JPS605520A - 防塵カセツト - Google Patents
防塵カセツトInfo
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- JPS605520A JPS605520A JP58112928A JP11292883A JPS605520A JP S605520 A JPS605520 A JP S605520A JP 58112928 A JP58112928 A JP 58112928A JP 11292883 A JP11292883 A JP 11292883A JP S605520 A JPS605520 A JP S605520A
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- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は半導体装（Ｚ１皆置に於て用いられるフォトマ
スク若しくはレチクルと呼ばれる原版の防塵を４慮した
収納力士ツトに関するものである。
スク若しくはレチクルと呼ばれる原版の防塵を４慮した
収納力士ツトに関するものである。
ＩＣ，ＬＳ１．超ＬＳＩ等の半導体の製造１１−Ｊ、解
決されねばならない事項の７つにマスク又はレチクルへ
の塵埃付着の問題がある。、超微細なこれらのパターン
をウェハーの上に焼き付げるＩｆ−ｂマスク又はレチク
ル上にゴミがあるとリリｃ′！Ｄ′された半導体回路パ
ターンの損傷につながり、製へ化されたＬ Ｓ Ｉ １
；の半導体装置の性能を低下さぜるばかりてなく、最悪
の場合その半導体装置の機能全体を麻痺させる。
決されねばならない事項の７つにマスク又はレチクルへ
の塵埃付着の問題がある。、超微細なこれらのパターン
をウェハーの上に焼き付げるＩｆ−ｂマスク又はレチク
ル上にゴミがあるとリリｃ′！Ｄ′された半導体回路パ
ターンの損傷につながり、製へ化されたＬ Ｓ Ｉ １
；の半導体装置の性能を低下さぜるばかりてなく、最悪
の場合その半導体装置の機能全体を麻痺させる。
特に近年主流となりつつあるステップ・アンド・リピー
ト方式（繰り返し露光方式）の投影露光装置で゛は、７
つのマスク又はレチクル用いてその半導体集積回路パタ
ーンが７つのウェハーに何ンヨツトも焼付けられる為、
もしゴミがあると、そのウニ八−の全てのチップが不良
になってしまうという問題がある。これらの開明からマ
スク又はレチクルに発塵原因である人間が可能な限り接
近しない方がよい。
ト方式（繰り返し露光方式）の投影露光装置で゛は、７
つのマスク又はレチクル用いてその半導体集積回路パタ
ーンが７つのウェハーに何ンヨツトも焼付けられる為、
もしゴミがあると、そのウニ八−の全てのチップが不良
になってしまうという問題がある。これらの開明からマ
スク又はレチクルに発塵原因である人間が可能な限り接
近しない方がよい。
しかし乍ら従来の露光装置ではマスク又はレチクルを露
光位置へ人手に」；って装填しなければならない為人体
からの塵埃がマスク又はレチクルに付着する更を防止す
るのが困何１であつノ、−０以上述べてきたように、ス
テップ・アンド・すビート方式の投影露光装置では人手
で扱うという従来方式のマスク又はレチクルの扱い方で
は塵埃の付着防止に対して限界がある為、人手を避は自
動でマスク又はレチクルを給送できる装置の開発が急務
であった。
光位置へ人手に」；って装填しなければならない為人体
からの塵埃がマスク又はレチクルに付着する更を防止す
るのが困何１であつノ、−０以上述べてきたように、ス
テップ・アンド・すビート方式の投影露光装置では人手
で扱うという従来方式のマスク又はレチクルの扱い方で
は塵埃の付着防止に対して限界がある為、人手を避は自
動でマスク又はレチクルを給送できる装置の開発が急務
であった。
本発明は−に記の点に鑑み、上記欠点を解消するため匠
なされたもので、投影露光装置にマスク又はレチクルを
人手を介さずに移送用能な構造を有し、しかも保存時、
