JP5523206B2

JP5523206B2 - 露光装置

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Publication number: JP5523206B2
Application number: JP2010123750A
Authority: JP
Inventors: 幸二渡邊; 幸生石葉; 健一仲野
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Current assignee: Topcon Corp
Priority date: 2010-05-31
Filing date: 2010-05-31
Publication date: 2014-06-18
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Description

本発明は、ワーク基板に生じている変形に対応するマスクパターン像を投影可能な露光装置に関する。

従来から、露光装置には、ワーク基板の温度を測定し、ワーク基板の温度に対応させて投影光路に配置された二枚の平行平面板の一方を、一対の縦辺を支点にして厚さ方向に撓ませることにより横方向（Ｘ方向）に湾曲変形させ、他方の平行平面板を一対の横辺を支点にして厚さ方向に撓ませることにより縦方向（Ｙ方向）に湾曲変形させ、横方向（Ｘ方向）、縦方向（Ｙ方向）の倍率を変化させることにより、ワーク基板の収縮に対応したマスクパターン像をワーク基板に投影するものが知られている（例えば、特許文献１参照。）。
また、この二枚の平行平面板を回動可能の構成としたものも知られている（例えば、特許文献２参照。）。

更に、この二枚の平行平面板の湾曲率を変更させることなくワーク基板の収縮に対応したマスク像をワーク基板に投影するものが知られている（例えば、特許文献３参照。）。
そのワーク基板には、プリント配線基板やＴＡＢテープ、多層化プリント配線基板等の各種のものがあり、例えば、プリント配線基板では、エポキシ樹脂と銅箔との熱膨張差に起因するテンションにより縦横比が変わり、ＴＡＢテープでもポリイミド樹脂と銅箔との熱膨張差により同様に縦横比が変わる。

また、例えば、多層化プリント配線基板では、先に形成された下パターンの上に新たな上パターンを形成する際に、先に形成された下パターンがワーク基板の伸縮により伸びたり縮んだりしている。
これらの従来の露光装置では、これらのワーク基板の伸縮に伴う縦横比を補正することができる。

特開平１０−３０３１１５号公報特開２００３−２２３００３号公報特開２００６−２９２９０２号公報

ところで、近時、ワーク基板に微細な露光パターンを形成することが益々要求されているが、ワーク基板には、熱膨張の差やその他の原因に起因して縦横の伸縮変形のみならず、対角方向その他の方向への変形が生じ、例えば、ワーク基板には台形変形や菱形形状の歪み変形等の各種の歪み変形が生じている。

従来の露光装置は、倍率補正を行うものであるから、ワーク基板に生じている歪み変形に極力対応するマスクパターン像をそのワーク基板に投影し難いという問題点がある。
本発明は、上記の事情に鑑みて為されたもので、その目的は、ワーク基板に生じている変形に極力対応するマスクパターン像を投影可能な露光装置を提供することにある。

本発明の露光装置は、ワーク基板に投影されるマスクパターンの投影光路に設けられた平行平面板と、該平行平面板の互いに交差する二辺により構成される角部と角部との間でかつ各辺の中点を支点とするために当該各辺の中点部をそれぞれ拘束する４個の拘束部材と、前記平行平面板の前記各角部に前記投影光路の光軸方向に加圧力を加えて前記各拘束部材を支点にして前記平行平面板を歪み変形させる４個の加圧部材とからなる歪み変形形成機構を備えていることを特徴とする。

本発明によれば、ワーク基板の投影光路に設けられた歪み変形用平行平面板とこの平行平面板の角部を光軸方向に変形させてそのワーク基板の歪み変形に対応する歪み変形を有するマスクパターン像を形成することができるので、横方向倍率補正機構や縦方向倍率補正機構では補正しきれないワーク基板に生じている変形に対応する形状を有するマスクパターン像をワーク基板に投影できるという効果を奏する。

