KR102629761B1 - 컨테이너를 위한 레티클 지지부 - Google Patents

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안소니 마티우스 타이벤
숀 다니엘 에그엄
러스 브이. 레슈케
브라이언 와이즈먼
화핑 왕
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엔테그리스, 아이엔씨.
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Abstract

작업편을 지지하기 위한 컨테이너가 개시되며, 작업편은 작업편의 상부 및 하부 연부 주위의 사각면(chamfer)을 포함한다. 컨테이너는 도어(door) 및 컨테이너 내에 격리된 환경을 형성하기 위해 도어에 결합할 수 있는 쉘(shell)을 포함한다. 컨테이너는 도어에 장착된 작업편 지지부를 포함한다. 작업편 지지부는 지지 포스트를 포함한다. 지지 포스트는 작업편의 모서리(corner)에서 작업편을 지지하도록 구성된다. 지지 포스트는 제1 경사 벽을 포함한다. 제2 경사 벽은 제1 경사 벽의 하단에 있다. 제2 경사 측벽은 작업편을 지지하도록 구성된다. 제1 경사 벽 및 제2 경사 벽은 상이한 0이 아닌 경사로 배향한다.

Description

컨테이너를 위한 레티클 지지부
관련 출원 상호 참조
본 출원은 2018년 11월 7일에 출원된 미국 가출원 제62/756,932호의 이익 및 우선권을 주장하며, 그 전체가 모든 목적을 위해 본원에 참조로 통합된다.
기술분야
본 개시내용은 일반적으로 반도체 제조 시설에서 레티클과 같은 작업편을 운송하기 위한 컨테이너에 관련한 것이다. 더욱 구체적으로, 본 개시내용은 레티클의 임계 표면에 접촉하지 않고 레티클을 지지하는, 레티클과 같은 작업편을 위한 지지부에 관련한 것이다.
반도체 디바이스(device)의 제조 중에, 반도체 상의 다양한 층에 대한 패턴(pattern)은 레티클이라고 불리는 마스크(mask) 상에 포함된다. 레티클은 포토리소그래피(photolithography) 등에 의해 패턴이 형성된 광학적으로 투명한 석영 기판이다. 특히, 코팅된 레티클 블랭크(blank) 상에 포토레지스트(photoresist)의 층이 적용된다. 그 후, 반도체 웨이퍼(wafer) 상에 형성될 선택 층에 대한 패턴이 예를 들어 레이저 패턴 생성기 또는 e-빔(e-beam)에 의해 레티클 상으로 전이된다. 패턴이 포토레지스트 상에 생성된 후에, 포토레지스트의 노광된 부분이 제거되어 코팅 층의 불필요 부분을 노출시킨다. 이들 불필요 부분은 그 후 에칭(etch) 제거된다. 잔존하는 포토레지스트는 그 후 레티클의 표면 상에 청결한 패턴을 남기는 프로세스(process)에서 제거된다. 레티클의 표면을 청결한 상태로 유지하는 것이 중요하고, 따라서 입자 생성을 방지하는 것이 중요하다.
본 개시내용은 일반적으로 반도체 제조 시설에서 레티클과 같은 작업편을 운송하기 위한 컨테이너에 관련한 것이다. 더욱 구체적으로, 본 개시내용은 레티클의 임계 표면에 접촉하지 않고 레티클을 지지하는, 레티클과 같은 작업편을 위한 지지부에 관련한 것이다.
작업편을 지지하기 위한 컨테이너가 개시되며, 작업편은 작업편의 상부 및 하부 연부 주위의 사각면(chamfer)을 포함한다. 컨테이너는 도어(door) 및 컨테이너 내에 격리된 환경을 형성하기 위해 도어에 결합할 수 있는 쉘(shell)을 포함한다. 컨테이너는 도어에 장착된 작업편 지지부를 포함한다. 작업편 지지부는 지지 포스트를 포함한다. 지지 포스트는 작업편의 모서리(corner)에서 작업편을 지지하도록 구성된다. 지지 포스트는 제1 경사 벽의 쌍을 포함한다. 제2 경사 벽의 쌍은 제1 경사 벽의 쌍의 하단에 있다. 제2 경사 측벽의 쌍은 모서리에서 작업편의 인접한 측면을 지지하도록 구성된다. 제1 경사 벽의 쌍 및 제2 경사 벽의 쌍은 상이한 0이 아닌 경사로 배향된다.
작업편을 지지하기 위한 컨테이너가 또한 개시된다. 작업편은 작업편의 상부 및 하부 연부 주위의 사각면을 포함한다. 컨테이너는 도어 및 쉘을 포함한다. 쉘은 격리된 환경을 형성하기 위해 도어와 결합할 수 있다. 작업편 지지부는 도어에 고정된다. 작업편 지지부는 지지 포스트를 포함한다. 지지 포스트는 작업편을 지지하도록 구성된다. 지지 포스트는 서로에 대해 경사진 제1 경사 벽의 쌍을 포함한다. 제2 경사 벽의 쌍은 제1 경사 벽의 쌍의 하단에서 서로에 대해 경사진다. 제2 경사 벽의 쌍은 작업편의 인접한 측면을 지지하도록 구성된다. 제1 경사 벽의 쌍 및 제2 경사 벽의 쌍은 상이한 0이 아닌 경사로 배향된다.
