KR20150119182A - 보관 선반 - Google Patents

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Abstract

내하중을 확보하면서, 진동을 저감할 수 있는 보관 선반을 제공한다. 보관 선반(1)은, FOUP(100)을 재치하는 재치부(20a ~ 20d)와, 재치부(20a ~ 20d)를 지지하는 프레임부(10)를 구비하고, 재치부(20a, 20c)는, 프레임부(10)에 제 1 탄성체(40, 41)를 개재하여 배치된 프레임(22a, 22c)과, 프레임(22a, 22c)에 제 2 탄성체(60, 61)를 개재하여 배치되고, 또한 FOUP(100)이 재치되는 선반판(24)을 구비한다.

Description

보관 선반{STORAGE SHELF}
본 발명은 FOUP을 보관하는 보관 선반에 관한 것이다.
반도체 반송 시스템에는, 웨이퍼 캐리어인 FOUP을 일시적으로 보관하는 보관 선반이 마련되어 있다. 보관 선반으로서는, 천장 반송차의 궤도 또는 천장으로부터 매달려 있는 것이 있고, 이 보관 선반에는, 천장 반송차가 주행하면 진동이 전해지는 경우가 있다. 웨이퍼는 정밀 부재이기 때문에, 진동에 의한 영향을 저감하는 것이 요망되고 있다.
진동을 억제하는 기구로서는, 예를 들면 특허 문헌 1에 기재된 것이 알려져 있다. 특허 문헌 1에 기재된 것에서는, 하물이 재치(載置)되는 받침대에 점탄성체가 마련되어 있다.
일본특허공개공보 2012-015371호
일반적으로, 방진 부재(탄성체)를 이용하여 진동을 저감하는 효과를 얻기 위해서는, 방진 대상물과 방진 부재로 구성되는 계의 고유 진동수와 입력 진동의 고유 진동수의 비가 커지도록, 방진 부재의 용수철 상수를 낮게 설정할 필요가 있다. 그러나, 방진 부재의 용수철 상수를 낮게 하면, 방진 부재의 탄성을 유지한 상태로 방진 대상물을 지지할 수 없는 문제가 발생할 수 있다.
본 발명은, 상기 과제를 해결하기 위하여 이루어진 것이며, 내하중을 확보하면서 진동을 저감할 수 있는 보관 선반을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 보관 선반은, 대상물을 재치하는 재치부와, 상기 재치부를 지지하는 프레임부를 구비하는 보관 선반으로서, 재치부는, 프레임부에 제 1 탄성체를 개재하여 배치된 프레임과, 프레임에 제 2 탄성체를 개재하여 배치되고, 또한 대상물이 재치되는 선반판을 구비하는 것을 특징으로 한다.
이 보관 선반에서는, 프레임이 제 1 탄성체를 개재하여 프레임부에 배치되어 있고, 대상물이 재치되는 선반판은, 제 2 탄성체를 개재하여 프레임에 배치되어 있다. 이에 의해, 보관 선반에서는, 제 1 탄성체와 제 2 탄성체가 직렬로 마련되어 있다. 따라서, 보관 선반에서는, 내하중을 확보하면서, 방진 효과를 얻기 위하여 용수철 상수를 낮게 설정할 수 있어, 진동을 저감할 수 있다.
일 실시 형태에 있어서는, 대상물은, 웨이퍼를 수용하는 FOUP이며, 재치부는, 프레임과 선반판의 사이에 배치되고, 또한 제 1 및 제 2 탄성체보다 강성이 높은 제 3 탄성체를 구비하고, 제 3 탄성체는, FOUP이 선반판에 재치되었을 때, FOUP의 덮개가 위치하는 측에 배치되어 있어도 된다. 일반적으로, FOUP은 덮개측이 무겁다. 이 때문에, FOUP의 중심(重心)은, 덮개측으로 편향되어 있다. 따라서, 보관 선반에서는, 제 1및 제 2 탄성체보다 강성이 높은 제 3 탄성체를 FOUP의 덮개가 위치하는 측에 배치하고 있다. 이에 의해, 보관 선반에서는, 진동을 저감하면서 FOUP이 경사지는 것을 억제할 수 있다.
