KR20210016607A - 보관 선반 - Google Patents

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타츠오 츠바키
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무라다기카이가부시끼가이샤
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Abstract

보관 선반(1)은, 본체 프레임(10)과, 본체 프레임(10)에 탄성체(9)를 개재하여 장착되는 선반판(20)을 구비하고, 피저장물이 저장되는 FOUP을 보관하는 보관 선반(1)으로서, 선반판(20)에 마련되고, FOUP에 가스를 공급하는 공급 노즐(31)과, 공급 노즐(31)에 연통하는 일단(33a)과, 본체 프레임(10)에 지지되고 또한 FOUP에 공급하는 가스의 공급원에 접속되어 있는 주관(50)에 연통하는 타단(33b)을 가지는 공급관(33)을 구비한다. 공급관(33)은, 일단(33a)으로부터 타단(33b)까지의 사이의 적어도 일부에 가요성이 있는 가요부를 가지고 있다.

Description

보관 선반
본 발명의 일측면은 보관 선반에 관한 것이다.
반도체 제조 장치 또는 액정 제조 장치 등으로 처리되는 웨이퍼를 수용하는 FOUP(Front-Opening Unified Pod), 및 반도체 제조 장치 또는 액정 제조 장치 등에서 이용되는 레티클을 수용하는 레티클 포드 등의 용기를 보관하는 보관 선반이 알려져 있다. 보관 선반은, 천장 반송차의 궤도 또는 천장 등의 피지지부로부터 현수된 상태로 설치되거나, 지면에 세워진 상태로 설치된다. 이러한 보관 선반에서는, 천장 반송차 또는 지상 반송차의 주행에 의해 진동이 전해지는 경우가 있다. 예를 들면 특허 문헌 1에는, 용기를 재치(載置)하는 선반판(재치부)과 당해 선반판을 지지하는 본체 프레임(틀부)을 구비하고, 상기 선반판은, 탄성체를 개재하여 본체 프레임에 지지되어 있는 보관 선반이 개시되어 있다. 이 보관 선반에서는, 선반판에 전달되는 진동의 영향을 저감할 수 있다.
일본특허공보 제6,061,020호
피저장물의 청정도를 유지하기 위하여, 상술한 보관 선반에, 불활성 기체 또는 청정 건조 공기 등의 퍼지 가스를 용기에 공급하는 퍼지 설비를 마련하고자 하는 경우가 있다. 그러나, 선반판에 퍼지 설비를 마련한 경우, 용기에 퍼지 가스를 공급하는 공급관에 의해, 선반판의 방진이 저해되거나, 공급관을 개재하여 선반판에 진동이 전달될 우려가 있다.
따라서, 본 발명의 일측면의 목적은, 선반판에 퍼지 설비가 마련되는 경우에도, 용기에 진동이 전달되는 것을 억제할 수 있는 보관 선반을 제공하는 것에 있다.
본 발명의 일측면에 따른 보관 선반은, 본체 프레임과, 본체 프레임에 탄성체를 개재하여 장착되는 선반판을 구비하고, 피저장물이 저장되는 용기를 보관하는 보관 선반으로서, 선반판에 마련되고, 용기에 가스를 공급하는 공급 노즐과, 공급 노즐에 연통하는 일단과, 선반판과는 별체의 지지부에 의해 지지되고 또한 용기에 공급하는 가스의 공급원에 접속되어 있는 주관에 연통하는 타단을 가지는 공급관을 구비하고, 공급관은 일단부터 타단까지의 사이의 적어도 일부에 가요성(可撓性)이 있는 가요부를 가지고 있다.
이 구성의 보관 선반에서는, 선반판에 마련되는 공급 노즐에 접속되는 공급관의 전체 길이 방향에 있어서의 적어도 일부가 가요성을 가진다. 이에 의해, 공급관은, 선반판과 본체 프레임 사이의 상대적인 이동을 허용할 수 있으므로, 선반판의 방진이 저해되거나, 공급관을 개재하여 선반판에 진동이 전달되는 것이 억제된다. 그 결과, 선반판에 퍼지 설비가 마련되는 경우에도, 용기에 진동이 전달되는 것을 억제할 수 있다.
