JPH05183026A - プローブカード収納用ストッカ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 カードホルダの出し入れ作業を容易にし、し
かも位置決め不良のままカードホルダが収納されること
を防止するとともに、カードホルダの収納の有無を適確
に把握することを可能とする。 【構成】 ストッカ本体１０から収納部１２を引出し可
能とするとともに、収納部１２及び当該収納部１２に収
納されるカードホルダの対応位置にそれぞれ位置決め手
段２０，２６を設け、かつ収納部のカードホルダ載置面
にカードホルダの収納状態を検出する検出手段２０を設
けた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はプローブカード収納用ス
トッカに関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウエハ表面に形成された集積回路
の電気的特性検査に、プローブカードが用いられること
は周知の通りである。このプローブカードは、プローブ
装置への取付の便宜上カードホルダと称される円盤に装
着されており、このカードホルダごとプローブ装置にセ
ッティングしてウエハへの電気的特性検査が行なわれ
る。

【０００３】さて、被検査体である半導体ウエハ表面に
形成された集積回路には複数の種類があり、プローブカ
ードもその種類に応じて各種のものを用意しておく必要
がある。そこで、各種用意されたプローブカードを保存
しておくためのプローブカード収納用ストッカが必要と
なり、予め作業員の人手によってこのストッカに各種プ
ローブカードを収納しておき、導通検査の際には搬送ロ
ボットによってこのプローブカード収納用ストッカから
所要のプローブカードを取り出してプローブ装置へのセ
ッティングを行なっている。

【０００４】ここで、従来使用されていたプローブカー
ド収納用ストッカの概要を説明すると、筐形のストッカ
本体内部に、プローブカードの装着されたカードホルダ
を載置可能な収納棚を上下複数段に亘り固定して設けた
構造であった。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】従来のプローブカード
収納用ストッカでは、次のような課題があった。 カードホルダを載置する収納棚がストッカ本体内に
固定した状態で配設されていたので、特に作業員の人手
によってカードホルダを収納するに際し作業性が悪く、
内壁への衝突防止やカードホルダの位置決めに注意が必
要であった。 プローブカード収納用ストッカからカードホルダの
搬出時、搬送ロボットが適正状態でカードホルダを保持
するためには、正確な位置決め状態でカードホルダが収
納されていなければならない。しかし、従来のプローブ
カード収納用ストッカにはカードホルダの収納状態を自
動的に確認する手段を備えたものが見当らず、従って位
置決め不良に伴なうカードホルダの搬出ミスを引き起こ
すおそれがあった。 カードホルダの収納状態自動確認手段を備えていな
い結果、既にカードホルダの収納されている収納棚に誤
って別のカードホルダを収納しようとして、カードホル
ダあるいはプローブカードの破損を招くおそれがあっ
た。

【０００６】本発明は、このような従来技術の課題を解
決するためになされたものであり、カードホルダの収納
作業を容易にし、しかも位置決め不良のままカードホル
ダが収納されることを防止するとともに、カードホルダ
の収納の有無を的確に把握することのできるプローブカ
ード収納用カトッカの提供を目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明のプローブカード
収納用ストッカは、プローブカードを装着したカードホ
ルダを収納するための収納部を複数段備えたプローブカ
ード収納用ストッカであって、前記収納部をストッカ本
体からそれぞれ引出し可能とするとともに、前記収納部
及び当該収納部に収納される前記カードホルダの対応位
置にそれぞれ位置決め手段を設け、かつ前記収納部に前
記カードホルダが適正な状態で位置決め収納されたこと
を検出する検出手段を前記収納部に設置したこと、を特
徴とする。

【０００８】

【作用】各種カードホルダを収納するための収納部をス
トッカ本体から引出し可能とすることにより、カードホ
ルダの収納作業をストッカ本体の外部で行なうことがで
き、作業の容易化を図ることができる。さらに、カード
ホルダのストッカ本体内への収納を、左右、上下で規制
のない空間で行うことができ、収納作業のロボット化に
も対応できる。

【０００９】また、収納部にカードホルダが適正な状態
で位置決め収納されたことを検出する検出手段によっ
て、カードホルダの位置決め不良を確実に発見でき、し
かもカードホルダの収納の有無を適確に把握できるた
め、搬送ロボットによる搬出ミスや、既にカードホルダ
の収納されている収納部への更なる収納といった作業ミ
スを未然に防止することができる。

【００１０】

【実施例】以下、本発明の一実施例について、図面を用
いて説明する。

【００１１】図１は、本実施例に係るプローブカード収
納用ストッカの外観を示す斜視図、図２は、同ストッカ
の断面図である。

【００１２】プローブカード収納用ストッカは、前面に
収納用開口部１０ａ，背面に搬出入用開口部１０ｂの形
成された筒状のストッカ本体１０によって外枠が構成さ
れ、そのストッカ本体１０の内部に各種カードホルダを
収納するための板状の収納部１２を上下方向に四段階備
えている。

