CN110603632A - 保管系统 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种保管系统，其具备：行驶轨道，通过将沿着第1方向延伸的多个第1轨道以及沿着第2方向延伸的多个第2轨道呈格子状配置在同一水平面上，由此纵横地形成多个由一对第1轨道以及一对第2轨道包围的开口区域；台车，具有行驶部以及移载部；以及保管部，载放FOUP。保管部具有相互邻接的多个支架单元，各支架单元被设置为，包括载放FOUP的载放部件，并且载放部件位于开口区域的正下方，且各支架单元能够相对于行驶轨道进行拆装。

Description

保管系统
技术领域
本发明的一个方式涉及一种保管系统。
背景技术
例如，作为在半导体制造工厂的输送装置中应用的保管系统，已知有一种系统，其具备：行驶轨道，具有呈格子状配置在同一水平面上的多个轨道；台车，在行驶轨道上行驶且进行物品的保持以及升降；以及保管部，配置在行驶轨道的下侧，并载放物品(例如，参照专利文献1)。在这样的保管系统中，台车经由设置于轨道之间的开口区域相对于保管部进行物品的交接。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：国际公开第15/174181号
发明内容
发明要解决的课题
在上述那样的保管系统中，在行驶轨道的下侧，在除了装载口的正上方以外的区域中整面地设置有保管部。在这样的构成中，保管部的设置的自由度较低。
因此，本发明的一个方式的目的在于提供一种能够提高保管部的设置的自由度的保管系统。
用于解决课题的手段
本发明的一个方式的保管系统具备：行驶轨道，具有沿着第1方向延伸的多个第1轨道以及沿着与第1方向正交的第2方向延伸的多个第2轨道，多个第1轨道以及多个第2轨道呈格子状配置在同一平面上，由此纵横地形成多个由相互相邻的一对第1轨道与相互相邻的一对第2轨道包围的区域；台车，具有在行驶轨道上沿着第1方向以及第2方向的各个方向行驶的行驶部、以及进行物品的保持以及升降的移载部；以及保管部，设置在行驶轨道的下侧，并载放物品，台车相对于保管部进行物品的交接，保管部具有相互邻接的多个支架单元，多个支架单元分别被设置为，包括载放物品的载放部件并且载放部件位于区域的正下方，且多个支架单元分别能够相对于行驶轨道进行拆装。
在该保管系统中，与保管部的整体由单一的支架构成的情况相比较，能够提高保管部的设置、拆除、位置变更等的自由度。
在本发明的一个方式的保管系统中也可以为，多个支架单元分别包括支承载放部件的支承部件，支承部件从行驶轨道能够拆装地悬吊。据此，通过使支承部件相对于行驶轨道拆装，由此能够使包括载放部件的支架单元相对于行驶轨道拆装。
在本发明的一个方式的保管系统中也可以为，多个支架单元中的至少一个支架单元形成为，在载放部件中载放物品的多个载放部排列成1列，且设置成多个载放部排列成1列的方向与第1方向或者第2方向平行。据此，与全部支架单元分别构成为与呈矩阵状配置(即，配置为在第1方向以及第2方向这两个方向上各排列多列)的多个开口区域对应的情况相比较，能够提高保管部的设置、拆除、位置变更等的自由度。例如，在想要仅去除与1列开口区域相当的量的保管部的情况下特别有效。
在本发明的一个方式的保管系统中也可以为，多个区域分别形成具有物品能够沿着上下方向通过的大小的开口区域，台车在比行驶轨道靠上侧保持了物品的状态下行驶，并经由开口区域相对于载放部件进行物品的交接。据此，仅通过台车经由开口区域使物品沿着铅垂方向升降，由此能够相对于保管部进行物品的交接。
在本发明的一个方式的保管系统中也可以为，多个支承部件分别从第1轨道与第2轨道的交叉部分悬吊，台车在比行驶轨道靠下侧保持了物品的状态下，使该物品在多个支承部件之间通过地行驶。据此，在台车相对于比行驶轨道靠下方的移载目的地进行物品的交接时，行驶轨道不会成为物品交接动作的妨碍，因此能够提高移载目的地的布局的自由度。此外，在这样的构成中，能够通过设置在难以成为台车行驶的妨碍的位置的支承部件，将载放部件支承在开口区域的正下方。
在本发明的一个方式的保管系统中也可以为，载放部件是相互隔开间隔地设置的一对梁状部件。据此，由于在一对梁状部件上载放物品，因此，例如与在平板状的部件上载放物品的情况相比较，能够抑制气流被支架单元妨碍。尤其是，当在无尘室内使用该保管系统的情况下，能够抑制用于将无尘室内保持为清洁状态的上下方向的气流被妨碍。
