JP4477496B2 - レチクル取り扱い装置 - Google Patents

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Description

本開示及び実施例は、レチクル取り扱い装置に関し、レチクル取り扱い装置は、少なくとも実質的に密閉されたハウジングを備えてハウジング内部でクリーンルーム状態を維持し、レチクル取り扱い装置はさらに、ハウジング内にレチクルを導入し且つハウジング外にレチクルを送出する入力／出力ステーションと、ハウジング内に配置されてレチクル上で所定の機能を行う少なくとも１つの機能ユニットとを備え、ハウジング内部に同様に配置された取り扱い装置を用いて、レチクルをハウジング内で取り扱い得ることを特徴とする。
いわゆるレクチルは、電子部品の製造に必要である。レチクルには露光用マスクまたはフォトマスクが含まれ、それらを用いて投影露光処理においてマイクロメータ及びナノメータの範囲にある構造を半導体又は他の基板上にプリントする。バッチ処理で特定の電子部品を製造することはしばしば行われる。その理由としては、レチクルが製造中の特定時間だけ用いられるからである。合間に、露光用マスクが中間にあって保存されなければならない。ストッカー装置がこの目的のために以前から公知である。ストッカー装置内には、複数のレチクルが中間にあり入れておくことができる。先行技術によるかかるストッカー装置は、通常ストッカーと称され、このために本質的に密閉されたハウジングを備える。ハウジングには大気の入出力のためとレチクルを導入し且つ送出するためだけに開口部が設けられている。クリーンルーム状態がハウジングの内部に広がり、それによってレチクルの汚染が避けられる。
電子部品の製造では、レチクルに対するどのような小さなほこり及びどのようなわずかな損傷も高くつく不合格品につながる。よって、ほこりまたは損傷を避けることが望まれる。従って、レチクルを製造過程へ導入する直前に汚染についてレチクルを検査することが公知となっている。ほこりを見つけると、クリーニングユニットがレチクルからほこりを除去し得る。クリーニング装置と検出装置の両方がレチクル保存装置内に配置されているユニットが同じ出願人によるＷＯ０２／０１２９２ Ａ１から公知である。
レチクルは通常、レチクル保管場所から処理プラントへそして元のところへ、製造の間特定の標準化された搬送用ボックス内で搬送される。複数のかかる搬送用ボックスが存在しており、よって先行技術によるレチクル取り扱い装置は、通常１つまたはせいぜい２、３種類の搬送用ボックスに対してだけ適するよう装備される。
これらのユニットが異なる適用条件に対応する可能性を提供しないということが先行技術についてのこれらのユニットにおいて不利であると思われる。変化する適用条件に装置を適合させる手段が設けられていない。
発明の概要
本発明によれば、レチクル取り扱い装置のモジュール構造がそれゆえ提供される。それによって、レチクル取り扱い装置の他の機能ユニットに影響を与えることなく、機能ユニットを交換しまたは変更することが可能である。ある機能ユニットを別の機能ユニットに交換することに加えて、または交換する代わりに、本発明によるレチクル取り扱い装置に１つ以上の付加機能ユニットを付加する可能性が提供され得る。本発明による「機能ユニット」はサブアセンブリとして理解され得る。機能ユニットは、製造過程では直接わからないレチクルに対する特定の機能を該レチクルと関連して負うかまたは実行する。このように、例えば、機能ユニットが保存、クリーニング、検査、その他の機能のために毎回提供されてもよい。
レチクル取り扱い装置の製造業者が本発明の別の態様によってこの概念を展開すると、さらなる有利な点を生む。製造業者は、本発明による取り扱い装置に対する少なくとも１つの機能ユニットのいくつかの変化形を用いて、ある種のモジュラー方式の構成において、低価格で、いくつかのレチクル取り扱い装置を素早く製造し提供することができる。可能な異なるレチクル取り扱い装置はまとめてレクチル取り扱い装置システムを形成する。先行技術のレチクル取り扱い装置と比較すると、できるだけ大きい製造スペクトラムを形成する小さな経費の利点が大きくなればなるほど、モジュールにおいて同じ機能タイプの異なる機能ユニット、一方においては、及び／又は異なるタイプの異なる機能ユニットがより多くある。
本発明の認識では、インタフェースは構造的配置であるということが理解されてもよい。構造的配置は、切り離し可能な機械的接続を含むことが望ましく、それを用いて、少なくとも１つの機能ユニットが、本発明によるレチクル取り扱い装置へ統合され且つ再び分離されてもよい。インタフェースのこの機械的部分を標準化することによって、一方では、機能ユニット全体を素早く交換しまたは再適合することも実施可能であり、さらに、他方では、取り扱い装置のより簡単な組み立てさえもモジュラー方式から実施し得る。インタフェースの取り外し可能な接続が、例えば、取り扱い装置のラック上に設けられ、ラック上に機能ユニットの各々が取り付けられることが望ましい。
さらに、インタフェースが電気的または電子的部分を備えてもよい。ここで、機能ユニットの各々が取り扱い装置の電源及びデータ通信に接続するようなされてもよい。
多数の変化形を減じるために、基本モジュールが取り扱い装置システムにおいて設けられてその周りにシステムの様々な取り扱い装置がモジュールから形成されると、特に有利であることも示されてもいる。適当な方法で、基本モジュールが入力／出力ステーション、取り扱い装置及びそれに属するラックの一部から形成され得る。もちろん、かかる基本モジュールでは、構造的に異なる入力／出力ステーション及び取り扱い装置が同様に設けられてもよい。
ラックは、組み立てが可能であって、例えば、プロファイルされたロッドによって、取り扱い装置を安定させ本発明による装置の様々な構成部品取付の可能性を生み出すために特にここで役に立つ。かかるラックも機械的インタフェースの構成部品であることが有利である。
本発明の前述の態様及び他の特徴を、添付図面と関連して、以下の詳細な説明において説明する。
好適実施例の詳細説明
本発明によるレチクル取り扱い装置１は、例えば、メモリモジュール及びプロセッサなどの電子部品製造プラントにおいていわゆる統合「スタンドアロン」装置として提供されており、図１及び図２に示される。取り扱い装置には基本的に密閉されたハウジング２が備えられて、ハウジング２によって封じ込められた空間内でクリーンルーム状態を維持する役目をする。ハウジングの覆い部分は、図面を明瞭にするために図１及び図２に示されていない。クリーンルーム状態を生成するために、取り扱い装置はクリーンルーム状態生成手段を備えてもよい。クリーンルーム状態生成手段は、それ自体が以前から公知であって、以降にはより詳細に説明されない。ハウジングの１つの外側に、入力ステーション３が配置され、より詳細には示されない取り扱い装置１の制御部と接続される。
ハウジング２は取り扱い装置のラック４に固定される。ラックはプロファイルされた管５から基本的に形成される。プロファイルされた管５は、付加的なプロファイルされた管または、しかしながら、特に、機能ユニットである取り扱い装置の構成部品のいずれかを固定する様々な可能性を有する。このため、プロファイルされた管５には所定の場所に凹所が設けられることが望ましく、その中にねじまたは他の締め付け手段が配置され得る。もちろん、凹所のかわりに、所定の場所に配置された他の受け止め手段または固定手段が設けられてもよい。
この設計は建設的に簡単な方法でモジュール設計に寄与しており、モジュール設計は、所定の一組の機能ユニットから毎回機能ユニットの組の一部を選択し、それらをラックに統合することによって、様々なレチクル取り扱い装置の組み立てを可能にする。このように、ラック４もモジュラー方式として設計されるべきであり、基本的に、限定された数の、異なるプロファイル５及び結合要素から成っている。以下において、例えば、取り扱い装置の多くの可能な配置のいくつかであって取り扱い装置の各々が同じシステムに属する配置を説明する。
