JPH09306970A - ウエハカセット設置装置及びウエハ検査装置 - Google Patents
ウエハカセット設置装置及びウエハ検査装置Info
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- JPH09306970A JPH09306970A JP11621696A JP11621696A JPH09306970A JP H09306970 A JPH09306970 A JP H09306970A JP 11621696 A JP11621696 A JP 11621696A JP 11621696 A JP11621696 A JP 11621696A JP H09306970 A JPH09306970 A JP H09306970A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 オペレータによるウエハカセット設置装置か
らのウエハカセットの出し入れ作業時において、ウエハ
検査装置のセンタロボットのロボットアームが誤動作し
ても、このウエハカセット設置装置へのロボットアーム
の進入を防止できるようにする。 【解決手段】 ウエハカセットを設置する基台と、ウエ
ハカセットをカバーすると共に、一側部にウエハカセッ
トを外部から出し入れするウエハカセット出し入れ口を
設け、他側部をセンタロボットのアームが出入りするよ
う開放したカバーとからなるウエハカセット設置装置に
おいて、このカバーにウエハカセット出し入れ口と他側
部の開放側を交互に開閉する扉を設けた構成にした。
らのウエハカセットの出し入れ作業時において、ウエハ
検査装置のセンタロボットのロボットアームが誤動作し
ても、このウエハカセット設置装置へのロボットアーム
の進入を防止できるようにする。 【解決手段】 ウエハカセットを設置する基台と、ウエ
ハカセットをカバーすると共に、一側部にウエハカセッ
トを外部から出し入れするウエハカセット出し入れ口を
設け、他側部をセンタロボットのアームが出入りするよ
う開放したカバーとからなるウエハカセット設置装置に
おいて、このカバーにウエハカセット出し入れ口と他側
部の開放側を交互に開閉する扉を設けた構成にした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ウエハを用いて半
導体を製造する半導体製造工程に用いられるウエハカセ
ット設置装置及びウエハ検査装置に関するものである。
導体を製造する半導体製造工程に用いられるウエハカセ
ット設置装置及びウエハ検査装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】上記ウエハ検査装置１は図１に示すよう
になっていて、ウエハカセット設置装置２に図２に示す
ようなウエハ３を収納した２つのウエハカセット４ａ，
４ｂがオペレータによって装脱自在にセットされるよう
になっていて、センタロボット５のアームにて一方のウ
エハカセット４ａにセットされているウエハ３を１枚ず
つ取り出して各計測器にセットしたり、検査の終ったウ
エハ３を他のウエハカセット４ｂに戻すようになってい
る。
になっていて、ウエハカセット設置装置２に図２に示す
ようなウエハ３を収納した２つのウエハカセット４ａ，
４ｂがオペレータによって装脱自在にセットされるよう
になっていて、センタロボット５のアームにて一方のウ
エハカセット４ａにセットされているウエハ３を１枚ず
つ取り出して各計測器にセットしたり、検査の終ったウ
エハ３を他のウエハカセット４ｂに戻すようになってい
る。
【０００３】図１に示すウエハ検査装置１では、３次元
計測器６にてウエハ（バンブ）の形状検査、２次元計測
器７にてウエハ上に設けたパターンの検査をそれぞれ行
い、インクマーカ８では上記両計測結果により不良品と
判明したウエハ３にバッドマーキングが行われる。９は
コンソールである。オペレータは上記検査に先立って、
検査前のウエハカセット４ａ（４ｂ）をウエハカセット
設置装置２にセットして装置を稼働し、検査終了後のウ
エハカセット４ｂ（４ａ）を取り出すようにする。
計測器６にてウエハ（バンブ）の形状検査、２次元計測
器７にてウエハ上に設けたパターンの検査をそれぞれ行
い、インクマーカ８では上記両計測結果により不良品と
判明したウエハ３にバッドマーキングが行われる。９は
