KR100978851B1 - 진공처리장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 진공상태에서 웨이퍼, LCD 패널용 유리기판 등의 기판을 처리할 수 있는 진공처리장치에 관한 것이다.
특히 본 발명에 따른 진공처리장치는 다면체를 형성하고 모든 면에 개구부가 형성된 밀봉보조부재와; 상기 밀봉보조부재의 저면을 복개하도록 상기 밀봉보조부재와 탈착 가능하게 밀착결합되는 저면챔버부재와; 상기 밀봉보조부재의 측면을 복개하도록 상기 밀봉보조부재와 탈착 가능하게 밀착결합되고, 적어도 어느 하나에 기판의 출입을 위한 게이트가 형성된 복수 개의 측면챔버부재들과; 상기 밀봉보조부재의 상면을 복개하여 상기 저면챔버부재 및 상기 측면챔버부재들과 함께 진공처리공간을 형성하도록 상기 밀봉보조부재와 탈착 가능하게 결합되는 상면챔버부재와; 상기 상면챔버부재의 진공처리공간의 하측에 설치되어 상기 진공처리공간에 가스를 공급하는 가스공급부와; 상기 진공처리공간을 밀봉할 수 있도록, 각각 상기 밀봉보조부재에 의해 지지되어 상기 저면챔버부재, 상기 복수 개의 측면챔버부재들 및, 상기 상면챔버부재에 밀착되는 복수 개의 밀봉부재들을 포함함으로써, 분할되어 용이하게 운송될 수 있다.
진공챔버, 밀봉부재, 진공처리, 기판, LDC패널용 유리기판
Description
본 발명은 진공처리장치에 관한 것으로서, 진공상태에서 웨이퍼, LCD 패널용 유리기판 등의 기판을 처리할 수 있는 진공처리장치에 관한 것이다.
진공처리장치는 진공처리공간에 전극을 설치하고, 진공상태에서 전극에 전원을 인가하여 플라즈마를 형성하여 전극 위에 안착된 기판의 표면을 증착, 식각하는 등 처리공정을 수행하는 장치이다.
이러한 진공처리장치에 의해 처리되는 기판 중 하나로는 LCD 패널용 유리기판이 있는데, LCD 패널용 유리기판은 LCD의 대형화 추세에 맞춰 그 크기가 증대되고 있고 수율성을 높이기 위해 대량 생산화하고 있어서, 상기와 같은 LCD 패널용 유리기판 등을 처리하기 위해 진공처리장치 또한 대형화되고 있다.
따라서, 상술한 바와 같이 진공처리장치가 대형화됨에 따라, 대형으로 제작하는데 따른 비용 및 기술상의 문제점뿐만 아니라, 상당한 크기 및 무게의 진공처리장치를 운송하는데 따른 문제점이 있다.
본 발명의 목적은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 복수 개로 분할하여 형성하고 탈착 가능토록 조합함으로써 제조 및 운송이 용이해질 수 있는 진공처리장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 밀봉부재를 폐쇄형 구조로 형성함으로써 진공처리공간 내에 형성되는 진공압의 리크(leak)를 방지할 수 있어 밀봉성이 우수한 진공처리장치를 제공하는 데 있다.
상기한 과제를 해결하기 위해 본 발명은 다면체를 형성하고 모든 면에 개구부가 형성된 밀봉보조부재와; 상기 밀봉보조부재의 저면을 복개하도록 상기 밀봉보조부재와 탈착 가능하게 밀착결합되는 저면챔버부재와; 상기 밀봉보조부재의 측면을 복개하도록 상기 밀봉보조부재와 탈착 가능하게 밀착결합되고, 적어도 어느 하나에 기판의 출입을 위한 게이트가 형성된 복수 개의 측면챔버부재들과; 상기 밀봉보조부재의 상면을 복개하여 상기 저면챔버부재 및 상기 측면챔버부재들과 함께 진공처리공간을 형성하도록 상기 밀봉보조부재와 탈착 가능하게 결합되는 상면챔버부재와; 상기 상면챔버부재의 하측에 설치되어 상기 진공처리공간에 가스를 공급하는 가스공급부와; 상기 진공처리공간을 밀봉할 수 있도록, 각각 상기 밀봉보조부재에 의해 지지되어 상기 저면챔버부재, 상기 복수 개의 측면챔버부재들 및, 상기 상면 챔버부재에 밀착되는 복수 개의 밀봉부재들을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치를 개시한다.