发明的效果
根据本发明的一个方式，能够提高保管部的设置的自由度。
附图说明
图1是第1实施方式的保管系统的平面图。
图2是图1的保管系统的局部放大图。
图3是图1的保管系统所具备的支架单元的主视图。
图4是图3的支架单元的仰视图。
图5是图3的支架单元的侧视图。
图6是第2实施方式的保管系统所具备的支架单元的主视图。
图7是图6的支架单元的仰视图。
图8是第2实施方式的保管系统所具备的其他支架单元的主视图。
图9是图8的支架单元的仰视图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的实施方式进行详细说明。另外，在各图中对于相同或者相当的部分赋予相同的符号，并省略重复的说明。
[第1实施方式]
[保管系统的构成]
如图1以及图2所示，保管系统1具备行驶轨道2、多个台车3以及保管部4。保管系统1为，在半导体制造工厂中，铺设在分别具备多个装置口8的多个半导体处理装置10的上方。保管系统1暂时保管收纳有多个半导体晶片的FOUP(Front Opening Unified Pod)9。更具体而言，在保管系统1中，通过在行驶轨道2上行驶的台车3，在保管部4与装置口8之间输送FOUP9，通过保管部4暂时保管FOUP9(向装置口8供给之前的FOUP9、从装置口8回收之后的FOUP9)。另外，相对于保管系统1，例如通过OHT(Overhead Hoist Transfer)搬入或者搬出FOUP9。OHT沿着铺设在保管系统1与半导体制造工厂的顶棚之间的轨道行驶。
各半导体处理装置10在行驶轨道2的下侧排列配置有多列(在图1中沿着第1方向D1为2列)。各半导体处理装置10在相互相邻的一对列彼此之间配置为装置口8相互面对的朝向。当通过台车3向半导体处理装置10的装置口8供给FOUP9时，该FOUP9中所收纳的半导体晶片被取入半导体处理装置10。然后，该半导体晶片在半导体处理装置10中被实施了规定的处理之后，再次收纳于FOUP9。由此，FOUP9成为能够通过台车3进行回收以及输送的状态。
行驶轨道2具有多个第1轨道21以及多个第2轨道22。各第1轨道21在第1方向D1上直线状地延伸，在相互相邻的第1轨道21之间设置有规定间隔。各第2轨道22在与第1方向D1正交的第2方向D2上直线状地延伸，在相互相邻的第2轨道22之间设置有规定间隔。多个第1轨道21以及多个第2轨道22呈格子状配置在同一水平面上。
如图1、图2以及图3所示，台车3具有行驶部31、移载部32以及突出部33。行驶部31能够沿着相互相邻的一对第1轨道21在第1方向D1上行驶，并且能够沿着相互相邻的一对第2轨道22在第2方向D2上行驶。行驶部31包括主体部37、4个车轮36以及车轮支承臂38。各车轮36能够旋转地支承于以从主体部37朝下方突出的方式设置的车轮支承臂38，并在行驶轨道2的行驶面24a上滚动。
移载部32包括：保持部32a，对FOUP9的凸缘部9a进行保持；带32b，悬吊保持部32a；升降驱动部32c，通过进行带32b的卷起、放下而使保持部32a升降；以及θ旋转机构32d，使升降驱动部32c绕铅垂方向(与第1方向D1以及第2方向D2分别垂直的方向)旋转。另外，图3表示通过移载部32相对于保管部4交接FOUP9的中途的状态。
突出部33使移载部32从行驶部31朝第1方向D1以及第2方向D2的各个方向突出。作为一例，突出部33包括回转机构33a而构成。回转机构33a的基端部能够旋转地安装于行驶部31，移载部32安装于回转机构33a的前端部。
在行驶轨道2设置有多个矩形状(即，格状)的区域。各矩形状的区域是由相互相邻的一对第1轨道21与相互相邻的一对第2轨道22包围的区域，纵横地形成有多个。此处，所谓“纵横地”是指在第1方向D1以及第2方向D2的各个方向上，所谓“纵横地形成有多个矩形状的区域”是指，矩形状的区域形成为在第1方向D1以及第2方向D2的各个方向上排列多个的矩阵状。各矩形状的区域形成具有FOUP9能够沿着上下方向通过的大小的开口区域。
台车3在通过移载部32的保持部32a在比行驶轨道2靠上侧保持了FOUP9的状态下，通过行驶部31行驶。此外，台车3通过移载部32相对于保管部4经由规定的开口区域进行FOUP9的交接。