コンソールである。オペレータは上記検査に先立って、
検査前のウエハカセット４ａ（４ｂ）をウエハカセット
設置装置２にセットして装置を稼働し、検査終了後のウ
エハカセット４ｂ（４ａ）を取り出すようにする。
【０００４】上記センタロボット５は図３に示すように
なっていて、２つのロボットアーム１０ａ，１０ｂを持
つ、いわゆる双腕型のロボットが用いられる。これの各
ロボットアーム１０ａ，１０ｂは、それぞれ、第１・第
２・第３の腕１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂ，１３
ａ，１３ｂの回転によって水平方向に作動し、かつ第１
の腕１１ａ，１１ｂが上下動することにより上下動され
るようになっている。そして上記各ロボットアーム１０
ａ，１０ｂの先端部上面にウエハ３を吸着するチャック
部１４が設けてある。
なっていて、２つのロボットアーム１０ａ，１０ｂを持
つ、いわゆる双腕型のロボットが用いられる。これの各
ロボットアーム１０ａ，１０ｂは、それぞれ、第１・第
２・第３の腕１１ａ，１１ｂ，１２ａ，１２ｂ，１３
ａ，１３ｂの回転によって水平方向に作動し、かつ第１
の腕１１ａ，１１ｂが上下動することにより上下動され
るようになっている。そして上記各ロボットアーム１０
ａ，１０ｂの先端部上面にウエハ３を吸着するチャック
部１４が設けてある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ここで、オペレータが
ウエハカセット４ａ，４ｂを交換する際に、通常インタ
ロックなどの電気的制御によりロボットアーム１０ａ，
１０ｂがウエハカセット設置装置２内に進入することが
ないようにしているが、上記インタロックの故障、ある
いはロボットや制御装置の誤動作により、オペレータが
ウエハカセット４ａ，４ｂを交換している間にロボット
アーム１０ａ，１０ｂがウエハカセット設置装置２内に
進入して、ロボットアーム１０ａ，１０ｂの先端がウエ
ハカセット３ａ，３ｂに衝突してウエハカセット４ａ，
４ｂやこれに収納しているウエハ３を破損してしまうこ
とがあった。また、ウエハカセット設置装置２内にセッ
トされるウエハカセット４ａ，４ｂは、検査装置の稼働
中に外側からホコリ等の異物の侵入を防止するためにカ
バーする必要があった。
ウエハカセット４ａ，４ｂを交換する際に、通常インタ
ロックなどの電気的制御によりロボットアーム１０ａ，
１０ｂがウエハカセット設置装置２内に進入することが
ないようにしているが、上記インタロックの故障、ある
いはロボットや制御装置の誤動作により、オペレータが
ウエハカセット４ａ，４ｂを交換している間にロボット
アーム１０ａ，１０ｂがウエハカセット設置装置２内に
進入して、ロボットアーム１０ａ，１０ｂの先端がウエ
ハカセット３ａ，３ｂに衝突してウエハカセット４ａ，
４ｂやこれに収納しているウエハ３を破損してしまうこ
とがあった。また、ウエハカセット設置装置２内にセッ
トされるウエハカセット４ａ，４ｂは、検査装置の稼働
中に外側からホコリ等の異物の侵入を防止するためにカ
バーする必要があった。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は上記従来の技術
における問題を解決できるようにしたウエハ検査装置に
おけるウエハカセット設置装置を提供することを目的と
するもので、その構成は、ウエハカセットを設置する基
台と、ウエハカセットをカバーすると共に、一側部にウ
エハカセットを外部から出し入れするウエハカセット出
し入れ口を設け、他側部をセンタロボットのアームが出
入りするよう開放したカバーとからなるウエハカセット
設置装置において、このカバーにウエハカセット出し入
れ口と他側部の開放側を交互に開閉する扉を設けた構成
となっている。
における問題を解決できるようにしたウエハ検査装置に
おけるウエハカセット設置装置を提供することを目的と
するもので、その構成は、ウエハカセットを設置する基
台と、ウエハカセットをカバーすると共に、一側部にウ
エハカセットを外部から出し入れするウエハカセット出
し入れ口を設け、他側部をセンタロボットのアームが出
入りするよう開放したカバーとからなるウエハカセット
設置装置において、このカバーにウエハカセット出し入
れ口と他側部の開放側を交互に開閉する扉を設けた構成
となっている。
【０００７】また、上記ウエハ検査装置は、ウエハの表
