KR20200036963A - 반송 장치 - Google Patents

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KR20200036963A KR1020180115560A KR20180115560A KR20200036963A KR 20200036963 A KR20200036963 A KR 20200036963A KR 1020180115560 A KR1020180115560 A KR 1020180115560A KR 20180115560 A KR20180115560 A KR 20180115560A KR 20200036963 A KR20200036963 A KR 20200036963A
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조재익
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Abstract

본 발명은 반송 장치를 제공한다. 물품이 수납된 용기를 이송하는 반송 장치는, 한 쌍의 주행레일과; 용기를 착탈 가능하도록 파지하는 그립부재와 상기 주행레일을 따라 이동되는 주행부를 가지는 반송유닛과; 상기 한 쌍의 주행레일을 천장에 고정시키는 결합 유닛을 포함하되, 상기 결합 유닛은, 상기 한 쌍의 주행레일이 서로 이격된 방향으로 일정한 간격을 유지하도록 하는 프레임과; 상기 프레임을 상기 천장에 고정시키는 활동고정체가 고정 결합되는 결합구 및 상기 결합구가 회전 가능하게 삽입되는 삽입홀이 형성되며 상기 프레임에 결합된 바디를 가지는 결합부재를 포함할 수 있다.

Description

반송 장치{Transferring apparatus}
본 발명은 반송 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 제조 라인에서 기판이 수납된 캐리어 용기를 이송하는 반송 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자를 제조하기 위해서는 증착, 사진, 그리고 식각 공정과 같은 다양한 종류의 공정들이 수행되며, 이들 각각의 공정을 수행하는 장치들은 반도체 제조 라인 내에 배치된다. 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 웨이퍼들은 캐리어에 수납된 상태로 각 반도체 공정 장치에 제공되거나 캐리어를 이용하여 각 반도체 공정 장치로부터 회수될 수 있다.
캐리어는 오버 헤드 트랜스퍼(Overhead Hoist Transport, 이하 OHT)에 의해 이송된다. OHT는 대상물이 수납된 캐리어를 이용하여 반도체 공정 장치들의 로드 포트로 이송하고, 공정 처리된 대상물이 수납된 캐리어를 로드 포트로부터 픽업하여 외부로 반송한다.
도 1은 일반적인 OHT를 보여주는 사시도이다. 도 1을 참조하면, OHT(10)는 레일(16)을 반도체 제조 라인의 천장에 고정 결합시키는 턴버클(12)과, 레일(16)을 레일(16)의 길이 방향에 수직한 방향으로 일정한 간격을 유지하도록 하는 요크(14)를 포함하고, 각각의 턴버클(12)과 요크(14)는 결합볼트(18)에 의하여 레일(16)에 결합된다. 이러한 일반적인 OHT에서는, 턴버클(12)과 요크(14)가 각각 레일(16)에 결합되기 때문에 다수의 결합볼트(18)가 필요하고, 이에 작업 공수가 많이 소요되는 문제점이 있었다.
또한, 레일(16)에는 캐리어를 이송하는 반송 유닛이 놓인다. 반송 유닛의 하중에 의해 레일(16)에 아래 방향 및 측방향으로 힘이 가해진다. 이 경우, 레일(16)에 가해지는 힘은 요크(14)의 중심부에 집중된다. 요크(14)의 구조는 그 중심부에 집중되는 하중을 분산시키지 못하고, 장기간 사용된 요크(14)는 그 중심부가 휘어지는 변형이 생겨난다.
이를 해결하기 위해, 도 2와 같이 요크 일체형 턴버클 기구(20)가 사용될 수 있다. 요크 일체형 턴버클 기구(20)는 레일(16)을 레일(16)의 길이 방향에 수직한 방향으로 일정한 간격을 유지하도록 하는 프레임(22)을 포함한다. 그리고, 프레임(22)의 양측에는 홀이 형성되어, 전산볼트(24)와 나사 결합된다. 이에 프레임(22)과 레일(16)은 반도체 제조 라인의 천장에 고정 결합된다. 도 3은 도 2의 요크 일체형 턴버클 기구(20)에서 설치오차가 발생된 모습을 보여주는 단면도이다. 요크 일체형 턴버클 기구(20)를 전산볼트(24)로 천장에 고정결합 시킬 때, 작업자의 숙련도에 따라 설치 오차가 발생될 수 있다. 천장에서의 전산볼트(24)의 설치 오차가 다소 미세 하더라도, 천장과 레일(16)의 거리에 비례하여 레일(16)의 높이 상승 또는 처짐은 증폭된다. 이 경우, 레일(16)에 놓이는 반송 유닛이 이동하는 경로는 휘어질 수 있다. 또한, 상술한 설치 오차에 의해 요크 일체형 턴버클 기구(20)에 비틀림이 발생할 수 있다. 이러한 비틀림은 요크 일체형 턴버클 기구(20)의 변형을 일으키고, 나아가 요크 일체형 턴버클 기구(20)의 수명이 단축시킨다.
본 발명은 요크와 턴버클의 기능을 통합하여 주행레일을 설치하는데 있어서 소요되는 작업 공수를 최소화 하는 반송 장치를 제공하고자 한다.
또한, 본 발명은 전산 볼트의 길이를 감소시켜 반송 장치의 고유 진동 모드 주파수를 향상시키는 반송 장치를 제공하고자 한다.
또한, 본 발명은 반송 장치를 설치하는데 있어서 설치 오차가 발생하는 경우, 설치 오차에 의한 반송 장치의 비틀림을 최소화하는 반송 장치를 제공하고자 한다.
또한, 본 발명은 반송 장치를 설치하는데 있어서 설치 오차가 발생하는 경우, 설치 오차에 의한 주행레일의 높이를 조절할 수 있는 반송 장치를 제공하고자 한다.
또한, 본 발명은 가해지는 하중을 분산시킬 수 있는 반송 장치를 제공하고자 한다.
또한, 본 발명은 반송 장치가 설치되는 면적을 최소화 할 수 있는 반송 장치를 제공하고자 한다.