본 발명의 일측면에 따른 보관 선반에서는, 지지부는 본체 프레임이어도 된다. 이에 의해, 주관이 본체 프레임에 고정되어 있는 구성의 보관 선반이라도, 용기에 진동이 전달되는 것을 억제할 수 있다.
본 발명의 일측면에 따른 보관 선반에서는, 선반판은, 평면에서 봤을 때 직사각형 형상을 가지고 있고, 공급 노즐은, 선반판의 하나의 코너부에 배치되어 있고, 공급관의 타단은, 선반판의 하나의 코너부의 대각에 상당하는 다른 코너부에 배치되어 있어도 된다. 이 구성에서는, 일단 및 타단의 위치가, 선반판의 하나의 변에 평행한 제 1 방향 및 당해 하나의 변에 직교하는 변에 평행한 제 2 방향의 양방에 서로 어긋나 있으므로, 베이스 부재와 선반판 사이의 제 1 방향 및 제 2 방향으로의 상대적인 이동을 용이하게 할 수 있다.
본 발명의 일측면에 따른 보관 선반에서는, 공급관은, 일단의 축 방향과 타단의 축 방향이 서로 직교하고, 또한 일단과 타단 사이에 곡선부를 가지고 있어도 된다. 이 구성에서는, 공급관은, 선반판에 있어서의 제 1 방향 및 제 2 방향의 어느 움직임도 보다 한층 용이하게 할 수 있다.
본 발명의 일측면에 따른 보관 선반에서는, 상기 공급관은, 수평 방향을 따라 배치되고, 곡선부를 가지고 있어도 된다. 이 구성에서는, 본체 프레임과 본체 프레임의 상방에 탄성체를 개재하여 배치되는 선반판과의 간격이 좁은 경우라도, 본체 프레임과 선반판 사이에 공급관을 배치할 수 있다. 환언하면, 보관 선반의 연직 방향에 있어서의 사이즈가 증대화되는 것을 억제할 수 있다.
본 발명의 일측면에 따른 보관 선반에서는, 본체 프레임에 지지되고 또한, 주관과 공급관의 타단 사이에 마련되는 필터를 더 구비하고 있어도 된다. 이 구성에서는, 공급관으로 가스를 공급하는 최종단에서 가스를 정화할 수 있으므로, 보다 상질의 가스를 용기에 공급할 수 있다.
본 발명의 일측면에 따르면, 선반판에 퍼지 설비가 마련되는 경우에도, 용기에 진동이 전달되는 것을 억제할 수 있다.
도 1은 일실시 형태에 따른 보관 선반을 나타내는 사시도이다.
도 2는 선반판을 기울기 상방에서 봤을 때를 나타내는 사시도이다.
도 3은 선반판을 기울기 하방에서 봤을 때를 나타내는 사시도이다.
도 4는 선반판을 상방에서 봤을 때를 나타내는 평면도이다.
도 5는 변형예 1에 따른 선반판을 상방에서 봤을 때의 평면도이다.
도 6은 변형예 2에 따른 선반판을 상방에서 봤을 때의 평면도이다.
이하, 도면을 참조하여, 본 발명의 일측면의 적합한 일실시 형태에 대하여 상세하게 설명한다. 또한, 도면의 설명에 있어서 동일 요소에는 동일 부호를 부여하여, 중복되는 설명을 생략한다. 'X 방향', 'Y 방향’ 및 'Z 방향'이란 표현은, 도시하는 방향에 기초하고 있으며 편의적인 것이다. 도 2 및 도 4는 선반판(20)을 투명화하여 나타내고, 도 3은 베이스 부재(7)를 투명화화여 나타내고 있다.
