JP2021088996A

JP2021088996A - 防振装置

Info

Publication number: JP2021088996A
Application number: JP2019217989A
Authority: JP
Inventors: 山田　智広; Tomohiro Yamada; 智広山田
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2019-12-02
Filing date: 2019-12-02
Publication date: 2021-06-10

Abstract

【課題】物品を安定して搬送できるとともに、クッションの強度の調整が容易になされる防振装置を提供する。【解決手段】本発明によれば、複数のチューブコネクター１２を放射状に備えた一対の連結部１４、１４と、上下に位置付けられた一対の連結部１４、１４の上下のチューブコネクター１２に連結される樹脂チューブ１８と、を備えたクッション材１０と、クッション材１０の下部を支持する第一の枠体２と、クッション材１０の上部を支持する第二の枠体３と、から少なくとも構成される防振装置１が提供される。【選択図】図１

Description

本発明は、物品が載置される防振装置に関する。

台車や搬送車等の運搬車で物品を搬送する際、床の凹凸によって運搬車が振動し、運搬車に載置された物品が落下したり、激しい振動が物品に及んで損傷したりする被害が生じることがある。

特に、半導体ウエーハを複数収容したカセットを台車等の運搬車に載せて搬送する際に、運搬車の振動がカセットに伝わると、該振動によってカセットが落下して、半導体ウエーハが損傷したりして、その被害は甚大である。

そこで、例えば、ドーナツ状の浮き輪を用いて荷台全体を支持するコンテナー用防振装置が提案されている（例えば特許文献１を参照）。

特開２００２−１２８１８５号公報

しかし、広い面積を有する荷台を１つの浮き輪で支持した場合、浮き輪内におけるエアーの流動が大きく、荷台上の物品が安定せず、落下の危険が大きいという問題がある。また、エアーの流動によって荷台上の物品が不安定になることを抑制すべく、該浮き輪の変形を抑制すると、防振装置としての機能が損なわれてしまう。さらに、浮き輪内に供給されるエアーの量を変化させて、浮き輪のクッションの強度を調整することが考えられるが、エアーの流動を抑えることはできず、依然として落下の危険が大きいという問題がある。

本発明は、上記事実に鑑みなされたものであり、その主たる技術課題は、物品を安定して搬送できるとともに、クッションの強度の調整が容易になされる防振装置を提供することにある。

上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、複数のチューブコネクターを放射状に備えた一対の連結部と、上下に位置付けられた該一対の連結部の上下のチューブコネクターに連結される樹脂チューブと、を備えたクッション材と、該クッション材の下部を支持する第一の枠体と、該クッション材の上部を支持する第二の枠体と、から少なくとも構成される防振装置が提供される。

該第一の枠体と該第二の枠体とで支持される該クッション材は、３個以上配設されることが好ましい。また、該一対の連結部のチューブコネクターに連結される該樹脂チューブの数に応じて、該クッション材の強度が変化するように構成することができる。さらに、該樹脂チューブに対して、気体又は液体が供給されることによりクッション材の強度が変化するように構成することができる。

本発明の防振装置によれば、物品を安定した状態で搬送することができると共に、樹脂チューブの連結を増やしたり減らしたりすることによって防振装置を構成するクッション材の強度を調整することができる。さらに、樹脂チューブにエアー等の気体、又は水等の液体を供給することで、クッションの強度を容易に調整することができる。

（ａ）防振装置の全体斜視図、（ｂ）防振装置の平面図、（ｃ）防振装置の正面図である。本実施形態のクッション材の分解斜視図、及びクッション材の全体斜視図である。（ａ）樹脂チューブを連結する前の状態のチューブコネクターを含む連結部の一部拡大断面図、（ｂ）樹脂チューブを連結した後の状態のチューブコネクターを含む連結部の一部拡大断面図である。クッション材の全体斜視図である。

以下、本発明に基づいて構成される防振装置に係る実施形態について添付図面を参照しながら、詳細に説明する。

図１（ａ）には、本実施形態の防振装置１の全体斜視図が示されている。図に示す防振装置１は、複数の半導体ウエーハ（図示は省略する）を収容したカセット４０（２点鎖線で示す）を載置して搬送する際に用いられ、台車の荷台上に設置される防振装置であり、複数のクッション材１０（図示の実施形態では４つ）と、クッション材１０の下部を支持する第一の枠体２と、クッション材１０の上部を支持する第二の枠体３と、から少なくとも構成されている。

