JP5162899B2

JP5162899B2 - 被搬送物の保管装置

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Publication number: JP5162899B2
Application number: JP2006356079A
Authority: JP
Inventors: 進前滝
Original assignee: Murata Machinery Ltd
Current assignee: Murata Machinery Ltd
Priority date: 2006-12-28
Filing date: 2006-12-28
Publication date: 2013-03-13
Anticipated expiration: 2026-12-28
Also published as: TW200836284A; US7762754B2; CN101209774A; CN101209774B; JP2008162778A; US20080156760A1; TWI384575B

Description

本発明は、天井に敷設された軌道上を走行する搬送台車からの被搬送物を保管する保管装置に関する。

半導体製造工場などにおいて、半導体基板が収容されたフープ（ＦＯＵＰ；Front Opening Unified Pod）などの被搬送物を天井に敷設された軌道上を走行するＯＨＴ（Overhead Hoist Transport）などの搬送台車に搬送させる搬送システムが設けられていることがある。

また、かかる搬送システムに付随して、搬送台車が被搬送物を一時的に載置するための装置として、特許文献１に記載のストレージラックのような保管装置が用いられることがある。特許文献１は、軌道の直下に吊り下げられた水平なラックを有しており、被搬送物はこのラックに載置される。

ここで、水平方向に関する載置位置が位置合わせされつつ被搬送物が保管装置に載置される場合がある。例えば被搬送物が上記のフープである場合には、水平方向に関する載置位置を規定するための位置合わせピンが載置棚上に固定される。かかる位置合わせピンは、フープの下面に形成された位置合わせ穴に対応しており、ＯＨＢ（ＯｖｅｒＨｅａｄＢｕｆｆｅｒ）にフープが保管される際には、かかる位置合わせ穴にピンが嵌合するようにフープが棚上に載置される。

このように被搬送物の水平方向に関する載置位置が規定される場合には、あらかじめ搬送システムに載置棚上の水平位置を記憶させるティーチング作業を実施しなければならない。つまり、軌道の下方に載置棚が設置されると、オペレータは搬送システムをティーチング作業用のモードで操作して、載置棚の上方に被搬送物を搬送させる。そして、所定の水平位置に被搬送物が位置するように調整しつつ載置棚上に被搬送物を載置する。これによって、例えばフープの下面の位置合わせ穴と載置棚上の位置合わせピンとが嵌合した状態で、フープが載置棚上に載置される。そしてオペレータは、水平位置又は水平位置の調整量を搬送システムに記憶させる。特許文献２は、このようなティーチング作業に関するものである。

特開平１０−１０９８８７号公報特開２００６−６９６８７号公報

一方で、搬送台車のメンテナンスや搬送システムが設置されたフロアへの設備の搬入などの際に、載置棚を軌道の下方から移動させるために保管装置を取り外す必要が生じる場合がある。そして、一旦取り外した保管装置を再び設置した際に、再設置後の設置位置が取り外す前の設置位置から微妙にずれることがある。このような場合には再設置後に再びティーチング作業が必要となり、保管装置の取り外しにかかる作業の負担が非常に大きくなる。また、保管装置全体を取り外す必要があると、取り外し及び再設置の作業自体の負担も大きい。

本発明の目的は、一時的に棚部を退避させる場合であっても再設置後のティーチング作業を必要とせず、再設置までの作業を簡易に行うことができる被搬送物の保管装置を提供することにある。

