CN107851596A - 净化装置、净化储料器以及净化气体的供给方法 - Google Patents

Abstract

提供净化装置、净化储料器以及净化气体的供给方法，能够简化结构而实现小型化。具备：多个载置部(3)，供容器(F)载置，且被分组化；喷嘴(30)，形成为通过在载置部(3)载置容器(F)来开放朝容器(F)供给净化气体的流路；以及流量控制装置(32)，基于组(G)内的容器(F)的个数来调整朝组(G)内供给的净化气体的流量。

Description

净化装置、净化储料器以及净化气体的供给方法

技术领域

本发明涉及净化装置、净化储料器以及净化气体的供给方法。

背景技术

关于收容晶片或掩模等的前开式晶圆盒(FOUP)、标准机械接口晶圆盒(SMIFPod)、掩模盒(Pod)等容器，在保管时利用净化装置朝容器内填充洁净干燥空气或氮气等净化气体，抑制收容物的污染或氧化等。公知该净化装置装备于用于保管容器的净化储料器。若发生利用净化装置进行的净化气体的供给不足等净化的异常，则会产生收容物的污染等，因此，提出有测定朝容器供给的净化气体的流量，检测净化的异常的技术(例如参照专利文献1)。在专利文献1中，利用传感器测定朝载置于载置部的容器内部供给的净化气体的流量或压力，判定是否进行了良好的净化。在这样的净化装置中，通过针对每个载置部配置电磁阀或流量控制装置来调整针对各容器的净化气体的流量。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特许第4670808号说明书

发明内容

发明所要解决的课题

然而，在针对每个载置部配置电磁阀或流量控制装置的结构中，需要用于配置这些设备的空间，因此各净化装置大型化。近年来，谋求确保净化储料器中能够收容的容器数、并且实现净化储料器的小型化，为此，谋求使在各载置部设置的净化装置小型化。

鉴于以上状况，本发明的目的在于提供一种能够简化结构而实现小型化的净化装置、净化储料器以及净化气体的供给方法。

用于解决课题的手段

本发明所涉及的净化装置具备：多个载置部，供容器载置，且被分组化；喷嘴，形成为通过在载置部载置容器来开放朝容器供给净化气体的流路；以及流量控制装置，基于组内的容器的个数来调整朝组内供给的净化气体的流量。

并且，也可以形成为，载置部分别具有检测是否载置有容器的检测部。并且，也可以形成为，喷嘴具有当在载置部未载置容器的状态下借助净化气体的压力来封闭流路的盖部，当在载置部载置有容器的情况下盖部借助容器的重量来开放流路。并且，也可以形成为，当在组内载置有新的容器的情况下，流量控制装置使净化气体的流量暂时减少然后使其逐渐增加至预定流量。并且，也可以形成为，将沿水平方向或者铅垂方向排列的多个载置部作为组。

本发明所涉及的净化储料器具备多个上述的净化装置。

并且，也可以形成为，具备输送装置，该输送装置能够沿着净化装置的多个载置部行进，相对于载置部移载容器，净化装置的流量控制装置集中配置在输送装置的行进范围的端部侧。

本发明所涉及的净化气体的供给方法是对在被分组化的多个载置部载置的容器供给净化气体的方法，包括：通过在载置部载置容器来开放朝容器供给净化气体的流路；以及基于组内的容器的个数来调整朝组内供给的净化气体的流量。

发明效果

根据本发明所涉及的净化装置，在组内，在载置有容器的载置部的流路中流过净化气体，但在未载置容器的载置部的流路中并未流过净化气体。因而，通过基于组内的容器的个数来调整净化气体的流量，能够调整朝各容器供给的净化气体的流量。由此，无需针对每个载置部设置电磁阀或流量控制装置，通过作为整体简化结构，能够实现节省空间化，能够使净化装置小型化。