図２、及び図３を参照しながら、本実施形態のクッション材１０について、詳細に説明する。クッション材１０は、複数のチューブコネクター１２（図示の実施形態では１２個）を放射状に備えた一対の連結部１４、１４と、上下に位置付けられた一対の連結部１４、１４の上下のチューブコネクター１２に連結される複数の樹脂チューブ１８と、を備えている。連結部１４の中央には、Ｌ字形状をなす流体注入部１６が配設されている。連結部１４の内部には、図３に示すように、空間１４ａが形成されており、流体注入部１６から適宜の流体（少なくともエアー等の気体、水等の液体等が含まれる）を空間１４ａに注入することが可能に構成されている。流体注入部１６は、好ましくは、流体注入手段等が挿入されている場合のみ連結部１４内の空間１４ａと外部とを連通するチェックリリーフ弁で構成される。なお、本実施形態における上下一対の連結部１４、１４は、同一の構成であり、下方の連結部１４は流体注入部１６を上方に、下方連結部１４は流体注入部１６を下方に向けられる。

樹脂チューブ１８は、可撓性を有する樹脂製のチューブであり、図２の上段に示すように、上下に位置付けられた一対の連結部１４、１４において、上下で対応する位置のチューブコネクター１２のそれぞれに端部１８ａ、１８ａが挿入される。図３には、連結部１４に配設されたチューブコネクター１２と樹脂チューブ１８の端部１８ａの断面が示されている。図３（ａ）に示すように、チューブコネクター１２は、ロック解除部材１２ａを備えており、チューブコネクター１２の内面には、爪部１２ｂが配設されている。図３（ａ）に示すように、樹脂チューブ１８の端部１８ａを、矢印Ｒ１で示す方向に挿入し、端部１８ａが突き当たる位置まで差し込む。樹脂チューブ１８の端部１８ａが差し込まれると、端部１８ａの外側に爪部１２ｂが食い込み、チューブコネクター１２に樹脂チューブ１８がロックされる。チューブコネクター１２から樹脂チューブ１８を外すときは、ロック解除部材１２ａを矢印Ｒ２で示す方向に押し込む。ロック解除部材１２ａが押し込まれると、ロック解除部材１２ａの先端部が爪部１２ｂを開き、樹脂チューブ１８の端部１８ａから爪部１２ｂを離反させて、樹脂チューブ１８のロック状態が解除され、矢印Ｒ３で示す方向に容易に引き抜くことができる。

図２の上段には、３本の樹脂チューブ１８を、上下に位置付けられた一対の連結部１４、１４において、上下で対応する位置にあるチューブコネクター１２に連結する態様が示されている。そして、図２の下段に示すように、少なくとも３本の樹脂チューブ１８によって、上下に位置付けられた一対の連結部１４、１４の上下のチューブコネクター１２を連結する。樹脂チューブ１８は、それ自身が可撓性を有する弾性部材であり、上記したように、樹脂チューブ１８によって、周方向において均等の間隔でチューブコネクター１２を連結することで振動を減衰する機能を備えたクッション材１０が構成される。

図４には、上下に位置付けられた一対の連結部１４、１４において、上下位置で対応するすべて（１２対）のチューブコネクター１２に樹脂チューブ１８を連結した状態が示されている。上下の連結部１４、１４を連結する樹脂チューブ１８の本数は任意に選択することができ、樹脂チューブ１８の本数によって、クッション材１０の強度を調整することが可能である。以下、本実施形態の防振装置１に適用されるクッション材１０は、上下に位置付けられた一対の連結部１４、１４において、上下位置で対応するすべて（１２対）のチューブコネクター１２を樹脂チューブ１８で連結したものとして説明する。

図１（ａ）に戻り説明を続けると、第一の枠体２は、４つの角柱部材２１によって平面視で正方形を構成し、軽量化を図るために中央に上下に貫通する開口Ｓを備えている。また、第二の枠体３は、板状の部材であり、図１（ｂ）に示すように、平面視で正方形を構成している。第二の枠体３の上面３１の各コーナー部３ａにはカセット４０を載置するための位置決め部材３２が配設されている。図に示すように、本実施形態の防振装置１は、４つのクッション材１０を備えており、第一の枠体２の４つコーナー部２ａの上面のそれぞれに、クッション材１０の下部を構成する連結部１４が、適宜の方法、例えば、ねじ止め、接着剤、ブラケット等の方法によって固定され支持される。また、クッション材１０の上部を構成する連結部１４は、第二の枠体３の各コーナー部３ａの下面側に適宜の方法、例えば、ねじ止め、接着剤、ブラケット等の方法によって固定され支持される。なお、図１（ｂ）は、防振装置１の平面図であり、図１（ｃ）は防振装置１の正面図である。

