JPS605520A - 防塵カセツト - Google Patents
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- JPS605520A JPS605520A JP58112928A JP11292883A JPS605520A JP S605520 A JPS605520 A JP S605520A JP 58112928 A JP58112928 A JP 58112928A JP 11292883 A JP11292883 A JP 11292883A JP S605520 A JPS605520 A JP S605520A
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- G03B23/02—Devices for changing pictures in viewing apparatus or projectors in which a picture is removed from a stock and returned to the same stock or another one; Magazines therefor
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- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
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- G03F7/70733—Handling masks and workpieces, e.g. exchange of workpiece or mask, transport of workpiece or mask
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は半導体装(Z1皆置に於て用いられるフォトマ
スク若しくはレチクルと呼ばれる原版の防塵を4慮した
収納力士ツトに関するものである。
スク若しくはレチクルと呼ばれる原版の防塵を4慮した
収納力士ツトに関するものである。
IC,LS1.超LSI等の半導体の製造11−J、解
決されねばならない事項の7つにマスク又はレチクルへ
の塵埃付着の問題がある。、超微細なこれらのパターン
をウェハーの上に焼き付げるIf−bマスク又はレチク
ル上にゴミがあるとリリc′!D′された半導体回路パ
ターンの損傷につながり、製へ化されたL S I 1
;の半導体装置の性能を低下さぜるばかりてなく、最悪
の場合その半導体装置の機能全体を麻痺させる。
決されねばならない事項の7つにマスク又はレチクルへ
の塵埃付着の問題がある。、超微細なこれらのパターン
をウェハーの上に焼き付げるIf−bマスク又はレチク
ル上にゴミがあるとリリc′!D′された半導体回路パ
ターンの損傷につながり、製へ化されたL S I 1
;の半導体装置の性能を低下さぜるばかりてなく、最悪
の場合その半導体装置の機能全体を麻痺させる。
特に近年主流となりつつあるステップ・アンド・リピー
ト方式(繰り返し露光方式)の投影露光装置で゛は、7
つのマスク又はレチクル用いてその半導体集積回路パタ
ーンが7つのウェハーに何ンヨツトも焼付けられる為、
もしゴミがあると、そのウニ八−の全てのチップが不良
になってしまうという問題がある。これらの開明からマ
スク又はレチクルに発塵原因である人間が可能な限り接
近しない方がよい。
ト方式(繰り返し露光方式)の投影露光装置で゛は、7
つのマスク又はレチクル用いてその半導体集積回路パタ
ーンが7つのウェハーに何ンヨツトも焼付けられる為、
もしゴミがあると、そのウニ八−の全てのチップが不良
になってしまうという問題がある。これらの開明からマ
スク又はレチクルに発塵原因である人間が可能な限り接
近しない方がよい。
しかし乍ら従来の露光装置ではマスク又はレチクルを露
光位置へ人手に」;って装填しなければならない為人体
からの塵埃がマスク又はレチクルに付着する更を防止す
るのが困何1であつノ、−0以上述べてきたように、ス
