KR20180028971A - 용기 수납 설비 - Google Patents

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Abstract

용기(W)를 수납하는 복수의 수납부의 각각에 있어서, 용기(W)의 내부에 정화 기체를 공급하는 용기 수납 설비는, 정화 기체를 토출하는 토출부(2)과, 정화 기체의 공급 유량을 제어하는 기체 공급 장치(3)과, 기체 공급 장치(3)로부터 출력되는 정화 기체가 통류(通流)하는 주 배관(4)과, 주 배관(4)으로부터 분기되고, 각각의 토출부(2)와 접속되는 분기 배관(5)을 구비하고, 토출부(2)는, 수납부에 용기(W)가 수납되어 있는지의 여부에 관계없이, 정화 기체를 토출하고, 기체 공급 장치(3)는, 수납부에 수납되어 있는 용기(W)의 총수가 적을수록 많아지도록, 정화 기체의 공급 유량을 제어한다.

Description

용기 수납 설비{CONTAINER STORAGE FACILITY}
본 발명은, 용기를 수납하는 복수의 수납부를 가지고, 수납부의 각각에 있어서, 수납된 용기의 내부에 정화 기체를 공급하는 용기 수납 설비에 관한 것이다.
국제공개 WO2015/194255호에는, 용기의 내부를 불화성 기체 또는 청정 건조 공기 등의 정화 기체(purge gas)에 의해 정화하는 기구(機構)를 구비한 수납 설비(퍼지 스토커(1))가 개시되어 있다(배경 기술의 설명에 있어서 괄호 내의 부호는 선행기술문헌의 부호임). 퍼지 스토커(1)에는, 용기(F)의 내부를 정화 기체에 의해 정화 처리하는 퍼지 장치(30)가 설치되어 있다. 퍼지 장치(30)는, 복수 개의 탑재부(31)와, 각 탑재부(31)에 접속되는 복수의 공급관(33)과, 복수의 공급관(33)이 접속되는 주관(41)과, 주관(41)에서의 정화 기체의 유량을 조정하는 매스 플로우 콘트롤러(43; Mass Flow Controller)를 구비하고 있다(단락 [0029], 도 1 등).
상기와 같은 수납 설비에서는, 항상 복수 개의 탑재부(31)의 전체에 용기(F)가 탑재되어 있다고는 할 수 없기 때문, 상기한 퍼지 장치(30)에서는, 탑재부(31)의 사용율에 따라, 정화 기체의 유량이 조정되고 있다. 상기한 퍼지 장치(30)는, 용기(F)에 목표 공급 유량(TF)으로 정화 기체를 공급할 때는, 탑재되어 있는 용기(F)의 수(N)를 목표 공급 유량(TF)에 곱한 유량(=TF×N)이 되도록, 매스 플로우 콘트롤러(43)가 유량을 조정하고 있다 (단락번호 [0034]∼[0037]). 즉, 정화 기체의 공급선이 되는 용기(F)의 수가 많을수록 유량이 많아지도록 조정이 행해지고 있다.
그런데, 탑재부(31)에 용기(F)가 탑재되어 있지 않은 경우, 상기 탑재부(31)에서의 공급관(33)으로부터는, 정화 기체가 누출되게 된다. 매스 플로우 콘트롤러(43)는, 탑재되어 있는 용기(F)의 수(N)가 많을수록, 유량이 많아지도록, 유량(=TF×N)을 조정한다. 그러나, 용기(F)가 탑재되어 있지 않은 공급관(33)으로부터는, 용기(F)의 저항이 없는 상태에서 정화 공기가 토출되므로, 상기 공급관(33)으로부터는 상대적으로 많은 정화 기체가 유출되는 경우가 있다. 그 결과, 탑재부(31)에 탑재되어 있는 용기(F)로의 공급 유량이 목표 공급 유량(TF)을 하회하여, 용기(F)에 충분히 정화 공기를 공급할 수 없는 것도 생각할 수 있다. 예를 들면, 선행 기술 문헌에 예시되어 있는 바와 같이, 공급관(33)에 개폐 밸브(39)를 구비함으로써, 비어 있는 탑재부(31)로의 정화 공기의 유출을 억제할 수 있다(단락번호[0045]∼[0046], 도 4등). 다만, 공급관(33)의 각각에 개폐 밸브(39)를 설치하면, 구조가 복잡화하고, 장치규 모도 커져서 설비 비용이 증대하는 경향이 있다.
국제공개 WO2015/194255호
상기 배경을 감안하여, 간단한 구조로, 용기를 수납하는 복수의 수납부에서의 용기의 유무에 구애받지 않고, 수납부에 수납된 용기의 내부에 안정적으로 정화 기체를 공급할 수 있는 용기 수납 설비의 제공이 요망되고 있다.
하나의 태양으로서, 상기를 감안하여, 용기를 수납하는 복수의 수납부를 가지고, 상기 수납부의 각각에 있어서, 수납된 상기 용기의 내부에 정화 기체를 공급하는 용기 수납 설비는,
복수의 상기 수납부의 각각에 있어서, 수납된 각각의 상기 용기에 접속되어 상기 용기에 상기 정화 기체를 토출(吐出)하는 토출부와,
상기 정화 기체의 공급 유량을 제어하는 기체 공급 장치와,
상기 기체 공급 장치에 접속되어, 상기 기체 공급 장치로부터 출력되는 상기 정화 기체가 통류하는 주 배관과,
상기 주 배관으로부터 분기되고, 각각의 상기 토출부와 접속되는 분기 배관을 구비하고,
상기 토출부는, 상기 수납부에 상기 용기가 수납되어 있는지의 여부에 관계없이, 상기 정화 기체를 토출하고,
상기 기체 공급 장치는, 복수의 상기 수납부에서의 상기 용기의 수납 상태의 정보를 취득하고, 상기 수납부에 수납되어 있는 상기 용기의 총수가 적을수록 많아지도록, 상기 정화 기체의 상기 공급 유량을 제어한다.
