０６に接合されている。
第１の細長い部材１１０は一次ピストン１１４
と懸架スカート１１６とを有している。環状板１
１８は円筒状壁１２０をスカート１１６に接合し
ている。環状ダイアフラム１２２は一次ピストン
１１４に、及び環状締付リング１２４によつて板
１０８に固定されている。
と懸架スカート１１６とを有している。環状板１
１８は円筒状壁１２０をスカート１１６に接合し
ている。環状ダイアフラム１２２は一次ピストン
１１４に、及び環状締付リング１２４によつて板
１０８に固定されている。
デスクの形をしたダイアフラム１２６は壁１２
０の懸架端部に締付けられ、かつ二次ピストン１
２８を支持している。
０の懸架端部に締付けられ、かつ二次ピストン１
２８を支持している。
第２の部材すなわち荷重支持部材１３０は、上
下端部を有するコラム１３２を有している。コラ
ムの下端部はピストン１２８に固着され、コラム
の上端部は支持板１３４に接合されている。垂直
方向ロール中心および垂直方向ロール領域は第２
図におけるようになつている。
下端部を有するコラム１３２を有している。コラ
ムの下端部はピストン１２８に固着され、コラム
の上端部は支持板１３４に接合されている。垂直
方向ロール中心および垂直方向ロール領域は第２
図におけるようになつている。
以上、好適実施例およびその他の実施例に関し
て述べたが、ここに開示された実施例には本発明
の範囲内で様々な変形を施し得るものである。
て述べたが、ここに開示された実施例には本発明
の範囲内で様々な変形を施し得るものである。
第１図は本発明を具体化した無振動・空気式絶
縁テーブルの斜視図、第２図は好適実施例の組立
体の正面断面図、第３図は本発明の別の実施例の
正面断面図である。 １０……無振動絶縁テーブル、１２……脚、１
４……空気式絶縁装置、１６……頂部表面、１８
……調整パツド、２０……サーボ弁、２２……テ
ーブル空気圧計、２４……空気入口、３０……空
気式ピストン組立体、３２……荷重担持室、３４
……床、３６……壁、３８……環状板、４０……
取付物、４２……取付物、５０……第１の細長い
部材、５６……端部、５４……懸架スカート、５
２……ピストン、５８……空間リング、６０……
運動制限デスク、５６……端部、６２……ピスト
ン・ウエル、６６……軸受板、６４……キヤツ
プ、７０……締付けリング、８４……板、８２…
…支持ロツド、８６……凹所、９０……Ｏ−リン
グ、８０……第２の細長い部材、８８……玉軸
受、１００……組立体、１０２……荷重担持室、
１０４……床、１０６……壁、１０８……環状頂
部支持板、１１０……第１の細長い部材、１１４
……一次ピストン、１１６……懸架スカート、１
１８……環状板、１２６……ダイアフラム、１２
０……壁、１２２……環状ダイアフラム、１２８
……二次ピストン、１３０……第２の細長い部
材、１３２……コラム、１３４……支持板。
縁テーブルの斜視図、第２図は好適実施例の組立
体の正面断面図、第３図は本発明の別の実施例の
正面断面図である。 １０……無振動絶縁テーブル、１２……脚、１
４……空気式絶縁装置、１６……頂部表面、１８
……調整パツド、２０……サーボ弁、２２……テ
ーブル空気圧計、２４……空気入口、３０……空
気式ピストン組立体、３２……荷重担持室、３４
……床、３６……壁、３８……環状板、４０……
取付物、４２……取付物、５０……第１の細長い
部材、５６……端部、５４……懸架スカート、５
２……ピストン、５８……空間リング、６０……
運動制限デスク、５６……端部、６２……ピスト
ン・ウエル、６６……軸受板、６４……キヤツ
プ、７０……締付けリング、８４……板、８２…
…支持ロツド、８６……凹所、９０……Ｏ−リン
グ、８０……第２の細長い部材、８８……玉軸
受、１００……組立体、１０２……荷重担持室、
１０４……床、１０６……壁、１０８……環状頂
部支持板、１１０……第１の細長い部材、１１４
……一次ピストン、１１６……懸架スカート、１
１８……環状板、１２６……ダイアフラム、１２
０……壁、１２２……環状ダイアフラム、１２８
……二次ピストン、１３０……第２の細長い部
材、１３２……コラム、１３４……支持板。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 各々が加圧された荷重担持室と減衰室とを有
する複数の空気式ピストン組立体によつて支持さ
れることにより水平方向の面が振動力から絶縁さ
れるようになつた空気絶縁装置に用いられる前記
空気式ピストン組立体であつて、 (a) 荷重担持室と、 (b) 前記荷重担持室に圧力密状態をなして可撓的
に受け入れられている環状のピストンであつ
て、吊下されている端部において上方に向いた
軸受表面を備えているピストンウエルを有す
る、前記環状のピストンと、 (c) 前記荷重担持室内に前記ピストンを可撓的に
固定するための環状ダイヤフラムであつて、前
記ピストンは前記荷重担持室内の圧力によつて
支持され、前記荷重担持室と前記ピストンとは
垂直方向ロール領域における垂直方向ロール中
心に関して一方が他方に対して相対的に移動す
るようになつている、前記環状ダイアフラム
と、 (d) 前記ピストンを通る細長い荷重支持部材であ
つて、前記垂直方向ロール領域よりも下で前記
ピストンウエルの前記軸受表面に枢動可能に係
合していて前記ピストンと前記荷重支持部材と
の間の相対的枢動運動を許容するようになつて
おり、上端部に絶縁されるべき荷重を支持する
支持板を備えている、前記細長い荷重支持部材
