TWI836140B - 搬運系統及保管部 - Google Patents

搬運系統及保管部 Download PDF

Info

Publication number
TWI836140B
TWI836140B TW109131819A TW109131819A TWI836140B TW I836140 B TWI836140 B TW I836140B TW 109131819 A TW109131819 A TW 109131819A TW 109131819 A TW109131819 A TW 109131819A TW I836140 B TWI836140 B TW I836140B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
frame
scaffolding
grid
rail
aforementioned
Prior art date
Application number
TW109131819A
Other languages
English (en)
Other versions
TW202116589A (zh
Inventor
田欽也
Original Assignee
日商村田機械股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日商村田機械股份有限公司 filed Critical 日商村田機械股份有限公司
Publication of TW202116589A publication Critical patent/TW202116589A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI836140B publication Critical patent/TWI836140B/zh

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/0457—Storage devices mechanical with suspended load carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67769—Storage means
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B61—RAILWAYS
    • B61B—RAILWAY SYSTEMS; EQUIPMENT THEREFOR NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B61B3/00—Elevated railway systems with suspended vehicles
    • B61B3/02—Elevated railway systems with suspended vehicles with self-propelled vehicles
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/0492—Storage devices mechanical with cars adapted to travel in storage aisles
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Transportation (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Carriers, Traveling Bodies, And Overhead Traveling Cranes (AREA)
  • Forklifts And Lifting Vehicles (AREA)

Abstract

為了提供一種搬運系統，在設置成從格子狀軌道垂下之物品的保管部，可讓作業者輕易地到達高架搬運車、格子狀軌道及物品等來進行維修。 一種搬運系統，係具備格子狀軌道、高架搬運車、懸吊構件以及框架，格子狀軌道具有朝第1方向延伸之複數條第1軌道及朝與第1方向不同的第2方向延伸且與第1軌道交叉之複數條第2軌道，並藉由複數條第1軌道和複數條第2軌道來形成複數個方格；高架搬運車是沿著格子狀軌道行走；懸吊構件是從格子狀軌道被懸吊；框架是俯視下包圍至少1個方格且設置於懸吊構件的下部；在框架之方格的下方設置：藉由高架搬運車載置物品之載置部、及成為可供作業者步行的通路之鷹架部。

