WO1997043784A1 - Dispositif de montage de cassette de plaquette de silicium et dispositif d'examen de plaquette de silicium comportant un tel dispositif de montage - Google Patents

Dispositif de montage de cassette de plaquette de silicium et dispositif d'examen de plaquette de silicium comportant un tel dispositif de montage Download PDF

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WO1997043784A1
WO1997043784A1 PCT/JP1997/001518 JP9701518W WO9743784A1 WO 1997043784 A1 WO1997043784 A1 WO 1997043784A1 JP 9701518 W JP9701518 W JP 9701518W WO 9743784 A1 WO9743784 A1 WO 9743784A1
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wafer
wafer cassette
cassette
door
robot
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PCT/JP1997/001518
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Inventor
Hisashi Nara
Masato Moriya
Original Assignee
Komatsu Ltd.
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Publication date
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    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
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Definitions

  • the present invention relates to a wafer cassette installation apparatus and a wafer inspection apparatus provided with a wafer force set installation apparatus used in a semiconductor manufacturing process for manufacturing a semiconductor using a wafer.
  • the above-mentioned wafer inspection apparatus 1 is configured as shown in FIG. 1, and two wafer cassettes 4a and 4b containing a wafer 3 as shown in FIG. It can be set freely, and the wafer 3 set in one of the ueno and the cassettes 4a and 4b is taken out one by one by the arm of the center opening port 5 and taken out to each measuring instrument.
  • the wafer 3 that has been set or inspected is returned to the wafer cassette 4a (4).
  • the three-dimensional measuring device 6 inspects the shape of the bumps on the wafer, and the two-dimensional measuring device 7 inspects the pattern provided on the wafer. Node marking is performed on wafer 3 that was determined to be defective based on the results. 9 is the console. O Prior to the above inspection, the wafer cassette before inspection
  • the center robot 5 is configured as shown in FIG. 3, and a so-called dual-arm robot having two robot arms 10a and 10b is used.
  • Each of the robot arms 10a and 10b is rotated by the rotation of the first 'second and third arms 11a, lib, 12a, 12b, 13a, and 13b, respectively. It operates in the horizontal direction, and is moved up and down by moving the first arms 11 a and 11 b up and down.
  • a chuck section 14 for adsorbing the wafer 3 is provided on the upper surface of the distal end of each of the robot arms 10a and 10b.
  • the mouth boat arms 10a and 1Ob are normally connected to the wafer cassettes by electrical control such as an inner lock.
  • the operation is not allowed to enter the installation device 2, but due to the malfunction of the above-mentioned interlock or the malfunction of the robot control device, the opera While the robots 4a and 4b are being replaced, the robot arms 10a and 10b enter the eno and cassette setting device 2, and the ends of the robot arms 10a and 10b are replaced with wafer cassettes.
  • the wafer cassettes 4a and 4b and the wafer 3 stored in the wafer cassettes 4a and 4b may be damaged by colliding with the wafers 3a and 3b.
  • the wafer cassettes 4 a and 4 b set in the wafer cassette setting device 2 are operated by the inspection device. It was necessary to use a force bar to prevent foreign matter such as dust from entering during operation. Disclosure of the invention
  • An object of the present invention is to provide a wafer cassette setting device in a wafer inspection device capable of solving the above-mentioned problems in the conventional technology, and has a base for setting a wafer force set, and a base.
  • a wafer cassette access port is provided on one side to allow the wafer cassette to be inserted and removed from the outside.
  • this cover is provided with a door that alternately opens and closes the wafer cassette door and the open side on the other side.
  • the above-mentioned wafer inspection apparatus has a three-dimensional measuring device for inspecting a three-dimensional shape of a wafer surface and a two-dimensional measuring device for inspecting a two-dimensional shape, and a wafer cassette is installed for these measuring devices.
  • the wafer cassette installation apparatus is provided with a wafer outside the wafer detection apparatus.