본 발명의 목적은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명은 반송 장치를 제공한다. 물품이 수납된 용기를 이송하는 반송 장치는, 서로 대향되고 이격되게 배치되는 한 쌍의 주행레일과; 용기를 착탈 가능하도록 파지하는 그립부재와 상기 그립부재와 연결되고 상기 주행레일을 따라 이동되는 주행부를 가지는 반송유닛과; 상기 한 쌍의 주행레일을 상기 반송 장치가 설치되는 공간의 천장에 고정시키는 결합 유닛을 포함하되, 상기 결합 유닛은, 상기 한 쌍의 주행레일이 서로 이격된 방향으로 일정한 간격을 유지하도록 하는 프레임과; 상기 프레임을 상기 천장에 고정시키는 활동고정체가 고정 결합되는 결합구 및 상기 결합구가 회전 가능하게 삽입되는 삽입홀이 형성되며 상기 프레임에 결합된 바디를 가지는 결합부재를 포함할 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 프레임에는, 상기 프레임을 상기 천장에 고정시키는 구속고정체가 고정 결합되는 고정홀이 형성될 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 고정홀은 그 길이 방향이 상기 주행레일의 길이 방향에 평행하도록 형성될 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 고정홀은, 상기 한 쌍의 주행레일이 이격된 공간의 중심을 지나며 상기 천장에 수직한 축에 평행한 중심축을 기준으로 일측에 형성되고, 상기 결합 부재는, 상기 중심축을 기준으로 타측에서 상기 프레임과 결합될 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 삽입홀에서 상기 바디와 상기 결합구 사이에는 베어링이 제공되고, 상기 바디는 상기 프레임의 측방향에서 상기 프레임에 결합되고, 상기 활동고정체는 상기 천장과 수직한 방향에서 상기 결합구에 결합될 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 활동고정체는 볼트로 제공되고, 상기 활동고정체의 회전에 의하여 상기 프레임의 높이가 조절될 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 활동고정체와 상기 결합구는 억지끼워 맞춤으로 결합될 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 활동고정체와 상기 결합구는 나사 결합될 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 프레임은, 상기 한 쌍의 주행레일 중 어느 하나와 결합되고, 그 길이방향이 상기 천장에 수직한 축과 평행하게 제공되는 제1수직부와; 상기 제1수직부와 평행하고, 상기 한 쌍의 주행레일 중 다른 하나와 결합되는 제2수직부와; 상기 제1수직부와 상기 제2수직부를 연결하는 연결부를 포함할 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 프레임은, 상기 제1수직부의 하단으로부터 상기 제2수직부를 향하는 방향으로 상기 제1수직부에 수직하게 연장되고, 상기 한 쌍의 주행레일 중 하나와 결합되는 제1절곡부와, 상기 제2수직부의 하단으로부터 상기 제1수직부를 향하는 방향으로 상기 제1수직부에 수직하게 연장되고, 상기 한 쌍의 주행레일 중 다른 하나와 결합되는 제2절곡부를 가질 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 제1절곡부는 상기 한 쌍의 주행레일 중 하나와 볼트에 의해 나사결합되고, 상기 제2절곡부는 상기 한 쌍의 주행레일 중 다른 하나와 볼트에 의해 나사결합될 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 프레임은, 상기 제1수직부와 상기 연결부가 연결되는 영역에 제공되는 제1결합부와, 상기 제2수직부와 상기 연결부가 연결되는 영역에 제공되는 제2결합부를 포함하되, 상기 제1결합부는 상기 연결부의 길이방향을 따라 상기 천장과 수평하게 상기 연결부로부터 연장되고, 상기 제2결합부는 상기 연결부의 길이방향을 따라 상기 천장과 수평하게 상기 제1결합부가 연장되는 방향과 대칭되는 방향으로 상기 연결부로부터 연장되고, 상기 결합부재는 상기 제1결합부에 결합되고, 상기 고정홀은 상기 제2결합부에 형성될 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 프레임은, 상기 연결부의 상면에서 상기 천장을 향해 연장되는 제1결합부 및 제2결합부를 포함하되, 상기 제1결합부와 상기 제2결합부의 끝단은 상기 프레임의 외측으로 절곡되되, 상기 끝단 사이의 폭은 상기 제1수직부와 상기 제2수직부의 외측면 사이의 폭보다 작거나 같을 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 의하면, 물품이 수납된 용기를 이송하는 반송 장치는, 서로 대향되고 이격되게 배치되는 한 쌍의 주행레일과; 상기 한 쌍의 주행레일을 상기 반송 장치가 설치되는 공간의 천장에 고정시키는 제1결합 유닛과 제2결합 유닛을 포함하되, 상기 제1결합 유닛은, 상기 한 쌍의 주행레일이 서로 이격된 방향으로 일정한 간격을 유지하도록 하는 제1프레임과; 상기 제1프레임을 상기 천장에 고정시키는 활동고정체가 고정 결합되는 결합구 및 상기 결합구가 회전 가능하게 삽입되는 삽입홀이 형성되며 상기 제1프레임에 결합된 바디를 가지는 결합부재와; 상기 제1프레임에 형성되고, 상기 제1프레임을 상기 천장에 고정시키는 제1구속고정체가 고정결합되는 제1고정홀을 포함하고, 상기 제2결합 유닛은, 상기 한 쌍의 주행 레일이 상기 주행레일의 길이 방향으로 수직한 방향으로 일정한 간격을 유지하도록 하는 제2프레임과; 상기 제2프레임에 형성되고, 제2프레임을 상기 천장에 고정시키는 제2구속고정체가 고정결합되는 복수의 제2고정홀을 포함하고, 상기 제1결합유닛과 상기 제2결합 유닛은 상기 주행레일의 길이방향을 따라 서로 이격된 위치에서 상기 주행레일에 결합될 수 있다.
일 실시예에 의하면, 인접하는 상기 제1결합 유닛들 사이에는 하나 또는 복수의 상기 제2결합 유닛이 배치될 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 주행레일이 제공하는 경로는 곡선 경로와 직선 경로를 포함하고, 상기 제1결합 유닛은 상기 곡선 경로에 결합되고, 상기 제2결합 유닛은 상기 직선 경로에 결합될 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 물품은 기판이고, 상기 용기는 상기 기판을 수납하는 캐리어 용기일 수 있다.
또한, 본 발명은 반송 장치의 주행 레일을 반도체 제조 라인의 천장에 고정시키는 결합 유닛을 제공한다. 본 발명의 일 실시예에 의하면, 반송 장치의 주행 레일을 반도체 제조 라인의 천장에 고정시키는 결합 유닛은, 상기 한 쌍의 주행레일이 상기 주행레일의 길이 방향에 수직한 방향으로 일정한 간격을 유지하도록하는 프레임과; 상기 프레임을 상기 천장에 고정시키는 활동고정체가 고정 결합되는 결합구 및 상기 결합구가 회전 가능하게 삽입되는 삽입홀이 형성되며 상기 프레임에 결합된 바디를 가지는 결합부재를 포함할 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 프레임에는, 상기 프레임을 상기 천장에 고정시키는 구속고정체가 고정 결합되는 고정홀이 형성될 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 고정홀은 그 길이 방향이 상기 주행레일의 길이 방향에 평행하도록 형성될 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 고정홀은, 상기 한 쌍의 주행레일이 이격된 공간의 중심을 지나며 상기 천장에 수직한 축에 평행한 중심축을 기준으로 일측에 형성되고, 상기 결합 부재는, 상기 중심축을 기준으로 타측에서 상기 프레임과 결합될 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 삽입홀에서 상기 바디와 상기 결합구 사이에는 베어링이 제공되고, 상기 바디는 상기 프레임의 측방향에서 상기 프레임에 결합되고, 상기 활동고정체는 상기 결합구에 상기 천장과 수직한 방향에서 상기 결합구에 결합될 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 활동고정체는 볼트로 제공되고, 상기 활동고정체의 회전에 의하여 상기 프레임의 높이가 조절될 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 활동고정체와 상기 결합구는 억지끼워 맞춤으로 결합될 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 활동고정체와 상기 결합구는 나사 결합될 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 프레임은, 상기 한 쌍의 주행레일 중 어느 하나와 결합되고, 그 길이방향이 상기 천장에 수직한 축과 형행하게 제공되는 제1수직부와; 상기 제1수직부와 평행하고, 상기 한 쌍의 주행레일 중 다른 하나와 결합되는 제2수직부와; 상기 제1수직부와 상기 제2수직부를 연결하는 연결부를 포함할 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 프레임은, 상기 제1수직부의 하단으로부터 상기 제2수직부를 향하는 방향으로 상기 제1수직부에 수직하게 연장되고, 상기 한 쌍의 주행레일 중 하나와 결합되는 제1절곡부와, 상기 제2수직부의 하단으로부터 상기 제1수직부를 향하는 방향으로 상기 제1수직부에 수직하게 연장되고, 상기 한 쌍의 주행레일 중 다른 하나와 결합되는 제2절곡부를 가질 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 제1수직부는 상기 한 쌍의 주행레일 중 하나와 볼트에 의해 나사결합되고, 상기 제2수직부는 상기 한 쌍의 주행레일 중 다른 하나와 볼트에 의해 나사결합될 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 프레임은, 상기 제1수직부와 상기 연결부가 연결되는 영역에 제공되는 제1결합부와, 상기 제2수직부와 상기 연결부가 연결되는 영역에 제공되는 제2결합부를 포함하되, 상기 제1결합부는 상기 연결부의 길이방향을 따라 상기 천장과 수평하게 상기 연결부로부터 연장되고, 상기 제2결합부는 상기 연결부의 길이방향을 따라 상기 천장과 수평하게 상기 제1결합부가 연장되는 방향과 대칭되는 방향으로 상기 연결부로부터 연장되고, 상기 결합부재는 상기 제1결합부에 결합되고, 상기 고정홀은 상기 제2결합부에 형성될 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 프레임은, 상기 연결부의 상면에서 상기 천장을 향해 연장되는 제1결합부 및 제2결합부를 포함하되, 상기 제1결합부와 상기 제2결합부의 끝단은 상기 프레임의 외측으로 절곡되되, 상기 끝단 사이의 폭은 상기 제1수직부와 상기 제2수직부의 외측면 사이의 폭보다 작거나 같을 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 반송 장치를 설치하는데 있어서 소요되는 작업 공수를 최소화 할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 의하면, 반송 장치의 고유 진동 모드 주파수를 향상시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 의하면, 반송 장치를 설치하면서 발생하는 설치 오차를 흡수하여 반송 장치의 비틀림이 발생하는 것을 최소화할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 의하면, 반송 장치가 포함하는 주행레일의 높이를 조절할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 의하면, 반송 장치에 가해지는 하중을 분산시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 의하면, 반송 장치가 설치되는 면적을 최소화 할 수 있다.
