KR102441186B1 - 기판 이송 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 실시예에 따르면 기판 이송 장치가 제공된다. 기판 이송 장치는 제공되는 높이가 서로 상이한 상부 레일 및 하부 레일을 포함하는 이송 레일, 기판을 수납하는 제 1 캐리어 및 제 2 캐리어가 적재되는 장소를 제공하고, 상기 이송 레일과 인접하게 배치되는 저장 구조 및 상기 상부 레일에 결합되어 상기 제 1 캐리어를 이송하는 상부 반송 유닛 및 상기 하부 레일에 결합되어 상기 제 2 캐리어를 이송하는 하부 반송 유닛을 포함하는 반송 유닛을 포함하고, 상기 저장 구조는 상기 상부 레일의 아래, 및 상기 하부 레일의 측부에 인접하여 배치된다.

Description

기판 이송 장치{Substrate transfer device}
본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것으로, 구체적으로 두 개의 레일을 통해 캐리어를 이송하는 기판 이송 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 기판을 공정 처리하는 기판 처리 장치는 복수개의 기판들이 수납된 캐리어 예를 들어, 풉(Front Opening Unified Pod : FOUP), 쉬핑 박스(Front Opening Shipping Box : FOSB) 등을 이용하여 공정을 처리하는 공정 설비로 기판을 제공하거나, 기판을 공정 설비로부터 회수한다. 이러한 캐리어는 일반적으로 물류 이송 장치(Overhead Hoist Transport: OHT)에 의해 이송될 수 있다. 물류 이송 장치는 공정 처리 전의 기판들이 수납된 캐리어를 이송하여 비어 있는 저장 구조에 적재하고, 공정 처리된 기판들이 수납된 캐리어를 저장 구조로부터 픽업하여 외부로 반송한다.
본 발명의 기술적 과제는 반도체 생산 라인 내에 복층의 레일을 통해 캐리어를 이송하여 저장 구조를 효율적으로 운영할 수 있는 기판 이송 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 기술적 과제는 복층의 레일을 통해 캐리어를 이송하여 캐리어의 이송 시간을 감소시키는 기판 이송 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 실시예에 따르면 기판 이송 장치가 제공된다. 기판 이송 장치는 제공되는 높이가 서로 상이한 상부 레일 및 하부 레일을 포함하는 이송 레일, 기판을 수납하는 제 1 캐리어 및 제 2 캐리어가 적재되는 장소를 제공하고, 상기 이송 레일과 인접하게 배치되는 저장 구조 및 상기 상부 레일에 결합되어 상기 제 1 캐리어를 이송하는 상부 반송 유닛 및 상기 하부 레일에 결합되어 상기 제 2 캐리어를 이송하는 하부 반송 유닛을 포함하는 반송 유닛을 포함하고, 상기 저장 구조는 상기 상부 레일의 아래, 및 상기 하부 레일의 측부에 인접하여 배치된다.
일 예에 의하여, 상기 저장 구조는 상기 상부 반송 유닛을 향하는 상면 및 상기 하부 반송 유닛을 향하는 측면이 개방된다.
일 예에 의하여, 상기 저장 구조는, 상기 캐리어들이 저장되는 공간을 제공하는 프레임 및 상기 프레임을 반도체 생산 라인의 천장에 고정결합하는 지지부를 포함하고, 상기 프레임의 상면 및 측면은 개방된다.
일 예에 의하여, 상기 저장 구조는, 상기 프레임의 상부에 제공되고, 상기 제 1 캐리어가 상기 프레임의 상면을 통과하는 것을 측정하는 제 1 센서 및 상기 프레임의 측부에 제공되고, 상기 제 2 캐리어가 상기 프레임의 측면을 통과하는 것을 측정하는 제 2 센서를 포함한다.
일 예에 의하여, 상기 제 1 센서 및 상기 제 2 센서가 측정한 신호들을 전송받아 상기 상부 반송 유닛과 상기 하부 반송 유닛을 제어하는 제어 유닛을 더 포함하고, 상기 제어 유닛은 상기 상부 반송 유닛과 상기 하부 반송 유닛이 상기 저장 구조 내의 동일한 저장 공간을 향헤 상기 제 1 캐리어 및 상기 제 2 캐리어를 이송하는 것을 방지하도록 상기 상부 반송 유닛 및 상기 하부 반송 유닛을 제어한다.
일 예에 의하여, 상기 제 1 센서 및 상기 제 2 센서는 각각 빛을 발광하는 발광부 및 발광된 상기 빛을 감지하는 수광부를 포함한다.
일 예에 의하여, 상기 상부 반송 유닛은, 상기 상부 레일과 결합하는 상부 이송 부재 및 상기 제 1 캐리어를 픽업하여 상기 저장 구조로 이송하는 상부 구동 부재를 포함하고, 상기 하부 반송 유닛은, 상기 하부 레일과 결합하는 하부 이송 부재 및 상기 제 2 캐리어를 픽업하여 상기 저장 구조로 이송하는 하부 구동 부재를 포함한다.