并且，在载置部分别具有检测是否载置有容器的检测部的装置中，能够更可靠地检测组内的容器的个数。并且，喷嘴具有当在载置部未载置容器的状态下借助净化气体的压力来封闭流路的盖部，在当在载置部载置有容器的情况下盖部借助容器的重量来开放流路的装置中，能够利用盖部可靠地进行流路的开闭。并且，在当在组内载置有新的容器的情况下，流量控制装置使净化气体的流量暂时减少然后使其逐渐增加至预定流量的装置中，能够抑制朝新载置的容器突然供给大量的净化气体这一情况，能够防止容器内的收容物的振动。并且，在将沿水平方向或者铅垂方向排列的多个载置部作为组的装置中，针对沿水平方向或者铅垂方向排列的多个载置部的每一个组分别设置流量控制装置即可，因此能够实现节省空间化。

根据本发明所涉及的净化储料器，由于具备多个能够实现节省空间化的净化装置，因此能够缩小各载置部的进深尺寸，能够形成为小型的净化储料器。

并且，在具备能够沿净化装置的多个载置部行进、并相对于载置部移载容器的输送装置，净化装置的流量控制装置集中配置在输送装置的行进范围的端部侧的装置中，由于将流量控制装置集中配置在净化储料器的一部分，因此能够实现净化储料器的小型化，并且对于作业者来说能够容易进行流量控制装置的设置或维护等。

根据本发明所涉及的净化气体的供给方法，当在载置部载置有容器的情况下，形成为在载置有容器的载置部的流路中流过净化气体，但在未载置容器的载置部的流路中并未流过净化气体的状态。因而，通过基于组内的容器的个数来调整净化气体的流量，能够适当地调整朝各容器供给的净化气体的流量。由此，无需针对每个载置部设置电磁阀或流量控制装置，不需要进行各电磁阀或各流量控制装置的控制，能够容易进行净化气体的供给中的控制。

附图说明

图1是示出本实施方式所涉及的净化储料器的一例的图。

图2是示出本实施方式所涉及的净化装置的一例的图。

图3是示出在载置部载置有容器的状态的图。

图4是示出在喷嘴中使用的盖部的一例的立体图。

图5是示出具备图4所示的盖部的供给喷嘴的一例的图。

图6是示出变形例所涉及的喷嘴的盖部的立体图。

图7是示出具备图6所示的盖部的供给喷嘴的一例的图。

图8是示出流量控制装置的配置的一例的图。

图9是示出本实施方式所涉及的净化气体的供给方法的一例的流程图。

图10是示出变形例所涉及的净化储料器的图。

图11是示出变形例所涉及的流量控制装置的配置的图。

具体实施方式

以下，参照附图对实施方式进行说明。并且，在附图中，为了对实施方式进行说明，将一部分放大或者强调记载等而适当地变更比例尺来进行表现。在以下的各图中，使用XYZ坐标系来说明图中的方向。在该XYZ坐标系中，将铅垂方向设为Z方向，将水平方向设为X方向、Y方向。假设X方向、Y方向以及Z方向分别以图中的箭头的方向作为+方向、以与箭头方向相反的方向作为－方向而进行说明。

图1是示出本实施方式所涉及的净化储料器1的一例的图。净化储料器1是保管收容例如在半导体元件的制造中使用的晶片、掩模等物品的容器F的自动仓库。容器F例如是FOUP、SMIF Pod、掩模盒等。

如图1所示，净化储料器1具备：形成外轮廓的储料器框体2；设置在储料器框体2内的搁架状的多个载置部3；多个净化装置4；作为容器F的输送装置的堆装起重机5；以及控制装置6。另外，载置部3有时例如被称为保管搁架。储料器框体2具有能够相对于外部隔离的内部空间2a。储料器框体2具备在储料器框体2的外部与内部空间2a之间交接容器F的出入库口(未图示)。多个载置部3、多个净化装置4以及堆装起重机5配置在储料器框体2的内部空间2a。另外，多个载置部3也可以分别配置在堆装起重机5的行进范围(X方向)的两侧(+Y侧以及－Y侧)。控制装置6控制净化装置4以及堆装起重机5。另外，控制净化装置4的控制装置和控制堆装起重机5的控制装置也可以分开设置。

堆装起重机5能够沿X方向、Y方向以及Z方向的各方向输送容器F，例如能够在出入库口与载置部3之间、或从载置部3朝其他载置部3输送容器F。堆装起重机5例如具备行进台车10、支承柱11、支承台12以及移载装置13。行进台车10具有多个车轮14，且沿着设置于地面的轨道15而在水平方向(X方向)移动。