多个开口区域中的第1开口区域(开口区域)2a是位于装置口8正上方的区域。多个开口区域中的第2开口区域(开口区域)2b是如下的区域：在台车3使移载部32位于第1开口区域2a上的状态下，在经由第1开口区域2a相对于装置口8进行FOUP9的交接时，位于行驶部31的停止位置的正下方的区域。多个开口区域中的第3开口区域(开口区域)2c是第1开口区域2a以及第2开口区域2b以外的区域。
多个装置口8上侧且是行驶轨道2下侧的区域，被分类为非保管区域5与保管区域6。非保管区域5是如下的区域：由各第1开口区域2a以及以包围该第1开口区域2a的方式与该第1开口区域2a邻接地设置的各区域分别构成的多个分区、以及第3开口区域2c中位于(介于)各分区之间的区域、的正下方的区域。此处，所谓“位于各分区之间的区域”是指如下的区域：将位于构成由多个分区中的两个分区构成的组合的全部组合中的至少一个组合的两个分区之间的区域，全部相加而成的区域。换言之，非保管区域5是相对于将各分区的外缘中不与其他分区相面对的一侧的外缘分别相连而成的线、各分区所位于的一侧的区域。保管区域6是除了非保管区域5以外的区域，在其正上方设置有多个第3开口区域2c。换言之，保管区域6是相对于将各分区的外缘中不与其他分区相面对的一侧的外缘分别相连而成的线、各分区所不位于的一侧的区域。
保管部4不设置于第3开口区域2c中、以包围第1开口区域2a的方式与该第1开口区域2a邻接地设置的全部区域的正下方。另外，保管部4也可以不设置于非保管区域5，在该情况下，在装置口8周边的行驶轨道2上，能够抑制台车3产生交通堵塞。
保管部4通过组合相互邻接的多个支架单元40而构成。各支架单元40被设置为，具有用于载放FOUP9的载放部件51(详细情况将后述)，载放部件51位于由相互相邻的一对第1轨道21与相互相邻的一对第2轨道22包围的区域(开口区域)的正下方。各支架单元40与邻接地排列设置在一条第1轨道21或者第2轨道22的两侧的多个第3开口区域2c相对应地安装。在各载放部件51上形成有多个载放FOUP9的部分即载放部50。多个支架单元40中的至少一个被设置为，在载放部件51上多个载放部50以排列成1列的方式形成，多个载放部50排列成1列的方向与第1方向D1或者第2方向D2平行。即，各支架单元40与在第1方向D1或者第2方向D2中的任一方向上排列成1列的多个第3开口区域2c相对应。相对于各支架单元40，经由对应的多个第3开口区域2c分别进行FOUP9的交接。作为一例，在保管系统1中，各支架单元40与在第2方向D2上排列成1列的3个第3开口区域2c对应。
通过将第1轨道21以及第2轨道22中的至少一方局部地间隔剔除，由此形成第1开口区域2a。各第1开口区域2a具有与多个第2开口区域2b以及第3开口区域2c对应的大小。作为一例，在保管系统1中，第1开口区域2a是在第1方向D1上排列成1列的多个装置口8正上方的区域。
[行驶轨道以及支架单元的构成]
如图3、图4以及图5所示，第1轨道21由以腹板部23成为纵向的方式配置的H形钢材形成。设置于腹板部23的下端的凸缘部24的上表面，是台车3的行驶部31所具有的4个车轮36的行驶面24a。第2轨道22具有与第1轨道21相同的构成。在行驶部31位于第2开口区域2b或者第3开口区域2c正上方的情况下，4个车轮36位于由在第2方向D2上相互相对的一对行驶面24a(第1轨道21的行驶面24a)以及在第1方向D1上相互相对的一对行驶面24a(第2轨道22的行驶面24a)形成的4处的交叉部分。行驶部31通过在4个车轮36位于4处的交叉部分时一齐地进行方向转换，由此在第1方向D1与第2方向D2之间进行方向转换。
支架单元40具有载放部件51、多个支承部件42以及多个加强部件43。如上所述，载放部件51是用于载放FOUP9的部件。载放部件51例如是相互隔开间隔地设置的一对梁状部件41。一对梁状部件41为，在沿着第1方向D1或者第2方向D2中的任一方向排列成1列的多个第3开口区域2c的下侧，沿着该方向延伸。一对梁状部件41相互平行地配置在同一水平面上。即，一对梁状部件41水平地排列设置。
各支承部件42是用于支承载放部件51的部件。各支承部件42从一对梁状部件41各自的两端部朝上侧延伸。各支承部件42的上端部能够拆装地安装于第1轨道21或者第2轨道22。换言之，各支承部件42从行驶轨道2能够拆装地悬吊。即，支架单元40在第3开口区域2c的下侧从行驶轨道2悬吊，能够相对于行驶轨道2拆装。作为一例，在保管系统1中，一对梁状部件41为，在沿着第2方向D2排列成1列的3个第3开口区域2c的下侧，沿着第2方向D2延伸，各支承部件42的上端部能够拆装地安装于第1轨道21。
