KR200141130Y1 - 마스크 검사기의 마스크 흡착장치 - Google Patents

Abstract

본 고안은 마스크 검사기의 마스크 흡착장치에 관한 것으로서, 좀더 구체적으로는 마스크의 불량유무를 감지하기 위해 상기 마스크를 흡착하는 마스크 홀더 및 상기 마스크 홀더를 고정시키는 마스크 검사기에 구비된 마스크 흡착장치의 구조를 개선하여 상기 마스크 흡착장치의 부품손상을 방지함은 물론 고정작업이 원활하도록 한 마스크 흡착장치에 관한 것이다.

이를 위해, 마스크(1)를 흡착하기 위해 복수개의 흡착공(2a)이 형성되고, 상기 흡착공을 통하여 흡착하기 위해 복수개의 진공라인(3c)이 형성되며, 상기 진공라인에 연통되어 외부에 노출되도록 연통공(2d)이 형성된 마스크 홀더(2)와, 상기 마스크 홀더를 지지하는 마운트(3)와, 상기 마운트에 지지된 마스크 홀더(2)를 고정하도록 끼움편(7), 밀편(9), 회전봉(10)으로 구성된 마스크 홀더 고정수단과, 흡입력을 발생시키는 진공기(13)와, 상기 진공기에서 발생된 흡입력을 연통공(2d)으로 전달하는 진공관(12)으로 구성된 것에 있어서, 마스크 홀더(2)에 형성된 연통공(2d)이 마스크 홀더 고정수단을 구성하는 밀편(9)을 향하도록 하고, 상기 밀편에는 밀편(9)의 이동시 연통공(2d)의 입구와 선택적으로 접촉되도록 진공홀(14)을 형성하며, 진공기(13)의 흡입력을 전달하는 진공관(12)을 상기 진공홀(14)에 연결하여서 된 것이다.

Description

마스크 검사기의 마스크 흡착장치

본 고안은 마스크 검사기의 마스크 흡착장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 마스크의 불량유무를 감지하기 위해 상기 마스크를 흡착하는 마스크 롤러 및 상기 마스크 롤러를 고정시키는 마스크 검사기에 구비된 마스크 흡착장치의 구조를 개선하여 상기 마스크 흡착장치의 부품손상을 방지함은 물론 고정작업이 원활하도록 한 마스크 흡착장치에 관한 것이다.

일반적으로 마스크 검사기는 웨이퍼에 패턴을 형성하기 위해 사용되는 마스크의 불량유무를 검사하도록 한 반도체 장비로서 이와 같은 장비의 종래 구성의 보면 첨부된 제1도 내지 제3도와 같다.

제1도는 종래 마스크 흡착장치를 나타낸 분해 사시도이고, 제2도는 제1도의 결합상태를 나타낸 평면도이며, 제3도는 제2도의 A부를 확대하여 나타낸 일부 종단면도로서, 마스크 흡착장치는 크게 마스크(1)를 흡착하기 위한 마스크 홀더(2)와, 상기 마스크 롤러를 고정시키는 장치 및 마스크 롤러에 흡착된 마스크(1)를 검사하는 장치가 내장된 마운트(3)로 나눌 수 있다.

이중 상기 마스크 홀더(2)는 마스크 롤러의 상부면에 복수개 형성되어 마스크(1)를 흡착하기 위한 흡착공(2a)과, 상기 흡착공의 내측으로 형성되어 마스크(1)를 검사할 수 있도록 한 홀(2b)과, 상기 흡착공(2a)을 통하여 마스크(1)를 흡착할 수 있도록 내부에 복수개 형성된 진공라인(2c)과, 상기 진공라인에 연통되어 외부에 노출된 연통공(2d)과, 상기 연통공에 연결된 다음 다시 마스크 홀더(2)의 타단에 연통되게 결합된 진공호스(4)와, 상기 진공호스와 연통되어 형성된 끼움공(2e)에 착탈가능하게 결합되어 외부의 흡입력을 전달하는 연결단자(5)와, 상기 마스크 홀더(2)의 일측에 복수개 형성되어 마스크 롤러를 마운트(3)에 고정시키도록 한 끼움홈(2f)과, 상기 마스크 홀더(2)의 일측에 형성되어 마스크 롤러의 종류를 감지하도록 한 복수개의 센싱홀(2g)과, 상기 센싱홀의 타단에 형성되어 마스크 홀더(2)의 이동이 수월하도록 한 롤러 손잡이(6)로 구성되어 있다.

