CN101666982B - 光罩盒的承载盒及其缓冲定位装置 - Google Patents

Abstract

光罩盒的承载盒，包括一上盖体以及一下盖体，并于下盖体的容置空间中配置一缓冲定位装置。缓冲定位装置包含一承载结构及复数个弹性件，承载结构由一底部以及与底部连接并向纵向方向弯折延伸的复数个翼部所组成，复数个弹性件与底部连接并向另一相对的纵向弯折以形成复数个具有弯折部的弹性件，且这些弯折部的弹性件形成一共同平面，而共同平面与下盖体的底面接触，以避免承载盒于运送光罩盒途中所产生的碰撞或是震动，影响存放于光罩盒中的光罩而导致光罩的摩擦或损坏，因此具有较佳的防震与保护效果。

Description

光罩盒的承载盒及其缓冲定位装置

技术领域

本发明是有关于一种光罩盒的承载盒，特别是有关于一种于光罩盒的承载盒中配置缓冲定位装置，用以固定承载盒中的光罩盒。

背景技术

近代半导体科技发展迅速，其中光学微影技术(Optical Lithography)扮演重要的角色，只要是关于图形(pattern)定义，皆需仰赖光学微影技术。光学微影技术在半导体的应用上，是将设计好的线路制作成具有特定形状可透光的光罩(photo mask)。利用曝光原理，则光源通过光罩投影至硅圆片(siliconwafer)可曝光显示特定图案。由于任何附着于光罩上的尘埃颗粒(如微粒、粉尘或有机物)都会造成投影成像的质量劣化，用于产生图形的光罩必须保持绝对洁净，因此在一般的圆片工艺中，都提供无尘室(clean room)的环境以避免空气中的颗粒污染。然而，目前的无尘室也无法达到绝对无尘状态。现代的半导体工艺皆利用抗污染的光罩盒(reticle pod)进行光罩的保存与运输，以使光罩保持洁净。

而目前最为普遍的运送光罩方式，通常是先将单一个光罩存放于单一个光罩盒当中，再将多个光罩盒一同放置于一个光罩盒的运输盒，并于光罩盒的运输的盒内充填软性物质(如泡棉、海棉等)，减少光罩盒的运输盒的盒内间隙，并以此加强并固定各个光罩盒，以避免光罩盒的运输盒于运送光罩盒途中所产生的震动，影响存放于光罩盒中的光罩而导致光罩的摩擦或损坏。然而，就光罩供货商而言，出货时除了需将光罩盒固定安置于光罩盒的运输盒内以外，还必须以人工方式将软性物质充填于光罩盒的运输盒，并确保盒内不会有过多个间隙；就光罩需求方而言，欲取出光罩盒时，也必须先以人工方式将充填于光罩盒的运输盒盒内的软性物质取出，才得以取出光罩盒，并且还需针对这些用来充填用的软性物质加以处里，因此。供需双方除了都需耗费时间与人力成本进行软性物质的包装与拆卸以外，若将这些使用过的软性物质直接丢弃而不重复使用，这些无法自行分解的软性物质又将对环境造成污染。

发明内容

为了解决上述问题，本发明的目的在于提供一种将缓冲定位装置配置于光罩盒的承载盒中，用以固定承载盒中的光罩盒，以使承载盒中的光罩盒具有较佳的防震与保护效果。

本发明的另一目的在于提供一种光罩盒的承载盒，其缓冲定位装置具有较佳的防止光罩摩擦或损坏，并减少尘粒的产生。

本发明的又一目的在于提供一种缓冲定位装置，其具有较佳的弹性结构，可有效释放应力。

本发明的还有一目的在于提供一种缓冲定位装置，其具有较为简单的装设方式，且易于取出。

为实现上述目的，本发明提供一种配置于光罩盒的承载盒中的缓冲定位装置。此光罩盒的承载盒包括一具有第一容置空间的上盖体，以及一具有第二容置空间的下盖体，并于下盖体的容置空间中配置一缓冲定位装置，上盖体与下盖体盖合后形成一第三容置空间，一光罩盒配置于下盖体的缓冲定位装置中。其中，缓冲定位装置包含一承载结构及复数个弹性件，承载结构系由一底部以及与底部连接并向纵向方向延伸的复数个翼部，复数个弹性件与底部连接并向另一相对的纵向弯折以形成复数个具有弯折部的弹性件，且这些弯折部的弹性件形成一共同平面，而共同平面与下盖体的底面接触。