작업편을 지지하기 위한 컨테이너가 또한 개시된다. 작업편은 작업편의 상부 및 하부 연부 주위의 사각면을 포함한다. 컨테이너는 도어(door) 및 컨테이너 내에 격리된 환경을 형성하기 위해 도어에 결합할 수 있는 쉘(shell)을 포함한다. 컨테이너는 도어에 장착된 작업편 지지부를 포함한다. 작업편 지지부는 지지 포스트를 포함한다. 지지 포스트는 작업편을 지지하도록 구성된다. 지지 포스트는 제1 경사 벽의 쌍 및 제1 경사 벽의 쌍의 하단의 제2 경사 벽의 쌍으로 구성된다. 제2 경사 벽의 쌍은 작업편의 인접한 측면을 지지하는데 있어 유일한 접점이도록 구성된다. 제1 경사 벽의 쌍 및 제2 경사 벽의 쌍은 상이한 0이 아닌 경사로 배열된다.
본 개시내용의 부분을 형성하고 본 명세서에 기술된 시스템 및 방법이 실행될 수 있는 실시예를 도시하는 첨부 도면을 참조한다.
도 1a는 개시내용의 실시예에 따른 컨테이너의 지지 구조물 상에 안착되기 이전에 작업편 및 컨테이너의 사시도이다.
도 1b는 개시내용의 실시예에 따른 컨테이너의 지지 구조물 상에 안착된 경우 도 1a의 작업편 및 컨테이너의 사시도이다.
도 2는 개시내용의 실시예에 따른 도 1a 및 도 1b에 도시된 컨테이너의 평면도이다.
도 3은 도 2의 라인 3-3을 따라 취해진 도 1a 및 도 1b에 도시된 컨테이너의 단면도이다.
도 4는 도 2의 라인 3-3을 따라 취해진 도 1a 및 도 1b에 도시된 컨테이너의 지지 구조물의 부분의 단면도이다.
도 5는 도 1a 및 도 1b의 컨테이너의 지지 구조물의 부분의 사시도이다.
도 6은 개시내용의 실시예에 따른 컨테이너의 평면도이다.
도 7은 개시내용의 실시예에 따른 지지 구조물 및 그 안의 작업편의 단면도이다.
본 개시내용은 다양한 수정 및 대안의 형태로 따를 수 있지만, 그 세부사항은 도면에 예로서 도시되어 있으며, 상세하게 기술될 것이다. 그러나, 개시내용의 양태를 기술된 구체적인 실례가 되는 실시예로 제한하기를 의도하지는 않는다는 것을 이해하여야 한다. 반대로, 개시내용의 사상 및 범주에 포함되는 한 모든 수정, 등가물 및 대안을 포함하도록 의도된다.
다음의 상세한 설명은 상이한 도면에서 유사한 요소가 동일하게 번호 매김된 도면을 참조하여 독해해야 한다. 상세한 설명 및 반드시 크기비를 따르는 것은 아닌 도면은 실례가 되는 실시예를 묘사하고, 본 발명의 범주를 제한하고자 의도된 것은 아니다. 묘사된 실례가 되는 실시예는 단지 예시적인 것으로 의도된다. 임의의 실례가 되는 실시예의 선택된 특징은 명확하게 달리 언급되지 않는 한 추가적인 실시예로 통합될 수 있다.
본 개시내용은 일반적으로 반도체 제조 시설에서 레티클과 같은 작업편을 운송하기 위한 컨테이너에 관련한 것이다. 더욱 구체적으로, 본 개시내용은 레티클의 임계 표면에 접촉하지 않고 레티클을 지지하는, 레티클과 같은 작업편을 위한 지지부에 관련한 것이다. 작업편을 위한 컨테이너는 SMIF(standardized mechanical interface) 컨테이너 또는 포드(pod), 레티클 SMIF 포드, 또는 레티클 포드로 지칭될 수 있다. 본원의 다양한 실시예에 따라 기술된 바와 같이, 컨테이너는 반도체 또는 레티클 제조 시설에서의 사용을 위해 레티클을 고정하기 위해 사용될 수 있다. 본원에 사용된 용어 "임계 표면"은 레티클의 상부 및/또는 하단 표면을 포함한다.
레티클과 같은 그러나 이에 제한되지는 않는 작업편의 제조 중에, 패턴이 형성되는 레티클의 표면 상으로의 입자 플럭스(flux)를 최소화하는 것이 중요하다. 그러한 임의의 입자는 패턴을 손상시킬 수 있다. 심지어 패턴의 형성 및 펠리클(pellicle)의 부착 이후에도, 더 큰, 또는 거대한, 오염 물질이 레티클 상에 침전될 수 있고, 이는 반도체 웨이퍼로의 패턴 전이(pattern transference)를 방해할 수 있다.