이 구성에 의하면, 토출부는, 수납부에 용기가 수납되어 있는지의 여부에 관계없이, 정화 기체를 토출하므로, 분기 배관이나 토출부에 콘트롤 밸브 등을 배치할 필요가 없어, 설비 구성을 간결하게 할 수 있다. 다만, 수납부에 용기가 수납되어 있지 않은 상태에서는, 토출부로부터 정화 기체가 누출되어 상태가 되어, 수납부에 수납되어 있는 용기에 대하여 충분히 정화 기체가 공급되지 않게 될 우려가 있다. 그러나, 본 구성에 의하면, 기체 공급 장치는, 수납부에 수납되어 있는 용기의 총수가 적을수록, 정화 기체의 공급 유량을 증가시키기 때문에, 용기에 접속되지 않고 있는 토출부로부터 정화 기체가 누출되어도, 용기에 접속된 토출부를 통하여 용기에 충분한 정화 기체를 공급할 수 있다. 이와 같이, 본 구성에서는, 기체 공급 장치의 증설이나, 콘트롤 밸브를 부가하지 않고, 기체 공급 장치의 제어에 의해, 정화 기체를 용기에 적절하게 공급할 수 있다. 즉, 본 구성에 의하면, 간단한 구조로, 용기를 수납하는 복수의 수납부에서의 용기의 유무에 구애받지 않고, 수납부에 수납된 용기의 내부에 안정적으로 정화 기체를 공급할 수 있는 용기 수납 설비를 제공할 수 있다.
용기 수납 설비가 새로운 특징과 이점은, 도면을 참조하여 설명하는 실시형태에 대한 이하의 기재로부터 명확하게 된다.
도 1은 용기 수납 설비의 구성을 모식적으로 나타낸 도면이다.
도 2는 수납부의 측면도이다.
도 3은 수납부의 상면도이다.
도 4는 정화 장치의 정화 기체의 유로(流路)를 모식적으로 나타낸 도면이다.
도 5는 정화 장치를 포함하는 용기 수납 설비의 구성을 나타낸 모식적 블록도이다.
도 6은 공급 유량의 제어예를 나타내는 흐름도이다.
도 7은 기체 공급 장치의 다른 구성예를 나타낸 모식적 블록도이다.
도 8은 분기 배관의 다른 구성예를 모식적으로 나타낸 도면이다.
도 9는 분기 배관의 다른 구성예를 모식적으로 나타낸 도면이다.
도 10은 수납부의 다른 배치예를 모식적으로 나타낸 평면도이다.
이하에서, 용기 수납 설비의 실시형태를 도면에 기초하여 설명한다. 도 1은, 용기 수납 선반(수납 선반(102))과, 용기 반송 장치(10, 104 등)를 구비한 용기 수납 설비(100)의 일례를 나타내고 있다. 본 실시형태에서는, 용기 반송 장치로서, 스태커 크레인(10)(SC: Stacker Crane)과, 천장 반송차(20)(도 5 등 참조, OHV: Overhead Hoist Vehicle)과, 입출고 컨베이어(104)를 예시하고 있다. 수납 선반(102)은, 용기(W)를 수납하는 수납부(101)를 복수 구비하고 있다. 상세한 것은, 후술하지만, 본 실시형태에서는, 용기(W)로서 레티클(reticle)(포토마스크)을 수용하는 레티클 포드(pod)를 예시하고 있다. 용기 수납 설비(100)는, 도 4에 나타낸 바와 같이, 용기(W)에 충전하는 정화 기체(purge gas)을 공급하는 정화 장치(1)를 가지고 있다. 여기서, 정화 기체란, 예를 들면, 먼지 및 습기가 제거된 청정 건조 공기(clean dry air)이, 질소 가스 등의 불활성 가스이다.
수납 선반(102)은, 스태커 크레인(10)의 마스트(13)(지주(支柱)) 이동 통로(후술하는 한 쌍의 주행 레일(15))을 사이에 두고 대향하는 상태에서 한 쌍 구비되어 있다. 한 쌍의 수납 선반(102)의 각각에는, 수납부(101)가 상하 방향 및 선반 가로 폭 방향(도 1의 지면(紙面)에 직교하는 방향, 도 3에서의 Y 방향)으로 배열된 상태에서 복수 구비되어 있다. 복수의 수납부(101)의 각각에는, 수납한 용기(W)를 탑재 지지하는 선반판(9)이 구비되어 있다. 스태커 크레인(10)은, 한 쌍의 주행 레일(15)을 따라 주행하는 주행 대차(12)를 구비하고 있고, 주행 대차(12)에는 한 쌍의 마스트(13)가 입설(立設)되어 있다. 마스트(13)에는, 마스트(13)를 따라 승강 이동하는 승강체(14)가 설치되며, 승강체(14)에는, 수납 선반(102)의 방향(도시한 X 방향)으로 출퇴(出退)하고, 용기(W)를 탑재하는 포크(16)가 지지되어 있다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 수납 선반(102)은, 벽체(壁 體)(106)에 의해 덮여진 설치 공간(수납 공간)의 내부에 설치되어 있다. 스태커 크레인(10)은, 설치 공간의 내부에서 용기(W)를 반송하고, 천장 반송차(20)는, 설치 공간의 외부에서 용기(W)를 반송한다. 입출고 컨베이어(104)는, 벽체(106)를 관통하도록 설치되어 있고, 설치 공간의 내부와 외부의 사이에서 용기(W)를 반송한다. 그리고, 용기 수납 설비(100)는, 클린 룸 내에 설치되어 있다. 설치 공간(수납 공간)의 바로 위(直上)에는, 예를 들면, 하방을 향하여 청정 건조 공기 등의 기체를 송풍하는 송풍팬(도시 하지 않음)이 설치되어, 천장 측으로부터 바닥 측을 향하여 기체가 흐르는 다운 플로우식의 클린 룸이 형성된다.
클린 룸의 바닥부(F)는, 하측 바닥부(F1)와, 하측 바닥부(F1)보다 위쪽에 설치된 상측 바닥부(F2)에 의해 구성되어 있다. 상측 바닥부(F2)는, 상하 방향으로 관통하는 통기공이 복수 형성된 그레이팅 바닥이다. 예를 들면, 작업자는 이 상측 바닥부(F2) 상을 통행한다. 하측 바닥부(F1)는, 통기공을 가지지 않는 바닥이며, 본 실시형태에서는, 무공(無孔)형의 콘크리트에 의해 구성되어 있다. 스태커 크레인(10)은, 이 하측 바닥부(F1)에 부설된, 또는 하측 바닥부(F1)에 대하여 고정된 바닥 부재에 부설된 주행 레일(15) 상을 주행한다.