モジュール設計の態様はまた、個々の機能ユニットが既存のレチクル取り扱い装置１から全体的または部分的に取り除かれ得るかまたはレチクル取り扱い装置１へ全体的または部分的に取り付けられ得るという事実を含む。取り付けまたは取り外すために、それぞれのレチクル取り扱い装置とのそれらの機械的及び電気的インタフェースからだけ、機能ユニットはそれぞれのレチクル取り扱い装置と接続されるかまたははずされるべきである。このことは、例えば、修理、維持または他の機能ユニットとの後の置き換えのためになされ得る。
入力／出力ステーション７のいくつかのパネル６がハウジング２の前面へ統合される。パネル６の各々は、同様にモジュールである入力／出力ユニット８に属する。それぞれのパネル６の開口部９の１つのエッジは、レチクルの搬送用に設けられた搬送用ボックスの各々のタイプの外形に少なくとも大体対応する外形を備える。開口部９は、それぞれの入力／出力ユニットに対して設けられた搬送用ボックスが対応する開口部９を介して導びかれ得るように構成される。１つの可能な密閉された搬送用ボックス１０が例えば図３に示されており、開いた搬送用ボックス１０の下部１１にあるレチクル１２が図４に示されている。図５が示すように、パネルはまた自閉フラップ１５を備える。このように、対応する開口部９を介して取り扱い装置へ粒子が侵入する危険はレチクルを導入または除去する短い時間にだけ存在する。
構造上異なった高さで、引き出すことが可能なドロア１６、１７が、図１の入力／出力ステーション７の付加的入力／出力ユニット８の構成部品として示される。例えば、１つ以上のレチクルを収容することができるより大きな搬送用ボックスは、これらのドロア１６、１７の各々を用いて取り扱い装置１へ導入され得る。図面を明瞭にするため、これら２つの入力／出力ユニット８のパネルは図１には示されない。
図１及び図２の取り扱い装置も折り曲げアームロボットの形で、ハウジング２の内部に配置される（図１０も参照せよ）取り扱い装置１８を有する。水平面で動作する折り曲げアーム１９は、垂直Ｚ軸で動作するよう配置されており、詳細には示されない。ロボットの動作範囲はこのように、取り扱い装置１の特に機能ユニットである個々の構成部品の配置に合わせて細かく調整され、ロボットはどの機能ユニットからもレチクル１２を受け取って別の機能ユニットにそれらを移すことができる。折り曲げアームロボットには、後により詳細に説明される把持部が設けられ、把持部を用いてレチクル１２を受け取り、取り扱い装置内部でそれらを搬送する間保持し得る。
図１に示された実施例では、入力／出力ステーションのすぐ下に配置された検出／クリーニング装置２０が別の機能ユニットとして設けられている。後者は図１ではハウジング２によって隠されるが、図６では見える。検出及びクリーニング装置の別の可能な実施例が同じ出願人によるＷＯ ０２／０１２９２ Ａ１に示されている。
図２による取り扱い装置について特に平面図においてわかるように、各々の機能ユニットは他の機能ユニットから空間的に切り離される。このことも個々の機能ユニットにおける交換可能性及び係合を容易にする。
実施例に示された入力／出力ステーション７の構造の詳細が、図６に関連して図５の部分図から得られる。従って、入力／出力ステーション７は外側に動くドア２１を有して、取付フレーム２２を形成する。凹所２９は、その上に入力／出力ユニット８のパネル６が取り外し可能な方法で取り付けられてもよく、特定の基本グリッドサイズを備えた縦のストリップ２５上で互いに距離をおいて取付フレーム２２上に取り付けられる。
図５のフレームに部分的にだけ挿入されることが示される入力／出力ユニット８’は、パネル６を有し、その開口部９は搬送用ボックスの特定のタイプに合わせて細かく調整された外形を有する。入力／出力ユニットはさらに断面が基本的に長方形の２つの側面部２６を備える。その中で、入力／出力ユニットの駆動ユニットが配置され、特に搬送用ボックスに対する開閉メカニズムを含んでいる。入力／出力ユニットの各々は取付フレーム２２のコンパートメントへ挿入される。入力／出力ユニットの各々はそのサイズに基づいて側面部２６によって形作られ、該フレームへ取り外し可能な方法で取り付けられる。電流供給及び制御のための電気的接続（電気的インタフェース）に関して、入力／出力ステーションは毎回同じプラグ接続を介して取り扱い装置へ接続され得る。このため、各々の入力／出力ユニットは、図６ａでわかるように、標準化されたいわゆるＶＩＰＡモジュール２６ａを備える。入力／出力ユニットのＶＩＰＡモジュール２６ａは常に同じプラグコネクタ２６ｂを有し、それを用いてそれぞれの入力／出力ユニットが取り扱い装置１の中央制御装置に１つのケーブル（図示せず）だけを介して簡単な方法で接続され得る。さらに、ドロア１６、１７は取付フレーム２２（図６）のコンパートメントへ挿入される。ドロア１６、１７は、例えば、家具の引き出しなどの原理で以前から公知であるような、さらに詳細には示されない入力／出力メカニズムをさらに有する。
側面部２６の幅及び深さが毎回、互いに関する距離同様に、すべての入力／出力ユニットにおいてパネル６の前部開口部９と同じに保持される。それらの高さだけが、様々な搬送用ボックスにパネルの高さを適合するために変化し得る。しかしながら、高さにおける変化は、基本グリッドサイズの自然数の倍数においてだけなされ得る。
パネル６の幅はすべてのパネルについて同じである。それらの高さに関して、パネル６はパネルの基本グリッドサイズＢの自然数の倍数において変化し得る。入力／出力ステーション７の同様のこのビルディングブロックモジュール構造により、様々な方法で本発明による取り扱い装置の入力／出力ステーション７を構成し、各々の場合において指示された要求にそれを適合させることがわずかな費用で可能である。入力／出力ユニット８、８’が、例えば、新しいタイプの搬送用ボックスに対して、それに関して大変簡単な方法で、それぞれの入力／出力ステーションの未使用の挿入コンパートメントにおいて、実質的に後から取り付けられる。
図１に示された第一の構成例においてのように、示されていない第２の構成例においても、空間が、その各々が基本グリッドサイズＢに高さが対応している最小構造を有している最大１２個の入力／出力ユニット８に対して設けられる。図１と異なり、ここでは、１２の入力／出力ユニット８が実際に設けられる。これら１２の入力／出力ユニット８は１つのタイプの搬送用ボックスにだけ適合し得る。替わりに、入力／出力ユニットが少なくとも２つの異なるタイプの搬送用ボックスに提供されるということが設けられてもよい。
同様に示されていない、同じレチクル取り扱い装置１の入力／出力ステーション７の第３の構成例において、３つの上側の入力／出力ユニット８が構成において同一であり、よって同じタイプの搬送用ボックスに対して順に提供されてもよい。同じことが下方の次の２つの入力／出力ユニット８に当てはまる。それらは同様に１種類の搬送用ボックスだが、取り扱い装置の入力／出力ユニットによって受け入れられ得る搬送用ボックス以外の異なる搬送用ボックスにだけ提供される。同様に、いわゆるＳＭＩＦモノポッド搬送用ボックスに対して設けられた入力／出力ユニット８ａが、このように互いに同一の方法で同様に構成される。これらの入力／出力ユニットの各々が構造的高さを有しており、それは基本グリッドサイズＢの２倍に相当する。
次の入力／出力ユニット８ｂがいわゆるＳＭＩＦマルチポッドに提供され、構造的高さを有しており、それは基本グリッドサイズＢの５倍に相当する。完全に密閉されたパネル６’で覆われた空のコンパートメントが、２つの入力／出力ユニット８ａと８ｂとの間に認められる。パネル６’の高さは基本グリッドサイズに対応する。構成例のすべてにおいて、入力／出力ステーションの全体の構造的高さは同じで１２の基本グリッドサイズＢのに対応する。入力／出力ユニットが互いに任意に組み合わされてもよいことがこれらの構成例からわかる。
