JP2016141565A - パージ機能を備えた装置前自動倉庫とパージ方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】装置前自動倉庫は処理装置のロードポートを収納するように取り付けられ、ロードポートを介して処理装置に搬入または搬出される物品のキャリアを一時保管する。装置前自動倉庫は、固定のベース部と、処理装置に取り付けられている設置位置と離れているメンテナンス位置との間で移動自在で、複数の棚と、各棚にパージガスを供給するパイプと、棚とロードポートとの間でキャリアを移載する移載装置とを備える本体と、本体にパージガスを供給する可撓性のパイプと、コントローラにより制御自在なバルブと、本体の位置を検出する位置センサと、バルブを開閉するコントローラとを備え、位置センサにより本体の位置を検出し、本体が設置位置にないことを検出するとコントローラによりバルブを閉じる。
【選択図】図4
Description
固定のベース部と、
処理装置に取り付けられている設置位置と、処理装置から離れているメンテナンス位置との間で移動自在で、かつ複数の棚と、各棚にパージガスを供給するパイプと、棚と前記ロードポートとの間でキャリアを移載する移載装置とを備える本体と、
前記本体にパージガスを供給する可撓性のパイプと、
前記パイプの上流側に設けられ、かつコントローラにより制御自在なバルブと、
前記本体の位置を検出する位置センサと、
前記バルブを開閉するコントローラ、
とを備え、
前記位置センサが前記本体が前記設置位置にないことを検出すると、前記バルブを閉じるように、前記コントローラが構成されていることを特徴とする。
装置前自動倉庫は、固定のベース部と、処理装置に取り付けられている設置位置と、処理装置から離れているメンテナンス位置との間で移動自在で、かつ複数の棚と、各棚にパージガスを供給するパイプと、棚と前記ロードポートとの間でキャリアを移載する移載装置とを備える本体と、前記本体にパージガスを供給する可撓性のパイプと、前記パイプの上流側に設けられ、かつコントローラにより制御自在なバルブと、前記本体の位置を検出する位置センサと、前記バルブを開閉するコントローラ、とを備え、
前記位置センサにより前記本体の位置を検出するステップと、
本体が前記設置位置にないことを検出すると、前記コントローラにより前記バルブを閉じるステップ、とを実行することを特徴とする。
a: 本体が設置位置から離れるとパージを停止、
b: 本体が設置位置にあってもパージを停止、
c: 本体が設置位置にあってもメンテナンス位置にあってもパージを続行、
の3種類の入力ができるように構成されている。装置前自動倉庫は、パージガスのリークを検出するための検出部材をさらに備えて、マニュアル入力手段からの入力によらず、リークの検出時にコントローラはバルブを閉じる。
a パージを停止する、
b 装置前自動倉庫2がメンテナンス位置3に移動すると、パージを停止する、
c 装置前自動倉庫2がメンテナンス位置3に移動しても、パージを継続する、
の3種類で、bの装置前自動倉庫2がメンテナンス位置3に移動するとパージを停止するのが標準的な使用方法である。
2 装置前自動倉庫
3 メンテナンス位置
4 処理装置
5 ロードポート
6 天井走行車
8 レール
10 キャリア
11 パネル
12 棚
14 移載装置
16 鉛直ガイド
18 水平ガイド
20 O2センサ
32 ベースプレート
34 ガイド
36 連結ピン
40 キネマチックカップリングピン
42 パージノズル
44 排気ノズル
45 パイプ
46 マスフローコントローラ
48 倉庫内パイプ
50 ジョイント
51 ケーブルガイド
52 可撓性パイプ
53 ジョイント
54 パーティクルフィルタ
56 流量計
58 レギュレータ
60 コントローラ
62 マニュアルスイッチ (マニュアル入力手段)
S1 位置センサ
S2 在席センサ
V1 手動バルブ
V2 電磁バルブ
Claims (7)
- 処理装置の前面に、処理装置のロードポートを収納するように取り付けられ、かつ前記ロードポートを介して処理装置に搬入または搬出される物品のキャリアを一時保管する装置前自動倉庫であって、
固定のベース部と、
処理装置に取り付けられている設置位置と、処理装置から離れているメンテナンス位置との間で移動自在で、かつ複数の棚と、各棚にパージガスを供給するパイプと、棚と前記ロードポートとの間でキャリアを移載する移載装置とを備える本体と、
前記本体にパージガスを供給する可撓性のパイプと、
前記パイプの上流側に設けられ、かつコントローラにより制御自在なバルブと、
前記本体の位置を検出する位置センサと、
前記バルブを開閉するコントローラ、
とを備え、
前記位置センサが前記本体が前記設置位置にないことを検出すると、前記バルブを閉じるように、前記コントローラが構成されていることを特徴とする、パージ機能を備えた装置前自動倉庫。 - パージの停止を入力すると、前記バルブを前記コントローラに閉じさせるマニュアル入力手段をさらに備えていることを特徴とする、請求項1のパージ機能を備えた装置前自動倉庫。
- 前記マニュアル入力手段は、前記本体が前記設置位置にない場合でも、前記コントローラに前記バルブを閉じないように入力できるように構成されていることを特徴とする、請求項2のパージ機能を備えた装置前自動倉庫。
- パージガスのリークを検出するための検出部材をさらに備えて、リークの検出時に前記コントローラに前記バルブを閉じさせるように構成されていることを特徴とする、請求項1〜3のいずれかのパージ機能を備えた装置前自動倉庫。
- 前記パイプが屈曲と伸張とが自在なケーブルガイドに支持されていることを特徴とする、請求項1〜4のいずれかのパージ機能を備えた装置前自動倉庫。
- 前記マニュアル入力は、
本体が設置位置から離れるとパージを停止、
本体が設置位置にあってもパージを停止、
本体が設置位置にあってもメンテナンス位置にあってもパージを続行、
の3種類の入力ができるように構成され、
パージガスのリークを検出するための検出部材をさらに備えて、前記マニュアル入力からの入力によらず、リークの検出時に前記コントローラに前記バルブを閉じさせるように構成されていることを特徴とする、請求項2のパージ機能を備えた装置前自動倉庫。 - 処理装置の前面に、処理装置のロードポートを収納するように取り付けられ、かつ前記ロードポートを介して処理装置に搬入または搬出される物品のキャリアを一時保管する装置前自動倉庫でのキャリアのパージ方法であって、
装置前自動倉庫は、固定のベース部と、処理装置に取り付けられている設置位置と、処理装置から離れているメンテナンス位置との間で移動自在で、かつ複数の棚と、各棚にパージガスを供給するパイプと、棚と前記ロードポートとの間でキャリアを移載する移載装置とを備える本体と、前記本体にパージガスを供給する可撓性のパイプと、前記パイプの上流側に設けられ、かつコントローラにより制御自在なバルブと、前記本体の位置を検出する位置センサと、前記バルブを開閉するコントローラ、とを備え、
前記位置センサにより前記本体の位置を検出するステップと、
本体が前記設置位置にないことを検出すると、前記コントローラにより前記バルブを閉じるステップ、とを実行することを特徴とする、パージ方法。
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