  • the front side has a wafer cassette slot for inserting and removing a wafer force set from the front, and a cover with an open back side facing the center robot is provided. This cover has a wafer cassette slot and an open section on the back side.
  • this wafer inspection device has a three-dimensional measuring device for inspecting the three-dimensional shape of the wafer surface and a two-dimensional measuring device for inspecting the two-dimensional shape, and a wafer cassette is installed for these measuring devices.
  • this wafer cassette is installed in the wafer cassette installation equipment.
  • a wafer cassette is inserted into and removed from the outside of the wafer detection device inside the device.
  • a wafer cassette is provided at the front with a wafer cassette insertion port on the front side and an open end on the back side facing the center drop.
  • a door is provided to alternately open and close the doorway and the open part on the back side, and the door that closes the open part on the back of the cover is provided at the tip of the arm of the center robot. And it has a structure in which a sensor for that locked down the center Ropo' door operating Ri by the and the child to be.
  • the wafer cassette is opened by an operator, the door is opened, and housed in the wafer cassette installation device through the wafer force set entrance. Then, by closing the door, the wafer cassette setting device is closed to the outside of the device. In this state, the back side of the cover of the wafer cassette installation device is opened to the inside of the wafer inspection device, and the robot arm of the center robot is inserted from this part and the wafer stored in the wafer cassette is inserted. Are caught one by one, and supplied to each measuring instrument of the wafer inspection equipment, taken out and inspected. At the end of each of these inspection steps, the wafer is returned to the wafer cassette again.
  • the door is opened and the wafer cassette is removed from the wafer cassette setting device, and the operator takes out the wafer cassette from the wafer cassette entrance.
  • the door with the jasset cassette door open is closed at the back of the canopy of the wafer cassette installation equipment. Therefore, when the operator replaces the wafer cassette, even if the robot arm of the sensor robot is moved to the wafer cassette installation device side due to a malfunction or the like, the tip of the robot arm may touch the door, etc.
  • the sensor provided at the end of the robot arm operates by interfering with this door, and the sensor stops.
  • the present invention even when the robot arm of the center robot is moved toward the inside of the wafer cassette installation device due to a malfunction when the wafer cassette is replaced by the operator with respect to the wafer cassette installation device, The door provided in this cover will not be inserted into the door, and will not be inserted into the door. The wafer cassette may not be properly installed at the specified position. This prevents damage to the wafers stored in the device. At this time, the sensor operates to stop the center robot, so that safety is further improved.
  • FIG. 1 is a plan view showing a schematic configuration of a wafer inspection apparatus.
  • FIG. 2 is a perspective view showing an example of a wafer cassette.
  • Fig. 3 is a perspective view showing a double-armed sensor robot.
  • FIG. 4 is a front view showing the wafer cassette setting device according to the present invention.
  • FIG. 5 is a plan view showing a wafer cassette installation apparatus according to the present invention.
  • FIG. 6 is a side view showing a wafer cassette installation apparatus according to the present invention.
  • FIG. 7 is a front view showing another example of the wafer cassette setting apparatus according to the present invention.
  • FIG. 8 is a plan view showing another example of the wafer cassette setting device according to the present invention.
  • FIG. 9 is a side view showing another example of the wafer cassette installation apparatus according to the present invention.
  • reference numeral 15 denotes a wafer setting device, which comprises a base 16 and a cover 17, and two wafer cassettes 4a and 4b are arranged on the base 16 in parallel. It can be stored.
  • the cover 17 covers the wafer cassettes 4a and 4b, and the wafer cassette insertion / removal port 18 is located on the front side facing the outside of the wafer setting device 15. And the back side facing the inside of the wafer inspection apparatus is open.
  • the door 19 has a handle 20.
  • the door 19 is closed with a transparent plate so that the inside of the wafer installation unit 15 can be seen when the door is turned to the front side and the wafer cassette access port 18 of the cover 17 is closed. Window 21 is provided.