상기 밀봉보조부재는 직육면체로 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 밀봉보조부재는 스테인레스 스틸, 알루미늄 합금, 테프론, 엔지니어링 플라스틱 재질 중 적어도 어느 한 재질로 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 밀봉보조부재의 상면에 형성된 개구부는, 상기 진공처리공간에 설치되어 상기 기판을 지지하는 기판지지부의 평면 크기보다 크게 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 복수 개의 측면챔버부재들 중 적어도 어느 하나는 상기 밀봉보조부재의 개구부에 형합되는 공간을 갖는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 복수 개의 측면챔버부재들 중 적어도 어느 하나는 상기 밀봉보조부재의 개구부에 삽입되어 형합되는 양각부가 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 복수 개의 측면챔버부재들 중 일부는 상기 진공처리공간의 일부를 형성하고 상기 밀봉보조부재의 개구부에 형합되는 공간을 갖고, 상기 복수 개의 측면챔버부재들 중 또 다른 일부는 상기 밀봉보조부재의 개구부에 삽입되어 형합되는 양각부가 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 밀봉보조부재, 상기 저면챔버부재 및 상기 복수 개의 측면챔버부재들, 상면챔버부재, 가스공급부 중 적어도 어느 하나의 내측면에는 면 손상을 방지할 수 있도록 라이너가 복개되는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 밀봉보조부재에 의해 지지되는 밀봉부재는 상기 밀봉보조부재의 개구부 를 둘러 감싸는 링 형상으로 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 밀봉보조부재 및 상기 저면챔버부재, 상기 복수 개의 측면챔버부재들, 상면챔버부재는 상호 결합에 의하여 상기 진공처리공간에 단차가 형성되지 않도록 결합되는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 저면챔버부재 및 상기 복수 개의 측면챔버부재들, 상기 상면챔버부재, 상기 가스공급부 사이 중 적어도 어느 하나에는 각각, 전도성 오링이 개재되는 것을 특징으로 할 수 있다.
한변의 길이가 2000mm 이상인 것을 특징으로 할 수 있다.
또한 상기한 기술적 과제를 해결하기 위해 본 발명은 다면체를 형성하고 모든 면에 개구부가 형성된 밀봉보조부재와; 상기 밀봉보조부재의 저면을 복개하도록 상기 밀봉보조부재와 탈착 가능하게 밀착결합되는 저면챔버부재와; 상기 밀봉보조부재의 측면을 복개하도록 상기 밀봉보조부재와 탈착 가능하게 밀착결합되고, 적어도 어느 하나에 기판의 출입을 위한 게이트가 형성된 복수 개의 측면챔버부재들과; 상기 밀봉보조부재의 상면을 복개하여 상기 저면챔버부재 및 상기 측면챔버부재들과 함께 진공처리공간을 형성하도록 상기 밀봉보조부재와 탈착 가능하게 결합되고, 상기 진공처리공간에 가스를 공급하는 가스공급부와; 상기 가스공급부의 상측에 설치되는 상면챔버부재와; 상기 가스공급부와 상기 상면챔버부재 사이, 상기 밀봉보조부재와 상기 저면챔버부재 사이, 상기 밀봉보조부재와 상기 측면챔버부재들 사이, 상기 밀봉보조부재 및 상기 가스공급부 사이에 각각에 설치되는 복수 개의 밀봉부재들을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치를 개시한다.
상기 가스공급부와 상기 상면챔버부재 사이에 개재되는 밀봉부재는 링 형상으로 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한 상기한 기술적 과제를 해결하기 위해 본 발명은 상면을 포함하여 둘 이상의 면에 개구부가 형성되고, 적어도 한 면이 차폐된 다면체를 형성하는 밀봉보조부재와; 상기 밀봉보조부재의 상면 이외의 개구부를 복개하도록 상기 밀봉보조부재와 탈착 가능하게 밀착결합되고, 적어도 어느 하나에 기판의 출입을 위한 게이트가 형성된 적어도 하나의 본체챔버부재와; 상기 밀봉보조부재의 상면을 복개하여 상기 본체챔버부재와 함께 진공처리공간을 형성하도록 상기 밀봉보조부재와 탈착 가능하게 결합되는 상면챔버부재와; 상기 상면챔버부재의 하측에 설치되어 상기 진공처리공간에 가스를 공급하는 가스공급부와; 상기 진공처리공간을 밀봉할 수 있도록, 각각 상기 밀봉보조부재에 의해 지지되어 상기 본체챔버부재 및 상기 상면챔버부재에 밀착되는 복수 개의 밀봉부재들을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치를 개시한다.
