KR200141130Y1 - A mask holding apparatus for mask testing apparatus - Google Patents
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Abstract
본 고안은 마스크 검사기의 마스크 흡착장치에 관한 것으로서, 좀더 구체적으로는 마스크의 불량유무를 감지하기 위해 상기 마스크를 흡착하는 마스크 홀더 및 상기 마스크 홀더를 고정시키는 마스크 검사기에 구비된 마스크 흡착장치의 구조를 개선하여 상기 마스크 흡착장치의 부품손상을 방지함은 물론 고정작업이 원활하도록 한 마스크 흡착장치에 관한 것이다.The present invention relates to a mask adsorption device of a mask inspector, and more particularly to a structure of a mask adsorption device provided in a mask inspector for fixing the mask and a mask inspector for fixing the mask holder in order to detect a defect of a mask. The present invention relates to a mask adsorption device which is improved to prevent component damage of the mask adsorption device and to smoothly fix the work.
이를 위해, 마스크(1)를 흡착하기 위해 복수개의 흡착공(2a)이 형성되고, 상기 흡착공을 통하여 흡착하기 위해 복수개의 진공라인(3c)이 형성되며, 상기 진공라인에 연통되어 외부에 노출되도록 연통공(2d)이 형성된 마스크 홀더(2)와, 상기 마스크 홀더를 지지하는 마운트(3)와, 상기 마운트에 지지된 마스크 홀더(2)를 고정하도록 끼움편(7), 밀편(9), 회전봉(10)으로 구성된 마스크 홀더 고정수단과, 흡입력을 발생시키는 진공기(13)와, 상기 진공기에서 발생된 흡입력을 연통공(2d)으로 전달하는 진공관(12)으로 구성된 것에 있어서, 마스크 홀더(2)에 형성된 연통공(2d)이 마스크 홀더 고정수단을 구성하는 밀편(9)을 향하도록 하고, 상기 밀편에는 밀편(9)의 이동시 연통공(2d)의 입구와 선택적으로 접촉되도록 진공홀(14)을 형성하며, 진공기(13)의 흡입력을 전달하는 진공관(12)을 상기 진공홀(14)에 연결하여서 된 것이다.To this end, a plurality of adsorption holes 2a are formed to adsorb the mask 1, and a plurality of vacuum lines 3c are formed to adsorb through the adsorption holes, and are connected to the vacuum lines and exposed to the outside. A mask holder 2 having a communication hole 2d formed therein, a mount 3 supporting the mask holder, and a fitting piece 7 and a pressing piece 9 to fix the mask holder 2 supported by the mount. And a mask holder fixing means composed of a rotating rod 10, a vacuum chamber 13 for generating a suction force, and a vacuum tube 12 for transferring the suction force generated in the vacuum chamber to the communication hole 2d, wherein the mask The communication hole 2d formed in the holder 2 is directed toward the pressing piece 9 constituting the mask holder fixing means, and the pressing piece has a vacuum so as to selectively contact the inlet of the communicating hole 2d during the movement of the pressing piece 9. The hole 14 is formed, and the suction force of the vacuum machine 13 is transmitted. The vacuum tube 12 is connected to the vacuum hole 14.
Description
본 고안은 마스크 검사기의 마스크 흡착장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 마스크의 불량유무를 감지하기 위해 상기 마스크를 흡착하는 마스크 롤러 및 상기 마스크 롤러를 고정시키는 마스크 검사기에 구비된 마스크 흡착장치의 구조를 개선하여 상기 마스크 흡착장치의 부품손상을 방지함은 물론 고정작업이 원활하도록 한 마스크 흡착장치에 관한 것이다.The present invention relates to a mask adsorption device of a mask inspector, and more particularly to a structure of a mask adsorption device provided with a mask roller for adsorbing the mask and a mask inspector for fixing the mask roller to detect a defect of a mask. The present invention relates to a mask adsorption device which is improved to prevent component damage of the mask adsorption device and to smoothly fix the work.
일반적으로 마스크 검사기는 웨이퍼에 패턴을 형성하기 위해 사용되는 마스크의 불량유무를 검사하도록 한 반도체 장비로서 이와 같은 장비의 종래 구성의 보면 첨부된 제1도 내지 제3도와 같다.In general, a mask inspector is a semiconductor device that inspects a defect of a mask used to form a pattern on a wafer, and is the same as FIGS. 1 to 3 attached to the conventional configuration of such a device.