本发明的效果是，将光罩盒置于承载盒下盖体的缓冲定位装置中，并另装设一缓冲定位装置于上盖体中，当承载盒的上盖体盖合于下盖体时，缓冲定位装置可完全包覆于光罩盒的上下方，并可同时在承载盒与光罩盒之间隙中形成一缓冲保护作用，以避免承载盒于运送光罩盒途中所产生的碰撞或是震动，影响存放于光罩盒中的光罩而导致光罩的摩擦或损坏，因此具有较佳的防震与保护效果，并可减少尘粒的产生。

附图说明

图1是缓冲定位装置的示意图。

图2是于承载盒中配置缓冲定位装置的示意图。

图3是于承载盒中配置光罩盒的示意图。

图4是缓冲定位装置的结构图。

图5A是缓冲定位装置的侧视图。

图5B是缓冲定位装置的侧视图。

附图中主要组件符号说明

1    承载盒

11   上盖体

12   下盖体

2    缓冲定位装置

21   承载结构

211  矩形底部

212  翼部

22   弹性件

221  弯折部

23   承载结构

231  第一矩形底部

232  翼部

232a 第二翼部段

232b 第一翼部段

233  连接部

24   弹性件

241  第二矩形底部

242  弯折部

242a 第一弯折段

242b 第二弯折段

242c 第三弯折段

242d 第四弯折段

243  连接部

3    光罩盒

C1   承载结构底部的夹角

C2   弹性件底部的夹角

C3   第一翼部与一第二翼部段的夹角

C4   第一弯折段与第三弯折段夹角的互补角

C5   第二弯折段与第三弯折段的夹角

具体实施方式

由于本发明公开一种光罩盒的承载盒，特别是一种于光罩盒的承载盒中配置缓冲定位装置，并由这些缓冲定位装置来固定承载盒中的光罩盒。由于，本发明所利用到的一些光罩或光罩盒的详细制造或处理过程，是利用现有技术来实现，因此在下述说明中，并不作完整描述。而且下述内文中的附图亦并未依据实际的相关尺寸完整绘制，其作用仅在表达与本发明特征有关的示意图。

首先，请参考图1，是根据本发明的缓冲定位装置的一较佳实施例示意图。如图1所示，缓冲定位装置2包含一承载结构21以及复数个弹性件22，承载结构21是由一矩形底部211以及与矩形底部211连接的复数个翼部212所形成，其中每一翼部212是先以一纵向面与矩形底部211连接，并于纵向面的自由端再向横方向弯折；而复数个弹性件22中的每一弹性件22的一端与矩形底部211连接，而另一端则向另一相对的纵向弯折以形成复数个具有弯折部221的弹性件22，且这些弯折部221的弹性件22形成一共同平面；而在本发明的一较佳实施例中，每一弹性件22的一端与矩形底部211连接后，可以先向横向方向延伸，然后其另一端再向另一相对的纵向弯折以形成复数个弯折部221，很明显地，复数个弹性件22与矩形底部21连接所形成的面积较底部21与翼部212连接所形成的面积大，如图1所示。故当本实施例的缓冲定位装置2放置于一容器中，可由至少一弹性件22与容器的内壁面接触而固定于容器中；此外，这些弹性件22的弯折部221具有一共同平面。

接着，请参考图2，是根据本发明的用以承载光罩盒的承载盒的一较佳实施例示意图。很明显地，此光罩盒的承载盒1包括一上盖体11以及一下盖体12，上盖体11与下盖体12各具有一容置空间，当上盖体11与下盖体12盖合后形成一较大的容置空间。接着，于下盖体12的容置空间中配置一缓冲定位装置2，并且使得缓冲定位装置2的具有弯折部221的弹性件22与下盖体12的内壁面及底面相接触，如图2所示。接着，将一光罩盒3配置于下盖体12的缓冲定位装置2中，故可将光罩盒3固定于承载盒1，如图3所示。