Description

搬運系統及保管部
本發明是關於搬運系統及保管部。
在半導體製造工廠等的製造工廠是使用搬運系統，該搬運系統是將收容例如半導體晶圓或光柵(reticle)之搬運容器(前開式晶圓傳送盒(FOUP)、光柵盒)等的物品藉由行走車進行搬運。作為該搬運系統，讓保持物品之行走車沿著鋪設於頂棚的軌道行走的系統是已知的。為了使行走車的行走路線多樣化，將軌道呈格子狀配置而讓行走車縱橫行走的構成已被提出。
在讓行走車縱橫行走的搬運系統中，將行走車的主體部配置於軌道的上方，且將收容物品之收容部設置於主體部，在對軌道的下方之既定位置交接物品的情況，必須讓物品通過沒有軌道的地方或軌道和軌道之間來讓物品升降，因此物品的交接位置被限制。於是，讓行走車以將物品保持於軌道的下側之狀態沿著格子狀的軌道縱橫行走之搬運系統被提出(參照專利文獻1)。
像專利文獻1的搬運系統那樣讓行走車以將物品保持於軌道的下側之狀態行走的系統，行走車輪配置於軌道的上方，物品的收容部及行走車的主體部配置於軌道的下方。因此，連結行走車輪和收容部(或主體部)之連結構件成為橫跨軌道的上下而設置的構成。要在格子狀的軌道實現該構成的情況，在軌道的交叉部，必須有用於容許連結構件的通過之間隙(狹縫)。在專利文獻1的搬運系統，是在軌道的交叉部設置間隙，且具有將交叉部的軌道用間隙分隔之連接軌道。 [先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]國際公開(WO)第2018/037762號
[發明所欲解決之問題]
為了將上述那樣的讓主體部等從格子狀軌道垂下之行走車進行維修，必須使用高空作業車等。在上述搬運系統中，基於讓搬運效率提高等的目的，會有設置可載置並保管複數個物品之保管部的情況。保管部，例如為了有效地活用空間，是從格子狀軌道垂下而設置於高空。當位於設置於高空之保管部的內側區域之行走車、軌道等必須進行維修的情況，因為存在構成保管部之框架(frame)等的構造，無法將高空作業車搬入。為了將高空作業車搬入上述的保管部，將框架卸下等的作業變得必要，費事且費時。每當要將高空作業車搬入就卸下框架是煩雜的。
本發明的目的是為了提供一種搬運系統，在設置成從格子狀軌道垂下之物品的保管部中，讓作業者可輕易地到達高架搬運車、格子狀軌道及物品等而進行維修。 [解決問題之技術手段]
本發明的態樣之搬運系統，係具備格子狀軌道、高架搬運車、懸吊構件以及框架，格子狀軌道具有朝第1方向延伸之複數條第1軌道及朝與第1方向不同的第2方向延伸且與第1軌道交叉之複數條第2軌道，並藉由複數條第1軌道和複數條第2軌道來形成複數個方格；高架搬運車是沿著格子狀軌道行走；懸吊構件是從格子狀軌道被懸吊；框架是俯視下包圍至少1個方格且設置於懸吊構件的下部；在框架之方格的下方設置：藉由高架搬運車載置物品之載置部、及成為可供作業者步行的通路之鷹架部。
此外可構成為，框架形成為俯視下包圍複數個方格，鷹架部以俯視下橫跨複數個方格的方式形成於框架的內側。此外可構成為，高架搬運車以使主體部從格子狀軌道垂下的狀態行走，懸吊構件設置成從格子狀軌道之第1軌道和第2軌道的交叉部垂下。此外可構成為，在鷹架部的兩側設置載置部。此外可構成為，鷹架部以俯視下橫跨複數個方格的方式縱橫地形成。此外可構成為，鷹架部是俯視下從框架的外緣一直設置到中央部。此外可構成為，框架是配置成互相鄰接之複數個框架單體的集合體，相鄰的框架單體彼此之鷹架部形成為互相鄰接。此外可構成為，載置部是在框架單體設置複數個，複數個載置部的數量比俯視下框架單體所包圍的方格的數量更多。此外可構成為，複數個載置部，俯視下在框架單體之既定區域集中設置，鷹架部設置在框架單體之既定區域以外的區域。
此外可構成為，框架單體，作為鷹架部係具備：以水平方向中之第1方向為長邊之長條狀的第1鷹架部、及以第2方向為長邊之長條狀的第2鷹架部。此外可構成為，第1鷹架部的通路寬度比載置部之第2方向的長度短，第2鷹架部的通路寬度比載置部之第1方向的長度短。此外可構成為，第1鷹架部及第2鷹架部分別設置成，使兩端部延伸到框架的外緣附近。
本發明的態樣之保管部，係在搬運系統中用於保管物品之保管部，搬運系統具備格子狀軌道及高架搬運車，格子狀軌道具有朝第1方向延伸之複數條第1軌道及朝與第1方向不同的第2方向延伸且與第1軌道交叉之複數條第2軌道，並藉由複數條第1軌道和複數條第2軌道來形成複數個方格；高架搬運車是沿著格子狀軌道行走，保管部係具備：從格子狀軌道被懸吊之懸吊構件、及俯視下包圍至少1個方格且設置於懸吊構件的下部之框架，在框架之方格的下方設置：藉由高架搬運車載置物品之載置部、及成為可供作業者步行的通路之鷹架部。 [發明之效果]
依據上述態樣的搬運系統及保管部，在設置成從格子狀軌道垂下之物品的保管部中，讓作業者可輕易地到達高架搬運車、格子狀軌道、及物品等而進行維修。
此外，框架形成為俯視下包圍複數個方格，鷹架部以俯視下橫跨複數個方格的方式形成於框架的內側，依據此構成，可將藉由高架搬運車載置物品之保管部的空間擴大，且能讓作業者到達框架的內側之區域。此外，高架搬運車以主體部從格子狀軌道垂下的狀態行走，懸吊構件設置成從格子狀軌道之第1軌道和第2軌道的交叉部垂下，依據此構成，能以不阻礙高架搬運車的行走的方式配置懸吊構件，而設置框架。此外，在鷹架部的兩側設置載置部的構成，作業者可從鷹架部輕易地維修載置部。此外，鷹架部以俯視下橫跨複數個方格的方式縱橫地形成之構成，作業者可使用鷹架部而輕易地到達格子狀軌道的各部。此外，鷹架部是俯視下從框架的外緣一直設置到中央部的構成，作業者可使用鷹架部而輕易地到達框架的中央部。此外，框架是配置成互相鄰接之複數個框架單體的集合體，相鄰的框架單體彼此的鷹架部形成為互相鄰接，依據此構成，因為框架是以複數個框架單體之集合體的形式來形成，可確保框架的剛性。此外，因為複數個框架單體配置成互相鄰接，可將框架單體高密度地設置。此外，因為框架單體彼此的鷹架部形成為互相鄰接，作業者可輕易地轉移到相鄰的框架單體之鷹架部。此外，載置部是在框架單體的內側設置複數個，複數個載置部的數量比俯視下之框架單體所包圍的方格的數量更多，依據此構成，可將載置部高密度地設置。此外，複數個載置部，俯視下在框架單體的內側之既定區域集中設置，鷹架部設置在框架的內側之既定區域以外的區域，依據此構成，可將載置部高密度地設置，且可確保用於設置鷹架部之一整塊區域。
此外，框架單體，作為鷹架部係具備：以水平方向中的第1方向為長邊之長條狀的第1鷹架部、及以與第1方向正交之水平方向中的第2方向為長邊之長條狀的第2鷹架部，依據此構成，相較於鷹架部僅形成於1方向的構成，因為鷹架部形成於2方向，可在框架的內側有效地形成鷹架部。此外，第1鷹架部的通路寬度比載置部之第2方向的長度短，第2鷹架部的通路寬度比載置部之第1方向的長度短，依據此構成，在框架的內側無法設置載置部之長條狀的空間，可作為鷹架部來活用。此外，第1鷹架部及第2鷹架部分別設置成使兩端部延伸到框架的外緣附近的構成，可從框架的外部輕易地到達框架的內部之鷹架部。
以下，針對本發明的實施形態，參照圖式做說明。但本發明並不限定於以下所說明的形態。此外，圖式中，為了說明實施形態，是將一部分放大或強調記載等，適宜地改變比例尺來表現。以下各圖中，使用XYZ座標系統來說明圖中的方向。在該XYZ座標系統中，將與水平面平行的平面設為XY平面。將沿著該XY平面的一方向稱為X方向，將與X方向正交的方向稱為Y方向。又高架搬運車100的行走方向，可從以下所圖示的狀態改變成其他方向，例如也會有在曲線方向行走的情況。此外，與XY平面垂直的方向用Z方向表示。X方向、Y方向及Z方向都是，圖中箭頭所指的方向為+方向，與箭頭所指的方向相反的方向為-方向。此外，繞垂直軸或繞Z軸的迴旋方向用θZ方向表示。
[第1實施形態] 圖1係顯示第1實施形態之搬運系統SYS的一例之側視圖。又在圖1中箭頭所指的圖，是將交叉部R3放大的圖。圖2係圖1所示的搬運系統SYS所使用之高架搬運車100的立體圖。圖3係顯示本實施形態之高架搬運車100的一例之側視圖。如圖1所示般，高架搬運車100是沿著搬運系統SYS的軌道R移動，而搬運收容半導體晶圓之FOUP、或收容光柵之光柵盒等的物品M。
搬運系統SYS，是在例如半導體製造工廠的無塵室(clean room)中，將物品M藉由高架搬運車100搬運的系統。在搬運系統SYS中，高架搬運車100可使用例如複數台。藉由複數台高架搬運車100來搬運物品M，可進行高密度的搬運，能讓物品M的搬運效率提高。
軌道R是軌道的一形態。軌道R鋪設在無塵室等之建築物的頂棚或頂棚附近。軌道R是具有複數條第1軌道R1、複數條第2軌道R2及複數個交叉部R3之格子狀軌道。以下將軌道R稱為格子狀軌道R。複數條第1軌道R1分別沿著X方向(第1方向D1)延伸。複數條第1軌道R1分別配置成，使Y方向(第2方向D2)之第1軌道R1彼此的間隔GA1(軌距)成為大致一定。複數條第2軌道R2分別沿著與第1方向D1不同的第2方向D2延伸。複數條第2軌道R2分別配置成，使X方向(第1方向D1)之第2軌道R2彼此的間隔GA2(軌距)成為大致一定。複數條第2軌道R2分別與第1軌道R1交叉。格子狀軌道R，是藉由複數條第1軌道R1和複數條第2軌道R2而形成為俯視格子狀。格子狀軌道R是藉由複數條第1軌道R1和複數條第2軌道R2來形成複數個方格C。在本實施形態，第1方向D1與第2方向D2正交，複數條第1軌道R1和複數條第2軌道R2是沿著互相正交的方向設置，且設置成互相不直接交叉。交叉部R3配置於第1軌道R1和第2軌道R2的交叉部分。交叉部R3，對於第1軌道R1是在第1方向D1相鄰，且對於第2軌道R2是在第2方向D2相鄰。交叉部R3是進行第1軌道R1和第2軌道R2的連接、第1軌道R1彼此的連接及第2軌道R2彼此的連接之連接軌道。交叉部R3是在以下任一情況都會用到的軌道，這些情況包括：高架搬運車100沿著第1軌道R1行走時、高架搬運車100沿著第2軌道R2行走時、高架搬運車100從第1軌道R1往第2軌道R2行走時、高架搬運車100從第2軌道R2往第1軌道R1行走時。交叉部R3，在從+Z方向觀察時(俯視下)，是由矩形的板狀構件所形成，且分別設定於矩形的板狀構件之4個角部(角落部)(圖1中的影線部分)。格子狀軌道R，藉由將複數條第1軌道R1和複數條第2軌道R2沿著互相正交的方向設置，俯視下成為複數個方格C(方格(grid cell)，格子(cell))相鄰的狀態。1個方格C，如圖1所示般，在俯視下，是被在第2方向D2相鄰之2條第1軌道R1和在第1方向D1相鄰之2條第2軌道R2包圍的部分。又在圖1顯示格子狀軌道R的一部分，格子狀軌道R是從圖示的構成朝第1方向D1(X方向)及第2方向D2(Y方向)讓同樣的構成連續地形成。