그리고, 상기 마스크 홀더(2)를 고정시키기 위한 마운트(3)의 구성을 보면 마스크(1)를 검사하기 위해 각종 장치(도시는 생략함)가 내장되어 이 장치들이 상부로 노출되도록 한 통공(3a)과, 상기 통공의 일측에 형성되어 마스크 홀더(2)의 끼움홈(2f)이 끼워지도록 한 한쌍의 끼움편(7)과, 상기 끼움편 가까이 설치되어 끼움편(7)에 끼워지는 끼움홈(2f)의 내측면이 안내되도록 한 한쌍의 롤러(8)와, 상기 마운트(3)의 일단에 설치되어 한쌍의 끼움편(7) 및 롤러(8)에 마스크 홀더(2)의 끼움홈(2f)이 끼워질 때 상기 마스크 홀더(2)를 롤러(8)의 안내를 받아 일측으로 이동시켜 고정시키기 위한 밀편(9)과, 상기 밀편에 축 결합되어 밀편(9)을 일측으로 이동시키기 위한 손잡이(10a)가 형성된 회전봉(10)과, 상기 마운트(3)의 일측 상부면에 설치되어 마스크 홀더(2)의 종류에 따라 연결단자(5)를 상기 마스크 홀더(2)로부터 빼어내 고정시키기 위한 단자고정대(11)와, 상기 단자고정대 일측에 설치되어 연결단자(5)와 연결되도록 하며 외부로 흡입력을 전달하도록 한 진공관(12)과, 상기 진공관에 연결되어 흡입력을 발생시키는 진공기(13)로 구성되어 있다.

한편, 상기 구성중 밀편(9) 및 마스크 홀더(2)의 일단을 제3도에 도시한 바와 같이 경사지도록 형성하였는데, 이는 밀편(9)이 마스크 홀더(2)를 고정시킬 때 상기 경사면에 의해 마스크 롤러가 마운트(3)의 상부면에 더욱 밀착되도록 하기 위함이다.

이와 같이 구성된 종래의 작용을 설명하면 후술하는 바와 같다.

먼저, 마스크 홀더(2)는 상기 마스크 롤러를 마운드(3)에 로딩시 오토로더(Auto Loader)(도시는 생략함)의 사용여부에 따라 자동용과 수동용 및 더블용으로 절환되어 사용될 수 있는데, 이하 설명에는 자동용의 마스크 흡착과정과 자동용에서 수동용으로 절환하는 과정만 설명하기로 한다.

마스크 홀더(2)를 자동용으로 사용할 때는 연결단자(5)를 마스크 홀더(2)의 끼움공(2e)에 끼운 다음 상기 마스크 홀더(2)를 롤러 손잡이(6)를 이용해 오토로더에 장착하여 마운트(3) 상부로 자동 이송되도록 한다.

이와 같은 마운트 상부에 위치된 마스크 홀더(2)를 오토로더에 의해 계속 하강시키면 상기 마스크 롤러에 형성된 한쌍의 끼움홈(2f)이 마운트(3) 상부에 설치된 한쌍의 끼움편(7) 및 롤러(8)에 끼워지는데, 이때 끼움홈(2f)의 폭은 제2도에 도시한 바와 같이 끼움편(7) 및 마스크 홀더(2)의 폭보다 넓은 상태이다.

이와 같은 상태에서 회전봉(10)의 손잡이(10a)를 작업자가 손으로 잡은 다음 제2도 및 제3도에 도시한 화살표 및 일점쇄선과 같이 회동시키면 회전봉(10)과 연결된 밀편(9)이 일측으로 이동된다.

그리고 상기 밀편은 계속 이동하다가 밀편(9)의 경사면이 마스크 홀더(2)의 경사면에 접촉됨과 동시에 상기 밀편(9)이 마스크 홀더(2)를 제2도 및 제3도에 도시한 화살표 및 일점쇄선과 같이 일측으로 이동시키는데, 이때 상기 마스크 홀더(2)는 끼움홈(2f) 내에 위치된 롤러(8)의 안내를 받아 이동됨과 동시에 연결단자(5)가 진공관(12)에 끼워지게 된다.

이와 같이 마운트(3) 상에 마스크 홀더(2)가 고정되면 마운트(3)의 일측에 설치된 센서(도시는 생략함)를 작동시켜 마스크 홀더(2)의 센싱홀(2g)을 감지한다.

그리고, 이 감지된 신호에 의해 마스크 홀더(2)의 유무를 인식한 다음 오토로더를 이용하여 마스크(1)를 마스크 홀더(2)의 홀(2b) 상부면과 복수개의 흡착공(2a) 상부에 안착시킨다.