図１は本発明に係る露光装置の光学系の概要を示す説明図である。図２は図１に示す倍率補正機構の詳細構成を示す平面図である。図３は図２に示す倍率補正機構の詳細構成を示す側面図である。図４は図２に示す横方向倍率補正機構の詳細構成を示す平面図である。図５は図４に示す横方向倍率補正機構の詳細構成を示す側面図である。図６は図４、図５に示す横方向倍率補正機構の詳細構成を示す斜視図である。図７は図２に示す歪み変形形成機構の詳細構成を示す平面図である。図８は図７に示す拘束部材の拘束状態を示す側面図である。図９は図７に示す加圧挟持部材の加圧挟持状態を示す側面図である。図１０は図２に示す横方向倍率補正機構の作用を説明するための模式図であって、（ａ）は第１平行平面板の支持状態を示す模式図、（ｂ）は（ａ）に示す横方向平行平面板の湾曲状態を側面から見た模式図である。図１１は歪み変形形成機構の作用を説明するための模式図であって、（ａ）は第３平行平面板の一の対角方向の一対の頂点に同方向の加圧力を加えかつ他の対角方向の一対の頂点に一の対角方向の一対の頂点に加わる加圧力とは反対方向の加圧力を加えた状態を平面方向から見た場合の模式図、（ｂ）は（ａ）に示す加圧力が加えられた第３平行平面板を側面方向から見た場合の模式図、（ｃ）はその加圧力により第３平行平面板が菱形に変形している状態を誇張して示す模式図である。図１２は歪み変形形成機構の作用を説明するための模式図であって、（ａ）は第３平行平面板の横方向の一辺の一対の頂点に同方向の加圧力を加えかつ横方向の一辺と平行な他の辺の一対の頂点に一辺の一対の頂点に加わる加圧力とは反対方向の加圧力を加えた状態を平面方向から見た場合の模式図、（ｂ）は（ａ）に示す加圧力が加えられた第３平行平面板を側面方向から見た場合の模式図、（ｃ）はその加圧力により第３平行平面板が縦方向の台形に変形している状態を誇張して示す模式図である。図１３は歪み変形形成機構の作用を説明するための模式図であって、（ａ）は第３平行平面板の縦方向の一辺の一対の頂点に同方向の加圧力を加えかつ縦方向の一辺と平行な他の辺の一対の頂点に一辺の一対の頂点に加わる加圧力とは反対方向の加圧力を加えた状態を平面方向から見た場合の模式図、（ｂ）は（ａ）に示す加圧力が加えられた第３平行平面板を側面方向から見た場合の模式図、（ｃ）はその加圧力により第３平行平面板が横方向の台形に変形している状態を誇張して示す模式図である。

図１は本発明に係る露光装置の光学系の概要を示す説明図であって、１は光源部、２はコールドミラー、３は露光シャッター、４は紫外線（ｉ線）バンドパスフィルター、５はインテグレータレンズ、６はコリメータレンズ、７は平面鏡、８はマスクステージ、９はマスクブラインド、１０は投影レンズ保持筒、１１は倍率補正機構、１２は露光ステージである。なお、その露光シャッター３は、露光の際には、光学系の光路から適宜退避される。

光源部１は水銀ランプ１ａと回転楕円鏡１ｂから構成され、水銀ランプ１ａは回転楕円鏡１ｂの第１焦点位置に配置され、水銀ランプ１ａからの発光光束は回転楕円鏡１ｂによって反射されて第２焦点位置に集光され、コールドミラー２によって赤外波長よりも長波長の赤外線が除去されて可視赤外光の波長よりも短い短波長域の光束が反射されてバンドパスフィルター４に導かれ、このバンドパスフィルター４によって紫外線（ｉ線）以外の波長域の光線がカットされて、露光用光束Ｐとしてインテグレータレンズ５に導かれる。

露光用光束Ｐは、そのインテグレータレンズ５によって光量分布が概略一様とされて、コリメータレンズ６に導かれる。そのコリメータレンズ６は、その第２焦点位置に焦点を有し、露光用光束Ｐはそのコリメータレンズ６によって平行光束にされ、平面鏡７により光路が折り曲げられてマスクステージ８に導かれる。

マスクステージ８にはマスク１３が設けらている。このマスク１３にはワーク基板１４に形成すべきマスクパターン１３’が形成されている。そのマスク１３は、後述するワーク基板１４とのアライメントを行うためのアライメントマーク１３ａを有する。そのマスクステージ８は図示を略す駆動機構によって横（Ｘ）方向及び縦（Ｙ）方向に移動可能とされている。
マスクブラインド９は、露光用光束Ｐによりワーク基板１４を露光する際には、光学系の投影光路から適宜退避される。