本実施形態の防振装置１は、上記したとおりの構成を備えており、例えば、台車、自動搬送車等の運搬車上に設置され、第二の枠体３上に物品、本実施形態においては、複数の半導体ウエーハを収容したカセット４０が載置されて搬送される。防振装置１を構成する各クッション材１０は、複数の樹脂チューブ１８によって構成され、各クッション材１０の弾性によって床面の凹凸に起因する振動を減衰する。本実施形態の防振装置１では、エアーの流動によって第二の枠体３が大きく傾斜する等の問題が発生せず、物品を安定して搬送することができる。また、クッション材１０において、上下に位置付けられた一対の連結部１４、１４のチューブコネクター１２に連結される樹脂チューブ１８の数を変更することで、クッション１０の強度を容易に変更することが可能であり、例えば、第二の枠体３に載置される物品の重量に応じて調整される。なお、クッション１０の強度を低下させるべく樹脂チューブ１８の数を減らす場合は、周方向において均等の間隔で樹脂チューブ１８を間引くことが好ましい。

本実施形態の防振装置１を構成する連結部１４は、上記したように内部に空間１４ａを備え、連結部１４の中央にチェックリリーフ弁で構成された流体注入部１６を備えている。この流体注入部１６から適宜の流体、例えば、高圧のエアーを導入して、空間１４ａを介して、各樹脂チューブ１８に供給する。連結部１４ａ、及び樹脂チューブ１８に供給される保持されるエアーの圧力を調整することにより、クッション材１０を構成する樹脂チューブ１８の剛性が調整され、結果として、クッション材１０のクッションの強度を細かく調整することができる。樹脂チューブ１８に供給される流体の圧力が高いほど、樹脂チューブ１８の剛性が大きくなり、クッション材１０としてのクッションの強度が高くなる。このように樹脂チューブ１８に流体を供給して樹脂チューブ１８の剛性を調整する場合は、樹脂チューブ１８に比較的柔らかく、安価なチューブ採用することができる。なお、樹脂チューブ１８に供給する流体は、エアー、水に限定されず、難燃性のガスを用いたり、粘性の高いオイルを用いたりすることもできる。

さらに、チューブコネクター１２として、樹脂チューブ１８が挿入されていない場合にチューブコネクター１２を閉止し、樹脂チューブ１８が挿入されている場合のみ連結部１４内の空間１４ａを外部に開放するチェックリリーフ弁を採用すれば、クッション材１０の樹脂チューブ１８の本数を任意の数に調整すると共に、樹脂チューブ１８に流体を供給して、クッション材１０の強度を調整することができる。よって、クッション材１０の特性をより細かく調整することができる。なお、上記したクッション材１０は、上下に位置付けられる連結部１４、１４を同一の構成としたが、必ずしもこれに限定されず、流体吸入部１６を一方の連結部１４にのみに設け、他方の連結部１４から除去するようにしてもよい。

本発明によれば、上記した実施形態に限定されず、種々の変形例が提供される。例えば、樹脂チューブ１８の数を調整することのみによってクッション材１０のクッションの強度を調整する場合は、連結部１４内の空間１４ａ、及び空間１４ａに流体を供給するための流体注入部１６を省略することができる。また、上記した実施形態の防振装置１では、第一の枠体２と第二の枠体３とにより支持されるクッション材１０を４つで構成したが、本発明はこれに限定されない。例えば、第二の枠体３を平面視で三角形となるように設定して、該三角形のコーナーに対応して設置するクッション材１０の数を３つとしてもよい。また、物品のサイズが大きく、それに伴い第二の枠体３の面積が大きくなる場合は、５個以上のクッション材１０を用いて第一の枠体２と第二の枠体３とで支持するようにしてもよい。

第一の枠体２、第二の枠体３の形態は特に限定されない。第一の枠体２の形態は、載置される台車、搬送車等の形態に応じて、第二の枠体３の形態は、載置する物品の形態に合わせて適宜変更され得る。

１：防振装置
２：第一の枠体
２ａ：コーナー部
２１：角柱部材
３：第二の枠体
３ａ：コーナー部
３１：上面
３２：位置決め部材
１０：クッション材
１２：チューブコネクター
１２ａ：ロック解除部材
１２ｂ：爪部
１４：連結部
１６：流体注入部
１８：樹脂チューブ
１８ａ：端部
４０：カセット

Claims

複数のチューブコネクターを放射状に備えた一対の連結部と、上下に位置付けられた該一対の連結部の上下のチューブコネクターに連結される樹脂チューブと、を備えたクッション材と、
該クッション材の下部を支持する第一の枠体と、
該クッション材の上部を支持する第二の枠体と、
から少なくとも構成される防振装置。
該第一の枠体と該第二の枠体とで支持される該クッション材は、３個以上配設される請求項１に記載の防振装置。
該一対の連結部のチューブコネクターに連結される該樹脂チューブの数に応じて、該クッション材の強度が変化する請求項１、又は２に記載の防振装置。
該樹脂チューブに対して、気体又は液体が供給されることによりクッション材の強度が変化する請求項１乃至３のいずれかに記載された防振装置。