特定の構造に関係なく、フォトセンサが各入力／出力ステーションにおいて配置され、搬送用ボックスがそれぞれの入力／出力ユニット８、８ａ、８ｂ内の最終位置を占めるかどうかを検出する。この場合には、そのとき取り扱い装置１の制御部がセンサの対応する信号に基づいて搬送用ボックスの自動開口メカニズムを動かす。同時にまたはそれ以前に、入力／出力ステーションの前面開口部がそれぞれの前面フラップ１５（図５）を用いて同様に密閉され得る。前面フラップ１５は詳細に示されていないレバーに接続され得る。
レチクル搬送用ボックスの開口装置は、例えば、米国マサチューセッツ州チェルムスフォードのブルックスプリオートメーション株式会社のコロラド及びザリスまたはその前権利者の製品ガーディアン・レチクル・ストッカーによって、以前からそれ自体公知である。かかる開口メカニズムを入力／出力ユニットに対して原理上用い得る。
図３及び図４に示されたタイプの搬送用ボックス１０では、開口処理は搬送用ボックス１０の下部１１と覆い１３との間の留め金をはずす。それらは互いに離されて、下部１１に配置されたレチクル１２がアクセス可能になる。
ドロア１６を備えた、図１及び図６において他の要素の間に示されている入力／出力ユニットが、いわゆるＳＭＩＦモノポッド搬送用ボックス１０ａを開閉する取り扱い装置の内側に設けられる。かかる標準化されたＳＭＩＦモノポッド搬送用ボックス１０ａの下部１１ａ及び覆い１３ａが図７及び図８に示される。水平方向に長手方向に移動され得るドロアは、例えば、上記に名前をあげた会社であるブルックスプリオートメーション株式会社の製品ＳＭＩＦリーンロボットＳＬＲ１５０またはエルゴスピードで実施されるように、このＳＭＩＦ搬送用ボックスを開く、それ自体が以前から公知のメカニズムを有する。米国の会社アシストテクノロジー株式会社によって販売されている製品ＳＭＩＦ−ＬＰＴ２１５０の開口メカニズムが同様に原理に適している。ドロア１６はフレームの内部に配置されたプレート３４（図１）を備え、ＳＭＩＦボックス１０ａがこのプレート上に配置される。ドロア１６が入力／出力ステーションへ挿入され、ＳＭＩＦ搬送用ボックス１０ａの下部１１ａがプレート３４にボルトで固定されると、プレート３４が、下部１１ａ及びその上に見られるレチクル（図８には示されず）と共に下げられる。その一方、覆い１３ａは静止したままである。従って、それぞれのレチクルはドロアの後側３５またはハウジング２の内側にある入力／出力ステーションから把持部へアクセスすることができる（図６を同様に参照せよ）。
搬送用ボックスの別のタイプ１０ｂが図９に示されており、ボックスを開くためにボックスの１つの前面フラップだけが外側へ動く。その結果、ボックス１０ｂに配置されたレチクル１２もアクセス可能になる。この搬送用ボックスを開閉するために、この種の搬送用ボックスに適合する入力／出力ユニットが入力／出力ステーション７に設けられる。
それぞれの開口メカニズムの実際の構成に関わらず、取り扱い装置の中央制御部も、以下により詳細に説明される把持部の挿入を調整する。把持部によって、レチクルがつかまれて機能ユニットに搬送される。
図１０により詳細に示されている一般的なレチクル把持部が、３連結の折り曲げアームロボットとして構成された取り扱い装置１８上に配置される。折り曲げアームロボットの回転軸の全ては互いに平行に動く。取り扱い装置１８のグリップ部分２４が折り曲げアーム１９の自由端上に見られるが、係止部２３が折り曲げアーム１９のプラットフォーム２７上に固定される。図１１の詳細な図は、グリップ部分が、同一で互いに平行に位置あわせされており互いに対して固定されている２本のロッド２８を有していることを示す。ロッド２８はグリップ部分２４においてグリップ部分の阻止面２８ｂと直角に取り付けられる。図１１に示された実施例では、ロッド２８の断面は本質的に丸く、その結果断面はそれぞれ直径約４ｍｍを有する。もちろん、他の断面の形状を同様に基本的に用いてもよい。
ロッド２８の長さＬSが標準サイズのレチクルに適用され、それらの自由な長さは、ロッド２８に平行な方向のレチクルの片側エッジの長さ（長さＬR）より短い（図１１）。ロッドの長さＬSはレチクルの長さＬRより小さいが長さＬRの半分より大きい値であるべきである。このように、把持部は様々な搬送用ボックスからレチクルを取り除くのに特にうまく適する。
上方を示すカム２８ａも前端及び後端の両方の領域において各々のロッド２８上に配置される。これらのカムはレチクルへの支持として設けられる（図１１及び図１２）。
レチクルがつかまれると、グリップ部分２４上のレクチルの位置が前側での阻止面２８ｂとの接触により前もって決定され得る。モーター電流はグリップ部分２４とレチクルとの間の接触で増加する。モーター電流をモニタすることによって、かかる増加が取り扱い装置１８の制御によって検出され、その結果対応する駆動動作が停止され得る。移動運動のこの限界の替わりにまたはそれに加えて、図示されない接近センサが設けられて、それを用いてレチクルが阻止面２８ｂの領域にあるかどうかの判断がなされてもよい。
図１０に示された取り扱い装置１８の係止部２３が、グリップ部分２４の垂直位置に関して同じ高さに配置される。それは二股の受信メンバ３７を有し、互いに平行に並べられたその２つの側面部３８が、レチクルの幅よりほんのわずかだけ大きい距離を置いている。２つの側面部３８の各々において、ロッド３９が配置され、ロッド３９自体の長手軸の周りに回転することができ、ロッド３９の自由端上に回転レバー４０が備えられる。回転レバー４０の各々は２つの最終位置へ回転することができる。開いた最終位置において、それぞれの回転レバー４０が側面部の間の領域を開放する。最終の系止位置において、２つの回転レバー４０は互いの方に旋回し、よって受け取りメンバを阻止する。
交差補強材４１は、２つの側面部３８の間のレチクルの挿入長さを限定し、両方の側面部３８に配置される。図１６で最もよくわかるように、スイッチ４２が両方の側面部上で交差補強材４１の後端の領域に配置される。スイッチ４２がグリップ部分２４によって作動されると、ロッド３９を長手軸の周りに回転させる。このように、側面部３８に配置されたローラー４５（図１４を参照せよ）が、反対側にある側面部の方向に何ミリメータか傾き、２つの回転レバー４０をそれらの元の開いた最終位置（図１４）から系止最終位置（図１５）へ回転させる。
レチクル１２を把持するために、２つのロッド２８がそのグラス基板の下からレチクルの１つの前側から移動され、ロッドがロッドの間でレチクルの基部１２ａを把持する。把持部のこの送り運動は図１１に説明される。グリップ部分２４が阻止面２８ｂによってレチクルの前側に接触するとすぐに、駆動動作を生成する折り曲げアームロボットの電気モーターの電流消費が増加する。これが基準として本実施例において用いられており、折り曲げアームロボットの制御部が送り運動を停止させる。
そのときレチクル１２はＺ軸に沿って次の移動運動によって持ち上げられ得る。このようにレチクル１２は、図１３に示したように、２つのロッド２８のカム２８ａ上でそのグラス基板１２ｂの下面に位置する。従って、グリップ部分２４は把持部の係止部２３へ挿入される。レチクル１２が、グリップ部分２４の本質的に直線上の移動運動によって受け取りメンバへ２つの側面部３８の間に導入される。この移動運動は全ての３つの回転連結の調整された回転運動によって実施され得る。