第1軌道R1、第2軌道R2及交叉部R3，是藉由懸吊構件H(參照圖1)懸吊在未圖示的頂棚。懸吊構件H具有：用於懸吊第1軌道R1之第1部分H1、用於懸吊第2軌道R2之第2部分H2、以及用於懸吊交叉部R3之第3部分H3。第1部分H1及第2部分H2分別設置在隔著第3部分H3之兩處。
第1軌道R1、第2軌道R2及交叉部R3分別具有供高架搬運車100之後述的行走車輪21行走之行走面R1a、R2a、R3a。在1個第1軌道R1，沿著第1方向D1的行走面R1a是在第2方向D2並列設置2個。在1個第2軌道R2，沿著第2方向D2的行走面R2a是在第1方向D1並列設置2個。當高架搬運車100朝第1方向D1行走時，行走車輪21是在於第2方向D2鄰接配置之一對的第1軌道R1之行走面R1a上行走。當高架搬運車100朝第2方向D2行走時，行走車輪21是在於第1方向D1鄰接配置之一對的第2軌道R2之行走面R2a上行走。鄰接配置之一對的第1軌道R1之軌距GA1和鄰接配置之一對的第2軌道R2之軌距GA2設定成大致相同。在第1軌道R1和交叉部R3之間形成有第1間隙GP1。此外，在第2軌道R2和交叉部R3之間形成有第2間隙GP2。當高架搬運車100在第2軌道R2行走而穿越第1軌道R1時，第1間隙GP1是讓高架搬運車100的一部分、即後述的連結部30通過的部分。當高架搬運車100在第1軌道R1行走而穿越第2軌道R2時，第2間隙GP2是讓高架搬運車100的連結部30通過的部分。因此，第1間隙GP1及第2間隙GP2(總稱為間隙GP)分別設定成可讓高架搬運車100的連結部30通過的寬度。第1軌道R1、第2軌道R2及交叉部R3是沿著相同或大致相同的水平面設置。在本實施形態中，第1軌道R1、第2軌道R2及交叉部R3，是將行走面R1a、R2a、R3a配置在相同或大致相同的水平面上。
格子狀軌道R具有第1引導面G1及第2引導面G2。第1引導面G1是沿著第1軌道R1設置。在本實施形態，第1引導面G1設置在第1軌道R1的側面。第2引導面G2是沿著第2軌道設置。在本實施形態，第2引導面G2設置在第2軌道R2的側面。
此外，交叉部R3具有第1連接引導面G3a、第2連接引導面G3b及連續面G3c。在本實施形態，第1連接引導面G3a設置在與第1引導面G1相同的高度(包含大致相同的高度)且相同方向(包含大致相同的方向)。亦即，第1連接引導面G3a和第1引導面G1包含於同一平面。第2連接引導面G3b設置在與第2引導面G2相同的高度(包含大致相同的高度)且相同方向(包含大致相同的方向)。亦即，第2連接引導面G3b和第2引導面G2包含於同一平面。連續面G3c形成為使第1連接引導面G3a和第2連接引導面G3b連續。連續面G3c是將第1連接引導面G3a和第2連接引導面G3b平滑地連接之曲面。
如圖2及圖3所示般，高架搬運車100具有：主體部10、行走部20、連結部30、控制部50(參照圖3)。控制部50總括控制高架搬運車100之各部的動作。控制部50設置於主體部10，但亦可設置在主體部10的外部。主體部10配置在格子狀軌道R的下方(-Z側)。高架搬運車100是以主體部10從格子狀軌道R垂下的狀態行走。主體部10形成為俯視例如矩形。主體部10形成為，俯視下可放進格子狀軌道R之1個方格C(參照圖1)內的尺寸。因此，可確保與在相鄰的第1軌道R1或第2軌道R2行走之其他高架搬運車100會車的空間。主體部10具備有上部單元17及移載裝置18。上部單元17是透過連結部30而從行走部20被懸吊。上部單元17例如俯視呈矩形，且在上表面17a具有4個角落部。
在主體部10之4個角落部分別設有行走車輪21、連結部30、方向轉換機構34。在此構成中，藉由配置於主體部10的4個角落部之行走車輪21，可將主體部10穩定地懸吊，且能讓主體部10穩定地行走。
移載裝置18設置於上部單元17的下方。移載裝置18可繞Z方向(鉛直方向)的旋轉軸AX1旋轉。移載裝置18具有：保持物品M之物品保持部13、讓物品保持部13在鉛直方向升降之升降驅動部14、讓升降驅動部14在水平方向滑動移動之橫移機構11、以及保持橫移機構11之轉動部12。物品保持部13，是藉由把持物品M的凸緣部Ma來將物品M懸吊保持。物品保持部13，例如是具有可在水平方向移動的爪部13a之夾頭，讓爪部13a進入物品M之凸緣部Ma的下方後，讓物品保持部13上升，藉此來保持物品M。物品保持部13連接於金屬絲(wire)或皮帶(belt)等的懸吊構件13b。
升降驅動部14是例如吊車(hoist)，藉由將懸吊構件13b放出而使物品保持部13下降，藉由將懸吊構件13b捲繞而使物品保持部13上升。藉由控制部50控制升降驅動部14，以既定的速度讓物品保持部13下降或上升。此外，藉由控制部50控制升降驅動部14，而將物品保持部13保持於目標的高度。
橫移機構11例如具有：在Z方向重疊配置之複數片可動板。可動板可在X方向相對移動。在最下層的可動板安裝升降驅動部14。橫移機構11，可藉由未圖示的驅動裝置讓可動板移動，而讓安裝於最下層的可動板之升降驅動部14及物品保持部13例如在與高架搬運車100的行走方向正交之水平方向橫移(滑動移動)。
轉動部12設置在橫移機構11和上部單元17之間。轉動部12具有轉動構件12a及轉動驅動部12b。轉動構件12a設置成可朝繞鉛直方向之軸的方向轉動。轉動構件12a支承橫移機構11。轉動驅動部12b是使用例如電動馬達等，用於讓轉動構件12a朝繞旋轉軸AX1之軸的方向轉動。轉動部12，可藉由來自轉動驅動部12b的驅動力讓轉動構件12a轉動，而讓橫移機構11(升降驅動部14及物品保持部13)朝繞旋轉軸AX1之軸的方向旋轉。
此外，如圖2所示般，以包圍移載裝置18及藉由移載裝置18保持之物品M的方式設置外罩W亦可。外罩W是下端開放的筒狀，且具有將讓橫移機構11的可動板突出的部分切除的形狀。外罩W，其上端安裝於轉動部12的轉動構件12a，可伴隨轉動構件12a的轉動而繞旋轉軸AX1之軸轉動。
行走部20具有行走車輪21及輔助車輪22。行走車輪21分別配置在上部單元17(主體部10)的上表面17a之4個角落部。行走車輪21分別安裝在設置於連結部30的車軸。車軸是沿著XY平面呈平行或大致平行地設置。行走車輪21分別藉由後述的行走驅動部33之驅動力進行旋轉驅動。行走車輪21分別在軌道R之第1軌道R1、第2軌道R2及交叉部R3的行走面R1a、R2a、R3a滾動，藉此讓高架搬運車100行走。又並不限定於4個行走車輪21全都藉由行走驅動部33的驅動力進行旋轉驅動，亦可構成為讓4個行走車輪21中的一部分旋轉驅動。
行走車輪21設置成能以迴旋軸AX2為中心而朝θZ方向迴旋。高架搬運車100，可藉由後述的方向轉換機構34朝θZ方向讓行走車輪21迴旋，藉此將行走方向變更。輔助車輪22是在行走車輪21之行走方向的前後分別配置1個。各輔助車輪22，是與行走車輪21同樣的，可繞沿著XY平面呈平行或大致平行的車軸之軸旋轉。輔助車輪22的下端設定成比行走車輪21的下端更高。因此，當行走車輪21在行走面R1a、R2a、R3a行走時，輔助車輪22不接觸行走面R1a、R2a、R3a。此外，當行走車輪21通過間隙GP(參照圖1)時，輔助車輪22與行走面R1a、R2a、R3a接觸，而抑制行走車輪21陷入。又並不限定為在1個行走車輪21設置2個輔助車輪22，例如在1個行走車輪21設置1個輔助車輪22亦可，不設置輔助車輪22亦可。
如圖3所示般，連結部30是將主體部10之上部單元17與行走部20連結。連結部30分別設置在上部單元17(主體部10)的上表面17a之4個角落部。藉由該連結部30，主體部10以從行走部20懸吊的狀態配置於比格子狀軌道R更下方。連結部30具有支承構件31、連接構件32。支承構件31是將行走車輪21的旋轉軸及輔助車輪22的旋轉軸可旋轉地支承。藉由支承構件31來保持行走車輪21和輔助車輪22的相對位置。支承構件31形成為例如板狀，且形成為可通過間隙GP(參照圖1)的厚度。
連接構件32是從支承構件31往下方延伸而連結於上部單元17的上表面17a，藉此保持上部單元17。連接構件32，是在內部具備：將後述的行走驅動部33之驅動力傳遞到行走車輪21之傳遞機構。該傳遞機構可為使用鏈條或皮帶的構成，亦可為使用齒輪系的構成。連接構件32設置成能以迴旋軸AX2為中心而朝θZ方向迴旋。使該連接構件32以迴旋軸AX2為中心進行迴旋，藉此可透過支承構件31讓行走車輪21朝繞迴旋軸AX2的θZ方向迴旋。
在連結部30(參照圖2)設置行走驅動部33及方向轉換機構34。行走驅動部33裝設於連接構件32。行走驅動部33是驅動行走車輪21的驅動源，是使用例如電動馬達等。4個行走車輪21分別是藉由行走驅動部33驅動的驅動輪。4個行走車輪21是以成為相同或大致相同的轉速的方式藉由控制部50進行控制。又當4個行走車輪21中之任一個不是作為驅動輪來使用的情況，不是作為驅動輪來使用之行走車輪21的連接構件32不裝設於行走驅動部33。
方向轉換機構34，是讓連結部30之連接構件32以迴旋軸AX2為中心進行迴旋，藉此讓行走車輪21朝繞迴旋軸AX2的θZ方向迴旋。藉由讓行走車輪21朝θZ方向迴旋，可從高架搬運車100的行走方向為第1方向D1之第1狀態切換成行走方向為第2方向D2之第2狀態，或從行走方向為第2方向D2之第2狀態切換成行走方向為第1方向D1的第1狀態。
方向轉換機構34具有：驅動源35、小齒輪36、齒條37。驅動源35安裝於行走驅動部33之遠離迴旋軸AX2的側面。驅動源35是使用例如電動馬達等。小齒輪36安裝在驅動源35的下表面側，藉由在驅動源35產生的驅動力來朝θZ方向進行旋轉驅動。小齒輪36，俯視呈圓形，且在外周的周方向具有複數個齒。齒條37固定在上部單元17的上表面17a。齒條37分別設置在上部單元17的上表面17a之4個角落部，且設置成以行走車輪21的迴旋軸AX2為中心之圓弧狀(扇形)。在齒條37之外周的周方向，具有與小齒輪36的齒嚙合之複數個齒。