テップ・アンド・すビート方式の投影露光装置では人手
で扱うという従来方式のマスク又はレチクルの扱い方で
は塵埃の付着防止に対して限界がある為、人手を避は自
動でマスク又はレチクルを給送できる装置の開発が急務
であった。
光位置へ人手に」;って装填しなければならない為人体
からの塵埃がマスク又はレチクルに付着する更を防止す
るのが困何1であつノ、−0以上述べてきたように、ス
テップ・アンド・すビート方式の投影露光装置では人手
で扱うという従来方式のマスク又はレチクルの扱い方で
は塵埃の付着防止に対して限界がある為、人手を避は自
動でマスク又はレチクルを給送できる装置の開発が急務
であった。
本発明は−に記の点に鑑み、上記欠点を解消するため匠
なされたもので、投影露光装置にマスク又はレチクルを
人手を介さずに移送用能な構造を有し、しかも保存時、
塵埃の付着防雨を可能ならしめたマスク又はレチクル防
塵カセットを提供することをL1的とする。なお、レチ
クル又はマスクをカセットに入れることにより、それら
を取扱いしやすくすると同時に防塵効果を持たせた。又
そのカセット形状は自動でマスク又はレチクルを着脱で
きる形状であらねばならないが、本発明はこの自動化を
同時に可能とする様なカセット形状となっている。
なされたもので、投影露光装置にマスク又はレチクルを
人手を介さずに移送用能な構造を有し、しかも保存時、
塵埃の付着防雨を可能ならしめたマスク又はレチクル防
塵カセットを提供することをL1的とする。なお、レチ
クル又はマスクをカセットに入れることにより、それら
を取扱いしやすくすると同時に防塵効果を持たせた。又
そのカセット形状は自動でマスク又はレチクルを着脱で
きる形状であらねばならないが、本発明はこの自動化を
同時に可能とする様なカセット形状となっている。
このカセットを装置に装填し、そのカセットから自動で
マスク又はレチクルを露光位置に並んで装着する−11
−により、人体からの発塵がマスク又はレチクルに付着
する事を防いだ。
マスク又はレチクルを露光位置に並んで装着する−11
−により、人体からの発塵がマスク又はレチクルに付着
する事を防いだ。
以下、本発明の一実施例を図面に従って説明する。
第1図は蓋部材の破砕斜視図を、第2図は箱部材の斜視
図を、第3図は第1図のA親図の部分1y!、I 、第
9図は第2図のB親図の部分図を、第に図は蓋部材と箱
部材を組合せたカセットの痕1視図を、第4図は第S図
のc −c’線の断面図を、第7図は爪部材の詳細な説
明図を、第3図はギヤリア内にカセットを収容した痕1
硯図を、第7図は第3図のE gd図を夫々示している
。
図を、第3図は第1図のA親図の部分1y!、I 、第
9図は第2図のB親図の部分図を、第に図は蓋部材と箱
部材を組合せたカセットの痕1視図を、第4図は第S図
のc −c’線の断面図を、第7図は爪部材の詳細な説
明図を、第3図はギヤリア内にカセットを収容した痕1
硯図を、第7図は第3図のE gd図を夫々示している
。
図に於て、/は蓋部材、λは蓋部4A’ /を取扱い易
くする為の把手、3は相部)r)Jqと蓋部イ)J/と
を組合わせた時お互いが容易に分離1−ないようにする
為の爪部材で、引掛り部である4bと係合する。
くする為の把手、3は相部)r)Jqと蓋部イ)J/と
を組合わせた時お互いが容易に分離1−ないようにする
為の爪部材で、引掛り部である4bと係合する。
/aは蓋部材/の突出した保持部で、相部イ/Illは
それの突出部4aが保持部/aの」二に載る中によって
、蓋部材/に保持される。
それの突出部4aが保持部/aの」二に載る中によって
、蓋部材/に保持される。
/bは蓋部材/の入口端部、4Cは蓋部材/と相部+3
1Iとを組合わせた時、止部利となるものである。4d
はマスク又はレチクルを載せて支持するための支持部に
相当する底面と段差のついた段差面である。/Cは蓋部
材/の底部で箱部材グとを第S図の如く組合わぜた時こ
こが最底部になる。
1Iとを組合わせた時、止部利となるものである。4d
はマスク又はレチクルを載せて支持するための支持部に
相当する底面と段差のついた段差面である。/Cは蓋部
材/の底部で箱部材グとを第S図の如く組合わぜた時こ