支承柱11设置成从行进台车10的上表面沿铅垂方向(Z方向)延伸。支承台12由支承柱11支承，且设置成能够沿着支承柱11而在Z方向滑动。移载装置13具备：例如能够伸缩的臂部；以及能够在上表面载置容器F的手部。另外，支承柱11的上端也可以由敷设在储料器框体2的顶部等的轨道等引导。并且，作为容器F的输送装置，代替如上所述那样载置并输送容器F的堆装起重机5，例如也可以使用把持在容器F的上部装备的凸缘部28(参照图2)而悬吊并输送容器F的装置，或者把持容器F的侧面并进行输送的装置。并且，图1中图示出1台堆装起重机5，但在储料器框体2内配置的堆装起重机5也可以为2台以上。

载置部3沿铅垂方向(Z方向)排列配置有多层，且沿水平方向(X方向)排列配置有多列。在多个载置部3分别能够载置容器F。多个载置部3被分组化。在本实施方式中，沿水平方向排列的多个载置部3被设定为1个组G。

图2是示出容器F以及净化装置4的一例的图。图3是示出净化储料器1内的一部分的图，示出载置于载置部3的状态。如图2所示，在载置部3的上表面设置有销20，用于进行容器F的定位。关于容器F，在图2中示出FOUP的一例，具备：具有开口21a的箱状的主体部21；以及封堵开口21a的盖部22。晶片等物品经由开口21a而被收容在容器F的内部Fa。主体部21在其底面侧具备定位用的凹部23。凹部23例如是从主体部21的底面的中心呈放射状地延伸的槽。在移载装置13的手部装备的未图示的销进入该凹部23，从而进行输送容器F时的定位。

并且，如图3所示，在各载置部3的上表面设置有放置传感器29。放置传感器29检测在载置部3是否载置有容器F。图3所示的放置传感器29具有朝上方突出的开关29a。开关29a通过在载置部3载置容器F而被压下。在放置传感器29的内部设置有光传感器。该光传感器利用受光部接受从光源射出的光，并转换成电信号。由受光部转换的电信号被朝控制装置6发送。在放置传感器29中，通过开关29a被压下，来自光源的光被遮光。在控制装置6中，利用从放置传感器29发送的电信号而判断为针对每个载置部3载置有容器F。另外，放置传感器29并不限定于上述结构，也可以使用能够检测载置有容器F这一情况的接触式或者非接触式的传感器。

载置部3具有移载装置13的手部能够沿铅垂方向通行的缺口部(参照图8等)。移载装置13使手部从载置部3的上方朝下方通过缺口部而移动，由此将容器F移载至载置部3的上表面。此时，关于容器F，通过载置部3的销20插入于凹部23而相对于载置部3被定位。主体部21在底面侧具备净化气体的导入口24、止回阀25、排气口26以及止回阀27。导入口24以及排气口26分别将主体部21的内部Fa与外部连通。止回阀25、27分别设置于导入口24、排气口26。

净化装置4具备供给喷嘴(喷嘴)30、排气喷嘴31以及流量控制装置32。在图2以及图3中，示意性地示出供给喷嘴30、排气喷嘴31。供给喷嘴30以及排气喷嘴31设置于载置部3的上表面。供给喷嘴30以及排气喷嘴31配置成：当将容器F载置于载置部3时，分别与导入口24、排气口26连接。关于容器F的导入口24，在将容器F载置于载置部3时，经由供给喷嘴30而与配管34连接，进一步经由流量控制装置32而与净化气体源40连接。排气喷嘴31经由配管35而与净化气体的排气路径(净化气体排气41)连接。另外，净化装置4也可以不具备排气喷嘴31以及配管35。在该情况下，从容器F的排气口26排出的净化气体被排出至净化储料器1的内部空间2a内。

关于供给喷嘴30，如图3所示，当在载置部3未载置有容器F的状态下封闭净化气体的流路、并且当在载置部3载置有容器F的情况下借助容器F的重量而开放流路。在图3中，示出在上层以及下层的载置部3载置有容器F而形成有净化气体的流路的状态，在中层的载置部并未载置有容器F，因此示出净化气体的流路被封闭的状态。另外，供给喷嘴30的详细结构将在后面叙述。

