KR20070071304A - 평판표시소자 제조장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 평판표시소자 제조장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 복수개를 인접시킨 로드락 챔버를 체결수단에 의해 상호 용이하게 체결할 수 있게 한 평판표시소자 제조장치에 관한 것이다.
즉, 본 발명은 평판표시소자 제조장치에 있어서, 상호 인접한 상태로 배치되어 접촉면의 둘레에 기밀재가 개재된 복수개의 챔버; 상기 챔버들의 사이에 구비되어 상호 고정하기 위한 체결수단; 상기 기밀재가 개재된 상기 챔버들의 사이공간을 감압시키기 위한 감압수단이 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치에 관한 것이다.
평판표시소자 제조장치, 상, 하부 로드락 챔버, 감압, 체결수단, 감압수단

Description

평판표시소자 제조장치{FLAT PANEL DISPLAY MANUFACTURING MACHINE}
도 1은 종래의 평판표시소자 제조장치의 한 구성요소인 로드락 챔버가 결합된 상태를 도시한 측단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 평판표시소자 제조장치의 한 구성요소인 로드락 챔버가 상하 결합된 상태를 도시한 측단면도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 평판표시소자 제조장치의 한 구성요소인 로드락 챔버가 좌우 결합된 상태를 도시한 측단면도이다.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
100a, 100b : 일 실시 예에 따른 로드락 챔버
102 : 감압 라인 104 : 감압수단
B : 볼트 O : 기밀재
200a, 200b : 다른 실시 예에 따른 로드락 챔버
202 : 감압 라인 204 : 감압수단
B : 볼트 O : 기밀재
본 발명은 평판표시소자 제조장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 복수개를 인접시킨 로드락 챔버를 체결수단에 의해 상호 용이하게 체결할 수 있게 한 평판표시소자 제조장치에 관한 것이다.
일반적으로, 평판표시소자 제조장치는 내부에 LCD, PDP, OLED 등과 같은 평판표시소자 기판을 반입시켜 플라즈마 가스등을 이용하여 식각 등의 처리를 실시하며 상술한 평판표시소자 제조장치는 일반적으로 로드락(Load lock) 챔버, 반송 챔버 및 한 개 이상의 공정 챔버로 구성된다.
여기서, 상술한 로드락 챔버는 외부에 구비되며 다수개의 처리 전 기판을 적재한 카세트에서 운송수단에 의해 기판을 받아들이거나 처리가 끝난 기판을 외부로 반출하는 역할을 하고, 상술한 반송 챔버는 기판을 로드락 챔버 또는 공정 챔버들 간에 반송하기 위한 반송 로봇이 구비되어 있어서 처리할 기판을 로드락 챔버에서 공정 챔버로 전달하거나 처리가 완료된 기판을 공정 챔버에서 로드락 챔버로 전달하는 역할을 하며, 상술한 공정 챔버는 진공 상태에서 플라즈마 등을 이용하여 기판상에 막을 성막하거나 에칭을 수행하는 역할을 각각 한다.
여기서, 상기 로드락 챔버에는 기판을 반입 및 반출하는 공간이 한 공간에서 이루어지므로 상기 로드락 챔버를 상하 적층하여 적층된 로드락 챔버에 각각 구비된 상하 기판을 순차적으로 반송 챔버에 공급함으로써, 공정 진행 속도를 증가시킬 수 있다.
더욱이, 상기 로드락 챔버를 상하로 적층하여 구비하고 순차적으로 기판을 상하로 반입함에 따라 공정 완료 시간을 감소시킬 수 있으며, 내부 구성물의 유지 보수 및 교체를 하거나 기판이 파손될 경우에도 파손된 기판을 꺼낼 때 내부를 개폐할 수 있도록 별도의 커버가 마련된다.
이와 같은 종래의 평판표시소자 제조장치중 로드락 챔버는 도 1에 도시된 바와 같이 상하 적층된 상태로 구비되는 상부 로드락 챔버(10a)와 하부 로드락 챔버(10b)로 구성된다.