こが最底部になる。
汐は蓋部材/と箱部材グの結合を手で容易に解く為の相
部伺ダの土部i/1”+ Cのある側の端部に設けられ
た把手である。乙はレチクルで、相部利ダの段差mlり
d 、J−に載置した時の断面図が第4図に示されてい
るが、これと共に塵埃の付着防止目的のペリクル11ψ
7及びその支持枠であるペリクル枠7aも11゛1°l
いである。lla/は蓋部祠/ノ保持部/aと箱部材q
の突出部ダaとを重ね合せた時の干なっていない部分で
あり、後述のフォーク//の係合部10がこの部分に接
触する。
部伺ダの土部i/1”+ Cのある側の端部に設けられ
た把手である。乙はレチクルで、相部利ダの段差mlり
d 、J−に載置した時の断面図が第4図に示されてい
るが、これと共に塵埃の付着防止目的のペリクル11ψ
7及びその支持枠であるペリクル枠7aも11゛1°l
いである。lla/は蓋部祠/ノ保持部/aと箱部材q
の突出部ダaとを重ね合せた時の干なっていない部分で
あり、後述のフォーク//の係合部10がこの部分に接
触する。
第7図は第1図に示した爪部材3と第2図に示した引(
」1り部ダbとの関係を簡略的に示した部分断面図て、
/dは蓋部)rA’ /の側壁、3aは爪部材3の押込
みつjl、:、3bは爪部材3の他端に設けられた円柱
状の係[1一部、3eは爪部材3の回転軸で、軸の両端
は側壁/dに回転自在に軸支されている。
」1り部ダbとの関係を簡略的に示した部分断面図て、
/dは蓋部)rA’ /の側壁、3aは爪部材3の押込
みつjl、:、3bは爪部材3の他端に設けられた円柱
状の係[1一部、3eは爪部材3の回転軸で、軸の両端
は側壁/dに回転自在に軸支されている。
また3fはトーンョンバネで、一端は爪部4’=l’
3に係合し、他端は側壁/dに係合するものとし、その
結果、爪部材3に反時割回りの回11す(力がf=1与
される。本図や第4図に示したように箱部材qが蓋部材
/に挿入された同は、係止端3bが引用り部4bK落込
んで、これを係上するが後述の第3図や第9図のように
カセットとして相部4A/が後述のギヤリヤ9に挿着さ
れた時にはギヤリヤ9の内壁9dが押込み端3aを相部
M 4側に押込み、係止部3bは引掛り部zbから引込
んで引用り部グbは解除される。なお、トーションバネ
3fcD反時計回り方向の付勢により爪部4A’ 3が
ギヤリヤ9の内壁′7dを押圧するので、蓋部材/はキ
ャリヤ9に摩擦係止される。7はギヤリヤで、第6図の
ように蓋部4/1/と相部4」りとを組合せたIl、l
jのカセットを第3図や第9図(C示l−だように多数
収容するためのものである。L?bはギヤリヤ9の」二
下を多数の区域に仕切る仕切板もしくは底板の片方の両
側に設けられた突出状のキャリヤ9に結合されたストッ
パーである。
3に係合し、他端は側壁/dに係合するものとし、その
結果、爪部材3に反時割回りの回11す(力がf=1与
される。本図や第4図に示したように箱部材qが蓋部材
/に挿入された同は、係止端3bが引用り部4bK落込
んで、これを係上するが後述の第3図や第9図のように
カセットとして相部4A/が後述のギヤリヤ9に挿着さ
れた時にはギヤリヤ9の内壁9dが押込み端3aを相部
M 4側に押込み、係止部3bは引掛り部zbから引込
んで引用り部グbは解除される。なお、トーションバネ
3fcD反時計回り方向の付勢により爪部4A’ 3が
ギヤリヤ9の内壁′7dを押圧するので、蓋部材/はキ
ャリヤ9に摩擦係止される。7はギヤリヤで、第6図の
ように蓋部4/1/と相部4」りとを組合せたIl、l
jのカセットを第3図や第9図(C示l−だように多数
収容するためのものである。L?bはギヤリヤ9の」二
下を多数の区域に仕切る仕切板もしくは底板の片方の両
側に設けられた突出状のキャリヤ9に結合されたストッ
パーである。
ゴげ図には自動でキャリヤ7がらカセッ1−が分離され
箱部材ll(勿論、第S図に示したようにレチクルろを
含んで(・る。)のみが取り出される時の状態を示して
いる。//はフォークで、カセットとギヤリヤ9との隙
間穴gに差し込まれる、図ではIt47^は不図示であ
るが矢印方向即ちレチクル乙の面に平行方向と垂直方向