본 발명의 효과가 상술한 효과들로 한정되는 것은 아니며, 언급되지 않은 효과들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 일반적인 오버헤드 트랜스퍼 장치를 보여주는 사시도이다.
도 2는 일반적인 요크 일체형 턴버클 기구를 보여주는 정면도이다.
도 3은 도 2의 요크 일체형 턴버클 기구에서 설치오차가 발생된 모습을 보여주는 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 반송 장치가 주행하는 것을 상부에서 바라본 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 반송 장치를 보여주는 단면도이다.
도 6은 도 5의 결합 유닛을 보여주는 단면도이다.
도 7은 도 5의 결합 유닛을 아래에서 위로 바라본 도면이다.
도 8은 도 6의 결합 부재를 보여주는 사시도이다.
도 9는 도 8의 결합 부재를 보여주는 단면도이다.
도 10은 도 6의 결합 유닛에서 설치오차가 발생된 모습을 보여주는 단면도이다.
도 11은 도 6의 결합 유닛에서 설치오차를 조절하는 모습을 보여주는 단면도이다.
도 12은 본 발명의 일 실시예에 따른 제1결합 유닛을 보여주는 단면도이다.
도 13은 도 12의 제1결합 유닛을 아래에서 위로 바라본 도면이다.
도 14는 본 발명의 일 실시예에 따른 제2결합 유닛을 보여주는 단면도이다.
도 15는 도 14의 제2결합 유닛을 아래에서 위로 바라본 도면이다.
도 16은 도 12의 제1결합 유닛과 도 14의 제2결합 유닛이 주행 레일과 결합된 모습을 보여주는 사시도이다.
도 17은 본 발명의 다른 실시예에 따른 결합 유닛을 보여주는 단면도이다.
도 18은 본 발명의 다른 실시예에 따른 결합 유닛을 보여주는 단면도이다.
아래에서는 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시 예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시 예에 한정되지 않는다. 또한, 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 유사한 기능 및 작용을 하는 부분에 대해서는 도면 전체에 걸쳐 동일한 부호를 사용한다.
어떤 구성요소를 '포함'한다는 것은, 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있다는 것을 의미한다. 구체적으로, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 또한 도면에서 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있다.
본 실시예의 장치는 용기를 반송하는데 사용될 수 있다. 특히, 본 실시예의 반송 장치는 기판이 수납된 캐리어 용기를 이송하는데 사용될 수 있다. 아래에서는, 반송 장치가 기판이 수납된 캐리어 용기를 반도체 설비 라인에 제공되는 반도체 공정 장치에 캐리어 용기를 반송하는 경우를 예로 들어 설명한다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 반송 장치가 주행하는 것을 상부에서 바라본 도면이다. 도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 반송 장치(1000)가 가지는 반송 유닛(300)은 주행레일(400)을 따라 정해진 경로를 따라 정해진 경로를 주행하게 된다. 도 1의 실시 예에서는 육각형의 형태로 주행 레일(400)이 도시되었으나, 주행 레일(400)의 형상은 원형, 사각형 등 다양하게 제공될 수 있다. 주행레일(400)은 반도체 제조라인의 천장에 부착되어 기판 처리 설비들(50)을 사ㅇ부에서 확인할 수 있도록 설치될 수 있다. 주행 레일(400)의 설치 범위는 기판 처리 설비들(50)을 전체적으로 조망할 수 있도록 넓은 영역으로 배치될 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 반송 장치를 보여주는 단면도이다. 도 5를 참조하면, 반송 장치(1000)는 서포트 부재(200), 반송 유닛(300), 주행 레일(400), 결합 유닛(500)을 포함할 수 있다.
서포트 부재(200)는 다수의 체결 부재(210)들에 의해 천장(100)에 고정될 수 있다. 체결 부재(210)들의 예로는 전산 볼트를 들 수 있다.
체결 부재(210)들은 서포트 부재(200)의 폭 방향을 따라 적어도 두개가 연결되고, 바람직하게는 네 개가 연결될 수 있다.
서포트 부재(200)는 반송 유닛(300), 주행 레일(400) 및 결합 유닛(500)을 지지할 수 있다. 또한, 서포트 부재(200)는 내부에 다수의 배선을 수납하는 배전관으로 기능할 수도 있다.
반송 유닛(300)은 반도체 공정 장치에서 반도체 소자 제조 공정을 수행하기 위한 대상물을 캐리어 용기(30)에 수납한 상태로 각 반도체 공정 장치로 제공한다. 또한, 반송 유닛(300)은 캐리어 용기(30)를 이용하여 각 반도체 공정 장치로부터 회수할 수 있다.
상술한 대상물의 예로는 반도체 기판, 다이들이 부착되기 위한 인쇄회로 기판, 인쇄회로기판에 다이들이 본딩된 반도체 패키지 등을 들 수 있다. 캐리어 용기(30)의 예로는 복수의 반도체 기판을 수납하기 위한 풉(Front Opening Unified Pod : FOUP) 및 쉬핑 박스(Front Opening Shipping Box : FOSB), 복수의 인쇄회로 기판들을 수납하기 위한 매거진, 복수의 반도체 패키지들을 수납하기 위한 트레이 등을 들 수 있다.
