CN213423696U

CN213423696U - 一种新型定位支撑光罩盒

Info

Publication number: CN213423696U
Application number: CN202022730953.7U
Authority: CN
Inventors: 潘国军
Original assignee: Changzhou Lanli Electric Appliance Technology Co ltd
Current assignee: Changzhou Lanli Electric Appliance Technology Co ltd
Priority date: 2020-11-23
Filing date: 2020-11-23
Publication date: 2021-06-11
Anticipated expiration: 2030-11-23

Abstract

本实用新型涉及光罩盒使用的技术领域，尤其涉及一种新型定位支撑光罩盒；光罩盒主体，为盒体结构，分为上盖体和下盒体两部分；所述上盖体和所述下盒体之间设置有放置腔；掩膜版，设置在所述放置腔内；定位支撑机构，对所述掩膜版进行定位和支撑；所述定位支撑机构包括定位脚和支撑顶；若干所述定位脚一端固定在所述光罩盒主体内；所述支撑顶的顶部设置有相互连接的支撑面和限位面；所述支撑面和所述限位面均为弧形结构；所述限位面与所述支撑面连接处存在高度差；所述托槽结构对所述掩膜版的棱边进行支撑。本实用新型的目的就是针对现有技术中存在的缺陷提供一种新型定位支撑光罩盒，更好的保护掩膜版不受摩擦带来的静电及颗粒的影响。

Description

一种新型定位支撑光罩盒

技术领域

本实用新型涉及光罩盒使用的技术领域，尤其涉及一种新型定位支撑光罩盒。

背景技术

近年来电子产品不断朝向轻薄短小、高频、高效能等特性发展，而欲满足这个产品发展的方向，用于电子产品中的核心半导体元件或液晶显示元件的芯片就需微小化与具有高效能，而欲使芯片微小化与具高效能，则需使芯片上的集成电路线径微细化。芯片上集成电路线径的微细化的成败主要在于半导体工艺中的黄光微影工艺技术，其关键设备是在于光罩（photo mask）。在半导体应用中，将设计好的线路制作成具有特定形状可透光的的光罩，然后利用曝光原理，则光源通过光罩投影至硅圆即可曝光显示特定图案。

由于光罩在作业环境中，存在有不少的微粒、水气、气体、化学溶剂分子等有害物质，这些有害物质会附着于光罩表面，且在经长时间储存或晶圆曝光工艺的加热后，会于光罩表面产生微粒附着、结晶、又或雾化等现象，而直接影响到光罩在黄光微影工艺中的透光率，进而使光罩上的图形失真，其会造成半导体元件或液晶显示元件良率降低，且增加清理与改善的时间，造成生产量降低，相对上也会提高营运的成本。因此在光罩存储及运输中，光罩盒是一种重要载具，其可以有效防止光罩被污染。

而现有技术中，光罩盒放置的掩膜版在使用是常常会和支撑掩膜版的支撑件发生摩擦，导致掩膜版上产生压痕，并产生微小颗粒，影响掩模版的使用。

鉴于上述问题，本设计人基于从事此类产品工程应用多年丰富的实务经验及专业知识，并配合学理的运用，积极加以研究创新，以期设计新型定位支撑光罩盒，更好的保护掩膜版不受摩擦带来的静电及颗粒的影响。

实用新型内容

本实用新型的目的就是针对现有技术中存在的缺陷提供一种新型定位支撑光罩盒，采用支撑面和限位面配合，对掩膜版进行缓冲支撑，减少了与掩膜版的接触面积，更好的保护掩膜版不受摩擦带来的静电及颗粒的影响。

