KR101977888B1 - 비구면의 챔버 내벽을 갖는 진공 챔버 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체용 기판 또는 디스플레이용 기판의 처리 공간을 제공하는 진공 챔버에 관한 것이다. 비구면의 챔버 내벽을 갖는 진공 챔버는, 진공 상태에서 기판을 처리하는 진공 챔버에 있어서, 내부공간이 1 이상의 볼록한 비구면(aspherical surface)으로 이루어진 입체도형 구조이다. 이에 의해, 챔버 벽의 두께를 최소화하면서도 챔버 내부의 고진공 상태를 유지할 수 있고, 챔버 벽의 두께가 얇아짐에 따라 재료 원가가 절감되고, 챔버의 무게가 감소하여 이송이 용이할 수 있다.

Description

비구면의 챔버 내벽을 갖는 진공 챔버{VACUUM CHAMBER WITH CHAMBER INSIDE WALL OF ASPHERICAL SURFACE}
본 발명은 반도체용 기판 또는 디스플레이용 기판의 처리 공간을 제공하는 진공 챔버에 관한 것이다.
진공 챔버는 진공 펌프와 연결하여 처리공간을 진공 상태로 유지시키는 챔버이다. 이러한 진공 챔버는 반도체용 기판 또는 디스플레이용 기판 처리를 위한 공정 중 외부로부터 불순물의 유입을 차단하는 이외에 비진공 상태보다 높은 수율을 확보하는 등의 목적으로 사용되고 있다.
반도체용 기판 또는 디스플레이용 기판이 처리되는 진공 챔버는, 공정 챔버(Process Chamber)와 각 공정 챔버로 기판을 이송시키는 트랜스퍼 챔버(Transfer Chamber)로 사용된다. 이 중 트랜스퍼 챔버는 다수개의 공정 챔버와 결합되고, 챔버 내에 기판을 이송하는 로봇이 설치됨에 따라 공정 챔버에 비하여 훨씬 큰 용량을 갖는 대형 챔버가 사용된다.
종래의 진공 챔버는, 평면의 다면체 구조로 구성되어 모서리 부분을 제외한 챔버 벽의 두께가 일정하게 형성되고, 이로써, 고진공 상태에서 챔버 벽의 중앙부가 처리 공간을 향하여 형상 변형이 발생한다는 문제가 있었다. 또한, 진공 챔버의 크기가 커질수록 고진공 상태를 유지하기 위해서 고가의 실링 부재를 사용하여야 하며, 챔버의 형상 변형을 막기 위해 챔버 벽을 두껍게 형성하므로 제조 원가가 높을 수밖에 없었다. 특히 최근 기판의 대면적 추세에 따라 이러한 문제가 가중되고 있는 실정이다.
종래의 한국 공개특허공보 제10-2014-0026652호에 의하면, 내부에서 진공 처리가 이루어지는 진공 챔버와 진공 챔버를 지지하며, 진공 펌프나 증착 소스 등을 내부에 구비하는 메인 프레임 사이에 구비되어 진공 챔버의 변형에 따라 수평 방향으로 이동하는 챔버 지지부를 구비하였다.
챔버 지지부는 진공 챔버의 변형을 흡수하여, 진공 챔버의 변형이 메인 프레임으로 전달되는 것을 차단함으로써 메인 프레임 내부의 부품을 보호할 수 있었다.
그러나, 상술한 종래 기술은 진공 처리 공정을 수행할 때마다 지속적으로 변형되어 진공 챔버에 피로 응력을 제공하기 때문에 진공 챔버의 수명이 짧다는 단점이 있었다.
또한, 진공 처리를 위한 일부 부품이 변형되지 않도록 보호할 수 있었으나, 진공 챔버의 형상이 변형된다는 근본적인 문제를 해결하지 못하였다.
상술한 배경기술의 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 고진공 상태에서 챔버 형상 변형을 최소화한 진공 챔버를 제공함에 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 챔버 벽의 두께를 최소화하여 챔버 제조 원가를 절감시킨 진공 챔버를 제공함에 그 목적이 있다.