도 1에 나타내는 보관 선반(1)은, 예를 들면 반도체 제조 공장의 반도체 반송 시스템에 설치된다. 보관 선반(1)은, 레티클 포드 또는 FOUP(도시하지 않음) 등의 용기(피저장물)를 일시적으로 보관한다. 보관 선반(1)은 본체 프레임(10)과, 선반판(20)과, 주관(50)과, 퍼지 설비(30)를 구비하고 있다. 본체 프레임(10)은 탄성체(9)를 개재하여 선반판(20)을 지지한다. 탄성체(9)의 예에는 고무재, 실리콘 겔재, 우레탄 겔 및 금속 스프링 등이 포함된다. 본체 프레임(10)은 현수 부재(3a ~ 3d)와, 연결 부재(5a, 5b)와, 베이스 부재(7)를 가지고 있다.
현수 부재(3a ~ 3d)는 상하 방향(Z 방향)으로 연장되는 기둥 부재이며, 복수 개(본 실시 형태에서는 4 개) 마련되어 있다. 현수 부재(3a ~ 3d)는 X 방향 및 Y 방향에서 정해진 간격을 두고 대향하여 배치되어 있다. 현수 부재(3a ~ 3d)는 천장 반송차의 레일, 이 레일을 지지하는 지지 부재, 또는 천장 중 어느 하나에 장착되어 있다. 현수 부재(3a, 3b)의 하단측에는, X 방향으로 연장되는 울타리 부재(6)가 횡으로 가설되어 있다. 현수 부재(3c, 3d)의 하단측에는, X 방향으로 연장되는 울타리 부재(6)가 횡으로 가설되어 있다. 울타리 부재(6, 6)는 FOUP의 낙하를 방지한다. 또한, 도 1에서는 설명의 편의를 위하여, 현수 부재(3a, 3b)에 횡으로 가설되는 울타리 부재의 일방의 도시를 생략하고 있다.
연결 부재(5a)는 Y 방향으로 연장되는 부재이며, 현수 부재(3a)와 현수 부재(3c)와의 하단부를 연결하고 있다. 연결 부재(5b)는, Y 방향으로 연장되는 부재이며, 현수 부재(3b)와 현수 부재(3d)와의 하단부를 연결하고 있다. 베이스 부재(7)는 X 방향으로 연장되는 판 형상 부재로서, 복수의 연결 부재(5a, 5b)에 걸쳐져 있다.
선반판(20)은 Z 방향에서 본 평면 시에 있어서, 대략 직사각형 형상을 나타내는 판 형상의 부재이며, FOUP이 재치된다. 선반판(20)은, 베이스 부재(7)의 상면(7a)에 배치된 탄성체(9)에 의해 지지되어 있다. 선반판(20)은, FOUP이 재치되는 재치면(21a)과, 재치면(21a)과는 반대측의 하면(21b)(도 2 참조)을 가진다. 선반판(20)에는, 핀(P1, P2, P3)과, 후단에서 상술하는 공급 노즐(31)이 마련되어 있다. 핀(P1 ~ P3)은 선반판(20)의 재치면(21a)으로부터 상방으로 돌출되어 있다. 핀(P1 ~ P3)은 FOUP의 저부에 마련된 위치 결정홀(도시하지 않음)에 대응하는 위치에 배치되어 있다. 또한, 선반판(20)의 재치면(21a)에는 재하 센서(SW)가 마련되어 있다.
주관(50)은, 퍼지 설비(30)에 공급하는 가스의 공급원에 접속되어 있다. 퍼지 설비(30)에 공급되는 가스의 예는 질소 가스, 및 건조 공기 등이 포함된다. 주관(50)은 스테인리스 스틸 등의 금속 또는 불소 수지 등의 수지로 형성되는 관 부재이다. 주관(50)은, 베이스 부재(7)에 고정된 배관 지지 브래킷(11)에 의해 지지되어 있다. 주관(50)은 분기부(51)를 가지고 있다. 분기부(51)에는 퍼지 설비(30)를 구성하는 제 2 배관(41)이 접속되어 있다.