입출고 컨베이어(104)는, 벽체(106)의 외측에 위치하는 외부 이송 탑재 개소(箇所)와 벽체(106)의 내측에 위치하는 내부 이송 탑재 개소의 사이에서 용기(W)를 탑재 반송한다. 도 1에 나타내는 입출고 컨베이어(104)의 외부 이송 탑재 개소에 대해서는, 천장 반송차(20)가 용기(W)의 싣기 및 내리기를 행한다. 본 실시형태에서는, 도시하지 않지만, 입출고 컨베이어(104)보다 낮은 위치에, 예를 들면, 상측 바닥부(F2)에 지지되는 형태로, 벽체(106)를 관통하는 하방 입출고 컨베이어가 설치되어 있어도 된다(이 경우에, 입출고 컨베이어(104)는 상방 입출고 컨베이어로 칭한다.). 상대적으로 낮은 위치에 설치되어 있는 하방 입출고 컨베이어의 외부 이송 탑재 개소에 대하여, 작업자가 용기(W)의 싣기 및 내리기를 행한다.
입출고 컨베이어(104)(하방 입출고 컨베이어도 포함함)의 외부 이송 탑재 개소에 용기(W)를 실리면, 상기 용기(W)는, 입출고 컨베이어(104)에 의해 외부 이송 탑재 개소로부터 내부 이송 탑재 개소에 탑재 반송된다. 스태커 크레인(10)은, 내부 이송 탑재 개소로부터 수납부(101)로 용기(W)를 반송하고, 수납부(101)의 선반판(9)에 용기(W)를 탑재한다(입고). 반대로, 스태커 크레인(10)은, 수납부(101)의 선반판(9)으로부터 용기(W)를 꺼내고, 입출고 컨베이어(104)(하방 입출고 컨베이어도 포함함)의 내부 이송 탑재 개소로 반송한다. 상기 용기(W)는, 입출고 컨베이어(104)에 의해 내부 이송 탑재 개소로부터 외부 이송 탑재 개소로 탑재 반송되고, 천장 반송차(20) 또는 작업자에 의해 외부 이송 탑재 개소로부터 내려진다(출고). 즉, 스태커 크레인(10)은, 내부 이송 탑재 개소와 수납부(101)의 사이에서 용기(W)를 반송한다.
전술한 바와 같이, 본 실시형태에서는, 용기(W)는, 레티클 포드이다. 도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 용기(W)는, 레티클을 수용하는 용기 본체부(60)와, 용기 본체부(60)보다 상방에 위치하고 용기(W)의 상단부에 구비된 플랜지부(65)를 가지고 있다. 천장 반송차(20)는, 플랜지부(65)를 잡는 것에 의해 용기(W)를 매달아 지지하고, 용기(W)를 반송한다. 또한, 스태커 크레인(10)은, 용기 본체부(60)의 저면(底面)(61)을 포크(16)(용기 지지부)에 의해 탑재 지지한 상태에서 용기(W)를 반송한다(도 1 참조).
도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 용기 본체부(60)의 저면(61)(용기(W)의 저면(61))에는, 연직 방향(Z)의 상방을 향하여 패인 저면 오목부(62)가 3군데 설치되어 있다. 저면 오목부(62)는, 상방일수록 좁아지는 끝이 좁은 형상으로 형성되어 있고, 저면 오목부(62)의 내면은 경사면이 되어 있다. 이 저면 오목부(62)에는, 수납부(101)의 선반판(9)에 설치된 선반판측 위치결정핀(9p)이나, 스태커 크레인(10)의 포크(16)에 설치된 포크측 위치결정핀(도시하지 않음)이 하방으로부터 걸어맞추어진다. 용기(W)가 선반판(9)에 탑재될 때나, 포크(16)에 의해 떠내질 때, 용기(W)의 위치가 수평 방향으로 벗어나 있는 경우라도, 이 위치결정핀이 저면 오목부(62)의 내면에 의해 안내된다. 이로써, 포크(16)나 선반판(9)에 대한 용기(W)의 수평 방향의 위치가 적정한 위치로 수정된다.
도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 수납 선반(102)의 선반판(9)은, 일단측이 고정 지지되고, 다른 쪽이 개방된 캔틸레버(cantilever) 자세로 수납 선반(102)의 프레임에 고정되어 있다. 선반판(9)은, 직사각형이 아닌, U자형으로 형성되어 있고, 직사각형의 용기(W)의 저면(61)에 3변을 지지한다. 선반판(9)에는, 선반판측 위치결정핀(9p)이, U자의 저부(底部), 및 양 측부의 3군데에 배치되어 있다. 전술한 바와 같이, 용기(W)가 선반판(9)에 탑재될 때는, 용기(W)의 3군데의 저면 오목부(62)에, 3개의 선반판측 위치결정핀(9p)이 각각 걸어맞추어지고, 용기(W)는 적절하게 선반판(9)에 탑재된다.
본 실시형태의 용기 수납 설비(100)는, 복수의 수납부(101)의 각각에 있어서, 수납된 용기(W)의 내부에 정화 기체를 공급하는 정화 장치(1)를 구비하고 있다. 이하, 도 4 및 도 5도 참조하여 설명한다. 정화 장치(1)는, 용기(W)에 정화 기체를 토출하는 토출부(2)와, 정화 기체의 공급 유량을 제어하는 기체 공급 장치(3)와, 기체 공급 장치(3)로부터 출력되는 정화 기체가 통류하는 주 배관(4)과, 주 배관(4)으로부터 분기되고, 각각의 토출부(2)와 접속되는 분기 배관(5)을 구비하고 있다. 기체 공급 장치(3)는, 도 5 등에 나타낸 바와 같이, 매스 플로우 콘트롤러(31)(MFC: Mass Flow Controller)와, 퍼지 콘트롤러(33)(PC: Purge Controller)를 구비하고 있다. 매스 플로우 콘트롤러(31)는, 본관(本管)(40)을 통하여 가스 공급원(41)(GS: Gas Source)으로부터 정화 기체를 공급한다. 그리고, 도 5 등에는 도시하지 않지만, 복수의 퍼지 콘트롤러(33)를 통괄하여 관리하는 상위 퍼지 콘트롤러가 구비되어 있어도 된다.
토출부(2)는, 복수의 수납부(101)의 각각에 있어서, 수납된 각각의 용기(W)에 접속되어 용기(W)에 정화 기체를 토출한다. 도 4에 나타낸 바와 같이, 용기(W)에는, 급기구(7)와 배기구(8)가 설치되어 있다. 도 2 및 도 3에는 도시하지 않지만, 급기구(7) 및 배기구(8)는, 예를 들면, 용기(W)의 저면(61)에 형성되어 있다. 도 2 및 도 3을 참조하여 전술한 바와 같이, 각각의 수납부(101)에 설치된 선반판(9)에는, 3개의 선반판측 위치결정핀(9p)이 형성되어 있고, 이들이 각각 용기(W)의 3군데의 저면 오목부(62)에 걸어맞추어짐으로써, 용기(W)는 적절하게 선반판(9)에 탑재된다. 도 2 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 토출부(2)도, 선반판측 위치결정핀(9p)과 마찬가지로, 선반판(9)으로부터 상방으로 돌출되도록 설치되어 있다. 토출부(2)는, 용기(W)가 선반판(9)에 대하여 규정 위치에 적절하게 탑재 지지된 상태에서, 용기(W)의 급기구(7)에 접속된다.