本発明の被搬送物の保管装置は、被搬送物を把持しつつ天井に敷設された軌道上を走行する搬送台車からの前記被搬送物を保管する保管装置であって、水平方向に関する所定の位置に前記搬送台車からの前記被搬送物が載置される棚部と、上部が前記軌道又は天井に支持され、下部に前記棚部が支持された１又は複数の支持部材と、を備えており、前記被搬送物が、下面に複数の位置合わせ穴が形成された、半導体を収容するためのＦＯＵＰであり、前記棚部が、前記位置合わせ穴の各々に対応して配置された位置合わせピンを備えており、全ての前記支持部材が、前記軌道又は天井に上部が支持され、下端近傍に形成された溝内に上下方向に面した第１の規制面が形成された上部分と、前記上部分から分離可能に前記上部分に上部が接続され、下部に前記棚部が支持され、上端近傍に形成された溝内に上下方向に面した第２の規制面が形成された下部分と、前記上部分の前記溝内に前記下部分の前記溝より上方の部分が嵌合し、前記下部分の前記溝内に前記上部分の前記溝より下方の部分が嵌合して、前記第２の規制面が前記第１の規制面に当接することにより、前記上部分と前記下部分とが接続される前記上部分と前記下部分との接続箇所に、前記上部分の下端近傍に固定して配置され、下方向に開口する筒状の上カバーと、前記下部分の上端近傍に上下方向に移動可能に配置され、前記上カバーと咬合可能に形成されて前記上カバーに咬合して支持され、前記上カバーに咬合されたときに水平方向に関して前記上部分に対する前記下部分の移動を規制する第３の規制面が内表面に形成され、上方向に開口する筒状の下カバーと、から構成されて、前記上部分と前記下部分との接続箇所を覆う接続カバーとを有し、前記下部分には、前記下カバーの下端の開口より大きくなるように、外表面からその外側への突出する突出部が周方向に沿って延在して構成される受け部材を固定して有しており、前記軌道又は天井に上部が支持された状態を保持したままで、前記搬送台車が前記棚部上の前記所定の位置に前記被搬送物を載置することができる形状と、前記棚部が前記軌道の下方以外の位置へと退避する形状とを選択的に取るように変形可能に形成されているものである。

本発明の被搬送物の保管装置によると、搬送台車のメンテナンスなどの際に支持部材を変形させることによって棚部を軌道の下方以外の位置へと退避させることができる。そして、メンテナンスなどの作業の終了後には支持部材を変形前の形状に戻すことにより、搬送台車が被搬送物であるＦＯＵＰの下面に形成された位置合わせ穴を棚部上の所定の水平位置に載置できるような位置（即ち、水平方向に関する載置位置を規定するための位置合わせピン）に棚部を正確に戻すことができる。したがって、棚部を戻した後に再びティーチングを行う必要がなく、ティーチングを必要とする場合と比べて作業の負担が小さくなる。また、保管装置や支持部材全体を取り外す必要がないので、これらの全体を取り外す必要がある場合と比べて作業の負担が小さくなる。
また、支持部材が分離可能に接続された２部分からなることにより、メンテナンスなどの作業の際には棚部と共に下部分を分離し、作業後には再び下部分を上部分に接続することができる。これによって、搬送台車が被搬送物を所定の水平位置に載置可能な位置と、搬送台車が走行する領域の下方から退避した位置とを、棚部が選択的に取るように変形する支持部材が、簡易に実現する。
また、この構成によると、まず下部分の第１の規制面が上部分の第２の規制面に当接することにより、下部分を上部分に吊り下げることが可能な構成が実現する。そして、上部分及び下部分の接続箇所を覆うカバー部材が、第３の規制面によって上部分と下部分とが互いにずれるのを規制している。したがって、棚部の位置を元に戻した際に、棚部の水平位置が確実に元の位置に戻る。また、上部分と下部分とが接続されていると共に、下カバーが上カバーに固定されている。これによって、下部分が落下せず、上部分に対して水平方向にずれることがないように、下部分の移動が規制されている。したがって、下部分の下端に支持された棚部が落下することなく、さらにその水平位置が厳密に保持される。
更に、下カバーが上カバーから分離されて落下した場合に、受け部材に引っかかってそれ以上落下しない。

