KR102441984B1 - 텔레스코픽 이송 로봇 장치 - Google Patents

텔레스코픽 이송 로봇 장치 Download PDF

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박광중
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Abstract

본 발명은 텔레스코픽 이송 로봇 장치에 관한 것으로, 기초프레임; 상기 기초프레임에 어느 한 방향 또는 양방향으로 이동되게 설치되는 것으로, 본체부와, 상기 본체부의 일측과 타측에 각각 적어도 하나 이상으로 설치되는 풀리와, 상기 풀리를 통해 상기 본체부를 감싸도록 감기며, 상기 풀리에서 무한궤도를 형성하면서 회전되는 밸트부를 포함하며, 상기 기초프레임에서 대칭으로 한 쌍을 이루면서 나란하게 다열 배치되는 다수개의 이송유닛; 상기 최외곽에 배치된 한 쌍의 이송유닛의 본체부와 연결되며, 상기 최내측에 배치된 한 쌍의 본체부의 사이 공간상에서 상기 최내측에 배치된 한 쌍의 이송유닛에 양방향 이동에 필요한 동력을 제공하는 이동구동부; 상기 최내측에 배치된 한 쌍의 이송유닛의 본체부에 설치된 밸트부에 그 양측이 각각 고정되며, 피이송물을 이송시키는 이송플레이트; 및 상기 최외곽에 배치된 이송유닛에서부터 최내측에 배치된 이송유닛이 순차적으로 가속되면서 이동하도록 상기 이송유닛들을 연동작동시키는 가속연동부를 포함한다.

Description

텔레스코픽 이송 로봇 장치{TELESCOPIC TRANSPORT ROBOT DEVICE}
본 발명은 자재의 이송 속도 및 반송 속도를 증가할 수 있고, 자재를 이송 및 반송 하는 과정에서 먼지와 같은 이물질이 비산되는 것을 방지하여 작업자의 건강을 보호할 수 있는 텔레스코픽 이송 로봇 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 액정 디스플레이 장치, 플라즈마 디스플레이 장치, 반도체 장치들의 제조를 위한 기판 처리 시스템들은 복수 매의 기판을 일관해서 처리할 수 있는 클러스터 시스템이 채용되고 있다.
클러스터(cluster) 시스템이란 이송 장치(또는 핸들러; handler)와 그 주위에 마련된 복수의 기판 처리 모듈을 포함하는 멀티 챔버형 기판 처리 시스템을 지칭하는 것으로서, 통상 이송실(transfer chamber)과 이송실내에 회동을 통해 자재를 이송 및 반송시키는 이송장치를 구비하고 있다.
종래의 이송장치는 회전 가능하도록 설치되는 회전본체부, 회전본체부 상에 설치되어 회전본체부와 동반 회전되고 신축에 의해 일직선상에서 전후진 이동하는 스칼라 암 구조의 이송암 및 이송암의 선단에 형성되어 이송자재를 파지하는 엔드 이펙터(end effector로 구성되어, 예컨대 전방에 위치된 웨이퍼 보관파렛트로부터 처리가 완료된 웨이퍼를 인출한 다음 180° 회전하여 후속공정을 위해 후방에 위치된 웨이퍼 보관파렛트로 인출한 웨이퍼를 탑재시키는 동작을 반복수행하게 된다.
그러나, 종래의 이송장치는 회전을 통해 이송동작을 수행함으로, 큰 작업반경이 요구된다. 따라서, 넓은 작업 공간에서만 사용가능하고 협소한 작업 공간에서는 사용이 불가능한 문제점이 있다.
그리고, 종래의 이송장치는 각 구성들이 작동하는 과정에서 먼지와 같은 이물질을 비산시키는 문제점이 있다.
아울러, 종래의 이송장치는 한번에 여러 종류의 자재를 이송시킬 수 없는 문제점이 있다.
한편, 전술한 배경 기술은 발명자가 본 발명의 도출을 위해 보유하고 있었거나, 본 발명의 도출 과정에서 습득한 기술 정보로서, 반드시 본 발명의 출원 전에 일반 공중에게 공개된 공지기술이라 할 수는 없다.
한국공개특허 제10-2017-0026816호
본 발명은, 자재의 이송 속도 및 반송 속도를 증가할 수 있고, 자재를 직진 이동시키는 방식으로 이송 및 반송하여 협소한 공간에서도 용이하게 사용할 수 있는 텔레스코픽 이송 로봇 장치를 제공한다.
본 발명의 다른 목적은, 자재를 이송 및 반송 하는 과정에서 먼지와 같은 이물질이 비산되는 것을 방지하여 작업자의 건강을 보호할 수 있고, 작업장의 공기질을 깨끗하게 유지할 수 있는 텔레스코픽 이송 로봇 장치를 제공한다.
본 발명의 다른 목적은, 자재를 이송 및 반송할 때 추가로 요구되는 다른 자재를 더 이송 또는 반송시킬 수 있으며, 다른 자재를 이송 또는 반송한 후, 사용자에게 용이하게 공급할 수 있는 텔레스코픽 이송 로봇 장치를 제공한다.
본 발명의 다른 목적은, 자재의 표면에 묻어 있는 먼지와 같은 이물질을 자동으로 쉽게 제거할 수 있고, 진동과 흡기력을 통해서 이물질을 제거함에 따라, 이물질을 제거하는 과정에서 자재가 파손되는 것을 방지할 수 있는 텔레스코픽 이송 로봇 장치를 제공한다.
본 발명의 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 텔레스코픽 이송 로봇 장치는, 기초프레임; 상기 기초프레임에 어느 한 방향 또는 양방향으로 이동되게 설치되는 것으로, 본체부와, 상기 본체부의 일측과 타측에 각각 적어도 하나 이상으로 설치되는 풀리와, 상기 풀리를 통해 상기 본체부를 감싸도록 감기며, 상기 풀리에서 무한궤도를 형성하면서 회전되는 밸트부를 포함하며, 상기 기초프레임에서 대칭으로 한 쌍을 이루면서 나란하게 다열 배치되는 다수개의 이송유닛; 상기 최외곽에 배치된 한 쌍의 이송유닛의 본체부와 연결되며, 상기 최내측에 배치된 한 쌍의 본체부의 사이 공간상에서 상기 최내측에 배치된 한 쌍의 이송유닛에 양방향 이동에 필요한 동력을 제공하는 이동구동부; 상기 최내측에 배치된 한 쌍의 이송유닛의 본체부에 설치된 밸트부에 그 양측이 각각 고정되며, 피이송물을 이송시키는 이송플레이트; 및 상기 최외곽에 배치된 이송유닛에서부터 최내측에 배치된 이송유닛이 순차적으로 가속되면서 이동하도록 상기 이송유닛들을 연동작동시키는 가속연동부를 포함한다.
그리고, 상기 이동구동부는, 상기 기초 프레임의 상측에 길이방향을 따라 배치되는 볼스크류 타입의 샤프트; 상기 샤프트를 정방향 또는 역방향으로 회전시키는 이송모터; 상기 샤프트에 나선을 통해 체결되어 상기 샤트프의 회전방향에 따라 전진 또는 후진되는 이송체; 및 상기 이송체의 일측과 타측을 상기 최외곽에 배치된 상기 본체부에 각각 연결시키는 연결부를 포함한다.
또한, 상기 가속연동부는, 상기 밸트부가 풀리에 무한궤도를 형성하면서 회전되도록 설치됨으로 인해 형성되는 내측공간에 각각 2개 한 쌍으로 설치되며, 그 저면이 상기 본체부의 바닥면에 고정되는 가이드레일; 상기 가이드레일을 따라 각각 슬라이딩되는 슬라이딩블록; 상기 슬라이딩블록에 각각 결합되고, 상기 밸트부의 일측과 타측 중 적어도 어느 하나 이상으로 각각 돌출되어 서로 중첩되게 결합되는 연결블록; 및 상기 기초프레임의 일측벽과 타측벽의 내측면에 각각 고정되어, 최외곽에 배치된 본체부의 풀리에 감겨진 밸트부에 각각 고정되는 고정블록을 포함한다.
그리고, 상기 이송유닛은, 상기 본체부의 전측과 후측 및 상면에 각각 설치되어 상기 밸트부의 구동에 따라 발생되는 이물질이 비산되는 것을 방지하는 비산방지덮개를 더 포함한다.