と、 (e) 前記垂直方向ロール領域の上限及び下限間で
前記環状のピストン及び前記細長い荷重支持部
材の垂直方向運動を制限する制限装置とを有
し、 前記荷重担持室に作用する力は前記細長い荷重
支持部材の位置に対して移動する前記環状のピス
トンによつて実質的に吸収され、それによつて前
記細長い荷重支持部材と支持されている荷重とを
前記の力から絶縁するようになつていることを特
徴とする空気式絶縁装置における空気式ピストン
組立体。 ２ 前記ピストンは延長部分を有し、この延長部
分はそれに固定されて垂直方向上限を画定する運
動制限デスクを有し、この運動制限デスクは前記
ピストンの外周を越えて延びていて、前記ピスト
ンが上方に移動するとき前記荷重担持室の壁に係
合するようになつている特許請求の範囲第１項記
載の空気式ピストン組立体。 ３ 前記荷重支持部材の前記支持板は前記荷重担
持室の壁から隔置されていて垂直方向下限を画定
しており、前記ピストンが下方に移動するとき前
記荷重担持室の壁に係合する特許請求の範囲第１
項記載の空気式ピストン組立体。 ４ 前記ピストン内に前記荷重支持部材を弾性的
に支持する支持装置を有し、この支持装置は前記
荷重支持部材と前記ピストンとの長手方向軸線が
一致するような位置に前記荷重支持部材を付勢し
ている特許請求の範囲第１項記載の空気式ピスト
組立体。 ５ 前記延長部分は軸受表面を有し、前記荷重部
材の吊下した端部はそこに固定された玉軸受を有
し、この玉軸受は前記軸受表面に係合している特
許請求の範囲第２項から第４項までのいずれか１
項に記載の空気式ピストン組立体。 ６ 各々が加圧された荷重担持室と減衰室とを有
する複数の空気式ピストン組立体によつて支持さ
れることにより水平方向の面が振動力から絶縁さ
れるようになつた空気絶縁装置に用いられる前記
空気式ピストン組立体であつて、 (a) 荷重担持室と、 (b) 一次ピストンであつて、それに固定された吊
下する円筒壁を有し、この一次ピストンは前記
荷重担持室内に圧力密状態をなして可撓的に受
け入れられている、前記一次ピストンと、 (c) 前記円筒壁の吊下端部に可撓的に結合された
二次ピストンと、 (d) 前記荷重担持室内に前記一次ピストンを可撓
的に固定するための固定装置であつて、前記一
次ピストンは前記荷重担持室内の圧力によつて
支持され、前記荷重担持室と前記一次ピストン
とは垂直方向ロール領域における垂直方向ロー
ル中心に関して一方が他方に対して相対的に移
動するようになつている、前記固定装置と、 (e) 前記一次ピストンを通る細長い荷重支持部材
であつて、前記垂直方向ロール領域よりも下で
前記一次ピストンに係合していて前記一次ピス
トンと前記細長い荷重支持部材との間の相対的
枢動運動を許容するようになつている、前記細
長い荷重支持部材と、 (f) 前記垂直方向ロール領域の上限及び下限間で
前記一次ピストン及び前記細長い荷重支持部材
の垂直方向運動を制限する制限装置とを有し、 前記荷重担持室に作用する力は前記細長い荷重
支持部材の位置に対して移動する前記一次ピスト
ンによつて実質的に吸収され、それによつて前記
細長い荷重支持部材と支持されている荷重とを前
記の力から絶縁するようになつていることを特徴
とする空気式絶縁装置における空気式ピストン組
立体。
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US06/122,131 US4360184A (en) | 1980-02-19 | 1980-02-19 | Pneumatic device for attenuation of vertical, horizontal and rotational dynamic forces |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS56127837A JPS56127837A (en) | 1981-10-06 |
| JPS627409B2 true JPS627409B2 (ja) | 1987-02-17 |
Family
ID=22400837
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2160581A Granted JPS56127837A (en) | 1980-02-19 | 1981-02-18 | Pneumatic piston assembly in pneumatic insulating device |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4360184A (ja) |
| JP (1) | JPS56127837A (ja) |
| DE (1) | DE3106154A1 (ja) |
Families Citing this family (32)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS608540U (ja) * | 1983-06-29 | 1985-01-21 | 昭和電線電纜株式会社 | 空気ばね装置 |
| FR2558231B1 (fr) * | 1984-01-18 | 1990-04-13 | Wright Barry Corp | Procede et dispositif d'isolement contre les vibrations par un fluide |