また、本発明の被搬送物の保管装置によると、被搬送物を把持しつつ天井に敷設された軌道上を走行する搬送台車からの前記被搬送物を保管する保管装置であって、水平方向に関する所定の位置に前記搬送台車からの前記被搬送物が載置される棚部と、上部が前記軌道又は天井に支持され、下部に前記棚部が支持された支持部材と、を備えており、前記支持部材が、前記軌道又は天井に上部が支持された第１の上部分と、前記第１の上部分から分離可能に前記第１の上部分に上部が接続され、下部に前記棚部が支持された第１の下部分と、前記軌道又は天井において前記搬送台車の走行方向から見てその走行領域を前記第１の上部分と共に挟む位置に上部が支持された第２の上部分と、前記走行方向に垂直な面内で前記走行領域の下方から離隔する方向に回転可能に上部が前記第２の上部分に支持され、下部に前記棚部が支持された第２の下部分と、を有しており、前記軌道又は天井に上部が支持された状態を保持したままで、前記搬送台車が前記棚部上の前記所定の位置に前記被搬送物を載置することができる形状と、前記棚部が前記軌道の下方以外の位置へと退避する形状とを選択的に取るように変形可能に形成されているものである。
本発明の被搬送物の保管装置によると、走行方向から見て軌道の左右両側に支持部材が設置されており、一方の支持部材は分離可能に、他方の支持部材は上部分と下部分とが回転可能に構成されている。したがって、一方を分離させて他方の下部分を回転させることにより、軌道の下方以外の位置へと棚部を容易に退避させることができる。また、棚部を退避させた状態から他方の下部分を上記の場合とは逆方向に回転させることにより、搬送台車が被搬送物を棚部上の所定の水平位置に載置できるような位置に棚部を容易に戻すことができる。また、支持部材の一方のみを分離させればよいので、退避及び復帰の作業が簡易であり、復帰後の棚部の位置もより正確に元に戻すことができる。

また、本発明においては、前記第１の上部分が、下端近傍に形成された溝内に上下方向に面した第１の規制面が形成され、前記第１の下部分が、上端近傍に形成された溝内に上下方向に面した第２の規制面が形成され、前記第１の上部分の前記溝内に前記第１の下部分の前記溝より上方の部分が嵌合し、前記第１の下部分の前記溝内に前記第１の上部分の前記溝より下方の部分が嵌合して前記第２の規制面が前記第１の規制面に当接することにより、前記第１の上部分から分離可能に前記第１の上部分に上部が接続され、前記支持部材が、更に、前記第１の上部分の下端近傍に固定して配置され、下方向に開口する筒状の上カバーと、前記第１の下部分の上端近傍に上下方向に移動可能に配置され、前記上カバーと咬合可能に形成されて前記上カバーに咬合して支持され、前記上カバーに咬合されたときに水平方向に関して前記第１の上部分に対する前記第１の下部分の移動を規制する第３の規制面が内表面に形成され、上方向に開口する筒状の下カバーと、から構成されて、前記第１の上部分と前記第１の下部分との接続箇所を覆う接続カバーとを有していることが好ましい。この構成によると、まず下部分の第１の規制面が上部分の第２の規制面に当接することにより、下部分を上部分に吊り下げることが可能な構成が実現する。そして、上部分及び下部分の接続箇所を覆うカバー部材が、第３の規制面によって上部分と下部分とが互いにずれるのを規制している。したがって、棚部の位置を元に戻した際に、棚部の水平位置が確実に元の位置に戻る。また、上部分と下部分とが接続されていると共に、下カバーが上カバーに固定されている。これによって、下部分が落下せず、上部分に対して水平方向にずれることがないように、下部分の移動が規制されている。したがって、下部分の下端に支持された棚部が落下することなく、さらにその水平位置が厳密に保持される。
更に、本発明において、前記被搬送物が、下面に複数の位置合わせ穴が形成された、半導体を収容するためのＦＯＵＰであり、前記棚部が、前記位置合わせ穴の各々に対応して配置された位置合わせピンを備えていることが好ましい。この構成によると、ＦＯＵＰが棚部上において、位置合わせ穴と位置合わせピンとが嵌合する所定の載置位置に、正確に載置される。

［第１の実施形態］
本発明の好適な実施形態の一例である第１の実施形態に係る保管装置１について説明する。図１は、搬送システム１００に付随して用いられている保管装置１の正面図である。搬送システム１００は、固定部材１２１を介して天井２１０に吊り下げられた軌道レール１２０と、軌道レール１２０上を方向Ｄ１に沿って走行する搬送台車１１０とを有している。軌道レール１２０には搬送台車１１０が被搬送物を載置する位置を示すバーコード１２２が貼り付けられている。