【００１３】各段の収納部１２は、それぞれストッカ本
体１０の収納用開口部１０ａから引出し可能となってい
る。このような引出し構造は、例えば図２に示すよう
に、ストッカ本体１０の左右内側面に案内レール１４を
設け、この案内レールで摺動自在に収納部１２の側縁を
支持することで実現することができるが、その他にも家
具，事務用品等ですでに採用されている種々の引出し構
造を適用することも勿論可能である。また、収納部１２
の引き出される長さを規制するストッパ１６，１８を設
置しておけば、ストッカ本体１０から収納部１２が脱落
することも防止できる。なお。ストッカ本体１０の収納
用開口部１０ａには、塵埃の侵入を防ぐ目的で開閉扉と
この扉の開閉を検出する手段（図示せず）を設置してお
くことが好ましい。

【００１４】図３は、上述した収納部１２の平面図、図
４はこの収納部に収納されるカードホルダの平面図であ
る。

【００１５】図３に示すように、収納部１２の中央部
は、プローブカードの針を傷めないように中空部１２ａ
となっている。また、収納部１２の上面における少なく
とも二箇所（図３では、左右二箇所）に、カードホルダ
の位置決め手段として、位置決めピン２０が突設してあ
る。一方、プローブカード２２を上面中央部に装着した
カードホルダ２４にも、上記収納部１２における位置決
めピン２０の突設位置と対応した箇所（図４では、左右
二箇所）に、位置決め穴２６が突設してあり、収納部１
２上へ載置する際、これら位置決め穴２６を位置決めピ
ン２０と係合させることで正確な位置決め状態が得られ
るようになっている。更に、収納部１２における各位置
決めピン２０の近傍位置で、かつ載置されたカードホル
ダ２４が接触もしくは近接する位置には、カードホルダ
２４が適正な状態で位置決め収納されたことを検出する
ための検出手段例えば磁気センサ２８が設けてある。こ
れらの磁気センサ２８は、磁性体が数mm( 好ましくは１
mm）以内に存在した場合に磁気回路が形成されて電気信
号を出力する。

【００１６】図５（ａ），（ｂ）は、この磁気センサの
作用を説明するための断面正面図である。

【００１７】カードホルダ２４は一般に金属板で形成さ
れているため、磁気センサ２８によりその位置を検出す
るたことができる。即ち、図５（ａ）に示すごとく、カ
ードホルダ２４が適正な状態で位置決め作業されていれ
ば、カードホルダ２４の下面が各磁気センサ２８に近接
するため、それぞれの磁気センサ２８が作動する。一
方、図５（ｂ）に示すごとく、カードホルダ２４の位置
決めが不適当であれば、収納後も磁気センサ２８の一方
又は双方が作動しない。収納部１２にカードホルダ２４
が収納されていない状態であれば、勿論各磁気センサ２
８はともに作動することはない。

【００１８】そこで、例えば図６に示すような収納状態
表示盤３０に各磁気センサ２８からの電気信号を出力
し、適正な状態でカードホルダ２４が位置決め収納され
た収納部１２に反応した表示灯３２のみを点灯させるよ
うにしておけば、この表示灯３２の確認によって、カー
ドホルダ２４の収納状態を的確に把握することできる。

【００１９】また、収納ミス（位置決め不良）を警報音
によって知らせる警報装置を付設してもよい。即ち、空
の収納部１２が引き出された後、一定時間を経過しても
各磁気センサ２８からの出力を得られない場合、警報装
置を鳴動させるようにすれば一層確実に収納ミスを確認
することができる。

【００２０】図７は上述したプローブカード収納用スト
ッカの自動プローブ装置への適用例を示す斜視図であ
る。

【００２１】図に示したように、自動プローブ装置は、
プローバ部１００とプローブカード自動交換部１０２と
を有している。これらは、それぞれ別個の筐体によって
構成されているが、両者の接合する面には、壁部は設け
られていない。

【００２２】プローバ部１００の上部には、開閉用の蓋
体として機能するヘッドプレート１０４を有している。
また、このヘッドプレート１０４には、測定に使用する
プローブカード（図示せず）を保持するためのインサー
トリング１０６が設けられている。さらに、このヘッド
プレート１０４の裏面には、第２搬送手段３００が、支
持部材３０２，３０４によって固定されている。

【００２３】一方、プローブカード自動交換部１０２
は、交換用のプローブカードがセットされたカードホル
ダ２４を複数個収納できるストッカ１０８と、第１搬送
手段２００とを有している。