반송 유닛(300)은 주행레일(400)이 제공하는 경로를 따라 이동하는 주행부재(310)와 캐리어 용기(30)를 착탈 가능하도록 파지하는 그립부재(320)를 포함할 수 있다.
주행부재(310)는 주행레일(400)을 따라 이동한다. 주행부재(310)는 내부에 구비되는 모터의 구동력으로 주행레일(400)을 따라 이동할 수 있다. 상술한 예에서는, 주행부재(310)의 내부에 모터가 구비되는 것을 예로 들어 설명하였으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 구동력을 제공하는 공지의 장치가 주행부재(310)의 내부에 제공될 수 있다.
그립부재(320)는 주행부재(310)와 연결되며, 캐리어 용기(30)를 착탈 가능하도록 파지한다. 그립부재(320)는 수평 및 상하 방향으로 이동가능하도록 구비된다. 예를 들면, 그립 부재(320)는 밸트, 풀리, 기어 등을 이용하여 수평 이동하고, 모터 실린더 등을 이용하여 상하 이동할 수 있다. 따라서, 그립부재(320)는 캐리어 용기(30)를 수평 및 상하방향으로 이동시킬 수 있다. 또한, 그립부재(320)는 캐리어 용기(30)를 반도체 공정 장치의 로드 포트로 로딩하거나, 로드 포트로부터 언로딩할 수 있다.
주행 레일(400)은 서포트 부재(200)의 하부면에 서포트 부재(200)를 따라 구비된다. 예를 들면, 주행 레일(400)은 서포트 부재(200)의 하부면 중앙에 위치될 수 있다. 주행 레일(400)은 서포트 부재(200)와 동일한 형태를 가질 수 있다.
결합 유닛(500)은 주행 레일(400)과 결합된다. 결합 유닛(500)은 서포트 부재(200)와 결합될 수 있다. 이에 결합 유닛(500)은 주행 레일(400)을 천장(100)에 결합시킬 수 있다.
도 6은 도 5의 결합 유닛을 보여주는 단면도이고, 도 7은 도 5의 결합 유닛을 아래에서 위로 바라본 도면이다. 도 6과 도 7을 참조하면, 결합 유닛(500)은 프레임(510), 고정체(520) 및 결합부재(530)를 포함할 수 있다. 고정체(520)는 프레임(510)을 천장(100)에 고정시키는 기능을 수행한다. 예컨대, 프레임(510)은 고정체(520)에 의해 서포트 부재(200)에 결합되고, 서포트 부재(200)는 체결 부재(210)에 의해 천장(100)에 결합될 수 있다. 이에 프레임(510)은 고정체(520)에 의해 천장(100)에 고정될 수 있다. 또한, 고정체(520)는 활동고정체(521)와 구속고정체(522)를 포함할 수 있다. 활동고정체(521) 및/또는 구속고정체(522)는 볼트로 제공될 수 있다. 이에, 활동고정체(521) 및/또는 구속고정체(522)를 활동고정체(521) 및/또는 구속고정체(522)의 축을 기준으로 회전시켜 프레임(510)과 천장(100) 사이의 거리를 조정할 수 있다. 이에 천장(100)과 프레임(510)에 결합된 주행레일(400) 사이의 거리를 조정할 수 있다. 이에 주행레일(400)의 높이를 조정할 수 있다.
프레임(510)은 한 쌍의 주행레일(400)이 서로 이격된 방향으로 일정한 간격을 유지하도록 한다. 프레임(510)은 제1수직부(512), 제2수직부(514) 및 연결부(515)를 포함할 수 있다. 제1수직부(512)는 한 쌍의 주행레일(400) 중 어느 하나와 결합될 수 있다. 예컨대, 후술하는 바와 같이 제1수직부(512)에서 연장되는 제1절곡부(518)와 한 쌍의 주행레일(400) 중 어느 하나가 결합될 수 있다. 또한 제1수직부(512)는 그 길이 방향이 천장(100)에 수직한 축과 평행하게 제공될 수 있다. 제2수직부(514)는 제1수직부(512)와 평행하고, 한 쌍의 주행 레일(400) 중 다른 하나와 결합될 수 있다. 예컨대, 후술하는 바와 같이 제2수직부(514)에서 연장되는 제2절곡부(519)와 한 쌍의 주행레일(400) 중 다른 하나가 결합될 수 있다. 또한, 연결부(515)는 제1수직부(512)와 제2수직부(514)를 연결할 수 있다. 예컨대, 연결부(515)는 제1수직부(512)의 상단과 제2수직부(514)의 상단을 서로 연결할 수 있다.
프레임(510)은 제1결합부(516)와 제2결합부(517)를 포함할 수 있다. 제1결합부(516)는 제1수직부(512)와 연결부(515)가 연결되는 영역에 제공될 수 있다. 제1결합부(516)는 연결부(515)의 길이방향을 따라 천장(100)과 수평하게 연결부(515)로부터 연장되도록 제공될 수 있다. 제2결합부(517)는 제2수직부(514)와 연결부(515)가 연결되는 영역에 제공될 수 있다. 제2결합부(517)는 연결부(515)의 길이방향을 따라 천장(100)과 수평하게 제1결합부(516)가 연장되는 방향과 대칭되는 방향으로 연결부(515)로부터 연장될 수 있다.
또한 제1결합부(516)가 연결부(515)로부터 연장되는 길이는, 제2결합부(517)가 연장되는 길이보다 작을 수 있다. 예컨대, 제1결합부(516)에 결합되는 결합 부재(530)에 고정체(520)들 중 하나인 활동고정체(521)가 결합되는 위치와, 제2결합부(517)에 제공되는 고정홀(511)에 고정체(520)들 중 다른 하나인 구속고정체(522)가 결합되는 위치가 중심축(600)을 기준으로 서로 대칭될 수 있도록 제2결합부(517)의 길이는 달라질 수 있다.
또한, 프레임(510)은 한 쌍의 주행레일(400) 중 하나와 결합되는 제1절곡부(518)와, 한 쌍의 주행레일(400) 중 다른 하나와 결합되는 제2절곡부(519)를 포함할 수 있다. 제1절곡부(518)는 제1수직부(512)의 하단으로부터 제2수직부(514)를 향하는 방향으로 제1수직부(512)에 수직하게 연장될 수 있다. 제2절곡부(519)는 제2수직부(514)의 하단으로부터 제1수직부(512)를 향하는 방향으로 제1수직부(512)에 수직하게 연장될 수 있다.
제1절곡부(518)와 제2절곡부(519)의 끝 단에는 각각 주행레일(400)이 결합될 수 있다. 예컨대, 제1절곡부(518)는 한 쌍의 주행레일(400) 중 하나와 볼트(592)에 의해 나사 결합될 수 있다. 또한, 제2절곡부(519)는 한 쌍의 주행레일(400) 중 다른 하나와 볼트(592)에 의해 나사 결합될 수 있다.
상술한 프레임(510)을 구성하는 제1수직부(512), 제2수직부(514), 연결부(515), 제1결합부(516), 제2결합부(517), 제1절곡부(518), 제2절곡부(519)는 일체로써 제공될 수 있다. 그러나, 이에 한정되는 것은 아니고, 각각의 제1수직부(512), 제2수직부(514), 연결부(515), 제1결합부(516), 제2결합부(517), 제1절곡부(518), 제2절곡부(519)는 별개의 부재로 제공되어 결합되는 형태로 제공될 수 있다.