多个加强部件43将与一对梁状部件41各自中的相同侧的端部连接的一对支承部件42彼此、在它们的下端部彼此相互连结。由此，抑制各支承部件42的姿势变化。
对支架单元40相对于第1轨道21或者第2轨道22的安装构造更具体地进行说明。在第1轨道21以及第2轨道22各自的凸缘部24的下表面，通过螺栓等能够拆装地固定有多个托架25。多个托架25以与第3开口区域2c对应的间距配置。在设置于第1轨道21的各托架25上，能够通过螺栓安装具有在第2方向D2上延伸的一对梁状部件41且在第2方向D2上相互邻接的一对支架单元40中的、一侧的支架单元40中的另一侧的支承部件42的上端部、以及另一侧的支架单元40中的一侧的支承部件42的上端部。在设置于第2轨道22的各托架25上，能够通过螺栓安装具有在第1方向D1上延伸的一对梁状部件41且在第1方向D1上相互邻接的一对支架单元40中的、一侧的支架单元40中的另一侧的支承部件42的上端部、以及另一侧的支架单元40中的一侧的支承部件42的上端部。因此，通过上述构成，能够相对于第1轨道21以及第2轨道22各自的凸缘部24的下表面拆装托架25，由此能够使支架单元40相对于该凸缘部24进行拆装。
[支架单元的载放面的位置关系]
如图3、图4以及图5所示，在支架单元40所具有的一对梁状部件41上，分别经由该支架单元40所对应的多个第3开口区域2c而载放多个FOUP9。在梁状部件41等的载放部件51上形成有载放FOUP9的部分即载放部50，该载放部50的上表面被设为载放面40a。因而，在从铅垂方向观察的情况下，载放于载放面40a的FOUP9位于第3开口区域2c内。在一对梁状部件41的上表面上，设置有用于将各FOUP9相对于支架单元40进行定位的多个(在此处为3个)定位销(定位部)44。定位销44也被称作运动销，通过与设置于FOUP9的底面的凹部嵌合，由此限制各FOUP9相对于支架单元40移动。
支架单元40构成为，在从水平方向观察的情况下，载放于载放面40a的FOUP9与第1轨道21以及第2轨道22重叠。载放面40a与第1轨道21之间的空间以及载放面40a与第2轨道22之间的空间，分别具有FOUP9无法通过的大小。此外，支架单元40构成为，载放于载放面40a的FOUP9的上端位于比在其正上方行驶的台车3的行驶部31所具有的主体部37的下端靠下侧的位置。进而，支架单元40构成为，载放于载放面40a的FOUP9的上端位于比行驶轨道2的行驶面24a靠上侧的位置。
[保管系统中的台车的动作例]
如图2所示，对于行驶轨道2设定有第1停止区域20a以及第2停止区域(邻接区域)20b。第1停止区域20a是行驶轨道2中与保管区域6正上方的多个第3开口区域2c对应的部分。第2停止区域20b是行驶轨道2中与在非保管区域5中与多个第1开口区域2a分别邻接的多个第2开口区域2b对应的部分。如此，第1停止区域20a与第2停止区域20b不重叠。
此外，在第1停止区域20a的下侧设置有保管部4，但在第2停止区域20b的下侧未设置保管部4。在第2开口区域2b的下侧(例如，正下方的区域)，设置有以悬吊的方式相对于行驶轨道2安装的作业用的脚手架7。
作为一例，在保管系统1中，第1开口区域2a在第1方向D1上延伸，第2停止区域20b是在第2方向D2上的第1开口区域2a的两侧与在第1方向D1上排列成1列的多个第2开口区域2b对应的部分。并且，台车3在使移载部32从行驶部31沿着第1方向D1突出了的状态下，朝第1方向D1以及第2方向D2的各个方向行驶。以下，对该情况下的台车3的动作例进行说明。
在经由规定的第3开口区域2c相对于规定的支架单元40进行FOUP9的交接的情况下，在使移载部32从行驶部31沿着第1方向D1突出了的状态下，行驶部31停止在第1停止区域20a，以使移载部32位于该规定的第3开口区域2c上。在该状态下，台车3使移载部32的保持部32a升降，由此经由规定的第3开口区域2c相对于规定的支架单元40进行FOUP9的交接。
在该情况下，在行驶部31停止在第2停止区域20b的状态下，台车3不经由第3开口区域2c相对于支架单元40进行FOUP9的交接。换言之，在台车3使移载部32位于第3开口区域2c上的状态下，经由第3开口区域2c相对于支架单元40进行FOUP9的交接时的行驶部31的停止位置，被决定在除了第2开口区域2b的正上方以外的位置。