일 예에 의하여, 상기 상부 구동 부재는 상기 제 1 캐리어를 수직 방향으로 이동시키는 컨베이어 벨트를 포함하고, 상기 하부 구동 부재는 상기 제 2 캐리어를 수평 방향 및 수직 방향으로 이동시키는 로봇 암을 포함한다.
일 예에 의하여, 상기 상부 레일 및 상기 하부 레일은 서로 평행하게 연장되고, 상기 상부 레일 및 상기 하부 레일은 연장되는 방향과 수직하는 방향으로 이격되어 제공된다.
일 예에 의하여, 상기 하부 레일 및 상기 하부 반송 유닛은 상기 저장 구조의 양 측에 복수개로 제공된다.
본 발명의 실시예에 따르면 기판 이송 장치가 제공된다. 기판 이송 장치는 기판을 수납하는 제 1 캐리어 및 제 2 캐리어가 적재되는 저장 구조, 상기 저장 구조 상면 상에 배치되는 상부 레일 및 상기 저장 구조 측면 상에 배치되는 하부 레일을 포함하는 이송 레일, 상기 상부 레일에 결합되는 상부 반송 유닛 및 상기 하부 레일에 결합되는 하부 반송 유닛을 포함하는 반송 유닛 및 상기 상부 반송 유닛과 상기 하부 반송 유닛을 제어하는 제어 유닛을 포함하고, 상기 저장 구조는 상기 상부 반송 유닛과 인접하는 상면 및 상기 하부 반송 유닛과 인접하는 측면이 개방된 구조이다.
일 예에 의하여, 상기 저장 구조는, 상기 저장 구조의 상부에 제공되어 상기 상부 반송 유닛이 상기 저장 구조로 제 1 캐리어를 이송하는 것을 측정하는 제 1 센서 및 상기 저장 구조의 측부에 제공되어 상기 하부 반송 유닛이 상기 저장 구조로 제 2 캐리어를 이송하는 것을 측정하는 제 2 센서를 포함한다.
일 예에 의하여, 상기 제 1 센서 및 상기 제 2 센서는 상기 제 1 캐리어 및 상기 제 2 캐리어의 이동을 측정하여 상기 제어 유닛으로 신호를 전송하고, 상기 제어 유닛은, 상기 상부 반송 유닛과 상기 하부 반송 유닛이 상기 저장 구조 내의 동일한 저장 공간으로 상기 제 1 캐리어 및 상기 제 2 캐리어를 이송하는 것을 방지하도록 상기 상부 반송 유닛 및 상기 하부 반송 유닛을 제어한다.
일 예에 의하여, 상기 제 1 센서는 상기 제 1 캐리어의 이동의 측정하여 상기 제어 유닛으로 신호를 전송하고, 상기 제어 유닛은, 상기 상부 반송 유닛이 상기 제 1 캐리어를 이송하려는 상기 저장 구조 내의 저장 공간에 상기 하부 반송 유닛이 상기 제 2 캐리어를 이송하지 않도록 상기 하부 반송 유닛을 제어한다.
일 예에 의하여, 상기 제 2 센서는 상기 제 2 캐리어의 이동의 측정하여 상기 제어 유닛으로 신호를 전송하고, 상기 제어 유닛은, 상기 하부 반송 유닛이 상기 제 2 캐리어를 이송하려는 상기 저장 구조 내의 저장 공간에 상기 상부 반송 유닛이 상기 제 1 캐리어를 이송하지 않도록 상기 상부 반송 유닛을 제어한다.
본 발명의 실시예에 따르면, 반도체 생산 라인에서 기판 이송 장치가 차지하는 면적을 줄일 수 있다.
본 발명의 기술적 과제는 복층의 레일을 통해 캐리어를 이송하여 저장 구조에 캐리어를 이송하거나, 저장 구조에서 캐리어를 반송하는 시간을 감소시킬 수 있다.
본 발명의 기술적 과제는 저장 구조에 센서를 설치하여 반송 유닛들이 동일한 저장 공간을 향해 캐리어들을 동시에 이송하는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 생산 라인에서 기판 이송 장치의 배치를 대략적으로 나타낸 도면이다.
도 2는 도 1의 기판 이송 장치를 나타내는 사시도이다.
도 3은 도 1의 기판 이송 장치를 나타내는 측면도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 저장 구조를 확대한 사시도이다.
도 5는 도 2의 상부 반송 유닛을 나타내는 정면도이다.
도 6은 도 2의 하부 반송 유닛을 나타내는 정면도이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 생산 라인에서 기판 이송 장치의 배치를 대략적으로 나타낸 도면이다.