【００２４】このストッカ１０８が上述した構成の本実
施例に係るプローブカード収納用ストッカであり、あら
かじめ収納用開口部１０ａから収納部を引き出して各種
カードホルダ２４が収納されている。

【００２５】上記ヘッドプレート１０４の下方には、被
検査体である半導体ウエハを載置してＸＹ方向に移動可
能に構成されたチャック１０７が設けられている。

【００２６】このような自動プローブ装置において、ス
トッカ１０８に収納されたプローブカードは次の手順で
搬送され、インサートリング１０６にセットされる。

【００２７】まず、ストッカ１０８内のカードホルダ２
４の真上に第１搬送手段２００のアーム２０２ａ，２０
２ｂを挿入する（図８（ａ）参照）。次に、図８（ａ）
に示した位置から２本の載置アーム２０２ａ，２０２ｂ
を開き（図８（ｂ）参照）、アーム２０２ａ，２０２ｂ
を下降させ（図８（ｃ）参照）、アーム２０２ａ，２０
２ｂを閉じ（図８（ｄ）参照）、アーム２０２ａ，２０
２ｂを上昇させる（図８（ｅ）参照）ことにより、アー
ム２０２ａ，２０２ｂ上にカードホルダ２４を載置させ
ることができ受取りが完了する。

【００２８】同様にして、第１、第２搬送手段２００、
３００間でカードホルダ２４の受け渡しを行い、第２搬
送手段３００の載置アーム３０６ａ，３０６ｂ上にカー
ドホルダ２４を載置すると、第２搬送手段３００のスラ
イド機構（図示せず）を用いて、カードホルダ２４をイ
ンサートリング１０６（図７参照）の直下まで搬送す
る。

【００２９】最後に、載置アーム３０６ａ，３０６ｂを
上昇させ、図示しない機構によってインサートリング１
０６にカードホルダ２４を保持させることにより、カー
ドホルダ２４のセットを完了する。

【００３０】なお、本発明は上述した実施例に限定され
るものではなく、要旨を変更しない範囲で種々の変形実
施が可能である。例えば、収納部の設置段数は四段に限
定されるものでなく、収納すべきカードホルダの種類に
応じて任意に設定すればよい。また、カードホルダ収納
状態を検出する手段としては、例えばリミットスイッチ
等のタッチセンサを用いることもできる。

【００３１】上述した実施例においては、収納部へのカ
ードホルダの収納作業を人手によって行う構成を示した
が、当該収納作業をロボットによって自動的に行わせる
ことも可能である。すなわち、図７に示した第１搬送手
段２００に相当する構造の収納ロボットをストッカ本体
１０における収納用開口部１０ａの前に設置しておき、
かつ、収納部１２を駆動モータ及びラック・ピニオン、
巻掛伝動機構等の駆動機構を用いて自動的に引き出し可
能とすればよい。引き出された収納部に対してカードホ
ルダの収納作業が実現できるので、空間的な自由度が増
し、ロボット化の対応が容易となる。

【００３２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
カードホルダの収納作業の容易化を図ることができると
ともに、カードホルダの位置決め不良や収納の有無を的
確に把握して、搬送ロボットによる搬送ミスやカードホ
ルダの収納されている収納部への更なる収納といった作
業ミスを未然に防止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係るプローブカード収納用
ストッカの外観を示す斜視図である。

【図２】図１に示したプローブカード収納用ストッカの
断面側面図である。

【図３】図１に示した収納部の平面図である。

【図４】収納部に収納されるカードホルダの平面図であ
る。

【図５】検出手段としての磁気センサの作用を説明する
ための断面正面図で、同図（ａ）は適正な収納状態の場
合、同図（ｂ）は位置決め不良の場合を示している。

【図６】磁気センサにより作動する収納状態表示盤の正
面図である。

【図７】図１に示したプローブカード収納用ストッカの
自動プローブ装置への適正例を示す斜視図である。

【図８】図７に示した自動プローブ装置の動作説明図で
ある。

【符号の説明】

１０ ストッカ本体 １２ 収納部 １４ 案内レール ２０ 位置決めピン ２２ プローブカード ２４ カードホルダ ２６ 位置決め穴 ２８ 磁気センサ ３０ 収納状態表示盤 ３２ 表示灯

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 プローブカードを装着したカードホルダ
   を収納するための収納部を複数段備えたプローブカード
   収納用ストッカであって、 前記収納部をストッカ本体からそれぞれ引出し可能とす
   るとともに、 前記収納部及び当該収納部に収納される前記カードホル
   ダの対応位置にそれぞれ位置決め手段を設け、 かつ前記収納部に前記カードホルダが適正な状態で位置
   決め収納されたことを検出する検出手段を前記収納部に
   設置したこと、 を特徴とするプローブカード収納用ストッカ。