또한, 상기 이송유닛들 중 적어도 어느 하나 이상의 상면에 설치되며, 추가 피이송물이 수납되는 적어도 하나 이상의 수납부를 더 포함하고, 상기 수납부는, 상기 이송유닛의 상면에 분리가능하게 결합되며, 상면에 회전가이드홈이 형성된 베이스판; 상기 베이스판의 상면에 서로 이격되게 배치되는 한 쌍의 간격유지블록; 상기 간격유지블록의 상면에 안착되며, 그 저면의 편심된 위치에 상기 간격유지블록의 사이공간을 통과하여 상기 회전가이드홈에 수용되는 축이 형성되어, 회전작동에 따라 일정영역이 상기 이송유닛에서 이탈되는 회전판; 상기 회전판의 상면에 결합되고, 상기 회전판과 동일한 방향 및 각도로 회전되어 일정영역이 상기 이송유닛에서 이탈되거나 또는, 상기 이동유닛의 상측에 위치되며, 내부에 상기 추가 피이송물이 수납되는 수납공간이 형성되고, 일측에 상기 추가 피이송물이 출입하는 출입구가 형성된 수납함; 상기 출입구를 개방 또는 폐쇄하도록 상기 수납함에 분리가능하게 결합되는 덮개부; 상기 수납함의 상면에 형성되고, 상기 덮개부를 폐쇄상태로 유지하기 위해 마련되는 폐쇄유지돌기; 상기 덮개부의 상면에 형성되며, 상기 덮개부가 상기 수납함의 출입구를 폐쇄하는 방향으로 회동할 시 폐쇄유지돌기에 장착되어, 상기 덮개부를 고정시키는 홀더부; 상기 회전판이 회전작동에 의해 상기 이송유닛에서 이탈될 시, 상기 회전판의 저면을 지지하는 지지부; 상기 수납함의 수납공간 천장면에 고정되는 실린더; 상기 실린더에 의해 전진되면서 상기 추가 피이송물을 푸쉬하여 상기 수납공간의 외부로 인출하는 인출판; 및 상기 수납함의 바닥면에 형성된 내부공간에 인입 또는 인출되고, 상면이 개방되고 내부에 빈 공간이 형성된 박스 구조로 이루어지는 하우징과, 상기 하우징의 빈 공간 바닥면에 고정되는 완충스프링 및 상기 완충스프링의 상면에 고정되며 상기 하우징이 상기 바닥면의 내부공간에서 인출된 상태에서 상기 실린더의 작동에 의해 상기 인출판이 전진됨으로 인해 상기 수납공간에서 낙하되는 추가 피이송물을 지지하며, 고무 또는 실리콘 재질로 형성되는 완충판을 포함하는 완충부를 포함한다.
그리고, 상기 이송플레이트의 저면에 설치되는 돌출편을 더 포함한다.
또한, 상기 이송플레이트의 일측에 배치되며, 상기 이동구동부가 상기 이송플레이트를 이송시키는 방향에 대응되게 상기 돌출편을 밀거나 당겨서 상기 이송플레트의 이송속도를 가속시키는 가속부를 더 포함하고, 상기 가속부는, 상기 돌출편의 저면과 전면 및 후면을 공동으로 감싸는 파지부; 상기 파지부의 저면에 고정되고, 중앙에 나선홀이 형성된 이송체; 외주연에 상기 이송체의 나선이 체결되는 나선이 길이방향을 따라 형성된 볼스크류; 및 상기 이송체가 상기 이동구동부에 의해 전진 또는 후진되는 이송플레이트의 이송방향과 대응되게 상기 볼스크류를 따라 왕복이동하도록 상기 볼스크류를 정방향 또는 역방향으로 회전시키되, 상기 이송플레이트를 가속이동시키도록 상기 이송모터보다 빠른 속도로 회전작동되는 가속모터를 포함한다.
그리고, 상기 기초프레임의 일측과 타측 중 적어도 어느 하나 이상에 배치되고, 피이송물 또는 추가 피이송물에서 먼지를 제거하는 먼지제거부를 더 포함하고, 상기 먼지제거부는, 내부에 상기 피이송물 또는 추가 피이송물이 수용되는 수용공간이 형성되고, 일면에 형성된 출입구가 도어에 의해 개폐되는 챔버; 상기 챔버의 수용공간에 상,하 방향으로 서로 이격되도록 배치되고, 상기 도어와 마주하는 면의 수직 길이방향을 따라서는 상기 피이송물 또는 추가 피이송물의 가장자리가 고정되는 고정홈이 일정간격으로 형성된 한쌍의 제거본체부; 상기 제거본체부에 고정된 상기 피이송물 또는 추가 피이송물을 구획하도록 상기 고정홈의 사이에 배치되고, 그 일측이 상기 제거본체부에 고정되는 구획벽; 상기 챔버의 바닥면에 설치되고 최하층에 배치된 제거본체부를 탄성적으로 지지하는 지지스프링; 상층에 배치된 제거본체부 및 하층에 배치된 제거본체부를 상,하 방향으로 연결하는 연결스프링; 상기 상층에 배치된 제거본체부의 저면 및 상기 하층에 배치된 제거본체부의 상면에 각각 설치되며, 반구 형상으로 형성되고, 탄성재질로 이루어지는 튕김부; 상기 챔버의 바닥면 및 천장면에 각각 설치되는 먼지제거모터와, 상기 먼지제거모터의 동력으로 제자리 회전되면서 상기 상층에 배치된 제거본체부와 하층에 배치된 제거본체부를 각각 타격하여, 상기 상층에 배치된 제거본체부와 하층에 배치된 제거본체부가 상기 지지스프링 및 상기 연결스프링의 수축, 팽창 작용에 의해 요동되도록 하면서 상기 튕김부에 의해 튕겨지도록하는 타격바를 포함하는 진동발생부; 및 상기 챔버의 수용공간 바닥면과, 천장면 및 도어의 내측면에 각각 설치되고, 상기 피이송물 또는 추가 피송물에서 분리되는 먼지를 각각 흡입하여 상기 챔버의 외부로 배출시키는 흡입배출부를 포함한다.
상술한 본 발명의 일측면에 따르면, 자재의 이송 속도 및 반송 속도를 증가할 수 있고, 자재를 직진 이동시키는 방식으로 이송 및 반송하여 협소한 공간에서도 용이하게 사용할 수 있는 효과가 있다.
그리고, 자재를 이송 및 반송 하는 과정에서 먼지와 같은 이물질이 비산되는 것을 방지하여 작업자의 건강을 보호할 수 있고, 작업장의공기질을 깨끗하게 유지할 수 있는 효과가 있다.
또한, 자재를 이송 및 반송할 때 추가로 요구되는 다른 자재를 더 이송 또는 반송시킬 수 있으며, 다른 자재를 이송 또는 반송한 후, 사용자에게 용이하게 공급할 수 있는 효과가 있다.
그리고, 자재의 표면에 묻어 있는 먼지와 같은 이물질을 자동으로 쉽게 제거할 수 있고, 진동과 흡기력을 통해서 이물질을 제거함에 따라, 이물질을 제거하는 과정에서 자재가 파손되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.
본 발명의 효과는 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 이하에서 설명할 내용으로부터 통상의 기술자에게 자명한 범위 내에서 다양한 효과들이 포함될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 텔레스코픽 이송 로봇 장치를 도시한 사시도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 텔레스코픽 이송 로봇 장치에 적용된 이송유닛의 작동상태를 도시한 사시도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 텔레스코픽 이송 로봇 장치의 다른 실시예를 도시한 사시도.
도 4는 도 3의 이송유닛이 최전방으로 이송된 상태를 도시한 사시도.
도 5는 도 3의 이송유닛이 최후방으로 이송된 상태를 도시한 사시도.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 텔레스코픽 이송 로봇 장치에 적용된 고정블록과 본체부의 결합상태 및 가이드레일과 슬라이딩블록의 결합상태를 도시한 사시도.
도 7은 도 1의 본체부와, 이송유닛 및 이동구동부의 연결관계를 도시한 사시도.
도 8은 도 1 또는 도 3에 적용된 제2 이송유닛 및 제3 이송유닛을 도시한 평면 사시도.
도 9은 도 1 또는 도 3에 적용된 제2 이송유닛 및 제3 이송유닛을 도시한 저면 사시도.
도 10은 도 1 또는 도 3의 제2 이송유닛과, 제3 이송유닛에 적용된 가속연동부를 도시한 사시도.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 텔레스코픽 이송 로봇 장치의 동작 개념도.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 텔레스코픽 이송 로봇 장치의 다른 동작 개념도.
도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 텔레스코픽 이송 로봇 장치에 수납부가 적용된 상태를 도시한 평면도.
도 14는 본 발명의 일 실시예에 따른 텔레스코픽 이송 로봇 장치에 수납부가 적용된 상태를 도시한 정면도.
도 15는 본 발명의 일 실시예에 따른 텔레스코픽 이송 로봇 장치에 적용된 수납부를 도시한 단면도.
도 16은 본 발명의 일 실시예에 따른 텔레스코픽 이송 로봇 장치에 적용된 수납부의 사용상태를 도시한 도.
도 17은 본 발명의 일 실시예에 따른 텔레스코픽 이송 로봇 장치에 적용된 가속부를 도시한 도.
도 18은 본 발명의 일 실시예에 따른 텔레스코픽 이송 로봇 장치에 적용된 먼지제거부를 도시한 도.
후술하는 본 발명에 대한 상세한 설명은, 본 발명이 실시될 수 있는 특정 실시예를 예시로서 도시하는 첨부 도면을 참조한다. 이들 실시예는 당업자가 본 발명을 실시할 수 있기에 충분하도록 상세히 설명된다. 본 발명의 다양한 실시예는 서로 다르지만 상호 배타적일 필요는 없음이 이해되어야 한다. 예를 들어, 여기에 기재되어 있는 특정 형상, 구조 및 특성은 일 실시예와 관련하여 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시예로 구현될 수 있다. 또한, 각각의 개시된 실시예 내의 개별 구성요소의 위치 또는 배치는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 변경될 수 있음이 이해되어야 한다. 따라서, 후술하는 상세한 설명은 한정적인 의미로서 취하려는 것이 아니며, 본 발명의 범위는, 적절하게 설명된다면, 그 청구항들이 주장하는 것과 균등한 모든 범위와 더불어 첨부된 청구항에 의해서만 한정된다. 도면에서 유사한 참조부호는 여러 측면에 걸쳐서 동일하거나 유사한 기능을 지칭한다.