도 8은 도 7의 기판 이송 장치를 나타내는 측면도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시 예는 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전문에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
또한, 본 명세서에서 기술하는 실시 예들은 본 발명의 이상적인 예시도인 단면도 및/또는 평면도들을 참고하여 설명될 것이다. 도면들에 있어서, 막 및 영역들의 두께는 기술적 내용의 효과적인 설명을 위해 과장된 것이다. 따라서, 제조 기술 및/또는 허용 오차 등에 의해 예시도의 형태가 변형될 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시 예들은 도시된 특정 형태로 제한되는 것이 아니라 제조 공정에 따라 생성되는 형태의 변화도 포함되는 것이다. 예를 들면, 직각으로 도시된 식각 영역은 라운드지거나 소정 곡률을 가지는 형태일 수 있다. 따라서, 도면에서 예시된 영역들은 개략적인 속성을 가지며, 도면에서 예시된 영역들의 모양은 소자의 영역의 특정 형태를 예시하기 위한 것이며 발명의 범주를 제한하기 위한 것이 아니다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 생산 라인에서 기판 이송 장치의 배치를 대략적으로 나타낸 도면이고, 도 2는 도 1의 기판 이송 장치를 나타내는 사시도이고, 도 3은 도 1의 기판 이송 장치를 나타내는 측면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 반도체 라인(1)은 반도체 공정이 수행되는 공정 설비들(10) 및 공정 설비들(10) 간에 기판이 수납된 캐리어를 이송하는 기판 이송 장치(20)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 캐리어는 풉(Front Opening Unified Pod : FOUP) 및 쉬핑 박스(Front Opening Shipping Box : FOSB) 등을 포함할 수 있고, 기판은 반도체 웨이퍼일 수 있다.
공정 설비들(10)은 반도체 칩을 제조하기 위한 일련의 설비들일 수 있다. 예를 들어, 공정 설비들(10)은 증착, 세척, 이온 주입, 에칭 및 패시베이션 등과 같은 공정을 수행할 수 있다.
기판 이송 장치(20)는 저장 구조(100), 이송 레일(200) 및 반송 유닛(300)을 포함할 수 있다. 저장 구조(100)과 이송 레일(200)은 서로 인접하게 배치될 수 있다. 저장 구조(100)와 이송 레일(200)은 반도체 생산 라인(1)의 천장에 고정결합될 수 있다. 저장 구조(100)는 공정 설비들(10)에서 공정이 수행되기 전에 캐리어(C)를 대기시키는 장소를 제공할 수 있다. 예를 들어, 저장 구조(100)는 서로 독립된 공간을 가지는 복수개의 저장 공간을 가질 수 있다. 이송 레일(200)은 상부 레일(200a)과 하부 레일(200b)을 포함할 수 있다. 상부 레일(200a)과 하부 레일(200b)은 일 방향으로 평행하게 연장될 수 있고, 상부 레일(200a)과 하부 레일(200b)은 연장되는 방향과 수직하는 방향으로 이격되어 제공될 수 있다. 상부 레일(200a)은 저장 구조(100)의 상면 상에 배치될 수 있고, 하부 레일(200b)는 저장 구조(100)의 측면에 인접하여 배치될 수 있다. 반송 유닛(300)은 상부 레일(200a)과 결합하는 상부 반송 유닛(300a) 및 하부 레일(200b)과 결합하는 하부 반송 유닛(300b)을 포함할 수 있다. 상부 반송 유닛(300a) 및 하부 반송 유닛(300b)은 이송 레일(200)을 통해 캐리어(C)를 이송할 수 있다.
반도체 생산 라인(1)은 2개의 레일들을 통해 캐리어(C)를 이송할 수 있으므로 보다 많은 수의 캐리어(C)를 처리할 수 있고, 캐리어(C)를 공정 설비들(10)로 이송하거나 저장 구조(100)로 이송하는 시간을 단축시킬 수 있다. 또한, 2개의 레일을 저장 구조(100)의 양 측에 제공하는 것이 아니라, 저장 구조(100) 상면 상과 저장 구조(100)의 측면 상에 각각 배치하여 반도체 생산 라인(1)에서 이송 레일(200)이 차지하는 면적을 줄일 수 있다. 따라서, 반도체 생산 라인(1)의 전체적인 공간을 효율적으로 운용할 수 있다.
도 2 내지 도 4를 참조하면, 기판 이송 장치(20)는 캐리어(C)가 적재되는 저장 구조(100), 저장 구조(100)에 배치되는 센서(120), 제 1 캐리어(C1)를 이송하는 상부 레일(200a)과 상부 반송 유닛(300a), 제 2 캐리어(C2)를 이송하는 하부 레일(200b)과 하부 반송 유닛(300b), 및 제어 유닛(400)을 포함할 수 있다. 캐리어(C)는 제 1 캐리어(C1) 및 제 2 캐리어(C2)를 포함할 수 있다.
저장 구조(100)는 상부 레일(200a)의 아래 및 하부 레일(200b)의 옆에 배치될 수 있다. 저장 구조(100)는 반도체 생산 라인(1)의 천장과 결합되는 고정부(101), 고정부(101)와 결합되고 캐리어(C)가 적재되는 공간을 제공하는 프레임(103) 및 캐리어(C)가 프레임(103) 밖으로 떨어지지 않게 막는 지지부(105)를 포함할 수 있다.
고정부(101)는 프레임(103)을 반도체 생산 라인(1)의 천장에 고정결합시킬 수 있다. 고정부(101)는 프레임(103)의 네개의 모서리와 천장을 연결시킬 수 있다. 고정부(101)는 상부 레일(200a)과 접촉되지 않도록 제공될 수 있다.