제1도는 종래 마스크 흡착장치를 나타낸 분해 사시도이고, 제2도는 제1도의 결합상태를 나타낸 평면도이며, 제3도는 제2도의 A부를 확대하여 나타낸 일부 종단면도로서, 마스크 흡착장치는 크게 마스크(1)를 흡착하기 위한 마스크 홀더(2)와, 상기 마스크 롤러를 고정시키는 장치 및 마스크 롤러에 흡착된 마스크(1)를 검사하는 장치가 내장된 마운트(3)로 나눌 수 있다.1 is an exploded perspective view showing a conventional mask adsorption device, FIG. 2 is a plan view showing a coupling state of FIG. 1, and FIG. 3 is a partial longitudinal cross-sectional view showing an enlarged portion A of FIG. ) And a mount (3) having a built-in mask holder (2) for adsorbing the mask roller, an apparatus for fixing the mask roller, and a device for inspecting the mask (1) adsorbed on the mask roller.
이중 상기 마스크 홀더(2)는 마스크 롤러의 상부면에 복수개 형성되어 마스크(1)를 흡착하기 위한 흡착공(2a)과, 상기 흡착공의 내측으로 형성되어 마스크(1)를 검사할 수 있도록 한 홀(2b)과, 상기 흡착공(2a)을 통하여 마스크(1)를 흡착할 수 있도록 내부에 복수개 형성된 진공라인(2c)과, 상기 진공라인에 연통되어 외부에 노출된 연통공(2d)과, 상기 연통공에 연결된 다음 다시 마스크 홀더(2)의 타단에 연통되게 결합된 진공호스(4)와, 상기 진공호스와 연통되어 형성된 끼움공(2e)에 착탈가능하게 결합되어 외부의 흡입력을 전달하는 연결단자(5)와, 상기 마스크 홀더(2)의 일측에 복수개 형성되어 마스크 롤러를 마운트(3)에 고정시키도록 한 끼움홈(2f)과, 상기 마스크 홀더(2)의 일측에 형성되어 마스크 롤러의 종류를 감지하도록 한 복수개의 센싱홀(2g)과, 상기 센싱홀의 타단에 형성되어 마스크 홀더(2)의 이동이 수월하도록 한 롤러 손잡이(6)로 구성되어 있다.A plurality of mask holders 2 are formed on the upper surface of the mask roller, and the suction holes 2a for adsorbing the mask 1 and the suction holes 2a are formed inside the suction holes to inspect the mask 1. A plurality of vacuum lines 2c formed therein so as to adsorb the mask 1 through the holes 2b, the suction holes 2a, and communication holes 2d communicating with the vacuum lines and exposed to the outside; And a vacuum hose 4 connected to the communication hole and then connected to the other end of the mask holder 2 again and detachably coupled to the fitting hole 2e formed in communication with the vacuum hose to transfer external suction force. A plurality of connecting terminals 5, a fitting groove 2f formed on one side of the mask holder 2 to fix the mask roller to the mount 3, and one side of the mask holder 2; A plurality of sensing holes (2g) for detecting the type of mask roller, and the It is formed by the roller handle 6 formed at the other end of the sensing hole to facilitate the movement of the mask holder 2.