如图2所示，净化气体源40将例如氮气等相对于收纳的物品为惰性的气体作为净化气体供给。净化气体根据收容于容器F的物品选择，例如能够使用抑制相对于物品的氧化、抑制分子污染等的气体，或减少容器F内的水分的气体等。净化气体能够使用氮气或洁净干燥空气(CDA)等。净化气体源40可以是净化储料器1的一部分，也可以是净化储料器1的外部的装置，还可以利用例如净化储料器1所被配置的工厂内的设备。在将净化气体源40与净化储料器1分体形成的情况下，也可以利用净化储料器1侧的压力调整装置等暂时接收来自净化气体源40的净化气体，并从该压力调整装置等朝各流量控制装置32供给净化气体。

在对容器F进行净化时，来自净化气体源40的净化气体经由流量控制装置32以及配管34被从容器F的导入口24朝内部Fa供给，填充至容器F的内部Fa。配管34在流路的中途分支，朝组G内的供给喷嘴30供给净化气体。并且，容器F的内部Fa的气体被从排气口26朝容器F的外部排出，并经由配管35而由净化气体排气41朝外部排气。另外，净化气体排气41也可以设置有利用泵等抽吸气体的装置。

流量控制装置32例如是质量流量控制器，通过控制配管34中的净化气体的流量来控制从净化气体源40朝供给喷嘴30供给的净化气体的流量。流量控制装置32设置成能够与控制装置6通信。流量控制装置32从控制装置6接受确定流量的设定值的流量设定信号，并对净化气体的流量进行控制以使其接近设定值。该设定值基于组G内的容器F的个数设定。控制装置6根据来自上述的放置传感器29的信号判断组G内的容器F的个数，并将与个数相应的流量设定信号输出至流量控制装置32。

另外，控制装置6也可以代替来自放置传感器29的信号而基于例如利用堆装起重机5移载的容器F的信息来判断组G内的容器F的个数并输出至流量控制装置32。在该情况下，不需要在载置部3设置放置传感器29，因此能够降低制造成本。并且，流量控制装置32也可以代替从控制装置6接受流量设定信号而接收与组G内的容器F的个数相关的信息，并在流量控制装置32内部的控制电路等中基于容器F的个数计算设定值。

流量控制装置32基于组G内的容器F的个数调整朝组G内供给的净化气体的流量。例如净化气体的流量能够设定成与容器F的个数成比例的值，但并不限于此。流量控制装置32与配置在组G内的多个载置部3的供给喷嘴30连接。在组G内，在载置有容器F的载置部3的流路中流过净化气体，但在未载置容器F的载置部3的流路中并未流动净化气体。因而，流量控制装置32通过基于组G内的容器F的个数调整净化气体的流量，能够调整朝各容器F供给的净化气体的流量。

并且，流量控制装置32从控制装置6接受动作指令(命令)而进行各种动作。流量控制装置32当收到例如要求输出各种信号的动作指令的情况下，作为针对动作指令的响应而将输出信号朝控制装置6输出。

在控制装置6上连接有输入部7以及显示部8。输入部7例如为操作面板、触摸面板、键盘、鼠标、轨迹球等。输入部7检测来自操作者的输入，并将所输入的信息朝控制装置6供给。例如，操作者能够通过对输入部7进行操作来设定、变更净化气体的流量等。显示部8例如是液晶显示器等，显示从控制装置6被供给的图像。例如，控制装置6使显示部8显示表示净化储料器1的动作状况、各种设定、净化的状态的图像等。

如图2所示，净化装置4可以在配管34中在流量控制装置32的下游侧连接有压力检测部37。压力检测部37监视经由流量控制装置32而在配管34中流动的净化气体的压力，检测容器F中的净化的状态。压力检测部37将其测定结果(测定值)通过有线或者无线的方式朝控制装置6输出。控制装置6例如可以通过将压力检测部37的测定结果与预定值(阈值)进行比较来判定净化的状态。关于压力检测部37的测定值，在净化气体被适当地供给的情况下大致为恒定值，但若产生容器F或净化装置4的异常则相比预定范围变大或者变小。由此，能够确认相对于容器F的净化的异常。另外，压力检测部37也可以连接于排气侧的配管35，也可以在配管34以及35这双方分别配置。