일 실시 형태에 있어서는, 프레임부는, 서로 대향하는 한 쌍의 빔 부재를 구비하고, 프레임은, 한 쌍의 빔 부재에 걸쳐져 있고, 한 쌍의 빔 부재의 사이에 위치하고, 한 쌍의 빔 부재의 대향 방향으로 연장되는 기부(基部)와, 상기 기부의 양단부로부터 기립하는 한 쌍의 기립부를 가지는 오목부와, 기립부의 단부로부터 돌출되고, 또한 제 1 탄성체를 개재하여 빔 부재에 장착되는 돌출부를 가지고, 제 2 탄성체는, 프레임의 오목부에 배치되어도 된다. 이에 의해, 보관 선반에서는, 제 1 탄성체와 제 2 탄성체를 직렬로 마련한 구성이어도, 선반판의 위치가 높아지는 것을 억제할 수 있다. 따라서, 보관 선반에서는, 재치부의 높이 방향의 공간 절약화를 도모할 수 있다.
일 실시 형태에 있어서는, 프레임부는, 주행 대차의 레일 또는 상기 레일을 지지하는 지지 부재에 장착되어 있어도 된다. 이에 의해, 보관 선반에서는, 이 보관 선반을 지지하기 위한 부재를 별개로 준비할 필요가 없어, 구성의 간이화를 도모할 수 있다.
본 발명의 타측면에 따른 보관 선반은, 대상물을 재치하는 재치부와, 상기 재치부를 지지하고, 또한 주행 대차의 레일 또는 상기 레일을 지지하는 지지 부재에 장착된 프레임부를 구비하는 보관 선반으로서, 재치부는, 프레임부에 탄성체를 개재하여 배치되고, 또한 대상물이 재치되는 선반판을 구비하는 것을 특징으로 한다.
이 보관 선반에서는, 레일 또는 지지 부재에 장착된 프레임부에, 탄성체를 개재하여 재치부가 배치되어 있으므로, 주행 대차가 주행할 시에 레일에 발생하는 진동이, 프레임부로부터 재치부로 전해지는 것을 억제할 수 있어, 대상물의 진동을 저감할 수 있다.
본 발명에 따르면, 내하중을 확보하면서 진동을 저감할 수 있다.
도 1은 일 실시 형태에 따른 보관 선반을 나타낸 사시도이다.
도 2는 재치부를 나타낸 사시도이다.
도 3은 FOUP이 재치된 보관 선반의 측면도이다.
도 4는 제 1 실시 형태의 변형예에 따른 보관 선반의 측면도이다.
도 5는 제 2 실시 형태에 따른 보관 선반의 측면도이다.
이하, 첨부 도면을 참조하여, 본 발명의 적합한 실시 형태에 대하여 상세하게 설명한다. 또한, 도면의 설명에 있어서 동일 또는 상당 요소에는 동일 부호를 부여하고, 중복되는 설명은 생략한다. 또한, 'X 방향', 'Y 방향' 및 'Z 방향'의 단어는, 도시하는 방향에 기초하고 있으며 편의적인 것이다.
[제 1 실시 형태]
도 1은, 일 실시 형태에 따른 보관 선반을 나타낸 사시도이다. 도 1에 나타낸 보관 선반(1)은, 예를 들면, 반도체 제조 공장의 반도체 반송 시스템에 설치된다. 보관 선반(1)은, 웨이퍼를 수용하는 FOUP(Front-Opening Unified Pod : 웨이퍼 캐리어)(100)(도 3 참조)을 보관한다. FOUP(100)은, 예를 들면 직경이 300 mm 또는 450 mm의 복수 매의 웨이퍼를 수납하고 있다.
보관 선반(1)은, 프레임부(10)와, 재치부(20a, 20b, 20c, 20d)를 구비하고 있다. 프레임부(10)는 재치부(20a ~ 20d)를 지지한다. 프레임부(10)는, 현수 부재(3a ~ 3d)와, 연결 부재(5a, 5b)와, 빔 부재(7a, 7b)를 구비하고 있다.
