KR20070082056A - 기판의 진공처리장치용 이송챔버 - Google Patents

기판의 진공처리장치용 이송챔버 Download PDF

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KR20070082056A
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upper plate
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김정권
김창수
김형준
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브룩스오토메이션아시아(주)
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Abstract

본 발명은 기판의 진공처리장치용 이송챔버에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 원통형상으로 외측으로 라운드 지도록 볼록하게 형성된 측벽(20)과, 상기 측벽(20)의 상하에 각각 결합되는 상판(30) 및 저판(10)으로 구성되며, 상기 측벽(20)에는 다수개의 게이트(21)가 형성되어 있으며, 상기 상판(30)은 위로 볼록하게 형성되어 있고, 상기 저판(10)은 아래로 볼록한 형상으로 중앙에는 기판 이송로봇(미도시)이 장착되기 위한 홀(11)이 형성되어 있음을 특징으로 하는 기판의 진공처리장치용 이송챔버에 관한 것이다.
이송챔버. 진공압력. 측벽. 볼록면.

Description

기판의 진공처리장치용 이송챔버{Transfer chamber for vacuum processing apparatus of substrate}
도 1은 종래 이송챔버의 분리사시도
도 2는 종래 이송챔버의 결합사시도
도 3 및 도 4는 도 1 및 도 2에 도시된 이송챔버의 진공압력 분포도
도 5는 본 발명에 따른 이송챔버 분리사시도
도 6는 본 발명에 따른 다른 형태의 이송챔버 분리사시도
도 7은 도 5의 결합상태 수직단면도
도 8은 본 발명에 따른 분리된 저판의 구성도
도 9 및 도 10은 도 5 및 도 6에 도시된 이송챔버의 진공압력 분포도
도 11 내지 15는 본 발명에 따른 또 다른 형태의 이송챔버 분리사시도
도 16은 본 발명에 따른 또 다른 형태의 이송챔버 사시도
도 17은 도 16에 도시된 이송챔버의 작동상태도
도 18은 도 16에 도시된 이송챔버의 평면도
도 19 및 도 20은 본 발명에 따른 또 다른 형태의 이송챔버의 평면도
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
이송챔버(1), 저판(10,10a,10b,10c), 장착홀(11), 중앙부(12), 로봇장착 부(13), 보강선재(14), 플렌지(15a,15a',15b,15b'), 볼트(16), 측벽(20,20a,20b,20c), 게이트(21), 상판(30,30a,30b,30c), 연결부(40,50), 게이트(41,51), 모떼기면(61,62,63,64), 도어(70)
본 발명은 기판의 진공처리장치용 이송챔버에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 측벽을 외측으로 돌출되도록 볼록하게 형성함으로써, 챔버 내부의 진공압력을 효율적으로 분산시킬 수 있고, 또한 다수개로 분리형성한 후 이들을 결합함으로써 구성되는 진공처리장치용 이송챔버에 관한 것이다.
최근 정보 통신 기술의 비약적인 발전과 시장의 팽창에 따라 디스플레이 소자로 평판표시소자(Flat Panel Display)가 각광받고 있다. 이러한 평판표시소자로는 액정 표시소자(Liquid Crystal Display), 플라즈마 디스플레이 소자(Plasma Display Panel), 유기 발광 소자(Organic Light Emitting Diodes) 등이 대표적이다.
이 중에서 액정표시소자를 예로 설명하면, 유리 기판상에 유전체 물질 등을 박막으로 증착하는 증착공정, 감광성 물질을 사용하여 이들 박막 중 선택된 영역을 노출 또는 은폐시키는 포토리소그라피 (Photolithography)공정, 선택된 영역의 박막을 제거하여 목적하는 대로 패터닝(Patterning)하는 식각공정, 잔류물을 제거하기 위한 세정공정 등을 수차례 반복하여야 하는데, 이들 각 공정은 해당 공정을 위 해 최적의 환경이 조성된 챔버 내부에서 진행된다.