상술한 과제를 해결하기 위한 본 발명의 비구면의 챔버 내벽을 갖는 진공 챔버는, 진공 상태에서 기판을 처리하는 진공 챔버에 있어서, 내부공간이 1 이상의 볼록한 비구면(aspherical surface)으로 이루어진 입체도형 구조이다.
바람직하게, 상기 비구면은, 상기 챔버의 내벽 중 대향하는 위치에 적어도 1 쌍이 대칭 구조로 형성된다.
바람직하게, 상기 비구면은, 상기 챔버 측부에 해당하는 내벽에 적어도 3개 이상이 동일하게 형성된다.
바람직하게, 상기 챔버는, 일체형으로 이루어진다.
바람직하게, 상기 챔버는, 2 이상의 분할체가 결합된다.
바람직하게, 상기 분할체는, 챔버를 횡방향 또는 종방향으로 분할한 구조이다.
바람직하게, 상기 챔버의 외면은 다면체 구조로 이루어지고, 각 면의 두께가 중앙부에서 외곽부로 갈수록 두껍게 형성된다.
바람직하게, 상기 외곽부의 두께는, 상기 중앙부 두께의 105%~300%이다.
바람직하게, 상기 내부공간은, 기판을 이송하는 이송 로봇, 기판이 출입하는 1 이상의 게이트 및 상기 이송 로봇과 기판의 동작영역과 간섭되지 않도록 내부공간에 결합된 1 이상의 체적감소체를 포함한다.
바람직하게, 상기 체적감소체는, 중공으로 형성된다.
바람직하게, 상기 체적감소체는, 상기 내부공간의 상부에 결합된다.
바람직하게, 상기 체적감소체는, 상기 이송 로봇 둘레의 상기 내부공간 하부에 결합된다.
바람직하게, 상기 챔버는, 상부에 뚜껑결합구가 형성되고, 상기 뚜껑결합구에 결합되는 뚜껑; 을 더 포함하고, 상기 체적감소체는, 상기 뚜껑의 하면에 결합된다.
바람직하게, 상기 챔버는, 상부에 뚜껑결합구가 형성되고, 상기 뚜껑결합구에 결합되는 뚜껑; 을 더 포함한다.
바람직하게, 상기 뚜껑결합구는, 상광하협 구조로 이루어진다.
바람직하게, 상기 뚜껑결합구는, 단차 구조로 이루어진다.
바람직하게, 상기 뚜껑은, 상기 뚜껑결합구 둘레의 챔버 상면을 덮는 플랜지부가 형성되고, 상기 플랜지부를 상기 챔버 상면에 결합하는 결합부; 를 더 포함한다.
바람직하게, 상기 뚜껑의 하면은 상기 내부공간의 비구면이 연장 형성된다.
본 발명의 비구면을 갖는 진공 챔버에 의하면, 내부공간을 비구면으로 형성함으로써, 챔버 벽의 두께를 최소화하면서도 챔버 내부의 고진공 상태를 유지할 수 있고, 챔버 벽의 두께가 얇아짐에 따라 재료 원가가 절감되고, 챔버의 무게가 감소하여 이송이 용이할 수 있다.
또한, 본 발명은 챔버의 외면을 다면체 구조로 형성하여 다른 챔버와의 결합을 용이하게 할 수 있다.
또한, 본 발명은, 체적감소체를 구비함으로써, 챔버 내부의 비사용 공간을 감소시켜 챔버를 진공 상태로 형성하기에 용이하게 할 수 있다.
또한, 본 발명은 뚜껑결합구를 상광하협의 구조로 구성함으로써, 뚜껑의 개폐가 용이하고, 뚜껑을 뚜껑결합구에 결합 시 밀폐력을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 의한 단면도.
도 2는 도 1의 A-A 단면도.
도 3은 본 발명의 제2 실시예에 의한 단면도.
도 4는 본 발명의 제3 실시예에 의한 단면도.
도 5는 본 발명의 제4 실시예에 의한 단면도.
도 6은 본 발명의 제5 실시예에 의한 단면도.
도 7은 본 발명의 제6 실시예에 의한 단면도.