に移動可能である。
箱部材ll(勿論、第S図に示したようにレチクルろを
含んで(・る。)のみが取り出される時の状態を示して
いる。//はフォークで、カセットとギヤリヤ9との隙
間穴gに差し込まれる、図ではIt47^は不図示であ
るが矢印方向即ちレチクル乙の面に平行方向と垂直方向
に移動可能である。
なお、フォーク//のし小方向と直角方向の幅りは突出
部4aのし小方向と直角方向の幅がら保持部/aの長手
方向と直角方向の幅を差し引いた幅より小さく没定しで
ある。従って、フォーク//をカセット内に挿入した時
、フォーク//の腕(幅L)は保1−!i部/aと突出
部ダaとが重なりあっていない部分Ila/の突出部グ
aを支える。フaは蓋部材/の入口端部/bのストッパ
ーであり、ギー\!リャフの1−下を多収の1)!′域
に仕切る仕切板もしくは底辺のもう片方の両側に夫々設
けられた突出部で、自動でフォーク//により相部4z
qがキャリヤ7から収り出される時、箱部材ダと蓋部材
/とが分1ネ11される時蓋部材/をキャリヤ7内に押
し止める役目を果す。10はフォーク//の係合部で箱
部材ダの部分41 a/の端にある不図示のl”!1部
に係合する。
部4aのし小方向と直角方向の幅がら保持部/aの長手
方向と直角方向の幅を差し引いた幅より小さく没定しで
ある。従って、フォーク//をカセット内に挿入した時
、フォーク//の腕(幅L)は保1−!i部/aと突出
部ダaとが重なりあっていない部分Ila/の突出部グ
aを支える。フaは蓋部材/の入口端部/bのストッパ
ーであり、ギー\!リャフの1−下を多収の1)!′域
に仕切る仕切板もしくは底辺のもう片方の両側に夫々設
けられた突出部で、自動でフォーク//により相部4z
qがキャリヤ7から収り出される時、箱部材ダと蓋部材
/とが分1ネ11される時蓋部材/をキャリヤ7内に押
し止める役目を果す。10はフォーク//の係合部で箱
部材ダの部分41 a/の端にある不図示のl”!1部
に係合する。
次に前記構成に於て防塵カセットの動作を説明する。
第1図に示した相部4A夕の段差面lldの上にマスク
又はレチクル(本実施例の場合はレチクルろ)は人手に
よって第6図に示した如く置かれ、第7図に示した蓋部
材/の入口端部/bの所から保持部/aの上に突出部グ
alJ″−截る様にして11)部祠ケは蓋部材/に差し
込まれる。蓋部)12/の人口端部/bと箱部材7の止
部材ダCとがピッタリ合った位置で前述したように爪部
桐3は相部イーケの引掛り部llbに係合し、蓋部材/
と相部利ケとが分子+;t+ Lない様に係止する。こ
の時の結合した図が第3図及び第7図であり、それを断
面にて示したのが第4図である。第S図に示したカセッ
トの状態で、カセットは第S図に示すD方向からキャリ
ヤ9に人手によって挿入される。なおりセットはストッ
パーqbを乗り越える様にキャリヤ7には空間9Cが設
けられている。ギヤリヤ7に挿入されたカセットにL反
月側に行きすぎない様ストッパ9aによって位置決めさ
れる。
又はレチクル(本実施例の場合はレチクルろ)は人手に
よって第6図に示した如く置かれ、第7図に示した蓋部
材/の入口端部/bの所から保持部/aの上に突出部グ
alJ″−截る様にして11)部祠ケは蓋部材/に差し
込まれる。蓋部)12/の人口端部/bと箱部材7の止
部材ダCとがピッタリ合った位置で前述したように爪部
桐3は相部イーケの引掛り部llbに係合し、蓋部材/
と相部利ケとが分子+;t+ Lない様に係止する。こ
の時の結合した図が第3図及び第7図であり、それを断
面にて示したのが第4図である。第S図に示したカセッ
トの状態で、カセットは第S図に示すD方向からキャリ
ヤ9に人手によって挿入される。なおりセットはストッ
パーqbを乗り越える様にキャリヤ7には空間9Cが設
けられている。ギヤリヤ7に挿入されたカセットにL反
月側に行きすぎない様ストッパ9aによって位置決めさ
れる。
次に第9図に於てギヤリヤ9から相部祠グが自動で搬出
される動作について説明する。フォーク//は十丁方向
に移動し所望のカセットに対向する位置で山まろ。第9
図では上がらλ段目のカセットの位置にてフォーク//