当容器F连接于净化装置4时，存在因容器F与净化装置4之间的位置偏移等而导致产生容器F的导入口24与供给喷嘴30之间的连接不良的可能性。在该情况下，由于净化气体从导入口24与供给喷嘴30之间的间隙泄漏，因此朝容器F的内部Fa供给的净化气体不足，产生净化不良。并且，当产生配管34、35的堵塞等的情况下、或净化气体从容器F的盖部22与主体部21之间的间隙等大量泄漏的情况下，也会产生净化不良。控制装置6可以将进行针对容器F的净化的良否判定的结果例如何时、在哪个净化装置4存在净化的不良等判定结果残留在日志中，或者也可以使判定结果显示于显示部8或利用其他的报告单元进行报告。

图4是示出在供给喷嘴30中使用的盖部的一例的立体图。如图4所示，盖部50具有：大径的第1筒状部51；小径的第2筒状部52；以及形成在第2筒状部的上表面侧的隔离部53。第2筒状部52在第1筒状部51的上侧设置在大致中央部分。第1筒状部51和第2筒状部52经由阶梯部51a一体化。第1筒状部51的下部开口。第2筒状部52的上表面侧由顶部52a封闭。第2筒状部52的下部与阶梯部51a连接且开口。隔离部53在顶部52a上沿着顶部52a的周缘部设置有多个。隔离部53在顶部52a的周向隔开多个间隙53a配置。隔离部53的上表面作为与容器F的底部抵接的部分使用。

具有上述的盖部50的供给喷嘴30在容器F未被载置于载置部3的状态下封闭净化气体的流路。并且，盖部50当在载置部3载置有容器F的情况下借助容器F的重量而开放流路。图5是示出具备图4所示的盖部50的供给喷嘴30的一例的图。如图5的(A)以及(B)所示，盖部50被收容在配置于载置部3的流路形成部55。流路形成部55形成为圆筒状，且在上部安装有环状部件56。

并且，流路形成部55供配管34的端部连接，内部被供给净化气体。流路形成部55构成净化气体的流路。环状部件56在大致中央部分形成有贯通孔56a，且以包围该贯通孔56a的周围的方式在上表面侧设置有方环57。方环57例如使用橡胶等弹性部件形成。方环57是截面形成为矩形的环状的部件。方环57的上表面与容器F的底部抵接。

盖部50以第1筒状部51配置在流路形成部55内、第2筒状部52从贯通孔56a朝上方突出的状态配置。在第2筒状部52与贯通孔56a之间形成有净化气体能够流通的间隙。如图5的(A)所示，在容器F未被载置于载置部3的状态下，借助从配管34供给的净化气体的压力，盖部50被朝上方推压，盖部50的阶梯部51a被按压在环状部件56的下表面。由此，贯通孔56a成为堵塞的状态。这样，盖部50当在载置部3未载置容器F的状态下借助净化气体的压力而将流路封闭。另外，为了将盖部50朝上方推压，例如也可以配置有螺旋弹簧等弹性部件。

另一方面，如图5的(B)所示，若容器F被载置于载置部3，则借助容器F的重量而盖部50朝下方移动，容器F的底面与方环57接触。由此，由方环57包围的区域被密闭。并且，关于盖部50，隔离部53被容器F的底部按压而朝下方移动，阶梯部51a从环状部件56的下表面离开。因此，在阶梯部51a与环状部件56的下表面之间形成有间隙。由此，流路形成部55内的净化气体从阶梯部51a与环状部件56之间的间隙，经由第2筒状部52与贯通孔56a之间的间隙进入由方环57包围的区域，并经由隔离部53的间隙53a而与容器F的导入口24连通。这样，盖部50当在载置部3载置有容器F的情况下借助容器F的重量而将净化气体的流路开放。从配管34供给的净化气体经由该流路而从导入口24被供给至容器F的内部。

另外，若载置于载置部3的容器F朝上方移动，则盖部50借助来自配管34的净化气体的压力而朝上方移动，阶梯部51a与环状部件56的下表面接触，由此，返回至封闭净化气体的流路的状态。

