TWI384322B - 光罩盒之承載盒及其緩衝定位裝置 - Google Patents

Description

光罩盒之承載盒及其緩衝定位裝置

本發明係有關於一種光罩盒之承載盒，特別係有關於一種於光罩盒之承載盒中配置緩衝定位裝置，用以固定承載盒中的光罩盒。

近代半導體科技發展迅速，其中光學微影技術(Optical Lithography)扮演重要的角色，只要是關於圖形(pattern)定義，皆需仰賴光學微影技術。光學微影技術在半導體的應用上，是將設計好的線路製作成具有特定形狀可透光之光罩(photo mask)。利用曝光原理，則光源通過光罩投影至矽晶圓(silicon wafer)可曝光顯示特定圖案。由於任何附著於光罩上的塵埃顆粒(如微粒、粉塵或有機物)都會造成投影成像的品質劣化，用於產生圖形的光罩必須保持絕對潔淨，因此在一般的晶圓製程中，都提供無塵室(clean room)的環境以避免空氣中的顆粒污染。然而，目前的無塵室也無法達到絕對無塵狀態。現代的半導體製程皆利用抗污染的光罩盒(reticle pod)進行光罩的保存與運輸，以使光罩保持潔淨。

而目前最為普遍的運送光罩方式，通常是先將單一個光罩存放於單一個光罩盒當中，再將多個光罩盒一同放置於一個光罩盒之運輸盒，並於光罩盒之運輸的盒內充填軟性物質(如泡棉、海棉等)，減少光罩盒之運輸盒的盒內間隙，並藉此加強並固定各個光罩盒，以避免光罩盒之運輸盒於運送光罩盒途中所產生的震動，影響存放於光罩盒中的光罩而導致光罩之摩擦或損壞。然而，就光罩供應商而言，出貨時除了需將光罩盒固定安置於光罩盒之運輸盒內以外，還必須以人工方式將軟性物質充填於光罩盒之運輸盒，並確保盒內不會有過多個間隙；就光罩需求方而言，欲取出光罩盒時，也必須先以人 工方式將充填於光罩盒之運輸盒盒內的軟性物質取出，才得以取出光罩盒，並且還需針對這些用來充填用的軟性物質加以處裡，因此。供需雙方除了都需耗費時間與人力成本進行軟性物質的包裝與折卸以外，若將這些使用過的軟性物質直接丟棄而不重複使用，這些無法自行分解的軟性物質又將對環境造成污染。

為了解決上述問題，本發明之主要目的在於提供一種將緩衝定位裝置配置於光罩盒之承載盒中，用以固定承載盒中的光罩盒，以使承載盒中的光罩盒具有較佳之防震與保護效果。

本發明之另一主要目的在於提供一種光罩盒之承載盒，其緩衝定位裝置具有較佳之防止光罩摩擦或損壞，並減少塵粒的產生。

本發明之又一主要目的在於提供一種緩衝定位裝置，其具有較佳之彈性結構，可有效釋放應力。

本發明之還有一主要目的在於提供一種緩衝定位裝置，其具有較為簡單之裝設方式，且易於取出。

依據上述目的，本發明提供一種配置於光罩盒之承載盒中的緩衝定位裝置。此光罩盒之承載盒包括一具有第一容置空間之上蓋體，以及一具有第二容置空間之下蓋體，並於下蓋體之容置空間中配置一緩衝定位裝置，上蓋體與下蓋體蓋合後形成一第三容置空間，一光罩盒配置於下蓋體之緩衝定位裝置中。其中，緩衝定位裝置包含一承載結構及複數個彈性件，承載結構係由一底部以及與底部連接並向縱向方向延伸的複數個翼部，複數個彈性件係與底部連接並向另一相對之縱向彎折以形成複數個具有彎折部之彈性件，且這些彎折部之彈性件形成一共同平面，而共同平面與下蓋體之底面接觸。

因此，將光罩盒置於承載盒下蓋體的緩衝定位裝置中，並另裝設一緩衝定位裝置於上蓋體中，當承載盒之上蓋體蓋合於下蓋體時，緩衝定位裝置可完全包覆於光罩盒之上下方，並可同時在承載盒與光罩盒之間隙中形成一緩衝保護作用，以避免承載盒於運送光罩盒途中所產生的碰撞或是震動，影響存放於光罩盒中的光罩而導致光罩之摩擦或損壞，因此具有較佳之防震與保護效果，並可減少塵粒的產生。