이하에서는 본 발명의 실시예를 도면을 참고하여 구체적으로 설명한다. 본 발명의 비구면을 갖는 진공 챔버는 제1 내지 제6 실시예로 구분할 수 있으며, 각 실시예의 구성요소는 기본적으로 동일하나, 일부 구성에 있어서 차이가 있다. 또한, 본 발명의 여러 실시예 중 동일한 기능과 작용을 하는 구성요소에 대해서는 도면상의 도면부호를 동일하게 사용하기로 한다.
본 발명의 제1 실시예에 의한 비구면을 갖는 진공 챔버는 도 1, 도 2에 도시한 바와 같이, 챔버(110), 진공 펌프(20), 이송 로봇(30) 및 뚜껑(140)으로 이루어진다.
챔버(110)는 고진공 상태에서 반도체용 기판 또는 디스플레이용 기판이 처리(증착, 식각, 세정, 이송 등)된다. 챔버(110)의 내부공간(111)은 비구면(aspherical surface)으로 이루어진 입체도형 구조이고, 외면은 다면체 구조로 형성된다.
내부공간(111)은 1 이상의 볼록한 비구면으로 이루어진 입체도형 구조이다. 비구면은 챔버(110)의 내벽 중 대향하는 위치에 적어도 1쌍이 대칭구조로 형성된다. 내부공간(111)은 다면체 구조로 형성되며, 각 면은 외측으로 볼록한 타원면 또는 이에 근접한 곡면으로 구성된다. 이처럼 내부공간(111)을 비구면으로 구성하면, 내부공간을 평면의 다면체 구조로 구성한 것에 비하여 챔버 내 진공압에 대한 챔버의 형상 변형을 저감시킬 수 있다.
한편, 도면에 도시하지는 않았지만 챔버의 내벽 중 대향하는 면이 없거나, 챔버 측부에 해당하는 내벽이 3각형, 5각형과 같이 홀수 각형인 챔버의 경우, 비구면은 챔버 측부에 해당하는 내벽에 적어도 3개 이상이 동일하게 형성된다.
이러한 비구면 구조는 고진공 상태에서 챔버에 작용하는 진공압이 특정 부분에 집중되지 않도록 분산시킴으로써 형상 변형을 최소화하는 기능을 하게 된다.
챔버(110)의 외면은 공정 챔버 및 로드락 챔버와 같은 다른 챔버와의 결합이 용이하도록 결합되는 챔버 개수에 상응하는 면을 갖는 다면체 구조로 이루어진다. 이러한 다면체 구조는 면의 중앙부가 진공압에 취약하므로 이를 보강하기 위하여 각 면의 두께가 중앙부에서 외곽부로 갈수록 두껍게 형성되는 아치 구조를 이루게 한다. 따라서, 다면체를 이루는 각 면을 가상으로 분할하면, 각 면은 아치구조를 이루고, 각각의 아치 구조가 결합되어 전체 챔버를 이루게 됨에 따라 각 면의 두께를 일정하게 형성한 구조에 비하여 진공압에 대한 내구력이 크게 강화된다.
구체적으로, 도 1에 도시한 바와 같이, 챔버(110)의 상면 중앙부의 두께(t1)는 상면 외곽부의 두께(t2)보다 얇고, 도면상 챔버(110) 좌측면 중앙부의 두께(t3)는 좌측면 외곽부의 두께(t4)보다 얇게 형성된다. 이때, 외곽부의 두께(t2, t4)는 중앙부의 두께(t1, t3)의 105% ~ 300%인 것이 바람직하다. 중앙부에 대한 외곽부의 두께 비율이 105% 미만이면, 중앙부와 외곽부의 두께를 상이하게 구성한 효과가 거의 없고, 두께 비율이 300% 를 초과하면, 중앙부의 두께가 너무 얇아 챔버의 형상 변형을 초래하거나, 외곽부의 두께가 불필요하게 두꺼워져 재료를 낭비하게 된다.