또한 상기한 기술적 과제를 해결하기 위해 본 발명은 상면을 포함하여 둘 이상의 면에 개구부가 형성되고, 적어도 한 면이 차폐된 다면체를 형성하는 밀봉보조부재와; 상기 밀봉보조부재의 상면 이외의 개구부를 복개하도록 상기 밀봉보조부재와 탈착 가능하게 밀착결합되고, 적어도 어느 하나에 기판의 출입을 위한 게이트가 형성된 적어도 하나의 본체챔버부재와; 상기 밀봉보조부재의 상면을 복개하여 상기 저면챔버부재 및 상기 본체챔버부재들과 함께 진공처리공간을 형성하도록 상기 밀봉보조부재와 탈착 가능하게 결합되고, 상기 진공처리공간에 가스를 공급하는 가스공급부와; 상기 가스공급부의 상측에 설치되는 상면챔버부재와; 상기 가스공급부와 상기 상면챔버부재 사이, 상기 밀봉보조부재와 상기 저면챔버부재 사이, 상기 밀봉보조부재와 상기 본체챔버부재들 사이, 상기 밀봉보조부재 및 상기 가스공급부 사이에 각각에 설치되는 복수 개의 밀봉부재들을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치를 개시한다.
상기 밀봉보조부재는 직육면체로 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 복수 개의 밀봉부재들은 각각, 상기 밀봉보조부재의 개구부를 둘러 감싸는 링 형상으로 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 진공처리공간의 각 길이가 2000mm 이상인 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 밀봉보조부재의 차폐된 면을 보강토록 상기 밀봉보조부재와 결합되는 적어도 하나의 보강부재를 더 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명에 따른 진공처리장치는 복수 개로 분할 형성되어 상호 탈착 가능하게 밀착결합됨으로써, 제조가 용이해질 수 있고 아울러 제조비가 절감될 수 있는 이점을 갖는다.
또한 본 발명에 따른 진공처리장치는 복수 개로 분할 형성되어 상호 탈착 가능하게 밀착 결합됨으로써, 전체적인 크기 및 중량에 구애받지 않고 분할 상태로 용이하게 운송할 수 있는 이점을 갖는다.
또한 본 발명에 따른 진공처리장치는 밀봉보조부재를 중심으로 구성되는 복 수 개의 챔버부재들로 형성됨으로써, 그 중심부와 주변부로 분할되기 때문에 그 중심부에 분할경계가 형성되는 것을 피할 수 있어 강성 및 밀봉성이 우수한 이점을 갖는다.
또한 본 발명에 따른 진공처리장치는 밀봉부재가 밀봉보조부재의 개구부의 전 둘레를 감쌀 수 있도록 폐쇄형 구조로 형성됨으로써 진공처리공간의 전 부분에서 진공압의 누설을 방지할 수 있어 밀봉성이 우수한 이점을 갖는다.
또한 본 발명에 따른 진공처리장치는 그 내측면에 단차진 부분이 형성되지 않도록 형성됨으로써, 플라즈마 반응시 등에 아킹(arking)이 발생되는 것을 방지할 수 있는 이점을 갖는다.
도 1은 본 발명의 제1실시 예에 따른 진공처리장치의 분해 사시도이고, 도 2는 본 발명의 제1실시 예에 따른 진공처리장치의 정단면도이고, 도 3은 본 발명의 제1실시 예에 따른 진공처리장치의 측단면도이고, 도 4는 본 발명의 제1실시 예에 따른 진공처리장치의 평단면도이고, 도 5는 본 발명의 제1실시 예에 따른 진공처리장치의 상면챔버부재를 분리한 상태 평면도이다.
본 발명에 따른 진공처리장치는 웨이퍼 또는 LCD 패널용 유리기판 등 기판(10)의 표면을 식각하거나 표면에 소정의 특성을 가지는 박막을 형성하는 등 진공처리공정을 수행하는 장치로서, 밀폐된 진공처리공간(2)에 가스를 주입하면서 플라즈마를 형성하도록 구성될 수 있다.
상기 진공처리장치는 기판(10)을 지지할 수 있도록 진공처리공간(2)에 설치되는 기판지지부(12)가 설치된다.