由於本發明係揭露一種光罩盒之承載盒，特別是一種於光罩盒之承載盒中配置緩衝定位裝置，並藉由這些緩衝定位裝置來固定承載盒中的光罩盒。由於，本發明所利用到的一些光罩或光罩盒之詳細製造或處理過程，係利用現有技術來達成，故在下述說明中，並不作完整描述。而且下述內文中之圖式，亦並未依據實際之相關尺寸完整繪製，其作用僅在表達與本創作特徵有關之示意圖。

首先，請參考第1圖，其係根據本發明之緩衝定位裝置之一較佳實施例示意圖。如第1圖所示，緩衝定位裝置2包含一承載結構21以及複數個彈性件22，承載結構21係由一矩形底部211以及與矩形底部211連接的複數個翼部212所形成，其中每一翼部212係先以一縱向面與矩形底部211連接，並於縱向面之自由端再向橫方向彎折；而複數個彈性件22中的每一彈性件22之一端係與矩形底部211連接，而另一端則向另一相對之縱向彎折以形成複數個具有彎折部221之彈性件22，且這些彎折部221之彈性件22形成一共同平面；而在本發明之一較佳實施例中，每一彈性件22之一端與矩形底部211連接後，可以先向橫向方向延伸，然後其另一端再向另一相對之縱向彎折以形成複數個彎折部221，很明顯地，複數個彈性件 22與矩形底部21連接所形成之面積較底部21與翼部212連接所形成之面積大，如第1圖所示。故當本實施例的緩衝定位裝置2放置於一容器中，可藉由至少一彈性件22與容器的內壁面接觸而固定於容器中；此外，這些彈性件22之彎折部221具有一共同平面。

接著，請參考第2圖，係根據本發明之用以承載光罩盒之承載盒之一較佳實施例示意圖。很明顯地，此光罩盒之承載盒1包括一上蓋體11以及一下蓋體12，上蓋體11與下蓋體12各具有一容置空間，當上蓋體11與下蓋體12蓋合後形成一較大之容置空間。接著，於下蓋體12之容置空間中配置一緩衝定位裝置2，並且使得緩衝定位裝置2之具有彎折部221之彈性件22與下蓋體12之內壁面及底面相接觸，如第2圖所示。接著，將一光罩盒3配置於下蓋體12之緩衝定位裝置2中，故可將光罩盒3固定於承載盒1，如第3圖所示。

承上所述，承載盒1之材質為一高分子塑膠材料，而承載結構21及複數個彈性件22之材質則可為金屬材料或高分子塑膠材料，故承載結構21及複數個彈性件22可利用一體成型的方式製成。在本發明之一較佳實施例中，承載結構21之矩形底部211以及翼部212係由複數個分枝元件所組合形成。此外，另可於承載盒1之上蓋體11的容置空間中也配置一個同樣的緩衝定位裝置2(未顯示於圖中)，因此，當承載盒1之上蓋體11蓋合於下蓋體12時，緩衝定位裝置2可完全包覆於光罩盒3之上方與下方，並可同時在承載盒1與光罩盒3之間隙中形成一緩衝保護作用，以避免承載盒1於運送光罩盒3途中所產生的碰撞或是震動，影響存放於光罩盒3中的光罩而導致光罩之摩擦或損壞，因此具有較佳之防震與保護效果，並可減少塵粒的產生。

第4圖係根據本發明緩衝定位裝置之另一較佳實施例之透視圖。此緩衝定位裝置2包含承載結構23以及複數個彈性件24所組 成，其中，此承載結構23係由複數個分枝元件組合成第一矩形底部231，接著，將複數個分枝元件先沿著第一矩形底部231的四邊，向縱方向彎折後再向橫方向彎折以形成複數個翼部232，而形成承載結構23之第一矩形底部231以及翼部232的這些分枝元件之自由端可由複數個連接部243相互連接在一起，以使承載結構23形成一個整體之結構；接著，複數個彈性件24係由複數個分枝元件組合成複數個第二矩形底部241；接著，將複數個分枝元件先沿著第二矩形底部241的四邊，向另一縱向面彎折以形成複數個彎折部242，其中，彎折部242彎折延伸之方向與翼部232彎折延伸之方向為相反之方方向，同樣地，形成複數個彈性件24的這些分枝元件之自由端也是由複數個連接部243相互連接在一起，且這些彎折部242具有一共同平面。此外，第一矩形底部231以及彈性件24之第二矩形底部241以及彎折部242亦可為複數個分枝元件，藉此可利用連接部243將這些分枝元件之間係相互連接，以形成另一整體之結構，其中，緩衝定位裝置2可為一體成型的方式製成。