입자 형성의 하나의 원인은 작업편이 컨테이너에 적재될 때이다. 적재 프로세스 중에, 더 경질인 작업편은 작업편을 위한 지지 구조물에 사용된 상대적으로 더 연성인 물질의 함몰 또는 변형을 유발할 수 있다. 함몰 또는 변형이 발생하는 경우, 생성된 입자는 작업편의 임계 표면과 접촉할 수 있고, 그로 인해 작업편의 패턴을 손상시킨다. 본 개시내용의 실시예는 지지 구조물의 함몰 또는 변형의 가능성을 줄일 수 있고 이로 인해 지지 구조물의 청결도를 증가시키고 작업편을 손상시킬 수 있는 입자 형성의 가능성을 줄이는 지지 구조물에 관한 것이다. 구체적으로, 본 개시내용의 실시예는 제1 경사 벽 및 제1 경사 벽의 하단의 제2 경사 벽을 갖는 지지 포스트를 포함한다. 작업편이 안착된 상태인 경우, 지지 포스트 상에 형성된 표면은 이전의 지지 구조물에 비해 수정된 작업편과의 접점 및 각도를 갖는다. 일 실시예에서, 작업편이 안착된 상태인 경우, 제2 경사 벽에 형성된 접촉면을 함몰시키거나 또는 변형시키기 위해 더 큰 힘이 요구된다. 결과적으로, 이는 입자 생성이 감소되게 하여 작업편 상에 입자 형성을 감소시킨다. 적재 중에, 작업편의 접촉은 제2 경사 벽의 더 큰 접촉 영역과 이뤄지므로 함몰 또는 변형이 더 발생하기 전에 필요한 힘을 증가시킨다.
아래에 더욱 상세하게 기술된 바와 같이, 일 실시예에서, 지지 구조물 상으로 작업편을 적재하는 프로세스 중에, 작업편이 중심 설정되고 있을 때, 수평축에 대해 더 큰 각도를 갖는 제1 경사 벽으로부터 작업편에 가해진 횡력(lateral force)은 수평축에 대해 더 작은 각도를 갖는 반대편 지지 포스트에 형성된 제2 경사 벽으로부터의 더 작은 횡방향 반력에 의해 상쇄된다. 이는 작업편과 경사진 표면 사이의 마찰의 감소를 용이하게 하고, 그로 인해 작업편이 더 쉽게 중심 설정되도록 할 수 있다.
도 1a 및 도 1b는 실시예에 따른 컨테이너(10) 및 작업편(15)의 사시도이다.
도 1a는 실시예에 따른, 컨테이너(10) 및 컨테이너의 하나 이상의 지지 구조물(20)에 안착되기 이전의(예를 들어, 안착되지 않은 상태) 작업편(15)의 사시도이다. 도 1b는 실시예에 따른, 컨테이너(10) 및 컨테이너(10)의 하나 이상의 지지 구조물(20)에 안착된 경우(예를 들어, 안착된 상태)의 도 1a의 작업편(15)의 사시도이다. 컨테이너(10)는 쉘(30)과 정합할 수 있는 도어(25)를 포함한다. 도어(25) 및 쉘(30)이 고정된 경우, 작업편(15)을 위해 컨테이너(10) 내에 밀봉된 정적 환경이 형성된다. 예시된 실시예에서, 작업편(15)은 레티클이다.
컨테이너(10)의 도어(25)는 탄소 섬유로 충전된 폴리카보네이트(polycarbonate)와 같은, 그러나 이에 제한되지 않는, 정전기 소산성(static dissipative), 내구성 중합체로 형성될 수 있다. 컨테이너(10)의 쉘(30)은 작업편(20)을 볼 수 있게 하도록 투명한 내구성 중합체로 형성될 수 있다. 또한, 쉘(30)은 정전기 소산성일 수 있다. 쉘(30)이 형성될 수 있는 투명하고 정전기 소산성 물질의 적합한 예는 폴리메틸 메타크릴레이트(polymethyl methacrylate)이다. 일 실시예에서, 쉘(30)은 대안으로 불투명한 정전기 소산성 탄소 섬유로 충전된 폴리카보네이트로 형성될 수 있고, 작업편이 보일 수 있는 투명한 창(들)을 포함할 수 있다. 또 다른 실시예에서, 쉘(30)은 투명한 폴리카보네이트, 난연성 폴리에테르이미드(flame retardant polyetherimide) 등으로 형성될 수 있다. 도어(25) 및 쉘(30)을 위한 이들 물질은 예시이다. 일 실시예에서, 도어(25) 및 쉘(30)은 다른 적합한 물질로 형성될 수 있다. 일 실시예에서, 도어(25) 및 쉘(30)은 사출 성형 등으로 형성될 수 있다. 일 실시예에서, 도어(25) 및 쉘(30)은 PEEK(polyetheretherketone)를 포함할 수 있다.
컨테이너(10)는 작업편(15)을 지지하기 위한 하나 이상의 지지 구조물(20)을 포함한다. 지지 구조물(들)(20)은 도어(25)에 형성되거나 또는 장착될 수 있다. 일 실시예에서, 지지 구조물(들)(20)은 도어(25)와 원피스(one-piece), 일체형 구조일 수 있다. 또 다른 실시예에서, 지지 구조물(들)(20)은 도어(25)의 초기 형성으로부터의 후속 성형 절차에서 도어(25)에 성형될 수 있다. 또 다른 실시예에서, 지지 구조물(들)(20)은 예를 들어 체결구(예를 들어, 나사 등) 등에 의해 도어(25)에 장착될 수 있다. 따라서, 도어(25)에 대해서 위에서 논의된 물질이 또한 지지 구조물(들)(20)에도 적용 가능하다.
