TWM628599U - 半導體晶圓儲物架之減震裝置 - Google Patents

Abstract

一種半導體晶圓儲物架之減震裝置，其包括一下托盤、一上托盤與多個減震器，該上托盤設於該下托盤的上方，該些減震器相間隔地設在該下托盤和該上托盤之間，每一減震器的兩端分別連接於該下托盤和該上托盤。本新型的減震裝置能裝設在一懸吊式之儲物架的底架上，以抑制及消除從該儲物架傳導至該貨物的振動，進而防止疊置在該底架上的貨物互相敲擊或磨損，避免影響後續製成後之產品的良率，再者，由於該減震裝置是設置在儲物架上，該儲物架能為現有技術之設備、無須更改設計，故能在對既有設備做最少更動的前提下達到減震的目的。

Description

半導體晶圓儲物架之減震裝置

本新型係涉及一種減震裝置，尤指一種裝設在半導體晶圓儲物架上的減震裝置。

現代化的工廠內大多裝設有用來運送零件、材料、半導體…等貨物的天車，而為了配合天車的使用以及有效率地利用空間，部分工廠會在天花板架設儲物架，作為暫存或調配貨物之設備，如此不但可以方便天車裝載或卸載貨物，達到自動化運輸的目的，更可以大幅降低貨物倉儲的成本。

參見圖8所示，為現有技術之架設在工廠內部之天花板的儲物架50，其大抵包括一上、一下設置的一頂架51與一底架52，該頂架51與底架52之間以多個相間隔設置的吊架53連接，該底架52用以承載待儲放的貨物54。

其中，在生產晶圓、面板……等精密產品的廠房中，因設備運轉、噪音、外部交通工具、地震等原因所產生的環境振動，是影響產品良率的重要因素，而上述懸吊在天花板的現有技術之儲物架50會放大所述環境振動，過度的振動將會導致暫時儲放在該儲物架50上的貨物54因互相敲擊或磨損而影響後續製成後之產品的良率，故現有技術之儲物架50實有待進一步改良。

有鑑於前述現有技術所存在的問題，本新型的創作目的在於提供一種減震裝置，其設置在懸吊式儲物架的底架上，能抑制及消除傳導至底架上所儲放之貨物的振動。

為了達到前述的創作目的，本新型採用的技術手段係使一半導體晶圓儲物架之減震裝置包括： 一下托盤；一上托盤，其設於該下托盤的上方；以及多個減震器，其係相間隔地設在該下托盤和該上托盤之間，每一減震器的兩端分別連接於該下托盤和該上托盤。

所述的半導體晶圓儲物架之減震裝置中，該下托盤能具有至少一定位凹部，該至少一定位凹部內凹形成於該下托盤之一底面。

所述的半導體晶圓儲物架之減震裝置中，該下托盤之每一定位凹部能呈長形，並且兩端分別貫通該下托盤的相對兩側。

所述的半導體晶圓儲物架之減震裝置中，該下托盤上能貫穿形成有至少一下通氣孔，該上托盤上能貫穿形成有至少一上通氣孔，每一上通氣孔的位置對應其中一下通氣孔。

所述的半導體晶圓儲物架之減震裝置中，該上托盤能具有至少一定位珠，該至少一定位珠設於該上托盤之一頂面。

所述的半導體晶圓儲物架之減震裝置中，每一減震器能包括一阻尼件與二組接座，該二組接座分別固設在該阻尼件的兩端，並且分別連接於該下托盤和該上托盤。

所述的半導體晶圓儲物架之減震裝置中，每一減震器的每一組接座能具有一螺桿，該二組接座之螺桿分別貫穿該下托盤和該上托盤，每一減震器能進一步包括二螺帽，該二螺帽分別結合於該二螺桿，該下托盤和該上托盤分別被夾掣在相對應的組接座和螺帽之間。

所述的半導體晶圓儲物架之減震裝置中，每一減震器能進一步包括多個墊圈，該些墊圈設在該組接座和該下托盤或上托盤之間以及設在該螺帽和該下托盤或上托盤之間。

本新型的減震裝置能裝設在一懸吊式之儲物架的底架上，以抑制及消除從該儲物架傳導至該貨物的振動，進而防止疊置在該底架上的貨物互相敲擊或磨損，避免影響後續製成後之產品的良率，再者，由於該減震裝置是設置在儲物架上，該儲物架能為現有技術之設備、無須更改設計，故能在對既有設備做最少更動的前提下達到減震的目的。

1:減震裝置

10:下托盤

11:下通氣孔

12:定位凹部

20:上托盤

21:上通氣孔

22:定位珠

30:減震器

31:阻尼件

32:組接座

321:螺桿

33:螺帽

34:墊圈

40:儲物架

41:頂架

42:底架

421:托桿

43:吊架

44:貨物

50:儲物架

51:頂架

52:底架

53:吊架

54:貨物

圖1為本新型之減震裝置設置在儲物架上的使用狀態立體圖。

圖2為本新型之減震裝置的俯視立體外觀圖。

圖3為本新型之減震裝置的仰視立體外觀圖。

圖4為本新型之減震裝置的立體分解圖。

圖5為本新型之減震裝置的側視圖。

圖6為在本新型之減震裝置上設置貨物的使用狀態立體圖。

圖7為在本新型之減震裝置上設置貨物的使用狀態側視圖。

圖8為現有技術之半導體晶圓儲物架的立體外觀圖。

以下配合圖式及本新型之較佳實施例，進一步闡述本新型為達成預定新型創作目的所採取的技術手段。

參見圖1及圖6所示，一半導體晶圓的儲物架40具有一頂架41與一底架42，該頂架41與底架42之間以多個相間隔設置的吊架43連接，該底架42上能設置多個本新型的減震裝置1，待儲放的貨物44則擺放在各減震裝置1上。進一步參見圖2至圖4所示，該減震裝置1包括一下托盤10、一上托盤20與多個減震器30。