は停止している。この位置の検r、l”+ lま千〜り
の回E数あるいは直線エン:1−ダによって自在になさ
れ、不図示であるが安全の為の光スィッチも人−〕でい
る。
される動作について説明する。フォーク//は十丁方向
に移動し所望のカセットに対向する位置で山まろ。第9
図では上がらλ段目のカセットの位置にてフォーク//
は停止している。この位置の検r、l”+ lま千〜り
の回E数あるいは直線エン:1−ダによって自在になさ
れ、不図示であるが安全の為の光スィッチも人−〕でい
る。
次はフォーク/ハi、lF ”)’方向に移動して隙間
ブ(gに挿入される。挿入は箱部材ll及びキャリヤ9
に接触しな℃・位置で行なわれる。又、その挿入終了位
置は光スイッチ、モータの回転数あるい員、エンコーグ
eこまって自在に決められる。
ブ(gに挿入される。挿入は箱部材ll及びキャリヤ9
に接触しな℃・位置で行なわれる。又、その挿入終了位
置は光スイッチ、モータの回転数あるい員、エンコーグ
eこまって自在に決められる。
挿入が終ると搬送1月のフォーク//は箱部材りの部分
17−a′に接ずろ位j+11“迄北痒し、係合部10
によって部’J) ’l a’の不図示の凹部1.4c
係合され、相部祠夕はフォーク//に、保持される。
17−a′に接ずろ位j+11“迄北痒し、係合部10
によって部’J) ’l a’の不図示の凹部1.4c
係合され、相部祠夕はフォーク//に、保持される。
次に挿入方向と反対方向へフォーク//は戻るこの時蓋
部材/はギャリャフのスI・ツバ−qaに引掛って(・
たりあるいは耐J述のようにギャリャヲの内壁96に爪
部利3が摩擦係合しており、また前述のように係土部3
bは引掛り部11bかl−引込んで係止を解除して(・
るたd)、フォーク//は箱部材ダのみをレチクル乙と
共に搬出することができる。フォーク//により相部祠
グと共に搬出されたレチクル乙は次に不図示の手段によ
り、相部、しqからその支持面に対して略]F曲方向に
収出され露光位置に送られる。こうして露)1′、済の
レチクルは前述の搬出動作と逆動作によって再びキャリ
ヤ9内に搬入される。この111f第g図のストッパー
t?bは箱部材ダが蓋部材/に入る!14J謔部祠/を
押えるキャリヤ9から押出さブ工い役目をする。不図示
であるが蓋部材/とギヤリヤ7との間には空間7C,が
あるが箱部材グの出入(/?C伴い肴部(A/がギヤリ
ヤ9内で上下に動かない様前述のように爪部拐3がキャ
リヤ7の内壁qdに摩擦係合して℃・ム前記実施例では
蓋部材/の人[J端部/Cがストソバ−qaに引1」1
つている為、フォーク//を相部祠グに係合さぜた状態
でギヤリヤ9外に引き出すと同I]1」に相部41.t
4と蓋部材/とを分離するが、これは以−1;の如く
しても良℃・0 即(′フキャIJ M’ 9に爪部梠3を押す様な構ひ
を設はキA・リヤ7にカセットを入れろと同時に付勢力
な解除する、その時、土部拐1I−Cと蓋部材の入1」
端部/bとの密着が弱まる恐れがあるのて゛、その時は
へ[−1端部/bが11一部4)J/lCに嵌合う形に
」イ一部組グCK凹部を設けてもよいし、逆に止部4,
1’ 4 Cに凸部な人11!′11“111部/bに
凹パiμを1.ψけてもよ℃・。
部材/はギャリャフのスI・ツバ−qaに引掛って(・
たりあるいは耐J述のようにギャリャヲの内壁96に爪
部利3が摩擦係合しており、また前述のように係土部3
bは引掛り部11bかl−引込んで係止を解除して(・
るたd)、フォーク//は箱部材ダのみをレチクル乙と
共に搬出することができる。フォーク//により相部祠
グと共に搬出されたレチクル乙は次に不図示の手段によ
り、相部、しqからその支持面に対して略]F曲方向に
収出され露光位置に送られる。こうして露)1′、済の
レチクルは前述の搬出動作と逆動作によって再びキャリ
ヤ9内に搬入される。この111f第g図のストッパー
t?bは箱部材ダが蓋部材/に入る!14J謔部祠/を
押えるキャリヤ9から押出さブ工い役目をする。不図示
であるが蓋部材/とギヤリヤ7との間には空間7C,が
あるが箱部材グの出入(/?C伴い肴部(A/がギヤリ
ヤ9内で上下に動かない様前述のように爪部拐3がキャ