グリップ部分２４がこの方法で交差補強材の下に達して２つのスイッチと接触するとすぐに、ロッド３９及び回転レバー４０をそれらの係止最終位置へ動かす。ローラー４５は、本質的に同時に外側へ押しつけられ、即ち、受け取りメンバへ押しつけられる。このようにローラー４５はその横の面においてローラーの間でレチクル１２を締め付けるだけでなく、このように側面部３８の間でレチクル１２を中心に置く。この最終位置において、グリップ部分２４がこのように受け取りメンバ３７において２つのロッドを用いて見出される。その結果レチクル１２はロッド２８上にあって、把持部によって取り扱い装置の内部で搬送される準備が出来ている。
レチクル１２を特定の場所に再び下ろすために、正確な順序を逆に起こす。スイッチ４２は回転レバー４０の方向にグリップ部分２４の運動によって降ろされる。このことがローラー４５によるレチクル１２の締め付けの解放を生じさせる。回転レバー４０がそのとき受け取りメンバも解放するので、レチクルは、ロッド３９に平行に動くグリップ部分２４の運動によって係止部２３の中から導かれ得る。
本発明による図１の取り扱い装置の検出／クリーニング装置２０と称される機能ユニット２０が図１７、１８及び１９に詳細に示される。この１つの機能ユニットは入力／出力ステーション７のすぐ下でラック４に固定される。検出／クリーニング装置２０も、図１８に示したクリーニングチャンバー４６を有し、その中へレチクル１２が第１開口部４８を通って送り装置４７によって毎回導入され、クリーニングチャンバー４６を介して実施され、クリーニングチャンバー４６の他端において第２の開口部４９を介して再び取り出され得る。純粋な空気または純粋な窒素が、送り方向５０にクリーニングチャンバー４６の１つの後端領域におけるクリーニングチャンバー４６の中のレチクルの両側上へ１つ以上の空気の流れの形で１つ以上のノズル５１から流れ込んでもよい。レチクル１２にわたって導かれた純粋な空気がレチクル上で見出される汚い粒子を取り込む。挿入スロットの近くにあるレチクルの両側に配置された少なくとも１つの吸引チャネル５２を介して、純粋な空気がクリーニングチャンバー４６から再び抜き取られる。
詳細に示されていないイオン化された要素が、ノズル５１とそれぞれの引き込みチャネル５２との間で流れの方向に配置される。空気の流れはこの要素によってイオン化されて、帯電を分解するかまたは防ぐ。さもなければ、クリーニングを目的とする装置２０のその部分の構成図は、ＷＯ ０２／０１２９２ Ａ１で開示された装置と本質的に同じである。
検出ユニット５５はクリーニングチャンバーのすぐ後に配置される。図１７及び図１８からわかるように、クリーニングチャンバー４６は検出ユニット５５のハウジング５６に固定され得る。後者は挿入ギャップ５７を備えたハウジングを有する。２つの開口部４８、４９及び挿入ギャップ５７は同じ高さにあり、互いにぴったり重なる。本実施例と関連して用いられる検出ユニット５５は、２つの光源５８及び２つのフォトセンサ５９を備え、それらによってレチクルの上側に亘って本質的に平行に向けられる光５８ａの散乱の大きさを測定し得る。この大きさの測定によって、残よ汚濁の程度またはレチクル１２の下側及び上側で見られる汚れた粒子６０の大きさに関する結論を出すことが可能になる。かかる検出ユニットの機能原理が図１９に示され、ＷＯ ０２／０１２９２ Ａ１において詳細に説明されている。ＷＯ ０２／０１２９２の開示された内容は，その中で説明されるクリーニングチャンバー及び検出装置の構造図及び動作モードに関連して、参照としてここに組み込まれている。
図１８によれば、送り装置の搭載位置はクリーニングチャンバーの第１開口部のすぐ前に見られる。送り装置４７のキャリッジ６２は、レチクルと共に搭載されることができ、基本的にＵ字型である。レチクル１２は、グリップ部分２４の水平移動によってキャリッジの挿入開口部６３の中へのキャリッジ６２へ挿入され得る。キャリッジ６２は、ベアリングアーム６４に固定されており、駆動運動によって矢印５０に沿って前後へ移動することができる。移動運動の長さは、クリーニングチャンバーのすぐ前の図１８に示された搭載位置から検出ユニット５５の内部の検出位置まで及ぶ。後者の位置では、レチクル１２が検出ユニットのハウジング内に完全に配置される。
挿入ギャップ５７の方向へキャリッジを水平移動運動することによって、同じ移動装置の継続によってクリーニングチャンバーにおけるそのクリーニング後に、検出ユニット５５の中へレチクル１２を導入することが可能になる。このため、キャリッジ６２の移動運動方向を変更する必要さえない。他の取り扱いステップが、クリーニングチャンバー４６と検出ユニット５５とへレチクルを導入する間に行われる必要がない。このようにして、１つの移動運動で、かつ１つの締め付け処理だけによって、クリーニングユニット及び検出ユニットの両方へレチクルを導入することが可能になる。
第２のレチクル取り扱い装置７０が図２０に示され、これは図１のレチクル取り扱い装置と同じシステムに属する。図２０の実施例は、基本モジュールとして、図１の完全なレチクル取り扱い装置１を有する。しかしながら、ハウジング２の壁の対応部分は２つの側面で取り除かれ、「ストッカーモジュール」と称される機能ユニットの実施例の第１の例が所定の場所に置かれる。ストッカーモジュール７１はラック拡張部７４を有し、基本モジュールのラック部分４の所定の位置上へ取り付けられる。ラック拡張部７４の外側も図２０の場合には密閉されているハウジング７２の部分を含み、取り扱い装置７０の内側でクリーンルームの空気を生成し維持することが可能になる。
棚ユニット７３がラック延長部７４の内側で２つの同心円形状に配置される。これらの棚ユニット７３の各々は、互いに同一であって、いくつかの垂直に重ねられた、詳細に示されていないコンパートメントを有している。それらの各々において、レチクルが中間に在って保存され得る。円の各々は、もう一方の円から独立して回転することができるように形成され得る。このように、個々の棚ユニットがアクセス可能な位置へ運ばれ、そこで反対側にある取り扱い装置１８が各々のコンパートメントへレチクルを配置し、またはそこからレチクルを取り除くことができる。
ストッカーモジュールも、基本モジュールの別の隣接する側の互いに隣接して配置される３つの他の棚ユニット７３を有する。これらの棚ユニットも取り扱い装置１８のアクセス可能な領域内にある。
図２１は、同じシステムに属する取り扱い装置８０の別の構成を示す。この構成も図１及び図２において提供されているように、基本モジュールに基づいている。ここで同様に、基本モジュール上で、ラック延長部８１が、所定のねじ接続の形式で機械的インタフェースを介して基本モジュールのラック部分４上で取り外し可能な方法で導入される。また、ストッカーモジュールが詳細に示されていない電気的インタフェースを介して基本モジュールに且つ特に、取り扱い装置の制御部に接続される。事実、より少ない数であるが、基本的に図２０と同じ棚ユニットが図２１のストッカーモジュールにおいて用いられる。もちろん、図２１の実施例では、棚ユニットが基本モジュールの１つのコーナーの周りに配置される。
図２２も同様に、本発明による取り扱い装置９０の別の実施例を示す。この例も同じ基本モジュールに基づいており、基本モジュールの機能を拡張するストッカーモジュール９１の別の変化形を有する。同様に、図２０ですでに示された棚ユニット７３がラック延長部９２に配置され、インタフェースを介して同じ基本モジュールのラック部分４に固定される。この実施例では、棚ユニット７３が取り扱い装置１８の領域において基本モジュールの１つの長手側に沿って搭載される。