그리고 상기 기판지지부(12)는 내부에 기판(10)을 고정하기 위한 정전척(미도시) 및 기판(10)을 기판지지부(12)로부터 승하강시키기 위한 리프트핀(미도시) 등이 설치될 수 있다. 나아가 상기 기판지지부(12)는 안착된 상기 기판(10)을 가열하기 위한 히터가 그 내부에 구비될 수 있다.
또한 상기 진공처리장치는 진공처리공간(2)의 상측, 즉 후술하는 상면챔버부재(22)의 하측에 설치되어 진공처리공간(2)에 가스를 공급하도록 가스공급장치와 가스공급관(16)을 통해 연결되는 가스공급부(15)와, 진공처리공간(2) 내에 플라즈마를 형성하도록 전원을 인가하는 전원인가부와, 배기 및 압력제어를 위한 배기관(18)에 의하여 진공펌프와 연결되는 배기구(미도시) 등 다양한 모듈 및 장치들(설치물)이 설치될 수 있다.
상기 전원인가부는 전원인가방식에 따라서 다양한 구성이 가능하며, 후술하는 챔버부재(20,22,24,25,26,27)들을 비롯하여 상기 가스공급부(15)를 접지하여 구성하는 상부전극과, 상기 기판지지부(12)에 설치되어 RF전원이 인가되는 하부전극으로 구성될 수 있다.
상기 진공처리장치는 일체형 구조로 형성될 수 있지만, 대형의 LCD패널용 유리기판 등 기판(10)의 진공처리도 가능하도록 그 한변의 길이가 2000mm 이상인 대형으로 형성될 수 있도록, 본 실시 예와 같이 분리형 구조로 형성되는 것이 보다 바람직하다.
즉 상기 분리형 구조의 진공처리장치는 복수 개로 분할 형성되어 탈착 가능토록 결합됨으로써, 용이하게 조립, 분리될 수 있다.
그리고 상기 진공처리장치는 다양한 형상으로 설계될 수 있지만, 구조적으로 간소하고 안정적이도록 본 실시 예와 같이 6개의 면을 갖는 직육면체로 형성되는 것이 보다 바람직하다.
상기 진공처리장치는 모든 면에 개구부(1A)가 형성되고 다면체를 형성하는 밀봉보조부재(1)와, 상기 밀봉보조부재(1)의 개구부(1A)를 각각 복개하여 진공처리공간(2)를 형성할 수 있도록 상기 밀봉보조부재(1)와 탈착 가능하게 밀착결합되는 복수 개의 챔버부재(20,22,24,25,26,27)들과, 상기 진공처리공간(2)을 밀봉할 수 있도록 각각 상기 밀봉보조부재(1)에 의해 지지되어 상기 각각의 챔버부재(20,22,24,25,26,27)들에 밀착되는 복수 개의 밀봉부재(30)들을 포함할 수 있다.
상기 밀봉보조부재(1)는 일체로 형성되고, 직육면체 등 다면체 형상을 이룬다. 즉 상기 밀봉보조부재(1)는 본 실시 예와 같이 6개의 면을 갖는 직육면체로 형성되는 것으로 한정되지 않고 다양한 형상을 가질 수 있다. 또한 상기 밀봉보조부재(1)는 본 실시 예와 같이 모든 면에 개구부(1A)가 형성되는 것으로 한정되지 않고 도 6을 참조하여 후술할 본 발명의 다른 실시 예와 같이 적어도 한 면이 차폐될 수도 있다.
이러한 상기 밀봉보조부재(1)는 그 안쪽 공간에 상기 기판지지부(12) 등이 위치될 수 있는 크기로 설계되는 것이 보다 바람직하다.
특히 상기 밀봉보조부재(1)는 상기 기판지지부(12) 등의 설치가 용이하도록, 그 상면에 형성된 개구부(1A)가 상기 기판 지지부(12)의 평면 크기보다 크게 형성되는 것이 바람직하다.
이러한 밀봉보조부재(1)는 상기 진공처리공간(2)을 형성하기 위한 구조적 부재 역할을 하는 상기 복수 개의 챔버부재(20,22,24,25,26,27)들과 달리, 상기 밀봉부재(30)를 지지하기 위한 것이다. 따라서 상기 밀봉보조부재(10)는 상기 복수 개의 챔버부재(20,22,24,25,26,27)들보다 상대적으로 강성이 취약하게 설계될 수도 있다.