为了达到上述目的，本实用新型所采用的技术方案是：

包括：

光罩盒主体，为盒体结构，分为上盖体和下盒体两部分；所述上盖体和所述下盒体之间设置有放置腔；

掩膜版，设置在所述放置腔内；

定位支撑机构，设置在所述放置腔内的各个角落处，与所述掩膜版相配合，对所述掩膜版进行定位和支撑；

所述定位支撑机构包括定位脚和支撑顶；若干所述定位脚一端固定在所述光罩盒主体内，一端与所述支撑顶连接；所述支撑顶的顶部设置有相互连接的支撑面和限位面；所述支撑面和所述限位面均为弧形结构；所述限位面与所述支撑面连接处存在高度差，由所述支撑面的顶部和所述限位面的底部形成托槽结构；所述托槽结构对所述掩膜版的棱边进行支撑，用于防止与所述掩膜版的下表面接触。

进一步地，所述支撑顶上设置有若干减重孔；所述减重孔用于减轻所述支撑顶的重量，保证所述定位支撑机构（3）的弯曲、弹性模量。

进一步地，所述放置腔内设置有若干隔板；所述隔板设置在所述定位支撑机构的两侧，对所述定位支撑机构进行限位。

进一步地，若干所述隔板之间平行或垂直设置。

进一步地，所述上盖体和所述下盒体通过铰接结构连接。

进一步地，所述上盖体和所述下盒体外侧设置有锁结构。

进一步地，所述支撑面的弧线结构为半圆弧。

进一步地，所述限位面的弧线结构为半圆弧。

通过本实用新型的技术方案，可实现以下技术效果：

采用支撑面和限位面配合，对掩膜版进行缓冲支撑，减少了与掩膜版的接触面积，更好的保护掩膜版不受摩擦带来的静电及颗粒的影响。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例中新型定位支撑光罩盒的结构示意图；

图2为本实用新型实施例中新型定位支撑光罩盒的定位支撑机构示意图；

图3为本实用新型实施例中新型定位支撑光罩盒的定位支撑机构安装后位置图；

附图标记：光罩盒主体1、掩膜版2、定位支撑机构3、放置腔11、隔板12、锁结构13、铰接结构14、定位脚31、支撑顶32、支撑面321、减重孔322和限位面323。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，属于“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或者位置关系为基于附图所示的方位或者位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

一种新型定位支撑光罩盒，如图1~3所示，

包括：

光罩盒主体1，为盒体结构，分为上盖体和下盒体两部分；所述上盖体和所述下盒体之间设置有放置腔11；

掩膜版2，设置在所述放置腔11内；

定位支撑机构3，设置在所述放置腔11内的各个角落处，与所述掩膜版2相配合，对所述掩膜版2进行定位和支撑；

所述定位支撑机构3包括定位脚31和支撑顶32；若干所述定位脚31一端固定在所述光罩盒主体1内，一端与所述支撑顶32连接；所述支撑顶32的顶部设置有相互连接的支撑面321和限位面323；所述支撑面321和所述限位面323均为弧形结构；所述限位面323与所述支撑面321连接处存在高度差，由所述支撑面321的顶部和所述限位面323的底部形成托槽结构；所述托槽结构对所述掩膜版2的棱边进行支撑，用于防止与所述掩膜版2的下表面接触。

具体的，支撑面321的顶部和限位面323的底部形成托槽结构，对掩膜版2的棱边进行支撑，因为支撑面321和限位面323均为弧形，所以托槽与掩膜版2为线接触，卡住棱边，实现固定的同时，与掩膜版2的下表面接触实现零接触，不会产生压痕，提高实用性。

具体的，定位支撑机构3可以采用ESD材料，避免定位支撑机构3与掩膜版2接触时产生静电，同时材料本身无小分子析出，根据材料的弯曲模量与弹性模量分析，合理设计好产品的尺寸，可以缓冲外部冲击力，有效保护掩膜版2；同时定位支撑机构3设置为定位脚31和支撑顶32，结构简单，便于对黏附的颗粒进行清洗。

具体的，定位支撑机构3在上盖体和下盒体分别等量设置，且上下错位配合，保证掩膜版2在光罩盒主体1的稳定性，不会随着光罩盒主体1的晃动而与光罩盒主体1产生相对位移，提高安全性。