그리고, 상기 마스크 홀더(2)를 고정시키기 위한 마운트(3)의 구성을 보면 마스크(1)를 검사하기 위해 각종 장치(도시는 생략함)가 내장되어 이 장치들이 상부로 노출되도록 한 통공(3a)과, 상기 통공의 일측에 형성되어 마스크 홀더(2)의 끼움홈(2f)이 끼워지도록 한 한쌍의 끼움편(7)과, 상기 끼움편 가까이 설치되어 끼움편(7)에 끼워지는 끼움홈(2f)의 내측면이 안내되도록 한 한쌍의 롤러(8)와, 상기 마운트(3)의 일단에 설치되어 한쌍의 끼움편(7) 및 롤러(8)에 마스크 홀더(2)의 끼움홈(2f)이 끼워질 때 상기 마스크 홀더(2)를 롤러(8)의 안내를 받아 일측으로 이동시켜 고정시키기 위한 밀편(9)과, 상기 밀편에 축 결합되어 밀편(9)을 일측으로 이동시키기 위한 손잡이(10a)가 형성된 회전봉(10)과, 상기 마운트(3)의 일측 상부면에 설치되어 마스크 홀더(2)의 종류에 따라 연결단자(5)를 상기 마스크 홀더(2)로부터 빼어내 고정시키기 위한 단자고정대(11)와, 상기 단자고정대 일측에 설치되어 연결단자(5)와 연결되도록 하며 외부로 흡입력을 전달하도록 한 진공관(12)과, 상기 진공관에 연결되어 흡입력을 발생시키는 진공기(13)로 구성되어 있다.In addition, in the configuration of the mount 3 for fixing the mask holder 2, various devices (not shown) are built to inspect the mask 1 so that the devices 3 are exposed to the upper part 3a. And a pair of fitting pieces 7 formed on one side of the through hole to allow the fitting grooves 2f of the mask holder 2 to be fitted, and fitting grooves installed near the fitting pieces and fitted to the fitting pieces 7. A pair of rollers 8 so that the inner surface of 2f is guided, and a pair of fitting grooves of the mask holder 2 on the pair of fitting pieces 7 and the rollers 8 are provided at one end of the mount 3 2f) when the mask holder 2 is guided by the roller 8 to move to one side and is fixed to the fitting piece 9, and the shaft piece is coupled to the shaft piece for moving the piece 9 to one side It is installed on the rotating rod 10 having the handle 10a and the upper surface of one side of the mount 3 according to the type of the mask holder 2. D) a terminal fixing stand 11 for extracting and fixing the connecting terminal 5 from the mask holder 2 and a vacuum tube installed at one side of the terminal fixing stand so as to be connected to the connecting terminal 5 and transmitting suction force to the outside; And a vacuum machine 13 connected to the vacuum tube to generate a suction force.
한편, 상기 구성중 밀편(9) 및 마스크 홀더(2)의 일단을 제3도에 도시한 바와 같이 경사지도록 형성하였는데, 이는 밀편(9)이 마스크 홀더(2)를 고정시킬 때 상기 경사면에 의해 마스크 롤러가 마운트(3)의 상부면에 더욱 밀착되도록 하기 위함이다.On the other hand, one end of the piece 9 and the mask holder 2 in the configuration was formed to be inclined as shown in FIG. 3, which is caused by the inclined surface when the piece 9 fixes the mask holder 2. This is for the mask roller to be in close contact with the upper surface of the mount 3.
이와 같이 구성된 종래의 작용을 설명하면 후술하는 바와 같다.The conventional operation configured as described above will be described below.
먼저, 마스크 홀더(2)는 상기 마스크 롤러를 마운드(3)에 로딩시 오토로더(Auto Loader)(도시는 생략함)의 사용여부에 따라 자동용과 수동용 및 더블용으로 절환되어 사용될 수 있는데, 이하 설명에는 자동용의 마스크 흡착과정과 자동용에서 수동용으로 절환하는 과정만 설명하기로 한다.First, the mask holder 2 may be used by switching between automatic and manual and double depending on whether an auto loader (not shown) is used when loading the mask roller onto the mound 3. In the description, only the mask adsorption process for automatic use and the process for switching from automatic use to manual use will be described.
마스크 홀더(2)를 자동용으로 사용할 때는 연결단자(5)를 마스크 홀더(2)의 끼움공(2e)에 끼운 다음 상기 마스크 홀더(2)를 롤러 손잡이(6)를 이용해 오토로더에 장착하여 마운트(3) 상부로 자동 이송되도록 한다.When using the mask holder (2) for automatic use, insert the connector (5) into the fitting hole (2e) of the mask holder (2), and then mount the mask holder (2) to the autoloader using the roller handle (6). (3) Automatic transfer to the upper part.