토출부(2)로부터 토출된 정화 기체는, 급기구(7)로부터 용기(W)의 내부에 유입된다. 급기구(7)에는, 급기용 개폐 밸브(도시하지 않음)가 구비되고, 배기구(8)에는 배기용 개폐 밸브(도시하지 않음)가 설치되어 있다. 급기용 개폐 밸브 및 배기용 개폐 밸브는, 스프링 등의 가압체에 의해 닫힌 상태로 가압되고 있다. 급기구(7)에 토출부(2)가 접속된 상태에서, 토출부(2)로부터 정화 기체가 분출되면, 그 압력에 의애 급기용 개폐 밸브가 열려서, 정화 기체가 급기구(7)로부터 용기(W)의 내부에 공급된다. 또한, 정화 기체가 공급되어 용기(W)의 내부의 압력이 높아지면, 그 압력에 의해 배기용 개폐 밸브가 열리고, 용기(W)의 내부의 기체(공기나 습한 공기, 이미 충전되어 있는 정화 기체 등)이 배기구(8)로부터 배출된다. 그리고, 용기(W)는 기밀성을 가지도록 구성되어 있다. 즉, 토출부(2)와 급기구(7)와의 접속이 해소되어, 용기 반송 장치(10,20, 104)에 의해 용기(W)가 반송될 때 용기(W)의 내부의 정화 기체가 쉽게 누출되지 않도록 구성되어 있다.
수납 선반(102)은 복수의 수납부(101)를 구비하고 있지만, 항상 모든 수납부(101)에 용기(W)가 수납되어 있는 것은 아니다. 각각의 수납부(101)에 설치된 토출부(2)는, 용기(W)가 수납되어 있지 않고, 용기(W)의 급기구(7)에 접속되어 있지 않은 상태에서는 개방되어 있어, 정화 기체는 토출부(2)로부터 흘러나오게 된다(도 4 참조). 급기구(7)로부터 용기(W)의 내부에 정화 기체를 보낼 때의 저항보다, 개방 상태의 토출부(2)로부터 정화 기체가 흘러나올 때의 저항이 작을 경우, 보다 많은 정화 기체는 개방 상태의 토출부(2)로부터 토출된다. 그 결과, 용기(W)의 내부에 정화 기체를 보내기 위한 유량이 부족하여, 용기(W)의 정화가 불충분하게 되는 경우가 있다.
이에, 본 실시형태에서는, 기체 공급 장치(3)가, 복수의 수납부(101)에서의 용기(W)의 수납 상태의 정보를 취득하고, 수납부(101)에 수납되어 있는 용기(W)의 총수 "n"에 따라, 정화 기체의 공급 유량을 제어한다. 구체적으로는, 기체 공급 장치(3)는, 수납부(101)에 수납되어 있는 용기(W)의 총수 "n"이 적을수록, 즉 수납부(101)의 사용율이 낮을수록, 공급 유량이 많아지도록, 정화 기체의 공급 유량 "FL"을 제어한다. 그리고, 도 4에 나타낸 바와 같이, 동일한 매스 플로우 콘트롤러(31), 주 배관(4)에 의해 정화 기체를 공급하는 일군의 분기 배관(5), 토출부(2)를, 각각, 「분기 배관군」, 「토출부군」으로 칭하고, 상기 토출부군이 구비되어 있는 일군의 수납부(101)를 「수납부군」으로 칭하는 경우가 있다. 이 경우에, 기체 공급 장치(3)는, 수납부군에 수납되어 있는 용기(W)의 총수 "n"이 적을수록, 즉 수납부군의 사용율이 낮을수록, 공급 유량이 많아지도록, 정화 기체의 공급 유량 "FL"을 제어한다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서는, 복수의 수납부(101)(수납부군)는, 연직 방향(Z)을 따른 방향으로 볼 때 중복되도록, 연직 방향(Z)으로 나란히 배치되어 있다. 매스 플로우 콘트롤러(31)는, 연직 방향(Z)을 따른 방향으로 볼 때 수납부(101)(수납부군)와 중복되지 않고, 연직 방향(Z)에 있어서 수납부(101)(수납부군)보다 하방에 배치되어 있다. 본 실시형태에서는, 매스 플로우 콘트롤러(31)는, 정화 기체의 공급 대상인 모든 수납부(101)보다 하방에 배치되어 있다. 바꾸어 말하면, 매스 플로우 콘트롤러(31)는, 수평 방향(X 방향 및 Y 방향)으로 보아서, 수납부(101)와는 중복되지 않는 위치에 배치되어 있다. 전술한 바와 같이, 클린 룸의 바닥부(F)는, 하측 바닥부(F1)와, 하측 바닥부(F1)보다 위쪽에 설치된 상측 바닥부(F2)에 의해 구성되어 있다. 연직 방향(Z)에 있어서 가장 하방에 위치하는 수납부(101)도, 상측 바닥부(F2)보다 하방으로는 배치되어 있지 않고, 복수의 수납부(101)의 모두(수납부군의 모두)가 상측 바닥부(F2)로부터 상방으로 배치되어 있다. 즉, 매스 플로우 콘트롤러(31)는, 장치의 중량, 가스 공급원(41)이나 본관(40)의 배치도 고려하여, 상측 바닥부(F2)보다 하방에 배치되어 있다. 그리고, 기체 공급 장치(3)는, 매스 플로우 콘트롤러(31)와 퍼지 콘트롤러(33)를 구비하고 있지만, 적어도 매스 플로우 콘트롤러(31)가 상측 바닥부(F2)보다 하방에 배치되어 있다.
정화 기체를 주 배관(4)을 향하여 출력하는 매스 플로우 콘트롤러(31)는, 발열량이 큰 것이 많다. 여기서, 용기(W)에 수용되어 있는 수용물이, 반도체 재료(웨이퍼)나 반도체 제조 재료(레티클(포토마스크))인 경우, 가열을 억제하는 것이 바람직하다.