이하, 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 텔레스코픽 이송 로봇 장치를 도시한 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 텔레스코픽 이송 로봇 장치에 적용된 이송유닛의 작동상태를 도시한 사시도이며, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 텔레스코픽 이송 로봇 장치의 다른 실시예를 도시한 사시도이고, 도 4는 도 3의 이송유닛이 최전방으로 이송된 상태를 도시한 사시도이며, 도 5는 도 3의 이송유닛이 최후방으로 이송된 상태를 도시한 사시도이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 텔레스코픽 이송 로봇 장치에 적용된 고정블록과 본체부의 결합상태 및 가이드레일과 슬라이딩블록의 결합상태를 도시한 사시도이며, 도 7은 도 1의 본체부와, 이송유닛 및 이동구동부의 연결관계를 도시한 사시도이고, 도 8은 도 1 또는 도 3에 적용된 제2 이송유닛 및 제3 이송유닛을 도시한 평면 사시도이며, 도 9은 도 1 또는 도 3에 적용된 제2 이송유닛 및 제3 이송유닛을 도시한 저면 사시도이고, 도 10은 도 1 또는 도 3의 제2 이송유닛과, 제3 이송유닛에 적용된 가속연동부를 도시한 사시도이며, 도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 텔레스코픽 이송 로봇 장치의 동작 개념도이고, 도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 텔레스코픽 이송 로봇 장치의 다른 동작 개념도이며, 도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 텔레스코픽 이송 로봇 장치에 수납부가 적용된 상태를 도시한 평면도이고, 도 14는 본 발명의 일 실시예에 따른 텔레스코픽 이송 로봇 장치에 수납부가 적용된 상태를 도시한 정면도이며, 도 15는 본 발명의 일 실시예에 따른 텔레스코픽 이송 로봇 장치에 적용된 수납부를 도시한 단면도이고, 도 16은 본 발명의 일 실시예에 따른 텔레스코픽 이송 로봇 장치에 적용된 수납부의 사용상태를 도시한 도이며, 도 17은 본 발명의 일 실시예에 따른 텔레스코픽 이송 로봇 장치에 적용된 가속부를 도시한 도이고, 도 18은 본 발명의 일 실시예에 따른 텔레스코픽 이송 로봇 장치에 적용된 먼지제거부를 도시한 도이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 텔레스코픽 이송 로봇 장치는, 기초프레임(10)과, 이송유닛과, 이동구동부(30)와, 이송플레이트(40)와, 가속연동부(50)와, 수납부(60)와, 돌출편(80)과, 가속부(90) 및 먼지제거부(100) 중 어느 하나 이상을 포함할 수 있다.
기초프레임(10)은 바닥의 양측단에 각각 일측벽(11)과 타측벽(12)이 형성된다.
그리고, 일측벽(11)과 타측벽(12)의 사이에는 후술되는 이송유닛과, 이동구동부(30)와, 이송플레이트(40) 및 가속연동부(50)가 설치되는 빈 공간이 형성된다.
나아가 기초프레임(10)의 전면과 후면은 개방되어 이송유닛이 기초프레임(10) 상에서 돌출되면서 전진 또는 후진 될 수 있다.
그리고, 기초프레임(10)의 중앙에는 이동구동부(30)가 설치되고, 이동구동부(30)의 좌측과 우측으로 한 쌍을 이루면서 전,후 방향으로 이송유닛이 다열로 배치된다.
이때, 도면에는 기초프레임(10)에 3쌍의 이송유닛이 총 6열로 배치된 예를 도시하였다.
그리고, 기초프레임(10)의 바닥면에는 후술되는 이동구동부(30)의 구동력을 최외곽에 배치된 이송유닛에 전달하는 연결부(34)의 전,후진 슬라이딩을 가이드하기 위한 레일(24)이 적어도 하나 이상으로 설치된다.
이송유닛은 최내측에 배치되어 이동구동부(30)의 일측과 타측에 각각 위치되는 제1 이송유닛(20a)과, 제1 이송유닛(20a)의 일측에 각각 배치되며, 이송유닛들 중에서 중앙에 위치되는 제2 이송유닛(20b) 및 제2 이송유닛(20b)의 일측에 각각 배치되어 최외곽에 위치되며, 일측벽(11) 및 타측벽(12)과 각각 마주하는 제3 이송유닛(20c)을 포함할 수 있다.
제1 이송유닛(20a)과 제2 이송유닛(20b) 및 제3 이송유닛(20c)은 공통적으로 본체부(21)와, 본체부(21)의 전측과 타측에 각각 적어도 하나 이상으로 축 설치되어 제자리 회전되는 풀리(22) 및 본체부(21)의 전측과 타측에 각각 설치된 풀리(22)를 통해 본체부(21)를 감싸도록 감기며, 풀리(22)에서 무한궤도를 형성하면서 회전되는 밸트부(23)를 포함할 수 있다.
부가적으로, 제1 이송유닛(20a)과 제2 이송유닛(20b) 및 제3 이송유닛(20c)은 공통적으로 본체부(21)의 전측과 후측 및 상면에 각각 결합되어 밸트부(23)의 노출을 최소하는 비산방지덮개를 더 포함할 수 있다.
비산방지덮개를 통해 밸트부(23)의 노출을 최소화 함에 따라, 밸트부(23)의 구동에 의해 발생되는 먼지와 같은 이물질이 비산되는 것을 방지할 수 있고, 이로 인해 작업자의 건강을 보호할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 텔레스코픽 이송 로봇 장치에서 제1 이송유닛(20a)과, 제2 이송유닛(20b) 및 제3 이송유닛(20c)은 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 후술되는 이동구동부(30)에 의해 기초프레임(10)에서 어느 한 방향으로만 전진되거나 후진되어 원위치 될 수 있다.
즉, 도 1 및 도 2와 같은 경우 제1 이송유닛(20a)과, 제2 이송유닛(20b) 및 제3 이송유닛(20c)은 한방향(단방향)으로만 전진 또는 후진복귀하게 된다.
다른 일 예로, 본 발명의 일 실시예에 따른 텔레스코픽 이송 로봇 장치에서 제1 이송유닛(20a)과, 제2 이송유닛(20b) 및 제3 이송유닛(20c)은 도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 후술되는 이동구동부(30)에 의해 기초프레임(10)에서 전진되어 일정영역이 기초프레임(10)의 전측으로 돌출되거나 또는, 기초프레임(10)에서 후진되어 일정영역이 기초프레임(10)의 후측으로 돌출되도록 구현될 수 있다.
즉, 도 3 내지 도 5와 같은 경우 제1 이송유닛(20a)과, 제2 이송유닛(20b) 및 제3 이송유닛(20c)은 양방향으로 전진 또는 후진하게 된다.
이러한 제1 이송유닛(20a)과, 제2 이송유닛(20b) 및 제3 이송유닛(20c)를 단방향 또는 양방향으로 전진 또는 후진시키는 것은 샤프트(31)의 길이와 이송모터(32)의 위치를 조절함으로써 실현 가능하다.
이동구동부(30)는 최외곽에 배치된 한 쌍의 제3 이송유닛(20c)의 본체부(21)와 연결되며, 한 쌍의 제1 이송유닛(20a)의 본체부(21)의 사이 공간상에서 한 쌍의 제1 이송유닛(20a)에 전진 또는 후진에 필요한 동력을 제공하는 구성이다.
이를 위해, 이동구동부(30)는 샤프트(31)와, 이송모터(32)와, 이송체(33) 및 연결부(34)를 포함할 수 있다.
샤프트(31)는 기초프레임(10)의 바닥 중앙부분 상측에 전,후 길이방향을 따라 배치된다.
샤프트(31)는 이송체(33)를 전진 또는 후진시키도록 볼스크류(93) 타입으로 형성될 수 있다.
이송모터(32)는 제1 이송유닛(20a)과, 제2 이송유닛(20b) 및 제3 이송유닛(20c)을 전진 또는 후진시키도록 샤프트(31)를 정방향 또는 역방향으로 회전시킨다.
이송모터(32)는 모터축이 정방향 또는 역방향으로 회전되는 AC 모터 또는 DC 모터로 형성될 수 있다.
이송체(33)는 중앙부분에 샤프트(31)의 나선에 체결되는 나선홀이 형성된다.
따라서, 이송체(33)는 샤프트(31)에 나선을 통해 체결되어 샤트프의 회전방향에 따라 전진 또는 후진된다.
일 예로, 이송체(33)는 샤프트(31)가 이송모터(32)에 의해 정방향으로 회전될 시 전진되고, 샤프트(31)가 이송모터(32)에 의해 역방향으로 회전될 시 후진될 수 있다.
연결부(34)는 2개 한 쌍으로 구성되며, 그 일측의 가장자리가 이송체(33)의 일측과 타측에 각각 상,하 방향으로 중첩되는 형태로 결합된다.