도 2 ~ 도 4에 나타나는 바와 같이, 퍼지 설비(30)는 공급 노즐(31)과, 공급관(33)과, 필터부(35)와, 제 1 배관(37)과, MFC(Mass Flow Controller)(39)와, 제 2 배관(41)을 가지고 있다. 공급 노즐(31)은 FOUP의 내부에 가스를 공급하는 노즐로, FOUP에 가스를 공급하는 노즐부(31a)와, 공급관(33)이 접속되는 접속부(31b)를 가지고 있다. 노즐부(31a)는 선반판(20)의 재치면(21a)으로부터 상방으로 돌출되어 있고, FOUP이 노즐부(31a)에 재치됨으로써 FOUP의 저면에 마련된 도입홀에 접속된다. 접속부(31b)는 선반판(20)의 하면(21b)에 마련되어 있다. 공급 노즐(31)은 선반판(20)의 하나의 코너부(C1)에 배치되어 있다.
공급관(33)은, 공급 노즐(31)에 연통하는 일단(33a)과, 베이스 부재(선반판(20)과는 별체의 지지부)(7)에 의해 지지되고 또한 FOUP에 공급하는 가스의 공급원에 접속되어 있는 주관(50)에 연통하는 타단(33b)을 가진다. 본 실시 형태에서는, 타단(33b)은 필터부(35), 제 1 배관(37), MFC(39) 및 제 2 배관(41)을 개재하여 주관(50)에 연통하고 있다. 공급관(33)은, 예를 들면 불소 수지 등의 수지로 형성되는 관 부재로, 전체 길이 방향에 있어서 전체적으로 가요성을 가지고 있다. 공급관(33)은 일단(33a)과 타단(33b) 사이에 있어서, 지지 부재에 지지되지 않는 상태에 있어서, 수평 방향으로 연장되는 상태를 유지할 수 있다.
공급관(33)은, 일단(33a)의 축 방향(d1)과 타단(33b)의 축 방향(d2)이 서로 직교하고, 또한 일단(33a)과 타단(33b) 사이에 곡선부(33c)를 가지고 있다. 당해 곡선부(33c)는 공급관(33)의 가요부이기도 하다. 곡선부(33c)의 반경(R)의 예는 200 mm ~ 250 mm이다. 가요성이 있는 공급관(33)은, 일단(33a)이 공급 노즐(31)에 접속되고, 타단(33b)이 필터부(35)에 접속된 상태에 있어서, 상기의 반경(R)이 취할 수 있는 최대의 곡률 반경이 되도록 꺾여 있다.
필터부(35)는, 필터부(35)를 통과하는 가스에 포함되는 이물을 제거하는 필터가 수용된 부재로, 가스의 공급원으로부터 주관(50)을 거쳐 공급되는 가스에 포함되는 이물을 제거한다. 공급관(33)의 타단(33b)은 필터부(35)에 접속되어 있다. 필터부(35)는 베이스 부재(7)에 적합한 부재에 의해 고정되어 있다. 필터부(35)는, 선반판(20)의 하나의 코너부(C1)의 대각에 상당하는 다른 코너부(C2)에 배치되어 있다.
제 1 배관(37)은 필터부(35)와 MFC(39) 사이를 접속하는 관 부재이다. 제 1 배관(37)은 스테인리스 스틸 등의 금속으로 형성되는 관 부재이다. 제 1 배관(37)은 필터부(35) 및 MFC(39)와의 접속부 이외에, 어디에도 지지되어 있지 않다.
MFC(39)는, 주관(50)으로부터 공급되는 가스의 유량을 계측하고 또한 유량의 제어를 행하는 기기이다. MFC(39)는 도시하지 않은 컨트롤러에 의해 제어된다. 컨트롤러는 선반판(20)에 마련된 재하 센서(SW)에 의해 FOUP이 검지될 때에, FOUP에 정해진 유량의 가스를 공급하도록 MFC(39)를 제어하고, 선반판(20)에 마련된 재하 센서(SW)에 의해 FOUP이 검지되지 않을 때에, FOUP에 가스를 공급하지 않도록 MFC(39)를 제어한다. MFC(39)는 베이스 부재(7)의 하면(7b)에 적절한 방법으로 고정되어 있다.
제 2 배관(41)은 MFC(39)와 분기부(51) 사이를 접속하는 관 부재이다. 제 2 배관(41)은 스테인리스 스틸 등의 금속 또는 불소 수지 등의 수지로 형성되는 관 부재이다.