面の３次元形状を検査する３次元計測器と、２次元形状
を検査する２次元計測器を有し、これらの計測器に対し
てウエハカセット設置装置にセットされたウエハカセッ
トよりセンタロボットのアームにてウエハを出し入れす
るようにしたウエハ検査装置において、ウエハカセット
設置装置に、このウエハカセット設置装置内にウエハ検
出装置の外側からウエハカセットを出し入れするウエハ
カセット出し入れ口を手前側に有し、センタロボットに
対向する奥側を開放したカバーを設け、このカバーに、
ウエハカセット出し入れ口と奥側の開放部を交互に開閉
する扉を設けた構成となっている。
面の３次元形状を検査する３次元計測器と、２次元形状
を検査する２次元計測器を有し、これらの計測器に対し
てウエハカセット設置装置にセットされたウエハカセッ
トよりセンタロボットのアームにてウエハを出し入れす
るようにしたウエハ検査装置において、ウエハカセット
設置装置に、このウエハカセット設置装置内にウエハ検
出装置の外側からウエハカセットを出し入れするウエハ
カセット出し入れ口を手前側に有し、センタロボットに
対向する奥側を開放したカバーを設け、このカバーに、
ウエハカセット出し入れ口と奥側の開放部を交互に開閉
する扉を設けた構成となっている。
【０００８】さらに、このウエハ検査装置は、ウエハの
表面の３次元形状を検査する３次元計測器と、２次元形
状を検査する２次元計測器を有し、これらの計測器に対
してウエハカセット設置装置にセットされたウエハカセ
ットよりセンタロボットのアームにてウエハを出し入れ
するようにしたウエハ検査装置において、ウエハカセッ
ト設置装置に、このウエハカセット設置装置内にウエハ
検出装置の外側からウエハカセットを出し入れするウエ
ハカセット出し入れ口を手前側に有し、センタロボット
に対向する奥側を開放したカバーを設け、このカバー
に、ウエハカセット出し入れ口と奥側の開放部を交互に
開閉する扉を設け、また上記センタロボットのアームの
先端に、カバーの奥側開放部を閉じている扉に干渉する
ことにより作動してセンタロボットを停止させるための
センサを設けた構成となっている。
表面の３次元形状を検査する３次元計測器と、２次元形
状を検査する２次元計測器を有し、これらの計測器に対
してウエハカセット設置装置にセットされたウエハカセ
ットよりセンタロボットのアームにてウエハを出し入れ
するようにしたウエハ検査装置において、ウエハカセッ
ト設置装置に、このウエハカセット設置装置内にウエハ
検出装置の外側からウエハカセットを出し入れするウエ
ハカセット出し入れ口を手前側に有し、センタロボット
に対向する奥側を開放したカバーを設け、このカバー
に、ウエハカセット出し入れ口と奥側の開放部を交互に
開閉する扉を設け、また上記センタロボットのアームの
先端に、カバーの奥側開放部を閉じている扉に干渉する
ことにより作動してセンタロボットを停止させるための
センサを設けた構成となっている。
【０００９】
【作 用】ウエハカセットはオペレータにより扉を開
けてウエハカセット出し入れ口よりウエハカセット設置
装置内に収納される。その後扉を閉じることにより、ウ
エハカセット設置装置が装置の外側に対して閉じられ
る。この状態でウエハカセット設置装置のカバーの奥側
がウエハ検査装置の内側に対して開放状態となり、この
部分からセンタロボットのロボットアームが挿入されて
上記ウエハカセットに収納されたウエハが１枚ずつキャ
ッチングされ、これをウエハ検査装置の各計測器に供
給、及び取出して検査する。この各検査工程が終了した
時点で再びウエハをウエハカセットに戻す。
けてウエハカセット出し入れ口よりウエハカセット設置
装置内に収納される。その後扉を閉じることにより、ウ
エハカセット設置装置が装置の外側に対して閉じられ
る。この状態でウエハカセット設置装置のカバーの奥側
がウエハ検査装置の内側に対して開放状態となり、この
部分からセンタロボットのロボットアームが挿入されて
上記ウエハカセットに収納されたウエハが１枚ずつキャ
ッチングされ、これをウエハ検査装置の各計測器に供
給、及び取出して検査する。この各検査工程が終了した
時点で再びウエハをウエハカセットに戻す。
【００１０】その後、扉を開けてウエハカセットをウエ
ハカセット設置装置よりオペレータがウエハカセット出
し入れ口よりこのウエハカセットを取り出す。このと