연결부(34)는 대략 판 형상으로 형성될 수 있으며, 그 저면에는 기초프레임(10)의 바닥면에 설치된 레일(24)을 따라 슬라이딩되는 복수개의 슬라이더(341)가 각각 형성될 수 있다.
연결부(34)의 타측의 가장자리 상면에는 제3 이송유닛(20c)의 본체부(21) 저면에 결합되는 결합블록(342)이 각각 형성된다.
즉, 연결부(34)는 이송체(33)의 일측과 타측을 제3 이송유닛(20c)의 본체부(21)에 각각 연결시키는 것이다.
따라서, 이송모터(32)의 회전방향에 따라 이송체(33)가 샤프트(31)를 따라 전진 또는 후진되며, 이로 인해 한 쌍의 연결부(34) 및 한 쌍의 제3 이송유닛(20c)이 이송체(33)와 함께 전진 또는 후진된다.
그리고, 연결부(34)는 레일(24)과 슬라이더(341)에 의해 원활하게 전진 또는 후진될 수 있다.
이송플레이트(40)는 그 양측 저면에 제1 이송유닛(20a)의 본체부(21)에 설치된 밸트부(23)에 각각 고정된다.
제1 이송유닛(20a)과, 제2 이송유닛(20b) 및 제3 이송유닛(20c)의 밸트부(23)들은 후술되는 가속연동부(50)에 의해 서로 연결되어 동시에 무한궤도를 형성하면서 회전되며, 이송플레이트(40)는 가속연동부(50)에 의해 가속되어 전진 또는 후진되는 제1 이송유닛(20a)에 의해 가속된 상태로 전진 또는 후진되면서 피이송물을 이송한다.
그리고, 이송플레이트(40)의 상면에는 피이송물을 파지하는 엔드 이펙터(미도시)가 설치될 수 있다.
이송플레이트(40)는 엔드 이펙터와의 체결을 위한 체결홀이나 나사홀 등이 형성될 수 있다.
가속연동부(50)는 제3 이송유닛(20c)에서부터 제1 이송유닛(20a)이 순차적으로 가속되면서 이동하도록 제1 이송유닛(20a)과, 제2 이송유닛(20b) 및 제3 이송유닛(20c)을 연동작동시킨다.
즉, 가속연동부(50)를 통해 제3 이송유닛(20c)의 전진 또는 후진 속도가 가장 느리고, 제2 이송유닛(20b)의 전진 또는 후진 속도가 제3 이송유닛(20c)보다 빠르며, 제1 이송유닛(20a)의 전진 또는 후진 속도가 제2 이송유닛(20b)보다 빠르게 할 수 있다.
이를 위해 가속연동부(50)는 가이드레일(51)과, 슬라이딩블록(52)과, 연결블록(53) 및 고정블록(54)을 포함할 수 있다.
가이드레일(51)은 밸트부(23)가 풀리(22)에 무한궤도를 형성하면서 회전되도록 설치됨으로 인해 형성되는 내측공간에 각각 2개 한 쌍으로 수용된다.
가이드레일(51)은 그 저면이 본체부(21)의 바닥면에 각각 고정될 수 있다.
슬라이딩블록(52)은 가이드레일(51)을 따라 각각 슬라이딩 될 수 있다.
슬라이딩블록(52)은 밸트부(23)의 내측면에 고정되거나 또는, 이격될 수 있다.
슬라이딩블록(52)은 밸트부(23)에 고정되는 경우, 각각 밸트부(23)의 회전 방향과 동일한 방향으로 슬라이딩된다.
이때, 밸트부(23)가 무한궤도를 형성하면서 이송플레이트(40)를 전진시키는 방향 또는 후진시키는 방향으로 회전될 시, 어느 하나의 슬라이딩블록(52)은 전진 방향으로 슬라이딩되고, 다른 하나의 슬라이딩블록(52)은 후진 방향으로 슬라이딩 된다.
연결블록(53)은 제1 이송유닛(20a)과, 제2 이송유닛(20b) 및 제3 이송유닛(20c)에 각각 적용된다.
이때, 제2 이송유닛(20b)에 적용되는 연결블록(53)은 2개 한 쌍으로 구성되어, 슬라이딩블록(52)에 각각 결합된다.
그리고, 각각의 연결블록(53)은 밸트부(23)의 일측과 타측으로 각각 돌출된다.
또한, 제1 이송유닛(20a)에 적용되는 연결블록(53)은 1개로 구성되어, 어느 하나의 슬라이딩블록(52)에만 결합된다.
제1 이송유닛(20a)에 적용되는 연결블록(53)은 밸트부(23)의 일측으로 돌출되어 제2 이송유닛(20b)의 밸트부(23) 일측으로 돌출되는 다른 연결블록(53)과 상,하로 중첩되는 형태로 결합된다.
그리고, 제3 이송유닛(20c)에 적용되는 연결블록(53)은 1개로 구성되어, 어느 하나의 슬라이딩블록(52)에만 결합된다.
제3 이송유닛(20c)에 적용되는 연결블록(53)은 밸트부(23)의 일측으로 돌출되어 제2 이송유닛(20b)의 밸트부(23) 타측으로 돌출되는 또 다른 연결블록(53)과 상,하로 중첩되는 형태로 결합된다.
그리고, 연결블록(53)은 그 저면에 밸트부(23)의 상면에 각각 고정될 수 있다.
이로 인해, 슬라이딩블록(52)과 연결블록(53)은 밸트부(23)의 회전방향과 대응되는 방향으로 전진 또는 후진될 수 있다.
아울러, 제1 이송유닛(20a)과, 제2 이송유닛(20b) 및 제3 이송유닛(20c)의 밸트부(23)에서 일측으로 돌출되어 서로 결합되는 연결블록(53)들로 인해, 제1 이송유닛(20a)과, 제2 이송유닛(20b) 및 제3 이송유닛(20c)의 밸트부(23)들이 서로 연동하여 회전작동하게 된다.
고정블록(54)은 2개 한 쌍으로 구성되어 기초프레임(10)의 일측벽(11)과 타측벽(12)의 내측면에 각각 고정된다.
그리고, 고정블록(54)은 제3 이송유닛(20c)의 본체부(21)에 설치된 풀리(22)에 감겨진 밸트부(23)의 외측면에 각각 고정된다.
이로 인해 제3 이송유닛(20c)이 이동구동부(30)에 의해 전진 또는 후진될 때, 해당 밸트부(23)가 제3 이송유닛(20c)의 이동방향으로 회전되도록 할 수 있다.
부가적으로, 제3 이송유닛(20c)의 본체부(21)에는 감지편(미도시)이 설치되고, 일측벽(11)과 타측벽(12) 중 적어도 어느 하나 이상에는 감지편의 이동을 감지하는 위치감지센서(미도시)가 적어도 하나 이상으로 설치될 수 있다.
위치감지센서들로부터 발생된 감지신호로 인해 이송모터(32)의 구동이 제어된다.
이때, 도 1 및 도 2와 같이, 제1 이송유닛(20a)과, 제2 이송유닛(20b) 및 제3 이송유닛(20c)이 한방향으로만 전진 또는 후진복귀하도록 구현되는 경우 위치감지센서는 제3 이송유닛(20c)의 최전방 이동위치 및 제3 이송유닛(20c)이 원위치로 복귀 즉, 최후방 이동위치를 감지할 수 있도록 총 3개가 서로 일정간격 이격되도록 설치될 수 있다.
그리고, 제1 이송유닛(20a)과, 제2 이송유닛(20b) 및 제3 이송유닛(20c)이 도 3 내지 도 5와 같이, 양방향으로 전진 또는 후진하도록 구현되는 경우, 위치감지센서는 제3 이송유닛(20c)의 최전방 이동위치와, 정중앙 이동위치 및 최후방 이동위치를 감지할 수 있도록 총 3개가 서로 일정간격 이격되도록 설치될 수 있다.
다음으로, 이송유닛들이 가속되어 전진되는 동작원리에 대해 설명한다.
도 11에 도시된 바와 같이, 이동구동부(30)가 제3 이송유닛(20c)의 본체부(21)를 전방으로 이동시키도록 동작되면, 본체부(21)가 전방으로 직선이동됨과 동시에 기초프레임(10)에 고정된 고정블럭으로 인해 제3 이송유닛(20c)의 밸트부(23)가 회전하게 된다.
따라서, 본체부(21)의 측면에 고정된 연결블록(53)은 본체부(21)보다 상대적으로 많은 이동거리를 전방으로 직선이동하게 된다.
즉, 고정블럭을 기준으로 본체부(21)가 이동한 직선거리를 "L" 이라고 가정하면 연결블록(53)의 이동거리는 본체부(21)보다 긴 직선거리를 이동하게 된다.
이때, 연결블록(53)이 이동한 거리를 "2L"이라 가정하면, 본체부(21)에 위치된 밸트부(23)에 고정된 연결블록(53)은 본체부(21) 보다 2배 빠른 속도로 이동하게 된다.
이와 같은 가속동작원리에 기초하여 각각의 이송유닛에 대하여 각 위치별로 발생되는 상대속도를 살펴보면, 도 11에 도시된 바와 같이, 제3 이송유닛(20c)에서부터 순차적으로 이동속도가 빨라지게 된다.