이러한 챔버는 공정순으로 배치될 수도 있고, 다수의 챔버가 이송챔버를 중심으로 결합되는 클러스터 형태로 배치될 수도 있다.
종래 방식의 클러스터형 진공처리장치의 구성을 설명보면, 이송챔버를 중심으로 다수개의 공정챔버와 로드락챔버가 연결되며, 로드락챔버의 일측면은 다수개의 기판을 적재하는 카세트와 연결되어 있다.
위와 같이 하나의 이송챔버를 통해서 다수의 공정챔버로 기판을 반입 및 반출하기 때문에, 이송챔버는 공정챔버보다 상대적으로 부피가 클 수밖에 없는 것이이며, 기판이 대형화되는 추세에 따라 이러한 현상은 필연적으로 일어나고 있다.
부피가 큰 대형 이송챔버는 제작하기도 힘들 뿐만 아니라 제작된 이송챔버의 운반, 현장에서의 레이아웃, 유지 보수 등 전반적인 문제점들이 발생되었다.
따라서 종래에도 이러한 문제점을 극복하기 위하여 많은 연구가 이루어지고 있으며, 대표적인 선행기술을 살펴보면, 대한민국 공개특허번호 제2005-0122090호에는 평판 디스플레이 패널 제조 장치의 분리형 진공 챔버에 있어서, 상기 챔버의 상부를 이루는 상부판과; 상기 상부판과 대면하여 챔버의 하부를 이루는 하부판과; 상기 상부판 및 하부판에 양 끝단이 결합되어 내부 밀폐 공간을 형성하되, 상기 하부판에 연결되는 끝단에만 상기 하부판과 소정의 단차를 만들기 위하여 챔버 내측 둘레 방향을 따라 돌출 형성된 돌출부를 갖는 벽판과; 상기 챔버 내측 둘레 방향을 따라 상기 하부판에 연결되는 상기 벽판의 끝단에 형성된 돌출부 상부 및 상기 하 부판에 배치되는 커버부재와; 상기 돌출부 상부 및 상기 하부판과 상기 커버부재 사이에 개재되어 내부를 외부와 차단하는 밀봉 부재를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 분리형 진공 챔버가 공개되어 있으며,
대한민국 공개특허번호 제2005-0113574호에는 진공처리장치용 진공챔버에 있어서, 다각형의 프레임형 챔버본체와, 개구를 구비하고 있고, 개구를 갖는 상기 챔버본체의 적어도 한 측면에 탈착가능하게 밀착 접합되는 다각형의 측면프레임과, 상기 챔버본체와 개구를 갖는 상기 측면프레임의 각각의 상면에 접합되어 있는 각각의 상판과, 상기 챔버본체와 개구를 갖는 상기 측면프레임의 각각의 저면에 접합되어 있는 각각의 저판으로 자유롭게 분할될 수 있는 진공챔버가 공개되어 있고,
대한민국 공개특허번호 제2005-0086265호에는 액정표시장치(LCD) 기판 제조에 사용되는 진공챔버에 있어서, 상기 진공챔버는 상기 진공챔버의 벽면을 이루는 챔버 구조체가 적어도 2개이상의 조각으로 분리되어 제조되고, 제조된 각 조각 및 내부 부품을 조립하여 형성되는 것을 특징으로 하는 분리형 진공챔버가 공개되어 있으며,
대한민국 공개특허번호 제2005-0071933호에는 외주부는 금속으로 이루어지고, 중앙부는 투명한 부재로 이루어지며, 상기 외주부와 중앙부는 공기가 통과할 수 없도록 밀착하여 결합되는 문틀부; 상기 외주부의 안쪽면 소정 부분에 형성된 밀봉부재 취부경로에 취부되는 탄성소재로 이루어진 밀봉부; 상기 문틀부의 일 측면 소정 부분에 돌출 형성되고, 제1 링크 결합홈이 형성되어 있는 복수개의 링크지지대; 진공챔버 본체의 소정 부분에 결합되고 제2 링크 결합홈이 형성되어 있는 챔 버 결합부; 상기 제1 링크 결합홈과 제1 링크핀으로 이루어지는 제1 링크부; 상기 제2 링크 결합홈과 제2 링크핀으로 이루어지는 제2 링크부; 상기 제1 링크핀 및 제1 링크 결합홈과 연결되는 제3 링크결합홈, 상기 제2 링크핀 및 제2 링크 결합홈과 연결되는 제4 링크 결합홈 및 연결구로 이루어지는 링크 연결부; 및 상기 문틀부를 상기 진공챔버에 체결하기 위하여 상기 외주부의 소정 부분에 형성되어 있는 복수개의 체결홈에 관통하여 상기 진공챔버에 체결되는 복수개의 체결볼트로 이루어지는 체결부; 를 포함하여 이루어지는 진공챔버의 창문이 공개되어 있고,