き、ウエハカセット出し入れ口を開状態とした扉はウエ
ハカセット設置装置のカバーの奥側を閉じる。従ってこ
のオペレータによるウエハカセットの交換時に、誤動作
等により、センタロボットのロボットアームがウエハカ
セット設置装置側へ作動したとしても、これの先端部は
扉に当接する等、この扉に干渉してこのロボットアーム
の先端に設けたセンサが作動し、センタロボットは停止
される。
ハカセット設置装置よりオペレータがウエハカセット出
し入れ口よりこのウエハカセットを取り出す。このと
き、ウエハカセット出し入れ口を開状態とした扉はウエ
ハカセット設置装置のカバーの奥側を閉じる。従ってこ
のオペレータによるウエハカセットの交換時に、誤動作
等により、センタロボットのロボットアームがウエハカ
セット設置装置側へ作動したとしても、これの先端部は
扉に当接する等、この扉に干渉してこのロボットアーム
の先端に設けたセンサが作動し、センタロボットは停止
される。
【００１１】
【発明の効果】本発明によれば、ウエハカセット設置装
置に対してオペレータによるウエハカセットの交換時
に、誤動作によってセンタロボットのロボットアームが
ウエハカセット設置装置内に向けて作動したとしても、
このカバーに設けた扉にてはばまれて、この内へ挿入さ
れることがなくなり、所定の位置に正しく設置されてい
ないウエハカセットにロボットアームが衝突することに
よるウエハカセットやこれに収納したウエハの破損を防
止できる。またこのときにセンサが作用してセンタロボ
ットが停止されることにより、安全性がより向上され
る。
置に対してオペレータによるウエハカセットの交換時
に、誤動作によってセンタロボットのロボットアームが
ウエハカセット設置装置内に向けて作動したとしても、
このカバーに設けた扉にてはばまれて、この内へ挿入さ
れることがなくなり、所定の位置に正しく設置されてい
ないウエハカセットにロボットアームが衝突することに
よるウエハカセットやこれに収納したウエハの破損を防
止できる。またこのときにセンサが作用してセンタロボ
ットが停止されることにより、安全性がより向上され
る。
【００１２】
【発明の実施の形態】本発明の第１の実施の形態を図４
から図６に基づいて説明する。図中１５はウエハ設置装
置であり、このウエハ設置装置は基台１６とカバー１７
とからなっていて、基台１６に２個のウエハカセット４
ａ，４ｂが並列に収納されるようになっている。カバー
１７はこのウエハカセット４ａ，４ｂをカバーするもの
であるが、このウエハ設置装置１５の外側に対向する手
前側にウエハカセット出し入れ口１８が設けてあり、ま
たウエハ検査装置の内側に対向する奥側は開放されてい
る。
から図６に基づいて説明する。図中１５はウエハ設置装
置であり、このウエハ設置装置は基台１６とカバー１７
とからなっていて、基台１６に２個のウエハカセット４
ａ，４ｂが並列に収納されるようになっている。カバー
１７はこのウエハカセット４ａ，４ｂをカバーするもの
であるが、このウエハ設置装置１５の外側に対向する手
前側にウエハカセット出し入れ口１８が設けてあり、ま
たウエハ検査装置の内側に対向する奥側は開放されてい
る。
【００１３】上記カバー１７の内側には、これのウエハ
カセット出し入れ口１８を開閉する扉１９が、両端をカ
バー１７に枢支してウエハカセット出し入れ口１８を閉
じる手前側の位置から奥側へ向けて回動自在に支持され
ている。そしてこれは奥側へ回動した状態でカバー１７
の奥側の開放部を閉じるようになっている。扉１９には
取手２０が設けてある。また扉１９には、これを手前側
へ回動してカバー１７のウエハカセット出し入れ口１８
を閉じたときに、ウエハ設置装置１５内が見えるように
透明板にて閉じた窓２１が設けてある。
カセット出し入れ口１８を開閉する扉１９が、両端をカ
バー１７に枢支してウエハカセット出し入れ口１８を閉
じる手前側の位置から奥側へ向けて回動自在に支持され
ている。そしてこれは奥側へ回動した状態でカバー１７
の奥側の開放部を閉じるようになっている。扉１９には
取手２０が設けてある。また扉１９には、これを手前側
へ回動してカバー１７のウエハカセット出し入れ口１８
を閉じたときに、ウエハ設置装置１５内が見えるように
透明板にて閉じた窓２１が設けてある。
【００１４】図３に示すセンタロボット５のロボットア
ーム１０ａ，１０ｂの先端には接触センサ２２が取り付
けてあり、この接触センサ２２に異物が接触したとき