따라서, 작업자는 이송유닛의 배열수를 달리하거나 이송플레이트(40)의 설 치위치를 이송유닛(20a,20b,20c)별로 달리해가면서 이동속도를 용이하게 조절하면 된다.
한편, 도 11 및 도 12를 참조하여 상기와 같은 작동원리에 의해 본 발명의 일 실시예에 따른 텔레스코픽 로봇 이송장치가 동작되는 과정에 대해 설명한다.
이송플레이트(40)가 전후방향으로 중앙에 위치된 상태에서 이송모터(32)를 통해 샤프트(31)를 정방향으로 회전시키도록 동작시키면 이송체(33)가 샤프트(31)를 따라 전방으로 이동하게 되며, 이송체(33)의 양측에 고정된 연결부(34)에 의해 제3 이송유닛(20c)이 이송체(33)와 동일한 속도로 전방을 향해 동반이동하게 된다.
제3 이송유닛(20c)이 전방으로 이동하게 되면 연결블록(53)을 통해 연결된 나머지 제2 이송유닛(20b) 및 제2 이송유닛(20b)이 전방을 향해 순차적으로 가속이동하게 된다.
즉, 제3 이송유닛(20c)이 전방으로 일정속도(v)로 이동하게 되면 기초프레임(10)에 고정된 고정블럭에 의해 제3 이송유닛(20c)의 밸트부(23)가 회전하게 되며, 제3 이송유닛(20c)에 설치된 연결블록(53)이 회전하는 밸트부(23)를 따라 전방으로 이동하면서 제3 이송유닛(20c)보다 빠른 속도(2v)로 제2 이송유닛(20b)의 본체부(21)를 전방으로 이동시키게 된다.
이와 같은 과정에서 제3 이송유닛(20c)의 본체부(21)에 설치된 연결블록(53)의 전방 이동속도(v)가 함께 이동하는 제2 이송유닛(20b)의 본체부(21)의 이동속도(2v)보다 느리기 때문에 제2 이송유닛(20b)의 밸트부(23)가 회전하게 되며, 이로 인해 제2 이송유닛(20b)의 밸트부(23)에 설치된 연결블록(53)이 회전하는 밸트부(23)를 따라 전방으로 이동하면서 제2 이송유닛(20b)의 본체부(21)보다 더 빠른 속도(3v)로 제1 이송유닛(20a)의 본체부(21)를 전방으로 이송시키게 된다. 그리고, 상기 제2 이송유닛(20b)에 설치된 연결블록(53))의 이동속도(2v)가 제1 이송유닛(20a)의 본체부(21)의 이동속도(3v)보다 느리기 때문에 제1 이송유닛(20a)의 밸트부(23)가 회전하게 되며 이로 인해 제1 이송유닛(20a)의 밸트부(23)에 설치된 이송플레이트(40)가 제1 이송유닛(20a)의 본체부(21)다 더 빠른 속도(4v)로 전방을 향해 이동하게 된다.
한편, 도 4에 도시된 바와 같이, 제3 이송유닛(20c)에 설치된 감지편(미도시)이 제3 이송유닛(20c)의 본체부(21)와 함께 전방을 향해 직선이동하는 과정에서 최전방에 배치된 위치감지센서에 감지되면 해당 위치감지센서로부터 제어부(미도시)로 감지신호가 전송되고, 감지신호를 수신한 제어부가 이송모터(32)를 역방향으로 구동시킨다.
따라서, 이송플레이트(40)는 후방으로 이동하게 된다. 그리고, 도 5를 기준으로, 감지편이 최후방에 배치된 위치감지센서에 감지되면 위치감지 센서로부터 제어부로 감지신호가 전송되고, 감지신호를 수신한 제어부가 이송모터(32)를 다시 정방향으로 구동시킨다. 따라서, 이송플레이트(40)는 정해진구간을 왕복이동하게 된다. 이후, 작업자가 제어부에 작업중지를 명령하면, 감지편이 중앙의 위치감지센서에 감지됨과 동시에 이송모터(32)의 작동이 정지되면서 이송플레이트(40)가 중앙에 정렬된 상태로 정지된다.
다음으로, 도 14 내지 도 16을 참고하여 본 발명의 일 실시예에 따른 텔레스코픽 이송 로봇 장치에 적용된 수납부(60)에 대해 설명한다.
수납부(60)는 이송유닛의 상면에 설치되어, 추가 피이송물(1)을 수납한 후 이송유닛(20a,20b,20c)을 통해 이송하기 위해 적용된다.
여기서, 추가 피이송물(1)은 이송플레이트(40)가 이송하는 피이송물과 동일할 수 있고, 다른 예로 추가 피이송물(1)은 기타 다양한 종류의 자재나 드라이버, 너트, 드릴 등의 도구 또는 장비일 수 있다.
수납부(60)가 수납하는 대상물은 다양하게 적용 및 변경될 수 있음을 밝힌다.
수납부(60)는 제1 이송유닛(20a)과, 제2 이송유닛(20b) 및 제3 이송유닛(20c) 중 적어도 어느 하나 이상에 설치될 수 있으며, 도면에는 제3 이송유닛(20c)에만 설치된 예를 도시하였다.
수납부(60)는 베이스판(61)과, 간격유지블록(62)과, 회전판(63)과, 수납함(64)과, 덮개부(65)와, 폐쇄유지돌기(66)와, 홀더부(67)와, 지지부(68)와, 실린더(69)와, 인출판(70) 및 완충부(71)를 포함할 수 있다.
베이스판(61)은 비산방지덮개(25a)의 상면에 볼트와 같은 구성으로 분리가능하게 결합된다.
베이스판(61)의 상면 중앙부분에는 후술되는 회전판(63)이 회전되도록 하기 위한 회전가이드홈(61a)이 형성된다.
간격유지블록(62)은 대락 직사각형 블록 형상으로 형성될 수 있다.
간격유지블록(62)은 2개 한 쌍으로 구성되어, 베이스판(61)의 상면에 서로 이격되게 배치된다.
회전판(63)은 간격유지블록(62)의 상면에 안착된다.
회전판(63)은 그 저면에 간격유지블록(62)의 사이공간을 통과하여 회전가이드홈(61a)에 수용되는 축(631)이 형성된다.
축(631)은 회전판(63)의 중앙부분 보다는 중앙부분에서 소정간격 이격된 편심된 위치에 형성된다.
따라서, 회전판(63)은 축(631)을 통해 정방향 또는 역방향으로 360도 각도로 회전될 수 있다.
회전판(63)은 그 저면 양측 가장자리 전체만 각각의 간격유지블록(62)의 상면에 접촉되도록 안착된 상태에서 작업자의 제어에 의해 소정각도로 회전될 수 있다.
도 15 및 도 16은 회전판(63)이 약 90도 각도로 회전된 상태를 도시한 것으로, 회전판(63)은 회전작동에 따라 일정영역은 간격유지블록(62)의 상면에 안착되고, 나머지 일정영역이 간격유지블록(62) 및 최외곽에 위치된 하나의 이송유닛에서 이탈된다.
수납함(64)은 회전판(63)의 상면에 결합된다.
따라서, 수납함(64)은 회전판(63)과 동일한 방향 및 각도로 회전 될 수 있다.
수납함(64)은 작업자의 제어에 의한 회전판(63)의 회전방향과 각도에 따라 일정영역이 이송유닛에서 이탈되거나 또는, 최외곽에 위치된 이동유닛의 상측에 위치된다.
이러한 수납함(64)은 내부에 추가 피이송물(1)이 수납되는 수납공간이 형성되고, 일측에 추가 피이송물(1)이 출입하는 출입구(64b)가 형성된다.
덮개부(65)는 출입구(64b)를 개방 또는 폐쇄하도록 수납함(64)에 암,수 결합된다.
이를 위해 덮개부(65)의 하측면에는 고정돌기(651)가 형성되고, 수납함(64)의 상측면에는 고정돌기(651)가 삽입되어 고정되는 고정홈(102a)이 형성된다.
폐쇄유지돌기(66)는 수납함(64)의 상면에 형성되고, 덮개부(65)를 폐쇄상태로 유지하기 위해 마련된다.
홀더부(67)는 덮개부(65)의 상면에 형성되며, 덮개부(65)가 상기 수납함(64)의 출입구(64b)를 폐쇄하는 방향으로 회동할 시 폐쇄유지돌기(66)에 장착되어, 덮개부(65)를 고정시킨다.
이러한 덮개부(65)와, 폐쇄유지돌기(66) 및 홀더부(67)를 통해 수납함(64)의 수납공간에 추가 피이송물(1)을 수납하여 이송유닛으로 이송하는 과정에서 추가 피이송물(1)이 수납공간에서 인출되는 것을 방지할 수 있고, 수납공간에 수납된 피이송물이 파손되는 것을 방지할 수 있다.
지지부(68)는 회전판(63)이 작업자 조작에 의해 회전작동되어 최외곽에 위치된 이송유닛에서 이탈될 시, 회전판(63)의 저면을 지지한다.
즉, 지지부(68)로 인해 회전판(63)이 수납함(64)과 추가 피이송물(1)의 하중에 의해 하측으로 휘어지는 것을 방지할 수 있다.