챔버(110)는 외면과 내부공간(111)이 서로 대응되는 다각기둥 구조로 형성될 수 있다. 예컨대, 챔버(110)의 외면은 육각 기둥 구조이고, 내부공간(111)은 각 면이 곡면으로 이루어진 육각 기둥 구조로 구성된다. 이로써, 챔버(110)의 벽면 두께를 최소화하면서도 챔버의 형상 변형을 방지할 수 있고, 챔버(110)의 측면에 다수의 다른 챔버를 결합시키면서도 설치 공간을 적게 차지할 수 있다.
또한, 챔버(10)는 게이트(112), 로봇설치구(113) 및 뚜껑결합구(114)가 구비된다.
게이트(112)는 기판이 내부공간(111)을 출입하는 통로로 챔버(110) 측면에 1 이상 구비되는 것이 바람직하다. 이러한 게이트(112)는 트랜스퍼 챔버와 공정 챔버 사이, 트랜스퍼 챔버와 로드락 챔버 사이에 구비되어 각 챔버 간에 기판을 이송시킬 수 있다. 따라서, 게이트(112)는 적어도 다른 챔버와 결합되는 챔버의 측면에 구비되는 것이 바람직하고, 챔버의 측면 각각에 구비될 수 있다. 내부공간(111)은 게이트(112)를 통해 기판을 이송시키는 과정에서 다른 챔버의 내부공간과 연결되므로 내부공간(111)의 고진공 상태를 유지하도록 게이트(112) 외곽부를 밀폐시킨다.
로봇설치구(113)는 이송 로봇(30)이 설치되는 곳으로, 챔버(110) 하면에 관통 형성되는 것이 바람직하다. 이로써, 챔버(110) 내부에서는 이송 로봇(30)에 의해 기판이 이송되며, 챔버(110) 외부에서 간편하게 이송 로봇(30)을 제어할 수 있다. 한편, 로봇설치구(113)는 이송 로봇(30)이 내부공간(111)에 용이하게 설치될 수 있다면 어떠한 형상도 가능하다.
뚜껑결합구(114)는 챔버(110)의 뚜껑(140)이 결합되는 곳으로, 챔버(110) 상면에 형성되는 것이 바람직하다. 뚜껑(140)을 개폐함으로써, 뚜껑결합구(114)를 통해 챔버(110) 내부의 수리 또는 부품 교체를 용이하게 할 수 있다.
상술한 바와 같이 구성되는 챔버는 일체형으로 이루어지는데, 일체형 챔버는 고진공 상태에서 기밀 유지가 용이하다는 장점이 있다.
진공 펌프(20)는 챔버(110)와 연결되어 내부공간(111)을 고진공 상태로 형성한다. 이로써, 내부공간(111)에서 기판이 처리되는 동안 챔버(110) 외부로부터 불순물의 유입을 차단할 수 있다.
이송 로봇(30)은 로봇설치구(113)에 설치되어 게이트(112)를 통해 인입되는 기판을 이송한다.
뚜껑(140)은 챔버(110) 상면의 뚜껑결합구(114)에 구비되어 개폐된다. 뚜껑(140)은 챔버(110) 내부를 수리하거나 부품을 교체 시 개방되어 작업을 용이하게 하고, 내부공간(111)에서 기판 처리 시 폐쇄되어 내부공간(111)을 밀폐시킨다. 뚜껑(140)은 뚜껑결합구(114)에 결합 시 밀폐력을 향상시키기 위하여 뚜껑(140)과 뚜껑결합구(114) 사이에 실링부재를 구비할 수 있다.
본 발명의 제2 실시예는 제1 실시예와 대비하여 챔버의 구성에 있어 차이가 있다. 이하에서는 제1 실시예와 차이를 가지는 구성요소를 중심으로 도 3을 참고하여 설명한다.
챔버(210)는 제1 실시예의 챔버(110)와 달리 2 이상의 분할체가 결합되어 구성된다. 제2 실시예의 분할체는, 도 3에 도시한 바와 같이, 챔버(210)를 횡방향으로 분할한 구조로, 상부챔버(210a) 및 하부챔버(210b)로 구성된다.