小齒輪36及齒條37是以彼此的齒嚙合的狀態配置。藉由使小齒輪36朝θZ方向旋轉，以沿著齒條37之外周的方式讓小齒輪36以迴旋軸AX2為中心在圓周方向移動。藉由該小齒輪36的移動，使連接構件32迴旋，使行走驅動部33及方向轉換機構34與小齒輪36一起在以迴旋軸AX2為中心的圓周方向迴旋。
藉由方向轉換機構34的迴旋，使配置在上表面17a之4個角落部之行走車輪21及輔助車輪22分別以迴旋軸AX2為中心朝θZ方向以90度的範圍進行迴旋。方向轉換機構34的驅動是藉由控制部50控制。控制部50能以在同一時點進行4個行走車輪21的迴旋動作的方式做指示，也能以在不同時點進行的方式做指示。藉由讓行走車輪21及輔助車輪22迴旋，使行走車輪21從與第1軌道R1及第2軌道R2中的一方接觸的狀態轉移到與另一方接觸的狀態。換言之，使行走車輪21之旋轉軸的方向從設為第1方向D1及第2方向D2中之一方之狀態轉移到設為另一方的狀態。因此，可在高架搬運車100的行走方向設為第1方向D1(X方向)之第1狀態、和行走方向設為第2方向D2(Y方向)之第2狀態之間進行切換。
圖4係顯示第1實施形態之保管部60的一例之立體圖。圖5係顯示保管部的一例之俯視圖。搬運系統SYS具備有：保管物品M之保管部60。保管部60是高架暫存區(OHB)。保管部60設置在格子狀軌道R的下方。在本實施形態，保管部60是以1個單體之保管單元60U的例子為中心做說明。保管單元60U(保管部60)具備有：懸吊構件61、連結構件62、框架單體63U(框架63)、載置物品M之載置部64(參照圖5)、以及鷹架部65。載置部64及鷹架部65設置在框架單體63U(框架63)之方格C的下方。保管單元60U可在格子狀軌道R的下方之任意場所設置1個以上。保管單元60U相對於格子狀軌道R是可拆卸的。
保管單元60U形成為，俯視下包圍至少1個方格C。保管單元60U之外周的形狀設定成，俯視下，與格子狀軌道R之複數個方格C之外周的形狀大致一致。依據此構成，能以不阻礙高架搬運車100之行走的方式設置保管單元60U。保管單元60U的形狀及大小，在圖示的構成例設定成，俯視下，與X方向之方格C數為3且Y方向之方格C數為2之3×2個方格C之外周形狀及大小大致一致。又保管單元60U的形狀是任意的，並不限定於上述的構成例。例如，保管單元60U亦可設定成，俯視下，與X方向之方格C數為m(m是1以上的整數)且Y方向之方格C數為n(n是1以上的整數)之m×n個方格C之外周形狀及大小大致一致。又保管單元60U的形狀之其他例，之後做說明。
保管單元60U設置成藉由複數個懸吊構件61從格子狀軌道R懸吊。各懸吊構件61具備有：連接部61A、棒狀部61B、固定部61C(參照圖4)。各懸吊構件61具有同樣的構成。圖6係顯示格子狀軌道R和懸吊構件61的連接部分之從-Y方向觀察之側視圖。圖7係顯示懸吊構件61和框架的連接部分之立體圖。懸吊構件61設置成從交叉部R3垂下(參照圖6)。懸吊構件61設置在：當高架搬運車100行走時不致與高架搬運車100發生干涉的位置。連接部61A是與設置在交叉部R3的下方之連接構件59連接。連接構件59設置在俯視下之交叉部R3的中心部；連接部61A，俯視下是連接於交叉部R3的中心部。連接部61A和交叉部R3具有螺栓及螺帽等的機構，而構成為可拆卸。
棒狀部61B是筆直延伸之棒狀構件。棒狀部61B是沿著鉛直方向配置。棒狀部61B的上端連接於連接部61A的下端。連接部61A和棒狀部61B具有螺栓及螺帽等的機構，而構成為可拆卸。
在棒狀部61B的下端設置固定部61C(參照圖7)。固定部61C用於固定框架單體63U。固定部61C具有2個板狀構件61D及緊固構件61F。固定部61C，是利用2個板狀構件61D，透過夾介構件61E將框架單體63U從上下夾住並藉由緊固構件61F固定。2個板狀構件61D固定在棒狀部61B。在1個固定部61C，可固定4個框架單體63U各個之1個角落(角)部63A。依據此構成，藉由1個懸吊構件61可安裝最多4個保管單元60U的框架單體63U，因此可將複數個保管單元60U高密度地鄰接設置。固定部61C和棒狀部61B構成為可拆卸。固定部61C和框架單體63U構成為可拆卸。懸吊構件61，藉由上述的構成，將框架單體63U以從交叉部R3懸吊的狀態支承。此外，懸吊構件61及框架單體63U，藉由上述的構成，相對於交叉部R3成為可拆卸。
如上述般，當將懸吊構件61設置成從交叉部R3垂下而構成的情況，能以懸吊構件61不阻礙高架搬運車100之行走的方式配置懸吊構件61，而設置保管單元60U。在本實施形態構成為，使高架搬運車100可通過懸吊構件61和懸吊構件61之間。又懸吊構件61並不限定於上述的構成，亦可為其他構成。例如，懸吊構件61可構成為與第1軌道R1或第2軌道R2連接。
懸吊構件61的位置及數量，是按照框架單體63U、載置部64等之保管單元60U的各部之形狀、大小、重量等的構成而適宜地設定。在圖示的構成例，懸吊構件61設置成將框架單體63U均等地支承。俯視下，在形成保管單元60U的外周之部分等設置複數個懸吊構件61。懸吊構件61，俯視下，設置在相當於保管單元60U之外周部分之矩形的各個角部等，且俯視下，對於保管單元60U的中心呈旋轉對稱地配置。又懸吊構件61的位置並不限定於上述的例子，例如俯視下，設置在保管單元60U之內側的部分亦可。
圖8係顯示連結構件62的一例。圖8係將連結構件62從-Y側觀察時的圖。連結構件62是將相鄰的懸吊構件61彼此連結。藉由將相鄰的懸吊構件61彼此連結，可限制懸吊構件61的移動，而能抑制保管單元60U的搖動。連結構件62的形狀，在圖示的構成例是具有複數個窗部62A之矩形板狀。在此構成的情況，可維持連結構件62的強度並抑制重量，又藉由窗部62A可抑制連結構件62的遮蔽所造成之視認性惡化。又高架搬運車100雖無法通過連結構件62，但能在與連結構件62鄰接之各方格C移動。
連結構件62構成為，相對於懸吊構件61的棒狀部61B是可拆卸的。連結構件62具有：與棒狀部61B連接之連接部62B。在圖示的構成例，連接部62B設置在連結構件62的四角落。
圖9(A)及(B)係顯示連結構件62和懸吊構件61的連接部分之立體圖。圖9(A)係從-Y側觀察時之立體圖，圖9(B)係從+Y側觀察時之立體圖。圖9(A)及(B)係顯示，將圖8所示之4個連結構件62中之配置於+Z側且+X側之連結構件62放大而從2個方向觀察的圖。
連接部62B連接於懸吊構件61之棒狀部61B的一部分。連接部62B是以包圍棒狀部61B之外周部的方式連接於棒狀部61B。連接部62B可從棒狀部61B卸下。連接部62B是藉由螺栓等的固定構件62C從上下鎖緊而固定於棒狀部61B，使連結構件62之上下方向的位置固定住。依據上述連結構件62的構成，可輕易地設置連結構件62。
又連結構件62的構成，只要是可將懸吊構件61彼此連結的構成即可，並不限定於上述的構成。此外，連結構件62乃是任意的構成，將其省略亦可。
框架單體63U是構成框架63的1個單體。框架 單體63U是1個保管單元60U的構成所使用之框架。框架單體63U配置在保管單元60U之下方的位置(參照圖4)。框架單體63U設置成，藉由懸吊構件61而從格子狀軌道R懸吊。框架單體63U如上述般，是藉由複數個懸吊構件61懸吊。框架單體63U設置在懸吊構件61的下部。框架單體63U配置在比行走時之高架搬運車100的位置(圖3所示之實線的位置)更下方。框架單體63U成為支承保管單元60U的各部之底座。框架單體63U是沿著水平方向配置。框架單體63U是由複數個構件所構成。
框架單體63U形成為，俯視下包圍至少1個方格C。框架單體63U形成為，俯視下包圍複數個方格C。在本實施形態的框架單體63U，俯視下，是包圍X方向之方格C數為3且Y方向之方格C數為2之3×2合計6個方格C。框架單體63U的外周設定成，俯視下與複數個方格C(本實施形態為6個)的外周大致一致。依據此構成，能以不阻礙高架搬運車100行走的方式設置保管單元60U。
框架單體63U，俯視下，至少配置在形成保管單元60U的外周之部分。在圖示的構成例，框架單體63U，俯視下，至少配置在形成保管單元60U的外周之矩形的4邊部分。又框架單體63U的構成並不限定於上述的構成例。例如，框架單體63U的外周，俯視不是矩形亦可。
針對載置部64(參照圖4、圖5)做說明。保管單元60U係具備：可載置1個物品M的載置部64共複數個。在各載置部64，是藉由高架搬運車100載置物品M。各載 置部64設置在框架單體63U的內側。框架單體63U的內側，是俯視下之框架單體63U的內側的區域。1個載置部64設定成，俯視下與物品M的外周大小相同。
複數個載置部64，在圖5的構成例，是由水平地配置且以互相平行的位置關係配置之複數個棒狀構件64A等所形成。各棒狀構件64A固定於框架單體63U。棒狀構件64A也具有作為框架單體63U的梁之功能。各棒狀構件64A的上表面呈平面狀，而成為載置物品M之載置面。藉由2根棒狀構件64A將1個物品M從下方支承。藉由2根棒狀構件64A將各物品M之從中心往+Y方向偏移的部分及往-Y方向偏移的部分從下方支承，藉此將各物品M載置於載置部64。2根棒狀構件64A，在圖示的構成例，配置在沿著X方向互相平行的位置。當載置部64是由上述的棒狀構件64A所構成的情況，相較於在板狀的構件上載置物品M的構成，可抑制保管單元60U的重量，且可抑制無塵室等所使用之垂直層流(down flow)的流動被阻隔。
在各棒狀構件64A的上表面，設置可將物品M定位之運動銷(kinematic pin)等的定位機構(未圖示)。定位機構是在每1個載置部64都設置。各載置部64可藉由定位機構將物品M定位而進行載置。
載置部64的數量設置成，比俯視下之框架單體63U所包圍(放進內側)的複數個方格C的數量更多。在圖示的構成例，載置部64的數量是在X方向4列、在Y方向3列之4×3合計12個。在圖示的構成例，複數個載置部64是 以在框架單體63U的內側之區域可設置之最大數量的方式設置。在此構成的情況，可將載置部64高密度地設置。