に、センタロボット５が停止するようになっている。な
おこのセンサは近接センサでもよい。
ーム１０ａ，１０ｂの先端には接触センサ２２が取り付
けてあり、この接触センサ２２に異物が接触したとき
に、センタロボット５が停止するようになっている。な
おこのセンサは近接センサでもよい。
【００１５】上記構成において、扉１９が手前側へ回動
した状態でウエハカセット出し入れ口１８が閉じられて
防塵作用がなされる。この状態でウエハ設置装置の奥側
は開放状態であり、センタロボット４のロボットアーム
１０ａ，１０ｂが自由にウエハカセット４ａ，４ｂにア
クセスできる。一方取手２０を持って、扉１９を開ける
と、ウエハカセット出し入れ口１８が開放され、ここか
らウエハカセット４ａ，４ｂをオペレータが出し入れす
る。このとき、この扉１９は図６に鎖線で示したように
扉１９はカバー１７の奥側へ回動されて、このカバー１
６の奥側の開放部が扉１９にて閉じられる。従ってこの
扉１９がウエハカセット設置装置のウエハカセット設置
部とウエハ検査装置側との間の仕切りとなり、センタロ
ボット５のロボットアーム１０ａ，１０ｂのウエハカセ
ット設置部への進入が阻止される。従って、扉１９を開
動してウエハカセット４ａ，４ｂを出し入れしていると
きにおいて、センタロボット５の誤動作等により、これ
のロボットアーム１０ａ，１０ｂがウエハカセット設置
部に進入してきたとしても、このアーム１０ａ，１０ｂ
は扉１９にさえぎられてウエハカセット設置装置１５内
に正常な姿勢で設置されていないウエハカセットやウエ
ハに衝突することがなくなる。そしてロボットアーム１
０ａ，１０ｂの先端が扉１９に当接することにより接触
センサ２２がＯＮとなってセンタロボット５が停止され
る。
した状態でウエハカセット出し入れ口１８が閉じられて
防塵作用がなされる。この状態でウエハ設置装置の奥側
は開放状態であり、センタロボット４のロボットアーム
１０ａ，１０ｂが自由にウエハカセット４ａ，４ｂにア
クセスできる。一方取手２０を持って、扉１９を開ける
と、ウエハカセット出し入れ口１８が開放され、ここか
らウエハカセット４ａ，４ｂをオペレータが出し入れす
る。このとき、この扉１９は図６に鎖線で示したように
扉１９はカバー１７の奥側へ回動されて、このカバー１
６の奥側の開放部が扉１９にて閉じられる。従ってこの
扉１９がウエハカセット設置装置のウエハカセット設置
部とウエハ検査装置側との間の仕切りとなり、センタロ
ボット５のロボットアーム１０ａ，１０ｂのウエハカセ
ット設置部への進入が阻止される。従って、扉１９を開
動してウエハカセット４ａ，４ｂを出し入れしていると
きにおいて、センタロボット５の誤動作等により、これ
のロボットアーム１０ａ，１０ｂがウエハカセット設置
部に進入してきたとしても、このアーム１０ａ，１０ｂ
は扉１９にさえぎられてウエハカセット設置装置１５内
に正常な姿勢で設置されていないウエハカセットやウエ
ハに衝突することがなくなる。そしてロボットアーム１
０ａ，１０ｂの先端が扉１９に当接することにより接触
センサ２２がＯＮとなってセンタロボット５が停止され
る。
【００１６】ウエハ設置装置２の基台１６にはロボット
運転表示ランプ２３と、扉開閉ランプ２４、カセット交
換スイッチ２５、第１・第２のカセット設置ランプ２６
ａ，２６ｂ、手動キー２７が設けてある。
運転表示ランプ２３と、扉開閉ランプ２４、カセット交
換スイッチ２５、第１・第２のカセット設置ランプ２６
ａ，２６ｂ、手動キー２７が設けてある。
【００１７】オペレータによるウエハカセット４ａ，４
ｂの交換の手順を以下に示す。 （１）ロボット運転表示ランプ２３が青色に点灯してい
るのを確認する。このロボット運転表示ランプ２３は青
色、あるいは赤色のどちらかに点灯するようになってい
て、青色ならば、センタロボット５が稼働中でないこと
を示し、赤色であれば、センタロボット５が稼働中であ
り、ウエハカセットの交換はできないことを示す。
ｂの交換の手順を以下に示す。 （１）ロボット運転表示ランプ２３が青色に点灯してい
るのを確認する。このロボット運転表示ランプ２３は青
色、あるいは赤色のどちらかに点灯するようになってい
て、青色ならば、センタロボット５が稼働中でないこと
を示し、赤色であれば、センタロボット５が稼働中であ
り、ウエハカセットの交換はできないことを示す。
【００１８】（２）カセット交換スイッチ２５を押して