프레임(510)에는 활동고정체(521)가 고정 결합되는 결합부재(530)가 결합될 수 있다. 또한, 프레임(510)에는 구속고정체(522)가 고정 결합되는 고정홀(511)이 형성될 수 있다. 예컨대, 고정홀(511)은 한 쌍의 주행레일(400)이 이격된 공간의 중심을 지나며 천장(100)에 수직한 축에 평행한 중심축(600)을 기준으로 일측에 형성되고, 결합부재(530)는 중심축(600)을 기준으로 타측에서 프레임(510)과 결합될 수 있다. 예컨대, 결합부재(530)는 프레임(510)의 측방향에서 프레임(510)의 제1결합부(516)에 결합될 수 있다. 또한, 고정홀(511)은 프레임(510)의 제2결합부(517)에 형성될 수 있다. 또한, 제1,2결합부(516,517) 와 천장(100) 사이의 거리는, 주행레일(400)의 상면과 천장(100) 사이의 거리보다 작을 수 있다.
고정홀(511)은 프레임(510)을 천장(100)에 수직한 방향으로 고정 결합 시킨다. 예컨대, 구속고정체(522)는 고정홀(511)을 위에서 아래 방향으로 관통하여, 너트(593)에 의해 고정 결합될 수 있다. 고정홀(511)은 그 길이 방향이 주행레일(400)의 길이 방향에 평행하도록 형성될 수 있다. 예컨대, 고정홀(511)은 그 길이 방향이 주행레일(400)의 길이 방향과 평행하게 형성된 장 홀 형태로 제공될 수 있다. 또한, 고정홀(511)은 상부에서 바라보았을 때, 슬릿 형상 또는 직사각형의 형상으로 제공될 수 있다. 고정홀(511)은 프레임(510)의 상하방향으로의 높이를 고정시켜, 주행레일(400)의 설치 높이의 기준점을 제공할 수 있다. 또한, 고정홀(511)은 그 길이 방향이 주행레일(400)의 길이 방향에 평행하도록 형성되어, 고정홀(511)에 결합되는 구속고정체(522)의 설치 오차가 발생하는 경우, 이러한 설치 오차를 감소시키도록 구속고정체(522)와 고정홀(511)의 결합 위치를 재조정할 수 있다. 조정되는 구속고정체(522)와 고정홀(511)의 결합 위치는 주행레일(400)의 길이 방향과 평행한 방향을 따라 조정될 수 있다.
결합 부재(530)는 결합 부재(530)에 결합되는 활동고정체(521)를 회전시킬 수 있다. 예컨대, 결합 부재(530)에 결합된 활동고정체(521)는 천장(100)에 수평한 방향으로 자유도를 가질 수 있다.
도 8은 도 6의 결합부재를 보여주는 사시도이고, 도 9는 도 6의 결합부재를 보여주는 단면도이다. 도 8과 도 9를 참조하면, 결합부재(530)는 바디(532)와 결합구(534)를 포함할 수 있다.
바디(532)는 결합구(534)가 회전 가능하게 삽입되는 삽입홀을 가질 수 있다. 바디(532)는 그 일측이 볼트 형상으로 제공되어, 프레임(510)과 나사결합 가능하도록 제공될 수 있다. 그러나, 이에 한정되는 것은 아니고 바디(532)는 그 일측이 원기둥 형상 등으로 제공되어, 프레임(510)과 억지 끼워 맞춤으로 결합될 수 있다. 또한 바디(532)는 프레임(510)의 측방향에서 프레임(510)과 결합될 수 있다.
결합구(534)는 고정체(520)들 중 하나인 활동고정체(521)와 결합될 수 있다. 결합구(534)는 바디(532)에 형성되는 삽입홀에 삽입되어 회전 가능하게 제공될 수 있다. 예컨대, 바디(532)의 삽입홀에서 바디(532)와 결합구(534) 사이에 베어링(미도시)이 제공되어 결합구(534)는 회전 가능할 수 있다. 이에, 결합구(534)는 활동고정체(521)에 천장(100)에 수평한 방향으로 자유도를 제공할 수 있다.
활동고정체(521)는 천장(100)과 수직한 방향에서 결합구에(534)에 결합될 수 있다. 또한, 활동고정체(521)와 결합구(534)는 너트(593)에 의해 나사 결합될 수 있다. 그러나, 이와 달리 활동고정체(521)와 결합구(534)는 억지끼워 맞춤으로 결합될 수 있다.
도 10은 도 6의 결합 유닛에서 설치오차가 발생된 모습을 보여주는 단면도이고, 도 11은 도 6의 결합 유닛에서 설치오차를 조절하는 모습을 보여주는 단면도이다. 도 10과 도 11을 참조하면, 고정체(520)들 중 하나인 활동고정체(521)는 결합 부재(530)에 결합된다. 프레임(510)을 천장(100)에 고정시키면서 설치 오차가 발생하는 경우, 결합 부재(530)에 의해 이러한 설치 오차는 흡수될 수 있다. 즉, 결합 부재(530)는 상술한 바와 같이 결합 부재(530)에 제공되는 결합구(534)가 회전 가능하다. 이에, 결합구(534)에 고정결합되는 활동고정체(521) 또한 회전 가능하다. 예컨대, 결합구(534)는 활동고정체(521)에 천장(100)에 수평한 방향으로 자유도를 제공할 수 있다. 즉, 활동고정체(521)를 천장(100)에 설치하면서 설치 오차가 발생하더라도, 활동고정체(521)가 회전된다. 이에, 설치오차가 발생하더라도 프레임(510)에는 비틀림이 발생하지 않는다. 또한, 프레임(510)에 설치된 주행레일(400)은 프레임(510)을 기준으로 일측 및 타측에서 각각 처짐 또는 상승이 발생하지 않고, 수평을 유지할 수 있다.
또한, 활동고정체(521)를 천장(100)에 설치하면서 설치 오차가 발생하는 경우에, 프레임(510)의 일 측은 기준 높이보다 상승할 수 있다. 이에 프레임(510)과 결합된 주행레일(400)은 수평을 유지하면서 기준 높이보다 일정 높이(a)만큼 상승할 수 있다. 이 경우에는, 고정체(520)들 중 하나인 활동고정체(521)를 회전시켜, 일정 높이(a) 만큼 프레임(510)을 하강시킬 수 있다. 이에 프레임(510)에 결합된 주행레일(400)을 하강시킬 수 있다.
종래의 반송 장치는 주행 레일을 반도체 제조 라인의 천장에 턴버클을 사용하여 고정 결합시키고, 한 쌍의 주행레일을 요크를 사용하여 주행레일의 길이 방향으로 수직한 방향으로 일정한 간격을 유지시켰다. 이 경우에는, 턴버클 및 요크가 각각 주행레일에 결합되기에 많은 결합볼트가 요구되어 작업 공수가 많이 소요되는 문제가 있었다. 또한, 주행레일에 안착되는 반송 유닛의 하중이 모두 요크의 중심부에 집중되어, 장시간 장치를 사용하는 경우 요크가 변형되는 문제가 있었다. 또한, 주행레일은 오직 턴버클에 의해 반도체 제조 라인의 천장에 고정결합되었다. 이 경우, 천장과 주행레일 사이의 거리가 멀기 때문에, 반송 장치의 고유 진동 모드 주파수가 낮게 나타났다. 이에 종래의 반송 장치는 낮은 주파수의 진동에도 쉽게 흔들리는 문제가 발생했다.