  • a contact sensor 22 is attached to the ends of the robot arms 10a and 10b of the sensor robot 5 shown in FIG. 3, and when a foreign object comes into contact with the contact sensor 22, Evening Robot 5 is set to stop.
  • This sensor may be a proximity sensor.
  • the door cassette 18 is closed in a state where the door 19 is turned to the front side, and a dustproof action is performed.
  • the back side of the wafer setting device is open, and the robot arms 10a and 10b of the sensor robot 4 can freely access the wafer cassettes 4a and 4b.
  • the wafer cassette insertion / removal slot 18 is opened, and the operator inserts and removes the wafer cassettes 4 a and 4 b from here.
  • this door 19 As shown by the chain line in FIG. 6, the cover 17 is turned to the back side of the cover 17, and the opening at the back side of the cover 17 is closed by the door 19.
  • the door 19 serves as a partition between the wafer force set installation portion of the wafer cassette installation device and the wafer inspection device side, and the robot arms 10a, 1a of the sensor robot 5 are arranged. 0b is prevented from entering the ehakaset installation area. Therefore, when the door 19 is rotated and the wafer cassettes 4a and 4b are taken in and out, the robot arms 10a and 10b of the wafer cassettes 4a and 4b are moved by the malfunction of the sensor robot 5 or the like. Even if the wafers 10a and 10b have entered the wafer setting section, the wafers 10a and 10b are blocked by the door 19 and are not set in the wafer cassette setting apparatus 15 in a normal posture. No more collisions. Then, when the tips of the robots 10a and 10b abut on the door 19, the contact sensor 22 is turned on and the robot 5 is stopped.
  • the robot operation display lamp 23, the door opening / closing lamp 24, the cassette exchange switch 25, the first and second cassette installation lamps are provided on the base 16 of the wafer installation device 2. 26 a, 26 b and manual key 27 are provided.
  • the wafer cassettes 4 a and 4 b are provided with installation grooves so that they can be installed at the installation positions determined in the wafer cassette installation device 15, and if they are set correctly, a position sensor or the like is used.
  • the cassette setting lamps 26a and 26b are lit. At this time, when the sensor robot 5 malfunctions and its arms 10a and 10b move in the direction of the wafer setting device 2, it comes into contact with the door 19 and is attached to the tip of this.
  • the contact sensor 22 turns ON and the center robot 5 stops.
  • the wafer inspection device 1 is used to operate the sensor robot 5 Then, confirm that the cassette installation lamps 26a and 26b are lit, the door opening / closing lamp 24 is lit, and the cassette replacement switch 25 is lit, and start or continue operation. By the way, when the cassette installation lamps 2a and 2b are off, the door opening / closing lamps 24 are off, and the cassette replacement switch 25 is off, the sensor 5 is turned off.
  • the equipment should be designed so that it is locked so that it cannot enter the wafer cassette installation area.
  • the door 19 can be manually locked with a key so that the wafer cassette can be removed in the event of a power failure.
  • FIGS. 7 to 9 show a second embodiment of the present invention, in which a door 19a is formed as a dwarf door, and both ends of the door 19a are provided on guide rails 28 provided on both side walls of a cover 17.
  • the cover 17 is slidably engaged and can be opened and closed by holding the handle 20 so that the front side and the back side of the cover 17 can be closed to each other.