投影レンズ保持筒１０の内部には、投影レンズ群１０ａが設けられている。この投影レンズ群１０ａはマスク１３のパターンをこの実施例では拡大してワーク基板１４に結像させる。
ワーク基板１４は露光ステージ１２に載置されている。そのワーク基板１４は、例えば、正方形であり、そのワーク基板１４には、適宜箇所にアライメントマーク１４ａが予め形成されている。その露光ステージ１２は図示を略す駆動機構によって横（Ｘ）方向及び縦（Ｙ）方向に移動可能とされている。
なお、この図１には、アライメントマーク１３ａ、１４ａが肉眼で視認可能な大きさで図示されているが、これは誇張して示したもので、実際には肉眼では目視し難い大きさである。

倍率補正機構１１は、図２、図３に示すように、横方向倍率補正機構１５と縦方向倍率補正機構１６と歪み変形形成機構１７とから構成されている。
横方向倍率補正機構１５は、図２ないし図６に示すように、横方向を長辺としかつ縦方向を短辺とする長方形の第１平行平面板（横方向平行平面板）１８と、一対の拘束部材１９と、一対の加圧挟持部材（加圧部材）２０とにより構成されている。縦方向倍率補正機構１６は、縦方向を長辺としかつ横方向を短辺とする長方形の第２平行平面板（縦方向平行平面板）２１と、一対の拘束部材２２と、一対の加圧挟持部材（加圧部材）２３とにより構成されている。

横方向倍率補正機構１５と縦方向倍率補正機構１６とは、第１平行平面板１８と第２平行平面板２１とがマスクパターン１３’の投影光路中で互いに上下方向に間隔を開けてかつ互いに直交する方向に配設され、かつ、この第１平行平面板１８と第２平行平面板２１との直交配置に対応して一対の拘束部材１９、２２と一対の加圧挟持部材２０、２３との配設箇所が異なる以外はその構成が同一であるので、横方向倍率補正機構１５の構成について説明する。

なお、その図２において、二点鎖線で示す正方形枠は、第１平行平面板１８と第２平行平面板２１とが互いに重なり合った正方形の交差領域であり、露光用光束Ｐの有効投影光路領域ＥＴでもある。露光用光束Ｐはこの有効投影光路領域ＥＴを通してワーク基板１４に照射される。

一対の拘束部材１９は、第１平行平面板１８の短辺方向に長く延びる支持枠部材２７と円筒部材２８とから構成されている。その支持枠部材２７は下枠部材２７ａと上枠部材２７ｂと連結枠部材２７ｃとから構成され、下枠部材２７ａと上枠部材２７ｂとの間に、図６に示すように、第１平行平面板１８を案内する案内口２７ｄが形成されている。

円筒部材２８は鉄等の材料からなる円柱状芯部材２８ａとこの円柱状芯部材２８ａを被覆する被覆樹脂２８ｂとから構成されている。この円筒部材２８は下枠部材２７ａの溝部２７ｅと上枠部材２７ｂの溝部２７ｅとに配設されている。この円筒部材２８は、第１平行平面板１８の両面にそれぞれ接し、支持枠部材２７と協働して第１平行平面板１８を撓み変形可能に拘束している。

一対の加圧挟持部材２０は、図５、図６に示すように、拘束部材１９と同様に、第１平行平面板１８の短辺方向に長く延びる挟持枠部材２９と円筒部材３０とから構成されている。その挟持枠部材２９は下枠部材２９ａと上枠部材２９ｂと連結枠部材２９ｃとから構成されている。その連結枠部材２９ｃは駆動アーム（図示を略す）に連結されている。

円筒部材３０は円筒部材２８と同様に鉄等の材料からなる円柱状芯部材３０ａとこの円柱状芯部材３０ａを被覆する被覆樹脂３０ｂとから構成されている。この円筒部材３０は下枠部材２９ａと上枠部材２９ｂとに配設されている。この円筒部材３０は、第１平行平面板１８の両面にそれぞれ接し、挟持枠部材２９と協働して第１平行平面板１８を握持している。