在相鄰的載置部64彼此間設置既定的間隔。該間隔，是為了避免在藉由高架搬運車100將物品M搬運到載置部64時物品M發生碰撞而設置的間隔。複數個載置部64是在俯視下之框架單體63U的內側之既定的區域AR1集中設置。區域AR1是1個連續的區域。區域AR1，在本實施形態的構成例，設定成俯視呈矩形。當將複數個載置部64在既定的區域AR1集中設置而構成的情況，可將載置部64高密度地設置，且可確保用於設置鷹架部65之一整塊區域。在本實施形態的構成例，區域AR1配置在俯視下之沿著框架單體63U的外周之角落部分。在此構成的情況，可有效地利用框架單體63U之內側的空間來形成載置部64及鷹架部65。
載置部64之俯視下的大小是按照物品M的形狀來設定，複數個載置部64的區域AR1是以包含最大數量的載置部64的方式集中設置。此外構成為，俯視下，使高架搬運車100可放進格子狀軌道R之1個方格C內。又縱使在俯視下之1個載置部64的中心和方格C的中心偏移配置的情況，在各載置部64，仍可藉由高架搬運車100的橫移機構11來載置物品M。如此般，本實施形態之複數個載置部64，可與格子狀軌道R的方格C無關而高密度地配置。
又載置部64的構成，只要可載置物品M即可，並不限定於上述的構成例。例如，區域AR1的大小及形狀都是任意的。此外，載置部64並不限定於由棒狀構件64A所構成，例如也能由板狀構件所構成。關於載置部64的其他構成，之後做說明。
針對鷹架部65(參照圖4、圖5)做說明。鷹架部65設置在框架單體63U的內側。鷹架部65形成為，俯視下橫跨複數個方格C。鷹架部65是可供作業者U步行的通路。此外，鷹架部65是作為作業者U的鷹架來使用。鷹架部65是例如作為作業者U進行搬運系統SYS的維修作業之鷹架。搬運系統SYS的維修是例如高架搬運車100的維修、格子狀軌道R的維修、保管單元60U本身的維修等。鷹架部65構成為可支承作業者U。鷹架部65的載重量是至少人類的重量以上。鷹架部65是例如格柵(grating)、衝孔金屬(punching metal)等之具有複數個孔的構件。鷹架部65固定於框架單體63U及棒狀構件64A。當鷹架部65是上述具有複數個孔之構件的情況，相較於板狀構件，可抑制重量，且能抑制無塵室等所使用的垂直層流(down flow)的流動被阻隔。
鷹架部65設置在複數個載置部64的區域AR1以外的區域。鷹架部65的配置位置，是讓作業者U在鷹架部65可到達框架單體63U的內側之高架搬運車100、格子狀軌道R及複數個載置部64等之位置。本實施形態的保管單元60U形成為，在鷹架部65，讓作業者U的手可搆到框架單體63U的內側之高架搬運車100、格子狀軌道R及複數個載置部64等。鷹架部65具備第1鷹架部65A及第2鷹架部65B(參照圖5)。第1鷹架部65A，是以水平方向中的第1方向D1(X方向)為長邊之長條狀。第2鷹架部65B，是以與第1方向D1正交之水平方向中的第2方向D2(Y方向)為長邊之長條狀。此外，在本實施形態，第1鷹架部65A和第2鷹架部65B配置成，俯視呈L字狀。如上述般，當框架單體63U(框架63)構成為，作為鷹架部65是具備以第1方向為長邊之長條狀的第1鷹架部65A及以第2方向為長邊之長條狀的第2鷹架部65B的情況，因為鷹架部65形成於2方向，相較於鷹架部65僅形成於1方向的構成，可在框架單體63U的內側有效地形成鷹架部65。
在第1方向D1，第2鷹架部65B的尺寸L1(通路寬度)設定成比1個載置部64(區域AR1)的長度(尺寸)L2小；在第2方向D2，第1鷹架部65A的尺寸L3(通路寬度)設定成比1個載置部64(區域AR1)的長度(尺寸)L4小(參照圖5)。當構成為第1鷹架部65A的通路寬度L1比載置部64之第2方向D2的長度L2短，且第2鷹架部65B的通路寬度L3比載置部之第1方向D1的長度L4短的情況，在框架單體63U的內側無法設置載置部64的長條狀的空間，可作為鷹架部65有效地活用。在本實施形態，鷹架部65是在框架單體63U的內側，設置在如上述般設置了最大數量之複數個載置部64的區域AR1以外的區域。在此構成的情況，可高密度地設置載置部64，且能有效地確保鷹架部65的空間。
第1鷹架部65A和第2鷹架部65B配置成，使彼此的一部分連接或靠近。在此構成的情況，作業者U可輕易地進行在第1鷹架部65A和第2鷹架部65B的移動。第1鷹架部65A及第2鷹架部65B之一方或雙方設置成，使端部延伸到框架單體63U的外緣附近。在本實施形態，第1鷹架部65A及第2鷹架部65B雙方分別設置成，使兩端部延伸到框架單體63U的外緣附近。設置成使第1鷹架部65A及第2鷹架部65B的一方或雙方之端部延伸到框架單體63U的外緣附近的構成，可輕易地從框架單體63U的外部到達框架單體63U的內部之鷹架部65。
第1鷹架部65A及第2鷹架部65B之一方或雙方是沿著框架單體63U設置。在本實施形態，第1鷹架部65A及第2鷹架部65B雙方是沿著框架單體63U設置。第1鷹架部65A及第2鷹架部65B之一方或雙方是沿著框架單體63U設置的構成，因為是在沿著框架單體63U之強度較高的部分配置鷹架部65，可確保鷹架部65的強度。
在本實施形態，如上述般，框架63形成為俯視下包圍複數個方格C，鷹架部65以俯視下橫跨複數個方格C的方式形成於框架63的內側。在此構成，可將藉由高架搬運車100載置物品M之保管部60的空間擴大，且能讓作業者U到達框架63的內側之區域。
如以上所說明般，依據本實施形態的搬運系統SYS及保管部60，因為保管部60具備鷹架部65，在保管部60，讓作業者U可輕易地到達高架搬運車100、格子狀軌道R及物品M等而進行維修。
[第2實施形態] 針對第2實施形態做說明。在本實施形態，關於與上述實施形態同樣的構成，是賦予相同符號而將說明適宜地省略或簡化。此外，在本說明書的實施形態所說明的事項中本實施形態可運用的構成，也能適宜地運用在本實施形態。
圖10係顯示第2實施形態之搬運系統SYS2的一例之從+Z側觀察時的俯視圖。圖11係顯示第2實施形態之搬運系統SYS2的一例之立體圖。在圖11，是將搬運系統SYS2的一部分放大顯示。搬運系統SYS2，是取代第1實施形態的搬運系統SYS之保管部60而具備保管部60A。在搬運系統SYS2中，第1實施形態之保管部60(保管單元60U)以外的構成是與第1實施形態的搬運系統SYS相同。圖10所示的符號「AP」是處理裝置。處理裝置AP是例如曝光裝置、塗佈顯影機、製膜裝置、蝕刻裝置等，對行走車V所搬運之容器內的半導體晶圓實施各種處理。
保管部60A具備有複數個保管單元60U。保管部60A所具備的保管單元60U，是在X方向及Y方向分別配置複數個。各保管單元60U分別具有與第1實施形態的保管單元60U同樣的構造。當保管部60A具備同樣構成的保管單元60U的情況，因為是使用同樣構成的保管單元60U，能使構成變簡單且抑制製造成本。各保管單元60U配置成彼此鄰接。保管部60A的框架63，是配置成互相鄰接之框架單體63U的集合體。又在本說明書，框架63是指保管部60、60A的框架整體。在框架63鄰接的保管單元60U，1個保管單元60U所包圍之X方向×Y方向為3×2之複數個方格C也設定成鄰接。在複數個保管單元60U中，將鄰接部分的框架單體63U懸吊之懸吊構件61是共用的。當保管部60A具備鄰接配置之保管單元60U而構成的情況，可高密度地設置載置部64，且能有效地確保鷹架部65的空間。
在複數個保管單元60U中，相鄰的保管單元60U(框架單體63U)之鷹架部65彼此配置成，靠近到可讓作業者U轉移。在此構成的情況，作業者U可輕易地轉移到相鄰的保管單元60U(框架單體63U)之鷹架部65。在保管部60A中，在鷹架部65的兩側(水平方向之鷹架部65的兩側)設置複數個載置部64。在鷹架部65的兩側設置載置部64的構成，作業者U可從鷹架部65輕易地維修載置部64。在保管部60A中，俯視下是到處都配置鷹架部65。在保管部60A中，鷹架部65俯視下是從格子狀軌道R的外緣一直設置到中央部。在此構成的情況，作業者U可使用鷹架部65而輕易地到達格子狀軌道R的中央部。此外，在保管部60A中，俯視下，鷹架部65是以橫跨複數個方格C的方式縱橫地形成。在此構成的情況，作業者U可使用鷹架部65而輕易地到達格子狀軌道R之各部。在本實施形態，在保管部60A，複數個第1鷹架部65A是沿著X方向(第1方向D1)配置，複數個第2鷹架部65B是沿著Y方向(第2方向D2)配置。在保管部60A，配置在相鄰的保管單元60U且在第1方向D1鄰接配置之第1鷹架部65A彼此是配置在大致直線上，配置在相鄰的保管單元60U且在第2方向D2鄰接配置之第2鷹架部65B彼此是配置在大致直線上。複數個第1鷹架部65A，在第1方向D1，是從框架63的端部延伸到對向側的端部。複數個第2鷹架部65B，在第2方向D2，是從框架63的端部延伸到對向側的端部。此外，複數個第1鷹架部65A及複數個第2鷹架部65B，分別在X方向(第1方向D1)及Y方向(第2方向D2)隔著既定的間隔配置。在保管部60A中，鷹架部65(複數個第1鷹架部65A、複數個第2鷹架部65B)包含：俯視下配置成格子狀的構成。如上述般，在俯視下將鷹架部65配置成格子狀的構成，作業者U可輕易地在通路上(鷹架部65上)移動，可輕易地而達框架63的內側的區域之各部(俯視下之格子狀軌道的中央區域之各部)。
在本實施形態的搬運系統SYS2，各保管單元60U構成為，讓作業者U在鷹架部65，可到達框架單體63U的內側之高架搬運車100及複數個載置部64。在此構成的情況，縱使在保管部60A的內部必須進行維修作業的情況，作業者U不須實施將保管部60A的框架卸下等的作業，仍可如圖11所示般，輕易地到達位於保管部60A的內側的區域之高架搬運車100及複數個載置部64。
此外，在保管部60A中，鷹架部65配置成延伸到保管部60A的外緣附近。在此構成的情況，作業者U可從保管部60A的外部輕易地進入保管部60A的內部。
此外，在本實施形態，如上述般，框架63是配置成互相鄰接之複數個框架單體63U的集合體，且相鄰的框架單體63U彼此的鷹架部65形成為互相鄰接。在此構成，因為框架63是以複數個框架單體63U之集合體的形式來形成，可確保框架的剛性。此外，因為複數個框架單體63U配置成互相鄰接，可將框架單體63U高密度地設置。此外，因為框架單體63U彼此的鷹架部65形成為互相鄰接，作業者U可輕易地轉移到相鄰的框架單體63U之鷹架部65。