대한민국 공개특허번호 제2005-0062190호에는 상부케이스와; 하부케이스와; 상기 상부케이스와 하부케이스가 맞닿아 형성되며, 진공포장지의 개봉부를 포함한 일부가 내부로 노출되는 진공챔버와; 상기 상부케이스와 하부케이스가 맞닿아 형성되며, 상기 진공포장지의 나머지 부분이 수용되는 저장챔버와; 상기 상부케이스와 하부케이스가 맞닿아 형성되는 외곽챔버와; 상기 상부케이스 또는 하부케이스의 어느 일측에 설치되며, 상기 외곽챔버로 통하는 공기유출입통로를 개폐하는 진공밸브를 포함하여 구성되되; 상기 외곽챔버는 상기 진공챔버 및 저장챔버를 둘러싸도록 형성되고, 상기 진공챔버 및 저장챔버는 그 내부공기가 상기 외곽챔버로 통할 수 있도록 체크밸브가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 진공챔버용기가 공개되어 있으며,
대한민국 공개특허번호 제2004-0060599에는 저면부와 측면부를 구비한 제1가공잉곳; 상기 제1가공잉곳의 측면부와 동일한 크기의 측면부를 구비한 제2가공잉곳; 및 상기 제1가공잉곳과 제2가공잉곳의 측면부를 접합하여 밀폐시키는 접합수단 을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공챔버가 공개되어 있고,
일본 공개특허번호 제2006-137995호에는 내부에 처리 공간이 형성되는 다면체의 챔버 본체를 가지고, 그 챔버 본체의 적어도 온통 처리 공간에 통하는 개구를 형성하고, 이 개구를 덮고 처리 공간의 진공 상태의 유지를 가능하게 하는 밀폐 수단을 장착하고 구성되는 진공 챔버에 있어서, 상기 챔버 본체는 복수의 챔버조각부터 구성되고, 각챔버조각의 접합면의 적어도 한 측에 접합면으로부터 연장시키고 플랜지부를 각각 형성하고, 서로 마주 대하는 각플랜지부를 접합하고 챔버 본체를 조립한 것을 특징으로 하는 진공 챔버가 공개되어 있으며,
일본 공개특허번호 제2004-363601호에는 피가공물의 가공을 행하기 위한 공정 챔버가 연결되도록 구성 되어 있는 것과 동시에 그 공정 챔버에 피가공물을 이송하기 위한 공간을 내부에 가지는 클러스터용 이송 챔버에 있어서, 제1 본체와, 상기 제1 본체에 연결되고 그 제 1 본체와 함께 피가공물을 이송하기 위한 공간을 형성하는 제2 본체를 구비한 것을 특징으로 하는 클러스터용 이송 챔버가 공지되어 있다.
상기와 같은 종래의 개선된 이송챔버를 첨부된 도 1 및 도 2를 참조하여 상세히 설명한다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 개선된 이송챔버(100)는 수평단면이 직사각형인 측벽(111)의 저면에 평판형 저판(112) 및 상판(113)이 결합된 중앙챔버(110)와, 수평단면이 삼각형인 측벽(121)의 상면에 역시 평판형 상판(123) 및 저 판(122)이 결합된 사이드 챔버(120)를 별도로 분리형성한다. 또한 상기 중앙챔버의 저판(112)의 중앙에는 기판 이송로봇(미도시)이 장착되는 홀(112a)이 형성되어 있다.