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Description

明細書
ウェハカセッ卜設置装置
技術分野
本発明は、 ウェハを用いて半導体を製造する半導体製造 工程に用い られる ウェハカセ ッ ト設置装置及びウェハ力 セッ ト設置装置を備えたウェハ検査装置に関する も のであ る。 背景技術
上記ウェハ検査装置 1 は図 1 に示すよ う になつていて、 ウェハカセッ ト設置装置 2 に図 2 に示すようなウェハ 3 を 収納した 2 つのウェハカセ ッ ト 4 a ， 4 bがオペレータに よって装脱自在にセッ ト されるよう になっていて、 センタ 口ポッ ト 5 のアームにて一方のウエノ、カセッ ト 4 a ， 4 b にセッ トされているウェハ 3 を 1 枚ずつ取り出して各計測 器にセッ 卜 したり 、 検査の終ったウェハ 3 をウェハカセッ ト 4 a ( 4 ) に戻すよう になつている。
図 1 に示すウェハ検査装置 1 では、 3次元計測器 6 にて ウェハのバンプの形状検査、 2 次元計測器 7 にてウェハ上 に設けたパターンの検査をそれぞれ行い、 イ ンクマーカ 8 では上記両計測結果によ り 不良品と判明 したウェハ 3 に ノ 'ッ ドマーキングが行われる。 9 はコンソールである。 ォ ペレ一夕は上記検査に先立って、 検査前のウェハカセッ 卜
4 a ( 4 b ) をウェハカセ ッ ト設置装置 2 にセ ッ ト して装 置を稼働し、 検査終了後のウェハカセ ッ ト 4 b ( 4 a ) を 取り出すようにする。
上記セ ンタ ロボ ッ ト 5 は図 3 に示すよ う になつ ていて、 2 つのロボッ トアーム 1 0 a , 1 0 b を持つ、 いわゆる双 腕型のロボッ トが用いられる。 これの各ロボッ トアーム 1 0 a , 1 0 b は、 それぞれ、 第 1 ' 第 2 · 第 3 の腕 1 1 a， l i b , 1 2 a , 1 2 b , 1 3 a , 1 3 b の回転によって 水平方向に作動し、 かつ第 1 の腕 1 1 a ， 1 1 bが上下動 する こ とによ り 上下動されるよ う になっている。 そして上 記各ロボッ トアーム 1 0 a , 1 0 bの先端部上面にウェハ 3を吸着するチャック部 14が設けてある。
こ こで、 ォペレ一夕がウエノヽカセッ ト 4 a , 4 b を交換 する際に、 通常イ ン夕 ロ ッ ク な どの電気的制御によ り 口 ボッ トアーム 1 0 a , 1 O b がウェハカセッ ト設置装置 2 内に進入する こ とがないよ う に しているが、 上記イ ンタ ロ ッ ク の故障、 あるいはロボ ッ トゃ制御装置の誤動作によ り 、 ォペレ一夕がウエノ、カセ ッ ト 4 a ， 4 b を交換してい る間にロボッ トアーム 1 0 a ， 1 0 bがウエノ、カセッ ト設 置装置 2 内に進入して、 ロボッ トアーム 1 0 a , 1 0 b の 先端がウェハカセッ ト 3 a , 3 b に衝突してウェハカセッ ト 4 a , 4 bやこれに収納しているウェハ 3 を破損して し ま う こ とがあった。 また、 ウェハカセッ ト設置装置 2 内に セッ ト されるウェハカセ ッ ト 4 a , 4 b は、 検査装置の稼 働中に外側からホコ リ 等の異物の侵入を防止するために力 バーする必要があった。 発明の開示