이와 같은 마운트 상부에 위치된 마스크 홀더(2)를 오토로더에 의해 계속 하강시키면 상기 마스크 롤러에 형성된 한쌍의 끼움홈(2f)이 마운트(3) 상부에 설치된 한쌍의 끼움편(7) 및 롤러(8)에 끼워지는데, 이때 끼움홈(2f)의 폭은 제2도에 도시한 바와 같이 끼움편(7) 및 마스크 홀더(2)의 폭보다 넓은 상태이다.When the mask holder 2 positioned above the mount is continuously lowered by the autoloader, the pair of fitting pieces 7 and the roller 8 provided with the pair of fitting grooves 2f formed on the mask roller are mounted on the mount 3. ), The width of the fitting groove 2f is wider than the width of the fitting piece 7 and the mask holder 2, as shown in FIG.
이와 같은 상태에서 회전봉(10)의 손잡이(10a)를 작업자가 손으로 잡은 다음 제2도 및 제3도에 도시한 화살표 및 일점쇄선과 같이 회동시키면 회전봉(10)과 연결된 밀편(9)이 일측으로 이동된다.In such a state, the worker grasps the handle 10a of the rotating rod 10 by hand, and then rotates it with the arrow and the dashed line shown in FIGS. 2 and 3 to one side of the contact piece 9 connected to the rotating rod 10. Is moved to.
그리고 상기 밀편은 계속 이동하다가 밀편(9)의 경사면이 마스크 홀더(2)의 경사면에 접촉됨과 동시에 상기 밀편(9)이 마스크 홀더(2)를 제2도 및 제3도에 도시한 화살표 및 일점쇄선과 같이 일측으로 이동시키는데, 이때 상기 마스크 홀더(2)는 끼움홈(2f) 내에 위치된 롤러(8)의 안내를 받아 이동됨과 동시에 연결단자(5)가 진공관(12)에 끼워지게 된다.In addition, while the push piece continues to move, the inclined surface of the push piece 9 is in contact with the inclined surface of the mask holder 2 and at the same time, the push piece 9 shows the mask holder 2 as shown in FIGS. 2 and 3. The mask holder 2 is moved by one side as shown by the dotted line, and the mask holder 2 is moved by the guide of the roller 8 located in the fitting groove 2f and the connection terminal 5 is fitted into the vacuum tube 12.
이와 같이 마운트(3) 상에 마스크 홀더(2)가 고정되면 마운트(3)의 일측에 설치된 센서(도시는 생략함)를 작동시켜 마스크 홀더(2)의 센싱홀(2g)을 감지한다.When the mask holder 2 is fixed on the mount 3 as described above, a sensor (not shown) installed on one side of the mount 3 is operated to sense the sensing hole 2g of the mask holder 2.
그리고, 이 감지된 신호에 의해 마스크 홀더(2)의 유무를 인식한 다음 오토로더를 이용하여 마스크(1)를 마스크 홀더(2)의 홀(2b) 상부면과 복수개의 흡착공(2a) 상부에 안착시킨다.After detecting the presence or absence of the mask holder 2 by the detected signal, the mask 1 is placed on the upper surface of the hole 2b of the mask holder 2 and the plurality of adsorption holes 2a by using an autoloader. Settle down.
상기와 같이 마스크 홀더(2)상에 마스크(1)가 안착되면 진공기(13)를 가동시켜 흡입력을 발생시키는데, 이때 발생된 흡입력은 진공관(12)을 거쳐 연결단자(5) → 진공호스(4) → 연통공(2d) → 진공라인(2c)을 거친다음 흡착공(2a)을 거쳐 마스크(1)를 흡착시키게 되고, 이 마스크를 검사하기 위한 마스크 흡착 작업이 완료되게 된다.As described above, when the mask 1 is seated on the mask holder 2, the vacuum machine 13 is operated to generate suction force, and the suction force generated is connected to the connection terminal 5 → vacuum hose via the vacuum tube 12. 4) After passing through the communication hole 2d and the vacuum line 2c, the mask 1 is adsorbed via the adsorption hole 2a, and the mask adsorption work for inspecting the mask is completed.
그리고 상기 마스크(1)에 대한 불량 유무 및 패턴 등 기타 사항의 검사는 마운트(3)의 통공(3a)내에 형성된 검사장치를 이용하여 실시하면 된다.In addition, the inspection of the mask 1 and other matters such as defects and patterns may be performed by using an inspection apparatus formed in the through hole 3a of the mount 3.