如以上所說明般，本實施形態的搬運系統SYS2係具備：配置成互相鄰接之複數個保管單元60U。依據此構成，能以不阻礙高架搬運車100的行走的方式將載置部64高密度地設置，且在設置成從格子狀軌道R垂下之物品M的保管部60A中，能讓作業者U輕易地到達位於保管部60A的內部之高架搬運車100、格子狀軌道R及物品M等。
如以上所說明般，本發明的態樣之搬運系統SYS、SYS2係具備格子狀軌道R、高架搬運車100、懸吊構件61、框架63、載置部64及鷹架部65；格子狀軌道R具有朝第1方向D1延伸之複數條第1軌道R1及朝與第1方向D1不同的第2方向D2延伸之複數條第2軌道R2，且藉由複數條第1軌道R1和複數條第2軌道R2來形成複數個方格C；高架搬運車100是沿著格子狀軌道R行走；懸吊構件61設置成從格子狀軌道R垂下；框架63，俯視下包圍至少1個方格C，且設置於懸吊構件61的下部；載置部64是設置於框架63的內側，且藉由高架搬運車100來載置物品M；鷹架部65是設置於框架63的內側，而成為可供作業者U步行的通路。依據上述構成，在設置成從格子狀軌道R垂下之物品M的保管部60、60A中，因為設有鷹架部65，可讓作業者U輕易地到達高架搬運車100、格子狀軌道R及物品M等來進行維修。又在搬運系統SYS、SYS2中，上述以外的構成是任意的構成，可具有或不具有上述以外的構成。
此外，本實施形態的保管部60、60A，是在上述搬運系統SYS、SYS2中用於保管物品M之保管部60、60A，且具備有：從格子狀軌道R懸吊之懸吊構件61、俯視下包圍至少1個方格且設置於懸吊構件61的下部之框架63、設置於框架63的內側且藉由高架搬運車100載置物品M之載置部64、以及設置於框架63的內側且成為可供作業者U步行的通路之鷹架部65。依據上述構成，在設置成從格子狀軌道R垂下之物品M的保管部60、60A，因為設有鷹架部65，可讓作業者U輕易地到達高架搬運車100、格子狀軌道R及物品M等來進行維修。又在保管部60、60A中，上述以外的構成是任意的構成，可具有或不具有上述以外的構成。
又本發明的技術範圍並不限定於上述實施形態等所說明的態樣。上述實施形態等所說明之要件的1個以上可被省略。此外，上述實施形態等所說明的要件可適宜地結合。此外，在法令所容許的範圍內，援用日本特願2019-169526及上述實施形態等所引用之所有文獻的揭示作為本文記載的一部分。
例如，並不限定於1個保管單元60U中之複數個載置部64及鷹架部65(第1鷹架部65A、第2鷹架部65B)之上述構成。圖12及圖13係顯示載置部64及鷹架部65的其他例。又在圖12及圖13，是省略了框架63等之簡化的圖示。例如，如圖12所示般，在保管單元60U中，複數個載置部64可配置於2個區域AR3、AR4。此外，鷹架部65(第1鷹架部65A、第2鷹架部65B)，俯視下可設置成T字狀。區域AR3、AR4包含：在X方向2列、在Y方向3列之2×3合計6個載置部64。區域AR3，俯視下設置於框架單體63U之-X側且+Y側。區域AR4，俯視下設置於框架單體63U之+X側且+Y側。第1鷹架部65A、第2鷹架部65B分別設置成，使端部延伸到框架單體63U的外緣附近。第1鷹架部65A是沿著框架單體63U設置。第2鷹架部65B設置在框架單體63U之X方向的中央部。第1鷹架部65A和第2鷹架部65B配置成，使彼此的一部分連接或靠近。2個保管單元60U中，第1鷹架部65A彼此靠近到可讓作業者U轉移。
此外，如圖13所示般，在保管單元60U中，複數個載置部64可配置於4個區域AR5、AR6、AR7、AR8。此外，鷹架部65(第1鷹架部65A、第2鷹架部65B)，俯視下可設置成十字狀。區域AR5、AR6包含：在X方向2列、在Y方向2列之2×2合計4個載置部64。區域AR7、AR8包含：在X方向2列、在Y方向1列之2×1合計2個載置部64。區域AR5，俯視下設置於框架單體63U之-X側且+Y側。區域AR6，俯視下設置於框架單體63U之+X側且+Y側。區域AR7，俯視下設置於框架單體63U之-X側且 -Y側。區域AR8，俯視下設置於框架單體63U之+X側且 -Y側。第1鷹架部65A、第2鷹架部65B分別置成，使端部延伸到框架單體63U的外緣附近。第1鷹架部65A是沿著框架單體63U設置。第2鷹架部65B設置在框架單體63U的X方向之中央部。第1鷹架部65A設置在框架單體63U的Y方向之內側部分。第1鷹架部65A和第2鷹架部65B配置成，使彼此的一部分連接或靠近。在2個保管單元60U中，第1鷹架部65A彼此靠近到可讓作業者U轉移。
此外，在上述說明所示的例子，在保管部60A中，各保管單元60U之複數個載置部64及鷹架部65(第1鷹架部65A、第2鷹架部65B)具有同樣的構成，但並不限定於此構成。例如，在保管部60A中，各保管單元60U之複數個載置部64及鷹架部65(第1鷹架部65A、第2鷹架部65B)也可以是相互不同的。
此外，在上述說明所示的例子，保管部60A是如圖10所示般具備複數個保管單元60U，但保管部60A的構成並不限定於此例。圖14至圖16係顯示保管部60A的其他構成例之立體圖。又在圖14至圖16，是省略載置部64及鷹架部65等之簡化的圖示。例如，在保管部60A中，複數個保管單元60U可配置成：如圖12及圖13所示般在X方向2個鄰接，如圖14所示般俯視下呈C字狀(ㄈ字狀)鄰接，如圖15所示般俯視下呈L字狀鄰接，如圖16所示般在X方向2列、在Y方向3列之2×3合計6個鄰接。
此外，在第1實施形態的說明所示的例子，保管單元60U具備有連結構件62，但並不限定於此構成例，不具備連結構件62亦可。例如，如圖10至圖16所示般，當保管部60A具備複數個保管單元60U的情況，不是在各保管單元60U全都具備連結構件62，僅設置在一部分的保管單元60U亦可。例如，連結構件62可設置在保管部60A的角部。在此構成的情況，可有效抑制複數個保管單元60U整體的搖動。
此外，在保管部60、60A(保管單元60U)可設置：用於將FOUP等的物品M的內部之氣體置換之淨化(purge)裝置。
此外，在上述實施形態，是舉第1軌道R1(第1方向D1)與第2軌道R2(第2方向D2)正交之格子狀軌道R為例來做說明，但並不限定於此構成。例如，軌道R亦可為第1軌道R1與第2軌道R2不正交的形態。此外，並不限定於第1軌道R1和第2軌道R2交叉之格子狀軌道R的形態，作為軌道R，例如，以從第1軌道R1的端部彎折的狀態配置第2軌道R2的形態亦可。
此外，在上述實施形態雖是說明以在格子狀軌道R的下側保持物品M的方式行走之高架搬運車100的例子，但高架搬運車100的構成並不限定於上述構成。例如，本實施形態的搬運系統SYS、SYS2及保管部60、60A (保管單元60U)也能運用於：具備有以在格子狀軌道R的上側保持物品M的方式行走之高架搬運車100的系統。
此外，在上述搬運系統SYS、SYS2中，保管部60、60A的構成僅是一例，保管部60、60A的構成並不限定於上述構成。例如，搬運系統SYS、SYS2的構成只要具備：從格子狀軌道R懸吊之懸吊構件、俯視下包圍至少1個方格C且設置於懸吊構件的下部之框架63、設置於框架63的內側且藉由高架搬運車100載置物品M之載置部64、及設置於框架63的內側且成為可供作業者U步行的通路之鷹架部65即可，並不限定於上述實施形態的構成例。例如，保管部60、60A不是由保管單元60U所構成亦可。
又在上述實施形態，雖示出讓高架搬運車100在一對的第1軌道R1或一對的第2軌道R2行走之格子狀軌道R的例子，但格子狀軌道R並不限定於此構成。例如，格子狀軌道R(第1軌道R1、第2軌道R2)亦可為藉由1個軌道讓高架搬運車100(行走車)行走之單軌形式的軌道。
SYS,SYS2:搬運系統 10:主體部 11:橫移機構 12:轉動部 12a:轉動構件 12b:轉動驅動部 13:物品保持部 13a:爪部 13b:懸吊構件 14:升降驅動部 17:上部單元 17a:上表面 18:移載裝置 20:行走部 21:行走車輪 22:輔助車輪 30:連結部 31:支承構件 32:連接構件 33:行走驅動部 34:方向轉換機構 35:驅動源 36:小齒輪 37:齒條 50:控制部 60,60A:保管部 60U:保管單元 61:懸吊構件 61A:連接部 61B:棒狀部 61C:固定部 62:連結構件 62A:空間部 62B:連接部 63:框架 63U:框架單體 64:載置部 64A:棒狀構件 65:鷹架部 65A:第1鷹架部 65B:第2鷹架部 100:高架搬運車 AR1~AR8:區域 C:方格 D:間隙 D1:第1方向 D2:第2方向 R:格子狀軌道 R1:第1軌道 R2:第2軌道 R3:交叉部 G1:第1引導面 G2:第2引導面 G3a:連接引導面 G3b:連接引導面 G3c:連續面 U:作業者
[圖1]係顯示第1實施形態之搬運系統的一例之立體圖。 [圖2]係顯示高架搬運車的一例之立體圖。 [圖3]係顯示高架搬運車的一例之側視圖。 [圖4]係顯示保管部的一例之立體圖。 [圖5]係顯示保管部的一例之俯視圖。 [圖6]係顯示格子狀軌道和懸吊構件的連接部分之側視圖。 [圖7]係顯示懸吊構件和框架的連接部分之立體圖。 [圖8]係顯示連結構件62的一例之側視圖。 [圖9(A)及(B)]係顯示連結構件和懸吊構件的連接部分之立體圖。 [圖10]係顯示第2實施形態之搬運系統的一例之俯視圖。 [圖11]係顯示第2實施形態之搬運系統的一例之立體圖。 [圖12]係顯示保管部的其他例之俯視圖。 [圖13]係顯示保管部的其他例之俯視圖。 [圖14]係顯示保管部的其他例之立體圖。 [圖15]係顯示保管部的其他例之立體圖。 [圖16]係顯示保管部的其他例之立體圖。
60:保管部
60U:保管單元
61:懸吊構件
61A:連接部
61B:棒狀部
61C:固定部
62:連結構件
63:框架
63U:框架單體
65:鷹架部
65A:第1鷹架部
65B:第2鷹架部
C:方格
D:間隙
M:物品
R:格子狀軌道
R1:第1軌道
R2:第2軌道
R3:交叉部
SYS:搬運系統
U:作業者