| US5154963A (en) * | 1984-10-22 | 1992-10-13 | Newport Corporation | Honeycomb table manufacture and clean-room compatible honeycomb tables |
| US5021282A (en) * | 1984-10-22 | 1991-06-04 | Newport Corporation | Honeycomb table manufacture and clean-room compatible honeycomb tables |
| US4853065A (en) * | 1984-10-22 | 1989-08-01 | Newport Corporation | Method of manufacturing clean-room compatible honeycomb tables |
| US5500269A (en) * | 1984-10-22 | 1996-03-19 | Newport Corporation | Honeycomb table manufacture and clean-room compatible honeycomb tables |
| US4735296A (en) * | 1985-03-13 | 1988-04-05 | The Boeing Company | Active vibration stabilizer and isolator |
| US4645171A (en) * | 1985-05-15 | 1987-02-24 | Technical Manufacturing Corporation | Honeycomb tabletop |
| DE8711744U1 (de) * | 1987-08-29 | 1988-12-29 | Heidelberger Druckmaschinen Ag, 6900 Heidelberg | Haltevorrichtung für einen Hohlwellen-Inkrementalgeber |
| US5549269A (en) * | 1992-03-27 | 1996-08-27 | Gertel; Maurice | Gas spring assembly |
| US5400995A (en) * | 1992-04-15 | 1995-03-28 | Hill-Rom Company, Inc. | IV pole with interior drag brake |
| US5356110A (en) * | 1993-06-08 | 1994-10-18 | Newport Corporation | Pneumatic isolation systems for damping vertical, horizontal and rotational vibrations |
| US5558920A (en) * | 1994-03-07 | 1996-09-24 | Technical Manufacturing Corporation | Lightweight honeycomb tabletop |
| US5898961A (en) * | 1995-06-07 | 1999-05-04 | Hill-Rom, Inc. | Mobile support unit and attachment mechanism for patient transport device |
| US5771093A (en) * | 1997-02-11 | 1998-06-23 | Trw Inc. | Mounting platform for optical system |
| US5918862A (en) * | 1997-04-16 | 1999-07-06 | Technical Manufacturing Corporation | High damping pneumatic isolator |
| DE10042437A1 (de) * | 2000-08-30 | 2002-03-21 | Bernd Steinbrenner | Nachgiebige Arbeitsplatte |
| US6926263B1 (en) | 2001-04-17 | 2005-08-09 | Technical Manufacturing Corporation | High center of gravity stable pneumatic isolator |
| US6547225B1 (en) * | 2001-04-17 | 2003-04-15 | Technical Manufacturing Corporation | Pneumatic isolator with barometric insensitivity |
| US7178794B2 (en) * | 2002-09-10 | 2007-02-20 | Seagate Technology Llc | Fluid isolator assembly and floating elastomeric damping element |
| US6953109B2 (en) | 2002-10-08 | 2005-10-11 | Nikon Corporation | Vibration isolator with low lateral stiffness |