이어서, 상기 실시 형태의 보관 선반(1)의 작용 효과에 대하여 설명한다. 상기 실시 형태의 보관 선반(1)에서는, 선반판(20)에 마련되는 공급 노즐(31)에 접속되는 공급관(33)이 변형된다. 이에 의해, 공급관(33)은, 선반판(20)과 본체 프레임(10) 사이의 상대적인 이동(X 방향, Y 방향 및 Z 방향으로의 이동)을 허용할 수 있으므로, 선반판(20)의 방진이 저해되거나, 공급관(33)을 개재하여 선반판(20)에 진동이 전달되는 것이 억제된다. 그 결과, 선반판(20)에 퍼지 설비(30)가 마련되는 경우에도, FOUP에 진동이 전달되는 것을 억제할 수 있다.
상기 실시 형태의 보관 선반(1)에서는, 주관(50)이 본체 프레임(10)에 고정되어 있는 구성의 보관 선반(1)이라도, FOUP에 진동이 전달되는 것을 억제할 수 있다.
상기 실시 형태의 보관 선반(1)에서는, 공급관(33)의 일단(33a) 및 타단(33b)의 위치가, 선반판(20)의 하나의 변에 평행한 X 방향 및 당해 하나의 변에 직교하는 변에 평행한 Y 방향의 양방으로 서로 어긋나 있다. 이에 의해, 공급관(33)은 베이스 부재(7)와 선반판(20) 사이의 X 방향 및 Y 방향으로의 상대적인 이동을 용이하게 할 수 있다.
상기 실시 형태의 보관 선반(1)에서는, 공급관(33)은 일단(33a)의 축 방향(d1)과 타단(33b)의 축 방향(d2)이 서로 직교하고, 또한 일단(33a)과 타단(33b) 사이에 곡선부(33c)를 가지고 있다. 이 구성에서는, 공급관(33)은 선반판(20)에 있어서의 X 방향 및 Y 방향 중 어느 쪽의 움직임(변형)도, 보다 한층 용이하게 할 수 있다.
상기 실시 형태의 보관 선반(1)에서는, 공급관(33)은 수평 방향(XY 평면)을 따라 배치되는 곡선부(33c)를 가지고 있다. 이 구성에서는, 베이스 부재(7)와 베이스 부재(7)의 상방에 탄성체(9)를 개재하여 배치되는 선반판(20)과의 간격이 좁은 경우라도, 베이스 부재(7)와 선반판(20) 사이에 공급관(33)을 배치할 수 있다. 그 결과, 보관 선반(1)의 연직 방향에 있어서의 사이즈가 증대화되는 것을 억제할 수 있다. 또한, 단위 면적당 FOUP의 집적 능력을 높일 수 있다.
상기 실시 형태의 보관 선반(1)에서는, 베이스 부재(7)에 지지되고 또한, 주관(50)과 공급관(33)의 타단(33b) 사이에 필터부(35)를 구비하므로, 공급관(33)에 가스를 공급하는 최종단(공급관(33)의 타단(33b))에서 가스를 정화할 수 있다. 이에 의해, 보다 상질의 가스를 FOUP에 공급할 수 있다.
이상, 일실시 형태에 대하여 설명했지만, 본 발명의 일측면은 상기 실시 형태에 한정되는 것이 아니며, 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위에서 각종 변경이 가능하다.
<변형예 1>
상기 실시 형태에서는, 하나의 선반판(20)에 하나의 공급 노즐(31)이 마련되어 있는 구성의 보관 선반(1)을 예로 들어 설명했지만, 하나의 선반판(20)에 복수의 공급 노즐과 복수의 공급관이 마련되는 구성의 보관 선반(1)이어도 된다. 예를 들면 도 5에 나타나는 바와 같이, 변형예 1에 따른 보관 선반(1)의 선반판(20)에는, 3 개의 공급 노즐(31, 131, 231)과, 당해 3 개의 공급 노즐(31, 131, 231)의 각각으로 가스를 공급하는 3 개의 공급관(33, 133, 233)이 마련되어도 된다. Z 방향에서 본 평면 시에 있어서, 3 개의 공급관(33, 133, 233)은 평면적으로 중첩되지 않도록 배치되어 있다.