塵埃の付着防雨を可能ならしめたマスク又はレチクル防
塵カセットを提供することをＬ１的とする。なお、レチ
クル又はマスクをカセットに入れることにより、それら
を取扱いしやすくすると同時に防塵効果を持たせた。又
そのカセット形状は自動でマスク又はレチクルを着脱で
きる形状であらねばならないが、本発明はこの自動化を
同時に可能とする様なカセット形状となっている。
なされたもので、投影露光装置にマスク又はレチクルを
人手を介さずに移送用能な構造を有し、しかも保存時、
塵埃の付着防雨を可能ならしめたマスク又はレチクル防
塵カセットを提供することをＬ１的とする。なお、レチ
クル又はマスクをカセットに入れることにより、それら
を取扱いしやすくすると同時に防塵効果を持たせた。又
そのカセット形状は自動でマスク又はレチクルを着脱で
きる形状であらねばならないが、本発明はこの自動化を
同時に可能とする様なカセット形状となっている。
このカセットを装置に装填し、そのカセットから自動で
マスク又はレチクルを露光位置に並んで装着する−１１
−により、人体からの発塵がマスク又はレチクルに付着
する事を防いだ。
マスク又はレチクルを露光位置に並んで装着する−１１
−により、人体からの発塵がマスク又はレチクルに付着
する事を防いだ。
以下、本発明の一実施例を図面に従って説明する。
第１図は蓋部材の破砕斜視図を、第２図は箱部材の斜視
図を、第３図は第１図のＡ親図の部分１ｙ！、Ｉ 、第
９図は第２図のＢ親図の部分図を、第に図は蓋部材と箱
部材を組合せたカセットの痕１視図を、第４図は第Ｓ図
のｃ −ｃ’線の断面図を、第７図は爪部材の詳細な説
明図を、第３図はギヤリア内にカセットを収容した痕１
硯図を、第７図は第３図のＥ ｇｄ図を夫々示している
。
図を、第３図は第１図のＡ親図の部分１ｙ！、Ｉ 、第
９図は第２図のＢ親図の部分図を、第に図は蓋部材と箱
部材を組合せたカセットの痕１視図を、第４図は第Ｓ図
のｃ −ｃ’線の断面図を、第７図は爪部材の詳細な説
明図を、第３図はギヤリア内にカセットを収容した痕１
硯図を、第７図は第３図のＥ ｇｄ図を夫々示している
。
図に於て、／は蓋部材、λは蓋部４Ａ’ ／を取扱い易
くする為の把手、３は相部）ｒ）Ｊｑと蓋部イ）Ｊ／と
を組合わせた時お互いが容易に分離１−ないようにする
為の爪部材で、引掛り部である４ｂと係合する。
くする為の把手、３は相部）ｒ）Ｊｑと蓋部イ）Ｊ／と
を組合わせた時お互いが容易に分離１−ないようにする
為の爪部材で、引掛り部である４ｂと係合する。
／ａは蓋部材／の突出した保持部で、相部イ／Ｉｌｌは
それの突出部４ａが保持部／ａの」二に載る中によって
、蓋部材／に保持される。
それの突出部４ａが保持部／ａの」二に載る中によって
、蓋部材／に保持される。
／ｂは蓋部材／の入口端部、４Ｃは蓋部材／と相部＋３
１Ｉとを組合わせた時、止部利となるものである。４ｄ
はマスク又はレチクルを載せて支持するための支持部に
相当する底面と段差のついた段差面である。／Ｃは蓋部
材／の底部で箱部材グとを第Ｓ図の如く組合わぜた時こ
こが最底部になる。
１Ｉとを組合わせた時、止部利となるものである。４ｄ
はマスク又はレチクルを載せて支持するための支持部に
相当する底面と段差のついた段差面である。／Ｃは蓋部
材／の底部で箱部材グとを第Ｓ図の如く組合わぜた時こ
こが最底部になる。
汐は蓋部材／と箱部材グの結合を手で容易に解く為の相
部伺ダの土部ｉ／１”＋ Ｃのある側の端部に設けられ
た把手である。乙はレチクルで、相部利ダの段差ｍｌり
ｄ 、Ｊ−に載置した時の断面図が第４図に示されてい
るが、これと共に塵埃の付着防止目的のペリクル１１ψ
７及びその支持枠であるペリクル枠７ａも１１゛１°ｌ
いである。ｌｌａ／は蓋部祠／ノ保持部／ａと箱部材ｑ
の突出部ダａとを重ね合せた時の干なっていない部分で
あり、後述のフォーク／／の係合部１０がこの部分に接
触する。
部伺ダの土部ｉ／１”＋ Ｃのある側の端部に設けられ
た把手である。乙はレチクルで、相部利ダの段差ｍｌり
