TWI680348B - 光罩盒及其組裝件 - Google Patents

Abstract

本發明提供了一種光罩盒及其組裝件。該組裝件主要包含一主支架及二接合板，且該二接合板各設置於該主支架的兩端上。其中，該主支架及該二接合板共構出一第一裝設部及一第二裝設部，且該組裝件嵌設於光罩盒的上蓋或下蓋。

Description

光罩盒及其組裝件

本發明提供了一種光罩盒及其組裝件，由指一種可以透過組裝件拼接的光罩盒，得以大幅減少生產的成本，並提高攜帶或運輸的便利性。

在半導體產業中，光罩在製程上扮演非常重要的角色。無論是傳統的黃光微影或蝕刻等技術，甚至到近年來的極紫外光刻(Extreme ultraviolet lithography,EUVL)製程，皆無法脫離光罩的使用。

在眾多半導體的直接或間接相關產業中，涉及光電相關的產業亦屬於相當重要的一塊。在製作大尺寸的面板時，其製程上所運用到的光罩尺寸亦隨著面板的尺寸改變。在科技進步的前提之下，現有的面板產業所能製作的面板尺寸逐步增大，伴隨而來的是，其製程上所需要的光罩尺寸亦同步增大。

有別於製造處理器或晶片等半導體產業，面板產業所用的光罩因其尺寸可寬幅至800毫米比960毫米之故，並無法用傳統小型的光罩盒進行傳送或儲存；相對的必須使用專規的大尺寸光罩盒。

因此，相關的大尺寸光罩盒因應而生。然現有的大尺寸光罩盒有著因體積巨大而難以運輸的問題。除了運輸的考量之外，如此重量及體積的光罩盒亦在製造上有一定的困難程度。其原因在於，採用射出成型(Injection moulding)所製作的大尺寸光罩盒，除了機台不易覓得之外，每次運作的成本也極為昂貴。因此，目前半導體產業極需要能解決此問題的技術手段。

為了解決先前技術中所提及的問題，本發明提供了一種光罩盒及其組裝件。其中，該組裝件主要包含至少一主支架以及二接合板。該二接合板各設置於每個該主支架的兩端上，且每個該主支架及該二接合板共構出一第一裝設部及一第二裝設部，且該組裝件嵌設於一光罩盒的一上蓋或一下蓋。

在本發明的概念之下，該組裝件可能衍生出多種的實施方式。其中，該主支架及該二接合板可共構為一ㄇ字型結構。又，該主支架及該二接合板亦可設計為一體成型。此外，該主支架及該二接合板上更可以設有至少一穿設孔，供其嵌設於光罩盒中。

此外，本發明還提供了一種運用前述組裝件的光罩盒。該光罩盒主要包含二組裝件、一上蓋以及一下蓋。其中，每個該組裝件包含一主支架及二接合板，且二接合板各設置於該主支架的兩端上。至於該主支架及該二接合板共構出一第一裝設部及一第二裝設部。

而該上蓋包含一第一左蓋部及一第一右蓋部。該第一左蓋部與其中一個該組裝件的該第一裝設部固定；該第一右蓋部與其中一個該組裝件的該第二裝設部固定。該下蓋則包含一第二左蓋部及一第二右蓋部。該第二左蓋部與另一個該組裝件的該第一裝設部固定；而該第二右蓋部，與另一個該組裝件的該第二裝設部固定。該上蓋與該下蓋蓋合。

在本發明的概念之下，該光罩盒可能衍生出多種的實施方式。其一可能的實施方式是，該上蓋嵌設有該組裝件的內表面設有至少一第一縱向支撐肋；該第一左蓋部及該第一右蓋部的內表面設有垂直於該至少一第一縱向支撐肋的一至少一第一橫向支撐肋。同樣地，該下蓋嵌設有該組裝件的內表面設 有至少一第二縱向支撐肋；該第二左蓋部及該第二右蓋部的內表面設有垂直於該至少一第二縱向支撐肋的一至少一第二橫向支撐肋。其中該上蓋或該下蓋的內表面四周側緣更設有至少一止擋塊。