搬送台車１１０は、図示されていないバーコードリーダを有しており、バーコード１２２が示す情報を読み取ることができる。また、搬送台車１１０はグリッパ１１１を有しており、グリッパ１１１は昇降ベルト１１２を介して搬送台車１１０の上部から吊り下げられている。搬送台車１１０は昇降ベルト１１２を巻き上げたり繰り出したりすることにより、グリッパ１１１を鉛直方向に沿って昇降する。また、搬送台車１１０は、軌道レール１２０上で停止したままグリッパ１１１を水平方向に関して並進移動させることができ、また、軸Ａに関して回転移動させることができる。

グリッパ１１１はフープ２２０を把持することができると共に、把持したフープ２２０を開放することができる。フープ２２０は製造途中の半導体基板などを収容する容器である。フープ２２０の下面には複数の位置合わせ穴２２１が形成されており、かかる位置合わせ穴２２１が、フープ２２０の水平方向に関する載置位置を規定している。

保管装置１は、載置棚３０と、載置棚３０の上面が水平に沿うように載置棚３０を支持する４本の支柱１０とを有している。４本の支柱１０のうちの２本は、軌道レール１２０を挟んで残りの２本と対向するように配置されており、図１には一方の２本のみが示されている。載置棚３０は支柱１０の下端に固定されている。支柱１０は後述の接続カバー２０を有している。また、載置棚３０には複数のフープ２２０が載置される。

載置棚３０の上面には複数の位置合わせピン３１が、載置棚３０上のフープ２２０の各載置位置に固定されている。載置位置のそれぞれには、１個のフープ２２０に形成された１組の位置合わせ穴２２１に対応する１組の位置合わせピン３１が配置されている。この１組の位置合わせピン３１は、１個のフープ２２０に形成された１組の位置合わせ穴２２１の水平方向に関する互いの位置関係と同様の位置関係を互いに有している。つまり、１個のフープ２２０を載置位置に載置すると、そのフープ２２０に形成された位置合わせ穴２２１がちょうど載置位置上の位置合わせピン３１に嵌合するような位置関係を有している。

以下は、保管装置１が軌道レール１２０に設置される際の工程の一例である。まず、支柱１０の下端に載置棚３０を固定する。次に、支柱１０の上端を固定部材１９を介して軌道レール１２０に固定する。次に、軌道レール１２０の下面において載置棚３０の上方の位置にバーコード１２２を貼り付け、載置棚３０の上面において各バーコード１２２の鉛直下方の近傍に位置合わせピン３１を固定する。つまり、バーコード１２２の下方近傍が載置位置に設定される。

上記のように保管装置１が設置された場合には、バーコード１２２が示す載置位置と位置合わせピン３１との水平方向に関する正確な位置関係を、搬送システム１００に教示する作業（以下、「ティーチング作業」と呼称する）が必要となる。以下は、ティーチング作業についての説明である。

まず、フープ２２０を把持させたまま搬送台車１１０に軌道レール１２０上を走行させ、載置棚３０上の所定の載置位置を示すバーコード１２２まで到達させる。なお、バーコード１２２まで搬送台車１１０を移動させる動作は、搬送システム１００が自動で制御する。

次に、オペレータが搬送システム１００を操作して、搬送台車１１０にグリッパ１１１を下降させる。そして、フープ２２０の下面が載置棚３０上の位置合わせピン３１に近接すると、オペレータは、フープ２２０及び位置合わせピン３１の水平位置を目視で確認しつつ搬送台車１１０にグリッパ１１１を水平方向に関して並進移動させたり回転移動させたりする。これによって、位置合わせ穴２２１及び位置合わせピン３１の互いの水平方向に関する位置関係を目視で調整しつつ、これらが互いに嵌合するように載置棚３０上にフープ２２０を載置する。そして、搬送台車１１０がフープ２２０を載置棚３０上に載置するまでにグリッパ１１１を並進移動させた量及び回転移動させた量を記憶するよう、搬送システム１００を操作する。以上のティーチング作業は、載置棚３０ごとに、また載置棚３０に設置された載置位置ごとに実施される。