ｄ 、Ｊ−に載置した時の断面図が第４図に示されてい
るが、これと共に塵埃の付着防止目的のペリクル１１ψ
７及びその支持枠であるペリクル枠７ａも１１゛１°ｌ
いである。ｌｌａ／は蓋部祠／ノ保持部／ａと箱部材ｑ
の突出部ダａとを重ね合せた時の干なっていない部分で
あり、後述のフォーク／／の係合部１０がこの部分に接
触する。
第７図は第１図に示した爪部材３と第２図に示した引（
」１り部ダｂとの関係を簡略的に示した部分断面図て、
／ｄは蓋部）ｒＡ’ ／の側壁、３ａは爪部材３の押込
みつｊｌ、：、３ｂは爪部材３の他端に設けられた円柱
状の係［１一部、３ｅは爪部材３の回転軸で、軸の両端
は側壁／ｄに回転自在に軸支されている。
」１り部ダｂとの関係を簡略的に示した部分断面図て、
／ｄは蓋部）ｒＡ’ ／の側壁、３ａは爪部材３の押込
みつｊｌ、：、３ｂは爪部材３の他端に設けられた円柱
状の係［１一部、３ｅは爪部材３の回転軸で、軸の両端
は側壁／ｄに回転自在に軸支されている。
また３ｆはトーンョンバネで、一端は爪部４’＝ｌ’
３に係合し、他端は側壁／ｄに係合するものとし、その
結果、爪部材３に反時割回りの回１１す（力がｆ＝１与
される。本図や第４図に示したように箱部材ｑが蓋部材
／に挿入された同は、係止端３ｂが引用り部４ｂＫ落込
んで、これを係上するが後述の第３図や第９図のように
カセットとして相部４Ａ／が後述のギヤリヤ９に挿着さ
れた時にはギヤリヤ９の内壁９ｄが押込み端３ａを相部
Ｍ ４側に押込み、係止部３ｂは引掛り部ｚｂから引込
んで引用り部グｂは解除される。なお、トーションバネ
３ｆｃＤ反時計回り方向の付勢により爪部４Ａ’ ３が
ギヤリヤ９の内壁′７ｄを押圧するので、蓋部材／はキ
ャリヤ９に摩擦係止される。７はギヤリヤで、第６図の
ように蓋部４／１／と相部４」りとを組合せたＩｌ、ｌ
ｊのカセットを第３図や第９図（Ｃ示ｌ−だように多数
収容するためのものである。Ｌ？ｂはギヤリヤ９の」二
下を多数の区域に仕切る仕切板もしくは底板の片方の両
側に設けられた突出状のキャリヤ９に結合されたストッ
パーである。
３に係合し、他端は側壁／ｄに係合するものとし、その
結果、爪部材３に反時割回りの回１１す（力がｆ＝１与
される。本図や第４図に示したように箱部材ｑが蓋部材
／に挿入された同は、係止端３ｂが引用り部４ｂＫ落込
んで、これを係上するが後述の第３図や第９図のように
カセットとして相部４Ａ／が後述のギヤリヤ９に挿着さ
れた時にはギヤリヤ９の内壁９ｄが押込み端３ａを相部
Ｍ ４側に押込み、係止部３ｂは引掛り部ｚｂから引込
んで引用り部グｂは解除される。なお、トーションバネ
３ｆｃＤ反時計回り方向の付勢により爪部４Ａ’ ３が
ギヤリヤ９の内壁′７ｄを押圧するので、蓋部材／はキ
ャリヤ９に摩擦係止される。７はギヤリヤで、第６図の
ように蓋部４／１／と相部４」りとを組合せたＩｌ、ｌ
ｊのカセットを第３図や第９図（Ｃ示ｌ−だように多数
収容するためのものである。Ｌ？ｂはギヤリヤ９の」二
下を多数の区域に仕切る仕切板もしくは底板の片方の両
側に設けられた突出状のキャリヤ９に結合されたストッ
パーである。
ゴげ図には自動でキャリヤ７がらカセッ１−が分離され
箱部材ｌｌ（勿論、第Ｓ図に示したようにレチクルろを
含んで（・る。）のみが取り出される時の状態を示して
いる。／／はフォークで、カセットとギヤリヤ９との隙
間穴ｇに差し込まれる、図ではＩｔ４７＾は不図示であ
るが矢印方向即ちレチクル乙の面に平行方向と垂直方向
に移動可能である。
箱部材ｌｌ（勿論、第Ｓ図に示したようにレチクルろを
含んで（・る。）のみが取り出される時の状態を示して
いる。／／はフォークで、カセットとギヤリヤ９との隙
間穴ｇに差し込まれる、図ではＩｔ４７＾は不図示であ
るが矢印方向即ちレチクル乙の面に平行方向と垂直方向
に移動可能である。
なお、フォーク／／のし小方向と直角方向の幅りは突出
部４ａのし小方向と直角方向の幅がら保持部／ａの長手
方向と直角方向の幅を差し引いた幅より小さく没定しで
ある。従って、フォーク／／をカセット内に挿入した時
