CN111352296A - 光罩盒 - Google Patents
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Abstract
一种光罩盒，用于收容光罩，包括盒体及盖体，所述盒体包括底板及依次相连的第一侧板、第二侧板及第三侧板，所述第一侧板、所述第二侧板、所述第三侧板与所述底板相连，所述盖体包括转动连接的顶盖与侧盖，所述顶盖与所述第二侧板转动连接，所述侧盖至少远离所述顶盖的一端的材质比所述光罩的材质软。本发明的实施例提供的所述光罩盒将容易刮擦所述光罩的所述侧盖远离所述顶盖的一端设置成较软的材质，避免所述光罩上的图案被破坏，影响后续的曝光制程，提高了良率，降低了成本。
Description
技术领域
本发明涉及半导体加工领域，具体涉及一种光罩盒。
背景技术
集成电路通常由光刻工艺(或曝光工艺)制成，光刻过程中使用光罩以及相关的光源将光罩上的电路图案转印到半导体晶圆的表面上。光罩包括透光层及形成于透光层上的金属层。金属层用于形成需要转印至晶圆上的电路图案，因此光罩上的图案直接影响光刻的良率。光罩在运输及储存时一般收容于光罩盒内。光罩盒包括盒体及与盒体转动连接的盖体。需要将光罩从光罩盒内取出时，盖体的一端容易刮擦到光罩，损坏光罩上的图案，从而影响光刻的良率。
发明内容
鉴于此，本发明提供一种解决上述问题的光刻胶剥离设备及晶圆处理方法。
一种光罩盒，用于收容光罩，包括盒体及盖体，所述盒体包括底板及依次相连的第一侧板、第二侧板及第三侧板，所述第一侧板、所述第二侧板、所述第三侧板与所述底板相连，所述盖体包括转动连接的顶盖与侧盖，所述顶盖与所述第二侧板转动连接，所述侧盖至少远离所述顶盖的一端的材质比所述光罩的材质软。
进一步地，所述侧盖由塑料制成。
进一步地，所述光罩盒还包括至少一个夹持件，所述夹持件将所述顶盖固定于所述盒体上。
进一步地，所述夹持件包括一个连接部及分别与所述连接部的两端连接的夹持部，两个所述夹持部分别卡持于所述底板与所述顶盖。
进一步地，所述连接部的长度与所述第一侧板的高度相等。
进一步地，所述夹持件由弹性材料制成，向所述底板与所述顶盖提供弹性夹持力。
进一步地，所述夹持件由抗静电材质制成。
进一步地，所述光罩盒还包括至少一弹性件，所述弹性件位于所述第一侧板或所述第三侧板的一侧，所述弹性件的一端固定于所述第二侧板上，另一端固定于所述顶盖或所述侧盖上。
进一步地，所述光罩盒还包括至少一隔离板，所述隔离板位于所述弹性件的一侧，与所述第一侧板或所述第三侧板形成收容所述弹性件的空间。
进一步地，所述底板上还设有多个限位件，多个所述限位件间隔设置，以限制所述光罩的位置。
本发明的实施例提供的所述光罩盒将容易刮擦所述光罩的所述侧盖远离所述顶盖的一端设置成较软的材质，避免所述光罩上的图案被破坏，影响后续的曝光制程，提高了良率，降低了成本。
附图说明
图1是本发明一实施例提供的光罩盒的示意图。
图2是图1所示的光罩盒的盖体合于盒体上的状态示意图。
图3是图1所示的光罩盒的使用状态示意图。
图4是图1所示的光罩盒的夹持件的示意图。
主要元件符号说明
光罩盒 100
盒体 10
第一侧板 11
第二侧板 12
第三侧板 13
底板 14
限位件 141
盖体 20
顶盖 21
侧盖 22
夹持件 30
连接部 31
夹持部 32
弹性件 40
隔离板 50
光罩 200
透光层 210
金属层 220
如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本发明。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
需要说明的是，当一个元件或组件被认为是“连接”另一个元件或组件，它可以是直接连接到另一个元件或组件或者可能同时存在居中设置的元件或组件。当一个元件或组件被认为是“设置在”另一个元件或组件，它可以是直接设置在另一个元件或组件上或者可能同时存在居中设置的元件或组件。
除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
请参见图1，本发明的实施例提供一种光罩盒100，用于收容光罩200，提供所述光罩200在运输与储存时的安全防护。所述光罩盒100呈长方体，优选为适应于所述光罩200的形状的高度小于长度及宽度的扁平的长方体。所述光罩盒100包括盒体10及盖体20。所述盖体20扣合于所述盒体10形成收容所述光罩200的密封空间。所述盖体20包括顶盖21与侧盖22。所述侧盖22与所述顶盖21转动连接。所述顶盖21与所述盒体10转动连接。所述侧盖22至少远离所述顶盖21的一端的材质比所述光罩200的材质软，以减轻对所述光罩200的刮擦。
所述光罩200包括透光层210及金属层220。所述金属层220覆盖于所述透光层210上。所述金属层220用于形成电子电路的图案。在一些实施例中，所述透光层210由石英或钠钙玻璃制成。所述金属层220由铬制成。
所述盒体10包括底板14及依次垂直相连的第一侧板11、第二侧板12及第三侧板13。所述第一侧板11、所述第二侧板12、所述第三侧板13分别与所述底板14垂直相连。所述第二侧板12与所述顶盖21转动连接。