扉１９の施錠を解除する。このとき開鍵されればカセッ
ト交換スイッチ２５自身が消灯する。
扉１９の施錠を解除する。このとき開鍵されればカセッ
ト交換スイッチ２５自身が消灯する。
【００１９】（３）扉１９を開ける。この状態で扉１９
は図６に鎖線で示すように、奥側の開放部側へ回動され
る。このとき、扉開閉ランプ２４は扉１９の位置を検出
する位置センサなどによって自動的に消灯する。
は図６に鎖線で示すように、奥側の開放部側へ回動され
る。このとき、扉開閉ランプ２４は扉１９の位置を検出
する位置センサなどによって自動的に消灯する。
【００２０】（４）ウエハカセット４ａ，４ｂをウエハ
カセット出し入れ口１８より交換する。ウエハカセット
４ａ，４ｂはウエハカセット設置装置１５内で決められ
た設置位置に設置できるように、設置溝が付けられてい
て、正常にセットされれば、位置センサ等によって、各
カセット設置ランプ２６ａ，２６ｂが点灯するようにな
っている。このときに、センタロボット５が誤動作し
て、これのアーム１０ａ，１０ｂがウエハ設置装置２方
向へ作動すると、これが扉１９に当接し、これの先端に
取付けた接触センサ２２がＯＮとなってセンタロボット
５は停止する。
カセット出し入れ口１８より交換する。ウエハカセット
４ａ，４ｂはウエハカセット設置装置１５内で決められ
た設置位置に設置できるように、設置溝が付けられてい
て、正常にセットされれば、位置センサ等によって、各
カセット設置ランプ２６ａ，２６ｂが点灯するようにな
っている。このときに、センタロボット５が誤動作し
て、これのアーム１０ａ，１０ｂがウエハ設置装置２方
向へ作動すると、これが扉１９に当接し、これの先端に
取付けた接触センサ２２がＯＮとなってセンタロボット
５は停止する。
【００２１】（５）扉１９を閉じる。このとき扉開閉ラ
ンプ２４は扉１９の位置する位置センサなどによって自
動的に点灯する。
ンプ２４は扉１９の位置する位置センサなどによって自
動的に点灯する。
【００２２】（６）カセット交換スイッチ２５を押して
扉１９の施錠をする。このとき施錠されればカセット交
換スイッチ２５は点灯する。
扉１９の施錠をする。このとき施錠されればカセット交
換スイッチ２５は点灯する。
【００２３】ウエハ検査装置２は、センタロボット５を
稼働させる際に、カセット設置ランプ２６ａ，２６ｂの
点灯、扉開閉ランプ２４の点灯、カセット交換スイッチ
２５の点灯を確認して稼働を開始、あるいは続行する。
ちなみに、カセット設置ランプ２ａ，２ｂの消灯、扉開
閉ランプ２４の消灯、カセット交換スイッチ２５の消灯
のいずれかの状態のときには、センタロボット５がウエ
ハカセット設置部への進入ができないようにインタロッ
クがかかるように装置を設計しておく。また、手動で扉
１９の鍵の施錠ができるようにしてあり、停電時にウエ
ハカセットの取出しができるようにしてある。
稼働させる際に、カセット設置ランプ２６ａ，２６ｂの
点灯、扉開閉ランプ２４の点灯、カセット交換スイッチ
２５の点灯を確認して稼働を開始、あるいは続行する。
ちなみに、カセット設置ランプ２ａ，２ｂの消灯、扉開
閉ランプ２４の消灯、カセット交換スイッチ２５の消灯
のいずれかの状態のときには、センタロボット５がウエ
ハカセット設置部への進入ができないようにインタロッ
クがかかるように装置を設計しておく。また、手動で扉
１９の鍵の施錠ができるようにしてあり、停電時にウエ
ハカセットの取出しができるようにしてある。
【００２４】図７から図９は本発明の第２の実施例を示
すもので、扉１９ａはよろい戸状に構成され、これの両
端部がカバー１７の両側壁に設けた案内レール２８に摺
動自在に係合しており、取手２０を持って開閉すること
により、カバー１７の前側と奥側が互いに閉じられるよ
うになっている。
すもので、扉１９ａはよろい戸状に構成され、これの両
端部がカバー１７の両側壁に設けた案内レール２８に摺
動自在に係合しており、取手２０を持って開閉すること
により、カバー１７の前側と奥側が互いに閉じられるよ
うになっている。
【図１】ウエハ検査装置の概略的な構成を示す平面図で
ある。
ある。
【図２】ウエハカセットの一例を示す斜視図である。
【図３】双腕型のセンタロボットを示す斜視図である。
【図４】本発明に係るウエハカセット設置装置を示す正
面図である。
面図である。
【図５】本発明に係るウエハカセット設置装置を示す平