此外，台车3也可以如以下那样经由规定的第3开口区域2c相对于规定的支架单元40进行FOUP9的交接。即，台车3使行驶部31停止在与在保管区域6中相互邻接的一对第3开口区域2c中的一方的第3开口区域2c对应的部分，使移载部32位于另一方的第3开口区域2c上。在该状态下，台车3也可以经由另一方的第3开口区域2c相对于规定的支架单元40进行FOUP9的交接。
另外，台车3不经由第1开口区域2a以及第2开口区域2b相对于支架单元40进行FOUP9的交接。
在经由规定的第1开口区域2a相对于规定的装置口8进行FOUP9的交接的情况下，在使移载部32从行驶部31沿着第2方向D2突出了的状态下，行驶部31停止在与第2停止区域20b对应的部分，以使移载部32位于该装置口8正上方的该第1开口区域2a上。在该状态下，台车3通过使移载部32的保持部32a升降，由此经由该第1开口区域2a相对于该装置口8进行FOUP9的交接。另外，在第1开口区域2a中，在装置口8位于从与由多个第1轨道21以及多个第2轨道22构成的格子对应的部分偏移了的部分的正下方的情况(即，装置口8位于遍及与相互邻接的两个格子对应的各部分的部分的正下方的情况)下，在第2开口区域2b中，行驶部31停止在从与格子对应的部分偏移了的部分(即，行驶部31停止在遍及与相互邻接的两个格子对应的各部分的部分)，在该状态下，台车3也可以相对于该装置口8进行FOUP9的交接。
[作用以及效果]
如以上说明的那样，在保管系统1中，构成保管部4的各支架单元40被设置为，作为载放FOUP9的载放部件51的梁状部件41位于第3开口区域2c的正下方。因此，能够适当组合多个支架单元40而构成所希望的形状的保管部4，与保管部4的整体由单一的支架构成的情况相比较，能够提高保管部4的设置的自由度。
在保管系统1中，各支架单元包括支承载放部件51的支承部件42，支承部件42从行驶轨道2能够拆装地悬吊。因此，能够将载放部件51容易地配置在适当的高度。
在保管系统1中，多个支架单元40中的至少一个被设置为，在载放部件51中载放FOUP9的多个载放部50以排列成1列的方式形成，且多个载放部50排列成1列的方向与第1方向D1或者第2方向D2平行。因此，与以全部的支架单元40分别与配置为矩阵状(即，以在第1方向D1以及第2方向D2的两个方向上各排列多列的方式配置)的多个第3开口区域2c对应的方式构成的情况相比较，能够抑制保管部4的设置的自由度降低。例如，在想要仅将与1列第3开口区域2c相当的量的支架单元40去除的情况下特别有效。
在保管系统1中，由相互相邻的一对第1轨道21与相互相邻的一对第2轨道22包围的各区域，形成具有FOUP9能够沿着上下方向通过的大小的开口区域，台车3以在比行驶轨道2靠上侧保持了FOUP9的状态行驶，并经由第3开口区域2c相对于载放部件51进行FOUP9的交接。因此，即使在台车3在行驶轨道2的上侧行驶的情况下，也能够良好地发挥提高保管部4的设置自由度这样的作用以及效果。
如后述的第2实施方式所示，在台车3A以在比行驶轨道2A靠下侧保持了FOUP9的状态行驶的保管系统1A中，需要在行驶轨道2A上形成狭缝S1、S2(参照图6以及图7)。另一方面，如第1实施方式所示，在台车3以在比行驶轨道2靠上侧保持了FOUP9的状态行驶的保管系统1中，无需在行驶轨道2上设置狭缝，在台车3行驶时各车轮36不会落入狭缝。因此，与第2实施方式的保管系统1A相比较，能够抑制台车3行驶时的振动。
在保管系统1中，载放部件51是相互隔开间隔地设置的一对梁状部件41。因此，由于在一对梁状部件41上载放FOUP9，因此例如与在平板状的部件上载放FOUP9的情况相比较，能够抑制气流被支架单元40妨碍。尤其是，当在无尘室内使用该保管系统1的情况下，能够抑制用于将无尘室内保持为清洁状态的上下方向的气流被妨碍。
[第2实施方式]
[保管系统的构成]