현수 부재(3a ~ 3d)는, 상하 방향(Z 방향)으로 연장되는 기둥 부재이며, 복수 개(본 실시 형태에서는 4 개) 마련되어 있다. 현수 부재(3a ~ 3d)는, X 방향 및 Y 방향으로 소정의 간격을 두고 대향하여 배치되어 있다. 현수 부재(3a ~ 3d)는, 천장 반송차(주행 대차)의 레일, 이 레일을 지지하는 지지 부재 또는 천장 중 어느 일방에 장착되어 있다. 현수 부재(3a, 3b)의 하단측에는, X 방향으로 연장되는 펜스 부재(9a)가 가로로 마련되어 있다. 현수 부재(3c, 3d)의 하단측에는, X 방향으로 연장되는 펜스 부재(9b)가 가로로 마련되어 있다. 펜스 부재(9a, 9b)는 FOUP(100)의 낙하를 방지한다.
연결 부재(5a)는, X 방향으로 연장되는 부재이며, 현수 부재(3a)와 현수 부재(3c)의 하단부를 연결하고 있다. 연결 부재(5b)는, X 방향으로 연장되는 부재이며, 현수 부재(3b)와 현수 부재(3d)의 하단부를 연결하고 있다.
빔 부재(7a, 7b)는, Y 방향으로 연장되는 부재이며, 연결 부재(5a, 5b)에 걸쳐져 있다. 빔 부재(7a, 7b)는, X 방향에 있어서 소정의 간격을 두고 서로 대향하고 있다.
재치부(20a ~ 20d)는 FOUP(100)이 재치된다. 재치부(20a ~ 20d)는, 프레임부(10)에 지지되어 있다. 재치부(20a ~ 20d)는, 프레임부(10)에 있어서, Y 방향을 따라 복수(여기서는 4 개) 배치되어 있다. 각 재치부(20a ~ 20d)는, 동일한 구성을 가지고 있다. 여기서는, 재치부(20a)를 일례로 구체적으로 설명한다.
도 2는 재치부를 나타낸 도이다. 도 3은 FOUP이 재치된 보관 선반의 측면도이다. 도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 재치부(20a)는, 프레임(22a, 22b, 22c)과 선반판(24)을 구비하고 있다.
프레임(22a ~ 22c)은, 빔 부재(7a, 7b)에 걸쳐져 있다. 프레임(22a ~ 22c)은, Y 방향에 있어서 소정의 간격을 두고, 이 순서로 배치되어 있다. 즉, 프레임(22b)은, 프레임(22a)과 프레임(22c)의 사이(대략 중앙부)에 배치되어 있다. 각 프레임(22a ~ 22c)은, 동일한 구성을 가지고 있다. 여기서는, 프레임(22a)을 일례로 구체적으로 설명한다.
프레임(22a)은, 오목 형상을 나타내는 오목부(30)와, 오목부(30)의 단부로부터 양측으로 돌출되는 돌출부(31, 32)를 가지고 있다. 프레임(22a)은, 판 형상의 부재이며, 예를 들면 판금 가공에 의해, 오목부(30) 및 돌출부(31, 32)가 일체로 형성되어 있다.
오목부(30)는, X 방향(한 쌍의 빔 부재(7a, 7b)의 대향 방향)으로 연장되는 기부(30a)와, 기부(30a)의 X 방향(길이 방향)의 단부로부터 대략 수직으로 기립하는 기립부(30b, 30c)를 가지고 있다. 돌출부(31, 32)의 각각은, 기립부(30b, 30c)의 상단부로부터, X 방향에 있어서 서로 외측을 향하도록 돌출되어 있다. 돌출부(31, 32)는, 기부(30a)와 대략 평행을 이루고 있다.