프레임(103)은 캐리어(C)가 적재될 수 있도록 하면은 막혀있고, 나머지 면들은 개방될 수 있다. 구체적으로, 프레임(103)은 상부 반송 유닛(300a)을 향하는 상면(103a) 및 하부 반송 유닛(300b)을 향하는 측면(103b)이 개방될 수 있다. 이에 따라, 상부 반송 유닛(300a) 및 하부 반송 유닛(300b)은 프레임(103)의 개방된 상면(103a) 및 측면(103b)을 통해 캐리어(C)를 저장 구조(100)로 이송할 수 있다.
지지부(105)는 프레임(103)의 하면으로부터 수직방향으로 돌출되면서 속이 빈 구조일 수 있다. 따라서, 캐리어(C)는 지지부(105)의 내부 공간에 삽입될 수 있다. 지지부(105)는 캐리어(C)의 하부를 일부 덮어 캐리어(C)를 저장 구조(100) 내에 고정시킬 수 있다.
센서(120)는 저장 구조(100)의 프레임(103) 상에 제공될 수 있다. 센서(120)는 제 1 캐리어(C1)가 상부 반송 유닛(300a)로부터 저장 구조(100)로 이동하는 것을 측정하는 제 1 센서(122) 및 제 2 캐리어(C2)가 하부 반송 유닛(300b)로부터 저장 구조(100)로 이동하는 것을 측정하는 제 2 센서(124)를 포함할 수 있다.
제 1 센서(122)는 프레임(103)의 상부에 제공될 수 있다. 제 1 센서(122)는 빛을 발광하는 제 1 발광부(122a) 및 발광된 빛을 감지하는 제 1 수광부(122b)를 포함하는 광학 센서일 수 있다. 제 1 발광부(122a)와 제 1 수광부(122b)는 프레임(103) 상에서 다양한 방법으로 배치될 수 있고, 서로 마주보도록 배치될 수 있다. 제 1 발광부(122a)와 제 1 수광부(122b)의 위치는 서로 바뀔 수 있다. 제 1 캐리어(C1)가 프레임(103)의 상면(103a)을 통과하면, 제 1 수광부(122b)는 일정시간 동안에 빛을 감지하지 못하고, 이를 통해 제 1 센서(122)는 제 1 캐리어(C1)가 상부 반송 유닛(300a)에서 저장 구조(100)로 이동하는 것을 감지할 수 있다. 제 1 캐리어(C1)의 이동을 감지한 제 1 센서(122)는 후술하는 제어 유닛(400)을 향해 제 1 신호를 전송할 수 있다.
제 2 센서(124)는 프레임(103)의 측부에 제공될 수 있다. 제 2 센서(124)는 빛을 발광하는 제 2 발광부(124a) 및 발광된 빛을 감지하는 제 2 수광부(124b)를 포함하는 광학 센서일 수 있다. 제 2 발광부(124a)와 제 2 수광부(124b)는 프레임(103) 상에서 다양한 방법으로 배치될 수 있고, 서로 마주보도록 배치될 수 있다. 제 2 발광부(124a)와 제 2 수광부(124b)의 위치는 서로 바뀔 수 있다. 제 2 캐리어(C2)가 프레임(103)의 측면(103b)을 통과하면, 제 2 수광부(124b)는 일정시간 동안에 빛을 감지하지 못하고, 이를 통해 제 2 센서(124)는 제 2 캐리어(C2)가 하부 반송 유닛(300b)에서 저장 구조(100)로 이동하는 것을 감지할 수 있다. 제 2 캐리어(C2)의 이동을 감지한 제 2 센서(124)는 후술하는 제어 유닛(400)을 향해 제 2 신호를 전송할 수 있다.
다시 도 1 내지 도 3을 참조하면, 상부 레일(200a)은 반도체 생산 라인(1)의 천장에 고정결합되는 상부 레일 지지부(210a) 및 상부 레일(200a)이 연장되는 방향을 따라 개방된 개구부를 가지는 상부 레일 본체(230a)를 포함할 수 있다. 상부 반송 유닛(300a)은 개구부를 관통할 수 있다.
하부 레일(200b)은 반도체 생산 라인(1)의 천장에 고정결합되는 하부 레일 지지부(210b) 및 하부 레일(200b)이 연장되는 방향을 따라 개방된 개구부를 가지는 하부 레일 본체(230b)를 포함할 수 있다. 하부 반송 유닛(300b)은 개구부를 관통할 수 있다.
상부 반송 유닛(300a)은 상부 레일(200a)의 상부 레일 본체(230a) 상에 배치되는 상부 이송 부재(310a) 및 제 1 캐리어(C1)를 픽업하여 저장 구조(100)로 이송하는 상부 구동 부재(350a)를 포함할 수 있다. 상부 이송 부재(310a)는 상부 레일 본체(230a) 상에 배치되어 상부 구동 부재(350a)를 수평방향으로 이동시킬 수 있다. 예를 들어, 상부 이송 부재(310a)는 상부 레일(200a) 상을 이동하는 이송차(transfer vehicle)일 수 있다. 상부 구동 부재(350a)는 반도체 공정을 수행한 제 1 캐리어(C1)를 저장 구조(100)로 이송할 수 있다.