上記のようなティーチング作業に基づいて、搬送システム１００は以下のようにフープ２２０を搬送する。まず、所定の載置位置に載置されたフープ２２０の上方まで搬送台車１１０を移動させ、グリッパ１１１をフープ２２０まで下降させる。次に、グリッパ１１１にフープ２２０を把持させ、グリッパ１１１を上昇させる。次に、フープ２２０をグリッパ１１１に把持させたまま搬送台車１１０を軌道レール１２０上で走行させつつ、軌道レール１２０上のバーコード１２２を順に読み取らせる。そして、載置棚３０上の所定の載置位置を示すバーコード１２２を認識するまで走行させる。搬送台車１１０は、そのバーコード１２２を認識すると、軌道レール１２０上で停止する。そして、フープ２２０が載置棚３０上に到達するまでグリッパ１１１を下降させる。フープ２２０が載置棚３０に到達するまでに、上記のティーチング作業によって記憶した移動量だけ、グリッパ１１１を並進移動及び回転移動させる。これによって、フープ２２０が載置棚３０上において、位置合わせ穴２２１と位置合わせピン３１とが嵌合する所定の載置位置に、正確に載置される。

保管装置１についてさらに詳細に説明する。図２は、図１の保管装置１を搬送台車１１０の走行方向（図１の方向Ｄ）から見た側面図である。また、図３（ａ）は、図２の破線に囲まれた領域の一部断面及び内部を含む拡大図である。図３（ｂ）は図３（ａ）のＢ−Ｂ線に沿った断面図である。なお、図２においては搬送台車１１０及びフープ２２０が省略されている。

支柱１０のそれぞれは、上支柱１１及び下支柱１２を有している。上支柱１１及び下支柱１２のいずれも、長さ方向に関して垂直な断面が円形の形状を有している。上支柱１１及び下支柱１２は互いに接続カバー２０内において接続されている。図３（ａ）には接続カバー２０内の様子が示されている。上支柱１１の下端近傍には溝１３が形成されており、下支柱１２の上端近傍には溝１４が形成されている。溝１３及び１４は、下支柱１２において溝１４より上方の部分が溝１３内に嵌合し、上支柱１１において溝１３より下方の部分が溝１４内に嵌合するように形成されている。そして、上支柱１１及び下支柱１２が溝１３及び１４において互いに嵌合することにより、上支柱１１と下支柱１２とが接続されている。このとき、溝１３内の上方に面した面１３ａ（第１の規制面）が、溝１４内の下方に面した面１４ａ（第２の規制面）に、下方から当接している。これによって、下支柱１２が下方に落下しないようにその移動が規制されている。なお、上支柱１１及び下支柱１２の接続手段としては、下支柱１２が落下しないようにその移動を規制する面１３ａ及び１４ａのような規制面が形成されていれば、どのような構成であってもよい。

接続カバー２０は、上支柱１１の下端近傍に固定された上カバー２１と、上カバー２１に支持された下カバー２２とから構成されている。上カバー２１及び下カバー２２は、上支柱１１及び下支柱１２の接続箇所を覆うカバーである。上カバー２１及び下カバー２２のいずれも筒状の部材であり、上下の両方向に関して開口している。

上カバー２１及び下カバー２２は互いに咬合領域２０ａにおいて咬合している。咬合領域２０ａにおいて上カバー２１の外表面及び下カバー２２の内表面には、互いに咬合可能に螺子山が形成されている。上カバー２１を固定しつつ下カバー２２を図３（ｂ）の方向Ｄ２に沿って回転させると、上カバー２１に下カバー２２を固定したり、上カバー２１から下カバー２２を分離したりすることができる。上カバー２１は上支柱１１に固定されているが、下カバー２２は上支柱１１及び下支柱１２のいずれにも固定されていない。つまり、下カバー２２は上カバー２１から分離されたときに、内部を下支柱１２が貫通した状態で図３（ａ）の上下方向に自由に移動できるように構成されている。また、下カバー２２の内表面２２ａ及び２２ｂ（第３の表面）は、上カバー２１に固定されたときに下支柱１２が上支柱１１に対して水平方向にずれるのを可能な限り防止するような形状及び大きさに調整されている。