상기 상, 하부 로드락 챔버(10a, 10b)는 그 양측면에 가판(도면에 미도시)이 반입 또는 반출되는 개폐구가 형성되고 상기 개폐구 외측에는 이 개폐구를 개폐하는 게이트 밸브(Gate valve)가 각각 구비된다.
여기서, 상기 상, 하부 로드락 챔버(10a, 10b)를 공정 완료 시간의 단축을 위해 적층형으로 구비할 때 그 접촉 면에는 체결수단인 다수개의 볼트(B)로 상호 체결하게 되며 상기 상, 하부 로드락 챔버(10a, 10b)는 상하 접촉되지만 이 접촉 면은 미세하게 이격되고 이격된 공간은 외부와 연결되므로 대기압 상태가 된다.
특히, 상기 상, 하부 로드락 챔버(10a, 10b)는 어느 하나의 챔버 내부가 대기압일 경우 다른 하나는 진공 상태를 유지하게 된다. 즉, 상기 상부 로드락 챔버(10a)가 대기압이면 하부 로드락 챔버(10b)는 진공 상태이고, 상기 상부 로드락 챔버(10a)가 진공 상태이면 하부 로드락 챔버(10b)는 대기압 상태이다.
즉, 상기 상부 로드락 챔버(10a)는 진공 상태이고 하부 로드락 챔버(10b)가 대기압 상태일 경우를 예로 들면 상, 하부 로드락 챔버(10a, 10b)와의 접촉 부위의 공간에서 진공 상태로 압력이 낮은 상부 로드락 챔버(10a) 바닥면을 향해 상부 로 드락 챔버(10a)의 면적에 상, 하부 로드락 챔버(10a, 10b)의 접촉 면에 가해지는 압력 P2에서 상부 로드락 챔버(10a)의 내부 압력 P1의 차를 곱합 F1 하중이 가해져 상기 상부 로드락 챔버(10a)의 바닥면이 상방으로 향해 볼록해지는 현상이 발생된다. [F1=상부 로드락 챔버의 바닥 면적*(P2 - P1)]
결국, 상기 상, 하부 로드락 챔버(10a, 10b)를 상호 체결시킨 볼트(B)는 F1 하중이 작용함에 따라 상기 볼트(B)에 피로하중이 누적되어 파손에 이르게 되는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 그 목적은 상, 하부 로드락 챔버의 접촉 부위를 밀폐시킨 후 감압하여 체결수단에 무리한 하중에 집중되는 것을 방지함과 동시에 체결수단의 개수를 감소시킬 수 있게 한 평판표시소자 제조장치를 제공함에 있다.
상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 평판표시소자 제조장치에 있어서, 상호 인접한 상태로 배치되어 접촉면의 둘레에 기밀재가 개재된 복수개의 챔버; 상기 챔버들의 사이에 구비되어 상호 고정하기 위한 체결수단; 상기 기밀재가 개재된 상기 챔버들의 사이공간을 감압시키기 위한 감압수단이 구비됨으로써, 상기 챔버는 인접된 상태로 구비되어 그 인접된 상태의 챔버 접촉 면 가장자리를 따라 기밀재가 개재되어 밀폐되고 밀폐된 공간을 감압시키는 감압수단에 의해 접촉 공간 을 진공 수준의 압력이 작용하도록 하여 인접한 챔버를 체결시키는 체결수단이 피로하중이 집중되어 파손되는 것을 방지하므로 바람직하다.
또한, 본 발명에서의 상기 챔버들은, 수직 또는 수평상태로 배치됨으로써, 상하 적층되어 수직 방향으로 인접되거나 좌우 수평 방향으로 인접된 상태 모두 적용할 수 있으므로 바람직하다.
이하, 본 발명의 평판표시소자 제조장치를 첨부도면을 참조하여 실시 예들을 들어 설명하면 다음과 같다.