변형예 1에 따른 보관 선반(1)의 퍼지 설비(130)에서는, MFC(39)의 하류측에 분기부(101)가 마련되고, 분기부(101)의 일방에는 금속관(102)을 개재하여 필터부(35)에 접속되고, 분기부(101)의 타방에는 금속관(103), 분기부(105), 금속관(106), 금속관(107)을 개재하여 필터부(135) 및 필터부(235)가 각각 접속되어 있다. 필터부(35, 135, 235)는 베이스 부재(7)에 적절한 방법에 의해 고정되어 있다.
공급관(33)은, 일단(33a)이 공급 노즐(31)에 접속되고, 타단(33b)이 필터부(35)에 접속되어 있다. 공급관(133)은, 일단(133a)이 공급 노즐(131)에 접속되고, 타단(133b)이 필터부(135)에 접속되어 있다. 공급관(233)은, 일단(233a)이 공급 노즐(231)에 연통되고, 타단(233b)이 필터부(235)에 접속되어 있다. 공급관(233)의 일단(233a)은, 엘보 조인트(108) 및 금속관(109)을 개재하여 공급 노즐(31)에 접속되어 있다. 엘보 조인트(108)는 선반판(20)에 고정되어 있다. 공급관(33, 133, 233)은 수지성의 가요관에 의해 형성되어 있다.
상기 변형예 1에 따른 보관 선반(1)에서는, 선반판(20)에 마련되는 공급 노즐(31, 231)에 각각 접속되는 공급관(33, 233)이 변형된다. 또한, 공급관(33, 233)의 각각은 곡선부(31c, 231c)를 가지고 있다. 이에 의해, 공급관(33, 233)은, 선반판(20)과 본체 프레임(10) 사이의 상대적인 이동을 허용한다. 또한, 선반판(20)에 마련되는 공급 노즐(131)에 접속되는 금속관(109)은, 엘보 조인트(108)에 접속되어 있다. 그리고, 당해 엘보 조인트(108)에 접속되는 공급관(233)이 변형된다. 또한, 공급관(233)은 곡선부(233c)를 가지고 있다. 이들 공급관(33, 133, 233)의 접속 구성에 의해, 선반판(20)의 방진이 저해되거나, 공급관(33, 133, 233)을 개재하여 선반판(20)에 진동이 전달되는 것이 억제된다. 그 결과, 선반판(20)에 퍼지 설비가 마련되어 있는 경우라도, FOUP에 진동이 전달되는 것을 억제할 수 있다.
상기 변형예 1에 따른 보관 선반(1)에서는, Z 방향에서 본 평면 시에 있어서, 3 개의 공급관(33, 133, 233)은 평면적으로 중첩되지 않도록 배치되어 있으므로, 보관 선반(1)의 Z 방향(연직 방향)의 사이즈가 증대되는 것을 억제할 수 있다. 또한 상기 변형예 1에 따른 보관 선반(1)에서는, 곡선부(33c)를 가지는 공급관(33)과, 곡선부(133c, 233c)를 가지는 공급관(133, 233)이 서로 오목 형상으로 꺾인 상태로 대향하도록 배치되어 있다. 이에 의해, 평면 시에 있어서 한정된 공간에, 복수의 공급관(33, 133, 233)을 가요시킨 상태로 배치할 수 있다.
<변형예 2>
상기 변형예 1에서는, 3 개의 공급 노즐(31, 131, 231)을 배치하는 경우, 3 개의 공급 노즐(31, 131, 231)에 각각 접속되는 가요성의 공급관(33, 133, 233)을 마련하는 예를 들어 설명했지만, 이에 한정되지 않는다. 예를 들면 도 6에 나타나는 바와 같이, 변형예 2에 따른 보관 선반(1)의 선반판(20)에는, 3 개의 공급 노즐(31, 131, 231)과, 공급 노즐(31)에 가스를 공급하는 공급관(33)과, 2 개의 공급 노즐(131, 231)에 가스를 공급하는 공급관(133)이 마련되어도 된다. Z 방향에서 본 평면 시에 있어서, 2 개의 공급관(33, 133)은 평면적으로 중첩되지 않도록 배치되어 있다.