又，在別的可能的實施方式中，該至少一第一縱向支撐肋延伸至該上蓋側緣的兩端各設有一止擋塊；該至少一第一橫向支撐肋延伸至該上蓋側緣的兩端亦各設有該止擋塊；該至少一第二縱向支撐肋延伸至該下蓋側緣的兩端各設有該止擋塊；該至少一第二橫向支撐肋延伸至該下蓋側緣的兩端亦各設有該止擋塊。此外，該光罩盒上亦可增設有至少一握持件。該上蓋與該下蓋蓋合的間隙更可設有至少一氣密條，抑或光罩盒上更可設有至少一鎖合部。

以上對本發明的簡述，目的在於對本發明之數種面向和技術特徵作一基本說明。發明簡述並非對本發明的詳細表述，因此其目的不在特別列舉本發明的關鍵性或重要元件，也不是用來界定本發明的範圍，僅為以簡明的方式呈現本發明的數種概念而已。

100‧‧‧組裝件

101‧‧‧主支架

102‧‧‧接合板

103‧‧‧第一裝設部

104‧‧‧第二裝設部

105a‧‧‧穿設孔

105b‧‧‧穿設孔

200‧‧‧光罩盒

201‧‧‧上蓋

201L‧‧‧第一左蓋部

201R‧‧‧第一右蓋部

202‧‧‧下蓋

202L‧‧‧第二左蓋部

202R‧‧‧第二右蓋部

203‧‧‧握持件

204‧‧‧第二縱向支撐肋

205‧‧‧第二橫向支撐肋

206a‧‧‧止擋塊

206b‧‧‧止擋塊

207‧‧‧鎖合部

300‧‧‧組裝件

301‧‧‧十字構件

301a‧‧‧主支架

301b‧‧‧主支架

302‧‧‧接合板

S‧‧‧箭頭

圖1係本發明實施例組裝件的結構示意圖。

圖2係本發明實施例的光罩盒外觀結構示意圖。

圖3係本發明實施例的光罩盒下蓋結構分解圖。

圖4係本發明實施例組裝件另一實施例之示意圖。

為能瞭解本發明的技術特徵及實用功效，並可依照說明書的內容來實施，茲進一步以如圖式所示的較佳實施例，詳細說明如後： 請參照圖1，圖1係本發明實施例組裝件的結構示意圖。如圖1所示，本發明實施例中，組裝件100主要包含主支架101以及兩個接合板102。接合板102各設置於主支架101的兩端上，且主支架101及兩個接合板102共構出如圖1中虛線所示的第一裝設部103及第二裝設部104。

請同時參照圖1及圖2，圖2係本發明實施例的光罩盒外觀結構示意圖。如圖1及圖2所示，在可能的實施樣態中，組裝件100(虛線標示)可嵌設於光罩盒200的上蓋201或下蓋202中。在圖2的實施例中，光罩盒200係用以乘載面板製程大尺寸光罩的大尺寸光罩盒。然在本發明的概念之下，其他類型的光罩盒無論尺寸，如採用本發明實施例所提供的方式拼接或加以組合，應皆屬於本發明的範疇之內。

如圖1所示，組裝件100如以箭頭S的視角觀看，可發現圖1及圖2中實施例的組裝件100，其主支架101及接合板102共構為一ㄇ字型結構。又，在可能的情況下，主支架101及接合板102亦可設計為一體成型，除了可以增加結構強度之外，更可減少組裝的時間。

而在圖1及圖2的實施例中，主支架101及該接合板102上更可以設有至少一穿設孔(105a或105b)。在圖1的實施例中，主支架101上設有至少一穿設孔105a；而接合板102上設有至少一穿設孔105b。透過至少一穿設孔(105a或105b)的設置，讓組裝件100得以在特定的實施方式下透過氣密螺絲等機構，嵌設於光罩盒200內，本發明不加以限制。換言之，在可能的實施樣態中，組裝件100和光罩盒200上蓋201及下蓋202接觸的部份，亦更可適配其形狀設置有複數個不等的氣密件，使整個光罩盒200的氣密效果不因拼接而降低。