본 발명의 바람직한 일 실시 예에 따른 평판표시소자 제조장치는 도 2에 도시된 바와 같이 적어도 2개 이상이 적층된 챔버로 상기 챔버는 로드락 챔버이며 상부 로드락 챔버(100a)와 하부 로드락 챔버(100b) 및 감압수단(104)으로 구성된다.
상기 상, 하부 로드락 챔버(100a, 100b)는 이 상, 하부 로드락 챔버(100a, 100b)의 접촉 면에 적정 간격으로 배열되는 다수개의 체결수단인 볼트(B)로 상호 체결되며 상기 체결수단은 볼트(B)에 한정하지 않고 쐐기형으로 체결시킬 수도 있다.
그리고 상기 상, 하부 로드락 챔버(100a, 100b)의 접촉 면 가장자리를 따라 기밀재(O)인 오링이 개재되어 상기 기밀재(O)가 개재된 상, 하부 로드락 챔버(100a, 100b)의 사이에는 외부와 별도로 독립적인 공간이 형성되는 것이다.
상기 감압수단(104)은 상기 상, 하부 로드락 챔버(100a, 100b)의 접촉 면에 개재된 기밀재(O)의 내측 이격 공간을 대기압보다 낮은 즉, 진공 수준을 유지시킬 수 있도록 배기시키는 펌프이다.
그리고 상기 감압수단(104)의 설치 위치는 상기 상부 로드락 챔버(100a)의 일측벽을 통해 상, 하부 로드락 챔버(100a, 100b)의 사이에 개재된 기밀재(O)와 연결되어 통하도록 "ㄱ" 자 형상으로 형성된 감압라인(102)의 끝단에 구비된다.
여기서, 상기 감압라인(102)은 어느 한 챔버에 한정하지 않고 하부 로드락 챔버(100b)에도 형성될 수 있으며 형상 또한 변경 실시가 가능하다.
특히, 상기 상, 하부 로드락 챔버(100a, 100b)는 어느 하나의 챔버 내부가 대기압일 경우 다른 하나는 진공 상태를 유지하게 된다. 즉, 상기 상부 로드락 챔버(100a)가 대기압이면 하부 로드락 챔버(100b)는 진공 상태이고, 상기 상부 로드락 챔버(100a)가 진공 상태이면 하부 로드락 챔버(100b)는 대기압 상태를 유지하게 된다.
그러므로 본 발명의 평판표시소자 제조장치는 적층된 상, 하부 로드락 챔버(100a, 100b) 중 상기 상부 로드락 챔버(100a)는 진공 상태이고 하부 로드락 챔버(100b)가 대기압 상태일 경우를 예로 들어 설명하며, 이때, 상기 상부 로드락 챔버(100a)의 일측벽에 구비된 감압수단(104)이 작동하여 상기 감압라인(102)을 통해 상, 하부 로드락 챔버(100a, 100b)와의 접촉 부위가 진공 수준의 압력을 유지한 상태이다.
우선, 상기 상, 하부 로드락 챔버(100a, 100b)의 접촉 면 중에서 압력이 낮은 상부 로드락 챔버(100a)의 바닥면에 향해 상부 로드락 챔버(100a)의 면적에 상, 하부 로드락 챔버(100a, 100b)의 접촉 면에 가해지는 진공압 P2에서 진공 상태인 상부 로드락 챔버(100a)의 내부 압력 P1의 차를 곱한 F1 하중이 가해진다. [F1=상부 로드락 챔버의 바닥 면적*(P2 - P1)]
다음으로, 상기 하부 로드락 챔버(100b)의 상면에는 이 하부 로드락 챔버(100b)내 상면 면적에 하부 로드락 챔버(100b)의 대기압인 P3에서 상, 하부 로드락 챔버(100a, 100b)의 접촉 면에 가해지는 진공압 P2의 차를 곱한 F2 하중이 가해진다. [F2=하부 로드락 챔버의 바닥 면적*(P3 - P2)]
여기서, 상기 상, 하부 로드락 챔버(100a, 100b)를 상호 체결시킬 수 있도록 개재된 상태로 체결되는 체결수단인 볼트(B)는 이 상, 하부 로드락 챔버(100a, 100b)의 사이에서 상기 상부 로드락 챔버(100a)의 바닥면에 가해지는 하중인 F1 만 지지하면 되고 나머지는 하부 로드락 챔버(100b)내 상면에 가해지는 하중인 F2 의 하중을 받게 된다.