따라서, 챔버(210)는 상, 하부챔버(210a, 210b)를 각각 제조한 후에 그 사이에 실링부재를 개재한 상태에서 결합하여 진공 챔버를 구성한다. 이처럼 분할체가 결합된 구조의 챔버(210)는 이송과 설치가 간편하고 용이하다는 장점이 있다.
도면에 도시하지는 않았지만, 챔버는 분할체가 2 이상으로 결합될 수 있고, 횡방향으로 분할된 구조뿐 아니라 종방향으로 분할된 구조의 분할체로 이루어질 수도 있다.
본 발명의 제3 실시예는 제1 실시예와 대비하여 체적감소체를 부가적으로 구성함에 차이가 있다. 이하에서는 제1 실시예와 차이를 가지는 구성요소를 중심으로 도 4를 참고하여 설명한다.
체적감소체(350)는 이송 로봇(30)과 이송 로봇(30)에 의해 이송되는 기판의 동작영역에 간섭되지 않도록 내부공간(311)에 결합된다. 이로써, 내부공간(311)의 체적을 감소시켜 내부공간(311)을 고진공 상태로 용이하게 형성할 수 있다.
구체적으로, 내부공간(311)에는 챔버(310) 하부에 구비된 이송 로봇(30)이 기판을 이송하는데, 일반적으로 기판은 게이트(312)와 근접한 높이에서 수평방향으로 이송된다. 따라서, 이송 로봇과 기판의 동작영역을 제외한 내부공간(311)의 상, 하부는 사용되지 않는 비사용 공간으로 남게 된다. 체적감소체(350)는 이러한 비사용 공간을 감소시킴으로써 진공 펌프(20)에 걸리는 부하를 감소시킴은 물론, 고진공 상태를 신속하게 형성할 수 있게 한다.
도 4에 도시한 바와 같이, 체적감소체(350)는 상, 하부 체적감소체(351, 352)로 구성된다.
상부 체적감소체(351)는 이송 로봇(30)의 상부인 내부공간(311) 상부에 구비되고, 하부 체적감소체(352)는 이송 로봇(30) 둘레의 내부공간(311) 하부에 구비된다. 만약, 체적감소체(350)가 챔버(310) 내측면과 부착되어 결합된다면, 이는 챔버 내부공간(311)을 좁게 한 것과 다름없으므로, 챔버(310) 내부 진공압에 대한 챔버(310)의 형상 변형을 방지할 수 없게 된다. 따라서, 상, 하부 체적감소체(315, 352)는 챔버(310) 내측면과 이격되도록 결합부(353)에 의해 결합된다. 이로써, 챔버 내부의 비사용 공간을 감소시켜 진공 상태 형성을 용이하게 할 수 있다.
한편, 챔버(310)는 상부에 뚜껑결합구(314)가 형성되고, 이 뚜껑결합구(314)에 뚜껑(340)이 결합되며, 뚜껑(340) 하면에 상부 체적감소체(351)가 결합된다. 뚜껑(340) 개폐 시, 상부 체적감소체(351)는 뚜껑결합구(314)를 통해 출입할 수 있도록 분할되어 구비될 수 있다. 예컨대, 상부 체적감소체(351)를 중앙부와 외곽부로 분할하여 중앙부는 평단면이 뚜껑결합구(314)보다 작게 형성되어 뚜껑(340) 하면에 결합되고, 외곽부는 챔버(310) 내벽에 결합된다.
도면에 도시하지는 않았지만, 상, 하부 체적감소체 중 적어도 하나가 구비될 수도 있으며, 이송 로봇과 기판의 동작영역을 제외한 내부공간(311)에 설치되는 것이라면 어떠한 형태라도 무관하다.
본 발명의 제4 실시예는 제3 실시예와 대비하여 체적감소체의 구조에 있어 차이가 있다. 이하에서는 제3 실시예와 차이를 가지는 구성요소를 중심으로 도 5를 참고하여 설명한다.
체적감소체(450)는 제3 실시예와 마찬가지로, 상, 하부 체적감소체(451, 452)로 구성되며, 결합부(453)에 의해 챔버(410) 내측면과 이격되도록 결합된다.