歪み変形形成機構１７は、図７ないし図９に示すように、第３平行平面板（歪み変形用平行平面板）３１と、４個の指型形状の拘束部材３２と４個の指型形状の加圧挟持部材（加圧部材）３３とにより構成されている。第３平行平面板３１は第１平行平面板１８、第２平行平面板２１の短辺よりも長くかつ第１平行平面板１８、第２平行平面板２１の長さよりも短い長さの辺を有する正方形板から構成されている。この第３平行平面板３１は、第２平行平面板２１に近接して配設される。
なお、ここでは、第１平行平面板１８、第２平行平面板２１、第３平行平面板３１は石英ガラス材料を用いて形成されている。

その拘束部材３２は、図８に示すように、支持枠部材３４と樹脂製半球ボール３５とから構成されている。支持枠部材３４は下枠部材３４ａと上枠部材３４ｂと連結枠部材３４ｃとから構成されている。
その拘束部材３２は、第３平行平面板３１の各辺の中点位置に配設されている。その樹脂製半球ボール３５は支持枠部材３４と協働して第３平行平面板３１の各辺の中点位置を上面と下面と側面との三方向から拘束している。

加圧挟持部材３３は、支持枠部材３６とボール３７とから構成されている。支持枠部材３６は下枠部材３６ａと上枠部材３６ｂと連結枠部材３６ｃとから構成されている。その連結枠部材３６ｃは駆動アーム（図示を略す）に連結されている。

ボール３７は球状鉄芯３７ａとこの球形鉄芯３７ａを被覆する被覆樹脂３７ｂとから構成されている。その加圧挟持部材３３は、図７に示すように、その第３平行平面板３１の四隅の角部３１Ａに配設されて、第３平行平面板３１の各辺の中点３１ｂを結ぶ線分を底辺Ｋとしかつ平行平面板３１の二辺が交わる点３１ａを頂点とする三角形領域ＫＢを撓み変形可能に挟持している。

次に、横方向の倍率補正の作用について図１０に示す模式図を参照しつつ説明する。
図１０（ａ）に模式的に示すように、一対の円筒部材２８を支点にして、一対の加圧挟持部材２０を駆動して、第１平行平面板１８を図１０（ｂ）に示すように、投影光路の光軸方向（第１平行平面板１８の厚さ方向）に湾曲変形させると、その第１平行平面板１８の湾曲率に応じて、横方向の倍率が縮小補正され、マスクパターン像がワーク基板１４の横方向の縮み率に対応して縮んでワーク基板１４に投影される。また、第１平行平面板１８を逆方向に湾曲させると、横方向の倍率が拡大補正され、マスクパターン像がワーク基板１４の横方向の伸び率に対応して伸びてワーク基板１４に投影される。

このようにして、ワーク基板１４の横方向の倍率補正が行われる。
縦方向の倍率補正については、第２平行平面板２１を湾曲変形させる他は、横方向の倍率補正と同様であるのでその説明は省略する。
なお、その図１０（ａ）において、二点鎖線で示す円１０ａ'は、マスクパターン像の投影光路の外縁を示している。

次に、歪み変形形成機構１７の作用を図１１ないし図１３に示す模式図を参照しつつ説明する。
図１１（ａ）に模式的に示す第３平行平面板３１の四隅の頂点３１ａのうち一の対角線を形成する二つの頂点３１ａに、図１１（ｂ）に示すように、ワーク基板１４が存在する方向に向かう方向の加圧力Ｆ１を加えると共に、この一の対角線と直交する対角線を形成する二つの頂点３１ａにワーク基板１４が存在する方向に向かう方向の加圧力Ｆ１とは反対方向の加圧力Ｆ２を加えると、第３平行平面板３１が図１１（ｃ）に示すように菱形形状に歪み変形し、ワーク基板１４が菱形形状に変形している場合には、この菱形形状に変形したワーク基板１４に対応する形状に変形したマスクパターン像が当該ワーク基板１４
に投影される。