변형예 2에 따른 퍼지 설비(230)에서는, MFC(39)의 하류측에 분기부(101)가 마련되고, 분기부(101)의 일방에는 금속관(102)을 개재하여 필터부(35)에 접속되고, 분기부(101)의 타방에는 금속관(103)을 개재하여 필터부(135)가 접속되어 있다. 필터부(35, 135)는 베이스 부재(7)에 적절한 방법에 의해 고정되어 있다.
공급관(33)은, 일단(33a)이 공급 노즐(31)에 접속되고, 타단(33b)이 필터부(35)에 접속되어 있다. 공급관(133)은, 일단(133a)이 공급 노즐(131, 231)에 각각 연통하고, 타단(133b)이 필터부(135)에 접속되어 있다. 공급관(133)의 일단(133a)은 선반판(20)에 고정된 분기부(208)에 접속되어 있다. 분기부(208)의 일방은 금속관(210)을 개재하여 공급 노즐(131)에 접속되고, 분기부(208)의 타방은 금속관(209)을 개재하여 공급 노즐(231)에 접속되어 있다. 공급관(33, 133)은 수지성의 가요관에 의해 형성되어 있다.
상기 변형예 2에 따른 보관 선반(1)에서는, 선반판(20)에 마련되는 공급 노즐(31)에 접속되는 공급관(33)이 변형된다. 또한, 공급관(33)은 곡선부(33c)를 가지고 있다. 이에 의해, 공급관(33)은, 선반판(20)과 본체 프레임(10) 사이의 상대적인 이동을 허용한다. 또한, 선반판(20)에 마련되는 공급 노즐(131, 231)에 각각 접속되는 금속관(209, 210)은 분기부(208)에 접속되어 있다. 그리고, 당해 분기부(208)에 접속되는 공급관(133)이 변형된다. 또한, 공급관(133)은 곡선부(133c)를 가지고 있다. 이들 공급관(33, 133)의 접속 구성에 의해, 선반판(20)의 방진이 저해되거나, 공급관(33, 133)을 개재하여 선반판(20)에 진동이 전달되는 것이 억제된다. 그 결과, 선반판(20)에 퍼지 설비가 마련되는 경우라도, FOUP에 진동이 전달되는 것을 억제할 수 있다.
상기 변형예 2에 따른 보관 선반(1)에서는, Z 방향에서 본 평면 시에 있어서, 2 개의 공급관(33, 133)은 평면적으로 중첩되지 않도록 배치되어 있으므로, 보관 선반(1)의 Z 방향(연직 방향)의 사이즈가 증대되는 것을 억제할 수 있다. 또한 상기 변형예 2에 따른 보관 선반(1)에서는, 곡선부(33c)를 가지는 공급관(33)과, 곡선부(133c)를 가지는 공급관(133)이 서로 오목 형상으로 꺾인 상태로 대향하도록 배치되어 있다. 이에 의해, 평면 시에 있어서 한정된 공간에, 복수의 공급관(33, 133)을 만곡시킨 상태로 배치할 수 있다.
<그 외의 변형예>
상기 실시 형태에서는, 공급관(33)의 일단(33a)을 공급 노즐(31)의 접속부(31b)에 직접 접속하는 예를 들어 설명했지만, 임의의 각도(예를 들면, 90도)로 꺾이는 엘보 조인트를 개재하여 접속해도 된다. 이에 의해, 가요성의 공급관(33)으로는 대응할 수 없는 것과 같은 배치에도 대응하는 것이 가능해진다.
상기 실시 형태 및 변형예에서는, 필터부(35)가, 공급관(33)의 타단(33b)측에 배치되는 구성, 즉, 필터부(35)와 공급 노즐(31) 사이에는 공급관(33)이 개재되는 구성을 예로 들어 설명했지만, 이에 한정되지 않는다. 예를 들면, 필터부(35)가, 공급관(33)의 일단(33a)측에 배치되는 구성, 즉, 공급관(33)과 공급 노즐(31) 사이에는 필터부(35)가 개재되는 구성이어도 된다.