상, 하부 체적감소체(451, 452)는 내부에 중공(454)을 형성한다. 중공(454)을 형성하면, 체적감소체(450)에 소비되는 재료의 양을 현저히 감소시킬 수 있고, 이로써, 전체 챔버의 중량 또한 감소시킬 수 있다.
한편, 챔버(410)는 상부에 뚜껑결합구(414)가 형성되고, 이 뚜껑결합구(414)에 뚜껑(440)이 결합되며, 뚜껑(440) 하면에 상부 체적감소체(451)가 결합된다.
챔버(410) 내부 수리 또는 부품 교체 시에 뚜껑(440)을 개방하게 되는데, 이때, 뚜껑(440)에 결합된 상부 체적감소체(451)도 챔버(410)로부터 탈거될 수 있다. 이로써, 상부 체적감소체(451)를 따로 탈거할 필요 없이 뚜껑(440)과 상부 체적감소체(451)를 한번에 탈거할 수 있다.
본 발명의 제5 실시예는 제1 실시예와 대비하여 뚜껑결합구의 구조에 있어 차이가 있다. 이하에서는 제1 실시예와 차이를 가지는 구성요소를 중심으로 도 6을 참고하여 설명한다.
뚜껑결합구(514)는, 상부가 넓고, 하부가 좁게 테이퍼진 상광하협 구조로 형성된다.
뚜껑(540)은 플랜지부(541), 결합부(542) 및 삽입부(543)를 포함한다.
플랜지부(541)는 뚜껑결합구(514) 둘레의 챔버(510) 상면을 덮도록 뚜껑결합구(514)의 상부보다 넓게 형성된다. 결합부(542)는 플랜지부(541)를 챔버(510) 상면에 결합하며, 이로써, 뚜껑(540)을 뚜껑결합구(514)에 고정시켜, 내부공간(511)에서 기판 처리 공정이 진행되는 동안 챔버(510)의 내부공간(511)을 밀폐시킬 수 있다. 결합부(542)는 뚜껑(540)의 용이한 개폐를 위해 나사로 구성될 수 있다. 삽입부(543)는 뚜껑결합구(514)에 삽입되도록 플랜지부(541) 하부에 형성된다. 삽입부(543)는 뚜껑결합구(514)와 대응되도록 상부가 넓고, 하부가 좁게 테이퍼진 상광하협 구조로 형성된다.
이처럼, 뚜껑(540)을 테이퍼지게 형성함으로써, 뚜껑(540)의 개폐가 용이하고, 뚜껑(540)의 자중에 의해 뚜껑결합구(514)와 더욱 밀착되므로 내부공간(511)의 밀폐력을 향상시킬 수 있다.
한편, 뚜껑(540)의 하면은 내부공간(511)의 비구면이 연장되도록 형성된다. 이로써, 내부공간(511)의 비구면과 뚜껑(540) 하면의 단차에 진공압에 의한 응력이 집중되는 것을 방지하여 챔버(511)의 형상 변형을 방지할 수 있다.
본 발명의 제6 실시예는 제5 실시예와 대비하여 뚜껑결합구의 구조에 있어 차이가 있다. 이하에서는 제5 실시예와 차이를 가지는 구성요소를 중심으로 도 6을 참고하여 설명한다.
뚜껑결합구(614)는 상부가 넓고, 하부가 좁은 단차를 갖는 상광하협 구조로 형성된다.
뚜껑(640)은 플랜지부(641), 결합부(642) 및 삽입부(643)를 포함하며, 플랜지부(641)과 결합부(642)의 구조는 제5 실시예의 플랜지부(541)와 결합부(542) 구조와 동일하다.
삽입부(643)는 뚜껑결합구(614)에 삽입되도록 플랜지부(641) 하부에 형성된다. 삽입부(643)는 뚜껑결합구(614)와 대응되도록 상부가 넓고, 하부가 좁은 단차를 갖는 상광하협 구조로 형성된다.