さらに、下支柱１２には、受け部材１５が固定されている。受け部材１５は、下支柱１２の外表面からその外側へと突出する突出部であり、円柱状の下支柱１２の周方向に沿って延在している。受け部材１５は、下カバー２２の下端の開口より大きくなるように構成されている。これによって支柱１０は、下カバー２２が上カバー２１から分離されて落下した場合に、受け部材１５に引っかかってそれ以上落下しないように構成されている。

以上の構成により、上支柱１１と下支柱１２とが接続されていると共に、下カバー２２が上カバー２１に固定されている。これによって、下支柱１２が落下せず、上支柱１１に対して水平方向にずれることがないように、下支柱１２の移動が規制されている。したがって、下支柱１２の下端に支持された載置棚３０が落下することなく、さらにその水平位置が厳密に保持される。

また、搬送台車１１０のメンテナンスなどの際に、搬送台車１１０の走行領域の下方から載置棚３０を退避させる必要がある場合には、図４に示されているように下カバー２２を上カバー２１から分離すると共に、下支柱１２を上支柱１１から分離する。これによって、載置棚３０を簡易に退避することができる。

さらに、メンテナンスなどの作業が終了した場合には、再び下支柱１２を上支柱１１に接続し、下カバー２２を上カバー２１に固定する。これによって、載置棚３０を簡易に再設置できると共に、上記のとおり下カバー２２が下支柱１２の上支柱１１に対するずれを規制するので、載置棚３０の退避前の水平位置が再設置後に確実に再現される。したがって、ティーチング作業を再実施する必要もなく、また載置棚３０の退避及び復帰を簡易に実施することができる。

［第２の実施形態］
本発明の好適な実施形態の他の一例である第２の実施形態について説明する。図５（ａ）は、第２の実施形態に係る保管装置３０１を搬送台車１１０の走行方向から見た図である。図５（ｂ）は、図５（ａ）のＢ−Ｂ線に沿った、後述の接続部３２０の断面図である。なお、第２の実施形態において第１の実施形態と同じ構成には同じ符号を付し、その説明を省略する。

保管装置３０１は、位置合わせピン３１が固定された載置棚３０と、載置棚３０を支持する４本の支柱とを有している。これら４本の支柱のうちの２本は第１の実施形態と同じ構成の支柱１０であるが、残りの２本は第１の実施形態の構成と異なる支柱３１０である。２本の支柱１０は残り２本の支柱３１０に軌道レール１２０を挟んで対向している。なお、図５（ａ）には４本の支柱のうち、互いに対向している１組の支柱１０及び３１０のみが示されている。

支柱３１０は、上支柱３１１及び下支柱３１２を有している。上支柱３１１と下支柱３１２とは接続部３２０において互いに接続されている。図５（ｂ）に示されているように、上支柱３１１の下端近傍には回転軸３１１ａが固定されており、下支柱３１２の上端には回転軸３１１ａの軸受け３１１ａが設けられている。これによって、回転軸３１２ａを中心に図５（ａ）の方向Ｄ３に沿って回転可能に上支柱３１１と下支柱３１２とが接続されている。なお、図５（ａ）の状態から時計回りの方向には回転可能であるが、図５（ａ）の状態からの反時計回りの回転が規制されるように、接続部３２０が構成されていてもよい。

支柱１０の下方にはリング３３２が固定されている。また、天井２１０において固定部材１２１から図５（ａ）の左方へと所定の距離だけ離隔した位置には、フック３３１が固定されている。