이에, 요크 일체형 턴버클 기구가 제안되었으나, 요크 일체형 턴버클 기구를 반도체 제조라인의 천장에 결합시키는 경우, 미세한 설치 오차가 발생하더라도, 주행레일의 처짐과 상승은 증폭되어 나타났다. 또한, 상술한 설치 오차는 요크 일체형 턴버클 기구의 비틀림을 발생시켜, 해당 기구의 변형을 발생시켰다.
그러나, 본 발명의 일 실시예에 의하면, 본 발명의 결합 유닛(500)은 주행 레일(400)을 그 길이 방향에 수직한 방향으로 일정한 간격을 유지하도록 하는 프레임(510)을 포함하며, 해당 프레임(510)이 고정체(520)에 의해 천장(100)에 결합된다. 이에, 결합 유닛(500)은 요크와 턴버클의 기능을 모두 수행할 수 있어, 다수의 결합볼트가 요구되지 않고, 이에 작업 공수를 최소화 할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 의하면, 프레임(510)의 제1,2결합부(516,517)와 천장(100) 사이의 거리가 주행레일(400)의 상면과 천장(100) 사이의 거리보다 작다. 이에, 제1,2결합부(516,517)에 결합되는 고정체(520)의 길이가 짧아진다. 이러한 구성에 의하여, 본 발명의 일 실시예는 고유 진동 모드 주파수가 대폭 향상하여, 다소 높은 주파수를 갖는 진동에도 쉽게 흔들리지 않는 효과를 갖는다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 의하면, 프레임(510)은 제1,2수직부(512,514)와 연결부(515) 뿐 아니라, 제1,2결합부(516,517)를 포함한다. 제1,2결합부(516,517)는 프레임(510)을 보강하고, 프레임(510)에 인가되는 하중을 분산시키는 기능을 수행한다. 이에, 주행레일(400)의 상면에 반송 유닛(300)이 놓이더라라도, 반송 유닛(300)이 전달하는 하중을 효과적으로 분산시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 의하면, 결합부재(530)는 회전 가능한 결합구(534)를 포함한다. 결합구(534)는 결합구(534)에 결합되는 활동고정체(521)에 천장(100)에 수평방향으로 자유도를 제공한다. 이에 활동고정체(521)를 천장(100)에 설치하면서 설치 오차가 발생하더라도, 결합부재(530)는 이러한 설치 오차를 흡수할 수 있다. 따라서, 프레임(510)에 결합된 주행레일(400)은 수평을 유지할 수 있다.
또한, 상술한 설치 오차가 발생하는 경우, 제1결합부(516) 측의 기준 높이보다 주행레일(400)은 일정 높이만큼 상승할 수 있으나, 제1고정체(521)를 회전시켜, 이러한 오차를 감소시키도록 프레임(510)의 높이를 재조정할 수 있다. 이에 주행레일(400)은 수평을 유지하고, 기준 높이에 맞게 설치될 수 있다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 제1결합 유닛을 보여주는 단면도이고, 도 13은 도 12의 제1결합 유닛을 아래에서 위로 바라본 도면이다. 도 12와 도 13을 참조하면, 제1결합 유닛(500a)은 제1프레임(510a), 활동 고정체(521a), 제1구속고정체(522a) 및 결합 부재(530)를 포함할 수 있다.
제1프레임(510a)은 한 쌍의 주행레일(400)을 서로 이격된 방향으로 일정한 간격을 유지하도록 한다. 활동 고정체(521a)는 제1프레임(510a)을 천장(100)에 고정시킬 수 있다. 또한, 결합부재(530)는 활동고정체(521a)가 고정결합되는 결합구(534) 및 결합구(534)가 회전 가능하게 삽입되는 삽입홀이 형성되며 제1프레임(510a)에 결합된 바디(532)를 가질 수 있다.
또한, 제1프레임(510a)은 제1고정홀(511a)을 포함할 수 있다. 제1고정홀(511a)은 제1프레임(510a)에 형성되며, 제1프레임(510a)을 천장(100)에 고정 시키는 제1구속고정체(522a)가 고정결합 될 수 있다.
또한, 결합부재(530)는 제1프레임(510a)의 일 측에 측 방향으로 결합되고, 제1고정홀(511a)은 제1프레임(510a)의 타측에 형성될 수 있다.
제1결합유닛(500a)의 다른 구성과 효과는 상술한 결합유닛(500)의 구성 및 효과와 동일/유사하므로 반복된 설명은 생략한다.
도 14는 본 발명의 일 실시예에 따른 제2결합 유닛을 보여주는 단면도이고, 도 15는 도 14의 제2결합 유닛을 아래에서 위로 바라본 도면이다. 도 14와 도 15를 참조하면, 제2결합 유닛(500b)은 제2프레임(510b), 제2구속고정체(520b)를 포함할 수 있다.
제2프레임(510b)은 한 쌍의 주행레일(400)을 서로 이격된 방향으로 일정한 간격을 유지하도록 한다. 제2구속고정체(520b)는 제2프레임(510b)을 천장(100)에 고정시킬 수 있다. 제2고정홀(511b)은 제2프레임(510b)에 형성되며, 복수개로 제공될 수 있다. 예컨대, 제2고정홀(511b)은 제2프레임(510b)의 일측 및 타측에 형성될 수 있다. 제2구속고정체(520b)는 복수로 제공되어, 각각 제2고정홀(511b)들에 고정결합될 수 있다. 또한, 각각의 제2고정홀(511b)들은 그 길이 방향이 주행레일(400)의 길이 방향에 평행하도록 형성될 수 있다.
제2결합유닛(500b)의 다른 구성과 효과는 상술한 결합유닛(500)의 구성 및 효과와 동일 또는 유사하므로 반복된 설명은 생략한다.
다음에는 상술한 제1결합 유닛(500a)과 제2결합 유닛(500b)이 주행레일(400)과 결합되는 다양한 실시예에 대하여 설명한다.
도 16은 도 12의 제1결합 유닛과 도 14의 제2결합 유닛이 주행 레일과 결합된 모습을 보여주는 사시도이다. 도 16을 참조하면, 제1결합유닛(500a)과 제2결합 유닛(500b)은 주행 레일(400)의 길이 방향을 따라 서로 이격된 위치에서 주행 레일(400)에 결합될 수 있다. 예컨대, 제1결합 유닛(500a)과 제2결합 유닛(500b)은 서로 번갈아 결합될 수 있다. 다른 예로, 인접하는 제1결합 유닛(500a)들 사이에는 하나 또는 복수의 제2결합 유닛(500b)이 배치될 수도 있다.
또한, 주행레일(400)은 반송 유닛(300)이 이동하는 경로를 제공할 수 있다. 주행레일(400)이 제공하는 경로는 곡선 경로와 직선 경로를 포함할 수 있다. 이 경우, 제1결합 유닛(500a)은 주행레일(400)이 제공하는 곡선 경로에 결합되고, 제2결합 유닛(500b)은 주행레일(400)이 제공하는 직선 경로에 결합될 수 있다.