지지 구조물(들)(20)은 입자 생성이 적은 정전기 소산성 물질로 형성될 수 있다. 일 실시예에서, 지지 구조물(20)은 열가소성 물질을 포함할 수 있다. 또 다른 실시예에서, 지지 구조물(20)은 용융-가공 가능한 중합체(melt-processable polymer)를 포함할 수 있다. 또 다른 실시예에서, 지지 구조물은 예를 들어 작업편(15)을 컨테이너(10)에 적재하는 중에 작업편(15)에 의해 힘이 가해질 때 함몰에 저항하기 위한 적합한 강성을 갖는 PEEK(polyetheretherketone)을 포함할 수 있다. PEEK 물질은 예를 들어 탄소 충전된 PEEK일 수 있음을 이해해야 한다.
예시된 실시예에서, 4개의 지지 구조물(20)이 도시된다. 지지 구조물(20)은 예를 들어 작업편(15)의 모서리(15A)와 일치하도록 배치된다. 지지 구조물(20)의 수는 작업편(15)의 기하학적 구조에 따라 달라질 수 있음을 이해해야 한다.
지지 구조물(20)은 그들이 작업편(15)의 임계 표면이 접촉되지 않도록 작업편(15)을 수용할 수 있도록 구성된다. 위에 정의된 바와 같이, 임계 표면은 작업편(15)의 상단 표면(35) 또는 하단 표면(40)일 수 있다. 작업편(15)은 상부 사각면(45) 및 하부 사각면(50)을 포함한다. 상부 사각면(45) 및 하부 사각면(50)은 45° 사각면이다. 즉, 사각면은 상단 표면(35) 또는 하단 표면(40)에 대해 45° 각도로 형성된다. 본 명세서에 기술된 원리는 45° 이외에 사각면에 적용될 수 있음이 이해되어야 한다. 상부 사각면(45) 및 하부 사각면(50)은 아래에서 도 4에 따라 더욱 상세하게 도시되고 기술된다. 묘사된 실시예에서, 하부 사각면(50)은 상부 연부(80) 및 하부 연부(75)를 포함한다.
각각의 지지 구조물(20)은 베이스(base)(25)의 표면(25A)으로부터 연장하는 포스트(55)를 포함한다. 포스트(55)는 표면(25A)로부터 거리 d1만큼 연장한다. 거리 d1은 작업편(15)이 안착된 상태(도 1b)일 때 작업편(15)의 하단 표면(40)과 표면(25A) 사이의 공간을 제공한다. 작업편(15)의 하단 표면(40)과 표면(25A) 사이의 공간을 유지하는 것은 예를 들어 작업편(15)이 청결한 상태(clean state)로 유지됨을 보장할 수 있다. 일부 실시예에서, 작업편(15)의 하단 표면(40)과 도어(25)의 하단 표면 사이에 정확히 또는 약 39.3㎜의 산업 표준 거리가 유지될 수 있다. 포스트(55)는 포스트(55)의 단부에 지지 특징부(60)를 포함한다. 도 4 및 도 5를 참조하면, 지지 특징부(60)는 복수의 제1 경사 벽(65) 및 복수의 제1 경사 벽(65)의 하단에 복수의 제2 경사 벽(70)을 포함한다. 제1 경사 벽(65)은 제2 경사 벽(70)과 인접할 수 있거나 또는 이로부터 분리될 수 있다. 지지 특징부(60)는 아래 도 4 및 도 5에 따라 추가적으로 상세하게 도시되고 기술된다.
도 2는 실시예에 따른 도 1a 및 도 1b의 컨테이너(10)의 평면도이다. 도 2에서, 작업편(15)은 안착된 상태이다. 따라서, 작업편(15)은 작업편(15)의 각 모서리(15A)에서 지지 특징부(20)와 접촉하여 배치된다.
도 3은 실시예에 따른 도 2의 라인 3-3을 따라 취해진 도 1a 및 도 1b의 컨테이너(10)의 단면도이다. 도 4는 실시예에 따른 도 2의 라인 3-3을 따라 취해진 도 1a 및 도 1b의 컨테이너(10)의 지지 구조물(20)의 부분의 단면도이다. 도 5는 실시예에 따른 도 1a 및 도 1b의 컨테이너(10)의 지지 구조물(20)의 부분의 사시도이다.
달리 구체적으로 언급되지 않는 한, 도 3 내지 도 5가 포괄적으로 논의될 것이다.
도 3 및 도 5에 관련하여 아래에서 더 상세히 기술된 바와 같이, 작업편(15)을 지지 구조물(20) 상으로 적재하는 프로세스 중에(예를 들어, 도 1a의 안착되지 않은 상태로부터 도 1b의 안착된 상태로), 작업편(15)은 예를 들어 작업편(15)의 자동화된 취급으로 인한 오정렬(misalignment)로 인해 복수의 제1 경사 벽(65)과 접촉할 수 있다. 그러한 접촉은 하부 사각면(50)의 상부 연부(80)를 따를 수 있다. 그 결과, 입자 생성이 있는 경우, 입자 생성은 작업편(15)의 표면(40)으로부터 떨어져 배치된다. 이는 컨테이너(10)에서 청결한 환경을 유지하는 능력을 증가시킬 수 있다. 작업편(15)이 제자리(예를 들어, 안착된 상태)로 이동되면, 지지 구조물(20)과의 접촉은 하부 사각면(50)의 하부 연부를 따른 접점으로 제한된다.