프레임(22a)은, 제 1 탄성체(40, 41)를 개재하여 빔 부재(7a, 7b)에 배치되어 있다. 상세하게는, 프레임(22a)은, 돌출부(31, 32)가 제 1 탄성체(40, 41)를 개재하여 빔 부재(7a, 7b)에 배치되어 있다. 제 1 탄성체(40, 41)는, 동일한 구성을 가지고 있다. 여기서는, 제 1 탄성체(40)를 일례로 구체적으로 설명한다.
제 1 탄성체(40)는, 겔 부재(42)와, 코일 용수철(43)과, 상하 한 쌍의 나사부(44)를 가지고 있다. 겔 부재(42)는, 코일 용수철(43)의 내측에 배치되어 있다. 나사부(44)는, 원반 형상의 기부로부터 나사가 상방 또는 하방으로 돌출하도록 구성되어 있고, 상하 한 쌍의 나사부(44)로 겔 부재(42)와 코일 용수철(43)을 개재하도록 마련되어 있다.
프레임(22a)은, 돌출부(31, 32)에 형성된 관통 홀(도시하지 않음)에 제 1 탄성체(40, 41)의 나사부(44)가 삽입 관통되고, 너트(45)에 의해 제 1 탄성체(40, 41)(구체적으로는 나사부(44)의 기부)에 고정되어 있다. 마찬가지로, 제 1 탄성체(40, 41)는, 도시하지 않은 너트에 의해, 빔 부재(7a, 7b)에 고정되어 있다. 이에 의해, 프레임(22a)은, 제 1 탄성체(40, 41)를 개재하여, 빔 부재(7a, 7b)에 고정되어 있다.
프레임(22b)의 돌출부(31)는, 제 3 탄성체(50)를 개재하여 빔 부재(7a)에 배치되어 있다. 제 3 탄성체(50)는, 겔 부재(51)와, 상하 한 쌍의 나사부(52)를 가지고 있다. 나사부(52)는, 원반 형상의 기부로부터 나사가 상방 또는 하방으로 돌출하도록 구성되어 있고, 상하 한 쌍의 나사부(44)로 겔 부재(51)를 개재하도록 마련되어 있다. 제 3 탄성체(50)는, 제 1 탄성체(40, 41) 및 후술하는 제 2 탄성체(60, 61)보다 강성이 높다. 즉, 제 3 탄성체(50)의 적정 하중은, 제 1 탄성체(40, 41)의 적정 하중보다 크다.
프레임(22b)은, 돌출부(31)에 형성된 관통 홀(도시하지 않음)에 제 3 탄성체(50)의 나사부(52)가 삽입 관통되고, 너트(53)에 의해 제 3 탄성체(50)(구체적으로는 나사부(52)의 기부)에 고정되어 있다. 제 3 탄성체(50)는, 도시하지 않은 너트에 의해, 빔 부재(7a)에 고정되어 있다. 이에 의해, 프레임(22b)은, 제 3 탄성체(50)를 개재하여, 빔 부재(7a)에 고정되어 있다. 프레임(22b)의 돌출부(32)는, 제 1 탄성체(41)를 개재하여 빔 부재(7b)에 고정되어 있다.
보관 선반(1)에 있어서, Y 방향에서의 양단부에 위치하는 재치부(20a, 20d)에는, 펜스 부재(12a, 12b)가 마련되어 있다. 펜스 부재(12a)는, 재치부(20a)의 프레임(22a)의 기부(30a)에 장착되어 있다. 펜스 부재(12b)는, 재치부(20d)의 프레임(22c)의 기부(30a)에 장착되어 있다. 펜스 부재(12a, 12b)는, FOUP(100)의 낙하를 방지한다.
선반판(24)은, 대략 직사각형 형상을 나타내는 판 형상의 부재이며, FOUP(100)이 재치된다. 선반판(24)은 FOUP(100)이 재치되는 재치면(24a)을 가진다. 선반판(24)은, X 방향에서의 폭이 프레임(22a ~ 22c)의 기립부(30b, 30c)의 간격보다 작고, 프레임(22a ~ 22c)의 오목부(30)에 위치하고 있다.