지지부(68)는 회전판(63)을 회전시켜 일정영역을 이송유닛에서 이탈시킬 경우에만 회전판(63)의 저면을 지지하도록 적용된다.
따라서, 지지부(68)는 회전판(63)을 지지하기 위해 용이하게 이동하거나 또는, 회전판(63)을 지지하지 않을 시 최외곽에 위치된 이송유닛에서 소정간격 이격되도록 복수개의 롤러(681)를 포함할 수 있다.
실린더(69)는 수납함(64)의 수납공간 천장면에 고정된다.
실린더(69)는 수납공간에 수납된 추가 피이송물(1)을 수납공간의 외부로 용이하게 인출할 수 있도록 로드레스 실린더(69) 또는, 리니어 실린더(69)로 형성될 수 있다.
인출판(70)은 실린더(69)의 피스톤에 설치된다.
인출판(70)은 실린더(69)에 의해 출입구(64b) 측으로 전진되거나 또는, 수납공간의 내측으로 후진된다.
인출판(70)은 덮개부(65)가 수납함(64)에서 분리되어 수납함(64)의 출입구(64b)를 개방한 상태에서 전진될 시 추가 피이송물(1)을 푸쉬하여 수납공간의 외부로 인출한다.
완충부(71)는 하우징(711)과, 완충스프링(712) 및 완충판(713)을 포함할 수 있다.
하우징(711)은 수납함(64)의 바닥면에 형성된 내부공간에 인입 또는 인출되도록 구성된다.
그리고, 하우징(711)은 상면이 개방되고 내부에 빈 공간이 형성된 박스 구조로 이루어진다.
하우징(711)의 일측면에는 손잡이가 형성된다.
작업자는 손잡이를 당기거나 밀어서 하우징(711)을 수납함(64)의 바닥면 내부공간(S)에서 인출하거나 인입하면 된다.
일 예로, 작업자는 하우징(711)을 인출할 시, 도 16을 기준으로 좌측 끝부분이 수납함(64)의 바닥면(641) 내부공간(S) 끝부분에 걸쳐지도록 인출하면 된다.
이와 같은 경우, 하우징(711)의 저면 일측은 지지부(68)의 상면에 걸쳐질 수도 있다.
다른 일 예로, 작업자는 하우징(711)의 완전히 인출하여 지지부(68)의 상면에 안착시켜도 된다.
완충스프링(712)은 수납공간에서 인출되는 추가 피이송물(1)을 완충지지하기 위한 것으로 코일스프링으로 형성될 수 있다.
그리고, 완충스프링(712)은 추가 피이송물(1)을 안정적으로 완충지지하도록 복수개로 적용되며, 서로 이격되도록 배치될 수 있다.
완충판(713)은 완충스프링(712)의 상면에 고정되며 하우징(711)이 바닥면의 내부공간에서 인출된 상태에서 실린더(69)의 작동에 의해 인출판(70)이 전진됨으로 인해 수납공간에서 인출되는 추가 피이송물(1)을 탄성적으로 지지한다.
이때, 완충판(713)은 추가 피이송물(1)을 탄성적으로 지지하도록 고무 또는 실리콘 재질로 형성된다.
이러한 완충판(713)을 통해 수납공간에서 낙하되는 추가 피이송물(1)을 파손 없이 인출하도록 할 수 있다.
그리고, 작업자는 실린더(69) 및 인출판(70)의 작동에 의해 수납공간에서 인출되어 완충판(713)으로 이송된 추가 피이송물(1)을 하나씩 보관 장소로 옮기면 된다.
본 발명의 일 실시예에 따른 텔레스코픽 이송 로봇 장치는 전술한 이송유닛과 이송플레이트(40)를 통해 이송물을 이송하는 과정에서 추가 피이송물(1)도 함께 이송할 수 있는 바, 한번에 다양한 종류와 많은 양의 피이송물과 추가 피이송물(1)을 이송할 수 있다.
다음으로, 도 17을 참고하여 본 발명의 일 실시예에 따른 텔레스코픽 이송 로봇 장치에 적용된 가속부(90)에 대해 설명한다.
가속부(90)가 적용되는 경우, 이송플레이트(40)의 저면에는 가속부(90)의 작동력을 적용하기 위한 돌출편(80)이 형성된다.
이때, 돌출편(80)은 대략 사각판 형상으로 형성될 수 있다.
가속부(90)는 이송플레이트(40)의 일측에 배치되며, 이동구동부(30)가 이송플레이트(40)를 이송시키는 방향에 대응되게 돌출편(80)을 밀거나 당겨서 이송플레트의 이송속도를 가속시키는 것으로, 파지부(91)와, 이송체(92)와, 볼스크류(93) 및 가속모터(94)를 포함할 수 있다.
파지부(91)는 대략 'ㄷ'자 단면 형상으로 형성되어 돌출편(80)의 저면과 전면 및 후면을 공동으로 감싼다.
이송체(92)는 파지부(91)의 저면에 고정된다.
파지부(91)는 대략 다각형 형상, 링 형상으로 형성될 수 있다.
그리고, 파지부(91)의 중앙에는 나선홀이 형성된다.
볼스크류(93)는 일정한 길이와 직경을 갖는 원형 막대 형상으로 형성될 수 있다.
볼스크류(93)의 외주연에는 이송체(92)의 나선과 맞물리는 나선이 길이방향을 따라 형성된다.
따라서, 이송체(92)는 볼스크류(93)의 회전방향에 따라, 전진 또는 후진된다.
일 예로, 이송체(92)는 볼스크류(93)가 정방향으로 회전될 시 전진되고, 볼스크류(93)가 역방향으로 회전될 시 후진된다.
볼스크류(93)는 샤프트(31)의 상측으로 소정간격 이격되게 배치된다.
가속모터(94)는 모터축이 정방향 또는 역방향으로 회전되는 AC모터 또는 DC모터로 형성될 수 있다.
가속모터(94)는 이송모터(32)의 후방에 배치될 수 있다.
가속모터(94)는 일정한 높이를 갖는 지지블록(95)의 상면에 고정되어 이송모터(32)보다 높은 곳에 위치한다.
이로 인해, 볼스크류(93)는 샤프트(31)의 상측에 배치될 수 있다.
가속모터(94)는 이송체(92)가 볼스크류(93)를 따라 전진 또는 후진하도록 볼스크류(93)를 정방향 또는 역방향으로 회전시킨다.
이때, 가속모터(94)는 이동구동부(30)의 모터와 동일한 방향으로 회전작동 하도록 프로그래밍 된다.
즉, 이송모터(32)가 정방향으로 회전작동되면 가속모터(94)도 정방향으로 회전작동되어 이송플레이트(40)와 이송체(92)가 함께 전진되고, 이송모터(32)가 역방향으로 회전작동되면 가속모터(94)도 역방향으로 회전작동되어 이송플레이트(40)와 이송체(92)가 함께 후진되는 것이다.
이때, 가속모터(94)는 이송모터(32)보다 빠른 속도로 볼스크류(93)를 정방향 또는 역방향으로 회전시킨다.
따라서, 파지부(91)가 돌출편(80)을 매개로 이송플레이트(40)를 전진방향으로 밀거나 후진방향으로 당기게 된다.
이로 인해, 이송플레이트(40)의 전진 속도 및 후진 속도를 가속시킬 수 있다.
아울러, 이와 같이 가속모터(94)가 이송모터(32)보다 빠른 속도로 회전되어 이송플레이트(40)를 밀거나 당김에 따라 이송유닛들의 모든 밸트부(23)들의 회전속도가 빨라지기 때문에 최외곽에 위치된 이송유닛 뿐만 아니라 중앙에 위치된 이송유닛 및 최외곽에 위치된 이송유닛의 전진 또는 후진 속도를 가속시킬 수 있다.
결국 이송플레이트(40)에 탑재된 피이송물 및 수납부(60)에 수납된 추가 피이송물(1)의 이송속도를 증가시킬 수 있다.
이상 설명한 가속부(90)는 생략될 수 있음을 밝힌다.
다음으로, 도 18을 참고하여 본 발명의 일 실시예에 따른 텔레스코픽 이송 로봇 장치에 적용된 먼지제거부(100)에 대해 설명한다.
먼지제거부(100)는 기초프레임(10)의 일측과 타측 중 적어도 어느 하나 이상에 배치되고, 피이송물 또는 추가 피이송물(1)에서 먼지와 같은 이물질을 제거하는 구성이다.
즉, 먼지제거부(100)는 기초프레임(10)과 소정간격 이격되게 배치된 상태에서 이송유닛에 의해 이송되어온 피이송물 또는 추가 피이송물(1)에서 먼지와 같은 이물질을 제거한다.
이를 위해, 먼지제거부(100)는 챔버(101)와, 제거본체부(102)와, 구획벽(103)과, 지지스프링(104)과, 연결스프링(105)과, 튕김부(106)와, 진동배출부 및 흡입배출부(108)를 포함할 수 있다.
챔버(101)는 내부에 피이송물 또는 추가 피이송물(1)이 수용되는 수용공간(101a)이 형성된다.
챔버(101)의 일면에는 출입구(101b)가 형성된다. 챔버(101)의 출입구(101b)는 도어(1011)에 의해 개폐된다.