한편, 상기와 같이 오토로더를 이용하지 않고 수동으로 마스크 홀더(2)를 마운트(3)상에 장착시킬때는 마스크(1)를 흡착하기 위한 진공이 필요치 않은데, 이는 상기 마스크를 고정시키기 위한 고정장치(도시는 생략함)가 마운트(3)의 일측에 설치되어 있어 이 고정장치에 의해 상기 마스크(1)를 고정시키기 때문이다.On the other hand, when manually mounting the mask holder 2 on the mount (3) without using the autoloader as described above, no vacuum is required to adsorb the mask (1), which is a fixing device for fixing the mask ( (Not shown) is provided on one side of the mount 3 to fix the mask 1 by the fixing device.
이와 같이, 상기 마스크 홀더(2)에는 진공이 필요치 않으므로 연결단자(5)를 마스크 홀더(2)의 끼움공(2e)으로부터 빼내어 마운트(3)에 설치된 단자고정대(11)에 끼운다음 상술한 바와 같은 고정작업을 하면 되는데, 상기 고정작업중 마스크(1)를 마스크 홀더(2)상에 안착시키는 과정은 사람의 수작업으로 하게 되어 있어 이 부분만 자동용과 틀린 부분이다.As described above, since the vacuum is not required for the mask holder 2, the connecting terminal 5 is removed from the fitting hole 2e of the mask holder 2 and inserted into the terminal holder 11 installed in the mount 3. The same fixing operation may be performed. The process of seating the mask 1 on the mask holder 2 during the fixing operation is performed by a human hand.
그러나, 상술한 바와 같이 종래에는 마스크 롤러를 자동용으로 사용하기 위해서는 연결단자를 끼움공에 끼운다음 사용하여야 되고 수동용으로 사용할 때는 상기 마스크 롤러에 끼워진 연결단자를 빼낸 다음 단자고정대에 끼워 사용하므로 번거로울 뿐만 아니라 이와 같은 작업을 자주 했을 경우에는 연결단자의 끼움공측이 헐거워지거나 파손되어 외부의 공기가 유입되는 등 마스크를 흡착하기 위한 흡착력이 약해지는 문제점이 있었음은 물론 연결단자의 끼움공 부위가 마모되어 마스크 롤러를 새것으로 교체해야 하는 추가비용이 들게 되었으며, 이로 인한 장비의 가동율이 저하되는 제반 문제점이 있었다.However, as described above, in order to use the mask roller in the prior art, it is necessary to insert the connecting terminal into the fitting hole and then use it.In the case of the manual use, the connecting terminal inserted into the mask roller is removed and then inserted into the terminal fixing stand. In addition, if such work is frequently performed, there is a problem that the adsorption force for adsorption of the mask is weakened, such as the insertion hole of the connection terminal is loosened or broken, and external air is introduced. There was an additional cost to replace the mask roller with a new one, which caused a problem that the operation rate of the equipment is lowered.
본 고안은 종래의 이와 같은 제반 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 마스크 흡착장치에 의한 마스크의 흡착시 마스크 롤러의 손상을 방지함은 물론 마스크 롤러를 마운트에 고정시키는 고정작업이 수월하도록 하는데 그 목적이 있다.The present invention has been devised to solve such problems in the related art, and prevents damage to the mask roller when the mask is adsorbed by the mask adsorption device, and also facilitates a fixing operation for fixing the mask roller to the mount. There is this.