、フォーク／／の腕（幅Ｌ）は保１−！ｉ部／ａと突出
部ダａとが重なりあっていない部分Ｉｌａ／の突出部グ
ａを支える。フａは蓋部材／の入口端部／ｂのストッパ
ーであり、ギー＼！リャフの１−下を多収の１）！′域
に仕切る仕切板もしくは底辺のもう片方の両側に夫々設
けられた突出部で、自動でフォーク／／により相部４ｚ
ｑがキャリヤ７から収り出される時、箱部材ダと蓋部材
／とが分１ネ１１される時蓋部材／をキャリヤ７内に押
し止める役目を果す。１０はフォーク／／の係合部で箱
部材ダの部分４１ ａ／の端にある不図示のｌ”！１部
に係合する。
部４ａのし小方向と直角方向の幅がら保持部／ａの長手
方向と直角方向の幅を差し引いた幅より小さく没定しで
ある。従って、フォーク／／をカセット内に挿入した時
、フォーク／／の腕（幅Ｌ）は保１−！ｉ部／ａと突出
部ダａとが重なりあっていない部分Ｉｌａ／の突出部グ
ａを支える。フａは蓋部材／の入口端部／ｂのストッパ
ーであり、ギー＼！リャフの１−下を多収の１）！′域
に仕切る仕切板もしくは底辺のもう片方の両側に夫々設
けられた突出部で、自動でフォーク／／により相部４ｚ
ｑがキャリヤ７から収り出される時、箱部材ダと蓋部材
／とが分１ネ１１される時蓋部材／をキャリヤ７内に押
し止める役目を果す。１０はフォーク／／の係合部で箱
部材ダの部分４１ ａ／の端にある不図示のｌ”！１部
に係合する。
次に前記構成に於て防塵カセットの動作を説明する。
第１図に示した相部４Ａ夕の段差面ｌｌｄの上にマスク
又はレチクル（本実施例の場合はレチクルろ）は人手に
よって第６図に示した如く置かれ、第７図に示した蓋部
材／の入口端部／ｂの所から保持部／ａの上に突出部グ
ａｌＪ″−截る様にして１１）部祠ケは蓋部材／に差し
込まれる。蓋部）１２／の人口端部／ｂと箱部材７の止
部材ダＣとがピッタリ合った位置で前述したように爪部
桐３は相部イーケの引掛り部ｌｌｂに係合し、蓋部材／
と相部利ケとが分子＋；ｔ＋ Ｌない様に係止する。こ
の時の結合した図が第３図及び第７図であり、それを断
面にて示したのが第４図である。第Ｓ図に示したカセッ
トの状態で、カセットは第Ｓ図に示すＤ方向からキャリ
ヤ９に人手によって挿入される。なおりセットはストッ
パーｑｂを乗り越える様にキャリヤ７には空間９Ｃが設
けられている。ギヤリヤ７に挿入されたカセットにＬ反
月側に行きすぎない様ストッパ９ａによって位置決めさ
れる。
又はレチクル（本実施例の場合はレチクルろ）は人手に
よって第６図に示した如く置かれ、第７図に示した蓋部
材／の入口端部／ｂの所から保持部／ａの上に突出部グ
ａｌＪ″−截る様にして１１）部祠ケは蓋部材／に差し
込まれる。蓋部）１２／の人口端部／ｂと箱部材７の止
部材ダＣとがピッタリ合った位置で前述したように爪部
桐３は相部イーケの引掛り部ｌｌｂに係合し、蓋部材／
と相部利ケとが分子＋；ｔ＋ Ｌない様に係止する。こ
の時の結合した図が第３図及び第７図であり、それを断
面にて示したのが第４図である。第Ｓ図に示したカセッ
トの状態で、カセットは第Ｓ図に示すＤ方向からキャリ
ヤ９に人手によって挿入される。なおりセットはストッ
パーｑｂを乗り越える様にキャリヤ７には空間９Ｃが設
けられている。ギヤリヤ７に挿入されたカセットにＬ反
月側に行きすぎない様ストッパ９ａによって位置決めさ
れる。
次に第９図に於てギヤリヤ９から相部祠グが自動で搬出
される動作について説明する。フォーク／／は十丁方向
に移動し所望のカセットに対向する位置で山まろ。第９
図では上がらλ段目のカセットの位置にてフォーク／／
は停止している。この位置の検ｒ、ｌ”＋ ｌま千〜り
の回Ｅ数あるいは直線エン：１−ダによって自在になさ
れ、不図示であるが安全の為の光スィッチも人−〕でい
る。
される動作について説明する。フォーク／／は十丁方向
に移動し所望のカセットに対向する位置で山まろ。第９
図では上がらλ段目のカセットの位置にてフォーク／／
は停止している。この位置の検ｒ、ｌ”＋ ｌま千〜り
の回Ｅ数あるいは直線エン：１−ダによって自在になさ