상술한 바와 같이 제1결합유닛(500a)은 활동 고정체(520a)들 중 하나인 제1활동 고정체(521a)와 결합되는 결합 부재(530)를 포함할 수 있다. 결합 부재(530)는 회전 가능하게 삽입되는 결합구(534)를 포함할 수 있다. 또한 결합구(534)는, 결합구(534)와 결합된 제1활동 고정체(521a)가 수평방향으로 자유도를 제공한다. 이에 주행 레일(400)을 천장(100)에 제1결합 유닛(500a)으로만 고정시키는 경우, 다수의 결합 부재(530)에 의해 주행레일(400)은 쉽게 흔들릴 수 있다. 또한, 제1결합 유닛(500a)은 제2결합 유닛(500b)에 추가하여 결합 부재(530)가 요구되므로, 제작 비용이 비싸다.
그러나, 본 발명의 일 실시예에 의하면, 제1결합 유닛(500a)과 제2결합 유닛(500b)이 번갈아 설치되거나, 인접하는 제1결합 유닛(500a)들 사이에 하나 또는 복수의 제2결합 유닛(500b)이 배치된다. 이에 제1결합 유닛(500a)은 설치 오차를 흡수하고, 제2결합유닛(500b)은 제1결합 유닛(500a)만 주행 레일(400)에 결합되는 경우 발생되는 주행레일(400)이 쉽게 흔들릴 수 있는 문제, 반송 장치의 제작 및 설치에 고비용이 드는 문제 등을 해결할 수 있다.
또한, 상술한 바와 같이 주행레일(400)은 곡선 경로와 직선 경로를 모두 제공할 수 있다. 일반적으로, 결합 유닛의 설치 오차는 곡선 경로에서 발생할 확률이 크다. 이에, 본 발명은, 곡선 경로에 제1결합 유닛(500a)을 설치하고, 직선 경로에 제2결합 유닛(500b)을 설치하여, 제1결합 유닛(500a)이 가지는 설치 오차 흡수의 효과를 극대화 하되, 반송 장치의 제작 및 설치 비용을 최소화 할 수 있다.
상술한 예에서는 반도체 제조 라인의 천장에 설치되는 반송 장치와 기판이 수납된 캐리어 용기를 반송하는 것으로 예를 들어 설명하였다. 그러나, 이에 한정되는 것은 아니고 이와 달리, 해당 반송 장치는 물품의 이송이 필요한 모든 설비에서 사용될 수 있다.
상술한 예에서는 프레임(510)의 구조와 관련하여 제1결합부(516)가 연결부(515)의 길이방향을 따라 천장(100)과 수평하게 연결부(515)로부터 연장되고, 제2결합부(517)는 연결부(515)의 길이방향을 따라 천장(100)과 수평하게 제1결합부(516)가 연장되는 방향과 대칭되는 방향으로 연결부(515)로부터 연장되는 것을 예로 들어 설명하였다. 그러나, 이와 달리, 도 17 및 도 18에 도시된 바와 같이 다양하게 변형될 수 있다. 예컨대, 제1결합부(516)와 제2결합부(517)는 연결부(515)의 상면에서 천장(100)을 향해 연장될 수 있다. 또한, 제1결합부(516)와 제2결합부(517)의 끝단은 프레임(510)의 외측으로 절곡되되, 끝단 사이의 폭은 제1수직부(512)와 제2수직부(514)의 외측면 사이의 폭보다 작거나 같을 수 있다. 이에, 결합 유닛의 좌우 폭은 작아질 수 있다. 이에, 반송 장치가 설치되는 면적을 최소화 할 수 있다.
서포트 부재 : 200
반송 유닛 : 300
주행 레일 : 400
결합 유닛 : 500

Claims (30)

  1. 물품이 수납된 용기를 이송하는 반송 장치에 있어서,
    서로 대향되고 이격되게 배치되는 한 쌍의 주행레일과;
    용기를 착탈 가능하도록 파지하는 그립부재와 상기 그립부재와 연결되고 상기 주행레일을 따라 이동되는 주행부를 가지는 반송유닛과;
    상기 한 쌍의 주행레일을 상기 반송 장치가 설치되는 공간의 천장에 고정시키는 결합 유닛을 포함하되,
    상기 결합 유닛은,
    상기 한 쌍의 주행레일이 서로 이격된 방향으로 일정한 간격을 유지하도록 하는 프레임과;
    상기 프레임을 상기 천장에 고정시키는 활동고정체가 고정 결합되는 결합구 및 상기 결합구가 회전 가능하게 삽입되는 삽입홀이 형성되며 상기 프레임에 결합된 바디를 가지는 결합부재를 포함하는 반송 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 프레임에는,
    상기 프레임을 상기 천장에 고정시키는 구속고정체가 고정 결합되는 고정홀이 형성된 반송 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 고정홀은 그 길이 방향이 상기 주행레일의 길이 방향에 평행하도록 형성된 반송 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 고정홀은,
    상기 한 쌍의 주행레일이 이격된 공간의 중심을 지나며 상기 천장에 수직한 축에 평행한 중심축을 기준으로 일측에 형성되고,
    상기 결합 부재는,
    상기 중심축을 기준으로 타측에서 상기 프레임과 결합되는 반송 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 삽입홀에서 상기 바디와 상기 결합구 사이에는 베어링이 제공되고,
    상기 바디는 상기 프레임의 측방향에서 상기 프레임에 결합되고,
    상기 활동고정체는 상기 천장과 수직한 방향에서 상기 결합구에 결합되는 반송 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 활동고정체는 볼트로 제공되고,
    상기 활동고정체의 회전에 의하여 상기 프레임의 높이가 조절되는 반송 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 활동고정체와 상기 결합구는 억지끼워 맞춤으로 결합되는 반송 장치.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 활동고정체와 상기 결합구는 나사 결합되는 반송 장치.
  9. 제4항에 있어서,
    상기 프레임은,
    상기 한 쌍의 주행레일 중 어느 하나와 결합되고, 그 길이방향이 상기 천장에 수직한 축과 평행하게 제공되는 제1수직부와;
    상기 제1수직부와 평행하고, 상기 한 쌍의 주행레일 중 다른 하나와 결합되는 제2수직부와;
    상기 제1수직부와 상기 제2수직부를 연결하는 연결부를 포함하는 반송 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 프레임은,
    상기 제1수직부의 하단으로부터 상기 제2수직부를 향하는 방향으로 상기 제1수직부에 수직하게 연장되고, 상기 한 쌍의 주행레일 중 하나와 결합되는 제1절곡부와,
    상기 제2수직부의 하단으로부터 상기 제1수직부를 향하는 방향으로 상기 제1수직부에 수직하게 연장되고, 상기 한 쌍의 주행레일 중 다른 하나와 결합되는 제2절곡부를 가지는 반송 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 제1절곡부는 상기 한 쌍의 주행레일 중 하나와 볼트에 의해 나사결합되고,
    상기 제2절곡부는 상기 한 쌍의 주행레일 중 다른 하나와 볼트에 의해 나사결합되는 반송 장치.
  12. 제9항에 있어서,
    상기 프레임은,
    상기 제1수직부와 상기 연결부가 연결되는 영역에 제공되는 제1결합부와,
    상기 제2수직부와 상기 연결부가 연결되는 영역에 제공되는 제2결합부를 포함하되,
    상기 제1결합부는 상기 연결부의 길이방향을 따라 상기 천장과 수평하게 상기 연결부로부터 연장되고,
    상기 제2결합부는 상기 연결부의 길이방향을 따라 상기 천장과 수평하게 상기 제1결합부가 연장되는 방향과 대칭되는 방향으로 상기 연결부로부터 연장되고,
    상기 결합부재는 상기 제1결합부에 결합되고,
    상기 고정홀은 상기 제2결합부에 형성되는 반송 장치.
