JP4128171B2 - マスク固定装置、及びそれを用いた露光装置 - Google Patents
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Description
また、別途の支持部材なしに大面積のマスクを固定することによって、光の屈折を防止し、パターニングの精密度を向上させることができるマスク固定装置、及びそれを用いた露光装置を提供することを目的とする。
図2は、本発明の実施例の露光装置の断面図である。図2に示しているように、本実施例の露光装置は、光を照射する光源10、光源10の下部に配置され、所定のパターンが形成されているマスク18を、固定するためのマスク固定装置12、及びマスク18を通過した光によって所定のパターンが形成される液晶表示装置用ディスプレイ基板20を置く積置台25を含む。
上述したようにマスク18は、別途の支持部材を使用することなく、真空によってしっかりと固定される。別途の支持部材を使わないので、支持部材によって発生する光の屈折を防止することができる。
3 パターン
4 バー
5、18 マスク
8、20 基板
9 積置台
11 固定ジグ
12、42、52、62 固定装置
14、34、44、54、64 吸着ガラス
15、37、47 溝
16、36、46、57、67 吸着パッド
21 カラーフィルター基板
22 TFT基板
23 シール材
24 液晶
25 ディバイス
28、38、48、58 真空孔
30 空間
70 ロボット
Claims (7)
- 少なくとも一つの真空孔が備えられた吸着ガラス、
所定のパターンを有し、前記吸着ガラスの底面に付着されるマスク、及び
前記吸着ガラスと前記マスクとの間に所定の空間を形成するための吸着パッド、
を含むマスク固定装置であって、
前記吸着ガラスの底面に、前記真空孔に連結される対角線方向の溝が形成されており、
前記真空孔を通じて前記空間の内部の空気を外部に排出させることによって、前記マスクを前記吸着ガラスにしっかりと固定させることを特徴とするマスク固定装置。 - 前記吸着ガラスは、石英、ガラス、ソーダライムのいずれか一つの物質から形成されることを特徴とする請求項1に記載のマスク固定装置。
- 前記吸着ガラスの底面に、前記真空孔に連結される横及び縦方向の溝が形成されていることを特徴とする請求項1に記載のマスク固定装置。
- 前記吸着ガラス及び前記吸着パッドは、紫外線透過性物質から形成されることを特徴とする請求項1に記載のマスク固定装置。
- 前記吸着パッドは、前記吸着ガラスの底面に、横及び縦方向に付着されることを特徴とする請求項1に記載のマスク固定装置。
- ディスプレイ基板が置かれる積置台、
前記積置台の上部に脱着可能に配置され、少なくとも一つの真空孔を備え、前記真空孔を通じて真空ラインに連結された吸着ガラス、
前記吸着ガラスを支持する固定ジグ、及び
前記吸着ガラスの上部に配置される光源、
を含む露光装置であって、
前記吸着ガラスの底面に、前記真空孔に連結される対角線方向の溝が形成されており、
マスクが前記吸着ガラスの下部に配置されたとき、前記真空ラインを通じて発生された真空によって、前記吸着ガラスに前記マスクをしっかりと固定することを特徴とする露光装置。 - 前記吸着ガラスと前記マスクとの間に所定の空間を形成するために前記吸着ガラスに付着された、吸着パッドをさらに含むことを特徴とする請求項6に記載の露光装置。
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