하부 반송 유닛(300b)은 하부 레일(200b)의 하부 레일 본체(230b) 상에 배치되는 하부 이송 부재(310b) 및 제 2 캐리어(C2)를 픽업하여 저장 구조(100)로 이송하는 하부 구동 부재(350b)를 포함할 수 있다. 하부 이송 부재(310b)는 하부 레일 본체(230b) 상에 배치되어 하부 구동 부재(350b)를 수평방향으로 이동시킬 수 있다. 예를 들어, 하부 이송 부재(310b)는 하부 레일(200b) 상을 이동하는 이송차(transfer vehicle)일 수 있다. 하부 구동 부재(350b)는 반도체 공정을 수행한 제 2 캐리어(C2)를 저장 구조(100)로 이송할 수 있다.
제어 유닛(400)은 제 1 센서(122)가 전송하는 제 1 신호 및 제 2 센서(124)가 전송하는 제 2 신호를 분석하여 상부 반송 유닛(300a)과 하부 반송 유닛(300b)을 제어할 수 있다. 제어 유닛(400)은 저장 공간(100)의 프레임(103)에 제공될 수 있다. 다만, 제어 유닛(400)의 위치는 특별히 한정되지 않을 수 있다. 제어 유닛(400)은 상부 반송 유닛(300a)과 하부 반송 유닛(300b)이 저장 구조(100) 내의 동일한 저장 공간으로 제 1 캐리어(C1) 및 제 2 캐리어(C2)를 이송하는 것을 방지하도록 상부 반송 유닛(300a)과 하부 반송 유닛(300b)을 제어할 수 있다. 구체적으로, 제어 유닛(400)은 상부 반송 유닛(300a)과 하부 반송 유닛(300b)이 저장 구조(100)의 동일한 저장 공간을 향해 제 1 캐리어(C1) 및 제 2 캐리어(C2)를 동시에 이송하는 경우 상부 반송 유닛(300a)과 하부 반송 유닛(300b)을 제어할 수 있다. 상부 반송 유닛(300a)과 하부 반송 유닛(300b)이 동시에 제 1 캐리어(C1) 및 제 2 캐리어(C2)를 이송하면 제 1 캐리어(C1)와 제 2 캐리어(C2)가 서로 부딪혀 파손될 염려가 있다.
일 예로, 제 1 센서(122)가 제 1 캐리어(C1)가 상부 반송 유닛(300a)에서 저장 구조(100)로 이동하는 것을 측정하고, 제어 유닛(400)을 향해 제 1 신호를 전송할 수 있다. 이 때, 제어 유닛(400)은 상부 반송 유닛(300a)이 제 1 캐리어(C1)를 이송하려는 저장 공간에 하부 반송 유닛(300b)이 제 2 캐리어(C2)를 이송하지 않도록 제어할 수 있다. 제어 유닛(400)은 하부 반송 유닛(300b)을 다른 곳으로 이동시켜 저장 공간이 비어있는 저장 구조(100)에 제 2 캐리어(C2)를 이송하도록 제어할 수 있다.
다른 예로, 제 2 센서(124)가 제 2 캐리어(C2)가 하부 반송 유닛(300b)에서 저장 구조(100)로 이동하는 것을 측정하고, 제어 유닛(400)을 향해 제 2 신호를 전송할 수 있다. 이 때, 제어 유닛(400)은 하부 반송 유닛(300b)이 제 2 캐리어(C2)를 이송하려는 저장 공간에 상부 반송 유닛(300a)이 제 1 캐리어(C1)를 이송하지 않도록 제어할 수 있다. 제어 유닛(400)은 상부 반송 유닛(300a)을 다른 곳으로 이동시켜 저장 공간이 비어있는 저장 구조(100)에 제 1 캐리어(C1)를 이송하도록 제어할 수 있다.
또 다른 예로, 제 1 센서(122)와 제 2 센서(124)가 동시에 제어 유닛(400)으로 제 1 신호와 제 2 신호를 전송할 수 있다. 이런 경우, 상부 반송 유닛(300a)과 하부 반송 유닛(300b) 중 우선적으로 공정을 수행할 반송 유닛(300)을 미리 설정할 수 있다. 설정된 매뉴얼에 따라, 제어 유닛(400)은 상부 반송 유닛(300a)과 하부 반송 유닛(300b) 중 어느 하나의 반송 유닛(300)은 캐리어(C)를 이송하고, 상부 반송 유닛(300a)과 하부 반송 유닛(300b) 중 다른 하나의 반송 유닛(300)은 다른 곳으로 이동하여 저장 공간이 비어있는 저장 구조(100)에 캐리어(C)를 이송하도록 제어할 수 있다.
도 5는 도 2의 상부 반송 유닛을 나타내는 정면도이다. 설명의 간략을 위해 중복되는 내용의 기재는 생략한다.