다만, 상기 밀봉보조부재(1)는 상기 복수 개의 챔버부재(20,22,24,25,26,27)들과의 탈착이 용이하고 상기 밀봉부재(30)를 잘 지지하기 위해서, 스테인레스 스틸, 알루미늄 합금, 테프론, 엔지니어링 플라스틱 재질 중 적어도 어느 하나의 재질로 형성되는 것이 보다 바람직하다 할 수 있다. 여기서 상기 밀봉보조부재(1)는 일체로 형성되는 것이 특징인데 제조시 일체로 형성되거나 용접 등에 의하여 일체로 결합될 수도 있다.
상기 복수 개의 챔버부재(20,22,24,25,26,27)들은 상기 밀봉보조부재(1)의 개구부(1A)를 복개할 수 있다면 어떠한 구성을 취하든 무방하다. 다만 복수 개의 챔버부재(20,22,24,25,26,27)들은 설계가 용이하고 보다 많은 수로 분할될 수 있도록 상기 밀봉보조부재(1)의 개구부(1A)를 각각 복개하도록 구성되는 것이 보다 바람직하다.
즉 상기 복수 개의 챔버부재(20,22,24,25,26,27)들은 상기 밀봉보조부재(1)의 저면을 복개할 수 있도록 상기 밀봉보조부재(1)와 탈착가능하게 밀착결합되는 저면챔버부재(20)와, 상기 밀봉보조부재(1)의 복수 개의 측면을 각각 복개할 수 있도록 상기 밀봉보조부재(1)와 탈착가능하게 밀착결합되고 적어도 어느 하나에 상기 기판(10)의 출입할 수 있도록 게이트(gate)(4)가 형성된 측면챔버부재(24,25,26,27)와, 상기 밀봉보조부재(1)의 상면을 복개하여 상기 저면챔버부재(20) 및 상기 복수 개의 측면챔버부재(24,25,26,27)들과 함께 상기 진공처리공간(2)을 형성할 수 있도록 상기 밀봉보조부재(1)와 탈착가능하게 밀착결합되는 상면챔버부재(22)를 포함할 수 있다. 상기 게이트(4)는 게이트 밸브 등에 의해 개폐된다.
상기 상면챔버부재(22)는 진공처리장치의 상면을 이루는 구성으로서, 진공처리장치의 내부에 설치된 설치물들의 수리나 교체를 위하여 측면챔버부재(24,25, 26,27)의 상측에 탈착가능하게 설치되며, 샤워헤드인 가스공급부(15)가 하측에 탈착가능하게 결합될 수 있다.
상기 복수 개의 챔버부재(20,22,24,25,26,27)들은 본 실시 예와 같이 상기 밀봉보조부재(1)의 외측에 결합되는 것도 가능하고, 이외에도 상기 밀봉보조부재(1)의 내측에 결합되는 것도 가능하고, 일부는 상기 밀봉보조부재(1)의 외측에 결합되고 나머지는 상기 밀봉보조부재(1)의 내측에 결합되는 것도 가능하다.
또한 상기 복수 개의 챔버부재(20,22,24,25,26,27)들은 상기 진공처리공간(2)에 각진 부분이 있으면 플라즈마 반응시 아킹(arking)이 발생될 수 있기 때문에, 상기 밀봉보조부재(1)와의 결합에 의하여 상기 진공처리공간(2)에 단차가 형성되지 않도록 결합되는 것이 보다 바람직하다. 즉 상기 진공처리공간(2)의 내측면이 평활한 면으로 형성되도록 형성된다.
이를 위해 상기 복수 개의 챔버부재(20,22,24,25,26,27)들 중 적어도 하나는 상기 밀봉보조부재(1)의 개구부(1A)에 삽입되어 형합되는 양각부(20A,26A,27A)가 형성될 수 있다.
즉, 본 실시 예에서는 상기 복수 개의 챔버부재(20,22,24,25,26,27)들 중 상기 저면챔버부재(20) 및 서로 마주보는 2개의 측면챔버부재(26,27)에 양각부(20A,26A,27A)가 형성될 수 있다. 여기서, 상기 양각부(20A,26A,27A)가 형성된 저면챔버부재(20) 및 2개의 측면챔버부재(26,27)는 상기 밀봉보조부재(1)와 보다 견실하게 결합될 수 있다.