상기와 같이 마스크 홀더(2)상에 마스크(1)가 안착되면 진공기(13)를 가동시켜 흡입력을 발생시키는데, 이때 발생된 흡입력은 진공관(12)을 거쳐 연결단자(5) → 진공호스(4) → 연통공(2d) → 진공라인(2c)을 거친다음 흡착공(2a)을 거쳐 마스크(1)를 흡착시키게 되고, 이 마스크를 검사하기 위한 마스크 흡착 작업이 완료되게 된다.

그리고 상기 마스크(1)에 대한 불량 유무 및 패턴 등 기타 사항의 검사는 마운트(3)의 통공(3a)내에 형성된 검사장치를 이용하여 실시하면 된다.

한편, 상기와 같이 오토로더를 이용하지 않고 수동으로 마스크 홀더(2)를 마운트(3)상에 장착시킬때는 마스크(1)를 흡착하기 위한 진공이 필요치 않은데, 이는 상기 마스크를 고정시키기 위한 고정장치(도시는 생략함)가 마운트(3)의 일측에 설치되어 있어 이 고정장치에 의해 상기 마스크(1)를 고정시키기 때문이다.

이와 같이, 상기 마스크 홀더(2)에는 진공이 필요치 않으므로 연결단자(5)를 마스크 홀더(2)의 끼움공(2e)으로부터 빼내어 마운트(3)에 설치된 단자고정대(11)에 끼운다음 상술한 바와 같은 고정작업을 하면 되는데, 상기 고정작업중 마스크(1)를 마스크 홀더(2)상에 안착시키는 과정은 사람의 수작업으로 하게 되어 있어 이 부분만 자동용과 틀린 부분이다.

그러나, 상술한 바와 같이 종래에는 마스크 롤러를 자동용으로 사용하기 위해서는 연결단자를 끼움공에 끼운다음 사용하여야 되고 수동용으로 사용할 때는 상기 마스크 롤러에 끼워진 연결단자를 빼낸 다음 단자고정대에 끼워 사용하므로 번거로울 뿐만 아니라 이와 같은 작업을 자주 했을 경우에는 연결단자의 끼움공측이 헐거워지거나 파손되어 외부의 공기가 유입되는 등 마스크를 흡착하기 위한 흡착력이 약해지는 문제점이 있었음은 물론 연결단자의 끼움공 부위가 마모되어 마스크 롤러를 새것으로 교체해야 하는 추가비용이 들게 되었으며, 이로 인한 장비의 가동율이 저하되는 제반 문제점이 있었다.

본 고안은 종래의 이와 같은 제반 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 마스크 흡착장치에 의한 마스크의 흡착시 마스크 롤러의 손상을 방지함은 물론 마스크 롤러를 마운트에 고정시키는 고정작업이 수월하도록 하는데 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 고안의 형태에 따르면, 마스크를 흡착하기 위해 복수개의 흡착공이 형성되고, 상기 흡착공을 통하여 흡착하기 위해 복수개의 진공라인이 형성되며 상기 진공라인에 연통되어 외부에 노출되도록 연통공이 형성된 마스크 롤러와, 상기 마스크 롤러를 지지하는 마운트와, 상기 마운트에 지지된 마스크 롤러를 고정하도록 끼움편, 밀편, 회전봉으로 구성된 마스크 롤러 고정수단과, 흡입력을 발생시키는 진공기와, 상기 진공기에서 발생된 흡입력을 연통공으로 전달하는 진공관으로 구성된 것에 있어서, 마스크 롤러에 형성된 연통공이 마스크 롤러 고정수단을 구성하는 밀편을 향하도록 하고, 상기 밀편에는 밀편의 이동시 연통공의 입구와 선택적으로 접촉되도록 진공홀을 형성하며, 진공기의 흡입력을 전달하는 진공관을 상기 진공홀에 연결하여서 됨을 특징으로 하는 마스크 검사기의 마스크 흡착장치가 제공된다.

제1도는 종래 마스크 흡착장치를 나타낸 분해사시도.

제2도는 제1도의 결합상태를 나타낸 평면도.

제3도는 제2도의 A부를 확대하여 나타낸 일부 종단면도.

제4도는 본 고안 마스크 흡착장치를 나타낸 분해사시도.

제5도는 제4도의 결합상태를 나타낸 평면도.

제6도는 제5도의 B부를 확대하여 나타낸 일부 종단면도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 마스크 2 : 마스크 롤러

2a : 흡착공 2c : 진공라인

2d : 연통공 3 : 마운트

7 : 끼움편 9 : 밀편

10 : 회전봉 12 : 진공관

13 : 진공기 14 : 진공홀

이하, 본 고안을 일실시예로 도시한 첨부된 도면 제4도 내지 제6도를 참고로 하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.