如图6以及图7所示，保管系统1A与上述保管系统1的主要不同在于，行驶轨道2A、台车3A以及支架单元40A的构成。行驶轨道2A具有多个第1轨道部件61、多个第2轨道部件62以及多个交叉轨道部件63。各第1轨道部件61在第1方向D1上直线状地延伸。各第1轨道部件61形成多个列，该列沿着第1方向D1以规定间隔配置有多个第1轨道部件61。这些第1轨道部件61的各列在第2方向D2上排列。各第2轨道部件62在第2方向D2上直线状地延伸。各第2轨道部件62形成多个列，该列沿着第2方向D2以规定间隔配置多个第2轨道部件62。这些第2轨道部件62的各列在第1方向D1上排列。第1轨道部件61的列中的相互相邻的第1轨道部件61彼此之间的间隙与第2轨道部件62的列中的相互相邻的第2轨道部件62彼此之间的间隙共通。
各交叉轨道部件63配置在第1轨道部件61的列中的相互相邻的第1轨道部件61彼此之间的间隙(即，第2轨道部件62的列中的相互相邻的第2轨道部件62彼此之间的间隙)。在第1方向D1上，在各交叉轨道部件63与其两侧的各第1轨道部件61的端部之间形成有狭缝(空隙)S1。在第2方向D2上，在各交叉轨道部件63与其两侧的各第2轨道部件62的端部之间形成有狭缝(空隙)S2。狭缝S1、S2形成为，具有对于台车3A的各车轮36的直径来说足够小的宽度。第1轨道部件61、第2轨道部件62以及交叉轨道部件63分别例如从顶棚悬吊。
沿着第1方向D1配置的多个第1轨道部件61以及多个交叉轨道部件63构成第1轨道21A。沿着第2方向D2配置的多个第2轨道部件62以及多个交叉轨道部件63构成第2轨道22A。即，交叉轨道部件63兼作为第1轨道21A与第2轨道22A，构成第1轨道21A与第2轨道22A的交叉部分。行驶轨道2A纵横地形成有多个由相互相邻的一对第1轨道21A与相互相邻的一对第2轨道22A包围的区域。
台车3A具有行驶部31A以及移载部32。行驶部31A包括主体部37A、4个车轮36A以及车轮支承臂38A。各车轮36A能够旋转地支承于以从主体部37A朝上方突出的方式设置的车轮支承臂38A，并在行驶轨道2A的行驶面24a上滚动。即，主体部37A以及移载部32从位于行驶轨道2A上的各车轮36A经由车轮支承臂38A而悬吊于比行驶轨道2A靠下侧。另外，关于移载部32，与第1实施方式的台车3所具有的移载部32同样地构成，因此在此处省略说明。
各支架单元40A具有载放部件51A、两对支承部件42A、以及将各对支承部件42A的下端部彼此连接的两个连接部件43A。图6以及图7所示的支架单元40A构成为，与由相互相邻的一对第1轨道21A与相互相邻的一对第2轨道22A包围的区域中的一个区域对应。
载放部件51A被设置于如下的高度：在其上表面载放有FOUP9的状态下，台车3A能够不与该FOUP9干涉地在该FOUP9的上方行驶。载放部件51A是架设在两个连接部件43A之间的一对梁状部件41A。在梁状部件41A的载放部50A的上表面上设置有多个(在此处为3个)定位销44A。
各支承部件42A从交叉轨道部件63能够拆装地悬吊。相对于一个交叉轨道部件63例如各设置有4个支承部件42A，这些各支承部件42A分别支承设置在该交叉轨道部件63的四方的各支架单元40A的载放部件51A。作为一例，在交叉轨道部件63的下侧设置有托架65。在托架65上，在与各支承部件42A的上端部对应的位置形成有贯通孔。在各支承部件42A的上端部，沿着轴心方向形成有螺纹孔。插通于托架65的各贯通孔的螺栓66紧固于各支承部件42A的螺纹孔，由此将各支架单元40A固定于交叉轨道部件63。通过从贯通孔拆卸各螺栓66，由此从交叉轨道部件63拆卸各支架单元40A。另外，使支架单元40A相对于行驶轨道2A能够拆装的构成并不限定于上述。例如，也可以通过在托架65上设置被卡止部、在各支承部件42A的上端部设置卡止部，并将各支承部件42A相对于托架65卡止这样的简单构成，将支架单元40A安装于行驶轨道2A。或者，也可以在交叉轨道部件63上设置被卡止部，将各支承部件42A相对于交叉轨道部件63直接卡止。此外，设置于同一交叉轨道部件63的多个支承部件42A也可以由多个支架单元40A共用。
另外，如图8以及图9所示，支架单元40A也可以构成为，与由相互相邻的一对第1轨道21A和相互相邻的一对第2轨道22A包围的区域排列多个而成的区域对应。例如，支架单元40A也可以构成为，与在第1方向D1或者第2方向D2中的任一方向上排列成1列的多个上述区域对应。作为一例，图8以及图9所示的支架单元40A构成为，与在第2方向D2上排列成1列的两个上述区域对应。
[台车的动作]