根據上述之緩衝定位裝置2，將一對承載結構23之第一矩形底部231以十字方式交錯組裝為一承載結構組之整體結構，其交錯組裝所形成之夾角C1為約60度~120度，而最佳之角度為90度，並將彈性件24之第二矩形底部241以十字方式交錯組裝為一彈性件組之整體結構，其交錯組裝所形成之夾角C2為約60度~120度，而最佳之角度為90度，再將承載結構23之承載結構組與彈性件24之彈性件組再次以十字方式交錯組裝，使得承載結構23之第一矩形底部231可固接於彈性件24之第二矩形底部241上，其中，固接的方式可以焊接固定或以黏膠固定。

第5A圖係根據本發明承載結構之一較佳實施例示意圖，承載結構23之翼部232係由具有不同斜率之一第一翼部段232a與一第二 翼部段232b所組成，其中，第一翼部段232a與一第二翼部段232b所形成之夾角C3為約90度~170度，而最佳之角度為135度或150度。

本發明另提供一承載結構之另一較佳實施例，承載結構之翼部係由具有不同斜率之一第一翼部段與一第二翼部段所組成，其中，第一翼部段與一第二翼部段可為一弧形結構。

第5A圖係根據本發明彈性件之一較佳實施例示意圖，具有彎折部242之彈性件24係由具有不同斜率之一第一彎折段242a、一第二彎折段242b與一第三彎折段242c所組成，因此，此彎折部242為一近似U型之結構，其中，第一彎折段242a與第三彎折段242c可形成一夾角之互補角C4為約30度~90度，而最佳之角度為70度或85度，第二彎折段242b與第三彎折段242c所形成之夾角C5為約90度~170度，而最佳之角度為135度。

第5B圖係根據本發明彈性件之另一較佳實施例示意圖，具有彎折部242之彈性件24係由具有不同斜率之一第一彎折段242a、一第二彎折段242b、一第三彎折段242c以及一第四彎折段242d所組成，因此，此彎折部242為一近似P型之結構，其中，第一彎折段242a與第三彎折段242c可形成一夾角之互補角C4為約30度~90度，而最佳之角度為70度或85度，第二彎折段242b與第三彎折段242c所形成之夾角C5為約90度~170度，而最佳之角度為135度。

因此，將光罩盒置於承載盒下蓋體的緩衝定位裝置中，並另裝設一緩衝定位裝置於上蓋體中，當承載盒之上蓋體蓋合於下蓋體時，緩衝定位裝置可完全包覆於光罩盒之上下方，並可同時在承載盒與光罩盒之間隙中形成一緩衝保護作用，以避免承載盒於運送光罩盒途中所產生的碰撞或是震動，影響存放於光罩盒中的光罩而導致光罩之摩擦或損壞，因此具有較佳之防震與保護效果，並可減少 塵粒的產生。

以上所述僅為本發明之較佳實施例，並非用以限定本發明之權利範圍；同時以上的描述，對於熟知本技術領域之專門人士應可明瞭及實施，因此其他未脫離本發明所揭示之精神下所完成的等效改變或修飾，均應包含在下述之申請專利範圍中。