リヤ7の内壁qdに摩擦係合して℃・ム前記実施例では
蓋部材/の人[J端部/Cがストソバ−qaに引1」1
つている為、フォーク//を相部祠グに係合さぜた状態
でギヤリヤ9外に引き出すと同I]1」に相部41.t
4と蓋部材/とを分離するが、これは以−1;の如く
しても良℃・0 即(′フキャIJ M’ 9に爪部梠3を押す様な構ひ
を設はキA・リヤ7にカセットを入れろと同時に付勢力
な解除する、その時、土部拐1I−Cと蓋部材の入1」
端部/bとの密着が弱まる恐れがあるのて゛、その時は
へ[−1端部/bが11一部4)J/lCに嵌合う形に
」イ一部組グCK凹部を設けてもよいし、逆に止部4,
1’ 4 Cに凸部な人11!′11“111部/bに
凹パiμを1.ψけてもよ℃・。
押圧部4掲については人l’ ”1lii部/bと止部
祠ダCの部分にあるいはその月面反対側にマグネットを
設けても良(・。カセツI・には又どんなレチクルが人
っているかを外部から判断できる様に標識をカセットに
1)〉着又は澄し込ノブ式にして設けてもよいし2、カ
ー(てットを透明部()Jに一部又は全部をするVlf
fにより中のレチクルナンバーを容易に読取る事が出来
る様にしてもよい。
祠ダCの部分にあるいはその月面反対側にマグネットを
設けても良(・。カセツI・には又どんなレチクルが人
っているかを外部から判断できる様に標識をカセットに
1)〉着又は澄し込ノブ式にして設けてもよいし2、カ
ー(てットを透明部()Jに一部又は全部をするVlf
fにより中のレチクルナンバーを容易に読取る事が出来
る様にしてもよい。
箱とフォークの係合はフォークに吸気部を設は箱を吸気
する事によりフォークと箱とを固定してもよい、マグネ
ットを利用してもよい。
する事によりフォークと箱とを固定してもよい、マグネ
ットを利用してもよい。
従来型の人間の手によってマスク又はレチクルを露光位
置に装置していたものに比して塵埃の付着を防止する効
果は極めて太きい。更にマスク又はレチクルの運搬、取
及いか容易になった。
置に装置していたものに比して塵埃の付着を防止する効
果は極めて太きい。更にマスク又はレチクルの運搬、取
及いか容易になった。
第7図はカセットの蓋部材の一部破砕斜睨図、第1図は
カセットの箱部材の斜れ、! f&l、第3図は第7図
をA方向から見た一部省略斜視図、第9図は第1図をB
方向から見た一部省略斜視図、第S図はカセットの斜視
図、第4図は第S図のc −c’線のカセットの状態の
断面図、第7図は、爪部4Jの状態を示す断面部分図、
第3図はカセットをキャリヤに挿入した斜視図、第7図
は第3図のキャリヤ等をE方向から見た図でフォークと
の関係を示す斜視図である。 /は蓋部材、/aは保持部、/bは入口端部、/Cは底
部、λは把手、3は爪部イ2、/l−は相部イ」、4a
は突出部、4tbは田川り部、II−Cは止部祠、11
dは段差面、11 a’は部分、Sは把手、乙はレチク
ル、7はペリクル膜、7aはペリクル枠、ざは隙間穴、
9a、9bはストッパー、9cは空間、10は係合部、
//はフォークである。 特111出願人 キードノン株式会社
カセットの箱部材の斜れ、! f&l、第3図は第7図
をA方向から見た一部省略斜視図、第9図は第1図をB
方向から見た一部省略斜視図、第S図はカセットの斜視
図、第4図は第S図のc −c’線のカセットの状態の
断面図、第7図は、爪部4Jの状態を示す断面部分図、
第3図はカセットをキャリヤに挿入した斜視図、第7図
は第3図のキャリヤ等をE方向から見た図でフォークと
の関係を示す斜視図である。 /は蓋部材、/aは保持部、/bは入口端部、/Cは底
部、λは把手、3は爪部イ2、/l−は相部イ」、4a
は突出部、4tbは田川り部、II−Cは止部祠、11
dは段差面、11 a’は部分、Sは把手、乙はレチク
ル、7はペリクル膜、7aはペリクル枠、ざは隙間穴、
9a、9bはストッパー、9cは空間、10は係合部、
//はフォークである。 特111出願人 キードノン株式会社
Claims (1)
- フ第1・マスク又はレチクルを支持するための段差を有
する支持部と外側にひれ状に突出した突出部とを(i!
fiえた箱状の相部4Jと、側面内側に該突出部を着脱