선반판(24)에는, 핀(P1, P2, P3)이 마련되어 있다. 핀(P1 ~ P3)은 선반판(24)의 재치면(24a)으로부터 상방으로 돌출되어 있다. 핀(P1 ~ P3)은, FOUP(100)의 바닥부에 마련된 위치 결정 홀(도시하지 않음)에 대응하는 위치에 배치되어 있다. 본 실시 형태에서는, FOUP(100)은, 덮개(102)가 도시 좌측에 위치하는 방향으로 선반판(24)에 재치된다.
선반판(24)은, 제 2 탄성체(60, 61)를 개재하여, 프레임(22a, 22c)에 배치되어 있다. 상세하게는, 선반판(24)은, 제 2 탄성체(60, 61)를 개재하여 프레임(22a, 22c)의 오목부(30)의 기부(30a)에 배치되어 있다. 제 2 탄성체(60, 61)는 동일한 구성을 가지고 있다. 여기서는, 제 2 탄성체(60)를 일례로 구체적으로 설명한다.
제 2 탄성체(60)는, 제 1 탄성체(40, 41)와 동일한 구성을 가지고 있고, 겔 부재(62)와, 코일 용수철(63)과, 상하 한 쌍의 나사부(64)를 가지고 있다. 겔 부재(62)는, 코일 용수철(63)의 내측에 배치되어 있다. 나사부(64)는, 원반 형상의 기부로부터 나사가 상방 또는 하방으로 돌출하도록 구성되어 있고, 상하 한 쌍의 나사부(64)로 겔 부재(62)를 개재하도록 마련되어 있다. 제 2 탄성체(60, 61)의 적정 하중은, 제 1 탄성체(40, 41)의 적정 하중과 대략 동등하다.
선반판(24)은, 그 관통 홀(도시하지 않음)에 제 2 탄성체(60, 61)의 나사부(64)가 삽입 관통되고, 너트(65)에 의해 제 2 탄성체(60, 61)(구체적으로는 나사부(64)의 기부)에 고정되어 있다. 제 2 탄성체(60, 61)는, 너트(66)에 의해, 프레임(22a, 22c)의 기부(30a)에 고정되어 있다. 이에 의해, 선반판(24)은 제 2 탄성체(60, 61)를 개재하여, 프레임(22a, 22c)에 고정되어 있다.
제 2 탄성체(60)와 제 2 탄성체(61)는, 소정의 간격을 두고 선반판(24)의 모퉁이부에 고정되어 있다. 본 실시 형태에서는, 제 2 탄성체(60, 61)의 프레임(22a, 22c)에 대한 장착 위치는, 도 3에 나타낸 바와 같이, 선반판(24)에 FOUP(100)이 배치되었을 때, FOUP(100)의 덮개(102)측에 근접하고 있다. 구체적으로는, 제 2 탄성체(60, 61)의 프레임(22a, 22c)에 대한 장착 위치는, 선반판(24)의 전단(도시 좌단)과 기립부(30b)의 간격(D1)은, 선반판(24)의 후단(도시 우측)과 기립부(30c)의 간격(D2)보다 작아지는 위치로 되어 있다.
또한, 선반판(24)은, 제 4 탄성체(제 3 탄성체)(70)를 개재하여 프레임(22b)에 배치되어 있다. 상세하게는, 선반판(24)은, 제 4 탄성체(70)를 개재하여 프레임(22b)의 오목부(30)의 기부(30a)에 배치되어 있다. 제 4 탄성체(70)는, 선반판(24)에 FOUP(100)이 배치되었을 때, FOUP(100)의 덮개(102)측에 배치되어 있다.
제 4 탄성체(70)는, 제 3 탄성체(50)와 동등한 구성을 가지고 있고, 겔 부재(71)와, 상하 한 쌍의 나사부(72)를 가지고 있다. 나사부(72)는, 원반 형상의 기부로부터 나사가 상방 또는 하방으로 돌출하도록 구성되어 있고, 상하 한 쌍의 나사부(72)로 겔 부재(71)를 개재하도록 마련되어 있다. 제 4 탄성체(70)는, 제 1 탄성체(40, 41) 및 제 2 탄성체(60, 61)보다 강성이 높다. 제 4 탄성체(70)의 적정 하중은, 제 3 탄성체(50)의 적정 하중과 대략 동등하다.