在如以上那样构成的保管系统1A中，如图6所示，台车3A在通过移载部32在比行驶轨道2A靠下侧保持了FOUP9的状态下，通过行驶部31A以使该FOUP9在多个支承部件42A之间通过的方式行驶。此时，由于狭缝S1、S2形成为具有对于台车3A的各车轮36A的直径来说足够小的宽度，因此在台车3A沿着第1方向D1行驶的情况下，各车轮36A能够在狭缝S1上通过，在台车3A沿着第2方向D2行驶的情况下，各车轮36A能够在狭缝S2上通过。
此外，在各车轮36A沿着第1方向D1通过交叉轨道部件63的情况下，支承该车轮36A的车轮支承臂38A在狭缝S2中通过，另一方面，在各车轮36A沿着第2方向D2通过交叉轨道部件63的情况下，支承该车轮36A的车轮支承臂38A在狭缝S1中通过。因而，台车3A能够不与行驶轨道2A干涉地在行驶轨道2A上行驶。
此外，各支承部件42A从交叉轨道部件63悬吊，且台车3A不在交叉轨道部件63的正下方行驶，因此各支承部件42A与台车3A不会发生干涉。因而，台车3A能够不与支架单元40A干涉地在行驶轨道2A上行驶。
另外，台车3A为，由于移载部32位于比行驶轨道2A靠下侧的位置，因此不通过由相互相邻的一对第1轨道21A与相互相邻的一对第2轨道22A包围的区域，而相对于支架单元40A进行FOUP9的交接。
[作用以及效果]
如以上说明的那样，在保管系统1A中，各支承部件42A从第1轨道21A与第2轨道22A的交叉部分即交叉轨道部件63悬吊。并且，台车3A以在比行驶轨道2A靠下侧保持了FOUP9的状态，使该FOUP9在多个支承部件42A之间通过地行驶。因此，即使在台车3A在行驶轨道2A的下侧行驶的情况下，也能够良好地发挥提高保管部4的设置自由度这样的作用以及效果。
如上述第1实施方式所示，在台车3以在比行驶轨道2靠上侧保持了FOUP9的状态行驶的保管系统1中，需要在半导体制造工厂的顶棚与行驶轨道2之间，确保保持于台车3的FOUP9能够移动的程度的上下方向的空间(参照图3)。另一方面，如第2实施方式所示，在台车3A以在比行驶轨道2A靠下侧保持了FOUP9的状态行驶的保管系统1A中，无需确保这样的空间，与第1实施方式的保管系统1相比较，能够将行驶轨道2A设置在接近半导体制造工厂的顶棚的位置。即，能够在比第1实施方式的行驶轨道2高的位置设置行驶轨道2A。由此，对于在行驶轨道2A中未设置支架单元40A的位置，能够将高度比较高的半导体处理装置10(例如，高度高于第1实施方式的行驶轨道2的设置高度的半导体处理装置10)设置在行驶轨道2A的下方。
此外，如上述第1实施方式所示，在保管系统1中，为了使台车3相对于比行驶轨道2靠下方的装置口8进行FOUP9的交接，需要使FOUP9在形成于行驶轨道2的第1开口区域2a中通过。因此，存在必须使行驶轨道2中的第1开口区域2a的位置与配置在其下方的装置口8的布局相匹配的限制。另一方面，在第2实施方式的保管系统1A中，不存在这样的限制，因此能够与配置在行驶轨道2A下方的装置口8的布局无关，而自由地设置行驶轨道2A。换言之，能够提高配置在行驶轨道2A下方的装置口8的布局的自由度。
[变形例]
以上，对本发明的第1实施方式以及第2实施方式进行了说明，但本发明并不限定于上述第1实施方式以及第2实施方式。例如，在第1实施方式中，各支架单元40只要构成为与至少一个第3开口区域2c对应即可，也可以构成为全部支架单元40分别与一个第3开口区域2c对应。即，在各载放部件51上也可以仅形成有一个载放FOUP9的部分即载放部50。
此外，在第1实施方式中，在构成为多个支架单元40中的至少一个与多个第3开口区域2c对应的情况下，也可以不构成为任意的支架单元40都与在第1方向D1或者第2方向D2上排列成1列的多个第3开口区域2c对应。即，只要构成为对于一个行驶轨道2设置的多个支架单元40中的至少一个与多个第3开口区域2c对应，则也可以构成为，以与该多个第3开口区域2c对应的方式构成的全部支架单元40分别与在第1方向D1以及第2方向D2上以m×n(m、n为2以上的整数)呈矩阵状排列的多个第1开口区域2a对应。在该情况下，可以是m＝n，也可以是m＜n或者m＞n。另外，所谓一个行驶轨道2是指构成各台车3能够通过其行驶部31而单独地行驶的范围的行驶轨道2。
此外，在第1实施方式以及第2实施方式中，多个第1轨道21、21A以及多个第2轨道22、22A并不限定于同一水平面上，例如，也可以配置在倾斜的同一平面上。此外，保管系统1、1A也可以不具有多个台车3、3A，也可以仅具有1台。