ここで図２３を参照すると、別の実施例によるレチクル取り扱い及び操作システム１１０の概略平面図が示されている。システム１１０は前に説明し図２０乃至２２に示された取り扱い装置７０、８０、９０の他の実施例と概ね類似している。同様の特徴には同様の番号が付されている。このようにしてシステム１１０は通常レチクル取り扱い装置１０１（図１及び図２で示された装置１と実質的に同じ）及び保存モジュール１００を含む。本実施例では、システム１１０は、例えばリソグラフィツール、レチクルパターニングツール、または測定ステーション、ポッドストッカー、または単一／複数のレチクル搬送装置などの所望のレチクル処理ツール１１２を含む。図２３でわかるように、本実施例では、四辺形として概略的に示されたツールまたはステーション１１２は、替わりの実施例においてステーション１１２が適当な形状を有していてもよいが、装置１１０のストッカーモジュール１００に一致させられる。ステーション１１２は何らかの適当な方法で装置に一致させられてもよい。例を用いて、（装置１０１の）ハウジング１０２の壁の所望の位置が、ステーション１１２の周辺１１２Ｐを一体的に取り囲むように延長されてもよい。このことは、ハウジングの壁が拡張されて図２０乃至２２に示された装置７０、８０、９０のストッカーモジュールが画定されるという方法と似ている。さもなければ、ハウジング１０２は壁１０２Ｒ上にインタフェースを備えてハウジングにモジュラーステーション１１２を取付けまたは結合してもよい。その場合、ステーション１１２は取付け用のアタッチメントを備えた適当なモジュラーフレームを有してもよい。いずれにしても、内部パーティションまたは壁１１２Ｉが装置のステーション１１２とストッカーモジュール１００との間で画定される。実施し得るように、内壁１１２Ｉがストッカーモジュール１００とステーション１１２との間でレチクルの搬送を可能にする適当な開口部１１２Ｏを有する。開口部１１２Ｏは適当なドアまたはバルブ（図示されず）で閉めることができ、ステーション１１２がストッカーモジュールから切り離され、逆の場合も同様である。従って、ステーション１１２は、必要なら、ストッカーモジュール１００または取り扱い装置１０１内の環境と異なっていてもよい、全部または部分的に真空、不活性ガス、ろ過された空気、大気、またはその他などの異なる環境を有してもよい。必要なら、付加パーティションまたは壁１００ＬＬが装置のストッカーモジュール１００内に位置して、ストッカーモジュールの所望の棚部分１７３Ａの周囲にインタフェースまたはロードロックステーション１１１を形成してもよい。壁はレチクル搬送用の密閉可能な開口部も有してもよい。さらに、ロードロック部分１１１は適当なシステムを備えて、装置１０１、１００における環境またはステーションモジュール１１２における環境のいずれかと一致するためにロードロック環境を循環させる（例えば、配管制御、バルブ制御）。替わりの実施例では、インタフェースしているロードロックモジュールがストッカーモジュールとステーションとの間でハウジングの外側に設けられてもよい。実施し得るように、ロードロック部分１１１はステーション１１２及び装置１０１、１００における異なる環境がそれらの間でレチクルを搬送する間維持されることを可能にする。図２３に示した実施例では、ストッカーモジュール１００は棚位置１７３Ａ（ここではロードロック部分１１１内に示されている）を有し、位置決めメカニズム１１８が達してストッカーモジュール１００内のレチクルを持ち上げるかまたは離すことができる。レチクルは位置１７３Ａからステーション１１２へそしてステーション１１２から移動されてもよい。装置は位置決めメカニズム１１８が達することができる所望の数の棚位置を有し、そこへ／そこからレチクルがステーション１１２から搬送されてもよいが、本実施例では、１つの棚位置１７３Ａが例示目的で示されている。棚位置は、示されたように水平に分配されてもよいのと同様垂直に積み重ねられてもよい。１つのステーション１１２が図２３に示されているが、替わりの実施例では、システムが所望の数のステーション／処理ツールを有してもよい。図２３でわかるように、ステーションは棚位置１７３Ａとステーション１１２との間でレチクルを搬送する統合レチクル搬送装置１１４を含んでもよい。搬送装置１１４は、別の他の適当な搬送装置が用いられてもよいが、前に説明し図１０乃至１６に示した位置決め装置１８と同様であってもよい。図２３でわかるように、例えば、ステーション１１２はリソグラフィツールであり、モジュールがリソグラフィ処理を実施する処理モジュールであるときなど、多くの位置決めモジュール１１６がステーション１１２の１つ以上の側面１１２Ｐに取り付けられてもよい。そうでなければ、各々のモジュール１１６は、測定ステーションまたはレチクルパターニングモジュール、またはロードロックモジュールであってもよい。ロードロックモジュール１１６が設けられる場合には、ロードロックモジュール１１６はステーション１１２を環境フロントエンドモジュール（ＥＦＥＭ）（図示されず）、レチクルまたは他の処理ツール（図示されず）を搬送する搬送システムに接続してもよい。
ここで図２４を参照すると、レチクル処理システム１１０Ａのまた別の実施例の概略図が示されている。図２４のシステム１１０Ａは図２３のシステム１１０とおおむね同様である。同様の特徴は同様の番号が付されている。替わりの実施例では装置がストッカーモジュールを有していなくてもよいが、システム１１０Ａはストッカーモジュール１００Ａを備えた装置１０１Ａを含む。システム１１０Ａも１つ以上の処理ツールまたはステーション１１２Ａ（１つのステーション１１２Ａだけが例示目的で図２４に示されている）を含む。本実施例では、ステーション１１２Ａはインタフェースモジュール１０８Ａによって装置１０１Ａに合わされる。モジュール１０８Ａはハウジング１０２Ａ内に搭載されてもよい。そうでなければ、取り扱い装置へステーションをインタフェースするモジュールが、ハウジングの外側に取り付けられ、ハウジングの中へ伸びるインタフェース延長部を有してもよい。図２４に示したように、本実施例では、モジュール１０８Ａは、入力／出力ユニット８、８’（図１、５及び６Ａを参照せよ）と同様の外部のおおいを有する大きさに作られ、取付フレームの所望のコンパートメントの中へ取り付けられてもよい。この場合は、インタフェースモジュール１０８Ａが１つまたは２、３のレチクルを保持することができてもよい。より大きな数がインタフェースモジュールにおいて取り扱われるべき実施例では、モジュール１０８Ａは、図１に示されたドロア１６、１７と同様の取り扱い装置１０１Ａの入力／出力ドロアへ取り付けられる大きさになされてもよい。前に言及したように、インタフェースモジュール１０８Ａはユニット８、８’の覆いと同様の外部覆いを備えたモジュールである。従って、インタフェースモジュール１０８Ａは、（装置１のフレーム２２と同様の）装置１０１Ａのフレームのコンパートメントのいずれかに取り付けられてもよい。モジュール１０８Ａは、従って、図６ａに示されたユニット８’の接続と同様の電気的または液体システム用のコネクタ化された接続だけでなく、モジュールを装置フレームに取り付けるための適当な機械的な取付を含んでもよい。図２３のステーション１１２と同様のステーション１１２Ａは、リソグラフィツール、レチクルパターニングツール、測定ステーション、ツールストッカー、または単一／複数のレチクル搬送装置ステーションなどの所望の処理ツールであってもよい。リソグラフィツールの場合、例えば、ステーション１１２Ａはレチクル搬送メカニズム１１４Ａを備えた搬送用チャンバー１１２Ａ及び搬送用チャンバーの両側に接続された多数の処理チャンバーモジュール１１６Ａを含んでもよい。ステーション１１２Ａが装置１０１Ａと異なる環境を有しているかもしれない場合は、インタフェースモジュール１０８Ａはロードロックとして構成されてもよい。従って、モジュール１０８Ａは，モジュールとステーション１１２Ａとの間及びモジュール１０８Ａと装置内部１０１Ａとの間でレチクル搬送用開口部をそれぞれ閉じる内部及び外部ドア（図示されず）を有してもよい。装置１０１Ａのレチクル取り扱い装置１１８Ａは、モジュール１０８Ａの中へ／中からレチクルを移動させるために用いられてもよい。レチクルはモジュール１０８Ａ及び結果として装置１０１Ａとステーション１１２Ａとの間で搬送装置１１４Ａによって移動されてもよい。