도 5를 참조하면, 상부 반송 유닛(300a)은 상부 이송 부재(310a) 및 상부 구동 부재(350a)를 포함할 수 있다. 상부 이송 부재(310a)는 상부 구동 부재(350a)를 수평방향으로 이동시킬 수 있다.
상부 구동 부재(350a)는 상부 승강부(320a), 벨트(340a), 상부 그립부(360a) 및 상부 커버(380a)를 포함할 수 있다. 상부 커버(380a)는 상부 승강부(320a)를 감쌀 수 있다.
상부 승강부(320a)는 상부 커버(380a) 내에 배치될 수 있고, 벨트(340a)를 통해 연결되는 상부 그립부(360a)를 이동시킬 수 있다. 상부 승강부(320a)는 벨트(340a)를 풀거나 감아 상부 그립부(360a)를 수직방향으로 이동시킬 수 있다.
상부 그립부(360a)는 이송할 제 1 캐리어(C1)를 착탈 가능하게 결합할 수 있다.
도 6은 도 2의 하부 반송 유닛을 나타내는 정면도이다.
도 6을 참조하면, 하부 반송 유닛(300b)은 하부 이송 부재(310b) 및 하부 구동 부재(350b)를 포함할 수 있다. 하부 이송 부재(310b)는 하부 구동 부재(350b)를 수평방향으로 이동시킬 수 있다.
하부 구동 부재(350b)는 하부 승강부(320b), 로봇 암(340b), 하부 그립부(360b) 및 하부 커버(380b)를 포함할 수 있다. 하부 커버(380b)는 하부 승강부(320b)를 감쌀 수 있다.
하부 승강부(320b)는 하부 커버(380b) 내에 배치될 수 있고, 로봇 암(340b)을 통해 상부 그립부(360a)를 수직방향 및 수평방향으로 이동시킬 수 있다.
하부 그립부(360b)는 이송할 제 2 캐리어(C2)를 착탈 가능하게 결합할 수 있다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 반도체 생산 라인에서 기판 이송 장치의 배치를 대략적으로 나타낸 도면이고, 도 8은 도 7의 기판 이송 장치를 나타내는 측면도이다. 설명의 간략을 위해 중복되는 내용의 기재는 생략한다.
도 7 및 도 8을 참조하면, 반도체 라인(2)은 반도체 공정이 수행되는 공정 설비들(10) 및 공정 설비들(10) 간에 기판이 수납된 캐리어(C)를 이송하는 기판 이송 장치(20)를 포함할 수 있다. 캐리어(C)는 제 1 캐리어(C1), 제 2 캐리어(C2) 및 제 3 캐리어(C3)를 포함할 수 있다.
기판 이송 장치(20)는 저장 구조(100), 센서(120), 이송 레일(200), 반송 유닛(300) 및 제어 유닛(400)을 포함할 수 있다. 저장 구조(100)는 고정부(101), 프레임(103) 및 지지부(105)를 포함할 수 있다.
이송 레일(200)은 저장 구조(100)의 위에 배치되는 제 1 이송 레일(200a)과 저장 구조(100)의 양 측면에 인접하여 배치되는 제 2 이송 레일(200b)과 제 3 이송 레일(200c)을 포함할 수 있다. 제 1 이송 레일(200a), 제 2 이송 레일(200b) 및 제 3 이송 레일(200c)은 일 방향으로 평행하게 연장될 수 있고, 제 1 이송 레일(200a), 제 2 이송 레일(200b) 및 제 3 이송 레일(200c)은 이들이 연장되는 방향과 수직하는 방향으로 이격되어 제공될 수 있다.
반송 유닛(300)은 제 1 이송 레일(200a)과 결합하는 제 1 반송 유닛(300a), 제 2 이송 레일(200b)과 결합하는 제 2 반송 유닛(300b) 및 제 3 이송 레일(200c)과 결합하는 제 3 반송 유닛(300c)을 포함할 수 있다. 제 1 반송 유닛(300a)은 제 1 이송 레일(200a) 상에 배치되는 제 1 이송 부재(310a) 및 제 1 캐리어(C1)를 이송하는 제 1 구동 부재(350a)를 포함할 수 있고, 제 2 반송 유닛(300b)은 제 2 이송 레일(200b) 상에 배치되는 제 2 이송 부재(310b) 및 제 2 캐리어(C2)를 이송하는 제 2 구동 부재(350b)를 포함할 수 있고, 제 3 반송 유닛(300c)은 제 3 이송 레일(200c) 상에 배치되는 제 3 이송 부재(310c) 및 제 3 캐리어(C3)를 이송하는 제 3 구동 부재(350b)를 포함할 수 있다. 제 1 구동 부재(350a)는 제 1 캐리어(C1)를 수직방향으로 이송할 수 있고, 제 2 구동 부재(350b) 및 제 3 구동 부재(350c)는 제 2 캐리어(C2) 및 제 3 캐리어(C3)를 수직방향과 수평방향으로 이송할 수 있다.