れ、不図示であるが安全の為の光スィッチも人−〕でい
る。
次はフォーク／ハｉ、ｌＦ ”）’方向に移動して隙間
ブ（ｇに挿入される。挿入は箱部材ｌｌ及びキャリヤ９
に接触しな℃・位置で行なわれる。又、その挿入終了位
置は光スイッチ、モータの回転数あるい員、エンコーグ
ｅこまって自在に決められる。
ブ（ｇに挿入される。挿入は箱部材ｌｌ及びキャリヤ９
に接触しな℃・位置で行なわれる。又、その挿入終了位
置は光スイッチ、モータの回転数あるい員、エンコーグ
ｅこまって自在に決められる。
挿入が終ると搬送１月のフォーク／／は箱部材りの部分
１７−ａ′に接ずろ位ｊ＋１１“迄北痒し、係合部１０
によって部’Ｊ） ’ｌ ａ’の不図示の凹部１．４ｃ
係合され、相部祠夕はフォーク／／に、保持される。
１７−ａ′に接ずろ位ｊ＋１１“迄北痒し、係合部１０
によって部’Ｊ） ’ｌ ａ’の不図示の凹部１．４ｃ
係合され、相部祠夕はフォーク／／に、保持される。
次に挿入方向と反対方向へフォーク／／は戻るこの時蓋
部材／はギャリャフのスＩ・ツバ−ｑａに引掛って（・
たりあるいは耐Ｊ述のようにギャリャヲの内壁９６に爪
部利３が摩擦係合しており、また前述のように係土部３
ｂは引掛り部１１ｂかｌ−引込んで係止を解除して（・
るたｄ）、フォーク／／は箱部材ダのみをレチクル乙と
共に搬出することができる。フォーク／／により相部祠
グと共に搬出されたレチクル乙は次に不図示の手段によ
り、相部、しｑからその支持面に対して略］Ｆ曲方向に
収出され露光位置に送られる。こうして露）１′、済の
レチクルは前述の搬出動作と逆動作によって再びキャリ
ヤ９内に搬入される。この１１１ｆ第ｇ図のストッパー
ｔ？ｂは箱部材ダが蓋部材／に入る！１４Ｊ謔部祠／を
押えるキャリヤ９から押出さブ工い役目をする。不図示
であるが蓋部材／とギヤリヤ７との間には空間７Ｃ，が
あるが箱部材グの出入（／？Ｃ伴い肴部（Ａ／がギヤリ
ヤ９内で上下に動かない様前述のように爪部拐３がキャ
リヤ７の内壁ｑｄに摩擦係合して℃・ム前記実施例では
蓋部材／の人［Ｊ端部／Ｃがストソバ−ｑａに引１」１
つている為、フォーク／／を相部祠グに係合さぜた状態
でギヤリヤ９外に引き出すと同Ｉ］１」に相部４１．ｔ
４と蓋部材／とを分離するが、これは以−１；の如く
しても良℃・０ 即（′フキャＩＪ Ｍ’ ９に爪部梠３を押す様な構ひ
を設はキＡ・リヤ７にカセットを入れろと同時に付勢力
な解除する、その時、土部拐１Ｉ−Ｃと蓋部材の入１」
端部／ｂとの密着が弱まる恐れがあるのて゛、その時は
へ［−１端部／ｂが１１一部４）Ｊ／ｌＣに嵌合う形に
」イ一部組グＣＫ凹部を設けてもよいし、逆に止部４，
１’ ４ Ｃに凸部な人１１！′１１“１１１部／ｂに
凹パｉμを１．ψけてもよ℃・。
部材／はギャリャフのスＩ・ツバ−ｑａに引掛って（・
たりあるいは耐Ｊ述のようにギャリャヲの内壁９６に爪
部利３が摩擦係合しており、また前述のように係土部３
ｂは引掛り部１１ｂかｌ−引込んで係止を解除して（・
るたｄ）、フォーク／／は箱部材ダのみをレチクル乙と
共に搬出することができる。フォーク／／により相部祠
グと共に搬出されたレチクル乙は次に不図示の手段によ
り、相部、しｑからその支持面に対して略］Ｆ曲方向に
収出され露光位置に送られる。こうして露）１′、済の
レチクルは前述の搬出動作と逆動作によって再びキャリ
ヤ９内に搬入される。この１１１ｆ第ｇ図のストッパー
ｔ？ｂは箱部材ダが蓋部材／に入る！１４Ｊ謔部祠／を
押えるキャリヤ９から押出さブ工い役目をする。不図示
であるが蓋部材／とギヤリヤ７との間には空間７Ｃ，が
あるが箱部材グの出入（／？Ｃ伴い肴部（Ａ／がギヤリ
ヤ９内で上下に動かない様前述のように爪部拐３がキャ
リヤ７の内壁ｑｄに摩擦係合して℃・ム前記実施例では
蓋部材／の人［Ｊ端部／Ｃがストソバ−ｑａに引１」１
つている為、フォーク／／を相部祠グに係合さぜた状態
でギヤリヤ９外に引き出すと同Ｉ］１」に相部４１．ｔ
４と蓋部材／とを分離するが、これは以−１；の如く