선반판(24)은, 그 관통 홀(도시하지 않음)에 제 4 탄성체(70)의 나사부(72)가 삽입 관통되고, 너트(73)에 의해 제 4 탄성체(70)에 고정되어 있다. 제 4 탄성체(70)는, 너트(73)에 의해, 프레임(22b)의 기부(30a)에 고정되어 있다. 이에 의해, 선반판(24)은 제 4 탄성체(70)를 개재하여, 프레임(22b)에 고정되어 있다.
선반판(24)의 높이 위치는, 프레임(22a ~ 22c)의 돌출부(31, 32)의 높이 위치와 대략 동등하게 되어 있다.
이상 설명한 바와 같이, 본 실시 형태의 보관 선반(1)에서는, 프레임(22a ~ 22c)이 제 1 탄성체(40, 41) 및 제 3 탄성체(50)를 개재하여 빔 부재(7a, 7b)에 걸쳐져 있고, FOUP(100)이 재치되는 선반판(24)은, 제 2 탄성체(60, 61)를 개재하여 프레임(22a, 22c)에 배치되어 있다. 이에 의해, 보관 선반(1)에서는, 제 1 탄성체(40, 41)와 제 2 탄성체(60, 61)가 직렬로 마련되어 있기 때문에, 내하중을 확보하면서, 방진 효과를 얻기 위해 용수철 상수를 낮게 설정하여 진동의 저감을 도모할 수 있다.
여기서, FOUP(100)은, 덮개(102)측이 무거워져 있고, 중심이 덮개(102)측으로 편향되어 있다. 이 때문에, 선반판(24)에 FOUP(100)을 재치하면, FOUP(100)이 덮개(102)측으로 경사질 우려가 있다.
이에 대하여, 본 실시 형태에서는, FOUP(100)의 덮개(102)가 위치하는 측에, 제 1 탄성체(40, 41) 및 제 2 탄성체(60, 61)보다 강성이 높은 제 3 탄성체(50) 및 제 4 탄성체(70)를 배치하고 있다. 즉, 재치부(20a ~ 20d)에서는, FOUP(100)의 덮개(102)측에 있어서, 탄성체를 덮개(102)측의 반대측보다 많이 배치하고 있고, 또한 그 탄성체의 강성을 높게 하고 있다. 또한, 본 실시 형태에서는, 제 2 탄성체(60, 61) 및 제 4 탄성체(70)는, 프레임(22a ~ 22c)의 오목부(30)에 있어서, FOUP(100)의 덮개(102)가 위치하는 측쪽에 배치되어 있다. 이들에 의해, 본 실시 형태에서는, FOUP(100)의 중심에 따라 탄성체를 배치함으로써, FOUP(100)이 덮개(102)측으로 경사지는 것을 억제할 수 있다.
본 실시 형태에서는, 프레임(22a ~ 22c)은, 한 쌍의 빔 부재(7a, 7b)의 사이에 위치하는 오목부(30)를 가지고 있다. 선반판(24)은, 프레임(22a ~ 22c)의 오목부(30)에 배치된다. 이에 의해, 선반판(24)의 높이 위치는, 프레임(22a ~ 22c)의 돌출부(31, 32)의 높이 위치와 대략 동등하게 되어 있다. 따라서, 보관 선반(1)에서는, 제 1 탄성체(40, 41)와 제 2 탄성체(60, 61)를 직렬로 마련하는 구성이어도, 재치부(20a ~ 20d)의 높이 방향의 공간 절약화를 도모할 수 있다.
도 4는, 제 1 실시 형태의 변형예에 따른 보관 선반의 측면도이다. 도 4에 나타낸 바와 같이, 보관 선반(1A)에서는, 선반판(24)은, 그 전단(도시 좌단)과 기립부(30b)의 간격(D1)과, 후단(도시 우측)과 기립부(30c)의 간격(D2)이 대략 동등하게 되어 있다. 보관 선반(1A)에서는, FOUP(100)의 덮개(102)측에는, 덮개(102)와 반대측에 배치되는 탄성체보다 강성이 높은 제 1 및 제 2 탄성체(40, 60)를 배치하는 것이 바람직하다. 이에 의해, 보관 선반(1A)에서는 FOUP(100)의 경사를 억제할 수 있다.