이와 같이 분리형성된 중앙챔버(110)와 2개의 사이드 챔버(120)를 현장으로 운반한 후, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 중앙챔버(110)를 중심으로, 그의 양측에 사이드 챔버(120)를 결합시킴으로써, 전체적으로 평면이 6각형인 이송챔버를 구성하는 것이다. 상기 이송챔버(100)의 각 측면에는 로드락챔버와 공정챔버가 다수개 결합된다.
그러나 위와 같이 구성된 종래의 개선된 이송챔버(100)는 중앙챔버(110)와 사이드챔버(120)의 측벽(111,121)은 평판형의 플레이트로 형성되기 때문에, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 측벽(111,121)은 상판(113,123) 및 저판(112,122)에 결합되는 가장자리보다 중앙부위에 진공압력이 집중되게 된다. 따라서 진공압력이 집중되는 측벽(111,121)의 중앙부위에 휨현상이 발생할 우려가 있으며, 심한 경우 모서리부분에 크랙이 발생되기도 한다.
이를 극복하기 위하여는 챔버의 측벽(111, 121)의 두께(t)가 필요 이상으로 두꺼워지거나 보강부재를 추가해야 하고, 이는 제작비용의 상승을 초래하게 된다.
또한 이송챔버는 기판 이송로봇에 의해 기판을 로드락챔버와 공정챔버들 사이로 반입 및 반송하는 작업을 반복하게 되며, 시간이 지나면서 이송챔버의 내부는 파손된 기판의 조각이나 기타 파티클이 발생하기도 하고, 또는 이송로봇의 이상작동 또는 작업상황에 따른 재셋팅이 요구된다.
이와 같은 유지보수를 위하여 종래에는 상기 이송챔버의 상판을 개구하고, 개구부에 리드(Lid, 미도시)를 나사결합하여 구성한다. 이 경우 유지보수를 할 때는 크레인을 이용하여 상기 리드를 통해 보수작업을 수행하여 왔다.
그러나 상술한 바와 같이 리드를 오픈하는 작업은 다수개의 나사결합을 해제하고, 크레인으로 들어올려야 하기 때문에 노력과 시간이 많이 소요되는 문제점이 있었다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 측벽을 외측으로 돌출되도록 볼록하게 형성함으로써, 챔버 내부의 진공압력을 효율적으로 분산시킬 수 있고, 또한 다수개로 분리형성한 후 이들을 결합함으로써 구성되는 진공처리장치용 이송챔버를 제공함에 있다.
또한 본 발명의 또 다른 목적은 챔버 측벽에 유지보수 작업용 도어가 형성되어, 유지보수 작업이 용이한 이송챔버를 제공함에 있다.
위와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 의한 기판의 진공처리장치용 이송챔버는 상기 이송챔버의 측벽은 외측으로 돌출되도록 볼록하게 형성되는 것을 특징으로 한다. 특히 상기 측벽은 라운드지게 형성하되, 그 수평단면은 원형 또는 타원형으로 형성하는 것이 바람직하다.
또한 상기 측벽은 적어도 2개 이상으로 분리형성한 후, 이들을 결합하고, 이와 마찬가지로 분리형성된 상기 측벽에 대응하여 상판 및 저판도 적어도 2개 이상으로 분리형성한 후, 이들을 결합하여 이루어지는 것이 더욱 바람직하다.
또한 상기 이송챔버의 상판은 위로 돌출되도록 볼록하게 형성하고, 저판은 아래로 돌출되도록 볼록하게 형성함으로써 챔버 내부의 진공압력을 효율적으로 분산시킬 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 보다 상세히 설명한다.