1‧‧‧承載盒

11‧‧‧上蓋體

12‧‧‧下蓋體

2‧‧‧緩衝定位裝置

21‧‧‧承載結構

211‧‧‧矩形底部

212‧‧‧翼部

22‧‧‧彈性件

221‧‧‧彎折部

23‧‧‧承載結構

231‧‧‧第一矩形底部

232‧‧‧翼部

232a‧‧‧第二翼部段

232b‧‧‧第一翼部段

233‧‧‧連接部

24‧‧‧彈性件

241‧‧‧第二矩形底部

242‧‧‧彎折部

242a‧‧‧第一彎折段

242b‧‧‧第二彎折段

242c‧‧‧第三彎折段

242d‧‧‧第四彎折段

243‧‧‧連接部

3‧‧‧光罩盒

C1‧‧‧承載結構底部之夾角

C2‧‧‧彈性件底部之夾角

C3‧‧‧第一翼部與一第二翼部段之夾角

C4‧‧‧第一彎折段與第三彎折段夾角之互補角

C5‧‧‧第二彎折段與第三彎折段之夾角

第1圖係緩衝定位裝置之示意圖。

第2圖係於承載盒中配置緩衝定位裝置之示意圖。

第3圖係於承載盒中配置光罩盒之示意圖。

第4圖係緩衝定位裝置之透視圖。

第5A圖係緩衝定位裝置之側視圖。

第5B圖係緩衝定位裝置之側視圖。

2‧‧‧緩衝定位裝置

23‧‧‧承載結構

232‧‧‧翼部

231‧‧‧第一底部

233‧‧‧連接部

24‧‧‧彈性件

241‧‧‧第二底部

242‧‧‧彎折部

243‧‧‧連接部

C1‧‧‧承載結構底部之夾角

C2‧‧‧彈性件底部之夾角

Claims (33)