此外，在第1实施方式中，台车3的突出部33也可以使移载部32从行驶部31朝第1方向D1或者第2方向D2中的任意方向突出。即，突出部33只要使移载部32从行驶部31朝第1方向D1以及第2方向D2中的至少一个方向突出即可。例如，突出部33也可以包括使移载部32进退的滑动机构，通过该滑动机构，使移载部32从行驶部31朝第1方向D1或者第2方向D2中的任意方向突出，或者，突出部33也可以包括摆动机构，该摆动机构使从行驶部31沿着水平方向延伸的臂围绕行驶部31上的中心轴转动，而使在该臂的前端侧保持的移载部32回转，通过该摆动机构，使移载部32从行驶部31朝第1方向D1或者第2方向D2中的任意方向突出。此外，突出部33也可以保持使移载部32从行驶部31朝第1方向D1或者第2方向D2的任意方向始终突出的状态。
此外，在第1实施方式中，也可以在第2停止区域20b的下侧设置支架单元40、40A，在该情况下，台车3、3A在行驶部31、31A停止在与第2停止区域20b对应的部分的状态下，不相对于支架单元40、40A进行FOUP9的交接。
此外，在第1实施方式以及第2实施方式中，相互邻接地设置的多个(例如为两个)支架单元40、40A，也可以共有相互邻接一侧的支承部件42、42A。即，例如在第2实施方式中，也可以从交叉轨道部件63悬吊一个(单一)支承部件42A，该支承部件42A由多个支架单元40A共有。
此外，本发明的一个方式的保管系统所保管的物品，并不限定于收纳有多个半导体晶片的FOUP9，也可以是收纳有玻璃晶片、中间掩膜等的其他容器。此外，本发明的一个方式的保管系统并不限定于应用于半导体制造工厂，也能够应用于其他设施。
产业上的可利用性
根据本发明的一个方式，能够提供能够提高保管部的设置自由度的保管系统。
符号的说明
1、1A：保管系统；2、2A：行驶轨道；2a：第1开口区域(区域、开口区域)；2b：第2开口区域(区域、开口区域)；2c：第3开口区域(区域、开口区域)；3、3A：台车；4：保管部；9：FOUP(物品)；21、21A：第1轨道；22、22A：第2轨道；31、31A：行驶部；32：移载部；40、40A：支架单元；41、41A：梁状部件；42、42A：支承部件；50、50A：载放部；51、51A：载放部件；D1：第1方向；D2：第2方向。

Claims (6)

1.一种保管系统，具备：
行驶轨道，具有沿着第1方向延伸的多个第1轨道以及沿着与上述第1方向正交的第2方向延伸的多个第2轨道，多个上述第1轨道以及多个上述第2轨道呈格子状配置在同一平面上，由此纵横地形成多个由相互相邻的一对上述第1轨道与相互相邻的一对上述第2轨道包围的区域；
台车，具有在上述行驶轨道上沿着上述第1方向以及上述第2方向的各个方向行驶的行驶部、以及进行物品的保持以及升降的移载部；以及
保管部，设置在上述行驶轨道的下侧，并载放上述物品，
上述台车相对于上述保管部进行上述物品的交接，
上述保管部具有相互邻接的多个支架单元，
多个上述支架单元分别被设置为，包括载放上述物品的载放部件，并且上述载放部件位于上述区域的正下方，且多个上述支架单元分别能够相对于上述行驶轨道进行拆装。
2.如权利要求1所述的保管系统，其中，
多个上述支架单元分别包括支承部件，该支承部件从上述行驶轨道能够拆装地悬吊，且支承上述载放部件。
3.如权利要求2所述的保管系统，其中，
多个上述支架单元中的至少一个被设置为，在上述载放部件中载放上述物品的多个载放部以排列成1列的方式形成，多个上述载放部排列成1列的方向与上述第1方向或者上述第2方向平行。
4.如权利要求1至3中任一项所述的保管系统，其中，
多个上述区域分别形成具有上述物品能够沿着上下方向通过的大小的开口区域，
上述台车为，
将上述物品保持在比上述行驶轨道靠上侧地行驶，
经由上述开口区域相对于上述载放部件进行上述物品的交接。
5.如权利要求2或3所述的保管系统，其中，
多个上述支承部件分别从上述第1轨道与上述第2轨道的交叉部分悬吊，
上述台车在比上述行驶轨道靠下侧保持了上述物品的状态下，使该物品在多个上述支承部件之间通过地行驶。
6.如权利要求1至5中任一项所述的保管系统，其中，
上述载放部件是相互隔开间隔地设置的一对梁状部件。
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