상기 목적을 달성하기 위한 본 고안의 형태에 따르면, 마스크를 흡착하기 위해 복수개의 흡착공이 형성되고, 상기 흡착공을 통하여 흡착하기 위해 복수개의 진공라인이 형성되며 상기 진공라인에 연통되어 외부에 노출되도록 연통공이 형성된 마스크 롤러와, 상기 마스크 롤러를 지지하는 마운트와, 상기 마운트에 지지된 마스크 롤러를 고정하도록 끼움편, 밀편, 회전봉으로 구성된 마스크 롤러 고정수단과, 흡입력을 발생시키는 진공기와, 상기 진공기에서 발생된 흡입력을 연통공으로 전달하는 진공관으로 구성된 것에 있어서, 마스크 롤러에 형성된 연통공이 마스크 롤러 고정수단을 구성하는 밀편을 향하도록 하고, 상기 밀편에는 밀편의 이동시 연통공의 입구와 선택적으로 접촉되도록 진공홀을 형성하며, 진공기의 흡입력을 전달하는 진공관을 상기 진공홀에 연결하여서 됨을 특징으로 하는 마스크 검사기의 마스크 흡착장치가 제공된다.According to an aspect of the present invention for achieving the above object, a plurality of adsorption holes are formed to adsorb the mask, a plurality of vacuum lines are formed to adsorb through the adsorption holes and communicate with the vacuum line to be exposed to the outside. A mask roller having communication holes formed therein, a mount supporting the mask roller, a mask roller fixing means consisting of a fitting piece, a push piece, and a rotating rod to fix the mask roller supported on the mount, a vacuum generator for generating suction force, and the vacuum machine. In the vacuum tube for transmitting the suction force generated in the communication hole to the communication hole, the communication hole formed in the mask roller is directed toward the wheat pieces constituting the mask roller fixing means, and the wheat pieces are vacuum so as to selectively contact the inlet of the communication hole when the wheat pieces move To form a hole and to transfer the suction force of the vacuum The mask of the mask adsorber checker as claimed hayeoseo group connected to the vacuum holes are provided.
제1도는 종래 마스크 흡착장치를 나타낸 분해사시도.1 is an exploded perspective view showing a conventional mask adsorption device.
제2도는 제1도의 결합상태를 나타낸 평면도.FIG. 2 is a plan view showing the coupled state of FIG.
제3도는 제2도의 A부를 확대하여 나타낸 일부 종단면도.3 is a partial longitudinal cross-sectional view showing an enlarged portion A of FIG.
제4도는 본 고안 마스크 흡착장치를 나타낸 분해사시도.Figure 4 is an exploded perspective view showing a mask adsorption device of the present invention.
제5도는 제4도의 결합상태를 나타낸 평면도.FIG. 5 is a plan view showing a coupled state of FIG.
제6도는 제5도의 B부를 확대하여 나타낸 일부 종단면도.6 is a partial longitudinal cross-sectional view showing an enlarged portion B of FIG.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings
1 : 마스크 2 : 마스크 롤러1: mask 2: mask roller
2a : 흡착공 2c : 진공라인2a: adsorption hole 2c: vacuum line
2d : 연통공 3 : 마운트2d: communicating hole 3: mount
7 : 끼움편 9 : 밀편7: sandwiching 9: wheat
10 : 회전봉 12 : 진공관10: rotating rod 12: vacuum tube
13 : 진공기 14 : 진공홀13: vacuum 14: vacuum hole
이하, 본 고안을 일실시예로 도시한 첨부된 도면 제4도 내지 제6도를 참고로 하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to FIGS. 4 to 6 of the accompanying drawings showing an embodiment as follows.
제4도는 본 고안 마스크 흡착장치를 나타낸 분해사시도이고, 제5도는 제4도의 결합상태를 나타낸 평면도이며, 제6도는 제5도의 B부를 확대하여 나타낸 일부 종단면도로서, 본 고안의 구성중 종래의 구성과 동일한 부분은 그 설명을 생략하고 동일 부호를 부여하기로 한다.Figure 4 is an exploded perspective view showing a mask adsorption device of the present invention, Figure 5 is a plan view showing a coupling state of Figure 4, Figure 6 is a partial longitudinal cross-sectional view showing an enlarged portion B of Figure 5, the conventional configuration of the present invention The same parts as the configuration will be omitted and the same reference numerals will be given.
본 고안은 마스크 홀더(2)에 형성되는 연통공(2d)을 마스크 홀더(2)의 밀편(9)과 대향되는 위치에 형성하고, 상기 밀편(9)내에는 밀편의 이동시 마스크 홀더(2)의 연통공(2d)의 입구와 선택적으로 접촉되도록 진공홀(14)을 형성하며, 상기 진공홀에는 진공기(13)의 흡입력을 전달하도록 진공관(12)을 연결하고, 상기 진공관에는 제어부(도시는 생략함)의 제어 신호를 받아 상기 진공관(12)을 선택적으로 개폐시키도록 제어밸브(15)를 설치한 것이다.According to the present invention, a communication hole 2d formed in the mask holder 2 is formed at a position opposite to the pushing piece 9 of the mask holder 2, and the inside of the pushing piece 9 moves the mask holder 2 when the pushing piece is moved. The vacuum hole 14 is formed to selectively contact the inlet of the communication hole (2d) of the, the vacuum hole 12 is connected to the vacuum hole to transfer the suction force of the vacuum machine 13, the vacuum tube is a control unit (not shown) The control valve 15 is installed to selectively open and close the vacuum tube 12 in response to a control signal of the control unit.
