JP2009206323A - 露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 マスク11からの光をワーク18に投影する、光学薄板13を含む投影光学系12、13を有し、前記マスク及びワークの走査を行いながら前記マスク及び投影光学系を介して前記ワークを露光する露光装置において、前記走査の方向と直交する方向に配列され前記光学薄板を支持する複数の支持部材20と、前記投影光学系の光軸の方向に前記複数の支持部材を個別に移動する駆動手段とを設ける。
【選択図】 図2
Description
ここで、ワーク18上への2回目以降の露光においては、前工程で焼き付けたパターンと今回焼き付けるパターンの像とは、誤差を生じている。この原因としては、工程を経ることによるワーク18の変形、ワーク18自体の温度変化による変形、投影光学系12の光学部品が有する製造誤差、露光熱による光学部品の変形、他装置間の機差が挙げられる。
図5において、光学薄体13は、2つの菱形の梁2により保持され、該2つの梁のそれぞれの中央部と端部の一方を他方に対して変位させることにより該2つの梁とともに前記光学薄体を湾曲される。なお、図5において、1は梁2に光学薄体13を真空吸引させるための管、3は梁2の両端を保持するピン、4はピン3を保持するガイド、5は梁2の中央部に変位量を与える駆動軸、6はモータ、7はタイミングベルトである。また、8は照明系9からマスク11に照射され、マスク11を通過したスリット状の光束である。
この従来技術では、ワーク18の線形的な倍率変化、あるいは投影光学系12が持つ線形的な倍率誤差を線形的に補正することが可能である。
本発明は、例えば、投影像の歪みの非線形な調整が可能な露光装置を提供することを目的とする。
図2は本発明の一実施例に係る露光装置における光学薄板部分を示す斜視図である。この露光装置は、光学薄板13を湾曲させる機構以外は、図1のものと同じ構成を有する。
図2において、投影光学系12は、その結像位置のずれ以外の結像性能に対し実質的に影響を与えない程度の光学的厚さで、かつ湾曲自在な光学薄板13を光路中に有する。光路内に置かれた光学薄板13の支持部材20は、光学薄板13の光束を妨げない外周部を複数の箇所(例えば、20a乃至20gの12箇所)で保持する。前記支持部材20は光学薄板13に対してZ軸(投影光学系12の光軸)方向に駆動可能であり、光学薄板13の湾曲量を制御する。さらに、光学薄板13は、X軸方向(横方向)にのみ湾曲が付加される。すなわち、光学薄板13がXZ断面内では湾曲するが、YZ断面内では実質的に湾曲しないように構成されている。光学薄板13は、露光光の入射方向(Z方向)に対する傾きに応じて結像位置をX軸方向に変化させる。X軸に直交するY軸方向(走査方向)には、結像位置は変化させない。
デバイス(半導体集積回路素子、液晶表示素子等)は、前述のいずれかの実施形態の露光装置を使用して、感光剤が塗布された基板(ウエハ、ガラスプレート等)を露光する工程と、露光された基板を現像する工程と、現像された基板に対する他の周知の工程とを経ることにより製造される。
2 :梁
3 :ピン
4 :ガイド
5 :駆動軸
6 :モータ
7 :タイミングベルト
8 :光束
9 :照明系
10:検出系
11:マスク
12:投影光学系
13:光学薄板
14:ミラー
15:ミラー
16:凹面ミラー
17:凸面ミラー
18:ワーク
19:補正前の露光像
19’:本発明を用いて補正した露光像
20a〜20g:光学薄板の支持部材
Claims (4)
- 原版からの光を基板に投影する、光学薄板を含む投影光学系を有し、前記原版および前記基板の走査を行いながら前記原版及び前記投影光学系を介して前記基板を露光する露光装置であって、
前記走査の方向と直交する方向に配列された複数の支持部材であって、前記光学薄板を支持する複数の支持部材と、
前記投影光学系の光軸の方向に前記複数の支持部材を個別に移動する駆動手段と、
を有することを特徴とする露光装置。 - 前記駆動手段は、前記複数の支持部材をそれぞれ移動する複数のアクチュエータを含む、ことを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
- 前記原版に形成されたマークと前記投影光学系を介した前記基板に形成されたマークの像との相対位置関係を検出する検出系と、
前記検出系により検出された前記相対位置関係に基づいて前記駆動手段を制御する制御手段と、を有することを特徴とする請求項1または2に記載の露光装置。 - 請求項1乃至3のいずれかに記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
前記工程で露光された基板を現像する工程と、
を有することを特徴とするデバイス製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008047724A JP2009206323A (ja) | 2008-02-28 | 2008-02-28 | 露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2008047724A JP2009206323A (ja) | 2008-02-28 | 2008-02-28 | 露光装置 |
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Family Applications (1)
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102262360A (zh) * | 2010-05-31 | 2011-11-30 | 株式会社拓普康 | 曝光装置 |
JP2012059733A (ja) * | 2010-09-03 | 2012-03-22 | Canon Inc | 露光装置及びデバイス製造方法 |
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-
2008
- 2008-02-28 JP JP2008047724A patent/JP2009206323A/ja active Pending
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