Claims (13)

  1. 一種搬運系統，係具備格子狀軌道、高架搬運車、懸吊構件以及框架，前述格子狀軌道，具有朝第1方向延伸之複數條第1軌道及朝與前述第1方向不同的第2方向延伸且與前述第1軌道交叉之複數條第2軌道，並藉由前述複數條第1軌道和前述複數條第2軌道來形成複數個方格；前述高架搬運車是沿著前述格子狀軌道行走；前述懸吊構件是從前述格子狀軌道被懸吊；前述框架，俯視下包圍至少1個前述方格，且設置於前述懸吊構件的下部；在前述框架之前述方格的下方設置：藉由前述高架搬運車載置物品之載置部、及成為可供作業者步行的通路之鷹架部。
  2. 如請求項1所述之搬運系統，其中，前述框架形成為，俯視下包圍前述複數個方格，前述鷹架部形成為，俯視下橫跨前述複數個方格。
  3. 如請求項1或2所述之搬運系統，其中，前述高架搬運車，是以主體部從前述格子狀軌道垂下的狀態行走，前述懸吊構件設置成，從前述格子狀軌道之前述第1軌道和前述第2軌道的交叉部垂下。
  4. 如請求項1或2所述之搬運系統，其中，在前述鷹架部的兩側設置前述載置部。
  5. 如請求項2所述之搬運系統，其中，前述鷹架部，是以俯視下橫跨前述複數個方格的方式縱橫地形成。
  6. 如請求項1或2所述之搬運系統，其中，前述鷹架部，是設置成俯視下從前述框架的外緣橫跨到中央部。
  7. 如請求項1或2所述之搬運系統，其中，前述框架，是配置成互相鄰接之複數個框架單體的集合體，相鄰的前述框架單體彼此的前述鷹架部形成為互相鄰接。
  8. 如請求項7所述之搬運系統，其中，前述載置部，是在前述框架單體設置複數個，前述複數個載置部的數量，比俯視下前述框架單體所包圍之前述方格的數量更多。
  9. 如請求項7所述之搬運系統，其中，前述複數個載置部，是設置成俯視下在前述框架單體之既定區域集中，前述鷹架部設置在前述框架單體之前述既定區域以外的區域。
  10. 如請求項7所述之搬運系統，其中，前述框架單體，作為前述鷹架部係具備：以水平方向中之前述第1方向為長邊之長條狀的第1鷹架部、及以與前述第1方向正交之水平方向中的前述第2方向為長邊之長條 狀的第2鷹架部。
  11. 如請求項10所述之搬運系統，其中，前述第1鷹架部的通路寬度比前述載置部之前述第2方向的長度短，前述第2鷹架部的通路寬度比前述載置部之前述第1方向的長度短。
  12. 如請求項10所述之搬運系統，其中，前述第1鷹架部及前述第2鷹架部分別設置成，使兩端部延伸到前述框架的外緣附近。
  13. 一種保管部，係在搬運系統中用於保管物品之保管部，前述搬運系統具備格子狀軌道及高架搬運車，前述格子狀軌道具有朝第1方向延伸之複數條第1軌道及朝與前述第1方向不同的第2方向延伸且與前述第1軌道交叉之複數條第2軌道，並藉由前述複數條第1軌道和前述複數條第2軌道來形成複數個方格；前述高架搬運車是沿著前述格子狀軌道行走，前述保管部係具備：從前述格子狀軌道被懸吊之懸吊構件、及俯視下包圍至少1個前述方格且設置於前述懸吊構件的下部之框架，在前述框架之前述方格的下方設置：藉由前述高架搬運車載置物品之載置部、及成為可供作業者步行的通路之鷹架部。
TW109131819A 2019-09-18 2020-09-16 搬運系統及保管部 TWI836140B (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019-169526 2019-09-18
JP2019169526 2019-09-18