另外，供给喷嘴30并不限定于使用上述结构的盖部50，也可以使用其他的盖部。图6是示出变形例所涉及的盖部50A的一例的立体图。如图6所示，盖部50A具有大径的安装部61、小径的容器支承部62、环状的变形部63及凸缘部64。安装部61形成为圆筒状，安装在后述的流路形成部65。容器支承部62形成为圆筒状，且形成在从安装部61的上部朝内侧延伸的变形部63上。容器支承部62的上端被用作与容器F的底面接触的部分。凸缘部64以在容器支承部62的内侧朝内部突出的方式形成为环状。盖部50A使用橡胶等弹性部件一体形成，形成为至少变形部63能够变形。

图7的(A)以及(B)是示出具备盖部50A的供给喷嘴30的一例的图。如图7的(A)所示，盖部50A以安装部61的形成在下端内侧的突出部61a进入形成在流路形成部65的上部外周的环状槽部65d的状态安装于流路形成部65。流路形成部65在内部连接有配管34，且在从底部的大致中央立起的柱部65c的上部设置有圆板状的封闭部65b。封闭部65b形成为能够配置在盖部50A的容器支承部62内的外径。在将盖部50A安装于流路形成部65的状态下，形成为盖部50A的凸缘部64的上表面与封闭部65b的下表面抵接的状态。

如图7的(A)所示，在容器F未被载置于载置部3的状态下，借助从配管34供给的净化气体的压力，盖部50A被朝上方推压，凸缘部64的上表面被按压于封闭部65b的下表面。并且，安装部61的突出部61a进入环状槽部65d，由此，朝容器F的净化气体的流路被封闭。这样，盖部50A当在载置部3未载置容器F的状态下借助净化气体的压力而将流路封闭。另外，为了将盖部50A朝上方推压，例如可以配置有螺旋弹簧等弹性部件。

另一方面，如图7的(B)所示，若容器F被载置于载置部3，则容器支承部62与容器F的底部抵接，借助容器F的重量而被朝下方推压。由此，变形部63变形而成为容器支承部62朝下方移动的状态。由此，凸缘部64的上表面从封闭部65b的下表面离开。由此，形成流路形成部65内的净化气体从凸缘部64与封闭部65b之间的间隙经由容器支承部62而到达导入口24的流路。另外，变形部63的下表面与流路形成部65的内壁65a的上端接触，防止净化气体朝外部泄漏。这样，盖部50A当在载置部3载置有容器F的情况下借助容器F的重量而将流路开放。从配管34供给的净化气体沿着开放的流路流动，并从导入口24被朝容器F的内部供给。

另外，若载置于载置部3的容器F朝上方移动，则盖部50A借助来自配管34的净化气体的压力和自身的弹力而恢复到原来的形态，凸缘部64与封闭部65b接触，由此返回至封闭净化气体的流路的状态。

图8是示出流量控制装置32的配置的一例的图。如图8所示，流量控制装置32针对载置部3的组G的每个各设置一个。流量控制装置32在净化储料器1中例如集中配置在堆装起重机5的行进范围的端部5E侧。如图8所示，载置部3夹着堆装起重机5配置成2列，当针对各列设定有组G的情况下，流量控制装置32针对每个列设置。另外，也可以将夹着堆装起重机5的2列载置部3作为1个组G而配置1个流量控制装置32。

这样，流量控制装置32集中配置在堆装起重机5的行进范围的端部5E侧，由此，不需要在载置部3的里侧配置流量控制装置32。此外，也不需要针对每个载置部3的电磁阀，因此能够减小载置部的进深尺寸，能够使净化储料器1小型化。并且，由于流量控制装置32集中配置在净化储料器的一部分，因此对于作业者来说能够容易进行流量控制装置32的设置或维护等。

图9是示出本实施方式所涉及的净化气体的供给方法的一例的流程图。如上所述，当容器F由堆装起重机5载置于载置部3的情况下，供给喷嘴30开放净化气体的流路(步骤S1)。由此，开始对载置于载置部3的容器F进行由净化装置4执行的净化气体的供给。