該下托盤10具有至少一下通氣孔11與至少一定位凹部12，該至少一下通氣孔11貫穿該下托盤10，該至少一定位凹部12內凹形成於該下托盤10之一底面，藉該定位凹部12之設計，當該減震裝置1設置在該儲物架40上時，該儲物架40之底架42與該下托盤10能凹凸配合而相互嵌合，從而將該減震裝置1穩固地放置該儲物架40之底架42上。

配合參見圖6及圖7所示，在本新型的具體實施方式中，該儲物架40之底架42主要由相間隔且相互平行的二托桿421所構成，故該至少一定位凹部12包含有兩個定位凹部12，該二定位凹部12相間隔且相互平行設置，每一定位凹部12呈長形，並且兩端分別貫通該下托盤10的相對兩側，使該底架42的二托桿421能分別容置於該定位凹部12中。

該上托盤20設於該下托盤10的上方，該上托盤20具有至少一上通氣孔21與至少一定位珠22，該至少一上通氣孔21貫穿該上托盤20，每一上通氣孔21的位置對應其中一下通氣孔11，該至少一定位珠22設於該上托盤20之一頂面，該定位珠22可供擺放在該減震裝置1上的貨物44定位之用。

在本新型的具體實施例中，該至少一下通氣孔11包含有多個下通氣孔11，該至少一上通氣孔21包含有多個上通氣孔21，該些上通氣孔21的位置分別對應該些下通氣孔11，該上通氣孔21與下通氣孔11用於讓該減震裝置1具有通風的結構，以有助於讓無塵室內的空氣能循環地進行濾淨處理。

配合參見圖4及圖5所示，該些減震器30相間隔地設在該下托盤10和該上托盤20之間，每一減震器30的兩端分別連接於該下托盤10和該上托盤20。在本新型的具體實施方式中，每一減震器30包括一阻尼件31、二組接座32、二螺帽33與多個墊圈34。該阻尼件31能為一矽膠材質的塊體，但不以此為限，該阻尼件31也能是壓縮彈簧等彈性件。該二組接座32分別固設在該阻尼件31的兩端，每一組接座32具有一螺桿321，該二組接座32之螺桿321分別貫穿該 下托盤10和該上托盤20，該二螺帽33分別結合於該二螺桿321，從而分別將該下托盤10和該上托盤20夾掣在相對應的組接座32和螺帽33之間，該些墊圈34則設在該組接座32和該下托盤10或上托盤20之間以及設在該螺帽33和該下托盤10或上托盤20之間，以避免該下托盤10和該上托盤20的表面因摩擦而損傷。

藉由在懸吊式的儲物架40之底架42上裝設本新型之減震裝置1，能抑制及消除從該儲物架40傳導至該貨物44的振動，進而防止疊置在該底架42上的貨物44互相敲擊或磨損，避免影響後續製成後之產品的良率。再者，該減震裝置1是設置在儲物架40上，該儲物架40能為現有技術之設備、無須更改設計，故能在對既有設備做最少更動的前提下達到減震的目的。

以上所述僅是本新型的較佳實施例，並非對本新型作任何形式上的限制，雖然本新型已以較佳實施例揭露如上，然而並非用以限定本新型，任何熟悉本專業的技術人員，在未脫離本新型技術方案的範圍內容，依據本新型的技術實質對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬於本新型技術方案的範圍內。

1:減震裝置

10:下托盤

20:上托盤

21:上通氣孔

22:定位珠

30:減震器

Claims (9)

1. 一種半導體晶圓儲物架之減震裝置，其包括一下托盤、一上托盤與多個減震器，該上托盤設於該下托盤的上方，該些減震器相間隔地設在該下托盤和該上托盤之間，每一減震器的兩端分別連接於該下托盤和該上托盤。
2. 如請求項1所述的半導體晶圓儲物架之減震裝置，其中，該下托盤具有至少一定位凹部，該至少一定位凹部內凹形成於該下托盤之一底面。
3. 如請求項2所述的半導體晶圓儲物架之減震裝置，其中，該下托盤之每一定位凹部呈長形，並且兩端分別貫通該下托盤的相對兩側。
4. 如請求項1至3中任一項所述的半導體晶圓儲物架之減震裝置，其中，該下托盤上貫穿形成有至少一下通氣孔，該上托盤上貫穿形成有至少一上通氣孔，每一上通氣孔的位置對應其中一下通氣孔。
5. 如請求項1至3中任一項所述的半導體晶圓儲物架之減震裝置，其中，該上托盤具有至少一定位珠，該至少一定位珠設於該上托盤之一頂面。
6. 如請求項4所述的半導體晶圓儲物架之減震裝置，其中，該上托盤具有至少一定位珠，該至少一定位珠設於該上托盤之一頂面。
7. 如請求項1至3中任一項所述的半導體晶圓儲物架之減震裝置，其中，每一減震器包括一阻尼件與二組接座，該二組接座分別固設在該阻尼件的兩端，並且分別連接於該下托盤和該上托盤。
8. 如請求項7所述的半導體晶圓儲物架之減震裝置，其中：每一減震器的每一組接座具有一螺桿，該二組接座之螺桿分別貫穿該下托盤和該上托盤；每一減震器進一步包括二螺帽，該二螺帽分別結合於該二螺桿，該下托盤和該上托盤分別被夾掣在相對應的組接座和螺帽之間。
9. 如請求項8所述的半導體晶圓儲物架之減震裝置，其中，每一減震器進一步包括多個墊圈，該些墊圈設在該組接座和該下托盤或上托盤之間以及設在該螺帽和該下托盤或上托盤之間。

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