JP2010036984A - レチクルポッドのキャリアケース - Google Patents

Abstract

【課題】優れた振動防止および保護効果を有し、パーティクルの発生を減少させること。
【解決手段】トップカバーとボトムカバーとを含み、ボトムカバーの収納空間の中に緩衝位置決め装置を配置したレチクルポッドのキャリアケースであって、緩衝位置決め装置は、キャリア構造部品と、複数の弾性部品とを含む。キャリア構造部品は、底部と、底部に接続し縦方向に湾曲し延伸した複数の翼部により構成される。複数の弾性部品は、底部に接続しもう１つの向かい合う縦方向に湾曲し、湾曲部を有する複数の弾性部品を形成する。弾性部品の複数の湾曲部は同一平面上に形成する。
【選択図】図３

Description

本発明は、レチクルポッドのキャリアケースに関し、特にレチクルポッドのキャリアケースの中に緩衝位置決め装置を配置し、緩衝位置決め装置を介してキャリアケースの中のレチクルポッドを固定する、レチクルポッドのキャリアケースに関するものである。

現代の半導体技術の発展は迅速であり、中でも光リソグラフィー技術（Optical Lithography）は重要な役割を果たしている。
パターン（pattern）の定義に関するものであれば、すべて光リソグラフィー技術に依存する必要がある。
光リソグラフィー技術を半導体において応用し、設計された回路を、特定の形状を有する透光性のフォトマスク（photo mask）にする。
露光の原理を利用することによって、フォトマスクを介して光源をシリコンウェハー（silicon wafer）に投影し、露光して特定の図案を表示することができる。
フォトマスク上に付着したパーティクル（例えば、微粒子、粉塵または有機物）は、投影描画の品質を劣化させる。
パターン生成に用いられるフォトマスクは、絶対的な清潔を保つ必要があるため、通常のウェハー工程において、クリーンルーム（clean room）の環境を提供し、空気中のパーティクルによる汚染を防止する必要がある。
しかし、現在のクリーンルームでも、絶対的な無塵状態を達成することはできない。現代の半導体工程では、抗汚染的のチクルポッド（reticle pod）を利用してフォトマスクの保管と運搬を行い、フォトマスクを清潔に保っている。

現在、最も一般的なフォトマスク運搬方式は、通常、１つのフォトマスクを１つのレチクルポッドの中に置いてから、複数のレチクルポッドを１つのレチクルポッドの運搬ケースに一緒に入れ、レチクルポッドの運搬ケース内を軟性物質（例えば、フォーム、スポンジなど）で充填し、レチクルポッドの運搬ケース内の隙間を減少するものである。
これによって各レチクルポッドを強化し、固定して、レチクルポッド運送中に発生するレチクルポッドの運搬ケースの振動によりレチクルポッドの中に置かれたフォトマスクに影響を及ぼし、フォトマスクの摩擦または破損をもたらすことを防止する。
しかし、フォトマスク供給業者の側では、出荷時にレチクルポッドをレチクルポッド運搬ケース内に固定して据え付ける必要があるだけでなく、人の手で軟性物質をレチクルポッド運搬ケースに充填し、ケース内に過多な隙間がないことを確実にする必要がある。
フォトマスクの買い手の側では、レチクルポッドを取り出すときにも、レチクルポッド運搬ケース内に充填された軟性物質を先ず人の手で取り出さなければ、レチクルポッドを取り出すことができず、またこれらの充填用の軟性物質を処分しなければならない。
そのため、需給双方で費用、時間、労力を費やして軟性物質の包装と取り出しを行なわなければならないだけでなく、これらの使用済みの軟性物質をそのまま捨ててしまい、再利用しない場合、自己分解できない軟性物質は、環境に汚染をもたらすことにもなる。

前記の問題を解決するため、本発明の主な目的は、キャリアケースの中にレチクルポッドを固定するにあたり、緩衝位置決め装置を介してキャリアケースの中のレチクルポッドを優れた振動防止、及び保護効果を有するように収容できる、レチクルポッドのキャリアケースを提供することである。

本発明のもう１つの主な目的は、緩衝位置決め装置によってフォトマスクの摩擦または破損を効果的に防止できて、パーティクルの発生を減少できる、レチクルポッドのキャリアケースを提供することである。

本発明のさらにもう１つの主な目的は、比較的よい弾性構造を有し、応力を有効に解放することができる緩衝位置決め装置を具備したレチクルポッドのキャリアケースを提供することである。

本発明のさらにもう１つの主な目的は、比較的簡単な取り付け方式によって、簡単に取り出すことができる緩衝位置決め装置を具備したレチクルポッドのキャリアケースを提供することである。