承上所述，承载盒1的材质为一高分子塑料材料，而承载结构21及复数个弹性件22的材质则可为金属材料或高分子塑料材料，故承载结构21及复数个弹性件22可利用一体形成的方式制成。在本发明的一较佳实施例中，承载结构21的矩形底部211以及翼部212是由复数个分枝组件所组合形成，而此分枝组件可以是粗铁丝。此外，另可于承载盒1的上盖体11的容置空间中也配置一个同样的缓冲定位装置2(未显示于图中)，因此，当承载盒1的上盖体11盖合于下盖体12时，缓冲定位装置2可完全包覆于光罩盒3的上方与下方，并可同时在承载盒1与光罩盒3之间隙中形成一缓冲保护作用，以避免承载盒1于运送光罩盒3途中所产生的碰撞或是震动，影响存放于光罩盒3中的光罩而导致光罩的摩擦或损坏，因此具有较佳的防震与保护效果，并可减少尘粒的产生。

图4是根据本发明缓冲定位装置的另一较佳实施例的结构图。此缓冲定位装置2包含承载结构23以及复数个弹性件24所组成，其中，此承载结构23是由复数个分枝组件组合成第一矩形底部231，接着，将复数个分枝组件先沿着第一矩形底部231的四边，向纵方向弯折后再向横方向弯折以形成复数个翼部232，而形成承载结构23的第一矩形底部231以及翼部232的这些分枝组件的自由端可由复数个连接部243相互连接在一起，以使承载结构23形成一个整体的结构；接着，复数个弹性件24由复数个分枝组件组合成复数个第二矩形底部241；接着，将复数个分枝组件先沿着第二矩形底部241的四边，向另一纵向面弯折以形成复数个弯折部242，其中，弯折部242弯折延伸的方向与翼部232弯折延伸的方向为相反的方方向，同样地，形成复数个弹性件24的这些分枝组件的自由端也是由复数个连接部243相互连接在一起，且这些弯折部242具有一共同平面。此外，第一矩形底部231以及弹性件24的第二矩形底部241以及弯折部242亦可为复数个分枝组件，由此可利用连接部243将这些分枝组件之间相互连接，以形成另一整体的结构，其中，缓冲定位装置2可为一体成型的方式制成。

根据上述的缓冲定位装置2，将一对承载结构23的第一矩形底部231以十字方式交错组装为一承载结构组的整体结构，其交错组装所形成的夹角C1为约60度～120度，而最佳的角度为90度，并将弹性件24的第二矩形底部241以十字方式交错组装为一弹性件组的整体结构，其交错组装所形成的夹角C2为约60度～120度，而最佳的角度为90度，再将承载结构23的承载结构组与弹性件24的弹性件组再次以十字方式交错组装，使得承载结构23的第一矩形底部231可固接于弹性件24的第二矩形底部241上，其中，固接的方式可以焊接固定或以黏胶固定。

图5A是根据本发明承载结构的一较佳实施例示意图，承载结构23的翼部232是由具有不同斜率的一第一翼部段232a与一第二翼部段232b所组成，其中，第一翼部段232a与一第二翼部段232b所形成的夹角C3为约90度～170度，而最佳的角度为135度或150度。

本发明另提供一承载结构的另一较佳实施例，承载结构的翼部是由具有不同斜率的一第一翼部段与一第二翼部段所组成，其中，第一翼部段与一第二翼部段可为一弧形结构。

图5A是根据本发明弹性件的一较佳实施例示意图，具有弯折部242的弹性件24由具有不同斜率的一第一弯折段242a、一第二弯折段242b与一第三弯折段242c所组成，因此，此弯折部242为一近似U型的结构，其中，第一弯折段242a与第三弯折段242c可形成一夹角的互补角C4为约30度～90度，而最佳的角度为70度或85度，第二弯折段242b与第三弯折段242c所形成的夹角C5为约90度～170度，而最佳的角度为135度。