并且，通过在载置部3载置有容器F，从放置传感器29朝控制装置6发送载置有容器F的信号。控制装置6基于该信号取得组G的容器F的数量(步骤S2)。另外，控制装置6也可以从净化储料器1的控制装置等取得组G内的容器F的个数。控制装置6基于组G内的容器F的个数设定净化气体的流量，并将设定值发送给流量控制装置32。流量控制装置32基于来自控制装置6的设定值控制净化气体的流量(步骤S3)。

其次，控制装置6判断在组G内是否载置有新的容器F(步骤S4)。新的容器F的载置可以是基于放置传感器29的信号的信息，或者也可以是从净化储料器1的控制装置等发送的信息。当载置有新的容器F的情况下(步骤S4的是)，控制装置6对流量控制装置32指示使净化气体的流量暂时减少然后使其逐渐增加至预定流量(步骤S5)。由此，抑制净化气体的流量急剧增加的情况，防止容器F内的收容物振动。另外，是否实施这样的步骤S4以及S5是任意的。

其次，控制装置6基于压力检测部37的检测信号进行净化的良否判定(步骤S6)。控制装置6使显示部8显示判定结果(步骤S5)，结束一系列的处理。另外，关于步骤S6中的净化的良否判定，当在分支成多个的供给侧的配管34配置有压力检测部37的情况下，判定在组G中的某一个容器F中产生了净化不良。并且，当针对每个载置部3而在排气侧的配管35配置有压力检测部37的情况下(参照图2)，能够判定哪个容器F净化不良。

这样，根据本实施方式，在组G内，在载置有容器F的载置部3的流路流过净化气体，但在未载置容器F的载置部3的流路未流过净化气体。因而，通过基于组G内的容器F的个数调整净化气体的流量，调整朝各容器F供给的净化气体的流量。由此，无需针对每个载置部3设置电磁阀、流量控制装置32，不需要进行各电磁阀、各流量控制装置32的控制，能够在控制装置6中容易进行净化气体的供给中的控制。

另外，在上述的实施方式中，关于净化储料器1内的多个载置部3，针对沿水平方向排列的1列载置部3的每列设定组G，但并不限于此。图10是示出变形例所涉及的净化储料器1A的一例的图。如图10的左侧的例子所示，也可以将沿铅垂方向排列成1列的多个载置部3设定为1个组G。并且，如图10的右上的例子所示，也可以将沿水平方向以及铅垂方向排列成2列以上的多个载置部3设定为1个组G。并且，并不限定于图10所示的例子，只要含有多个载置部3，则组G的载置部3能够任意设定。例如也可以将相互离开配置的多个载置部3设定为1个组G。

并且，在图8所示的例子中，举出将流量控制装置32集中配置在堆装起重机5的行进范围的端部5E侧的结构为例进行了说明，但并不限于此。例如如图10的左下所示，流量控制装置32也可以配置在沿铅垂方向排列成1列的载置部3的下方，并且，虽未图示，但流量控制装置32也可以配置在沿铅垂方向排列成1列的载置部3的上方。

图11是示出变形例所涉及的净化储料器1B的一例的图。如图11所示，流量控制装置32也可以在净化储料器1B中配置在由载置部3保持的容器F的背面Fb侧。此处，容器F的背面Fb侧是指与堆装起重机5的移载装置13所访问的一侧相反侧。在图11中，是储料器框体2的壁部所被配置的一侧。在该情况下，流量控制装置32配置在容器F的背面Fb侧中的、例如载置部3与壁部之间的空间。并且，流量控制装置32在配置于容器F的背面Fb侧的情况下，例如也可以配置在相邻的两个载置部3之间。

以上对本发明的实施方式进行了说明，但本发明的技术范围并不限定于上述的实施方式或者变形例。并且，在上述的实施方式或者变形例中说明了的要素可以适当地组合。例如在图1所示的净化储料器1中，以所有的载置部3均位于某一组G内的方式进行设定并与净化装置4连接，但关于一部分载置部3也可以并不使其位于组G内而是单独地具备净化装置4。并且，一部分载置部3也可以位于组G外且不与净化装置4连接。在为不与净化装置4连接的载置部3的情况下，堆装起重机5可以将容器F载置于与净化装置4连接的载置部3，并将实施净化后的容器F移载至不与净化装置4连接的载置部3。并且，在法规所允许的范围内，在本申请中援引日本专利申请即特愿2015－153757、以及上述的实施方式等中引用的所有的文献的内容而作为本申请的记载的一部分。