以上の構成により、搬送台車１１０の走行領域の下方から載置棚３０を退避させる必要がある場合には、図６（ａ）及び図６（ｂ）のように支柱１０及び３１０を変形させればよい。まず、下カバー２２を上カバー２１から分離すると共に、下支柱１２を上支柱１１から分離する。次に、下支柱３１２を上支柱３１１に対して回転軸３１２ａを中心に図６（ａ）の時計回りに回転させる。そして、リング３３２が天井２１０付近まで回転すると、図６（ｂ）のようにリング３３２をフック３３１に引っ掛ける。このように、載置棚３０が軌道レール１２０の下方（搬送台車１１０の走行領域の下方）から離隔するように下支柱３１２を上支柱３１１に対して回転させると、載置棚３０を軌道レール１２０の下方から退避させることができる。なお、フック３３１と固定部材１２１との距離は、ちょうどリング３３２がフック３３１に引っ掛けられるような大きさに調整されている。

また、退避させた載置棚３０を軌道レール１２０の下方に復帰させる場合には、以下のように支柱１０及び３１０を変形させればよい。まず、リング３３２をフック３３１から取り外す。次に、回転軸３１２ａを中心に下支柱３１２を図６（ｂ）の反時計回りに回転させる。次に、下支柱１２の上端が上支柱１１の下端に至るまで下支柱３１２を回転させると、下支柱１２の上端を上支柱１１に接続する。そして、下カバー２２を上カバー２１に固定する。このように、下支柱３１２を上支柱３１１に対して回転させることにより、載置棚３０を軌道レール１２０の下方へと復帰させることができる。

以上のように、第２の実施形態によると、下支柱１２を上支柱１１に対して回転させることにより、軌道レール１２０の下方から載置棚３０を退避させたり、軌道レール１２０の下方へと載置棚３０を復帰させたりすることが簡易にできる。また、載置棚３０の復帰の際に、接続カバー２０によって下支柱１２の上支柱１１に対するずれが規制されるので、載置棚３０の復帰後に再びティーチング作業を実施する必要がない。さらに、２本の支柱１０を分離させるだけであるので、第１の実施形態に比べて退避及び復帰の作業が簡易である。

＜変形例＞
以上は、本発明の好適な実施の形態についての説明であるが、本発明は上述の実施の形態に限られるものではなく、課題を解決するための手段に記載された内容の限りにおいて様々な変更が可能なものである。例えば、上述の実施形態においては支柱１０の上端は軌道レール１２０に固定されているが、天井２１０に固定されていてもよい。

図１は、本発明の一実施形態である保管装置の正面図である。図２は、図１の保管装置を搬送台車の走行方向から見た側面図である。図３（ａ）は、図２の破線に囲まれた領域の一部断面及び内部を含む拡大図であり、図３（ｂ）は図３（ａ）のＢ−Ｂ線に沿った断面図である。図３（ａ）の保管装置において下支柱が上支柱から分離された様子を示す図である。図５は、本発明の他の実施形態である保管装置の側面図である。図５の保管装置において棚部を退避させる手順を示す図である。

符号の説明

１，３０１保管装置
１０，３１０支柱
１１，３１１上支柱
１２，３１２下支柱
２０接続カバー
２１上カバー
２２下カバー
３０載置棚
３１位置合わせピン
１００搬送システム
１１０搬送台車
１２０軌道レール
２１０天井
２２０フープ
２２１位置合わせ穴