图5B是根据本发明弹性件的另一较佳实施例示意图，具有弯折部242的弹性件24是由具有不同斜率的一第一弯折段242a、一第二弯折段242b、一第三弯折段242c以及一第四弯折段242d所组成，因此，此弯折部242为一近似P型的结构，其中，第一弯折段242a与第三弯折段242c可形成一夹角的互补角C4为约30度～90度，而最佳的角度为70度或85度，第二弯折段242b与第三弯折段242c所形成的夹角C5为约90度～170度，而最佳的角度为135度。

因此，将光罩盒置于承载盒下盖体的缓冲定位装置中，并另装设一缓冲定位装置于上盖体中，当承载盒的上盖体盖合于下盖体时，缓冲定位装置可完全包覆于光罩盒的上下方，并可同时在承载盒与光罩盒之间隙中形成一缓冲保护作用，以避免承载盒于运送光罩盒途中所产生的碰撞或是震动，影响存放于光罩盒中的光罩而导致光罩的摩擦或损坏，因此具有较佳的防震与保护效果，并可减少尘粒的产生。

以上所述仅为本发明的较佳实施例，并非用以限定本发明的权利范围；同时以上的描述，对于本领域技术人员应可明了及实施，因此其它未脱离本发明的精神下所完成的等效改变或修饰，均应包含在申请的权利要求范围中。

Claims (9)

1.一种配置于光罩盒的承载盒中的缓冲定位装置，其用以固定光罩盒，其特征在于包含：

一承载结构，由一底部以及与该底部连接并向一纵向方向弯折延伸的复数个翼部所组成；及

复数个弹性件，与该底部连接并向另一相对的纵向弯折以形成复数个具有弯折部的弹性件，且该些弯折部的弹性件形成一共同平面。

2.如权利要求1所述的缓冲定位装置，其特征在于，该承载结构及该复数个弹性件的材质是由下列组合中选出：金属及高分子塑料材料。

3.如权利要求2所述的缓冲定位装置，其特征在于，该承载结构的底部及该翼部由复数个分枝组件所形成。

4.如权利要求1所述的缓冲定位装置，其特征在于，该承载结构及该复数个弹性件为一体形成。

5.一种光罩盒的承载盒，包括一具有第一容置空间的上盖体及一具有第二容置空间的下盖体，且于该下盖体的第二容置空间中配置一缓冲定位装置，一光罩盒配置于该下盖体的缓冲定位装置中，该上盖体与该下盖体盖合后形成一第三容置空间，其中该承载盒的特征在于：

该缓冲定位装置包含一承载结构，由一底部以及与该底部连接并向一纵向方向弯折延伸的复数个翼部所组成，及复数个弹性件，与该底部连接并向另一相对的纵向弯折以形成复数个具有弯折部的弹性件，且该些弯折部的弹性件形成一共同平面，而该共同平面与该下盖体的底面接触。

6.如权利要求5所述的承载盒，其特征在于，该上盖体的容置空间中也配置一个同样的缓冲定位装置。

7.一种光罩盒的承载盒，包括一具有第一容置空间的上盖体及一具有第二容置空间的下盖体，且于该下盖体的第二容置空间中配置一缓冲定位装置，一光罩盒配置于该下盖体的缓冲定位装置中，该上盖体与该下盖体盖合后形成一第三容置空间，其中该承载盒的特征在于：

该缓冲定位装置包含一承载结构，由一第一底部以及与该第一底部连接并向一纵向方向弯折延伸的复数个翼部所组成，及复数个弹性件，由一与该第一底部连接的第二底部及与该第二底部连接并向另一相对的纵向弯折以形成复数个具有弯折部的弹性件所组成，且该些弯折部的弹性件形成一共同平面，而该共同平面与该下盖体的底面接触。

8.如权利要求7所述的承载盒，其特征在于，该缓冲定位装置为一体形成。

9.如权利要求7所述的承载盒，其特征在于由两个该承载结构的第一底部交错组装为一承载结构组，该复数个弹性件的第二底部交错组装为一弹性件组，该承载结构组的第一底部固接于该弹性件组的第二底部上。

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