1. 一種緩衝定位裝置，其包含：一承載結構，係由一底部以及與該底部連接並向一縱向方向彎折延伸的複數個翼部所組成；及複數個彈性件，係與該底部連接並向另一相對之縱向彎折以形成複數個具有彎折部之彈性件，且該些彎折部之彈性件形成一共同平面。
2. 如申請專利範圍第1項所述之緩衝定位裝置，其中該承載結構及該複數個彈性件之材質係由下列組合中選出：金屬及高分子塑膠材料。
3. 如申請專利範圍第2項所述之緩衝定位裝置，其中該承載結構之底部及該翼部係由複數個分枝元件所形成。
4. 如申請專利範圍第1項所述之緩衝定位裝置，其中該承載結構及該複數個彈性件係一體成型。
5. 一種承載盒，包括一具有第一容置空間之上蓋體及一具有第二容置空間之下蓋體，且於該下蓋體之第二容置空間中配置一緩衝定位裝置，該上蓋體與該下蓋體蓋合後形成一第三容置空間，其中該承載盒之特徵在於：該緩衝定位裝置包含一承載結構，係由一底部以及與該底部連接並向一縱向方向彎折延伸的複數個翼部所組成，及複數個彈性件，係與該底部連接並向另一相對之縱向彎折以形成複數個具有彎折部之彈性件，且該些彎折部之彈性件形成一共同平面，而該共同平面與該下蓋體之底面接觸。
6. 如申請專利範圍第5項所述之承載盒，其中該承載盒之材質為一高分子塑膠材料。
7. 如申請專利範圍第5項所述之承載盒，其中該承載結構及該複 數個彈性件之材質係由下列組合中選出：金屬及高分子塑膠材料。
8. 如申請專利範圍第7項所述之承載盒，其中該承載結構之底部及該翼部係由複數個分枝元件所形成。
9. 如申請專利範圍第5項所述之承載盒，其中該承載結構及該複數個彈性件係一體成型。
10. 如申請專利範圍第5項所述之承載盒，其中該上蓋體之容置空間中進一步配置該緩衝定位裝置。
11. 一種光罩盒之承載盒，包括一具有第一容置空間之上蓋體及一具有第二容置空間之下蓋體，且於該下蓋體之容置空間中配置一緩衝定位裝置，於該上蓋體與該下蓋體蓋合後形成一第三容置空間，一光罩盒配置於該下蓋體之該緩衝定位裝置中，其中該承載盒之特徵在於：該緩衝定位裝置包含一承載結構，係由一底部以及與該底部連接並向一縱向方向彎折延伸的複數個翼部所組成，及複數個彈性件，係與該底部連接並向另一相對之縱向彎折以形成複數個具有彎折部之彈性件，且該些彎折部之彈性件形成一共同平面，而該共同平面與該下蓋體之底面接觸。
12. 一種承載盒，包括一具有第一容置空間之上蓋體及一具有第二容置空間之下蓋體，且於該下蓋體之第二容置空間中配置一緩衝定位裝置，該上蓋體與該下蓋體蓋合後形成一第三容置空間，其中該承載盒之特徵在於：該緩衝定位裝置包含一承載結構，具有一第一底部以及與該第一底部連接並向一縱向方向彎折延伸的複數個翼部所組成，及複數個彈性件，係由一與該第一底部連接之第二底部及與該第二底部連接並向另一相對之縱向彎折以形成複數個 具有彎折部之彈性件所組成，且該些彎折部之彈性件形成一共同平面，而該共同平面與該下蓋體之底面接觸。
13. 如申請專利範圍第12項所述之承載盒，其中該翼部具有不同斜率之一第一翼部段與一第二翼部段。
14. 如申請專利範圍第13項所述之承載盒，其中該第一翼部段與該第二翼部段所形成之夾角(C3)為約90度~170度。
15. 如申請專利範圍第13項所述之承載盒，其中該第一翼部段與該第二翼部段係為一弧形結構。
16. 如申請專利範圍第12項所述之承載盒，其中該彎折部具有不同斜率之一第一彎折段、一第二彎折段與一第三彎折段。
17. 如申請專利範圍第16項所述之承載盒，其中該彎折部為一近似U型之結構。
18. 如申請專利範圍第16項所述之承載盒，其中該第一彎折段與該第三彎折段所形成夾角之互補角(C4)為約30度~90度。
19. 如申請專利範圍第16項所述之承載盒，其中該第二彎折段與該第三彎折段所形成之夾角(C5)為約90度~170度。
20. 如申請專利範圍第16項所述之承載盒，其中該彎折部另具有不同斜率之一第四彎折段。
21. 如申請專利範圍第20項所述之承載盒，其中該彎折部為一近似P型之結構。
22. 如申請專利範圍第12項所述之承載盒置，其中該緩衝定位裝置係為一體成型。
23. 如申請專利範圍第12項所述之承載盒，該對承載結構之第一底部交錯組裝為一承載結構組，該複數個彈性件之第二底部交錯組裝為一彈性件組，該承載結構組之第一底部固接於該彈性件組之第二底部上。
24. 如申請專利範圍第23項所述之承載盒，其中該對承載結構之第一底部交錯組裝所形成之夾角(C1)為約60度~120度。
25. 如申請專利範圍第23項所述之承載盒，其中該複數個彈性件之第二底部交錯組裝所形成之夾角(C2)為約60度~120度。
26. 如申請專利範圍第23項所述之承載盒，其中該承載結構與該彈性件係以焊接方式固接。
27. 如申請專利範圍第14項所述之承載盒，其中該承載結構與該彈性件係以黏膠方式固接。
28. 如申請專利範圍第14項所述之承載盒，其中該承載盒之材質為一高分子塑膠材料。
29. 如申請專利範圍第14項所述之承載盒，其中該承載結構及該複數個彈性件之材質係由下列組合中選出：金屬及高分子塑膠材料。
30. 如申請專利範圍第29項所述之承載盒，其中該承載結構之底部及該翼部係由複數個分枝元件所形成。
31. 如申請專利範圍第14項所述之承載盒，其中該承載結構及該複數個彈性件係一體成型。
32. 如申請專利範圍第14項所述之承載盒，其中該上蓋體之容置空間中進一步配置該緩衝定位裝置。
33. 一種光罩盒之承載盒，包括一具有第一容置空間之上蓋體及一具有第二容置空間之下蓋體，且於該下蓋體之容置空間中配置一緩衝定位裝置，於該上蓋體與該下蓋體蓋合後形成一第三容置空間，一光罩盒配置於該下蓋體之該緩衝定位裝置中，其中該承載盒之特徵在於：該緩衝定位裝置包含一承載結構，具有一第一底部以及與該第一底部連接並向一縱向方向彎折延伸的複數個翼部所 組成，及複數個彈性件，係由一與該第一底部連接之第二底部以及與該第二底部連接並向另一相對之縱向彎折以形成複數個具有彎折部之彈性件所組成，且該些彎折部之彈性件具有一共同平面，而該共同平面與該下蓋體之底面接觸。