図２３のシステム１１０と同様に、レチクルが、図３及び７の搬送用ボックス１０、１０ａと同様の密閉された搬送用ボックスを介して装置１０１Ａへ搬送されて、次に別の搬送用ボックス１０を用いることなく装置１０１Ａ及びステーション１１２Ａの制御された環境内で搬送されてもよい。搬送用ボックス１０は、ユニット８と同様の入力／出力ユニット及びレチクルへのアクセスを可能にするために開いたボックスの中へと配置されてもよい。レチクルは取り扱い装置１１８Ａで持ち上げられて、入力／出力ユニットからインタフェースモジュール１０８Ａへ搬送されてもよい。モジュール１０８Ａがロードロックである場合、ロードロックは部分１１２Ａにおいてと同じ環境を有するように循環される。次にロードロックに、部分１１２Ａにおいて搬送用装置１１４Ａがアクセスし、部分１１２Ａ及び部分１１２Ａに接続された１つ以上の処理チャンバーモジュール１１６Ａにレチクルを搬送してもよい。処理後に、レチクルは、同様であるが逆の方法で搬送用ボックスに戻されてもよい。替わりの実施例では、ステーション１１２Ａに接続されたモジュールが、ステーション１１２Ａを他の処理ツールまたは複数のＥＦＥＭに接続しているロードロックモジュールであってもよい。また他の替わりの実施例では、ステーション１１２Ａ自体が、レチクル搬送用システムに装置１０１Ａを接続するために用いられるといったロードロックであってもよい。ステーション１１２Ａは図２４で示された実施例においてのように、装置１０１Ａの前面に接続されるモジュールであってもよい。替わりの実施例では、ステーション１１２Ａは装置のいずれかの側に位置し、インタフェースモジュールのインタフェース開口部はステーション１１２Ａと通じるために所望の側に位置する。別の実施例では、処理ステーションが装置に接続されず、装置内のロードロックモジュールが異なる環境域を装置に与えるかまたは外部環境から装置を切り離すために用いられてもよい。
ここで図２５を参照すると、装置２０１のまた別の実施例が示されている。他の点で述べたことを除いて、装置２０１は前に説明し図１で示した装置１とおおむね同様である。図２４の装置１０１Ａと同様に、装置２０１もロードロックモジュール２０８を含む。ロードロックモジュール２０８は前に説明したモジュール１０８Ａとおおむね同様である。ロードロックモジュール２０８は、装置のハウジング２０２内部の環境が切り離され、結果としてハウジングの外側の環境と異なることを可能にする。装置２０１は、例えば不活性ガス環境または密閉された圧縮環境において維持されてもよい。替わりの実施例では、装置は真空または部分的に真空の環境を含む適当な環境を有してもよい。本実施例では、図３のボックス１０または図７のＳＭＩＦポッド１０ａと同様の搬送用ボックスは、ロードロックモジュール２０８がどのようなスタイルの搬送用ボックスでも受け入れるよう構成されているときに、ロードロックモジュール２０８の中へ密閉可能な外側の開口部を介して配置されてもよい。そのときロードロックモジュール２０８は密閉されて装置２０１の環境に適合する環境を有するように循環されてもよい。レチクル１２と同様のレチクルがいつでも搬送用ボックスから取り除かれてもよい。替わりの実施例では、ロードロックモジュールが搬送用ボックスを受けてインタフェースするチャンバー（図示せず）及び搬送用ボックスインタフェースチャンバーから切り離し可能な別のチャンバーを含んでもよい。この場合、レチクルはインタフェースチャンバー内のボックスから取り除かれてもよく、例えばインタフェースチャンバー内の適当な搬送メカニズム（図示せず）によってロードロックモジュールの切り離し可能なチャンバーへ移動されてもよい。このように、搬送用ボックス上の潜在的な汚染物質はモジュールのロードロックチャンバーへ運ばれない。
図２５の装置は複数の環境領域２０１Ａ、２０１Ｂを含んでもよい。本実施例では、２つの領域だけが示されているが、装置はいくつの環境領域を含んでいてもよい。領域２０１Ａ、２０１Ｂは互いに切り離されており異なる環境を含むかもしれない。それぞれの領域に接続されたモジュールも異なる環境を有してもよく、モジュールが通じている領域２０１Ａ、２０１Ｂに対応している。各々の領域２０１Ａ、２０１Ｂは、アーム１８と同様の専用のレチクル搬送用アーム２１８Ａ、２１８Ｂを含み、装置の対応する環境領域２０１、２０１Ｂの範囲内でレチクルを搬送する。装置は付加ロードロックモジュール２０８、２０８’を含み、環境が各領域で維持されることを可能にしつつ、各領域の間のレチクルの搬送を可能にする。ロードロック２０８’は、装置の様々な環境領域の間でレチクルを搬送するよう構成されてもよい。例えば、ロードロックモジュール２０８’はロードロック２０８に面する密封可能な開口部（図示せず）を有してもよい。この開口部は、開いているとき、ロードロックモジュール２０８’がロードロックモジュール２０８と通ずることを可能にする。ロードロックモジュール２０８’はロードロックモジュール２０８’と２０８との間でレチクルを移動させるための指標プラットフォームを備えてもよい。指標プラットフォームは、プラットフォームが１つの位置（即ち、「上へ」）またはもう１つの位置（即ち、「下へ」）に循環されるとき、ロードロックの間の開口部を封止するためにも用いられてもよい。替わりの実施例では、装置の各々のモジュールが異なる制御された環境で維持されてもよい。
図２５に示された実施例の装置２０１は、図１及び２の装置１と同様に、いずれかの適当な機能を有するいずれかの適当なタイプのモジュールを含んでもよい。各々のモジュールは装置の取り付けフレームの１つ以上のコンパートメントまたはドロアにおいて取り付けられる形状を有する。例えば、装置２０１は１つ以上の処理モジュール２０９を含んでもよい。例えば、モジュール２０９はガス、ＣＯ２、またはウェットベースの方法を用いるレチクルのクリーニング用モジュールを含んでもよい。かかるレチクル処理モジュールは、処理モジュールの環境を装置の残りの部分から切り離すために、対応する環境領域に位置するかまたはロードロックモジュールとインタフェースしてもよい。替わりの実施例では、クリーニング用モジュールに、レチクルをクリーニングする、ＵＶ光線などの電磁放射線に基づくシステムを用いてもよい。処理モジュール２０９は、レチクル上の電荷を検出するためにＥＳＤモジュールなどのモジュールをさらに含んでもよい。適当な処理モジュール２０９の別の例は、レチクルの拡大目視検査用ＣＣＤカメラを有してもよい。カメラ２１６は所望の分解能を有して、レチクルに取り付けられたペリクルに対する引っかききずや損傷またはレチクル上の大きな粒状物質を検出してもよい。装置２０１に取り付けられる処理モジュールの他の例は、空中浮遊分子の汚染を測定するモジュール、レチクルまたはレチクルに取り付けられるペリクル（図示せず）上のしるしを読むモジュール（例えば、バーコード、アルファベット数字式コード）を含む。また別の例は、レチクル及び（レチクルに取り付けられれば）ペリクルの平坦さを検出するモジュール、装置が使用されていないかまたはスタンドバイモードの間「オフライン」のレチクル検査を可能にするモジュール、及びレチクルを試験してシステムの完全性を検証するモジュール（即ち、「金のレチクル」）であってもよい。
図２５でわかるように、処理モジュール２０９はプロセッサ２０３に（入力ステーションで）通信可能に接続されて、装置２０１に予知保全システム２３０を設ける。例えば、プロセッサ２０３は適当なソフトウェア２３２を含み、レチクルの使用を追跡する。例えば、プロセッサ２０３が、所定のレチクルが用いられるときを指示するレチクル上のしるしを読むことができる処理モジュール２０９からデータを受信してもよい。プロセッサはレチクルの使用を記録し、ソフトウェア２３２を用いて、所定のレチクルが用いられた回数を追跡する。ソフトウェア２３２は、予測アルゴリズムまたはテーブルなどの手段を有し、所定のレクチルがもはや用いられべきでないとき、または次の使用の前に点検修理されてクリーニングされるべきときに使用数を知らせる。ソフトウェア２３２は、他の処理モジュール２０９からのプロセッサ２０３によって受信される他のレチクル状態データを使用するよう配置されて、いつ所定のレチクルがもはや使用に適さず点検修理されるべき時であるかを判定してもよい。図１及び２の装置１と同様の装置２０１は、システム７０、８０、９０、１１０、１１０Ａと同様に、極端紫外線露出レチクル、１５７ｍｍレチクル、Ｘ線レチクル及び角度限定散乱電子線投影リソグラフィ（ＳＣＡＬＰＥＬ）レチクル、または他の適当なレチクルなどの所望のタイプのレチクルで動作してもよい。