在本實施例中，接合板102係設計為左右對稱的蝶翼狀結構，可以有效的將主支架101固定在光罩盒200的外殼結構上。然依據光罩盒200所需求的構型不同，接合板102的形狀或結構亦可相應調整，本發明同樣不加以限制。

請同時參照圖2及圖3，圖3係本發明實施例的光罩盒下蓋結構分解圖。在本實施例中，雖僅於圖3中顯示出下蓋202的結構分解圖，惟上蓋201及下蓋202的結構係屬大部份相同，僅上蓋201及下蓋202蓋合的部份有著公母結合或卡榫等相對差異機構。

在圖2及圖3的實施例中，光罩盒200主要包含兩個組裝件100、上蓋201以及下蓋202。其中，每個組裝件100包含主支架101及兩個接合板102，且接合板102各設置於主支架101的兩端上。至於主支架101及接合板102如圖1的實施例一般，共構出第一裝設部103及第二裝設部104。此外，本實施例之光罩盒200上亦可增設至少一握持件203，供人員搬運。

而為了保證上蓋201及下蓋202的密合度和安全性，本實施例中上蓋201與下蓋202蓋合的間隙更可設有至少一氣密條(圖未示)，抑或光罩盒200上更可設有至少一鎖合部207，使光罩盒200得以更加密合且不鬆脫。

在本實施例中，上蓋201包含第一左蓋部201L及第一右蓋部201R。第一左蓋部201L與其中一個組裝件100的第一裝設部103固定。至於第一右蓋部201R則與同個組裝件100的第二裝設部104固定，共構成一個完整的上蓋201。

而下蓋202則包含第二左蓋部202L及第二右蓋部202R。其中，第二左蓋部202L與不同於上蓋201的另一個組裝件100之第一裝設部103固定；而第二右蓋部202R則該組裝件100的第二裝設部104固定。據此，當上蓋201與下蓋202 蓋合的時候，第二左蓋部202L會與第一右蓋部201R位於同側，而第二右蓋部202R反之亦然。

如圖3所示，在圖3的實施例中，下蓋202嵌設有組裝件100的內表面設有至少一第二縱向支撐肋204。而第二左蓋部202L及第二右蓋部202R的內表面設有垂直於至少一第二縱向支撐肋204的至少一第二橫向支撐肋205。

雖本發明實施例未示意上蓋201的圖示，惟上蓋201嵌設有組裝件100的內表面同樣設有相應於該至少一第二縱向支撐肋204的至少一第一縱向支撐肋，以及相應於第二左蓋部202L及第二右蓋部202R設於第一左蓋部及該第一右蓋部內表面垂直於前述至少一第一縱向支撐肋的至少一第一橫向支撐肋。

據此，在上蓋201及下蓋202蓋合時，第二縱向支撐肋204、第二橫向支撐肋205、第一縱向支撐肋及第一橫向支撐肋可相應自上下兩面支撐光罩。且第二縱向支撐肋204、第二橫向支撐肋205、第一縱向支撐肋及第一橫向支撐肋的葉片狀設計更可有效並均勻的分散抵持於光罩上的作用力；更特別的是，在實施例的第二縱向支撐肋204上，更可看出有複數個不等的凸圓點，該些凸圓點更能進一步分散作用於大尺寸光罩上的作用力，達到良好的儲存功效。

而在圖3的實施例中，可明顯看出其中上蓋201或下蓋202的內表面四周側緣更設有至少一止擋塊(206a或206b)。更進一步來說，圖3的實施例所示之至少一第二縱向支撐肋204延伸至下蓋202側緣的兩端各設有前述的止擋塊206a，至少一第二橫向支撐肋205延伸至下蓋202側緣的兩端各設有該止擋塊206b。同理，上蓋201中，至少一第一縱向支撐肋延伸至上蓋201側緣的兩端亦各設有止擋塊206a，而至少一第一橫向支撐肋延伸至上蓋201側緣的兩端亦各設有止擋塊206b。