도 1은 종래 이송챔버의 분리사시도, 도 2는 종래 이송챔버의 결합사시도, 도 3 및 도 4는 도 1 및 도 2에 도시된 이송챔버의 진공압력 분포도, 도 5는 본 발명에 따른 이송챔버 분리사시도, 도 6는 본 발명에 따른 다른 형태의 이송챔버 분리사시도, 도 7은 도 5의 결합상태 수직단면도, 도 8은 본 발명에 따른 분리된 저판의 구성도, 도 9 및 도 10은 도 5 및 도 6에 도시된 이송챔버의 진공압력 분포도, 도 11 내지 15는 본 발명에 따른 또 다른 형태의 이송챔버 분리사시도, 도 16은 본 발명에 따른 또 다른 형태의 이송챔버 사시도, 도 17은 도 16에 도시된 이송챔버의 작동상태도, 도 18은 도 16에 도시된 이송챔버의 평면도, 도 19 및 도 20은 본 발명에 따른 또 다른 형태의 이송챔버의 평면도를 도시한 것이며, 이송챔버(1), 저판(10,10a,10b,10c), 장착홀(11), 중앙부(12), 로봇장착부(13), 보강선재(14), 플렌지(15a,15a',15b,15b'), 볼트(16), 측벽(20,20a,20b,20c), 게이트(21), 상판(30,30a,30b,30c), 연결부(40,50), 게이트(41,51), 모떼기면(61,62,63,64), 도 어(70)를 나타낸 것이다.
본 발명에 따른 기판의 진공처리장치용 이송챔버는 도 5 내지 도7에 도시된 바와 같이, 원통형상으로 외측으로 라운드 지도록 볼록하게 형성된 측벽(20)과, 상기 측벽(20)의 상하에 각각 결합되는 상판(30) 및 저판(10)으로 구성되며,
상기 측벽(20)에는 다수개의 게이트(21)가 형성되어 있으며, 상기 상판(30)은 위로 볼록하게 형성되어 있고, 상기 저판(10)은 아래로 볼록한 형상으로 중앙에는 기판 이송로봇(미도시)이 장착되기 위한 홀(11)이 형성되어 있음을 특징으로 한다.
또한, 상기 저판(10)은 필요에 따라, 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 홀(11)의 가장자리를 따라 원통형의 로봇장착부(13)를 형성하고, 상기 원통형의 장착부(13)를 중심으로 방사형으로 보강선재(14)를 형성할 수도 있다.
또한, 상기 저판(10)을 필요에 따라, 도 8에 도시된 바와 같이, 3개(10a,10b,10c)로 분리형성한 후, 이들을 결합하여 구성할 수 있다. 이와 같이 분리형성함으로써, 제작, 운반 및 유지보수가 매우 용이하다.
더 나아가 도 12 및 도 13과 같이, 이송챔버의 측벽(20) 및 상판(30)도 3개로 분리형성한 후, 이들을 결합하여 구성될 수도 있다.
본 발명에 따른 기판의 진공처리장치용 이송챔버(1)의 기술구성을 보다 구체적으로 살펴보면, 도 5 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 크게 저판(10), 측벽(20) 및 상판(30)으로 구성되며, 상기 이송챔버(1)의 측벽(20)은 대략 원기둥형상으로 형성하되, 외측으로 돌출되도록 볼록하게 형성된다.
특히, 상기 측벽(20)은 라운드지게 형성되어 있음을 알 수 있다. 또한 측벽(20)에는 다수개의 게이트(21)가 구비된다. 상기 게이트(21)는 이웃하는 로드락 챔버 또는 공정챔버로 기판을 반입 또는 반송하기 위한 것이다.
상기 측벽(20)을 다각기둥이 아닌 원통형으로 구성한 것 역시 진공압력을 효율적으로 분산하기 위한 것이다.
상기 측벽(20)을 외측으로 볼록하게 형성한 것과 마찬가지로, 상판(30) 및 저판(10)도 각각 위와 아래로 볼록하게 형성된다.
특히, 상기 저판(10)은 라운드지게 형성됨으로써, 전체적으로는 반구 또는 이와 유사한 형상으로 구성되는 것이다.
또한 상기 저판(10)의 중앙에는 기판 이송로봇(미도시)이 장착되기 위한 홀(11)이 형성되어 있으며, 필요에 따라 상기 홀(11)의 가장자리를 따라 원통형의 로봇장착부(13)를 형성하고, 상기 원통형의 장착부(13)를 중심으로 방사형으로 보강선재(14)를 형성할 수도 있다.