図２５で実現され得るように、装置２０１は交換可能なモジュール２０９、２１６のいずれかを用いて所望するように選択的に構成されてもよい。装置２０１に取り付けられる様々な処理モジュール２０９の、前に明らかにした例に加えて、また別の例がある。例えば、交換可能なモジュール２０９は温度及び湿度制御用バッファリングモジュールを含んでもよい（例えば、加熱／冷却要素または湿度／圧力制御システム）。これらのモジュールは、（例えば、図２３及び２４のステーション１１２、１１２Ａにおけるツールなどの）処理ツールまたはストッカーへレチクルを移動させる前に、レチクルを適当な状態にするために用いられて、装置２０１と処理ツールまたはストッカーとの間で搬送されるときにレチクルが晒される熱または他の環境の差分を最小化してもよい。この種のバッファリングモジュールも、装置２０１内の様々な環境状態を有する様々な処理モジュールにレチクルを搬送するときに、用いられてもよい。適当なバッファリングモジュールのまた別の例は、Ｎ２浄化または他のガス浄化を可能にするモジュールを含む。装置２０１に取り付けられてもよいまた別の処理モジュール２０９は、サーモフェリシス（thermoferisis）によってなどのレチクル上の粒子を集めるモジュールを含んでもよい。このモジュールは、粒子がレチクルの片側に移動するように、レチクル上の粒子のバイアスを含むレチクルの反対側に１つ以上の充電されたプレートを含む。適当なモジュールの別の例は、モジュールがレチクルの両側または一番上に読み出し可能な情報を書く装置に取り付けられるときに、プロセッサ２０３に通信可能に接続されるレーザーを含んでもよい。また別の適当なモジュールの例は、装置２０１の運動を検出する加速度計を備えたモジュールを含む。加速度計データはプロセッサ２０３に通信されて、プロセッサ２０３がある閾値を越える動作を指示するデータを受信すると、装置に「安全モード」に入らせてもよい。このモードで、ストッカー内のレチクル（図２０乃至２５を参照せよ）が安全にされ、モジュール内の個々のレクチルがポッド内のレチクルのように締め付けられる。加速度計からのデータが、動作が閾値を下回ることをプロセッサ２０３に知らせると、プロセッサ２０３がオペレータまたはそれ自体に装置が動作モードに戻ることを可能にさせる。適当なモジュール２０９のまた別の例は、所定のレチクルにペリクル（図示せず）を並べ、取付、取り外すことができるものである。装置２０１に取り付けられる多くの他の予測できないモジュール例があるかもしれず、ここで説明された実施例の範囲によってカバーされる。
図２６を参照すると、レチクル取り扱いシステム３００の概略平面図及び自動化された材料処理システム（ＡＭＨＳ）のトラックＴの一部が示される。トラックＴは、レチクル搬送用ボックス（ボックス１０、１０ａと同様。図３及び７を参照せよ）を搬送可能な搬送用車両（図示せず）がトラックに沿って移動することを可能にするＡＭＨＳの適当なタイプのトラックであってもよい。別の実施例ではトラックは適当な場所に位置してもよいが、本実施例ではトラックは装置３００の上に取り付けられてもよい。適当なＡＭＨＳシステムの１つの例は、ブルックスオートメーション株式会社から市販されているアエロローダーTMである。トラックＴ上の車両は、車両から装置３００にボックスを運ぶことができる能動的な車両であってもよい。装置３００は図２０乃至２２の装置７０、８０、９０と実質的に同じである。装置３００は、装置の別のモジュールに対して前に説明した方法と同様の方法で装置に取り付けられたインタフェースモジュール３０８を備えた取り扱い装置３０１を有する。モジュール３０８は図２６に示されたように位置するプラットフォーム延長部３０１を有して、トラックＴが延長部３１０を横切ってもよい。延長部は、トラックＴ上の車両（図示せず）が延長部上にレチクル搬送用ボックス１０ａ’を配置することを可能にする大きさになされる。延長部は適当な駆動装置によって電力を供給され、搬送用ボックス１０ａ’を装置３０１の中へまたは中から（矢印Ｒによって指示される方向に）移動させ、レチクルがボックスの中で取り除かれ／配置されてもよい。車両も延長部から搬送用ボックスを持ち上げてもよい。
ここで図２７を参照すると、装置４００及び統合処理システム５００のまた別の実施例の概略平面図が示される。装置４００は、前に説明し図２３及び２４に示した装置１１０、１１０Ａと実質的に同様である。装置４００は装置４０１を含む。装置４０１は、図２７に示したようなシステム５００に接続された入力／出力モジュール４０８を有する。システム５００は、２００３年７月２２日に出願された「基板処理装置」と題された代理人整理番号３９０Ｐ０１１０１１−ＵＳ（ＰＡＲ）の米国特許出願で示され説明され、その全体がここに参照として組み込まれている統合処理システムである。システム５００は、図３及び７のボックス１０、１０ａと同様の１つ以上の搬送用ボックスを運ぶことができる車両（図示せず）用の搬送用パスを形成する線形搬送用チャンバーを有する。搬送用チャンバー５０６は、ロードロックチャンバー５０２とバルブ５０４を介して通じている。替わりの実施例では、ロードロックは装置のモジュール４０８に含まれてもよい。その場合には、搬送用チャンバーがモジュールに直接合わされるだろう。搬送用システム５００の車両は能動的で、車両からモジュール４０８へボックスを運ぶことができてもよい。
先に述べた説明は本発明実例だけであるということが理解されるべきである。様々な選択肢及び変化形が本発明から乖離することなく当業者によって工夫されてもよい。従って、本発明は添付の請求項の範囲内にあるかかる選択肢及び変化形をすべて包含することを目的としている。
本発明によるレチクル取り扱い装置の斜視図である。 図１のレチクル取り扱い装置の平面図を示す。 先行技術による搬送用ボックスの密閉状態を示す。 図３の搬送用ボックスの開いた状態を示す。 装置の入力／出力ステーションの部分斜視図を示す。 図１の取り扱い装置の開いた状態の斜視図を示す。 入力／出力ユニットの背面からの斜視図を示す。 ＳＭＩＦモノポッドの形式の密閉した搬送用ボックスを示す。 図７の搬送用ボックスの開いた状態を示す。 前面フラップが開けられた別のタイプの搬送用ボックスを示す。 図１の装置のレチクル取り扱い装置の斜視図を示す。 レチクルを把持する直前の図１２のレチクル取り扱い装置のグリップ部分を示す。 図１１の線ＸＩＩに沿ったグリップ部分の詳細図を示す。 レチクルならびに図１１のグリップ部分を示す。 図１０の取り扱い装置の係止部の斜視図を示す。 グリップ部分が係止部へ導かれるときの斜視図を示す。 把持部の下からの斜視図を示す。 図１の取り扱い装置の検出／クリーニングユニットの斜視図を示す。 図１７の機能ユニットのクリーニング部分を部分斜視図で示す。 図１７の機能ユニットの検出部分の可能な機能的原理を示す。 同じシステムに属する取り扱い装置の別の実施例を示す。 同じシステムに属する取り扱い装置のまた別の実施例を示す。 同じシステムに属する取り扱い装置のさらに別の実施例を示す。 レチクル取り扱い操作システムのさらに別の実施例の概略平面図を示す。 レチクル取り扱い操作システムのまた別の実施例の概略平面図を示す。 レチクル取り扱いシステムのまた別の実施例の概略斜視図を示す。 レチクル取り扱いシステムのさらにまた別の実施例の概略平面図を示す。 レチクル取り扱いシステムのまたさらに別の実施例の概略平面図を示す。