また、図１２（ａ）に模式的に示す横方向の一辺を形成する二つの頂点３１ａに、図１２（ｂ）に示すように、ワーク基板１４が存在する方向に向かう方向の加圧力Ｆ１を加えると共に、この横方向の一辺と平行な他の辺を形成する二つの頂点３１ａにワーク基板１４が存在する方向に向かう方向の加圧力Ｆ１とは反対方向の加圧力Ｆ２を加えると、第３平行平面板３１が図１２（ｃ）に示すように横方向の一辺を底辺とし他の辺を上辺とする台形形状に変形し、ワーク基板１４が台形形状に変形している場合には、この台形形状に変形したワーク基板１４に対応する形状に変形したマスクパターン像が当該ワーク基板１４に投影される。

また、図１３（ａ）に模式的に示す縦方向の一辺を形成する二つの頂点３１ａに、図１３（ｂ）に示すように、ワーク基板１４が存在する方向に向かう方向の加圧力Ｆ１を加えると共に、この縦方向の一辺と平行な他の辺を形成する二つの頂点３１ａにワーク基板１４が存在する方向に向かう方向の加圧力Ｆ１とは反対方向の加圧力Ｆ２を加えると、第３平行平面板３１が図に示すように縦方向の一辺を底辺とし他の辺を上辺とする台形形状に変形し、ワーク基板１４が台形形状に変形している場合には、この台形形状に変形したワーク基板１４に対応する形状に変形したマスクパターン像が当該ワーク基板１４に投影される。

また、加圧挟持部材３３による加圧力を調節することにより、異なる形状の菱形、台形のマスクパターン像をワーク基板１４に投影することもできる。
更に、この実施例では、四つの角部３１Ａに同時に加圧力を加えて、第３平行平面板３１を変形させることとして説明したが、四つの角部３１Ａに存在する加圧挟持部材３３のうちの１つのみにより第３平行平面板３１を加圧することにすれば、三角領域ＫＢのみを局所的に異形形状に変形させることができる。

また、この実施例では、拘束部材３２を第３平行平面板３１の各辺の中点３１ｂに配置する構成として説明したが、これに限るものではなく、角部３１Ａと角部３１Ａとの間の中間部に配設する構成とすれば、より一層、複雑なマスクパターン像をワーク基板１４に投影できる。

加えて、この歪み変形形成機構１７を複数個重ね合わせて設ければ、例えば、台形変形と菱形形状との合成形状を有するマスクパターン像を形成すること、横方向の台形変形と縦方向の台形変形との合成形状を有するマスクパターン像を形成すること、加圧力を調節することにより異なる台形形状と異なる菱形形状との合成形状を有するマスクパターン像を形成すること等も可能である。

従って、横方向倍率補正機構１５、縦方向倍率補正機構１６、歪み変形形成機構１７を適宜組み合わせれば、ワーク基板１４の複雑形状の変形に対応する形状のマスクパターン像を当該ワーク基板１４に投影でき、ワーク基板１４とマスクパターン１３'との精密アライメントが可能となる。

この実施例では、図２に示すように、第１平行平面板１８の長辺１８ａのうちの第２平行平面板２１に重なり合っていない端辺部１８ａ'と第２平行平面板２１の長辺２１ａのうちの第１平行平面板１８に重なり合っていない端辺部２１ａ'とによって形成される角部空間Ｓに、第３平行平面板３１の各角部３１Ａが露呈する構造とされているので、横方向倍率補正機構１５、縦方向倍率補正機構１６、歪み変形形成機構１７を近接配設することができ、補正機構全体のコンパクト化を図ることができる。

また、この実施例では、第１平行平面板１８、第２平行平面板２１、第３平行平面板３１をワーク基板１４と投影レンズ群１０ａとの間に設けたので、ワーク基板１４に形成した感光剤から発生するガス等が飛散したとしても、これらのガス等が投影レンズ群に向かって飛散するのを遮断することができ、従って、ガス等の投影レンズ群１０ａへの付着に起因する曇りの発生を防止できる。
なお、第１平行平面板１８、第２平行平面板２１、第３平行平面板３１は適宜交換可能である。

また、第１平行平面板１８、第２平行平面板２１、第３平行平面板３１を硬度、強度の高い樹脂を介して拘束部材１９、２２、３２、加圧挟持部材２０、２３、３３により支持する構成としたので、各平行平面板１８、２１、３１に傷や割れが発生するのを極力低減できる。