특히, 미세화가 진행된 선단 프로세스의 반도체 제조 재료 (예를 들면, EUV마스크: Extreme Ultraviolet Lithography)는, 열의 영향을 받기 쉽다. 연직 방향(Z)을 따른 방향으로 볼 때 중복되도록 나란히 배치된 수납부(101)(수납부군)의 바로 아래(直下)의 위치에 매스 플로우 콘트롤러(31)가 배치되어 있으면, 열을 띤 공기가 상승하여, 수납부(101)나 수납부(101)에 수납된 용기(W), 나아가서는 용기(W)에 수용된 레티클(포토마스크) 등을 가열할 경우가 있다. 본 실시형태와 같이, 매스 플로우 콘트롤러(31)를 수납부(101)의 바로 아래로부터 벗어난 위치에 배치함으로써, 이러한 가열을 억제할 수 있다.
전술한 바와 같이, 본 실시형태의 용기 수납 설비(100)는, 천장측으로부터 바닥측을 향하여 기체가 흐르는 다운 플로우식의 클린 룸으로서 구성되어 있지만, 하강 기류(다운 플로우)가 약한 영역이 생기는 경우가 있다. 매스 플로우 콘트롤러(31)가 설치되는 장소의 상방의 하강 기류가 약하면, 열을 띤 공기가 상승하기 쉬워져서, 용기(W)나 용기(W)의 수용물을 가열할 우려가 있다. 따라서, 매스 플로우 콘트롤러(31)는, 하강 기류가 약한 영역에 배치되지 않는 것이 바람직하다. 수납부(101)가 배열된 연직 방향(Z)은, 수납부(101)에 의해 하강 기류를 방해할 수 있기 때문에, 하강 기류가 약해지기 쉽다. 따라서, 매스 플로우 콘트롤러(31)가, 수납부(101)의 바로 아래로부터 벗어난 위치에 배치되는 것이 바람직하다.
도 5는, 정화 장치(1)를 포함하는 용기 수납 설비(100)의 시스템 구성을 모식적으로 나타내고 있다. 용기 수납 설비(100)에서의 용기(W)의 반송, 및 수납은, 스태커 크레인 콘트롤러(110)(STK-C: Stacker Crane Controller)나, 머티리얼 콘트롤 프로세서(112)(MCP: Material Control Processor)가 제어하고 있다. 그리고, 전술한 바와 같이, 복수의 퍼지 콘트롤러(33)를 통괄하여 관리하는 상위 퍼지 콘트롤러가 구비되어 있을 경우에는, 머티리얼 콘트롤 프로세서(112)와 상기 상위 퍼지 콘트롤러의 협동에 의해, 혹은, 머티리얼 콘트롤 프로세서(112)에 상당하는 우수한 반송 관리 장치와 상기 상위 퍼지 콘트롤러와의 협동에 의해, 용기 수납 설비(100)에서의 용기(W)의 반송, 수납, 및 정화 기체의 공급이 제어되어도 된다.
본 실시형태에서는, 도 5에 나타낸 바와 같이, 1개의 수납 선반(102)에 1개의 기체 공급 장치(3)가 설치되어 있다. 각각의 매스 플로우 콘트롤러(31)는, 도 4에 예시한 본관(40), 및 각 수납 선반(102)에 설치된 주 배관(4)에 접속되어 있고, 각각의 주 배관(4)으로 내보내는 정화 기체의 공급 유량을 조정한다. 각각의 주 배관(4)에 대한 공급 유량은, 각각의 매스 플로우 콘트롤러(31)에 대하여 설치된 퍼지 콘트롤러(33)가 결정한다. 용기(W)의 반송 및 수납은, 스태커 크레인 콘트롤러(110)나, 머티리얼 콘트롤 프로세서(112) 등의 관리 장치가 관리하고 있다. 특히 본 실시형태에서는, 수납부(101)로의 용기(W)의 입출고를 스태커 크레인(10)이 행하고 있으므로, 수납부(101)의 사용 상태는, 스태커 크레인 콘트롤러(110)가 파악하고 있다. 따라서, 본 실시형태에서는, 구내 네트워크 등을 통하여, 퍼지 콘트롤러(33)는, 각 수납 선반(102)에서의 수납부(101)(수납부군)의 사용율(수납부(101)에 수납되어 있는 용기(W)의 총수 "n")을 스태커 크레인 콘트롤러(110)로부터 취득한다.
퍼지 콘트롤러(33)는, 수납부(101)에 수납되어 있는 용기(W)의 총수 "n"이 적을수록 많아지도록, 정화 기체의 공급 유량 "FL"을 제어한다. 하나의 태양으로서, 퍼지 콘트롤러(33)는, 분기 배관(5)(분기 배관군)을 통하여 주 배관(4)에 접속되는 토출부(2)(토출부군)의 총수를 "N"으로 하고, 수납부(101)(수납부군)에 수납되어 있는 용기(W)의 총수를 "n"으로 하고, 매스 플로우 콘트롤러(31)(기체 공급 장치(3))로부터 출력되는 정화 기체의 기준 유량을 "Fa"으로 하고, 매스 플로우 콘트롤러(31)(기체 공급 장치(3))로부터 출력되는 정화 기체의 오프셋값을 나타내는 오프셋 유량을 "Fb"로 하고, 매스 플로우 콘트롤러(31)(기체 공급 장치(3))로부터 출력되는 정화 기체의 공급 유량을 "FL"로 하여, 퍼지 콘트롤러(33)(기체 공급 장치(3))는, "FL=(N/n)·Fa+Fb"가 되도록, 공급 유량 "FL"을 제어한다.
도 6의 흐름도에 예시한 바와 같이, 퍼지 콘트롤러(33)는, 프로그램 메모리나 파라미터 레지스터에 기억되어 있는 기본 파라미터(기준 유량 "Fa", 오프셋 유량 "Fb", 토출부(2)의 총수 "N")를 연산용 레지스터에 세팅한다(#1). 그리고, 기본 파라미터는, 스태커 크레인 콘트롤러(110)(관리 장치)로부터 취득될 수도 있다. 다음으로, 퍼지 콘트롤러(33)는, 수납부(101)에 수납되어 있는 용기(W)의 총수 "n"을 스태커 크레인 콘트롤러(110)로부터 취득한다(#2). 취득된 총수 "n"도 연산용 레지스터에 세팅된다. 퍼지 콘트롤러(33)는, 연산용 레지스터에 세팅된 파라미터를 사용하여, 사전에 프로그램되어 있는 알고리즘 "FL=(N/n)·Fa+Fb"에 기초하여, 공급 유량 "FL"을 연산한다.