本発明は上記従来の技術における問題を解決できるよう にしたウェハ検査装置におけるウェハカセッ ト設置装置を 提供する こ とを目的とするもので、 その構成は、 ウェハ力 セッ ト を設置する基台と、 ウェハカセッ トをカバーする と 共に、 一側部にウェハカセッ ト を外部から出し入れするゥ ェハカセッ ト出し入れ口を設け、 他側部をセン夕 ロボッ ト のアームが出入りするよう開放したカバーとからなるゥェ ハカセッ 卜設置装置において、 このカバーにウェハカセッ ト出し入れ口 と他側部の開放側を交互に開閉する扉を設け た構成となっている。
また、 上記ウェハ検査装置は、 ウェハの表面の 3次元形 状を検査する 3 次元計測器と、 2次元形状を検査する 2次 元計測器を有し、 これらの計測器に対してウェハカセッ ト 設置装置にセッ 卜されたウェハカセッ 卜よ りセン夕 ロボッ 卜のアームにてウェハを出し入れするよう にしたウェハ検 査装置において、 ウェハカセッ ト設置装置に、 このウェハ カセッ 卜設置装置内にウェハ検出装置の外側からウェハ力 セッ トを出し入れするウェハカセッ 卜出し入れ口を手前側 に有し、 センタ ロボッ トに対向する奥側を開放したカバー を設け、 こ のカバ一に、 ウェハカセッ ト出し入れ口と奥側 の開放部を交互に開閉する扉を設けた構成となっている。 さ らに、 このウェハ検査装置は、 ウェハの表面の 3 次元 形状を検査する 3 次元計測器と、 2 次元形状を検査する 2 次元計測器を有し、 これらの計測器に対してウェハカセッ 卜 設置装置にセ ッ 卜 されたウェハカセ ッ 卜 よ り セ ンタ 口 ボッ トのアームにてウェハを出 し入れするよう にしたゥェ ハ検査装置において、 ウェハカセ ッ ト設置装置に、 こ のゥ ェハカセッ ト設置装置内にウェハ検出装置の外側から ゥェ ハカセッ 卜 を出し入れする ウェハカセッ ト出し入れ口を手 前側に有し、 センタロポッ 卜 に対向する奥側を開放した力 ノ 一を設け、 このカノ 一に、 ウェハカセッ ト出し入れ口 と 奥側の開放部を交互に開閉する扉を設け、 また上記センタ ロボッ トのアームの先端に、 カバーの奥側開放部を閉 じて いる扉に干涉する こ とによ り作動してセンタ ロポッ トを停 止させるためのセンサを設けた構成となっている。
ウェハカセッ ト はオペレータによ り扉を開けてウェハ力 セ ッ ト出し入れ口よ り ゥェ八カセ ッ ト設置装置内に収納さ れる。 その後扉を閉じる こ とによ り 、 ウェハカセッ ト設置 装置が装置の外側に対して閉じ られる。 この状態でウェハ カセッ ト設置装置のカバーの奥側がウェハ検査装置の内側 に対して開放状態とな り 、 こ の部分からセンタ ロボッ トの ロボッ トアームが挿入されて上記ウェハカセッ トに収納さ れたウェハが 1 枚ずつキャ ッチングされ、 これをウェハ検 査装置の各計測器に供給、 及び取出して検査する。 こ の各 検査工程が終了 した時点で再びウェハをウェハカセッ ト に 戻す。 その後、 扉を開けてウェハカセ ッ ト をウェハカセ ッ ト設 置装置よ り オペレー夕がウェハカセッ ト出し入れ口よ り こ のゥェ八カセッ ト を取り 出す。 このとき、 ゥェ八カセッ ト 出し入れ口を開状態と した扉はウェハカセッ ト設置装置の カノ 一の奥側を閉じる。 従ってこのオペレータによるゥェ ハカセッ トの交換時に、 誤動作等によ り 、 セン夕 ロボッ ト のロボッ トアームがウェハカセッ ト設置装置側へ作動した と しても、 これの先端部は扉に当接する等、 この扉に干渉 してこ の ロボ ッ ト アーム の先端に設けたセ ンサが作動 し、 セン夕ロボットは停止される。