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW202116589A TW202116589A (zh) 2021-05-01
TWI836140B true TWI836140B (zh) 2024-03-21

Family

ID=74884181

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW109131819A TWI836140B (zh) 2019-09-18 2020-09-16 搬運系統及保管部

Country Status (8)

Country Link
US (1) US20220332500A1 (zh)
EP (1) EP4032774A4 (zh)
JP (1) JP7283550B2 (zh)
KR (1) KR102701743B1 (zh)
CN (1) CN114401910B (zh)
IL (1) IL291406B2 (zh)
TW (1) TWI836140B (zh)
WO (1) WO2021053978A1 (zh)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20230119196A (ko) * 2021-01-05 2023-08-16 무라다기카이가부시끼가이샤 천장 보관 시스템
CN116685541A (zh) * 2021-01-05 2023-09-01 村田机械株式会社 空中保管系统
CN115108260B (zh) * 2022-08-29 2022-11-15 山东源自然家居用品有限公司 一种家居产品生产用自动输送装置

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004284702A (ja) * 2003-03-20 2004-10-14 Daifuku Co Ltd 物品搬送装置
US20150340253A1 (en) * 2012-12-31 2015-11-26 Asm Ip Holding B.V. Semiconductor processing assembly and facility
US9556613B1 (en) * 2016-05-24 2017-01-31 Awi Licensing Llc Ceiling system
TW201733884A (zh) * 2016-03-03 2017-10-01 Murata Machinery Ltd 暫時保管系統
TW201819265A (zh) * 2016-10-19 2018-06-01 日商大福股份有限公司 物品搬送設備
TW201922547A (zh) * 2017-10-31 2019-06-16 日商村田機械股份有限公司 搬運系統

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3568014B2 (ja) * 1996-11-12 2004-09-22 株式会社ダイフク 物品保管設備
JP3769425B2 (ja) * 1999-09-21 2006-04-26 シャープ株式会社 電子部品の製造装置および電子部品の製造方法
JP2004278213A (ja) * 2003-03-18 2004-10-07 Takenaka Komuten Co Ltd 天井パネル
JP4284225B2 (ja) * 2004-04-14 2009-06-24 有限会社サム 移動足場システム
JP5162899B2 (ja) * 2006-12-28 2013-03-13 村田機械株式会社 被搬送物の保管装置
JP2011029550A (ja) 2009-07-29 2011-02-10 Muratec Automation Co Ltd 搬送システム及びその設定方法
JP2012249474A (ja) * 2011-05-30 2012-12-13 Hitachi Plant Technologies Ltd ケーブル布設用平面型電路
US9415934B2 (en) 2014-05-14 2016-08-16 Murata Machinery, Ltd. Transport system and transport method
SG11201701406XA (en) * 2014-08-22 2017-03-30 Bec Companies Inc Overhead guide track systems for automated material handling
JP6268610B2 (ja) * 2015-04-30 2018-01-31 株式会社ダイフク 平面保管設備
WO2018037762A1 (ja) 2016-08-26 2018-03-01 村田機械株式会社 有軌道台車システム、及び有軌道台車
US11171027B2 (en) * 2017-05-19 2021-11-09 Murata Machinery, Ltd. Storing system
CN107554534A (zh) * 2017-09-20 2018-01-09 莱芜美澳冶金科技有限公司 一种新能源空地两用共享空中轨道交通系统及运行方法
JP7106915B2 (ja) 2018-03-22 2022-07-27 Tdk株式会社 コイルユニット、ワイヤレス送電装置、ワイヤレス受電装置、及びワイヤレス電力伝送システム

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004284702A (ja) * 2003-03-20 2004-10-14 Daifuku Co Ltd 物品搬送装置
US20150340253A1 (en) * 2012-12-31 2015-11-26 Asm Ip Holding B.V. Semiconductor processing assembly and facility
TW201733884A (zh) * 2016-03-03 2017-10-01 Murata Machinery Ltd 暫時保管系統
US9556613B1 (en) * 2016-05-24 2017-01-31 Awi Licensing Llc Ceiling system
TW201819265A (zh) * 2016-10-19 2018-06-01 日商大福股份有限公司 物品搬送設備
TW201922547A (zh) * 2017-10-31 2019-06-16 日商村田機械股份有限公司 搬運系統

Also Published As

Publication number Publication date
TW202116589A (zh) 2021-05-01
IL291406B2 (en) 2023-11-01
US20220332500A1 (en) 2022-10-20
EP4032774A1 (en) 2022-07-27
EP4032774A4 (en) 2023-10-18
CN114401910B (zh) 2023-12-05
IL291406A (en) 2022-05-01
JP7283550B2 (ja) 2023-05-30
KR20220047367A (ko) 2022-04-15
CN114401910A (zh) 2022-04-26
KR102701743B1 (ko) 2024-08-30
JPWO2021053978A1 (zh) 2021-03-25
IL291406B1 (en) 2023-07-01
WO2021053978A1 (ja) 2021-03-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI836140B (zh) 搬運系統及保管部
TWI829848B (zh) 搬送系統
TW202124235A (zh) 搬送系統及網格系統
JPWO2019003799A1 (ja) 搬送システム及び搬送方法
CN110603632B (zh) 保管系统
TW202026226A (zh) 行走車系統
EP4227184A1 (en) Overhead storage system
TWI841837B (zh) 搬送車系統
JP2021045334A (ja) 作業用補助具
JP2018193222A (ja) 保管システム
TWI859489B (zh) 高架保管系統
CN116685541A (zh) 空中保管系统
TW202028036A (zh) 行走車系統
JPH0826664A (ja) 水平搬送装置
JP7564005B2 (ja) 建物内天井搬送システム、及び建物内天井搬送レールの施工方法
TW202402640A (zh) 搬送系統
JP2018193223A (ja) 保管システム及び保管方法
TW202300370A (zh) 行走車系統、單位組件及格子狀軌道
JP2000257299A (ja) 機械式駐車場の施工方法及び走行台車