안착된 상태에서, 작업편(15)은 복수의 제1 경사 벽(65)으로부터 이격된다. 복수의 제1 경사 벽(65)이 수직축 y에 대해 각도 θ로 배향되기 때문에 이러한 이격이 가능하다. 수직축 y는 도어(25)(도 1a 및 도 1b)의 표면(25A)(도 1a 및 도 1b)에 수직이다.
일 실시예에서, 각도 θ는 약 45° 미만이 되도록 선택된다.
일 실시예에서, 각도 θ는 약 42° 미만이 되도록 선택된다.
일 실시예에서, 각도 θ는 정확히 또는 약 39°가 되도록 선택된다.
각도 θ는 작업편(15)이 지지 구조물(20) 상으로 설치될 때, 작업편(15)의 오정렬이 발생하여 작업편(15)과 복수의 제1 경사 벽(65) 사이에 접촉이 만들어진 경우, 접촉은 하부 사각면(50)의 하부 연부(75)로부터 이격되고 하부 사각면(50)의 상부 연부(80)를 향해 배치되도록 선택될 수 있다. 유리하게는, 복수의 제1 경사 벽(65)의 함몰 또는 변형이 작업편(15)과의 접촉으로부터 발생하는 경우, 생성된 입자는 작업편(15)의 하단 표면(40)으로부터 떨어져 배치된다. 따라서, 복수의 제1 경사 벽(65)의 배열은 작업편(15)을 청결한 상태로 유지하는 것을 도울 수 있다. 더욱이, 복수의 제1 경사 벽(65)의 가파른 각도는 작업편(15)의 하부 사각면(50)과 접촉할 가능성을 줄이는데 도움이 될 수 있다.
일 실시예에서, 복수의 제1 경사 벽(65)은 곡률을 포함할 수 있다. 즉, 실시예에서, 작업편(15)의 오정렬이 발생하는 경우, 복수의 제1 경사 벽(65)은 제1 경사 벽(65)과 작업편(15) 사이의 접촉이 하부 사각면(50)의 상부 연부(80)를 따라 있는 한, 오목한 표면과 같은 비평면 기하학적 구조를 포함할 수 있다.
안착된 상태인 경우, 작업편(15)은 하부 사각면(50)의 하부 연부(75)에서 복수의 제2 경사 벽(70)과 접촉한다. 하부 사각면(50)의 상부 연부(80)는 지지 특징부(60)로부터 이격된다. 일 실시예에서, 작업편(15)이 안착된 상태인 경우, 하부 사각면(50)은 지지 특징부(60)와의 유일한 접점으로서 작용한다. 따라서, 작업편(15)은 안착된 상태일 때 복수의 제1 경사 벽(65)과 접촉하지 않는다.
이 구성은 입자 생성을 줄일 수 있고, 그로 인해 작업편 상에 입자 형성을 줄일 수 있다. 이는 지지 구조물이 사용되기 이전에, 작업편은 지지 구조물의 하단 벽에 의해 지지되지 않고, 대신 도 3 및 도 4의 제1 복수의 경사 벽(65)에 대응하는 상부 경사 벽에 의해 지지되기 때문이다. 상부 경사 벽 상에 접촉면이 형성된 이전의 지지 구조물과 비교할 때, 도 3 및 도 4에 도시된 실시예는 복수의 제2 경사 벽(70)에 형성된 접촉면을 함몰시키거나 또는 변형시키기 위해 더 큰 힘이 필요하다. 결과적으로, 이는 입자 생성이 감소되게 하여 작업편 상에 입자 형성을 감소시킨다.
복수의 제2 경사 벽(70)은 수평축 x에 대해 각도 α로 경사진다. 수평축 x는 도어(25)의 표면(25A)와 평행하다.
일 실시예에서, 각도 α는 0°를 초과하도록 선택된다.
일 실시예에서, 각도 α는 0° 초과 및 약 15° 미만이도록 선택된다.
일 실시예에서, 각도 α는 0° 초과 및 약 10° 미만이도록 선택된다.
일 실시예에서, 각도 α는 정확히 또는 약 6° 초과 및 정확히 또는 약 15° 미만이도록 선택된다.
일 실시예에서, 각도 α는 정확히 또는 약 8°이도록 선택된다.
각도 α는 작업편(15)의 하단 표면(40)이 복수의 제2 경사 벽(70)과 물리적으로 접촉하는 것을 방지하도록 선택될 수 있다. 이와 같이, 복수의 제2 경사 벽(70)의 경사는 0이 아니다. 즉, 복수의 제2 경사 벽(70)은 0이 아닌 경사를 갖는다.
일 실시예에서, 복수의 제2 경사 벽(70)은 곡률을 포함할 수 있다. 즉, 일 실시예에서, 복수의 제2 경사 벽(70)은 작업편(15)이 안착된 상태일 때 작업편(15)의 하단 표면(40)과 복수의 제2 경사 벽(70) 사이에 어떠한 물리적 접촉도 발생하지 않는 한, 오목한 표면과 같은 비평면 기하학적 구조를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 복수의 제2 경사 벽(70) 상에 있는 작업편(15)과 지지 구조물(20)의 접점은 작업편(15)이 예를 들어 도어(25)의 평면(25A)과 평행한 방향으로 이동하는 것을 억제하도록 작업편(15)을 고정 위치에 유지할 수 있다.