作为上述实施例的优选，如图1~3所示，所述支撑顶32上设置有若干减重孔322；所述减重孔322用于减轻所述支撑顶32的重量，保证所述定位支撑机构3的弯曲、弹性模量。

具体的，在支撑顶32上设置有若干减重孔322，节省材料的同时，减轻了支撑顶32的重量，减小定位脚31的使用压力；保证定位支撑机构3具有一定的弯曲、弹性模量。

作为上述实施例的优选，如图1~3所示，所述放置腔11内设置有若干隔板12；所述隔板12设置在所述定位支撑机构3的两侧，对所述定位支撑机构3进行限位。

作为上述实施例的优选，如图1~3所示，若干所述隔板12之间平行或垂直设置。

作为上述实施例的优选，如图1~3所示，所述上盖体和所述下盒体通过铰接结构14连接。

作为上述实施例的优选，如图1~3所示，所述上盖体和所述下盒体外侧设置有锁结构13。

作为上述实施例的优选，如图1~3所示，所述支撑面321的弧线结构为半圆弧。

作为上述实施例的优选，如图1~3所示，所述限位面323的弧线结构为半圆弧。

具体的，支撑面321和限位面323均采用半圆弧设计，使掩膜版2具有合适的缓冲力，掩膜版2放置于两个圆弧的夹角即托槽内，与掩膜版2的表面接触很小，避免在掩膜版2上有压痕的产生，并有效的支撑，保证掩膜版2左右固定；光罩盒的上盖体与下盒体可以分别各使用4个定位支撑机构3，做到上下交叉固定掩膜版2，保持掩膜版2不晃动，可有效避免外力的冲击对掩膜版2造成的伤害。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征及优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims

1.一种新型定位支撑光罩盒，其特征在于，包括：

光罩盒主体（1），为盒体结构，分为上盖体和下盒体两部分；所述上盖体和所述下盒体之间设置有放置腔（11）；

掩膜版（2），设置在所述放置腔（11）内；

定位支撑机构（3），设置在所述放置腔（11）内的各个角落处，与所述掩膜版（2）相配合，对所述掩膜版（2）进行定位和支撑；

所述定位支撑机构（3）包括定位脚（31）和支撑顶（32）；若干所述定位脚（31）一端固定在所述光罩盒主体（1）内，一端与所述支撑顶（32）连接；所述支撑顶（32）的顶部设置有相互连接的支撑面（321）和限位面（323）；所述支撑面（321）和所述限位面（323）均为弧形结构；所述限位面（323）与所述支撑面（321）连接处存在高度差，由所述支撑面（321）的顶部和所述限位面（323）的底部形成托槽结构；所述托槽结构对所述掩膜版（2）的棱边进行支撑，用于防止与所述掩膜版（2）的下表面接触。

2.根据权利要求1所述的新型定位支撑光罩盒，其特征在于，所述支撑顶（32）上设置有若干减重孔（322）；所述减重孔（322）用于减轻所述支撑顶（32）的重量，保证所述定位支撑机构（3）的弯曲、弹性模量。

3.根据权利要求1所述的新型定位支撑光罩盒，其特征在于，所述放置腔（11）内设置有若干隔板（12）；所述隔板（12）设置在所述定位支撑机构（3）的两侧，对所述定位支撑机构（3）进行限位。

4.根据权利要求3所述的新型定位支撑光罩盒，其特征在于，若干所述隔板（12）之间平行或垂直设置。

5.根据权利要求1所述的新型定位支撑光罩盒，其特征在于，所述上盖体和所述下盒体通过铰接结构（14）连接。

6.根据权利要求1所述的新型定位支撑光罩盒，其特征在于，所述上盖体和所述下盒体外侧设置有锁结构（13）。

7.根据权利要求1所述的新型定位支撑光罩盒，其特征在于，所述支撑面（321）的弧线结构为半圆弧。

8.根据权利要求1所述的新型定位支撑光罩盒，其特征在于，所述限位面（323）的弧线结构为半圆弧。