상기 실시 형태 및 변형예에서는, 공급관(33, 133, 233)이 수평면 내에 있어서 꺾인 상태로 배치되어 있는 예를 들어 설명했지만, 예를 들면 공급관(33, 133, 233)은, 연직면 내에 있어서 꺾인 상태로 배치되어도 된다. 환언하면, 공급관(33, 133, 233)은 하방으로 쳐진 상태로 배치되어도 된다.
상기 실시 형태 및 변형예에서는, 주관(50)은 베이스 부재(7)에 고정된 배관 지지 브래킷(11)에 의해 지지되어 있는 예를 들어 설명했지만, 예를 들면 천장 반송차가 주행하는 주행 레일에 지지되거나, 클린룸 등의 천장 등에 장착된 지지 부재에 지지되거나, 또는 천장에 직접 지지되어도 된다.
상기 실시 형태 및 변형예에서는, 보관 선반(1)은, 천장으로부터 현수되는 구성을 예로 들어 설명했지만, 바닥면에 설치되는 구성이어도 된다. 즉, 본체 프레임(10)이 바닥면으로부터 세워 마련되는 구성이어도 된다.
상기 실시 형태 및 변형예에서는, 공급관(33, 133, 233)의 전체 길이의 전부가 가요성을 가지고 있는 예를 들어 설명했지만, 전체 길이 중 일부만이 가요성을 가지고 있어도 된다. 또한, 수지성의 공급관(33, 133, 233) 대신에, 수지 또는 금속으로 이루어지는 벨로우즈 관 등을 채용해도 된다.
1 : 보관 선반
3a, 3b, 3c, 3d : 현수 부재
5a, 5b : 연결 부재
6 : 울타리 부재
7 : 베이스 부재
10 : 본체 프레임
20 : 선반판
21a : 재치면
30, 130, 230 : 퍼지 설비
31, 131, 231 : 공급 노즐
31a : 노즐부
31b : 접속부
33, 133, 233 : 공급관
33a, 133a, 233a : 일단
33b, 133b, 233b : 타단
33c, 133c, 233c : 곡선부
35, 135, 235 : 필터부
50 : 주관
51 : 분기부
C1, C2 : 코너부
d1 : 축 방향
d2 : 축 방향
P1, P2, P3 : 핀

Claims (6)

  1. 본체 프레임과, 상기 본체 프레임에 탄성체를 개재하여 장착되는 선반판을 구비하고, 피저장물이 저장되는 용기를 보관하는 보관 선반으로서,
    상기 선반판에 마련되고, 상기 용기에 가스를 공급하는 공급 노즐과,
    상기 공급 노즐에 연통하는 일단과, 상기 선반판과는 별체의 지지부에 의해 지지되고 또한 상기 용기에 공급하는 가스의 공급원에 접속되어 있는 주관에 연통하는 타단을 가지는 공급관을 구비하고,
    상기 공급관은 상기 일단부터 상기 타단까지의 사이의 적어도 일부에 가요성이 있는 가요부를 가지고 있는, 보관 선반.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 지지부는 상기 본체 프레임인, 보관 선반.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 선반판은 평면 시에 있어서 직사각형 형상을 가지고 있고,
    상기 공급 노즐은 상기 선반판의 하나의 코너부에 배치되어 있고,
    상기 공급관의 타단은 상기 선반판의 하나의 코너부의 대각에 상당하는 다른 코너부에 배치되어 있는, 보관 선반.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 공급관은 상기 일단의 축 방향과 상기 타단의 축 방향이 서로 직교하고, 또한 상기 일단과 상기 타단 사이에 곡선부를 가지고 있는, 보관 선반.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 공급관은 수평 방향을 따라 배치되어 있는, 보관 선반.
  6. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 본체 프레임에 지지되고 또한 상기 주관과 상기 공급관의 타단 사이에 마련되는 필터를 더 구비하는, 보관 선반.
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