제4도는 본 고안 마스크 흡착장치를 나타낸 분해사시도이고, 제5도는 제4도의 결합상태를 나타낸 평면도이며, 제6도는 제5도의 B부를 확대하여 나타낸 일부 종단면도로서, 본 고안의 구성중 종래의 구성과 동일한 부분은 그 설명을 생략하고 동일 부호를 부여하기로 한다.

본 고안은 마스크 홀더(2)에 형성되는 연통공(2d)을 마스크 홀더(2)의 밀편(9)과 대향되는 위치에 형성하고, 상기 밀편(9)내에는 밀편의 이동시 마스크 홀더(2)의 연통공(2d)의 입구와 선택적으로 접촉되도록 진공홀(14)을 형성하며, 상기 진공홀에는 진공기(13)의 흡입력을 전달하도록 진공관(12)을 연결하고, 상기 진공관에는 제어부(도시는 생략함)의 제어 신호를 받아 상기 진공관(12)을 선택적으로 개폐시키도록 제어밸브(15)를 설치한 것이다.

이와 같이 구성된 본 고안의 작용을 설명하면 다음과 같은데, 종래에 설명된 부분과 본 고안에서 설명되리 부분 중 동일한 부분은 이해 가능하리라 생각되어 이하 설명을 생략하기로 한다.

본 고안의 마스크 홀더(2)가 오토로더에 의해 마운트(3)상에 안착된 상태이며 마스크(1)가 흡착공(2a)에 안착된 상태임은 물론 한쌍의 끼움편(7) 및 롤러(8)에 끼움홈(2f)이 끼워진 상태에서 작업자가 회전봉(10)의 손잡이(10a)를 잡고 제5도 및 제6도에 도시한 화살표 및 일점쇄선과 같이 회동시키면 상기 회전봉(10)과 연결된 밀편(9)이 일측으로 이동하여 상기 밀편의 진공홀(14)이 제6도에 도시한 바와 같이 마스크 홀더(2)의 연통공(2d)과 연통되는데, 이때 제어부에 의해 제어밸브(16)를 개방시킴과 동시에 진공기(13)를 작동시켜 진공관(12)을 통해 흡입력을 발생시킨다.

이와 같이 발생된 흡입력은 진공기(13) → 제어밸브(15) → 진공관(12) → 진공홀(14) → 진공라인(2c)을 거쳐 복수개의 흡착공(2a)을 통해 홀(2b)의 상부에 안착된 마스크(1)를 흡착하게 된다.

한편, 상기 마스크 홀더(2)를 자동용으로 사용할 때는 제어밸브(15)를 개방시키고, 수동용으로 사용할 때는 상기 제어밸브를 폐쇄시켜 사용하면 된다.

이상에서와 같이, 본 고안은 밀편에 마스크 롤러를 고정함과 동시에 상기 밀편의 진공홀과 마스크 롤러의 연통공이 연통되므로 진공을 공급하기 위한 작업이 수월할 뿐만 아니라 연결단자 같은 부품이 필요치 않게 되므로 마스크 롤러의 손상이 방지됨은 물론 부품이 감소되므로 원가가 상승되고 작업성이 향상되는 매우 유용한 효과가 있다.

Claims (2)

1. 마스크를 흡착하기 위해 복수개의 흡착공이 형성되고, 상기 흡착공을 통하여 흡착하기 위해 복수개의 진공라인이 형성되며 상기 진공라인에 연통되어 외부에 노출되도록 연통공이 형성된 마스크 롤러와, 상기 마스크 롤러를 지지하는 마운트와, 상기 마운트에 지지된 마스크 롤러를 고정하도록 끼움편, 밀편, 회전봉으로 구성된 마스크 롤러 고정수단과, 흡입력을 발생시키는 진공기와, 상기 진공기에서 발생된 흡입력을 연통공으로 전달하는 진공관으로 구성된 것에 있어서, 마스크 롤러에 형성된 연통공이 마스크 롤러 고정수단을 구성하는 밀편을 향하도록 하고, 상기 밀편에는 밀편의 이동시 연통공의 입구와 선택적으로 접촉되도록 진공홀을 형성하며, 진공기의 흡입력을 전달하는 진공관을 상기 진공홀에 연결하여서 됨을 특징으로 하는 마스크 검사기의 마스크 흡착장치.
2. 제1항에 있어서, 진공관상에 제어부의 제어신호를 받아 상기 진공관을 선택적으로 개폐시키도록 제어밸브를 설치하여서 됨을 특징으로 하는 마스크 검사기의 마스크 흡착장치.