도어(1011)는 챔버(101)의 출입구(101b) 측에 힌지결합되어, 회전작동에 의해 출입구(101b)를 개방 또는 폐쇄할 수 있다.
제거본체부(102)는 복수개로 적용되어 챔버(101)의 수용공간(101a)에 상,하 방향으로 서로 이격되도록 배치된다.
제거본체부(102)는 도어(1011)와 마주하는 면에 피이송물 또는 추가 피이송물(1)의 가장자리가 고정되는 고정홈(102a)이 형성된다.
고정홈(102a)은 다수개의 피이송물 또는 추가 피이송물(1)을 고정할 수 있도록 제거본체부(102)의 수직 길이방향을 따라 일정간격으로 형성된다.
피이송물 또는 추가 피이송물(1)은 고정홈(102a)에 각각 고정됨으로 인해 서로 다른 층에 배치된다.
도면에는 고정홈(102a)이 납작한 판 형상을 갖는 피이송물 또는 추가 피이송물(1)을 고정할 수 있는 형상으로 형성된 예를 도시하였으나, 고정홈(102a)의 형상은 피이송물의 형상에 대응되는 형상으로 다양하게 변경될 수 있음을 밝힌다.
구획벽(103)은 제거본체부(102)에 고정된 피이송물 또는 추가 피이송물(1)을 구획하도록 고정홈(102a)의 사이에 배치되고, 그 일측이 제거본체부(102)에 고정된다.
구획벽(103)으로 인해 피이송물 또는 추가 피이송물(1)에서 제거되는 먼지가 다른 층에 위치한 피이송물 또는 추가 피이송물(1)에 붙는 현상을 방지할 수 있다.
즉, 상층부에 위치한 피이송물 또는 추가 피이송물(1)에서 제거된 먼지가 하층부에 위치한 피이송물 또는 추가 피이송물(1)로 옮겨가 붙는 것을 방지하고, 하층부에 위치한 피이송물 또는 추가 피이송물(1)에서 제거된 먼지 역시 상층부에 위치한 피이송물 또는 추가 피이송물(1)로 옮겨가 붙는 것을 방지할 수 있는 것이다.
지지스프링(104)은 그 저면이 챔버(101)의 바닥면에 고정되고, 그 상면이 최하층에 배치된 제거본체부(102)의 저면에 고정된다.
지지스프링(104)은 제거본체부(102)를 탄성적으로 지지할 수 있도록 코일스프링으로 형성된다.
연결스프링(105)은 그 저면이 하층에 배치된 제거본체부(102)의 상면에 고정되고, 그 상면에 상층에 배치된 제거본체부(102)의 저면에 고정된다.
즉, 연결스프링(105)은 상층에 배치된 제거본체부(102) 및 하층에 배치된 제거본체부(102)를 상,하 방향으로 연결한다.
이러한 연결스프링(105)은 상층에 위치된 제거본체부(102)를 탄성적으로 지지하면서 상층과 하층에 위치된 제거본체부(102)를 탄성적으로 연결할 수 있도록 코일스프링으로 형성된다.
튕김부(106)는 상층에 배치된 제거본체부(102)의 저면 및 하층에 배치된 제거본체부(102)의 상면에 각각 설치되어, 서로 수직선상에 배치된다.
튕김부(106)는 반구 형상으로 형성되고, 탄성적으로 수축 또는 팽창하도록 탄성재질로 형성된다.
튕김부(106)의 재질은 금속, 플라스틱, 합성수지 중 어느 하나의 재질로 형성될 수 있다.
진동발생부(107)는 먼지제거모터(107a) 및 타격바(107b)를 포함한다.
먼지제거모터(107a)는 2개로 적용되어 챔버(101)의 바닥면 및 천장면에 각각 설치된다.
먼지제거모터(107a)는 모터축이 정방향 또는 역방향으로 회전되는 AC모터 또는 DC모터로 형성될 수 있다.
타격바(107b)는 2개로 적용되어 먼지제거모터(107a)의 모터축에 각각 고정된다.
타격바(107b)는 먼지제거모터(107a)의 동력으로 제자리 회전되면서 상층에 배치된 제거본체부(102)의 상면과 하층에 배치된 제거본체부(102)의 저면을 각각 타격한다.
이때, 타격바(107b)는 제거본체부(102)를 타격할 시 일정수준으로 휘어질 수 있도록 금속, 플라스틱, 합성수지, 고무와 같이 탄성재질로 형성된다.
타격바(107b)가 상층과 하층에 배치된 제거본체부(102)를 각각 타격하면, 상층에 위치된 제거본체부(102)는 하강되면서 연결스프링(105)을 압축시키고, 하층에 위치된 제거본체부(102)는 연결스프링(105)을 압축시킨다. 아울러, 하층에 위치된 제거본체부(102)가 타격바(107b)의 타격에 의해 상승되면 지지스프링(104)은 팽창된다.
이때, 연결스프링(105) 및 지지스프링(104)은 각각 자체탄성력에 의해 일정시간동안 반복적으로 수축, 팽창 됨에 따라, 제거본체부(102)가 반복적으로 상,하 요동하게 된다. 아울러, 제거본체부(102)들이 상,하 방향으로 요동되는 과정에서는 튕김부(106)들이 상,하 방향으로 충돌한 후 서로 튕겨버리게 되어 제거본체부(102)들을 더욱 요동치게 만들 수 있다.
즉, 진동발생부(107)는 제거본체부(102)의 고정홈(102a)에 고정된 피이송물 또는 추가 피이송물(1)을 털어내는 방식으로 먼지와 같은 이물질을 제거하는 것으로, 고정홈(102a)에 고정된 피이송물 또는 추가 피이송물(1)이 상,하 방향으로 요동되며, 결국 피이송물 또는 추가 피이송물(1)의 상면과 저면에 묻어 있는 먼지와 같은 이물질이 털려나가게 된다.
이때, 먼지제거모터(107a)는 타격바(107b)를 기 설정된 시간 간격으로 타격바(107b)를 1회전 내지 3회전 시키도록 프로그래밍 될 수 있다.
즉, 먼지제거모터(107a)는 지지스프링(104) 및 연결스프링(105)의 수축, 팽창 작용이 정지되는 시점에 타격바(107b)를 회전시키도록 프로그래밍 될 수 있다.
일 예로, 타격바(107b)가 제거본체부(102)를 각각 1회 타격하였을 때, 지지스프링(104) 및 연결스프링(105)의 수축, 팽창 작용이 약 10초 이후에 정지된다면 먼지제거모터(107a)는 약 10초 내지 13초 간격으로 타격바(107b)를 1회 내지 3회전 시키도록 프로그래밍 될 수 있다.
흡입배출부(108)는 3개로 적용되어 챔버(101)의 바닥면과, 천장면 및 도어(1011)의 내측면에 각각 설치된다.
흡입배출부(108)는 공지의 흡기팬으로 형성되어 상층부와 하층부의 제거본체부(102)의 고정홈(102a)에 고정된 피이송물 또는 추가 피송물에서 분리되는 먼지와 같은 이물질을 각각 흡입한다.
이때, 흡입배출부(108)는 챔버(101)의 외부로 관통하는 배출관(미도시)을 포함할 수 있다. 나아가, 배출관의 끝단은 챔버(101)의 외부에서 이물질저장탱크(미도시)와 연결된다.
따라서, 흡입배출부(108)에 의해 흡입된 이물질은 이물질저장탱크에 저장된다.
본 발명의 일 실시예에 따른 텔레스코픽 이송 로봇 장치는 이러한 먼지제거부(100)를 통해 먼지와 같은 이물질이 제거된 깨끗한 피이송물 또는 추가 피이송물(1)을 사용자에게 제공할 수 있다.
상술된 실시예들은 예시를 위한 것이며, 상술된 실시예들이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 상술된 실시예들이 갖는 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 상술된 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.