前記目的のため、本発明は以下のようなレチクルポッドのキャリアケースの中に配置した緩衝位置決め装置を提供する。
このレチクルポッドのキャリアケースは、第１収納空間を有するトップカバーと、第２収納空間を有するボトムカバーとを含み、ボトムカバーの収納空間の中に緩衝位置決め装置を配置する。
トップカバーとボトムカバーとを合わせた後に、第３収納空間を形成し、レチクルポッドをボトムカバーの緩衝位置決め装置の中に配置する。
緩衝位置決め装置は、キャリア構造部品および複数の弾性部品を含む。
キャリア構造部品は、底部と、底部に接続し縦方向に延伸する複数の翼部とを含む。
複数の弾性部品は、底部に接続しもう１つの向かい合う縦方向に湾曲し、湾曲部を有する複数の弾性部品を形成する。
弾性部品の複数の湾曲部は、その自由端を同一平面状に位置させて形成し、これらの複数の湾曲部がボトムカバーの底面と接触するように形成する。

本発明はつぎの効果を有する。
レチクルポッドをキャリアケースの中に収容するにあたり、ボトムカバーの中に緩衝位置決め装置を別途取り付けて、キャリアケースのトップカバーをボトムカバーと合わせるだけである。
このときに、緩衝位置決め装置は、レチクルポッドの上下を完全に覆うことができると同時に、キャリアケースとレチクルポッドとの隙間の中に緩衝保護作用を発揮するため、レチクルポッド運送中に発生していたキャリアケースの衝突、又は振動によりフォトマスクに悪影響を及ぼしたり、フォトマスクの摩擦、又は破損すること確実に防止することができる。
そのため、優れた振動防止および保護効果を有し、パーティクルの発生を減少させることができる。

本発明は、レチクルポッドのキャリアケースの発明を開示するもので、特にレチクルポッドのキャリアケースの中に配置した緩衝位置決め装置によってキャリアケースの中のレチクルポッドを固定する発明を開示するものである。
本発明で利用するフォトマスク、またはレチクルポッドの詳細な製造または処理プロセスは、既存の技術を利用して達成できるため、以下の説明においては詳しい説明を省略する。
また、図面については、実際の寸法に基づいて完全に描かれたものではなく、本発明の特徴に関する概要図を表すだけである。

図１は、本発明の緩衝位置決め装置の比較的優れた実施例の概要図である。
図１に示すように、緩衝位置決め装置２は、キャリア構造部品２１と、複数の弾性部品２２とを含む。
キャリア構造部品２１は、矩形底部２１１と、矩形底部２１１に接続した複数の翼部２１２とから形成される。
各翼部２１２は、先ず縦方向面で矩形底部２１１に接続し、縦方向面の自由端においてさらに横方向に湾曲する。
複数の弾性部品２２における各弾性部品２２の一端は、矩形底部２１１に接続し、他端はもう１つの向かい合う縦方向に湾曲して湾曲部２２１を有する複数の弾性部品２２を形成する。
かつ、これらの湾曲部２２１の弾性部品２２は、共同平面を形成する。
本発明の比較的優れた実施例において、各弾性部品２２の一端は、矩形底部２１１に接続した後、先ず横向方向に延伸し、その他端はさらにもう１つの向かい合う縦方向に湾曲して複数の湾曲部２２１を形成する。
複数の弾性部品２２が矩形底部２１に接続して形成される面積は、底部２１が翼部２１２に接続して形成される面積よりも大きいことは明らかである（図１参照）。
そのため、本実施例の緩衝位置決め装置２を容器の中に置くと、少なくとも１つの弾性部品２２が容器の内壁面と接触し、容器の中に固定される。
また、これらの弾性部品２２の湾曲部２２１は、共同平面を有する。

図２は、本発明のレチクルポッドを入れたキャリアケースの比較的優れた実施例の概要図である。
このレチクルポッドのキャリアケース１は、トップカバー１１と、ボトムカバー１２とを含む。
トップカバー１１およびボトムカバー１２は、それぞれ収納空間を有する。トップカバー１１とボトムカバー１２とを合わせた後に、比較的大きな収納空間を形成する。
次に、ボトムカバー１２の収納空間の中に緩衝位置決め装置２を配置し、緩衝位置決め装置２の湾曲部２２１を有する弾性部品２２を、ボトムカバー１２の内壁面および底面に接触させる（図２参照）。
さらに、レチクルポッド３をボトムカバー１２の緩衝位置決め装置２の中に配置するため、レチクルポッド３をキャリアケース１に固定することができる（図３参照）。