복수의 제2 경사 벽(70)의 함몰 또는 변형이 수행된 임계력을 식별하기위한 시뮬레이션은 ANSYS®에서 시판되는 소프트웨어를 이용한 유한 요소 분석을 사용한다. 시뮬레이션을 위해, ANSYS Mechanical Version 19.1이 이용된다. 입력 파라미터로서, 시뮬레이션에 복수의 제2 경사 벽(70)의 기하학적 구조; 복수의 제2 경사 벽(70)을 형성하는 물질의 물질 특성; 작업편(15)의 치수; 및 작업편(15)의 경도 특성이 이용된다. 작업편(15)에 가해진 힘이 시뮬레이션된다. 시뮬레이션에서, 변형을 초래하는 임계력은 약 3.60 파운드로 추정된다. 반대로, 접촉이 제1 복수의 경사 벽을 따르는 현재의 현용의 지지 구조물의 기하학적 구조 및 동일한 시뮬레이션을 이용하면, 결과 임계력은 2.17 파운드이다. 즉, 본 명세서에 따라 시뮬레이션된 디자인은 임계력의 65% 증가를 초래한다.
각도 θ 및 각도 α는 위에 논의된 바와 같이 제어될 수 있음이 이해되어야 한다. 즉, 일 실시예에서, 각도 α가 0° 초과인 경우 각도 θ는 45°에 가깝게 유지될 수 있다. 실시예에서, 각도 θ가 45° 미만이도록 줄이는 것은 작업편(15) 상의 입자 형성을 방지하는데 있어서 지지 구조물(20)의 효과를 증가시킬 수 있다.
지지 특징부(60)가 모서리에 배열되었기 때문에, 특징부는 지지 특징부(60)에 대한 대칭선인 라인(85)을 따라 대칭일 수 있다. 일 실시예에서, 지지 특징부(60)는 대칭이 아니다.
도 6를 참조하면, 대안의 실시예에서, 지지 구조물(120)은 8개의 지지 포스트(155)를 포함하고, 각 지지 포스트(155)는 제1 경사 벽(165) 및 제2 경사 벽(170)을 포함한다. 지지 구조물의 지지 포스트의 수는 달라질 수 있고, 각 지지 포스트는 하나 이상의 제1 경사 벽 및 하나 이상의 제2 경사 벽을 포함할 수 있음이 이해되어야 한다. 지지 포스트가 2개 이상의 제1 경사 벽을 포함하는 경우, 제1 경사 벽은 희망하는 바에 따라 인접하거나 또는 인접하지 않을 수 있음이 또한 이해되어야 한다.
도 7에 따르면, 일 실시예에서, 지지 구조물은 제1 지지 포스트(255) 및 제1 지지 포스트(255)의 반대편에 배치된 제2 지지 포스트(257)를 포함한다. 제1 지지 포스트(255)는 제1 경사 벽(265) 및 제2 경사 벽(270)을 포함한다. 제2 지지 포스트(257)는 제1 경사 벽(267) 및 제2 경사 벽(272)을 포함한다. 작업편(215)을 지지 구조물 상으로 적재하는 프로세스 중에, 작업편(215)이 중심에 있을 때, 수평축에 대해 더 큰 각도를 갖는 제1 지지 포스트(255)의 제1 경사 벽(265)으로부터 작업편에 가해진 횡력 f1은 수평축에 대해 더 작은 각도를 갖는 제2 지지 포스트(272)의 제2 경사 벽(272)으로부터의 더 작은 횡방향 반력 f2에 의해 상쇄된다. 이는 작업편(215)과 경사진 표면(265, 270) 사이의 마찰이 줄어들도록 하여, 작업편(215)이 더욱 쉽게 중심에 있도록 한다.
양태:
제1 양태 내지 제8 양태 중 어느 하나는 제9 양태 내지 제14 양태, 제15 양태 내지 제23 양태, 또는 제24 양태 중 어느 하나와 조합될 수 있음이 이해되어야 한다. 제9 양태 내지 제14 양태 중 어느 하나는 제15 양태 내지 제23 양태 또는 제24 양태 중 어느 하나와 조합될 수 있다. 제15 양태 내지 제23 양태는 제24 양태와 조합될 수 있다.
제1 양태. 작업편을 지지하기 위한 컨테이너이며, 작업편은 작업편의 상부 및 하부 연부 주위의 사각면을 포함하고, 컨테이너는 도어 및 컨테이너 내에 격리된 환경을 형성하기 위해 도어에 결합할 수 있는 쉘을 포함하며, 컨테이너는 도어에 장착된 작업편 지지부를 포함하고, 작업편 지지부는 지지 포스트를 포함하고, 지지 포스트는 작업편의 모서리에서 작업편을 지지하도록 구성되고, 지지 포스트는 제1 경사 벽; 및 제1 경사 벽의 하단의 제2 경사 벽을 포함하고, 제2 경사 측벽은 모서리에서 작업편의 인접한 측면을 지지하도록 구성되며, 제1 경사 벽 및 제2 경사 벽은 상이한 0이 아닌 경사로 배향된다.
제2 양태. 제1 양태의 컨테이너로, 제1 경사 벽은 정확히 또는 약 45° 이하인 수직축에 대한 각도로 배향된다.