本発明によれば、 ウェハカセ ッ ト設置装置に対してオペ レー夕によるウェハカセッ トの交換時に、 誤動作によって センタ ロボッ 卜のロボッ 卜アームがウェハカセッ 卜設置装 置内に向けて作動したと しても、 このカバーに設けた扉に てはばまれて、 この内へ挿入される こ とがなく なり 、 所定 の位置に正しく 設置されていないウェハカセッ ト にロボッ ト アームが衝突する こ とによるウェハカセッ トやこれに収 納したウェハの破損を防止できる。 またこのときにセンサ が作用 してセンタ ロボッ トが停止される こ とによ り 、 安全 性がより向上される。 図面の簡単な説明
本発明は、 以下の詳細な説明及び本発明の実施例を示す 添付図面によ り、 よ り 良く 理解されるものとなろう。 なお、 添付図面に示す実施例は、 発明を特定する こ とを意図する ものではなく 、 単に説明及び理解を容易とするものである。 図 1 ウェハ検査装置の概略的な構成を示す平面図である。 図 2 ウェハカセッ トの一例を示す斜視図である。
図 3 双腕型のセン夕ロボッ トを示す斜視図である。
図 4 本発明に係るウェハカセッ ト設置装置を示す正面図 である。
図 5 本発明に係るウェハカセッ ト設置装置を示す平面図 である。
図 6 本発明に係るウェハカセッ ト設置装置を示す側面図 である。
図 7 本発明に係るウェハカセッ ト設置装置の他例を示す 正面図である。
図 8 本発明に係るウェハカセッ 卜設置装置の他例を示す 平面図である。
図 9 本発明に係るウェハカセッ ト設置装置の他例を示す 側面図である。 発明を実施するための最良の形態 ，
本発明の第 1 の実施の形態を図 4から図 6 に基づいて説 明する。 図中 1 5 はウェハ設置装置であ り、 このウェハ設 置装置は基台 1 6 とカバー 1 7 とからなっていて、 基台 1 6 に 2個のウェハカセッ ト 4 a , 4 bが並列に収納される よう になつている。 カバ一 1 7 はこのウェハカセッ ト 4 a， 4 b をカバーする ものである力 、 このウェハ設置装置 1 5 の外側に対向する手前側にウェハカセッ ト出し入れ口 1 8 が設けてあ り 、 またウェハ検査装置の内側に対向する奥側 は開放されている。
上記カバー 1 7 の内側には、 これのウェハカセッ ト出し 入れ口 1 8 を開閉する扉 1 9 力 、 両端をカバー 1 7 に枢支 してウェハカセッ ト出し入れ口 1 8 を閉じる手前側の位置 から奥側へ向けて回動自在に支持されている。 そしてこれ は奥側へ回動した状態でカバ一 1 7 の奥側の開放部を閉じ るよ う になっ ている。 扉 1 9 には取手 2 0 が設けてあ る。 また扉 1 9 には、 これを手前側へ回動してカバー 1 7 のゥ ェハカセッ ト出し入れ口 1 8 を閉 じたときに、 ウェハ設置 装置 1 5 内が見えるよ う に透明板にて閉じた窓 2 1 が設け てある。
図 3 に示すセ ン夕 ロボ ッ ト 5 のロボッ ト アーム 1 0 a, 1 0 bの先端には接触センサ 2 2 が取り付けてあ り 、 この 接触センサ 2 2 に異物が接触したときに、 セン夕 ロボッ ト 5 が停止するよう になっている。 なお このセンサは近接セ ンサでもよい。