キャリアケース１の材質は高分子プラスチック材料であり、キャリア構造部品２１および複数の弾性部品２２の材質は金属材料または高分子プラスチック材料とすることができるため、キャリア構造部品２１および複数の弾性部品２２は一体形成の方式を利用して製造することができる。
本発明の比較的優れた実施例において、キャリア構造部品２１の矩形底部２１１および翼部２１２は、複数の分岐素子の組み合わせにより形成される。
この分岐素子は太い鉄線とすることができる。
また、キャリアケース１のトップカバー１１の収納空間の中にも同様の緩衝位置決め装置２（図には未表示）を別途配置することができる。
そのため、キャリアケース１のトップカバー１１をボトムカバー１２に合わせるとき、緩衝位置決め装置２はレチクルポッド３の上方と下方を完全に覆うことができると同時に、キャリアケース１とレチクルポッド３の隙間の中に緩衝保護作用を発揮し、レチクルポッド３の運送中に発生するキャリアケース１の衝突、または振動によりレチクルポッド３の中に置かれたフォトマスクに影響を及ぼし、フォトマスクの摩擦または破損をもたらすことを防止することができる。
そのため、比較的優れた振動防止および保護効果を有し、パーティクルの発生を減少させることができる。

図４は、本発明の緩衝位置決め装置のもう１つの比較的優れた実施例の透視図である。
この緩衝位置決め装置２は、キャリア構造部品２３および複数の弾性部品２４により構成される。
このキャリア構造部品２３は、複数の分岐素子により第１矩形底部２３１に組み合わされてなる。
複数の分岐素子は、先ず第１矩形底部２３１の四辺に沿って、縦方向に湾曲した後、さらに横方向に湾曲して複数の翼部２３２を形成する。
キャリア構造部品２３の第１矩形底部２３１および翼部２３２を形成するこれらの分岐素子の自由端は、複数の接続部２４３により相互に一緒に接続し、キャリア構造部品２３に全体的な構造を形成させる。
さらに、複数の弾性部品２４は、複数の分岐素子により複数の第２矩形底部２４１に組み合わされてなる。
複数の分岐素子は、先ず第２矩形底部２４１の四辺に沿って、もう１つの縦方向面に湾曲して複数の湾曲部２４２を形成する。
湾曲部２４２が湾曲し延伸する方向は、翼部２３２が湾曲し延伸する方向と逆の方向である。
同様に、複数の弾性部品２４を形成するこれらの分岐素子の自由端も、複数の接続部２４３により相互に一緒に接続し、かつこれらの湾曲部２４２は共同平面を有する。
また、第１矩形底部２３１および弾性部品２４の第２矩形底部２４１および湾曲部２４２も、複数の分岐素子とすることができる。
これによって、接続部２４３を利用し、これらの分岐素子の間を相互に接続し、もう１つの全体的な構造を形成することができる。
緩衝位置決め装置２は、一体成型により製造することができる。

前記の緩衝位置決め装置２は、１対のキャリア構造部品２３の第１矩形底部２３１を十字の方式で交錯させ、キャリア構造部品セットの全体構造として組み立てる。
その交錯組み立てによって形成された夾角Ｃ１は約６０度〜１２０度であり、最も好ましい角度は９０度である。
弾性部品２４の第２矩形底部２４１を十字の方式で交錯させ、弾性部品セットの全体構造として組み立てる。
その交錯組み立てによって形成された夾角Ｃ２は約６０度〜１２０度であり、最も好ましい角度は９０度である。
さらに、キャリア構造部品２３のキャリア構造部品セットと、弾性部品２４の弾性部品セットとを、再度十字の方式で交錯させて組み立て、キャリア構造部品２３の第１矩形底部２３１を弾性部品２４の第２矩形底部２４１上に固定できるようにする。固定方式は、溶接固定または粘着固定とすることができる。

図５Ａは、本発明のキャリア構造部品の比較的優れた実施例の概要図である。
キャリア構造部品２３の翼部２３２は、異なる傾斜率を有する第１翼部段２３２ａと第２翼部段２３２ｂとにより構成される。
第１翼部段２３２ａと第２翼部段２３２ｂにより形成される夾角Ｃ３は約９０度〜１７０であり、最も好ましい角度は１３５度または１５０度である。

本発明はまた、キャリア構造部品のもう１つの比較的優れた実施例を提供する。
キャリア構造部品の翼部は、異なる傾斜率を有する第１翼部段と第２翼部段により構成される。第１翼部段と第２翼部段は、弧形構造とすることができる。