| DE10249647B4 (de) * | 2002-10-24 | 2006-03-09 | Bilz Schwingungstechnik Gmbh | Pneumatischer Schwingungsisolator |
| JP3926255B2 (ja) * | 2002-11-28 | 2007-06-06 | 藤倉ゴム工業株式会社 | 除振台 |
| JP2004176851A (ja) * | 2002-11-28 | 2004-06-24 | Fujikura Rubber Ltd | 除振台 |
| US20040140415A1 (en) * | 2003-01-21 | 2004-07-22 | Nikon Corporation | Vibration-attenuation devices having low lateral stiffness, and apparatus comprising same |
| US20050001132A1 (en) * | 2003-06-13 | 2005-01-06 | Machael Jay R. | Height adjustment cylinder with non-tapered threaded region |
| US7114710B2 (en) | 2004-09-03 | 2006-10-03 | Bilz Schwingungstechnix Gmbh | Pneumatic vibration isolator |
| JP6418809B2 (ja) * | 2013-08-09 | 2018-11-07 | 倉敷化工株式会社 | 気体ばね式除振装置 |
| US11305290B2 (en) | 2015-05-19 | 2022-04-19 | Technical Manufacturing Corporation | Laminated, low-profile, vibration-damped table top |
| JP7086718B2 (ja) * | 2018-05-29 | 2022-06-20 | 倉敷化工株式会社 | 気体ばね式防振装置 |
| US11898926B2 (en) | 2019-09-13 | 2024-02-13 | Technical Manufacturing Corporation | Inspection apparatus and methods for precision vibration-isolation tabletops |
| CN112067221B (zh) * | 2020-09-14 | 2022-07-19 | 浙江埃特斯力试验设备有限公司 | 一种用于木结构建筑的基础建筑框架模型抗震测试装置 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| BE629690A (ja) * | ||||
| US929272A (en) * | 1909-03-05 | 1909-07-27 | W H Luther | Chair. |
| US2770434A (en) * | 1949-04-29 | 1956-11-13 | James A Mcnally | Pneumatic mounting system |
| DK116700A (ja) * | 1963-07-12 | |||
| US3627246A (en) * | 1969-09-22 | 1971-12-14 | Lansing Research Corp | Isolating leg structure for tables and the like |
| GB1410983A (en) * | 1971-12-23 | 1975-10-22 | Stabilus Ind Handels Gmbh | Column assembly combination |
| US3949961A (en) * | 1972-06-09 | 1976-04-13 | Mcneil Corporation | Material handling apparatus |
| FR2197432A5 (ja) * | 1972-08-23 | 1974-03-22 | Jarret Jean | |
| DE2642522A1 (de) * | 1976-09-22 | 1978-03-23 | Werner Dr Ing Heinze | Luftfeder |
-
1980
- 1980-02-19 US US06/122,131 patent/US4360184A/en not_active Expired - Lifetime
-
1981
- 1981-02-18 JP JP2160581A patent/JPS56127837A/ja active Granted
- 1981-02-19 DE DE19813106154 patent/DE3106154A1/de active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4360184A (en) | 1982-11-23 |
| DE3106154A1 (de) | 1981-12-10 |
| DE3106154C2 (ja) | 1993-01-21 |
| JPS56127837A (en) | 1981-10-06 |
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