上記構成において、 扉 1 9 が手前側へ回動した状態でゥ ェハカセッ ト出し入れ口 1 8 が閉じ られて防塵作用がなさ れる。 この状態でウェハ設置装置の奥側は開放状態であ り、 セン夕 ロボッ ト 4 のロボッ トアーム 1 0 a , 1 0 bが自由 にウェハカセッ ト 4 a , 4 b にアクセスできる。 一方取手 2 0 を持って、 扉 1 9 を開ける と、 ウェハカセッ ト出し入 れロ 1 8 が開放され、 こ こカゝ らウェハカセ ッ ト 4 a ， 4 b をオペレータが出し入れする。 このとき、 こ の扉 1 9 は図 6 に鎖線で示したよ う にカバー 1 7 の奥側へ回動されて、 こ のカバ一 1 7 の奥側の開放部が扉 1 9 にて閉 じ られる。 従っ て こ の扉 1 9 がウェハカセ ッ ト設置装置のウェハ力 セ ッ ト設置部と ウェハ検査装置側との間の仕切 り とな り、 セン夕 ロボッ ト 5 のロボッ ト アーム 1 0 a , 1 0 b のゥェ ハカセッ 卜設置部への進入が阻止される。 従って、 扉 1 9 を回動してウェハカセッ ト 4 a ， 4 b を出し入れしている ときにおいて、 セン夕 ロボッ ト 5 の誤動作等によ り 、 これ のロボッ トアーム 1 0 a , 1 0 bがウェハカセッ ト設置部 に進入してきたと しても、 このァ一ム 1 0 a ， 1 0 b は扉 1 9 にさえぎられてウェハカセッ ト設置装置 1 5 内に正常 な姿勢で設置されていないウェハカセッ トやウェハに衝突 する こ とがなく なる。 そしてロボッ トァ一ム 1 0 a , 1 0 b の先端が扉 1 9 に当接する こ とによ り接触センサ 2 2 が ONとなってセン夕ロボット 5が停止される。
ウェハ設置装置 2 の基台 1 6 にはロボッ ト運転表示ラ ン プ 2 3 と、 扉開閉ラ ンプ 2 4 、 カセッ ト交換スィ ッチ 2 5、 第 1 · 第 2 のカセ ッ ト設置ラ ンプ 2 6 a , 2 6 b 、 手動 キー 27が設けてある。
オペレータによるウェハカセッ ト 4 a ， 4 b の交換の手順 を以下に示す。
( 1 ) ロボッ ト運転表示ラ ンプ 2 3 が青色に点灯してい るのを確認する。 このロボッ ト運転表示ランプ 2 3 は青色、 あるいは赤色のどち らかに点灯するよう になっていて、 青 色な ら ば、 セ ン夕 ロボ ッ ト 5 が稼働中でなレゝ こ と を示 し、 赤色であれば、 センタ ロボッ ト 5 が稼働中であ り 、 ウェハ カセッ卜の交換はできないことを示す。
( 2 ) カセッ ト交換スィ ッチ 2 5 を押して扉 1 9 の施錠 を解除する。 このとき開鍵されればカセ ッ ト交換スィ ッチ 25自身が消灯する。
( 3 ) 扉 1 9 を開ける。 こ の状態で扉 1 9 は図 6 に鎖線 で示すよ う に、 奥側の開放部側へ回動される。 こ のと き、 扉開閉ラ ンプ 2 4 は扉 1 9 の位置を検出する位置センサな どによって自動的に消灯する。
( 4 ) ウエノ、カセ ッ ト 4 a , 4 b をウエノ、カセッ ト出 し 入れ口 1 8 よ り交換する。 ウェハカセッ ト 4 a , 4 b はゥ ェハカセッ 卜設置装置 1 5 内で決め られた設置位置に設置 できるよ う に、 設置溝が付けられていて、 正常にセッ ト さ れれば、 位置センサ等によって、 各カセッ ト設置ランプ 2 6 a , 2 6 b が点灯する よ う になっ てレゝる。 こ の と き に、 セン夕 ロボッ ト 5 が誤動作して、 これのアーム 1 0 a , 1 0 bがウェハ設置装置 2 方向へ作動すると、 これが扉 1 9 に当接し、 これの先端に取付けた接触センサ 2 2 が O N と なってセンタロボット 5は停止する。
( 5 ) 扉 1 9 を閉じる。 このとき扉開閉ラ ンプ 2 4 は扉
1 9 の位置する位置センサなどによって自動的に点灯する。