すなわち、この実施例によれば、歪み変形形成機構１７が、ワーク基板１４に投影されるマスクパターン１３’の投影光路に設けられて歪み変形される歪み変形用平行平面板３１と、歪み変形用平行平面板３１の互いに交差する二辺により構成される角部３１Ａと角部３１Ａとの間の中間部を支点とする拘束部材３２と、歪み変形用平行平面板３１の各角部３１Ａに投影光路の光軸方向に加圧力を加えて拘束部材３２を支点にして歪み変形用平行平面板３１を歪み変形させる加圧部材３３とから構成されているので、横方向倍率補正機構１５や縦方向倍率補正機構１６では補正しきれないワーク基板１４に生じている歪み変形に対応する形状を有するマスクパターン像をワーク基板１４に投影できる。

また、ワーク基板１４に投影されるマスクパターン１３’の投影光路に設けられた第１平行平面板１８と、第１平行平面板１８に縦方向に延びる支点を形成するために縦方向に延びて第１平行平面板１８を拘束する一対の拘束部材１９と、第１平行平面板１８の縦方向に延びかつ第１平行平面板１８の一対の縦辺（短辺）に投影光路の光軸方向に加圧力を加えて一対の拘束部材１９を支点にして投影光路の光軸方向に湾曲変形させる一対の加圧部材２０とからなり、マスクパターン１３'の横方向の倍率補正を行う横方向倍率補正機構１５と、
投影光路に設けられた第２平行平面板２１と、第２平行平面板２１に横方向に延びる支点を形成するために横方向に延びて第２平行平面板２１を拘束する一対の拘束部材２２と、第２平行平面板２１の横方向に延びかつ第２平行平面板２１の一対の横辺（短辺）に投影光路の光軸方向に加圧力を加えて一対の拘束部材２２を支点にして投影光路の光軸方向に湾曲変形させる一対の加圧部材２３とからなり、マスクパターン１３'の縦方向の倍率補正を行う縦方向倍率補正機構１６とを、その歪み変形形成機構１７に組み合わせて用いれば、更に、精密アライメントが可能となる。

実施例で詳細に説明したように、ワーク基板１４に投影されるマスクパターン１３’の投影光路に設けられた平行平面板３１と、平行平面板３１の互いに交差する二辺により構成される角部３１Ａと角部３１Ａとの間でかつ各辺の中点を支点とするために当該各辺の中点部をそれぞれ拘束する４個の拘束部材３２と、平行平面板３１の各角部３１Ａに投影光路の光軸方向に加圧力を加えて各拘束部材３２を支点にして平行平面板３１を歪み変形させる４個の加圧部材３３とからなる歪み変形形成機構１７を備えているので、四つの角部３１Ａに加える加圧力の方向を選択することにより平行平面板３１を菱形又は台形形状に変形させることが可能である。

ワーク基板１４に投影されるマスクパターン像の投影光路に設けられた第１平行平面板１８と、第１平行平面板１８に縦方向に延びる支点を形成するために縦方向に延びて第１平行平面板１８を拘束する一対の拘束部材１９と、第１平行平面板１８の縦方向に延びかつ第１平行平面板１８の一対の縦辺に投影光路の光軸方向に加圧力を加えて一対の拘束部材１９を支点にして投影光路の光軸方向に湾曲変形させる一対の加圧部材２０とからなり、マスクパターン１３'の横方向の倍率補正を行う横方向倍率補正機構１５と、
投影光路に設けられた第２平行平面板２１と、第２平行平面板２１に横方向に延びる支点を形成するために横方向に延びて第２平行平面板２１を拘束する一対の拘束部材２２と、第２平行平面板２１の横方向に延びかつ第２平行平面板２１の一対の横辺に投影光路の光軸方向に加圧力を加えて一対の拘束部材２２を支点にして投影光路の光軸方向に湾曲変形させる一対の加圧部材２３とからなり、マスクパターン１３'の縦方向の倍率補正を行う縦方向倍率補正機構１６と、
投影光路に設けられた第３平行平面板３１と第３平行平面板３１の互いに交差する二辺により構成される角部３１Ａと角部３１Ａとの間でかつ各辺の中点３１ｂを支点とするために各辺の中点部をそれぞれ拘束する４個の拘束部材３２と、第３平行平面板３１の各角部３１Ａに投影光路の光軸方向に加圧力を加えて各拘束部材３２を支点にして第３平行平面板３１を歪み変形させる４個の加圧部材３３とからなる歪み変形形成機構１７を備える構成とし、
これらの横方向倍率補正機構１５と縦方向倍率補正機構１６と歪み変形形成機構１７とを、図２に示すように、ワーク基板１４と投影レンズ群１０ａとの間の投影光路に重ね合わせて配設し、第１平行平面板１８の長辺１８ａのうちの第２平行平面板２１に重なり合っていない端辺部１８ａ'と第２平行平面板２１の長辺２１ａのうちの第１平行平面板１８に重なり合っていない端辺部２１ａ'とによって形成される角部空間Ｓに、第３平行平面板３１の各角部３１Ａが露呈する配置とすれば、露光装置のコンパクト化を図ることができる。