그리고, 상기에 있어서는, 도 5를 참조하여, 각각의 매스 플로우 콘트롤러(31)에 퍼지 콘트롤러(33)가 구비되어 있는 형태를 예시했지만, 도 7에 나타낸 바와 같이, 복수의 매스 플로우 콘트롤러(31)에 대하여 1개의 퍼지 콘트롤러(33)가 구비되어 있는 형태라도 된다. 즉, 1개의 퍼지 콘트롤러(33)가 복수의 매스 플로우 콘트롤러(31)의 공급 유량 "FL"을 연산하고, 매스 플로우 콘트롤러(31)에 전달하는 형태라도 된다.
그런데, 용기(W)에 정화 기체를 공급할 때의 저항값은, 일정하지 않고, 용기(W)의 종류나 제조 메이커에 따라 상이한 경우가 있다. 또한, 동일한 종류의 용기(W)라도 개체 차나 경년(經年) 변화에 의해, 예를 들면, 급기 개폐 밸브나 배기 개폐 밸브의 가압력에 차이가 생기거나, 기밀성에 차이가 생겨, 저항값이 상이한 경우가 있다. 용기(W)에 따른 저항값의 차이가 크면, 전술한 바와 같이 용기(W)의 수납수 "n"에 따라 공급 유량 "FL"을 제어해도, 용기(W)에 충분히 정화 기체를 공급할 수 없는 경우가 생긴다. 이에, 각각의 분기 배관(5)을 통과하고 토출부(2)로부터 정화 기체를 토출할 때의 저항값을 일정한 범위 내로 유지하면 용기(W)의 저항값이 미치는 영향이 억제되어, 각각의 토출부(2)로부터의 토출량을 균일화할 수 있다.
도 8 및 도 9는, 분기 배관(5)에 유체 저항체로서의 오리피스(55)를 설치하는 형태를 예시하고 있다. 그리고, 도 8 및 도 9에는, 정화 기체에 포함되는 먼지를 제거하는 먼지 필터(51)도 설치되어 있는 예를 나타내고 있다. 먼지 필터(51)도 정화 기체의 흐름을 방해하므로, 먼지 필터(51)도 유체 저항체로 할 수 있다. 오리피스(55) 대신 먼지 필터(51)를 유체 저항체로 해도 되고, 오리피스(55)와 먼지 필터(51)로 유체 저항체를 구성해도 된다. 유체 저항체의 저항값은, 급기구(7)로부터 용기(W)로 정화 기체를 유입시킬 때의 저항 성분인 유입 저항보다 큰 저항값이 바람직하다.
그리고, 도 8에서는, 오리피스(55)보다 상류 측에 먼지 필터(51)를 설치하는 형태를 예시하고 있고, 도 9에서는, 오리피스(55)보다 하류 측에 먼지 필터(51)를 설치하는 형태를 예시하고 있다. 오리피스(55)를 설치하면, 벤츄리 효과(venturi effect)에 의해 유속이 빨라져서, 오리피스(55)의 하류 측에서 소음이 발생할 경우가 있다. 도 9과 같이 오리피스(55)의 하류측에 먼지 필터(51)를 설치하면, 먼지 필터(51)에 의해 소음이 억제될 가능성이 있다. 오리피스(55)와 먼지 필터(51)의 설치 순서는 어떤 순서로 해도 되지만, 소음 등도 고려하여 설정되는 것이 바람직하다.
[기타 실시형태]
이하, 기타 실시형태에 대하여 설명한다.
그리고, 이하에서 설명하는 각 실시형태의 구성은, 각각 단독으로 적용되는 것으로 한정되지 않고, 모순이 생기지 않는 한, 다른 실시형태의 구성과 조합하여 적용할 수도 있다.
(1) 상기에 있어서는, 정화 기체의 공급 대상의 용기(W)로서 레티클 포드를 예시했다. 그러나, 용기(W)는, 복수 장의 반도체 웨이퍼를 수납하는 FOUP(Front Opening Unified Pod)라도 된다. 또한, 용기(W)의 수납물은, 식품 등이라도 된다.
(2) 상기 에 있어서는, 스태커 크레인 콘트롤러(110)가 수납부군에서의 사용율(수납부(101)에 수납되어 있는 용기(W)의 총수 "n")을 관리하고, 퍼지 콘트롤러(33)가, 이 총수 "n"을 스태커 크레인 콘트롤러(110)로부터 취득하는 형태를 예시했다. 그러나, 각 수납부(101)에 용기(W)의 존부(存否)를 검출하는 재고 센서(도시하지 않음)를 구비하고, 이 재고 센서의 검출 결과에 기초하여 퍼지 콘트롤러(33)가, 총수 "n"을 취득하는(계수하는) 형태라도 된다. 상기에 있어서는, 재고 센서를 설치하는 것에 의한 비용의 상승이나, 재고 센서의 발열에 의해 용기(W)의 온도의 상승을 고려하여, 재고 센서를 설치하지 않고 스태커 크레인 콘트롤러(110)로부터 총수 "n"을 취득하는 형태를 예시하고 있다. 그러나, 재고 센서의 이용을 배제하는 것은 아니다.
(3) 상기에 있어서는, 매스 플로우 콘트롤러(31)가, 연직 방향(Z)에 있어서 모든 수납부(101)보다 하방에 배치되어 있는 형태를 예시했다. 그러나, 매스 플로우 콘트롤러(31)는, 일부의 수납부(101)보다 하방에 배치되어 있어도 된다. 즉, 수납부(101)는, 연직 방향(Z)을 따른 방향으로 볼 때 중복되도록, 연직 방향(Z)으로 나란히 배치되고, 매스 플로우 콘트롤러(31)는, 연직 방향(Z)을 따른 방향으로 볼 때 수납부(101)와 중복되지 않고, 연직 방향(Z)에 있어서 적어도 일부의 수납부(101)보다 하방에 배치되어 있어도 된다.
(4) 상기에 있어서는, 매스 플로우 콘트롤러(31)를 수납부(101)의 바로 아래로부터 벗어난 위치에 배치하는 형태를 예시했다. 그러나, 용기(W)나 용기(W)의 수용물의 온도 상승을 고려할 필요가 없는 경우에는, 혹은 열을 차폐(遮蔽)할 수 있는 경우 등에는, 매스 플로우 콘트롤러(31)가 수납부(101)의 바로 아래에 배치되어 있어도 된다.