  13. 제9항에 있어서,
    상기 프레임은,
    상기 연결부의 상면에서 상기 천장을 향해 연장되는 제1결합부 및 제2결합부를 포함하되,
    상기 제1결합부와 상기 제2결합부의 끝단은 상기 프레임의 외측으로 절곡되되, 상기 끝단 사이의 폭은 상기 제1수직부와 상기 제2수직부의 외측면 사이의 폭보다 작거나 같은 반송 장치.
  14. 물품이 수납된 용기를 이송하는 반송 장치에 있어서,
    서로 대향되고 이격되게 배치되는 한 쌍의 주행레일과;
    상기 한 쌍의 주행레일을 상기 반송 장치가 설치되는 공간의 천장에 고정시키는 제1결합 유닛과 제2결합 유닛을 포함하되,
    상기 제1결합 유닛은,
    상기 한 쌍의 주행레일이 서로 이격된 방향으로 일정한 간격을 유지하도록 하는 제1프레임과;
    상기 제1프레임을 상기 천장에 고정시키는 활동고정체가 고정 결합되는 결합구 및 상기 결합구가 회전 가능하게 삽입되는 삽입홀이 형성되며 상기 제1프레임에 결합된 바디를 가지는 결합부재와;
    상기 제1프레임에 형성되고, 상기 제1프레임을 상기 천장에 고정시키는 제1구속고정체가 고정결합되는 제1고정홀을 포함하고,
    상기 제2결합 유닛은,
    상기 한 쌍의 주행 레일이 상기 주행레일의 길이 방향으로 수직한 방향으로 일정한 간격을 유지하도록 하는 제2프레임과;
    상기 제2프레임에 형성되고, 제2프레임을 상기 천장에 고정시키는 제2구속고정체가 고정결합되는 복수의 제2고정홀을 포함하고,
    상기 제1결합유닛과 상기 제2결합 유닛은 상기 주행레일의 길이방향을 따라 서로 이격된 위치에서 상기 주행레일에 결합되는 반송 장치.
  15. 제14항에 있어서,
    인접하는 상기 제1결합 유닛들 사이에는 하나 또는 복수의 상기 제2결합 유닛이 배치되는 반송 유닛.
  16. 제14항에 있어서,
    상기 주행레일이 제공하는 경로는 곡선 경로와 직선 경로를 포함하고,
    상기 제1결합 유닛은 상기 곡선 경로에 결합되고,
    상기 제2결합 유닛은 상기 직선 경로에 결합되는 반송 유닛.
  17. 제14항 내지 제16항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 물품은 기판이고,
    상기 용기는 상기 기판을 수납하는 캐리어 용기인 반송 유닛.
  18. 반송 장치의 주행 레일을 반도체 제조 라인의 천장에 고정시키는 결합 유닛에 있어서,
    한 쌍의 상기 주행레일이 상기 주행레일의 길이 방향에 수직한 방향으로 일정한 간격을 유지하도록하는 프레임과;
    상기 프레임을 상기 천장에 고정시키는 활동고정체가 고정 결합되는 결합구 및 상기 결합구가 회전 가능하게 삽입되는 삽입홀이 형성되며 상기 프레임에 결합된 바디를 가지는 결합부재를 포함하는 결합 유닛.
  19. 제18항에 있어서,
    상기 프레임에는,
    상기 프레임을 상기 천장에 고정시키는 구속고정체가 고정 결합되는 고정홀이 형성된 결합 유닛.
  20. 제19항에 있어서,
    상기 고정홀은 그 길이 방향이 상기 주행레일의 길이 방향에 평행하도록 형성된 결합 유닛.
  21. 제20항에 있어서,
    상기 고정홀은,
    상기 한 쌍의 주행레일이 이격된 공간의 중심을 지나며 상기 천장에 수직한 축에 평행한 중심축을 기준으로 일측에 형성되고,
    상기 결합 부재는,
    상기 중심축을 기준으로 타측에서 상기 프레임과 결합되는 결합 유닛.
  22. 제21항에 있어서,
    상기 삽입홀에서 상기 바디와 상기 결합구 사이에는 베어링이 제공되고,
    상기 바디는 상기 프레임의 측방향에서 상기 프레임에 결합되고,
    상기 활동고정체는 상기 결합구에 상기 천장과 수직한 방향에서 상기 결합구에 결합되는 결합 유닛.
  23. 제22항에 있어서,
    상기 활동고정체는 볼트로 제공되고,
    상기 활동고정체의 회전에 의하여 상기 프레임의 높이가 조절되는 결합 유닛.
  24. 제23항에 있어서,
    상기 활동고정체와 상기 결합구는 억지끼워 맞춤으로 결합되는 결합 유닛.
  25. 제23항에 있어서,
    상기 활동고정체와 상기 결합구는 나사 결합되는 결합 유닛.
  26. 제21항에 있어서,
    상기 프레임은,
    상기 한 쌍의 주행레일 중 어느 하나와 결합되고, 그 길이방향이 상기 천장에 수직한 축과 형행하게 제공되는 제1수직부와;
    상기 제1수직부와 평행하고, 상기 한 쌍의 주행레일 중 다른 하나와 결합되는 제2수직부와;
    상기 제1수직부와 상기 제2수직부를 연결하는 연결부를 포함하는 결합 유닛.
  27. 제26항에 있어서,
    상기 프레임은,
    상기 제1수직부의 하단으로부터 상기 제2수직부를 향하는 방향으로 상기 제1수직부에 수직하게 연장되고, 상기 한 쌍의 주행레일 중 하나와 결합되는 제1절곡부와,
    상기 제2수직부의 하단으로부터 상기 제1수직부를 향하는 방향으로 상기 제1수직부에 수직하게 연장되고, 상기 한 쌍의 주행레일 중 다른 하나와 결합되는 제2절곡부를 가지는 결합 유닛.
  28. 제27항에 있어서,
    상기 제1수직부는 상기 한 쌍의 주행레일 중 하나와 볼트에 의해 나사결합되고,
    상기 제2수직부는 상기 한 쌍의 주행레일 중 다른 하나와 볼트에 의해 나사결합되는 결합 유닛.
  29. 제26항에 있어서,
    상기 프레임은,
    상기 제1수직부와 상기 연결부가 연결되는 영역에 제공되는 제1결합부와,
    상기 제2수직부와 상기 연결부가 연결되는 영역에 제공되는 제2결합부를 포함하되,
    상기 제1결합부는 상기 연결부의 길이방향을 따라 상기 천장과 수평하게 상기 연결부로부터 연장되고,
    상기 제2결합부는 상기 연결부의 길이방향을 따라 상기 천장과 수평하게 상기 제1결합부가 연장되는 방향과 대칭되는 방향으로 상기 연결부로부터 연장되고,
    상기 결합부재는 상기 제1결합부에 결합되고,
    상기 고정홀은 상기 제2결합부에 형성되는 결합 유닛.
  30. 제26항에 있어서,
    상기 프레임은,
    상기 연결부의 상면에서 상기 천장을 향해 연장되는 제1결합부 및 제2결합부를 포함하되,
    상기 제1결합부와 상기 제2결합부의 끝단은 상기 프레임의 외측으로 절곡되되, 상기 끝단 사이의 폭은 상기 제1수직부와 상기 제2수직부의 외측면 사이의 폭보다 작거나 같은 결합 유닛.

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