센서(120)는 저장 구조(100)의 프레임(103)에 제공될 수 있다. 센서(120)는 제 1 캐리어(C1)가 제 1 반송 유닛(300a)로부터 저장 구조(100)로 이동하는 것을 측정하는 제 1 센서(122), 제 2 캐리어(C2)가 제 2 반송 유닛(300b)로부터 저장 구조(100)로 이동하는 것을 측정하는 제 2 센서(124) 및 제 3 캐리어(C3)가 제 3 반송 유닛(300c)로부터 저장 구조(100)로 이동하는 것을 측정하는 제 3 센서(126)를 포함할 수 있다. 제 1 센서(122)는 프레임(103)의 상부에 제공될 수 있고, 제 2 센서(124) 및 제 3 센서(126)은 프레임(103)의 양 측부들에 제공될 수 있다. 센서(120)는 빛을 발광하는 발광부및 발광된 빛을 감지하는 수광부를 포함하는 광학 센서일 수 있다. 제 1 센서(122)는 제 1 발광부(122a) 및 제 1 수광부(122b)를 포함할 수 있고, 제 2 센서(124)는 제 2 발광부(124a) 및 제 2 수광부(124b)를 포함할 수 있고, 제 3 센서(126)는 제 3 발광부(126a) 및 제 3 수광부(126b)를 포함할 수 있다. 제 1 센서(122), 제 2 센서(124) 및 제 3 센서(126)는 각각 제 1 캐리어(C1), 제 2 캐리어(C2) 및 제 3 캐리어(C3)의 이동을 감지하여 제어 유닛(400)으로 신호를 전송할 수 있다.
제어 유닛(400)은 제 1 센서(122), 제 2 센서(124) 및 제 3 센서(126)가 전송한 신호를 분석하여 제 1 반송 유닛(300a), 제 2 반송 유닛(300b) 및 제 3 반송 유닛(300c)을 제어할 수 있다. 제어 유닛(400)은 제 1 반송 유닛(300a), 제 2 반송 유닛(300b) 및 제 3 반송 유닛(300c)이 저장 구조(100) 내의 동일한 저장 공간으로 캐리어(C)를 동시에 이송하는 것을 방지하도록 이들을 제어할 수 있다.
반도체 생산 라인(2)은 3개의 레일들을 통해 캐리어(C)를 이송할 수 있으므로 보다 많은 수의 캐리어(C)를 처리할 수 있어 캐리어(C)를 이송하는 시간을 단축시킬 수 있다. 또한, 저장 구조(100)의 양측 뿐만 아니라 저장 구조(100) 상면 상에 이송 레일(200)을 배치하여 반도체 생산 라인(2)에서 이송 레일(200)이 차지하는 면적을 줄일 수 있다. 따라서, 반도체 생산 라인(2)의 전체적인 공간을 효율적으로 운용할 수 있다.

Claims (10)

  1. 이송 레일;
    천장에 고정되고 상기 이송 레일과 인접하게 배치되어 제 1 캐리어, 제 2 캐리어 및 제 3 캐리어가 적재되는 저장 구조; 및
    반송 유닛을 포함하고,
    상기 이송 레일은:
    상기 저장 구조의 위에 배치되는 제 1 이송 레일;
    상기 제 1 이송 레일과 평행하게 연장되며 상기 저장 구조의 측면에 인접하여 배치되는 제 2 이송 레일; 및
    상기 제 1 이송 레일 및 상기 제 2 이송 레일과 평행하게 연장되며 상기 저장 구조의 측면에 인접하여 배치되는 제 3 이송 레일을 포함하며,
    상기 반송 유닛은:
    상기 제 1 이송 레일과 결합하여 상기 제 1 캐리어를 이송하는 제 1 반송 유닛;
    상기 제 2 이송 레일과 결합하여 상기 제 2 캐리어를 이송하는 제 2 반송 유닛; 및
    상기 제 3 이송 레일과 결합하여 상기 제 3 캐리어를 이송하는 제 3 반송 유닛을 포함하되,
    상기 제 1 이송 레일, 상기 제 2 이송 레일 및 상기 제 3 이송 레일은 평행하게 연장되고 수직하는 방향으로 이격되는 기판 이송 장치..
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 저장 구조는 상기 제 1 반송 유닛을 향하는 상면 및 상기 제 2 반송 유닛 및 상기 제 3 반송 유닛을 향하는 양 측면이 개방된 기판 이송 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 저장 구조는:
    상기 캐리어들이 저장되는 공간을 제공하는 프레임; 및
    상기 프레임을 반도체 생산 라인의 상기 천장에 고정결합하는 지지부를 포함하고,
    상기 프레임의 상면 및 양 측면은 개방된 기판 이송 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 저장 구조는:
    상기 프레임의 상부에 제공되고, 상기 제 1 캐리어가 상기 프레임의 상면을 통과하는 것을 측정하는 제 1 센서;
    상기 프레임의 측부에 제공되고, 상기 제 2 캐리어가 상기 프레임의 측면을 통과하는 것을 측정하는 제 2 센서; 및
    상기 프레임의 측부에 제공되고, 상기 제 3 캐리어가 상기 프레임의 측면을 통과하는 것을 측정하는 제 3 센서를 포함하는 기판 이송 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 제 1 센서, 상기 제 2 센서 및 상기 제 3 센서가 측정한 신호들을 전송받아 상기 제 1 반송 유닛, 상기 제 2 반송 유닛 및 상기 제 3 반송 유닛을 제어하는 제어 유닛을 더 포함하고,
    상기 제어 유닛은 상기 제 1 반송 유닛, 상기 제 2 반송 유닛 및 상기 제 3 반송 유닛이 상기 저장 구조 내의 동일한 저장 공간을 향해 상기 제 1 캐리어, 상기 제 2 캐리어 및 상기 제 3 캐리어를 이송하는 것을 방지하도록 상기 제 1 반송 유닛, 상기 제 2 반송 유닛 및 상기 제 3 반송 유닛을 제어하는 기판 이송 장치.