(5) 상기에 있어서는, 복수의 수납부(101)가, 연직 방향(Z)을 따른 방향으로 볼 때 중복되도록, 연직 방향(Z)으로 나란히 배치되어 있는 형태를 예시했다. 그러나, 수납부(101)는, 도 10에 나타내는 제2 수납부(101B)와 같이, 수평 방향을 따른 방향으로 볼 때 중복되도록 나란히 배치되고 있어도 된다. 제2 수납부(101B)는, 복수의 반도체 처리 장치(120)를 경유하여 수평 방향으로 부설된 천장 레일(108)을 따라, 수평 방향으로 나란히 배치되어 있다. 천장 반송차(20)는, 천장 레일(108)을 따라 이동하여, 반도체 처리 장치(120)의 입출고 스테이션(121)과의 사이, 제2 수납부(101B)와의 사이에서, 용기(W)를 이송탑재하여 반송한다.
[실시형태의 개요]
이하, 상기에 있어서 설명한 용기 수납 설비의 개요에 대하여 간단히 설명한다.
하나의 태양으로서, 용기를 수납하는 복수의 수납부를 가지고, 상기 수납부의 각각에 있어서, 수납된 상기 용기의 내부에 정화 기체를 공급하는 용기 수납 설비는,
복수의 상기 수납부의 각각에 있어서, 수납된 각각의 상기 용기에 접속되어 상기 용기에 상기 정화 기체를 토출하는 토출부와,
상기 정화 기체의 공급 유량을 제어하는 기체 공급 장치와,
상기 기체 공급 장치에 접속되어, 상기 기체 공급 장치로부터 출력되는 상기 정화 기체가 통류(通流)하는 주 배관과,
상기 주 배관으로부터 분기되고, 각각의 상기 토출부와 접속되는 분기 배관을 구비하고,
상기 토출부는, 상기 수납부에 상기 용기가 수납되어 있는지의 여부에 관계없이, 상기 정화 기체를 토출하고,
상기 기체 공급 장치는, 복수의 상기 수납부에서의 상기 용기의 수납 상태의 정보를 취득하고, 상기 수납부에 수납되어 있는 상기 용기의 총수가 적을수록 많아지도록, 상기 정화 기체의 상기 공급 유량을 제어한다.
이 구성에 의하면, 토출부는, 수납부에 용기가 수납되어 있는지의 여부에 관계없이, 정화 기체를 토출하므로, 분기 배관이나 토출부에 콘트롤 밸브 등을 배치할 필요가 없어, 설비 구성을 간결하게 할 수 있다. 다만, 수납부에 용기가 수납되어 있지 않은 상태에서는, 토출부로부터 정화 기체가 누출되는 상태로 되어, 수납부에 수납되어 있는 용기에 대하여 정화 기체가 충분히 공급되지 않게 될 우려가 있다. 그러나, 본 구성에 의하면, 기체 공급 장치는, 수납부에 수납되어 있는 용기의 총수가 적을수록, 정화 기체의 공급 유량을 증가시키기 때문에, 용기에 접속되어 있지 않은 토출부로부터 정화 기체가 누출되어도, 용기에 접속된 토출부를 통하여 용기에 충분한 정화 기체를 공급할 수 있다. 이와 같이, 본 구성에서는, 기체 공급 장치의 증설이나, 콘트롤 밸브를 부가하지 않고, 기체 공급 장치의 제어에 의해, 정화 기체를 용기에 적절하게 공급할 수 있다. 즉, 본 구성에 의하면, 간단한 구조로, 용기를 수납하는 복수의 수납부에서의 용기의 유무에 구애받지 않고, 수납부에 수납된 용기의 내부에 안정적으로 정화 기체를 공급할 수 있는 용기 수납 설비를 제공할 수 있다.
여기서, 상기 분기 배관을 통하여 상기 주 배관에 접속되는 상기 토출부의 총수를 N으로 하고, 상기 수납부에 수납되어 있는 상기 용기의 총수를 n으로 하고, 상기 기체 공급 장치로부터 출력되는 상기 정화 기체의 기준 유량을 Fa로 하고, 상기 기체 공급 장치로부터 출력되는 상기 정화 기체의 오프셋값을 나타내는 오프셋 유량을 Fb로 하고, 상기 기체 공급 장치로부터 출력되는 상기 정화 기체의 상기 공급 유량을 FL로 하여, 상기 기체 공급 장치는,
FL=(N/n)·Fa+Fb로 되도록, 상기 공급 유량을 제어하는 것이, 바람직하다.
이 구성에 의하면, 주 배관에 접속되어 있는 모든 수납부에 용기가 수납되고 있는 경우에는, "n=N"이 된다. 이 경우에, 기체 공급 장치는, 기준 유량 및 오프셋 유량에 기초한 공급 유량으로 정화 기체를 출력함으로써, 정화 기체를 용기에 적절하게 공급할 수 있다. 한편, 주 배관에 접속되어 있는 복수의 수납부에, 용기가 수납되어 있지 않은 수납부가 존재할 경우에는, 용기의 수납수가 적어질수록, "N/n"의 분모가 작아져, 기준 유량에 대한 승산 계수가 커진다. 즉, 용기의 수납수가 적을수록, 공급 유량이 많아진다. 따라서, 용기에 접속되어 있지 않은 토출부로부터 정화 기체가 누출되어도, 용기에 접속된 토출부를 통하여 용기에 충분한 정화 기체를 공급할 수 있다. 본 구성에 의하면, 이러한 간단한 선형 연산에 의해, 복수의 수납부에서의 용기의 유무에 구애받지 않고, 정화 기체를 용기에 안정적으로 공급할 수 있다.
하나의 태양으로서, 상기 토출부는, 상기 용기의 급기구에 접속되고, 상기 분기 배관의 각각에는, 상기 급기구로부터 상기 용기에 상기 정화 기체를 유입시킬 때의 저항 성분인 유입 저항보다 큰 저항값을 가지는 유체 저항체가 설치되어 있는 것이 바람직하다.
용기에 정화 기체를 공급할 때의 저항값은, 일정하지 않으며, 용기의 종류나 제조 메이커에 따라 상이한 경우가 있다. 또한, 동일한 종류의 용기라도 개체 차나 경년 변화 등에 의해, 저항값이 상이한 경우가 있다. 용기마다의 저항값의 차이가 크면, 용기의 수납수에 따라 공급 유량을 제어해도, 용기에 정화 기체를 충분히 공급할 수 없는 경우가 있다. 본 구성과 같이, 유입 저항보다 큰 저항값을 가지는 유체 저항체를 각각의 분기 배관에 설치함으로써, 용기의 저항값이 미치는 영향을 억제하여, 각각의 토출부로부터의 토출량을 균일화할 수 있다. 그 결과, 용기의 수납수에 따른 공급 유량의 제어가 효율적으로 기능하여, 복수의 수납부에서의 용기의 유무에 구애받지 않고, 정화 기체를 용기에 안정적으로 공급할 수 있다.