标记说明

F：容器；G：组；1、1A、1B：净化储料器；2：储料器框体；2a：内部空间；3：载置部；3a：贯通孔；3b：方环；4：净化装置；5：堆装起重机(输送装置)；5E：行进端；6：控制装置；24：导入口；29：放置传感器(检测部)；29a：开关；30：供给喷嘴(喷嘴)；32：流量控制装置；34：配管；50、50A：盖部。

权利要求书(按照条约第19条的修改)

1.(修改后)一种净化储料器，具备多个净化装置，该净化装置具备：

多个载置部，沿水平方向排列，供容器载置，且被分组化；

喷嘴，形成为通过在上述载置部载置上述容器来开放朝上述容器供给净化气体的流路；以及

流量控制装置，基于上述组内的上述容器的个数来调整朝上述组内供给的上述净化气体的流量，

上述净化储料器具备输送装置，该输送装置能够沿着上述多个载置部行进，相对于上述载置部移载上述容器，

上述流量控制装置集中配置在上述输送装置的行进范围的端部侧。

2.(修改后)根据权利要求1所述的净化储料器，其中，

上述载置部分别具有检测是否载置有上述容器的检测部。

3.(修改后)根据权利要求1或2所述的净化储料器，其中，

上述喷嘴具有当在上述载置部未载置上述容器的状态下借助上述净化气体的压力来封闭流路的盖部，

当在上述载置部载置有上述容器的情况下，上述盖部借助上述容器的重量来开放上述流路。

4.(修改后)根据权利要求1～3中任一项所述的净化储料器，其中，

当在上述组内载置有新的上述容器的情况下，上述流量控制装置使上述净化气体的流量暂时减少然后使其逐渐增加至预定流量。

5.(删除)

6.(删除)

7.(删除)

8.(修改后)一种净化储料器中的净化气体的供给方法，是对在沿水平方向被分组化的多个载置部载置的容器供给净化气体的方法，包括：

通过在上述载置部载置上述容器来开放朝上述容器供给净化气体的流路；以及

通过多个流量控制装置的各个，基于上述组内的上述容器的个数来调整朝上述组内供给的上述净化气体的流量，该多个流量控制装置集中配置在输送装置的行进范围的端部侧，该输送装置能够沿着上述多个载置部行进，相对于上述载置部移载上述容器。

Claims (8)

1.一种净化装置，具备：

多个载置部，供容器载置，且被分组化；

喷嘴，形成为通过在上述载置部载置上述容器来开放朝上述容器供给净化气体的流路；以及

流量控制装置，基于上述组内的上述容器的个数来调整朝上述组内供给的上述净化气体的流量。

2.根据权利要求1所述的净化装置，其中，

上述载置部分别具有检测是否载置有上述容器的检测部。

3.根据权利要求1或2所述的净化装置，其中，

上述喷嘴具有当在上述载置部未载置上述容器的状态下借助上述净化气体的压力来封闭流路的盖部，

当在上述载置部载置有上述容器的情况下，上述盖部借助上述容器的重量来开放上述流路。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的净化装置，其中，

当在上述组内载置有新的上述容器的情况下，上述流量控制装置使上述净化气体的流量暂时减少然后使其逐渐增加至预定流量。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的净化装置，其中，

将沿水平方向或者铅垂方向排列的上述多个载置部作为上述组。

6.一种净化储料器，其中，

具备多个权利要求1～5中任一项所述的净化装置。

7.根据权利要求6所述的净化储料器，其中，

具备输送装置，该输送装置能够沿着上述净化装置的上述多个载置部行进，相对于上述载置部移载上述容器，

上述净化装置的上述流量控制装置集中配置在上述输送装置的行进范围的端部侧。

8.一种净化气体的供给方法，是对在被分组化的多个载置部载置的容器供给净化气体的方法，包括：

通过在上述载置部载置上述容器来开放朝上述容器供给净化气体的流路；以及

基于上述组内的上述容器的个数来调整朝上述组内供给的上述净化气体的流量。