しても良℃・０ 即（′フキャＩＪ Ｍ’ ９に爪部梠３を押す様な構ひ
を設はキＡ・リヤ７にカセットを入れろと同時に付勢力
な解除する、その時、土部拐１Ｉ−Ｃと蓋部材の入１」
端部／ｂとの密着が弱まる恐れがあるのて゛、その時は
へ［−１端部／ｂが１１一部４）Ｊ／ｌＣに嵌合う形に
」イ一部組グＣＫ凹部を設けてもよいし、逆に止部４，
１’ ４ Ｃに凸部な人１１！′１１“１１１部／ｂに
凹パｉμを１．ψけてもよ℃・。
押圧部４掲については人ｌ’ ”１ｌｉｉ部／ｂと止部
祠ダＣの部分にあるいはその月面反対側にマグネットを
設けても良（・。カセツＩ・には又どんなレチクルが人
っているかを外部から判断できる様に標識をカセットに
１）〉着又は澄し込ノブ式にして設けてもよいし２、カ
ー（てットを透明部（）Ｊに一部又は全部をするＶｌｆ
ｆにより中のレチクルナンバーを容易に読取る事が出来
る様にしてもよい。
祠ダＣの部分にあるいはその月面反対側にマグネットを
設けても良（・。カセツＩ・には又どんなレチクルが人
っているかを外部から判断できる様に標識をカセットに
１）〉着又は澄し込ノブ式にして設けてもよいし２、カ
ー（てットを透明部（）Ｊに一部又は全部をするＶｌｆ
ｆにより中のレチクルナンバーを容易に読取る事が出来
る様にしてもよい。
箱とフォークの係合はフォークに吸気部を設は箱を吸気
する事によりフォークと箱とを固定してもよい、マグネ
ットを利用してもよい。
する事によりフォークと箱とを固定してもよい、マグネ
ットを利用してもよい。
従来型の人間の手によってマスク又はレチクルを露光位
置に装置していたものに比して塵埃の付着を防止する効
果は極めて太きい。更にマスク又はレチクルの運搬、取
及いか容易になった。
置に装置していたものに比して塵埃の付着を防止する効
果は極めて太きい。更にマスク又はレチクルの運搬、取
及いか容易になった。
第７図はカセットの蓋部材の一部破砕斜睨図、第１図は
カセットの箱部材の斜れ、！ ｆ＆ｌ、第３図は第７図
をＡ方向から見た一部省略斜視図、第９図は第１図をＢ
方向から見た一部省略斜視図、第Ｓ図はカセットの斜視
図、第４図は第Ｓ図のｃ −ｃ’線のカセットの状態の
断面図、第７図は、爪部４Ｊの状態を示す断面部分図、
第３図はカセットをキャリヤに挿入した斜視図、第７図
は第３図のキャリヤ等をＥ方向から見た図でフォークと
の関係を示す斜視図である。 ／は蓋部材、／ａは保持部、／ｂは入口端部、／Ｃは底
部、λは把手、３は爪部イ２、／ｌ−は相部イ」、４ａ
は突出部、４ｔｂは田川り部、ＩＩ−Ｃは止部祠、１１
ｄは段差面、１１ ａ’は部分、Ｓは把手、乙はレチク
ル、７はペリクル膜、７ａはペリクル枠、ざは隙間穴、
９ａ、９ｂはストッパー、９ｃは空間、１０は係合部、
／／はフォークである。 特１１１出願人 キードノン株式会社
カセットの箱部材の斜れ、！ ｆ＆ｌ、第３図は第７図
をＡ方向から見た一部省略斜視図、第９図は第１図をＢ
方向から見た一部省略斜視図、第Ｓ図はカセットの斜視
図、第４図は第Ｓ図のｃ −ｃ’線のカセットの状態の
断面図、第７図は、爪部４Ｊの状態を示す断面部分図、
第３図はカセットをキャリヤに挿入した斜視図、第７図
は第３図のキャリヤ等をＥ方向から見た図でフォークと
の関係を示す斜視図である。 ／は蓋部材、／ａは保持部、／ｂは入口端部、／Ｃは底
部、λは把手、３は爪部イ２、／ｌ−は相部イ」、４ａ
は突出部、４ｔｂは田川り部、ＩＩ−Ｃは止部祠、１１
ｄは段差面、１１ ａ’は部分、Ｓは把手、乙はレチク
ル、７はペリクル膜、７ａはペリクル枠、ざは隙間穴、
９ａ、９ｂはストッパー、９ｃは空間、１０は係合部、
／／はフォークである。 特１１１出願人 キードノン株式会社
Claims (1)
- フ第１・マスク又はレチクルを支持するための段差を有
する支持部と外側にひれ状に突出した突出部とを（ｉ！
ｆｉえた箱状の相部４Ｊと、側面内側に該突出部を着脱
自在に保持する△の突起状の保持部を備えた蓋部祠とか
らなり、該相部祠を該蓋部祠に該突出部と該保持部とを