하나의 태양으로서, 복수의 상기 수납부는, 연직 방향을 따른 방향으로 볼 때 중복되도록, 연직 방향으로 나란히 배치되고, 상기 기체 공급 장치는, 연직 방향을 따른 방향으로 볼 때 상기 수납부와 중복되지 않고, 연직 방향에 있어서 상기 수납부보다 하방에 배치되어 있는 것이 바람직하다.
정화 기체를 주 배관을 향하여 출력하는 기체 공급 장치는, 콤프레서 등을 가지므로, 발열량이 큰 것이 많다. 여기서, 용기에 수용되어 있는 수용물이, 예를 들면, 반도체 재료나 반도체 제조 재료이면, 이들은 열에 의한 영향을 받기 쉽다. 또한, 기체 공급 장치는, 기체 공급 장치의 중량, 정화 기체의 공급원이나, 공급원과의 접속 배관의 배치도 고려하면, 용기 수납 설비의 하방, 예를 들면, 바닥 측에 설치되는 경우도 많다. 여기서, 연직 방향을 따른 방향으로 볼 때 중복되도록 나란히 배치된 수납부의 바로 아래의 위치에 기체 공급 장치가 배치되어 있으면, 열을 띤 공기가 상승하여, 수납부나 수납부에 수납된 용기를 가열하는 것으로 여겨진다. 본 구성과 같이, 기체 공급 장치를 수납부의 바로 아래로부터 벗어난 위치에 배치함으로써, 이러한 가열을 억제할 수 있다.
1: 정화 장치
2: 토출부
3: 기체 공급 장치
4: 주 배관
5: 분기 배관
7: 급기구
31: 매스 플로우 콘트롤러(기체 공급 장치)
33: 퍼지 콘트롤러(기체 공급 장치)
51: 먼지 필터(유체 저항체)
55: 오리피스(유체 저항체)
100: 용기 수납 설비
101: 수납부
101B: 제2 수납부(수납부)
W: 용기
Z: 연직 방향

Claims (8)

  1. 용기를 수납하는 복수의 수납부를 가지고, 상기 수납부의 각각에 있어서, 수납된 상기 용기의 내부에 정화 기체를 공급하는 용기 수납 설비로서,
    복수의 상기 수납부의 각각에 있어서, 수납된 각각의 상기 용기에 접속되고 상기 용기에 상기 정화 기체를 토출(吐出)하는 토출부;
    상기 정화 기체의 공급 유량을 제어하는 기체 공급 장치;
    상기 기체 공급 장치에 접속되고, 상기 기체 공급 장치로부터 출력되는 상기 정화 기체가 통류(通流)하는 주 배관; 및
    상기 주 배관으로부터 분기되고, 각각의 상기 토출부와 접속되는 분기 배관;
    을 포함하고,
    상기 토출부는, 상기 수납부에 상기 용기가 수납되어 있는지의 여부에 관계없이, 상기 정화 기체를 토출하고,
    상기 기체 공급 장치는, 복수의 상기 수납부에서의 상기 용기의 수납 상태의 정보를 취득하고, 상기 수납부에 수납되어 있는 상기 용기의 총수가 적을수록 많아지도록, 상기 정화 기체의 상기 공급 유량을 제어하는,
    용기 수납 설비.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 분기 배관을 통하여 상기 주 배관에 접속되는 상기 토출부의 총수를 N으로 하고,
    상기 수납부에 수납되어 있는 상기 용기의 총수를 n으로 하고,
    상기 기체 공급 장치로부터 출력되는 상기 정화 기체의 기준 유량을 Fa로 하고,
    상기 기체 공급 장치로부터 출력되는 상기 정화 기체의 오프셋값을 나타내는 오프셋 유량을 Fb로 하고,
    상기 기체 공급 장치로부터 출력되는 상기 정화 기체의 상기 공급 유량을 FL로 하여,
    상기 기체 공급 장치는,
    FL=(N/n)·Fa+Fb로 되도록, 상기 공급 유량을 제어하는, 용기 수납 설비.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 토출부는, 상기 용기의 급기구(給氣口)에 접속되고,
    상기 분기 배관의 각각에는, 상기 급기구로부터 상기 용기에 상기 정화 기체를 유입시킬 때의 저항 성분인 유입 저항보다 큰 저항값을 가지는 유체 저항체가 설치되어 있는, 용기 수납 설비.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 토출부는, 상기 용기의 급기구에 접속되고,
    상기 분기 배관의 각각에는, 상기 급기구로부터 상기 용기에 상기 정화 기체를 유입시킬 때의 저항 성분인 유입 저항보다 큰 저항값을 가지는 유체 저항체가 설치되어 있는, 용기 수납 설비.
  5. 제1항에 있어서,
    복수의 상기 수납부는, 연직 방향을 따른 방향으로 볼 때 중복되도록, 연직 방향으로 나란히 배치되고, 상기 기체 공급 장치는, 연직 방향을 따른 방향으로 볼 때 상기 수납부와 중복되지 않고, 연직 방향에 있어서 상기 수납부보다 하방(下方)에 배치되어 있는, 용기 수납 설비.
  6. 제2항에 있어서,
    복수의 상기 수납부는, 연직 방향을 따른 방향으로 볼 때 중복되도록, 연직 방향으로 나란히 배치되고, 상기 기체 공급 장치는, 연직 방향을 따른 방향으로 볼 때 상기 수납부와 중복되지 않고, 연직 방향에 있어서 상기 수납부보다 하방에 배치되어 있는, 용기 수납 설비.
  7. 제3항에 있어서,
    복수의 상기 수납부는, 연직 방향을 따른 방향으로 볼 때 중복되도록, 연직 방향으로 나란히 배치되고, 상기 기체 공급 장치는, 연직 방향을 따른 방향으로 볼 때 상기 수납부와 중복되지 않고, 연직 방향에 있어서 상기 수납부보다 하방에 배치되어 있는, 용기 수납 설비.
  8. 제4항에 있어서,
    복수의 상기 수납부는, 연직 방향을 따른 방향으로 볼 때 중복되도록, 연직 방향으로 나란히 배치되고, 상기 기체 공급 장치는, 연직 방향을 따른 방향으로 볼 때 상기 수납부와 중복되지 않고, 연직 방향에 있어서 상기 수납부보다 하방에 배치되어 있는, 용기 수납 설비.
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