面図である。
面図である。
【図６】本発明に係るウエハカセット設置装置を示す側
面図である。
面図である。
【図７】本発明に係るウエハカセット設置装置の他例を
示す正面図である。
示す正面図である。
【図８】本発明に係るウエハカセット設置装置の他例を
示す平面図である。
示す平面図である。
【図９】本発明に係るウエハカセット設置装置の他例を
示す側面図である。
示す側面図である。
１…ウエハ検査装置 ２，１５…ウエハカセット設置装置 ３…ウエハ ４ａ，４ｂ…ウエハカセット ５…センタロボット ６…３次元計測器 ７…２次元計測器 ８…インクマーカ ９…コンソール １０ａ，１０ｂ…ロボットアーム １６…基台 １７…カバー １８…ウエハカセット出し入れ口 １９，１９ａ…扉 ２０…取手 ２１…窓 ２２…接触センサ ２８…案内レール
Claims (3)
- 【請求項１】 ウエハカセットを設置する基台と、ウエ
ハカセットをカバーすると共に、一側部にウエハカセッ
トを外部から出し入れするウエハカセット出し入れ口を
設け、他側部をセンタロボットのアームが出入りするよ
う開放したカバーとからなるウエハカセット設置装置に
おいて、このカバーにウエハカセット出し入れ口と他側
部の開放側を交互に開閉する扉を設けたことを特徴とす
るウエハカセット設置装置。 - 【請求項２】 ウエハの表面の３次元形状を検査する３
次元計測器と、２次元形状を検査する２次元計測器を有
し、これらの計測器に対してウエハカセット設置装置に
セットされたウエハカセットよりセンタロボットのアー
ムにてウエハを出し入れするようにしたウエハ検査装置
において、ウエハカセット設置装置に、このウエハカセ
ット設置装置内にウエハ検出装置の外側からウエハカセ
ットを出し入れするウエハカセット出し入れ口を手前側
に有し、センタロボットに対向する奥側を開放したカバ
ーを設け、このカバーに、ウエハカセット出し入れ口と
奥側の開放部を交互に開閉する扉を設けたことを特徴と
するウエハ検査装置。 - 【請求項３】 ウエハの表面の３次元形状を検査する３
次元計測器と、２次元形状を検査する２次元計測器を有
し、これらの計測器に対してウエハカセット設置装置に
セットされたウエハカセットよりセンタロボットのアー
ムにてウエハを出し入れするようにしたウエハ検査装置
において、ウエハカセット設置装置に、このウエハカセ
ット設置装置内にウエハ検出装置の外側からウエハカセ
ットを出し入れするウエハカセット出し入れ口を手前側
に有し、センタロボットに対向する奥側を開放したカバ
ーを設け、このカバーに、ウエハカセット出し入れ口と
奥側の開放部を交互に開閉する扉を設け、また上記セン
タロボットのアームの先端に、カバーの奥側開放部を閉
じている扉に干渉することにより作動してセンタロボッ
トを停止させるためのセンサを設けたことを特徴とする
ウエハ検査装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11621696A JPH09306970A (ja) | 1996-05-10 | 1996-05-10 | ウエハカセット設置装置及びウエハ検査装置 |
| PCT/JP1997/001518 WO1997043784A1 (fr) | 1996-05-10 | 1997-05-02 | Dispositif de montage de cassette de plaquette de silicium et dispositif d'examen de plaquette de silicium comportant un tel dispositif de montage |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11621696A JPH09306970A (ja) | 1996-05-10 | 1996-05-10 | ウエハカセット設置装置及びウエハ検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09306970A true JPH09306970A (ja) | 1997-11-28 |
Family
ID=14681715