自在に保持する△の突起状の保持部を備えた蓋部祠とか
らなり、該相部祠を該蓋部祠に該突出部と該保持部とを
重ね合せるようにして挿入した11′+、該支持部によ
り相部制内に配置したフォトマスク又はレチクルは外部
の塵埃から遮断されることを特徴とする防vトカセツ1
−0
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58112928A JPS605520A (ja) | 1983-06-24 | 1983-06-24 | 防塵カセツト |
US06/892,734 US4758127A (en) | 1983-06-24 | 1986-07-28 | Original feeding apparatus and a cassette for containing the original |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58112928A JPS605520A (ja) | 1983-06-24 | 1983-06-24 | 防塵カセツト |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS605520A true JPS605520A (ja) | 1985-01-12 |
JPH0444422B2 JPH0444422B2 (ja) | 1992-07-21 |
Family
ID=14598993
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58112928A Granted JPS605520A (ja) | 1983-06-24 | 1983-06-24 | 防塵カセツト |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS605520A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6444035A (en) * | 1987-08-12 | 1989-02-16 | Hitachi Ltd | Production using single wafer carrier |
JP2006515111A (ja) * | 2002-07-29 | 2006-05-18 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | レチクル取り扱い装置 |
JP2010129741A (ja) * | 2008-11-27 | 2010-06-10 | Lintec Corp | 半導体ウエハ収納キャリア |
-
1983
- 1983-06-24 JP JP58112928A patent/JPS605520A/ja active Granted
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6444035A (en) * | 1987-08-12 | 1989-02-16 | Hitachi Ltd | Production using single wafer carrier |
JP2539447B2 (ja) * | 1987-08-12 | 1996-10-02 | 株式会社日立製作所 | 枚葉キャリアによる生産方法 |
JP2006515111A (ja) * | 2002-07-29 | 2006-05-18 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | レチクル取り扱い装置 |
JP2010129741A (ja) * | 2008-11-27 | 2010-06-10 | Lintec Corp | 半導体ウエハ収納キャリア |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0444422B2 (ja) | 1992-07-21 |
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