図５Ａは、本発明の弾性部品の比較的優れた実施例の概要図である。
湾曲部２４２を有する弾性部品２４は、異なる傾斜率を有する第１湾曲段２４２ａと、第２湾曲段２４２ｂと、第３湾曲段２４２ｃとにより構成される。
この湾曲部２４２はＵ型に近い構造である。
第１湾曲段２４２ａと第３湾曲段２４２ｃとにより形成可能な夾角の補角Ｃ４は約３０度〜９０度であり、最も好ましい角度は７０度または８５度である。
第２湾曲段２４２ｂと第３湾曲段２４２ｃとにより形成される夾角Ｃ５は約９０度〜１７０度であり、最も好ましい角度は１３５度である。

図５Ｂは、本発明の弾性部品のもう１つの比較的優れた実施例の概要図である。
湾曲部２４２を有する弾性部品２４は、異なる傾斜率を有する第１湾曲段２４２ａと、第２湾曲段２４２ｂと、第３湾曲段２４２ｃと、第４湾曲段２４２ｄとにより構成される。
このため、この湾曲部２４２はＰ型に近い構造である。
第１湾曲段２４２ａと第３湾曲段２４２ｃとにより形成可能な夾角の補角Ｃ４は約３０度〜９０度であり、最も好ましい角度は７０度または８５度である。
第２湾曲段２４２ｂと第３湾曲段２４２ｃにより形成される夾角Ｃ５は約９０度〜１７０度であり、最も好ましい角度は１３５度である。

レチクルポッドをキャリアケースボトムカバーの緩衝位置決め装置の中に置き、緩衝位置決め装置をトップカバーの中に別途取り付け、キャリアケースのトップカバーをボトムカバーに合わせる。
このときに、緩衝位置決め装置は、レチクルポッドの上下を完全に覆うことができると同時に、キャリアケースとレチクルポッドとの隙間の中に緩衝保護作用を発揮し、レチクルポッド運送中に発生するキャリアケースの衝突または振動によりレチクルポッドの中に置かれたフォトマスクに影響を及ぼし、フォトマスクの摩擦または破損をもたらすことを防止することができる。
そのため、比較的優れた振動防止および保護効果を有し、パーティクルの発生を減少することができる。

前記した本発明の比較的優れた実施例は、本発明の権利範囲を限定するためのものではない。
また、以上の説明は、本技術分野の当業者が理解し、実施できるものであるため、本発明で開示された主旨を逸脱せずに完成したその他の同等の変更または修飾は、特許請求の範囲に含まれるものとする。

緩衝位置決め装置の概要図である。 キャリアケースの中に緩衝位置決め装置を配置した概要図である。 キャリアケースの中にレチクルポッドを配置した概要図である。 緩衝位置決め装置の透視図である。 緩衝位置決め装置の側面図である。 緩衝位置決め装置の側面図である。

符号の説明

１ キャリアケース
１１ トップカバー
１２ ボトムカバー
２ 緩衝位置決め装置
２１ キャリア構造部品
２１１ 矩形底部
２１２ 翼部
２２ 弾性部品
２２１ 湾曲部
２３ キャリア構造部品
２３１ 第１矩形底部
２３２ 翼部
２３２ａ 第２翼部段
２３２ｂ 第１翼部段
２３３ 接続部
２４ 弾性部品
２４１ 第２矩形底部
２４２ 湾曲部
２４２ａ 第１湾曲段
２４２ｂ 第２湾曲段
２４２ｃ 第３湾曲段
２４２ｄ 第４湾曲段
２４３ 接続部
３ レチクルポッド
Ｃ１ キャリア構造部品底部の夾角
Ｃ２ 弾性部品底部の夾角
Ｃ３ 第１翼部と第２翼部段の夾角
Ｃ４ 第１湾曲段と第３湾曲段の夾角の補角
Ｃ５ 第２湾曲段と第３湾曲段の夾角

Claims (1)

1. 第１収納空間を有するトップカバーと、第２収納空間を有するボトムカバーとを含み、かつ該ボトムカバーの第２収納空間の中に緩衝位置決め装置を配置し、該トップカバーと該ボトムカバーとを合わせた後に第３収納空間を形成するキャリアケースであって、
   前記緩衝位置決め装置は、底部および該底部に接続し縦方向に湾曲し延伸した複数の翼部により構成されたキャリア構造部品と、
   該底部に接続し、もう１つの向かい合う縦方向に湾曲して湾曲部を有する複数の弾性部品を形成する複数の弾性部品とを含み、
   かつ弾性部品の複数の湾曲部は共同平面を形成し、
   該共同平面は該ボトムカバーの底面と接触することを特徴とする、
   キャリアケース。

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