１３’…マスクパターン
１４…ワーク基板
１７…歪み変形形成機構
３１…第３平行平面板（歪み変形用平行平面板）
３１Ａ…角部
３３…加圧挟持部材（加圧部材）

Claims

ワーク基板に投影されるマスクパターンの投影光路に設けられた平行平面板と、該平行平面板の互いに交差する二辺により構成される角部と角部との間でかつ各辺の中点を支点とするために当該各辺の中点部をそれぞれ拘束する４個の拘束部材と、前記平行平面板の前記各角部に前記投影光路の光軸方向に加圧力を加えて前記各拘束部材を支点にして前記平行平面板を歪み変形させる４個の加圧部材とからなる歪み変形形成機構を備えていることを特徴とする露光装置。
ワーク基板に投影されるマスクパターンの投影光路に設けられた第１平行平面板と、該第１平行平面板に縦方向に延びる支点を形成するために縦方向に延びて前記第１平行平面板を拘束する一対の拘束部材と、前記第１平行平面板の縦方向に延びかつ該第１平行平面板の一対の縦辺に前記投影光路の光軸方向に加圧力を加えて前記一対の拘束部材を支点にして前記投影光路の光軸方向に湾曲変形させる一対の加圧部材とからなり、前記マスクパターンの横方向の倍率補正を行う横方向倍率補正機構と、
前記投影光路に設けられた第２平行平面板と、該第２平行平面板に横方向に延びる支点を形成するために横方向に延びて前記第２平行平面板を拘束する一対の拘束部材と、前記第２平行平面板の横方向に延びかつ該第２平行平面板の一対の横辺に前記投影光路の光軸方向に加圧力を加えて前記一対の拘束部材を支点にして前記投影光路の光軸方向に湾曲変形させる一対の加圧部材とからなり、前記マスクパターンの縦方向の倍率補正を行う縦方向倍率補正機構と、
前記投影光路に設けられた第３平行平面板と、該第３平行平面板の互いに交差する二辺により構成される角部と角部との間でかつ各辺の中点を支点とするために当該各辺の中点部をそれぞれ拘束する４個の拘束部材と、前記第３平行平面板の前記各角部に前記投影光路の光軸方向に加圧力を加えて前記各拘束部材を支点にして前記第３平行平面板を歪み変形させる４個の加圧部材とからなる歪み変形形成機構を備えていることを特徴とする露光装置。
前記横方向倍率補正機構と前記縦方向倍率補正機構と前記歪み変形形成機構とが前記ワーク基板と投影レンズ群との間の投影光路に重ね合わせて配設されていることを特徴とする請求項２に記載の露光装置。
前記第１平行平面板の長辺のうちの前記第２平行平面板に重なり合っていない端辺部と前記第２平行平面板の長辺のうちの前記第１平行平面板に重なり合っていない端辺部とによって形成される角部空間に、前記第３平行平面板の各角部が露呈する配置とされていることを特徴とする請求項３に記載の露光装置。
前記四つの角部に加える加圧力の方向を選択することにより前記平行平面板を菱形又は台形形状に変形させることが可能であることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載の露光装置。