이처럼, 뚜껑(540)이 단차를 갖도록 형성함으로써, 뚜껑(540)의 개폐가 용이하고, 뚜껑(540)의 자중에 의해 뚜껑결합구(514)와 더욱 밀착되므로 내부공간(511)의 밀폐력을 향상시킬 수 있다.
이상에서는 본 발명의 구체적인 실시예를 도면을 중심으로 설명하였으나, 본 발명의 권리범위는 특허 청구 범위에 기재된 기술적 사상을 중심으로 그 변형물 또는 균등물에까지 미침은 자명하다 할 것이다.
110 : 챔버
111 : 내부공간
112 : 게이트
113 : 로봇설치구
114 : 뚜껑결합구
20 : 진공 펌프
30 : 이송 로봇
140 : 뚜껑
350 : 체적감소체
353 : 결합부
454 : 중공
541 : 플랜지부
542 : 결합부
543 : 삽입부

Claims (18)

  1. 진공 상태에서 기판을 처리하는 진공 챔버에 있어서,
    상기 챔버의 외면은 다각기둥 구조로 이루어지고,
    상기 챔버의 내부공간은 상기 외면에 대응되는 각각의 면이 외측으로 볼록한 비구면(aspherical surface)으로 형성되며,
    상기 챔버의 상, 하면과 각각의 측면 두께는 중앙부에서 외곽부로 갈수록 두껍게 형성되는 것을 특징으로 하는 진공 챔버.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 비구면은, 상기 챔버의 내벽 중 대향하는 위치에 적어도 1 쌍이 대칭 구조로 형성된 것을 특징으로 하는 진공 챔버.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 비구면은, 상기 챔버 측부에 해당하는 내벽에 적어도 3개 이상이 동일하게 형성된 것을 특징으로 하는 진공 챔버
  4. 제1항에 있어서,
    상기 챔버는, 일체형으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 진공 챔버.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 챔버는, 2 이상의 분할체가 결합된 것을 특징으로 하는 진공 챔버.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 분할체는, 챔버를 횡방향 또는 종방향으로 분할한 구조인 것을 특징으로 하는 진공 챔버.
  7. 삭제
  8. 제1항에 있어서,
    상기 외곽부의 두께는, 상기 중앙부 두께의 105%~300%인 것을 특징으로 하는 진공 챔버.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 내부공간은,
    기판을 이송하는 이송 로봇;
    기판이 출입하는 1 이상의 게이트; 및
    상기 이송 로봇과 기판의 동작영역과 간섭되지 않도록 내부공간에 결합된 1 이상의 체적감소체; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 챔버.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 체적감소체는, 중공으로 형성된 것을 특징으로 하는 진공 챔버.
  11. 제9항에 있어서,
    상기 체적감소체는, 상기 내부공간의 상부에 결합된 것을 특징으로 하는 진공 챔버.
  12. 제9항에 있어서,
    상기 체적감소체는, 상기 이송 로봇 둘레의 상기 내부공간 하부에 결합된 것을 특징으로 하는 진공 챔버.
  13. 제9항에 있어서,
    상기 챔버는, 상부에 뚜껑결합구가 형성되고,
    상기 뚜껑결합구에 결합되는 뚜껑; 을 더 포함하고,
    상기 체적감소체는, 상기 뚜껑의 하면에 결합되는 것을 특징으로 하는 진공 챔버.
  14. 제1항에 있어서,
    상기 챔버는, 상부에 뚜껑결합구가 형성되고,
    상기 뚜껑결합구에 결합되는 뚜껑; 을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 챔버.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 뚜껑결합구는, 상광하협 구조로 이루어진 것을 특징으로 하는 진공 챔버.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 뚜껑결합구는, 단차 구조로 이루어진 것을 특징으로 하는 진공 챔버.
  17. 제14항에 있어서,
    상기 뚜껑은, 상기 뚜껑결합구 둘레의 챔버 상면을 덮는 플랜지부가 형성되고,
    상기 플랜지부를 상기 챔버 상면에 결합하는 결합부; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 챔버.
  18. 제14항에 있어서,
    상기 뚜껑의 하면은 상기 내부공간의 비구면이 연장 형성된 것을 특징으로 하는 진공 챔버.
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