상기 상판(30)은 상기 측벽(20)의 상면에 용접 또는 도 14 및 도 15와 같이 개폐가능하게 나사결합하는 것으로서, 상기 저판(10)과 유사하게 위로 돌출되도록 볼록하게 형성되어 있음을 알 수 있다. 물론 상기 상판(30)도 라운드지게 형성함으로써 반구 또는 이와 유사한 형상으로 이루어진다.
도 9 및 도 10을 참조하여 본 발명에 따른 기판의 진공처리장치용 이송챔버의 진공압력 작용을 구체적으로 설명한다.
상기 이송챔버(1)는 진공분위기에서 공정이 수행되며, 그에 따라 내부는 진공압력이 발생되는데, 본 실시예의 측벽(20)은 외측으로 돌출되도록 볼록하게 형성되기 때문에, 이러한 진공압력이 고루 분산된다.
따라서 진공압력에 의한 측벽(20)의 휨현상은 발생되지 않으며, 상판(30) 및 저판(10) 또한 볼록하게 형성되기 때문에 상판(30) 및 저판(10)에서도 진공압력에 의한 휨현상이 발생되지 않는다.
도 11은 본 발명에 따른 다른 실시예로서, 이를 참조하면, 도 5 및 도 6에 도시된 측벽(20)을 3개로 분리형성한 후, 이들을 결합하여 구성되는 것을 알 수 있다. 이와 같이 분리형성함으로써, 제작, 운반 및 유지보수가 매우 용이하다. 더 나아가 도 8과 같이, 이송챔버의 저판(10) 및 상판(30)도 3개로 분리형성한 후, 이들을 결합하여 구성될 수도 있다.
또한 상기 실시예는 챔버(1)의 측벽(20)과 상판(30)을 3개로 분할 형성되지만, 이와 달리, 챔버의 측벽(20)은 분할 형성하되, 상판은 일체로 형성할 수 있다.
도 14 및 도 15는 본 발명에 따른 또 다른 실시예의 분리사시도를 나타낸 것으로서, 그 구성을 살펴보면, 중앙부(30a)와 2개의 측부(30b,30c)로 분리형성된 상판(30)을 측벽(20a,20b,20c)에 각각 결합함에 있어서, 중앙부(12)는 볼트(16) 및 너트에 의해 결합하고, 2개의 측부(30b,30c)는 용접에 의해 결합한 것이다.
즉, 상판(30) 중 측부(30b,30c)는 상기 측벽(20b,20c)에 분리되지 않도록 결합되지만, 중앙부(12)는 상기 측벽(20a)으로부터 개폐가능하도록 결합된다.
상기 중앙부(12)를 착탈가능하도록 결합하기 위하여 상판(30a) 및 측벽(20a)에는 각각 플렌지(15a,15b)가 일체형성되며, 상기 플렌지(15a,15b)를 밀착시킨 상태에서 볼트(16)를 체결한다. 물론 기밀을 유지하기 위하여 플렌지(15a,15b) 사이에는 오링 등의 기밀부재(미도시)가 개재된다.
도 14에 도시된 실시예는 플랜지(15a,15b)가 측벽(20a)의 외측으로 연장형성된 것이고, 도 15에 도시된 실시예는 플랜지(15a',15b')가 측벽(20a)의 내측으로 연장형성된 것이다.
이와 같이 상판의 중앙부(12)를 개폐가능하도록 결합하는 것은 이송챔버 내부의 유지 보수가 필요한 경우에 상기 중앙부(12)를 개방하여 이를 통해 작업을 하기 위한 것이다. 따라서 상기 중앙부의 개방에 의해 개구되는 측벽의 면적은 이송로봇이 통과될 수 있는 크기인 것이 더욱 바람직하다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따른 진공챔버의 구성를 살펴보면, 도 16 및 도 17에 도시된 바와 같이, 측벽은 기본적으로 사각기둥형상으로 이루어지며, 상기 측벽에는 로드락챔버 및 공정챔버가 연결되는 연결부(40,50)가 있고, 상기 로드락챔버 및 공정챔버로 기판을 반입 또는 반송하기 위한 게이트(41,51)가 구비된다.