Claims

被搬送物を把持しつつ天井に敷設された軌道上を走行する搬送台車からの前記被搬送物を保管する保管装置であって、
水平方向に関する所定の位置に前記搬送台車からの前記被搬送物が載置される棚部と、
上部が前記軌道又は天井に支持され、下部に前記棚部が支持された１又は複数の支持部材と、を備えており、
前記被搬送物が、下面に複数の位置合わせ穴が形成された、半導体を収容するためのＦＯＵＰであり、
前記棚部が、前記位置合わせ穴の各々に対応して配置された位置合わせピンを備えており、
全ての前記支持部材が、
前記軌道又は天井に上部が支持され、下端近傍に形成された溝内に上下方向に面した第１の規制面が形成された上部分と、
前記上部分から分離可能に前記上部分に上部が接続され、下部に前記棚部が支持され、上端近傍に形成された溝内に上下方向に面した第２の規制面が形成された下部分と、
前記上部分の前記溝内に前記下部分の前記溝より上方の部分が嵌合し、前記下部分の前記溝内に前記上部分の前記溝より下方の部分が嵌合して、前記第２の規制面が前記第１の規制面に当接することにより、前記上部分と前記下部分とが接続される前記上部分と前記下部分との接続箇所に、前記上部分の下端近傍に固定して配置され、下方向に開口する筒状の上カバーと、前記下部分の上端近傍に上下方向に移動可能に配置され、前記上カバーと咬合可能に形成されて前記上カバーに咬合して支持され、前記上カバーに咬合されたときに水平方向に関して前記上部分に対する前記下部分の移動を規制する第３の規制面が内表面に形成され、上方向に開口する筒状の下カバーと、から構成されて、前記上部分と前記下部分との接続箇所を覆う接続カバーとを有し、
前記下部分には、前記下カバーの下端の開口より大きくなるように、外表面からその外側への突出する突出部が周方向に沿って延在して構成される受け部材を固定して有しており、
前記軌道又は天井に上部が支持された状態を保持したままで、前記搬送台車が前記棚部上の前記所定の位置に前記被搬送物を載置することができる形状と、前記棚部が前記軌道の下方以外の位置へと退避する形状とを選択的に取るように変形可能に形成されていることを特徴とする被搬送物の保管装置。
被搬送物を把持しつつ天井に敷設された軌道上を走行する搬送台車からの前記被搬送物を保管する保管装置であって、
水平方向に関する所定の位置に前記搬送台車からの前記被搬送物が載置される棚部と、
上部が前記軌道又は天井に支持され、下部に前記棚部が支持された支持部材と、を備えており、
前記支持部材が、
前記軌道又は天井に上部が支持された第１の上部分と、
前記第１の上部分から分離可能に前記第１の上部分に上部が接続され、下部に前記棚部が支持された第１の下部分と、
前記軌道又は天井において前記搬送台車の走行方向から見てその走行領域を前記第１の上部分と共に挟む位置に上部が支持された第２の上部分と、
前記走行方向に垂直な面内で前記走行領域の下方から離隔する方向に回転可能に上部が前記第２の上部分に支持され、下部に前記棚部が支持された第２の下部分と、を有しており、
前記軌道又は天井に上部が支持された状態を保持したままで、前記搬送台車が前記棚部上の前記所定の位置に前記被搬送物を載置することができる形状と、前記棚部が前記軌道の下方以外の位置へと退避する形状とを選択的に取るように変形可能に形成されていることを特徴とする被搬送物の保管装置。
前記第１の上部分が、下端近傍に形成された溝内に上下方向に面した第１の規制面が形成され、
前記第１の下部分が、上端近傍に形成された溝内に上下方向に面した第２の規制面が形成され、前記第１の上部分の前記溝内に前記第１の下部分の前記溝より上方の部分が嵌合し、前記第１の下部分の前記溝内に前記第１の上部分の前記溝より下方の部分が嵌合して前記第２の規制面が前記第１の規制面に当接することにより、前記第１の上部分から分離可能に前記第１の上部分に上部が接続され、
前記支持部材が、更に、前記第１の上部分の下端近傍に固定して配置され、下方向に開口する筒状の上カバーと、前記第１の下部分の上端近傍に上下方向に移動可能に配置され、前記上カバーと咬合可能に形成されて前記上カバーに咬合して支持され、前記上カバーに咬合されたときに水平方向に関して前記第１の上部分に対する前記第１の下部分の移動を規制する第３の規制面が内表面に形成され、上方向に開口する筒状の下カバーと、から構成されて、前記第１の上部分と前記第１の下部分との接続箇所を覆う接続カバーとを有していることを特徴とする請求項２に記載の被搬送物の保管装置。
前記被搬送物が、下面に複数の位置合わせ穴が形成された、半導体を収容するためのＦＯＵＰであり、
前記棚部が、前記位置合わせ穴の各々に対応して配置された位置合わせピンを備えていることを特徴とする請求項２または３に記載の被搬送物の保管装置。