상기 실시 형태에서는, 제 1 탄성체(40, 41), 제 2 탄성체(60, 61), 제 3 탄성체(50), 제 4 탄성체(70)를 이용하고 있지만, 제 1 탄성체(40, 41) 및 제 2 탄성체(60, 61)만을 이용해도 된다. 이 경우에는, 선반판(24)을 FOUP(100)의 덮개(102)측 가까이에 배치하는 것이 바람직하다.
[제 2 실시 형태]
이어서, 제 2 실시 형태에 대하여 설명한다. 도 5는, 제 2 실시 형태에 따른 보관 선반의 측면도이다. 도 5에 나타낸 바와 같이, 보관 선반(1B)은, 프레임부(10)와, 재치부(20a)(20b, 20c, 20d(도 1 참조))를 구비하고 있다. 프레임부(10)는, 재치부(20a)(20b ~ 20d)를 지지한다. 프레임부(10)는, 현수 부재(3a ~ 3d)(도 1 참조)와, 연결 부재(5a, 5b)와, 빔 부재(7a, 7b)를 구비하고 있다.
재치부(20a)는 선반판(24A)을 구비하고 있다. 선반판(24A)은, 대략 직사각형 형상을 나타내는 판 형상의 부재이며, FOUP(100)이 재치된다. 선반판(24A)은, X 방향에서의 폭이 빔 부재(7a, 7b)의 간격보다 크고, 빔 부재(7a, 7b)에 걸쳐 배치되어 있다. 선반판(24A)은, 탄성체(80, 81)를 개재하여 빔 부재(7a, 7b)에 배치되어 있다.
탄성체(80, 81)는, 제 1 실시 형태의 제 1 탄성체(40, 41)와 동일한 구성을 가지고 있다. FOUP(100)의 덮개(102)측에는, 덮개(102)와 반대측에 배치되는 탄성체보다 강성이 높은 탄성체(80)를 배치하는 것이 바람직하다.
선반판(24A)의 Y 방향의 중앙부에 있어서, FOUP(100)의 덮개(102)측에는, 도 2에 나타낸 제 3 탄성체(50)가 마련되어 있다. 제 3 탄성체(50)는, 탄성체(80, 81)보다 강성이 높다. 즉, 제 3 탄성체(50)의 적정 하중은, 탄성체(80, 81)의 적정 하중보다 크다. 선반판(24A)의 Y 방향의 중앙부에 있어서, FOUP(100)의 덮개(102)와 반대 측에는, 탄성체(81)가 마련되어 있다.
이상 설명한 바와 같이, 본 실시 형태의 보관 선반(1B)에서는, 선반판(24A)이 탄성체(80, 81) 및 제 3 탄성체(50)를 개재하여 빔 부재(7a, 7b)에 걸쳐져 있다. 이와 같이, 보관 선반(1B)에서는, 레일 또는 지지 부재에 장착된 프레임부(10)에, 탄성체(80, 81)를 개재하여 재치부(20a)(선반판(24A))가 배치되어 있으므로, 천장 반송차(주행 대차)가 주행할 시에 레일에 발생하는 진동이, 프레임부(10)로부터 재치부(20a)로 전해지는 것을 억제할 수 있어, FOUP(100)의 진동을 저감할 수 있다. 따라서, 보관 선반(1B)에서는, 내하중을 확보하면서, 방진 효과를 얻기 위해 용수철 상수를 낮게 설정하여, 진동의 저감을 도모할 수 있다.