이와 같이 구성된 본 고안의 작용을 설명하면 다음과 같은데, 종래에 설명된 부분과 본 고안에서 설명되리 부분 중 동일한 부분은 이해 가능하리라 생각되어 이하 설명을 생략하기로 한다.Referring to the operation of the present invention configured as described above is as follows, it will be understood that the same parts of the parts described in the prior art and the parts described in the present invention will be understood and will be omitted below.
본 고안의 마스크 홀더(2)가 오토로더에 의해 마운트(3)상에 안착된 상태이며 마스크(1)가 흡착공(2a)에 안착된 상태임은 물론 한쌍의 끼움편(7) 및 롤러(8)에 끼움홈(2f)이 끼워진 상태에서 작업자가 회전봉(10)의 손잡이(10a)를 잡고 제5도 및 제6도에 도시한 화살표 및 일점쇄선과 같이 회동시키면 상기 회전봉(10)과 연결된 밀편(9)이 일측으로 이동하여 상기 밀편의 진공홀(14)이 제6도에 도시한 바와 같이 마스크 홀더(2)의 연통공(2d)과 연통되는데, 이때 제어부에 의해 제어밸브(16)를 개방시킴과 동시에 진공기(13)를 작동시켜 진공관(12)을 통해 흡입력을 발생시킨다.The mask holder 2 of the present invention is seated on the mount 3 by the autoloader, and the mask 1 is seated on the suction hole 2a, as well as a pair of fitting pieces 7 and a roller 8. In the state that the fitting groove (2f) is fitted in the operator grasping the handle (10a) of the rotary rod 10 and rotated as shown by the arrows and one dashed line shown in Figs. (9) moves to one side, and the vacuum hole 14 of the said pressing piece communicates with the communication hole 2d of the mask holder 2 as shown in FIG. 6, At this time, the control valve 16 is opened by the control part. Simultaneously with opening, the vacuum machine 13 is operated to generate suction force through the vacuum tube 12.
이와 같이 발생된 흡입력은 진공기(13) → 제어밸브(15) → 진공관(12) → 진공홀(14) → 진공라인(2c)을 거쳐 복수개의 흡착공(2a)을 통해 홀(2b)의 상부에 안착된 마스크(1)를 흡착하게 된다.The suction force generated in this way is passed through the plurality of suction holes 2a through the vacuum chamber 13, the control valve 15, the vacuum tube 12, the vacuum hole 14, and the vacuum line 2c. The mask 1 seated on the upper side is adsorbed.
한편, 상기 마스크 홀더(2)를 자동용으로 사용할 때는 제어밸브(15)를 개방시키고, 수동용으로 사용할 때는 상기 제어밸브를 폐쇄시켜 사용하면 된다.On the other hand, when the mask holder 2 is used for automatic use, the control valve 15 may be opened, and when used for manual use, the control valve may be closed.
이상에서와 같이, 본 고안은 밀편에 마스크 롤러를 고정함과 동시에 상기 밀편의 진공홀과 마스크 롤러의 연통공이 연통되므로 진공을 공급하기 위한 작업이 수월할 뿐만 아니라 연결단자 같은 부품이 필요치 않게 되므로 마스크 롤러의 손상이 방지됨은 물론 부품이 감소되므로 원가가 상승되고 작업성이 향상되는 매우 유용한 효과가 있다.As described above, the present invention secures the mask roller to the mill piece and at the same time the communication hole of the vacuum hole and the mask roller of the mill piece communicates, so that not only the work for supplying the vacuum is required but also a part such as a connection terminal is not required. The damage of the roller is prevented as well as the parts are reduced, thereby increasing the cost and improving workability.
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