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11621696A Pending JPH09306970A (ja) | 1996-05-10 | 1996-05-10 | ウエハカセット設置装置及びウエハ検査装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09306970A (ja) |
| WO (1) | WO1997043784A1 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11274263A (ja) * | 1998-03-18 | 1999-10-08 | Tokyo Electron Ltd | 基板搬送装置および基板処理装置 |
| WO2008117903A1 (en) * | 2007-03-26 | 2008-10-02 | Gun Hwan Kim | Apparatus for inspecting wafer and method therefor |
| JP2012064795A (ja) * | 2010-09-16 | 2012-03-29 | Tokyo Electron Ltd | 搬送装置、処理システム、搬送装置の制御方法およびコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6202482B1 (en) * | 1998-03-23 | 2001-03-20 | Lehighton Electronics, Inc. | Method and apparatus for testing of sheet material |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2599310Y2 (ja) * | 1993-04-08 | 1999-09-06 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置の安全装置 |
| JPH06349930A (ja) * | 1993-06-11 | 1994-12-22 | Shinko Electric Co Ltd | ウエ−ハ移載ロボットのフィンガ衝突検知装置 |
| JPH07311025A (ja) * | 1994-05-17 | 1995-11-28 | Komatsu Ltd | ３次元形状検査装置 |
-
1996
- 1996-05-10 JP JP11621696A patent/JPH09306970A/ja active Pending
-
1997
- 1997-05-02 WO PCT/JP1997/001518 patent/WO1997043784A1/ja active Search and Examination
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11274263A (ja) * | 1998-03-18 | 1999-10-08 | Tokyo Electron Ltd | 基板搬送装置および基板処理装置 |
| WO2008117903A1 (en) * | 2007-03-26 | 2008-10-02 | Gun Hwan Kim | Apparatus for inspecting wafer and method therefor |
| JP2012064795A (ja) * | 2010-09-16 | 2012-03-29 | Tokyo Electron Ltd | 搬送装置、処理システム、搬送装置の制御方法およびコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 |
| US8882429B2 (en) | 2010-09-16 | 2014-11-11 | Tokyo Electron Limited | Transfer device, processing system, control method of transfer device, and computer-readable storage medium |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| WO1997043784A1 (fr) | 1997-11-20 |
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