Claims (28)

  1. 内部でクリーンルーム状態を維持する少なくとも実質的に密閉されたハウジングを備え、各々が前記ハウジング内でレクチルに対して少なくとも１つの機能を果たすいくつかの着脱可能なモジュール式機能ユニットを有するモジュール式レチクル取り扱い装置であって、
    第１の機能ユニットが、前記ハウジング内へかつ外へレチクルを導入し且つ送出する入力／出力ステーションとして構成されており、
    前記ハウジング内に配置されて、前記入力／出力ステーションから少なくとも１つの他の機能ユニットにまたはその逆に前記レチクルを運ぶ取り扱い装置が、前記機能ユニットのインタフェースによって特徴付けられ、前記インタフェースによって少なくとも１つの機能ユニットが前記レチクル取り扱い装置に、前記ハウジング内の開口部を介して着脱可能に接続されて前記ハウジング内で少なくとも１つの機能を果たし得ることを特徴とするレチクル取り扱い装置。
  2. 前記機能ユニットと前記レチクル取り扱い装置との取り外しできる接続を可能にする機械的及び電気的部分を有するインタフェースによってさらに特徴付けられる請求項１記載のレチクル取り扱い装置。
  3. いくつかの入力／出力ユニットが取り外しできる方法で取り付けられる入力／出力ステーションによってさらに特徴づけられ、前記入力／出力ユニットのうち少なくともいくつかの高さが基本グリッドサイズの自然数の倍数に毎回対応することを特徴とする請求項１記載のレチクル取り扱い装置。
  4. 請求項１記載のレチクル取り扱い装置及び前記第１機能ユニットとその構成において異なる少なくとも１つの第２機能ユニットを含み、それによって前記第１機能ユニットが前記第２機能ユニットと交換され得るレチクル取り扱い装置システム。
  5. 様々なタイプの機能の機能ユニットによってさらに特徴付けられる請求項４記載のレチクル取り扱い装置システム。
  6. 同じタイプの機能のいくつかの機能ユニットによってさらに特徴付けられる請求項４記載のレチクル取り扱い装置システム。
  7. 保管装置を、前記ハウジング内部のいくつかのレチクルの同時の中間保管用機能ユニットとして設けることをさらに特徴とする請求項４記載のレチクル取り扱い装置システム。
  8. 電子部品製造用の露光マスクを中間保管するレチクルストッカーであって、密閉されたハウジングを有し、前記ハウジング内に露光マスクの中間保管用に設けられている中間保管装置を有し、請求項１記載のレチクル取り扱い装置によって特徴付けられるレチクルストッカー。
  9. レチクル取り扱い装置であって、
    内部に制御された環境を有することができるハウジングと、
    前記ハウジングに接続されてレチクルを処理することができる少なくとも１つの処理モジュールと、
    前記ハウジングに接続されて、前記少なくとも１つのモジュールと前記ハウジングの他の部分との間で前記レチクルを搬送する搬送装置と、
    を含み、
    前記少なくとも１つのモジュールが前記ハウジングに取り外し可能に接続することができ、前記少なくとも１つのモジュールが、前記モジュールを前記ハウジングに取り外し可能に接続することによって前記少なくとも１つのモジュールが前記ハウジング内で前記レチクルを処理することを可能とするインタフェースを有し、さらに前記少なくとも１つのモジュールが、各々が異なる所定の特徴を有しかつ前記ハウジングに接続できる多数の様々な交換可能なモジュールから選択可能であることを特徴とするレチクル取り扱い装置。
  10. 請求項９記載の統合レチクル取り扱い装置を含むことを特徴とする処理ツール。
  11. 少なくとも１つのリソグラフィツール、レチクルパターニングツール、ポッドストッカー、単一レチクルの搬送装置または複数レチクルの搬送装置のうちの少なくとも１つであることを特徴とする請求項１０記載のツール。
  12. 前記ハウジングが前記ツールの別の部分と通じるようにその中に形成された開口部を有し、前記開口部が前記ハウジングと前記ツールのもう１つの部分との間で前記レチクルが通過可能な大きさになされており、前記ハウジングと前記ツールの前記別の部分との間で前記レチクルが前記開口部を通過するときに、前記ハウジング内部で制御された環境を維持するようなされていることを特徴とする請求項１１記載のツール。
  13. 前記少なくとも１つのモジュールが、ガスベース、ウェットベース、または電磁放射線ベースのクリーニング方法のうちの少なくとも１つを用いて、前記レチクルをクリーニングするようなされていることを特徴とする請求項９記載の装置。
  14. 前記ハウジングがその中に不活性ガスまたは圧縮ガス空気を保持することができることを特徴とする請求項９記載の装置。
  15. 前記少なくとも１つのモジュールが、前記レチクル上の電荷または空気中の分子汚染のうちの少なくとも１つを検出するようなされた検出器を有することを特徴とする請求項９記載の装置。
  16. 前記少なくとも１つのモジュールが、前記レチクルの拡大目視検査用カメラを有することを特徴とする請求項９記載の装置。
  17. 前記少なくとも１つのモジュールが、前記少なくとも１つのモジュール内に位置するペリクル上のしるしを読み出すリーダーを有することを特徴とする請求項９記載の装置。
  18. 前記少なくとも１つのモジュールが、前記少なくとも１つのモジュール内に位置する前記レチクルまたはペリクルの平坦を検出する検出器を有することを特徴とする請求項９記載の装置。
  19. 前記少なくとも１つのモジュールが、前記ツールが使用されていないときオフラインのレチクル検証を実施するようなされていることを特徴とする請求項１０記載のツール。
  20. 前記少なくとも１つのモジュールが、前記レチクルを試験し、前記ツールによって設けられる処理システムの完全性を検証するようなされていることを特徴とする請求項１０記載のツール。
  21. 前記少なくとも１つのモジュールが、その中に前記レチクルを保存するようになされており、前記レチクルが極端紫外線露光レチクル、１５７ｍｍレチクル、ｘ線レチクル、またはＳＣＡＬＰＥＬレチクルのうちの少なくとも１つであることを特徴とする請求項９記載の装置。
  22. 前記モジュールが、予知保全を実施し且つ前記レチクルが光に晒された回数を追跡するプログラミングを備えたプロセッサを有することを特徴とし、さらに前記プログラミングはレチクルの点検、クリーニングまたは処分の予測用実績モデルを含むことを特徴とする請求項９記載の装置。
  23. 前記少なくとも１つのモジュールが、前記少なくとも１つのモジュール内で温度または湿度の少なくとも１つを制御する制御装置を有することを特徴とする請求項９記載の装置。
  24. 前記少なくとも１つのモジュールが、前記ハウジングの前記少なくとも１つのモジュールからもう１つの部分へ前記レチクルを搬送する前に前記レチクルをあらかじめ調整するようなされていることを特徴とする請求項９記載の装置。
  25. 前記少なくとも１つのモジュールが、前記レチクルから粒子を集めるようなされていることを特徴とする請求項９記載の装置。
  26. 前記少なくとも１つのモジュールが、１つ以上のレチクルをバッファリングするようになされていることを特徴とする請求項９記載の装置。
  27. 前記少なくとも１つのモジュールが、前記レチクル上のしるしを刻むスクライビング装置を有することを特徴とする請求項９記載の装置。
  28. 前記少なくとも１つのモジュールが、ペリクルを取り付け且つ取り外すようになされていることを特徴とする請求項９記載の装置。
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