  6. 천장에 고정되어 기판을 수납하는 제 1 캐리어, 제 2 캐리어 및 제 3 캐리어가 적재되는 저장 구조;
    상기 저장 구조 상면 상에 배치되는 제 1 이송 레일;
    상기 제 1 이송 레일과 평행하게 연장되며 상기 저장 구조 측면 상에 배치되는 제 2 레일;
    상기 제 1 이송 레일 및 상기 제 2 이송 레일과 평행하게 연장되며 상기 저장 구조의 측면에 인접하여 배치되는 제 3 이송 레일;
    상기 제 1 이송 레일과 결합하여 상기 제 1 캐리어를 이송하는 제 1 반송 유닛;
    상기 제 2 이송 레일과 결합하여 상기 제 2 캐리어를 이송하는 제 2 반송 유닛;
    상기 제 3 이송 레일과 결합하여 상기 제 3 캐리어를 이송하는 제 3 반송 유닛; 및
    상기 제 1 반송 유닛, 상기 제 2 반송 유닛 및 상기 제 3 반송 유닛을 제어하는 제어 유닛을 포함하고,
    상기 저장 구조는 상기 제 1 반송 유닛과 인접하는 상면 및 상기 제 2 반송 유닛 및 상기 제 3 반송 유닛과 인접하는 양 측면이 개방된 구조이며,
    상기 제 1 이송 레일, 상기 제 2 이송 레일 및 상기 제 3 이송 레일은 이들이 평행하게 연장되고 수직하는 방향으로 이격되는 기판 이송 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 저장 구조는:
    상기 저장 구조의 상부에 제공되어 상기 제 1 반송 유닛이 상기 저장 구조로 상기 제 1 캐리어를 이송하는 것을 측정하는 제 1 센서;
    상기 저장 구조의 측부에 제공되어 상기 제 2 반송 유닛이 상기 저장 구조로 상기 제 2 캐리어를 이송하는 것을 측정하는 제 2 센서; 및
    상기 저장 구조의 측부에 제공되어 상기 제 3 반송 유닛이 상기 저장 구조로 상기 제 3 캐리어를 이송하는 것을 측정하는 제 3 센서를 포함하는 기판 이송 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 제 1 센서, 상기 제 2 센서 및 상기 제 3 센서는 상기 제 1 캐리어, 상기 제 2 캐리어 및 상기 제 3 캐리어의 이동을 측정하여 상기 제어 유닛으로 신호를 전송하고,
    상기 제어 유닛은;
    상기 제 1 반송 유닛, 상기 제 2 반송 유닛 및 상기 제 3 반송 유닛이 상기 저장 구조 내의 동일한 저장 공간으로 상기 제 1 캐리어, 상기 제 2 캐리어 및 상기 제 3 캐리어를 이송하는 것을 방지하도록 상기 제 1 반송 유닛, 상기 제 2 반송 유닛 및 상기 제 3 반송 유닛을 제어하는 기판 이송 장치.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 제 1 센서는 상기 제 1 캐리어의 이동을 측정하여 상기 제어 유닛으로 신호를 전송하고,
    상기 제어 유닛은:
    상기 제 1 반송 유닛이 상기 제 1 캐리어를 이송하려는 상기 저장 구조 내의 저장 공간에 상기 제 2 반송 유닛 및 상기 제 3 반송 유닛이 상기 제 2 캐리어 및 상기 제 3 캐리어를 이송하지 않도록 상기 제 2 반송 유닛 및 상기 제 3 반송 유닛을 제어하는 기판 이송 장치.
  10. 제 7 항에 있어서,
    상기 제 2 센서는 상기 제 2 캐리어의 이동을 측정하여 상기 제어 유닛으로 신호를 전송하고,
    상기 제어 유닛은:
    상기 제 2 반송 유닛이 상기 제 2 캐리어를 이송하려는 상기 저장 구조 내의 저장 공간에 상기 제 1 반송 유닛 및 상기 제 3 반송 유닛이 상기 제 1 캐리어 및 상기 제 3 캐리어를 이송하지 않도록 상기 제 1 반송 유닛 및 상기 제 3 반송 유닛을 제어하는 기판 이송 장치.
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