그러므로 상기 감압수단(104)이 작동되어 상, 하부 로드락 챔버(100a, 100b)의 접촉 공간을 감압시키면 볼트(B)에 작용하는 하중이 감소되고 상기 상, 하부 로드락 챔버(100a, 100b)의 접촉 면에 F2 의 하중이 작용하므로 볼트(B)에 피로하중이 집중되어 파손되는 것을 방지하게 된다.
더욱이, 상기 볼트(B)에 가해지는 하중을 감소시켜 상, 하부 로드락 챔버(100a, 100b)의 체결시 소요되는 볼트(B)의 개수도 현저히 줄일 수 있다.
본 발명의 바람직한 다른 실시 예에 따른 평판표시소자 제조장치는 도 3에 도시된 바와 같이 적어도 2개 이상이 좌우 인접된 챔버로 상기 챔버는 로드락 챔버이며 일측 로드락 챔버(200a)와 타측 로드락 챔버(200b) 및 감압수단(204)으로 구성되며, 앞선 실시 예의 그것과는 챔버 배열 위치가 다르며 상기 감압수단(204)은 앞선 실시 예의 그것과 동일한 구조와 기능을 하므로 상세한 설명은 생략한다.
상기 일, 타측 로드락 챔버(200a, 200b)는 접촉 면에 적정 간격으로 배열되는 다수개의 체결수단인 볼트(B)로 상호 체결되며 상기 체결수단은 볼트(B)에 한정하지 않고 쐐기형으로 체결시킬 수도 있다.
그리고 상기 일, 타측 로드락 챔버(200a, 200b)의 접촉 면 가장자리를 따라 기밀재(O)인 오링이 개재되어 상기 기밀재(O)가 개재된 일, 타측 로드락 챔버(200a, 200b)의 사이에는 외부와 별도로 독립적인 공간이 형성되는 것이다.
상기 감압수단(204)은 상기 일, 타측 로드락 챔버(200a, 200b)의 접촉 면에 개재된 기밀재(O)의 내측 이격 공간을 대기압보다 낮은 즉, 진공 수준을 유지시킬 수 있도록 배기시키는 펌프의 일종이다.
그리고 상기 감압수단(204)의 설치 위치는 상기 타측 로드락 챔버(200b)의 일단 상면을 통해 일, 타측 로드락 챔버(200a, 200b)의 사이에 개재된 기밀재(O)와 연결되어 통하도록 역 "ㄴ" 자 형상으로 형성된 감압라인(202)의 끝단에 구비된다.
여기서, 상기 감압라인(202)은 어느 한 챔버에 한정하지 않고 일측 로드락 챔버(200b)에도 형성될 수 있으며 형상 또한 변경 실시가 가능하다.
특히, 상기 일, 타측 로드락 챔버(200a, 200b)는 어느 하나의 챔버 내부가 대기압일 경우 다른 하나는 진공 상태를 유지하게 된다. 즉, 상기 일측 로드락 챔버(200a)가 대기압이면 타측 로드락 챔버(200b)는 진공 상태이고, 상기 일측 로드락 챔버(200a)가 진공 상태이면 타측 로드락 챔버(200b)는 대기압 상태를 유지하게 된다.