본 실시 형태의 보관 선반(1B)에서는, FOUP(100)의 덮개(102)가 위치하는 측에, 탄성체(80, 81)보다 강성이 높은 제 3 탄성체(50)를 배치하고 있다. 또한, 탄성체(80)는 탄성체(81)보다 강성이 높다. 즉, 재치부(20a ~ 20d)에서는, FOUP(100)의 덮개(102)측에 있어서, 탄성체를 덮개(102)측의 반대측보다 많이 배치하고 있고, 또한 그 탄성체의 강성을 높게 하고 있다. 이에 의해, 본 실시 형태에서는, FOUP(100)의 중심에 따라 탄성체를 배치함으로써, FOUP(100)이 덮개(102)측으로 경사지는 것을 억제할 수 있다.
상기 실시 형태에서는, 탄성체(80, 81) 및 제 3 탄성체(50)를 이용하고 있지만, 탄성체(80, 81)만을 이용해도 된다.
본 발명은 상기 실시 형태에 한정되지 않는다. 상기 실시 형태에서는, 복수의 프레임(22a ~ 22c)을 구비하는 구성을 일례로 설명하였지만, 프레임은 1 개여도 된다.
또한, 배치하는 탄성체의 위치, 탄성체의 수 및 탄성체의 종류는, 방진 대상물의 무게 또는 중심에 따라 적절히 설정하면 된다.
상기 실시 형태에서는, 보관 선반(1)에 FOUP(100)을 보관하는 형태를 일례로 설명하였지만, 대상물은, 다른 종류의 웨이퍼 캐리어, 예를 들면 FOSB(Front Opening Shipping Box) 또는 MAC(Multiple Application Carrier) 등이어도 된다.
1, 1A, 1B : 보관 선반
10 : 프레임부
20a ~ 20d : 재치부
22a ~ 22c : 프레임
24, 24A : 선반판
40, 41 : 제 1 탄성체
50 : 제 3 탄성체
60, 61 : 제 2 탄성체
70 : 제 4 탄성체(제 3 탄성체)
80, 81 : 탄성체
100 : FOUP

Claims (5)

  1. 대상물을 재치하는 재치부와, 상기 재치부를 지지하는 프레임부를 구비하는 보관 선반으로서,
    상기 재치부는,
    상기 프레임부에 제 1 탄성체를 개재하여 배치된 프레임과,
    상기 프레임에 제 2 탄성체를 개재하여 배치되고, 또한 상기 대상물이 재치되는 선반판을 구비하는 것을 특징으로 하는 보관 선반.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 대상물은, 웨이퍼를 수용하는 FOUP이며,
    상기 재치부는, 상기 프레임과 상기 선반판의 사이에 배치되고, 또한 상기 제 1 및 제 2 탄성체보다 강성이 높은 제 3 탄성체를 구비하고,
    상기 제 3 탄성체는, 상기 FOUP이 상기 선반판에 재치되었을 때, 상기 FOUP의 덮개가 위치하는 측에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 보관 선반.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 프레임부는, 서로 대향하는 한 쌍의 빔 부재를 구비하고,
    상기 프레임은, 상기 한 쌍의 빔 부재에 걸쳐져 있고,
    한 쌍의 상기 빔 부재의 사이에 위치하고, 한 쌍의 상기 빔 부재의 대향 방향으로 연장되는 기부와, 상기 기부의 양단부로부터 기립하는 한 쌍의 기립부를 가지는 오목부와,
    상기 기립부의 단부로부터 돌출되고, 또한 상기 제 1 탄성체를 개재하여 상기 빔 부재에 배치되는 돌출부를 가지고,
    상기 제 2 탄성체는, 상기 프레임의 오목부에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 보관 선반.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 프레임부는, 주행 대차의 레일 또는 상기 레일을 지지하는 지지 부재에 장착되어 있는 것을 특징으로 하는 보관 선반.
  5. 대상물을 재치하는 재치부와, 상기 재치부를 지지하고, 또한 주행 대차의 레일 또는 상기 레일을 지지하는 지지 부재에 장착된 프레임부를 구비하는 보관 선반으로서,
    상기 재치부는, 상기 프레임부에 탄성체를 개재하여 배치되고, 또한 상기 대상물이 재치되는 선반판을 구비하는 것을 특징으로 하는 보관 선반.
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