본 명세서를 통해 보호받고자 하는 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태를 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
10 : 기초프레임 11 : 일측벽
12 : 타측벽 20a : 제1 이송유닛
20b : 제2 이송유닛 20c : 제3 이송유닛)
21 : 본체부 22 : 풀리
23 : 밸트부 24 : 레일
25a,25b : 비산방지덮개 30 : 이동구동부
31 : 샤프트 32 : 이송모터
33,92 : 이송체 34 : 연결부
341 : 슬라이더 342 : 결합블록
40 : 이송플레이트 50 : 가속연동부
51 : 가이드레일 52 : 슬라이딩블록
53 : 연결블록 54 : 고정블록
60 : 수납부 61 : 베이스판
61a : 회전가이드홈 62 : 간격유지블록
63 : 회전판 631 : 축
64 : 수납함 64a : 수납공간
64b,101b : 출입구 64c : 고정홈
65 : 덮개부 651 : 고정돌기
66 : 폐쇄유지돌기 67 : 홀더부
68 : 지지부 681 : 롤러
69 : 실린더 70 : 인출판
71 : 완충부 711 : 하우징
712 : 완충스프링 713 : 완충판
80 : 돌출편 90 : 가속부
91 : 파지부 93 : 볼스크류
94 : 가속모터 95 : 지지블록
100 : 먼지제거부 101 : 챔버
101a : 수용공간 1011 : 도어
102 : 제거본체부 102a : 고정홈
103 : 구획벽 104 : 지지스프링
105 : 연결스프링 106 : 튕김부
107 : 진동발생부 107a : 먼지제거모터
107b : 타격바 108 : 흡입배출부

Claims (3)

  1. 기초프레임;
    상기 기초프레임에 어느 한 방향 또는 양방향으로 이동되게 설치되는 것으로, 본체부와, 상기 본체부의 일측과 타측에 각각 적어도 하나 이상으로 설치되는 풀리와, 상기 풀리를 통해 상기 본체부를 감싸도록 감기며, 상기 풀리에서 무한궤도를 형성하면서 회전되는 밸트부를 포함하며, 상기 기초프레임에서 대칭으로 한 쌍을 이루면서 나란하게 다열 배치되는 다수개의 이송유닛;
    상기 최외곽에 배치된 한 쌍의 이송유닛의 본체부와 연결되며, 상기 최내측에 배치된 한 쌍의 본체부의 사이 공간상에서 상기 최내측에 배치된 한 쌍의 이송유닛에 양방향 이동에 필요한 동력을 제공하는 이동구동부;
    상기 최내측에 배치된 한 쌍의 이송유닛의 본체부에 설치된 밸트부에 그 양측이 각각 고정되며, 피이송물을 이송시키는 이송플레이트; 및
    상기 최외곽에 배치된 이송유닛에서부터 최내측에 배치된 이송유닛이 순차적으로 가속되면서 이동하도록 상기 이송유닛들을 연동작동시키는 가속연동부를 포함하고,
    상기 이동구동부는,
    상기 기초 프레임의 상측에 길이방향을 따라 배치되는 볼스크류 타입의 샤프트;
    상기 샤프트를 정방향 또는 역방향으로 회전시키는 이송모터;
    상기 샤프트에 나선을 통해 체결되어 상기 샤트프의 회전방향에 따라 전진 또는 후진되는 이송체; 및
    상기 이송체의 일측과 타측을 상기 최외곽에 배치된 상기 본체부에 각각 연결시키는 연결부를 포함하고,
    상기 가속연동부는,
    상기 밸트부가 풀리에 무한궤도를 형성하면서 회전되도록 설치됨으로 인해 형성되는 내측공간에 각각 2개 한 쌍으로 설치되며, 그 저면이 상기 본체부의 바닥면에 고정되는 가이드레일;
    상기 가이드레일을 따라 각각 슬라이딩되는 슬라이딩블록;
    상기 슬라이딩블록에 각각 결합되고, 상기 밸트부의 일측과 타측 중 적어도 어느 하나 이상으로 각각 돌출되어 서로 중첩되게 결합되는 연결블록; 및
    상기 기초프레임의 일측벽과 타측벽의 내측면에 각각 고정되어, 최외곽에 배치된 본체부의 풀리에 감겨진 밸트부에 각각 고정되는 고정블록을 포함하며,
    상기 이송유닛은,
    상기 본체부의 전측과 후측 및 상면에 각각 설치되어 상기 밸트부의 구동에 따라 발생되는 이물질이 비산되는 것을 방지하는 비산방지덮개를 더 포함하며,
    상기 이송유닛들 중 적어도 어느 하나 이상의 상면에 설치되며, 추가 피이송물이 수납되는 적어도 하나 이상의 수납부;
    상기 이송플레이트의 저면에 설치되는 돌출편;
    상기 이송플레이트의 일측에 배치되며, 상기 이동구동부가 상기 이송플레이트를 이송시키는 방향에 대응되게 상기 돌출편을 밀거나 당겨서 상기 이송플레이트의 이송속도를 가속시키는 가속부; 및
    상기 기초프레임의 일측과 타측 중 적어도 어느 하나 이상에 배치되고, 피이송물 또는 추가 피이송물에서 먼지를 제거하는 먼지제거부를 더 포함하고,
    상기 수납부는,
    상기 이송유닛의 상면에 분리가능하게 결합되며, 상면에 회전가이드홈이 형성된 베이스판;
    상기 베이스판의 상면에 서로 이격되게 배치되는 한 쌍의 간격유지블록;
    상기 간격유지블록의 상면에 안착되며, 그 저면의 편심된 위치에 상기 간격유지블록의 사이공간을 통과하여 상기 회전가이드홈에 수용되는 축이 형성되어, 회전작동에 따라 일정영역이 상기 이송유닛에서 이탈되는 회전판;
    상기 회전판의 상면에 결합되고, 상기 회전판과 동일한 방향 및 각도로 회전되어 일정영역이 상기 이송유닛에서 이탈되거나 또는, 상기 이동유닛의 상측에 위치되며, 내부에 상기 추가 피이송물이 수납되는 수납공간이 형성되고, 일측에 상기 추가 피이송물이 출입하는 출입구가 형성된 수납함;
    상기 출입구를 개방 또는 폐쇄하도록 상기 수납함에 분리가능하게 결합되는 덮개부;
    상기 수납함의 상면에 형성되고, 상기 덮개부를 폐쇄상태로 유지하기 위해 마련되는 폐쇄유지돌기;
    상기 덮개부의 상면에 형성되며, 상기 덮개부가 상기 수납함의 출입구를 폐쇄하는 방향으로 회동할 시 폐쇄유지돌기에 장착되어, 상기 덮개부를 고정시키는 홀더부;
    상기 회전판이 회전작동에 의해 상기 이송유닛에서 이탈될 시, 상기 회전판의 저면을 지지하는 지지부;
    상기 수납함의 수납공간 천장면에 고정되는 실린더;
    상기 실린더에 의해 전진되면서 상기 추가 피이송물을 푸쉬하여 상기 수납공간의 외부로 인출하는 인출판; 및
    상기 수납함의 바닥면에 형성된 내부공간에 인입 또는 인출되고, 상면이 개방되고 내부에 빈 공간이 형성된 박스 구조로 이루어지는 하우징과, 상기 하우징의 빈 공간 바닥면에 고정되는 완충스프링 및 상기 완충스프링의 상면에 고정되며 상기 하우징이 상기 바닥면의 내부공간에서 인출된 상태에서 상기 실린더의 작동에 의해 상기 인출판이 전진됨으로 인해 상기 수납공간에서 낙하되는 추가 피이송물을 지지하며, 고무 또는 실리콘 재질로 형성되는 완충판을 포함하는 완충부를 포함하고,
    상기 가속부는,
    상기 돌출편의 저면과 전면 및 후면을 공동으로 감싸는 파지부;
    상기 파지부의 저면에 고정되고, 중앙에 나선홀이 형성된 이송체;
    외주연에 상기 이송체의 나선이 체결되는 나선이 길이방향을 따라 형성된 볼스크류; 및
    상기 이송체가 상기 이동구동부에 의해 전진 또는 후진되는 이송플레이트의 이송방향과 대응되게 상기 볼스크류를 따라 왕복이동하도록 상기 볼스크류를 정방향 또는 역방향으로 회전시키되, 상기 이송플레이트를 가속이동시키도록 상기 이송모터보다 빠른 속도로 회전작동되는 가속모터를 포함하며,
    상기 먼지제거부는,
    내부에 상기 피이송물 또는 추가 피이송물이 수용되는 수용공간이 형성되고, 일면에 형성된 출입구가 도어에 의해 개폐되는 챔버;
    상기 챔버의 수용공간에 상,하 방향으로 서로 이격되도록 배치되고, 상기 도어와 마주하는 면의 수직 길이방향을 따라서는 상기 피이송물 또는 추가 피이송물의 가장자리가 고정되는 고정홈이 일정간격으로 형성된 한쌍의 제거본체부;
    상기 제거본체부에 고정된 상기 피이송물 또는 추가 피이송물을 구획하도록 상기 고정홈의 사이에 배치되고, 그 일측이 상기 제거본체부에 고정되는 구획벽;
    상기 챔버의 바닥면에 설치되고 최하층에 배치된 제거본체부를 탄성적으로 지지하는 지지스프링;
    상층에 배치된 제거본체부 및 하층에 배치된 제거본체부를 상,하 방향으로 연결하는 연결스프링;
    상기 상층에 배치된 제거본체부의 저면 및 상기 하층에 배치된 제거본체부의 상면에 각각 설치되며, 반구 형상으로 형성되고, 탄성재질로 이루어지는 튕김부;
    상기 챔버의 바닥면 및 천장면에 각각 설치되는 먼지제거모터와, 상기 먼지제거모터의 동력으로 제자리 회전되면서 상기 상층에 배치된 제거본체부와 하층에 배치된 제거본체부를 각각 타격하여, 상기 상층에 배치된 제거본체부와 하층에 배치된 제거본체부가 상기 지지스프링 및 상기 연결스프링의 수축, 팽창 작용에 의해 요동되도록 하면서 상기 튕김부에 의해 튕겨지도록하는 타격바를 포함하는 진동발생부; 및
    상기 챔버의 수용공간 바닥면과, 천장면 및 도어의 내측면에 각각 설치되고, 상기 피이송물 또는 추가 피송물에서 분리되는 먼지를 각각 흡입하여 상기 챔버의 외부로 배출시키는 흡입배출부를 포함하는 텔레스코픽 이송 로봇 장치.
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KR20100067853A (ko) * 2008-12-12 2010-06-22 주식회사 로보스타 텔레스코픽 타입 로봇
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