本發明實施例藉由組裝件100的應用，將傳統技術中尺寸龐大的光罩盒拆解為較小的零件。除了可以自由拆裝攜帶、清洗之外，於製造時更可大幅降低射出成型的困難度和成本，可謂解決了本技術所屬技術領域中，長久以來所不能解決的問題。

請參照圖4，圖4係本發明實施例組裝件另一實施例之示意圖。基於本發明的概念，本發明實施例中所載的組裝件300更可以由主支架301a、主支架301b以及四個接合板302共構而成的結構。具體的實施方式是將主支架301a及主支架301b以垂直交疊於重心的方式一體成型為十字構件301，而四個接合板302各設置於十字構件301的四個末端上。在此實施方式的狀態下，如套用到圖2的光罩盒200中，上蓋201或下蓋202便可相應變成由四個蓋部拼湊，更加減少射出成型成品的體積。

惟以上所述者，僅為本發明之較佳實施例而已，當不能以此限定本發明實施之範圍，即依本發明申請專利範圍及說明內容所作之簡單變化與修飾，皆仍屬本發明涵蓋之範圍內。

Claims (13)

1. 一種組裝件，包含：至少一主支架；以及二接合板，各設置於每個該主支架的兩端上；其中，每個該主支架及該二接合板共構出一第一裝設部及一第二裝設部；每個該主支架或該二接合板上更設有至少一穿設孔；該組裝件透過該至少一穿設孔嵌設於一光罩盒的一上蓋或一下蓋；該上蓋或該下蓋各別由至少二蓋部透過該第一裝設部及該第二裝設部拼接組成。
2. 如請求項1所述的組裝件，其中每個該主支架及該二接合板共構為一ㄇ字型結構。
3. 如請求項1所述的組裝件，其中每個該主支架及該二接合板為一體成型。
4. 如請求項1所述的組裝件，其中該至少一主支架的數量為兩個，且該至少一主支架依照自身的重心彼此垂直交疊共構為一十字構件。
5. 一種光罩盒，包含：二組裝件，其中每個該組裝件包含：一主支架；二接合板，各設置於該主支架的兩端上；該主支架及該二接合板共構出一第一裝設部及一第二裝設部；一上蓋，包含：一第一左蓋部，與其中一個該組裝件的該第一裝設部固定；一第一右蓋部，與其中一個該組裝件的該第二裝設部固定；一下蓋，包含：一第二左蓋部，與另一個該組裝件的該第一裝設部固定；以及一第二右蓋部，與另一個該組裝件的該第二裝設部固定；其中，該上蓋與該下蓋蓋合。
6. 如請求項5所述的光罩盒，其中該上蓋嵌設有該組裝件的內表面設有至少一第一縱向支撐肋；該第一左蓋部及該第一右蓋部的內表面設有垂直於該至少一第一縱向支撐肋的一至少一第一橫向支撐肋。
7. 如請求項6所述的光罩盒，其中該下蓋嵌設有該組裝件的內表面設有至少一第二縱向支撐肋；該第二左蓋部及該第二右蓋部的內表面設有垂直於該至少一第二縱向支撐肋的一至少一第二橫向支撐肋。
8. 如請求項7所述的光罩盒，其中該至少一第一縱向支撐肋延伸至該上蓋側緣的兩端各設有一止擋塊；該至少一第一橫向支撐肋延伸至該上蓋側緣的兩端亦各設有該止擋塊；該至少一第二縱向支撐肋延伸至該下蓋側緣的兩端各設有該止擋塊；該至少一第二橫向支撐肋延伸至該下蓋側緣的兩端亦各設有該止擋塊。
9. 如請求項5所述的光罩盒，其中該上蓋或該下蓋的內表面四周側緣更設有至少一止擋塊。
10. 如請求項5所述的光罩盒，其中該光罩盒上設有至少一握持件。
11. 如請求項5所述的光罩盒，其中該上蓋與該下蓋蓋合的間隙更設有至少一氣密條。
12. 如請求項5所述的光罩盒，其中該主支架及該二接合板上更設有至少一穿設孔。
13. 如請求項5所述的光罩盒，其中該光罩盒上更設有至少一鎖合部。