重ね合せるようにして挿入した１１′＋、該支持部によ
り相部制内に配置したフォトマスク又はレチクルは外部
の塵埃から遮断されることを特徴とする防ｖトカセツ１
−０
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58112928A JPS605520A (ja) | 1983-06-24 | 1983-06-24 | 防塵カセツト |
| US06/892,734 US4758127A (en) | 1983-06-24 | 1986-07-28 | Original feeding apparatus and a cassette for containing the original |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58112928A JPS605520A (ja) | 1983-06-24 | 1983-06-24 | 防塵カセツト |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS605520A true JPS605520A (ja) | 1985-01-12 |
| JPH0444422B2 JPH0444422B2 (ja) | 1992-07-21 |
Family
ID=14598993
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58112928A Granted JPS605520A (ja) | 1983-06-24 | 1983-06-24 | 防塵カセツト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS605520A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6444035A (en) * | 1987-08-12 | 1989-02-16 | Hitachi Ltd | Production using single wafer carrier |
| JP2006515111A (ja) * | 2002-07-29 | 2006-05-18 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | レチクル取り扱い装置 |
| JP2010129741A (ja) * | 2008-11-27 | 2010-06-10 | Lintec Corp | 半導体ウエハ収納キャリア |
-
1983
- 1983-06-24 JP JP58112928A patent/JPS605520A/ja active Granted
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6444035A (en) * | 1987-08-12 | 1989-02-16 | Hitachi Ltd | Production using single wafer carrier |
| JP2539447B2 (ja) * | 1987-08-12 | 1996-10-02 | 株式会社日立製作所 | 枚葉キャリアによる生産方法 |
| JP2006515111A (ja) * | 2002-07-29 | 2006-05-18 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | レチクル取り扱い装置 |
| JP2010129741A (ja) * | 2008-11-27 | 2010-06-10 | Lintec Corp | 半導体ウエハ収納キャリア |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0444422B2 (ja) | 1992-07-21 |
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