또한 상기 측벽은 도 18에 도시된 바와 같이, 모서리부분을 모떼기작업함으로써 면을 형성하고, 이와 같이 형성된 모떼기면(61,62,63,64)에 유지보수용 도어(70)를 구비한 것이다. 즉, 상기 유지보수용 도어(70)는 공정챔버 또는 로드락챔버와 연결되는 연결부(40,50) 사이에 형성된 모떼기면(61,62,63,64)에 형성되는 것이다. 상기 유지보수용 도어(70)는 공지의 방법에 의해 실링된다.
물론 상기 유지보수용 도어(70)는 4개의 모떼기면(61,62,63,64)에 모두 형성할 수도 있고, 어느 하나 이상을 형성할 수도 있을 것이다. 또한 그 크기 역시 자유롭게 형성할 수도 있을 것이다.
본 실시예의 작용을 설명하면, 도 17과 같이, 이송챔버(1)의 유지보수 작업이 필요할 경우에 본 실시예는 크레인을 이용해 리드를 오픈할 필요없이 상기 유지보수용 도어(70)를 개방하여 작업을 수행하는 것이다.
도 19 및 도 20은 본 발명에 따른 다른 실시예의 평면도를 나타낸 것이다. 도 19를 참조하면, 이송챔버의 측벽을 삼각기둥으로 형성하고, 그 모서리에 모떼기면(61',62',63')을 형성한 것이다. 이렇게 형성된 모떼기면(61',62',63') 각각 또는 어느 하나 이상에 유지보수용 도어(미도시)를 구비한 것이다. 본 실시예와 달리, 다양한 다각형기둥으로 형성될 수도 있다.
도 20을 참조하면, 이송챔버의 측벽은 라운드면과 평면으로 형성한 다음, 역 시 그 모서리에 모떼기면(61",62",63",64")을 형성한 것이다. 이렇게 형성된 모떼기면(61",62",63",64")에 유지보수용 도어(미도시)를 구비한 것이다.
본 발명에 따르면, 이송챔버의 측벽을 외측으로 돌출되도록 볼록하게 형성함으로써, 챔버 내부의 진공압력을 효율적으로 분산시킬 수 있다. 그 결과, 진공분위기에서 종래기술인 평판형의 측벽과 같이 휨현상이 발생되지 않는다. 따라서, 측벽의 두께를 얇게 제작할 수 있기 때문에 제작비용이 절감되고, 챔버의 전체 중량이 감소하기 때문에 운반 및 유지 보수에 유리한 효과가 있다.
이와 마찬가지로 이송챔버의 상판과 저판을 각각 위와 아래로 볼록하게 형성하기 때문에 휨현상이 발생되지 않는 효과도 있다. 또한 상기 측벽을 2개 이상으로 분리형성한 후, 결합하여 조립함으로써 제작, 운반 및 유지보수가 매우 용이하다.
또한, 본 발명에 따르면, 측벽에 형성된 유지보수 작업용 도어를 개방하여 유지보수 작업을 수행할 수 있어, 이송챔버의 유지보수작업시 크레인을 이용하여 덮개를 오픈시킬 필요가 없기 때문에, 작업이 매우 용이하고, 작업에 소요되는 노력, 비용 및 시간이 절감되는 효과가 있다.

Claims (18)

  1. 기판의 진공처리장치용 이송챔버에 있어서, 원통형상으로 외측으로 라운드 지도록 볼록하게 형성된 측벽(20)과, 상기 측벽(20)의 상하에 각각 결합되는 상판(30) 및 저판(10)으로 구성됨을 특징으로 하는 기판의 진공처리장치용 이송챔버.
  2. 제1항에 있어서, 상기 측벽(20)에는 외측으로 라운드 지도록 볼록하게 형성되어 있으며, 다수개의 게이트(21)가 형성되어 있음을 특징으로 하는 기판의 진공처리장치용 이송챔버.