所述侧盖22由塑料制成，且保持所述侧盖22至少远离所述顶盖21的一端的材质比所述光罩200的材质软。如图3所示，所述光罩盒100使用时，所述盖体20相对于所述盒体10打开，此时所述顶盖21相对所述第二侧板12转动，所述侧盖22相对所述顶盖21转动。因此，将所述光罩200从所述光罩盒100内取出过程中容易被所述侧盖22远离所述顶盖21的一端刮擦，而本实施例中，所述侧盖22至少远离所述顶盖21的一端的材质比所述光罩200的材质软，减轻了对所述光罩100的刮擦，避免所述光罩100上的图案被破坏，影响后续的曝光制程。
在本实施例中，所述第一侧板11的长度为213mm，但不限于此，在其他实施例中，可以根据实际需要调整。在本实施例中，所述第二侧板12的长度为186mm，但不限于此，在其他实施例中，可以根据实际需要调整。
在一些实施例中，如图2所示，所述光罩盒100还包括至少一个夹持件30。所述夹持件30将所述顶盖21固定于所述盒体10上。所述夹持件30包括一个连接部31及分别与所述连接部31的两端连接的夹持部32。两个所述夹持部32分别卡持于所述底板14与所述顶盖21。
所述夹持件30由弹性材料制成，优选地，所述夹持件30由抗静电的材质制成，避免所述光罩200受到静电损害。在一些实施例中，如图4所示，所述夹持件30在未夹持到所述底板14与所述顶盖21(即不受外力)时，两个所述夹持部32的自由端(即远离所述连接部31的一端)向彼此靠近的方向延伸，从而能在夹持到所述底板14与所述顶盖21时具有相互靠近的运动趋势，以向所述底板14与所述顶盖21提供更佳的弹性夹持力。
所述连接部31的长度与所述第一侧板11的高度大致相等。在本实施例中，所述第一侧板11的高度为37mm，但不限于此，在其他实施例中，可以根据实际需要调整。在本实施例中，所述连接部31的长度为37mm，厚度为1mm，但不限于此。
进一步地，所述光罩盒100还包括至少一弹性件40。所述弹性件40位于所述第一侧板11或所述第三侧板13的一侧。所述弹性件40的一端固定于所述第二侧板12上，另一端固定于所述顶盖21或所述侧盖22上，以向所述顶盖21及/或所述侧盖22提供弹性回复力。
在一些实施例中，所述光罩盒100还包括至少一隔离板50。所述隔离板50位于所述弹性件40的一侧，与所述第一侧板11或所述第三侧板13形成收容所述弹性件40的空间，以隔离所述弹性件40及所述光罩200，避免所述弹性件40与所述光罩200产生干涉，而损伤所述光罩200。
在一些实施例中，所述底板14上还设有多个限位件141。多个所述限位件141间隔设置，以限制所述光罩200的位置，避免所述光罩200在所述盒体10内运动。
本发明的实施例提供的所述光罩盒100将容易刮擦所述光罩200的所述侧盖22远离所述顶盖21的一端设置成较软的材质，避免所述光罩100上的图案被破坏，影响后续的曝光制程，提高了良率，降低了成本。
以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非限制，尽管参照较佳实施对本发明进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本发明的技术方案进行修改或等同替换，而不脱离本发明技术方案的精神和范围。
Claims (10)
1.一种光罩盒，用于收容光罩，包括盒体及盖体，所述盒体包括底板及依次相连的第一侧板、第二侧板及第三侧板，所述第一侧板、所述第二侧板、所述第三侧板与所述底板相连，所述盖体包括转动连接的顶盖与侧盖，所述顶盖与所述第二侧板转动连接，其特征在于：所述侧盖至少远离所述顶盖的一端的材质比所述光罩的材质软。
2.如权利要求1所述的光罩盒，其特征在于：所述侧盖由塑料制成。
3.如权利要求1所述的光罩盒，其特征在于：所述光罩盒还包括至少一个夹持件，所述夹持件将所述顶盖固定于所述盒体上。
4.如权利要求3所述的光罩盒，其特征在于：所述夹持件包括一个连接部及分别与所述连接部的两端连接的夹持部，两个所述夹持部分别卡持于所述底板与所述顶盖。
5.如权利要求4所述的光罩盒，其特征在于：所述连接部的长度与所述第一侧板的高度相等。
6.如权利要求5所述的光罩盒，其特征在于：所述夹持件由弹性材料制成，向所述底板与所述顶盖提供弹性夹持力。
7.如权利要求6所述的光罩盒，其特征在于：所述夹持件由抗静电材质制成。
8.如权利要求1所述的光罩盒，其特征在于：所述光罩盒还包括至少一弹性件，所述弹性件位于所述第一侧板或所述第三侧板的一侧，所述弹性件的一端固定于所述第二侧板上，另一端固定于所述顶盖或所述侧盖上。
9.如权利要求8所述的光罩盒，其特征在于：所述光罩盒还包括至少一隔离板，所述隔离板位于所述弹性件的一侧，与所述第一侧板或所述第三侧板形成收容所述弹性件的空间。
10.如权利要求1所述的光罩盒，其特征在于：所述底板上还设有多个限位件，多个所述限位件间隔设置，以限制所述光罩的位置。
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