제3 양태. 제1 양태 또는 제2 양태의 컨테이너로, 제2 경사 벽은 정확히 또는 약 0° 초과 및 정확히 또는 약 15° 이하인 수평축에 대한 각도로 배향된다.
제4 양태. 제1 양태 내지 제3 양태 중 어느 하나의 컨테이너로, 안착된 상태에서, 제2 경사 벽은 작업편을 작업편의 하부 연부 주위의 사각면의 하부 연부에 맞물리게 하도록 구성된다.
제5 양태. 제1 양태 내지 제4 양태 중 어느 하나의 컨테이너로, 작업편은 레티클이다.
제6 양태. 제1 양태 내지 제5 양태 중 어느 하나의 컨테이너로, 지지 포스트는 열가소성 물질을 포함한다.
제7 양태. 제1 양태 내지 제6 양태 중 어느 하나의 컨테이너로, 작업편 지지부는 4개의 지지 포스트를 포함한다.
제8 양태. 제1 양태 내지 제7 양태 중 어느 하나의 컨테이너로, 하나 이상의 제1 경사 벽 및 제2 경사 벽은 만곡된 비평면 표면을 포함한다.
제9 양태. 작업편을 지지하기 위한 컨테이너이며, 작업편은 작업편의 상부 및 하부 연부 주위의 사각면을 포함하고, 컨테이너는 도어와 격리된 환경을 형성하기 위해 도어에 결합할 수 있는 쉘 및 도어에 고정된 작업편 지지부를 포함하고, 작업편 지지부는 지지 포스트를 포함하고, 지지 포스트는 작업편을 지지하도록 구성되며, 지지 포스트는 서로에 대해 경사진 제1 경사 벽 및 제1 경사 벽의 하단의 서로에 대해 경사진 제2 경사 벽을 포함하고, 제2 경사 벽은 작업편의 인접한 측면을 지지하도록 구성되며, 제1 경사 벽 및 제2 경사 벽은 상이한 0이 아닌 경사로 배향된다.
제10 양태. 제9 양태의 컨테이너로, 작업편은 레티클이다.
제11 양태. 제9 양태 또는 제10 양태의 컨테이너로, 레티클은 쉘이 도어에 결합될 때 작업편 지지부와 쉘 사이에 끼워진다.
제12 양태. 제9 양태 내지 제11 양태 중 어느 하나의 컨테이너로, 제1 경사 벽은 정확히 또는 약 45° 이하인 수직축에 대한 각도로 배향된다.
제13 양태. 제9 양태 내지 제12 양태 중 어느 하나의 컨테이너로, 제2 경사 벽은 정확히 또는 약 0° 초과 및 정확히 또는 약 15° 이하인 수평축에 대한 각도로 배향된다.
제14 양태. 제9 양태 내지 제13 양태 중 어느 하나의 컨테이너로, 하나 이상의 제1 경사 벽 및 제2 경사 벽은 만곡된 비평면인 표면을 포함한다.
제15 양태. 작업편을 지지하기 위한 컨테이너이며, 작업편은 작업편의 상부 및 하부 연부 주위의 사각면을 포함하고, 컨테이너는 도어와 컨테이너 내에 격리된 환경을 형성하기 위해 도어에 결합할 수 있는 쉘을 포함하고, 컨테이너는 도어에 장착된 작업편 지지부를 포함하고, 작업편 지지부는 지지 포스트를 포함하고, 지지 포스트는 작업편을 지지하도록 구성되고, 지지 포스트는 제1 경사 벽의 쌍 및 제1 경사 벽의 쌍의 하단의 제2 경사 벽의 쌍으로 구성되고, 제2 경사 벽의 쌍은 작업편의 인접한 측면을 지지하는 유일한 접점이도록 구성되고, 제1 경사 벽의 쌍 및 제2 경사 벽의 쌍은 상이한 0이 아닌 경사로 배열된다.
제16 양태. 제15 양태의 컨테이너로, 제1 경사 벽의 쌍은 정확히 또는 약 45° 이하인 수직축에 대한 각도로 배향된다.
제17 양태. 제15 양태 또는 제16 양태의 컨테이너로, 제2 경사 벽의 쌍은 정확히 또는 약 0° 초과 및 정확히 또는 약 15° 이하인 수평축에 대한 각도로 배향된다.
제18 양태. 제15 양태 내지 제17 양태 중 어느 하나의 컨테이너로, 안착된 상태에서, 제2 경사 벽의 쌍은 작업편의 하부 연부 주위의 사각면의 하부 연부에서 작업편을 맞물리게 하도록 구성된다.
제19 양태. 제15 양태 내지 제18 양태 중 어느 하나의 컨테이너로, 작업편은 레티클이다.
제20 양태. 제15 양태 내지 제19 양태 중 어느 하나의 컨테이너로, 지지 포스트는 열가소성 물질을 포함한다.
제21 양태. 제15 양태 내지 제20 양태 중 어느 하나의 컨테이너이며, 작업편 지지부는 4개의 지지 포스트를 포함한다.
제22 양태. 제15 양태 내지 제21 양태 중 어느 하나의 컨테이너로, 안착되지 않은 상태에서, 제1 경사 벽의 쌍은 작업편과의 우발적 접촉이 작업편의 하부 연부 주위의 사각면의 상부 연부에 배치되도록 배향된다.