( 6 ) カセッ ト交換スィ ッチ 2 5 を押して扉 1 9 の施錠 をする。 このとき施錠されればカセッ ト交換スィ ツチ 2 5 は点灯する。
ウェハ検査装置 1 は、 セン夕 ロボッ ト 5 を稼働させる際 に、 カセッ ト設置ラ ンプ 2 6 a , 2 6 b の点灯、 扉開閉ラ ンプ 2 4 の点灯、 カセ ッ ト交換スィ ツチ 2 5 の点灯を確認 して稼働を開始、 あるいは続行する。 ちなみに、 カセッ ト 設置ラ ンプ 2 a , 2 b の消灯、 扉開閉ラ ンプ 2 4 の消灯、 カセッ ト交換スィ ッチ 2 5 の消灯のいずれかの状態のとき には、 セン夕 ロボッ ト 5 がウェハカセッ ト設置部への進入 ができないよ う にイ ン夕ロ ッ クがかかるよう に装置を設計 しておく 。 また、 手動で扉 1 9 の鍵の施錠ができるよう に してあ り 、 停電時にウェハカセッ 卜 の取出 しができるよ う にしてある。
図 7 から図 9 は本発明の第 2 の実施例を示すもので、 扉 1 9 a はよろい戸状に構成され、 これの両端部がカバー 1 7 の両側壁に設けた案内レール 2 8 に摺動自在に係合して お り 、 取手 2 0 を持って開閉する こ とによ り 、 カバー 1 7 の前側と奥側が互いに閉じられるようになつている。

Claims

請求の範囲
1 . ウェハカセッ トを設置する基台と、 ウェハカセッ トを カバ一する と共に、 一側部にウェハカセッ ト を外部から出 し入れするウェハカセッ ト出 し入れ口を設け、 他側部をセ ン夕 ロボッ 卜のアームが出入りするよう開放したカバーと からなるウェハカセッ ト設置装置において、 このカバーに ウェハカセッ ト出し入れ口 と他側部の開放側を交互に開閉 する扉を設けたことを特徴とするウェハカセッ 卜設置装置。
2 . ウェハの表面の 3次元形状を検査する 3次元計測器と、 2次元形状を検査する 2 次元計測器を有し、 これらの計測 器に対してウェハカセッ ト設置装置にセッ 卜 されたウェハ カセッ 卜よ りセン夕 ロボッ 卜 のアームにてウェハを出し入 れするよ う にしたウェハ検査装置において、 ウェハカセッ ト設置装置に、 このウェハカセッ ト設置装置内にウェハ検 出装置の外側からウェハカセッ トを出し入れするウェハ力 セッ ト出し入れ口を手前側に有し、 センタロボッ 卜に対向 する奥側を開放したカバーを設け、 このカバーに、 ウェハ カセッ ト出し入れ口 と奥側の開放部を交互に開閉する扉を 設けたことを特徴とするウェハ検査装置。
3 . ウェハの表面の 3次元形状を検査する 3次元計測器と、
2 次元形状を検査する 2 次元計測器を有し、 これらの計測 器に対してウェハカセッ ト設置装置にセッ 卜 されたウェハ カセッ 卜 よ りセン夕 ロボッ 卜のアームにてウェハを出し入 れするよ う にしたウェハ検査装置において、 ウェハカセッ 卜設置装置に、 このウェハカセッ ト設置装置内にウェハ検 出装置の外側か らウェハカセッ ト を出し入れするウェハ力 セッ ト出し入れ口を手前側に有し、 センタ ロボッ トに対向 する奥側を開放したカバ一を設け、 このカバ一に、 ウェハ カセッ ト出し入れ口 と奥側の開放部を交互に開閉する扉を 設け、 また上記センタ ロボ ッ トのアームの先端に、 カノ 一 の奥側開放部を閉じている扉に干渉する こ とによ り作動し てセン夕 ロボッ 卜 を停止させるためのセンサを設けた こ と を特徵とするウェハ検査装置。
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