그러므로 본 발명의 평판표시소자 제조장치는 앞선 실시 예와 마찬가지로 상하 적층형이 좌우 인접형에 적용된 상태를 예시하는 것으로 좌우 인접된 일, 타측 로드락 챔버(200a, 200b) 중 타측 로드락 챔버(200b)는 진공 상태이고 일측 로드락 챔버(200a)가 대기압 상태일 경우를 예로 들어 설명하며, 이때, 타측 로드락 챔버(200b)의 상면에 구비된 감압수단(204)이 작동하여 상기 감압라인(202)을 통해 일, 타측 로드락 챔버(200a, 200b)와의 접촉 부위가 진공 수준의 압력을 유지한 상태이다.
우선, 상기 일, 타측 로드락 챔버(200a, 200b)의 접촉 면 중에서 이 타측 로드락 챔버(200b)의 좌측벽에는 타측 로드락 챔버(200b)의 좌측벽 면적에 타측 로드락 챔버(200b)의 좌측 외벽에 가해지는 진공압 P2에서 진공 상태인 타측 로드락 챔 버(200b)의 내부 압력 P1의 차를 곱한 하중 F1 이 수평 방향으로 발생된다.
다음으로, 상기 일측 로드락 챔버(200a)내 우측벽에는 이 일측 로드락 챔버(200a)내 우측벽 면적에 일측 로드락 챔버(200a)의 대기압인 P3에서 일, 타측 로드락 챔버(200a, 200b)의 접촉 면에 가해지는 진공압 P2의 차를 곱한 F2 하중이 수평 방향으로 가해진다.
여기서, 상기 일, 타측 로드락 챔버(200a, 200b)를 상호 체결시킬 수 있도록 개재된 상태로 체결되는 체결수단인 볼트(B)는 이 일, 타측 로드락 챔버(200a, 200b)의 사이에서 상기 타측 로드락 챔버(200b)의 좌측 외벽에 가해지는 하중인 F1 만 지지하면 되고 나머지는 일측 로드락 챔버(200a)내 우측면에 가해지는 F2 의 하중을 받게 된다.
그러므로 상기 감압수단(204)이 작동되어 일, 타측 로드락 챔버(200a, 200b)의 접촉 공간을 감압시키면 볼트(B)에 작용하는 하중이 감소되고 상기 일, 타측 로드락 챔버(200a, 200b)의 접촉 면에 F2 의 하중이 작용하므로 볼트(B)에 피로하중이 집중되어 파손되는 것을 방지하게 된다.
더욱이, 상기 볼트(B)에 가해지는 하중을 감소시켜 일, 타측 로드락 챔버(200a, 200b)의 체결시 소요되는 볼트(B)의 개수도 현저히 줄일 수 있다.
이와 같은 본 발명의 평판표시소자 제조장치는 상하 적층형 로드락 챔버를 체결수단에 의해 상호 결합시키되 이 접촉 면에 기밀재를 개재하여 독립적인 공간을 구비하고 이 공간을 감압시켜 압력차에 의한 챔버의 변형을 감소시킴에 따라 상기 체결수단에 피로하중에 집중되는 것을 방지함은 물론 상기 체결수단의 개수를 줄일 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 상기 로드락 챔버를 상하 적층형 뿐만 아니라 좌우 인접하는 상황에서도 적용할 수 있는 효과가 있다.

Claims (4)

  1. 평판표시소자 제조장치에 있어서,
    상호 인접한 상태로 배치되어 접촉면의 둘레에 기밀재가 개재된 복수개의 챔버;
    상기 챔버들의 사이에 구비되어 상호 고정하기 위한 체결수단;
    상기 기밀재가 개재된 상기 챔버들의 사이공간을 감압시키기 위한 감압수단이 구비되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 챔버들은,
    수직 또는 수평상태로 배치되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 챔버는,
    로드락 챔버인 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 감압수단은,
    펌프인 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
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KR101218553B1 (ko) * 2012-03-21 2013-01-21 주성엔지니어링(주) 완충챔버를 가지는 로드락챔버

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