  3. 제1항에 있어서, 상기 상판(30)은 위로 볼록하게 형성되어 있음을 특징으로 하는 기판의 진공처리장치용 이송챔버.
  4. 제1항에 있어서, 상기 저판(10)은 아래로 볼록한 형상으로 중앙에는 기판 이송로봇(미도시)이 장착되기 위한 홀(11)이 형성되어 있음을 특징으로 하는 기판의 진공처리장치용 이송챔버.
  5. 제4항에 있어서, 상기 저판(10)은 홀(11)의 가장자리를 따라 원통형의 로봇장착부(13)를 형성되고, 상기 원통형의 장착부(13)를 중심으로 방사형으로 보강선재(14)를 형성되어 있음을 특징으로 하는 기판의 진공처리장치용 이송챔버.
  6. 제4항 또는 제5항 중 선택된 어느 한 항에 있어서, 상기 저판은 3개로 분리 형성한 후, 이들을 결합하여 이루어짐을 특징으로 하는 기판의 진공처리장치용 이송챔버.
  7. 제2항에 있어서, 상기 측벽은 3개로 분리 형성한 후, 이들을 결합하여 이루어짐을 특징으로 하는 기판의 진공처리장치용 이송챔버.
  8. 제3항에 있어서, 상기 상판은 3개로 분리 형성한 후, 이들을 결합하여 이루어짐을 특징으로 하는 기판의 진공처리장치용 이송챔버.
  9. 제3항에 있어서, 상기 상판은 1개의 중앙부와 2개의 측부로 분리 형성되며, 상기 상판의 중앙부는 볼트 및 너트에 의해 결합하고, 2개의 측부는 용접에 의해 결합되는 것을 특징으로 하는 기판의 진공처리장치용 이송챔버.
  10. 제9항에 있어서, 상기 상판 중 측부는 측벽에 분리되지 않도록 결합되고, 상판의 중앙부는 상기 측벽으로부터 개폐가능하도록 결합됨을 특징으로 하는 기판의 진공처리장치용 이송챔버.
  11. 제10항에 있어서, 상기 상판의 중앙부를 개폐가능하도록 결합하기 위하여 상 판 및 측벽에 각각 플렌지를 일체로 형성하여, 상기 플렌지를 밀착시킨 상태에서 볼트를 체결하는 것을 특징으로 하는 기판의 진공처리장치용 이송챔버.
  12. 제11항에 있어서, 상기 상판 및 측벽의 플렌지 사이에는 밀폐를 위한 기밀부재를 개재함을 특징으로 하는 기판의 진공처리장치용 이송챔버.
  13. 다른 형태의 기판의 진공처리장치용 이송챔버에 있어서, 상기 챔버의 측벽에 적어도 하나 이상의 유지보수용 도어가 구비되는 것을 특징으로 하는 기판의 진공처리장치용 이송챔버.
  14. 제 13항에 있어서, 상기 유지보수용 도어는 공정챔버 또는 로드락챔버에 연결되는 연결부 사이에 설치되는 것을 특징으로 하는 기판의 진공처리장치용 이송챔버.
  15. 제 14항에 있어서, 상기 챔버의 측벽은 모떼기면이 구비된 다각기둥이고, 상기 유지보수용 도어는 상기 모떼기면에 설치되는 것을 특징으로 하는 기판의 진공처리장치용 이송챔버.
  16. 제 15항에 있어서, 상기 챔버의 측벽은 사각기둥으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판의 진공처리장치용 이송챔버.
  17. 제 15항에 있어서, 상기 챔버의 측벽은 원기둥으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판의 진공처리장치용 이송챔버.
  18. 제 15항에 있어서, 상기 챔버의 측벽은 라운드면과 평면으로 이루어지되, 모떼기면이 구비된 기둥형상이고, 상기 유지보수용 도어는 상기 모떼기면에 설치되는 것을 특징으로 하는 기판의 진공처리장치용 이송챔버.
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