제23 양태. 제15 양태 내지 제22 양태 중 어느 하나의 컨테이너로, 하나 이상의 제1 경사 벽의 쌍 및 제2 경사 벽의 쌍은 만곡된 비평면인 표면을 포함한다.
제24 양태. 컨테이너 조립체이며, 작업편의 상부 및 하부 연부 주위의 사각면을 포함하는 작업편을 포함하고, 컨테이너는 도어 및 컨테이너 내에 격리된 환경을 형성하기위해 도어에 결합할 수 있는 쉘을 포함하고, 컨테이너는 도어에 장착된 작업편 지지부를 포함하고, 작업편 지지부는 지지 포스트를 포함하고, 지지 포스트는 작업편을 지지하도록 구성되며, 지지 포스트는 제1 경사 벽 및 제1 경사 벽의 하단의 제2 경사 벽으로 구성되고, 제2 경사 벽은 작업편의 인접한 측면을 지지하는 유일한 접점이도록 구성되고, 제1 경사 벽 및 제2 경사 벽은 상이한 0이 아닌 경사로 배열된다.
본 명세서에서 사용된 용어는 특정 실시예를 기술하기 위해 의도되고 제한하려는 의도는 아니다. 단수 용어는 명백하게 다르게 표시되지 않는 한 복수 형태도 포함한다. 본 명세서에서 사용될 때 용어 "포함하다" 및/또는 "포함하는"은 언급된 특징, 정수, 단계, 동작, 요소, 및/또는 구성요소의 존재를 지정하지만, 하나 이상의 다른 특징, 정수, 단계, 동작, 요소, 및/또는 구성요소의 존재 또는 추가를 배제하지는 않는다.
전술한 설명과 관련하여, 특히 본 개시내용의 범주로부터 벗어나지 않고 부품의 형상, 크기 및 배열과 사용되는 구성 물질에 있어서 세부적으로 변경될 수 있음이 이해되어야 한다. 기술된 본 명세서 및 실시예는 단지 예시일 뿐이며, 개시내용의 진정한 범주 및 사상은 다음의 청구범위에 의해 표시된다.

Claims (12)

  1. 작업편을 지지하기 위한 컨테이너이며:
    도어 및 격리된 환경을 형성하기 위해 도어에 결합할 수 있는 쉘; 및
    도어에 고정된 작업편 지지부로서, 작업편을 지지하도록 구성된 단일 지지 포스트를 포함하는 작업편 지지부를 포함하고,
    지지 포스트는
    제1 경사 벽의 쌍; 및
    제1 경사 벽의 쌍 하단의 제2 경사 벽의 쌍으로서, 작업편을 지지하는 유일한 접점이 되도록 구성된 제2 경사 벽의 쌍을 포함하고,
    제1 경사 벽의 쌍 및 제2 경사 벽의 쌍은 수평 축에 대해 상이한 0이 아닌 경사로 배향된, 작업편을 지지하기 위한 컨테이너.
  2. 제1항에 있어서,
    제1 경사 벽의 쌍은 45° 이하인 수직 축에 대한 각도로 배향된, 컨테이너.
  3. 제1항에 있어서,
    제2 경사 벽의 쌍은 0° 초과 및 15° 이하인 수평 축에 대한 각도로 배향된, 컨테이너.
  4. 제1항에 있어서,
    하나 이상의 제1 경사 벽 및 제2 경사 벽은 만곡된, 비평면인 표면을 포함하는, 컨테이너.
  5. 제1항에 있어서,
    제1 경사 벽의 쌍은 제2 경사 벽의 쌍에 인접하거나 또는 이로부터 분리된, 컨테이너.
  6. 작업편을 지지하기 위한 컨테이너이며:
    도어;
    컨테이너 내에 격리된 환경을 형성하기 위해 도어와 결합할 수 있는 쉘; 및
    도어에 장착된 작업편 지지부로서, 작업편을 지지하도록 구성된 지지 포스트를 포함하고, 지지 포스트는 경사 벽을 포함하는, 작업편 지지부를 포함하고,
    경사 벽은
    제1 경사 벽의 쌍; 및
    제1 경사 벽의 쌍의 하단의 제2 경사 벽의 쌍으로서, 작업편을 지지하는 유일한 접점이 되도록 구성된 제2 경사 벽의 쌍을 포함하고,
    제1 경사 벽의 쌍 및 제2 경사 벽의 쌍은 수평 축에 대해 상이한 0이 아닌 경사로 배열된, 작업편을 지지하기 위한 컨테이너.
  7. 제6항에 있어서,
    제1 경사 벽의 쌍은 45° 이하인 수직축에 대한 각도로 배향된, 컨테이너.
  8. 제6항에 있어서,
    제2 경사 벽의 쌍은 0° 초과 및 15° 이하인 수평축에 대한 각도로 배향된, 컨테이너.
  9. 제6항에 있어서,
    안착된 상태에서, 제2 경사 벽의 쌍은 작업편의 하부 연부 주위의 사각면의 하부 연부에서 작업편에 맞물리도록 구성된, 컨테이너.
  10. 제6항에 있어서,
    안착되지 않은 상태에서, 제1 경사 벽의 쌍은 작업편과의 우발적 접촉이 작업편의 하부 연부 주위의 사각면의 상부 연부에 배치되도록 배향된, 컨테이너.
  11. 삭제
  12. 삭제
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