그리고 상기 복수 개의 챔버부재(20,22,24,25,26,27)들 중 적어도 하나는 상기 진공처리공간(2)에 단차가 형성되지 않도록, 상기 밀봉보조부재(1)의 개구부(1A)에 형합되는 공간인 음각부(24A,25A)가 형성될 수 있다.
즉, 본 실시 예에서는 상기 음각부(24A,25A)는 상기 복수 개의 챔버부재(20,22,24,25,26,27)들 중 상기 양각부(26A,27A)가 형성된 측면챔버부재(26,27) 이외 2개의 측면챔버부재(24,25)에 형성될 수 있다.
상기 복수 개의 챔버부재(20,22,24,25,26,27)들은 상술한 바와 같이 상기 진공처리공간(2)을 형성하기 위한 구조적 부재인바, 상기 밀봉보조부재(1)의 개구부(1A)를 복개함과 아울러 상호 간 결합만으로도 상기 진공처리공간(2)을 형성하도록 형성되고, 진공처리공정시 그 진공압력을 견딜 수 있는 강성을 가질 수 있도록 형성된다.
한편, 상기 복수 개의 챔버부재(20,22,24,25,26,27)들의 각각의 내측면에는 라이너(28)(liner)가 복개될 수 있다.
여기서, 상기 라이너(28)는 상기 진공처리장치가 상기 기판(10)의 진공처리를 위해 이용되는 경우 상기 진공처리장치가 전기의 접지 역할을 하는바 상기 진공처리장치의 전기적 특성을 만족할 수 있도록 형성된다.
또한 상기 복수 개의 챔버부재(20,22,24,25,26,27)들에는 상기 밀봉부재(30)가 끼워질 수 있도록 홈(H)이 형성될 수 있다. 물론 상기 밀봉보조부재(1)에도 상기 밀봉부재(30)가 끼워질 수 있는 홈이 형성될 수도 있고, 상기 밀봉보조부재(1)와 상기 복수 개의 챔버부재(20,22,24,25,26,27)들 중 어느 하나에만 상기 밀봉부재(30)가 끼워질 수 있는 홈이 형성될 수 있다.
상기한 상기 복수 개의 챔버부재(20,22,24,25,26,27)들은 상기 밀봉보조부재(1)와의 탈착이 용이하도록 스크류 등의 체결부재(미도시)에 의해 상호 결합될 수 있다.
상기 밀봉부재(30)는 상기 밀봉보조부재(1)의 개구부(1A) 전 둘레를 감쌀 수 있도록 링 형상을 취함으로써, 상기 진공처리공간(2)을 뚫린 곳 없이 폐쇄형태로 견고하게 밀봉할 수 있다.
이러한 밀봉부재(30)는 밀봉 역할을 할 수 있다면 어떠한 것이든 가능하며, 바람직한 예로써 탄성재질의 오링이나 실리콘, 페이스트로 구현될 수 있다.
상기한 바와 같은 진공처리장치는 전기의 접지 역할을 하는바, 상기 밀봉보조부재(1) 및 상기 복수 개의 챔버부재(20,22,24,25,26,27)들, 상기 가스공급 부(15) 사이 중 적어도 어느 하나에는 전기의 흐름이 원활하도록 전도성 오링(32)이 추가로 개재될 수 있다. 상기 전도성 오링(32)은 금속 가스켓을 비롯하여 상기 진공처리장치의 전기적 특성을 만족할 수 있다면 어떠한 재질이든 무방하다.
이하, 도 6을 참조하여 본 발명의 제2실시 예를 상세히 설명한다.
도 6은 본 발명의 제2실시 예에 따른 진공처리장치의 분해 사시도이다.
본 발명의 제2실시 예에 따른 진공처리장치는 둘 이상의 면에 개구부(101A)가 형성되고 적어도 한 면이 차폐된 다면체를 형성하는 밀봉보조부재(101)와, 상기 밀봉보조부재(101)의 개구부(101A)를 복개하여 진공처리공간을 형성할 수 있도록 상기 밀봉보조부재(101)와 탈착 가능하게 밀착결합되는 복수 개의 챔버부재(120,122,123,124)들과, 상기 진공처리공간을 밀봉할 수 있도록 상기 밀봉보조부재(101)에 의해 지지되어 상기 각각의 챔버부재(120,122,123,124)와 상기 밀봉보조부재(101) 사이에 개재되는 복수 개의 밀봉부재(110)들을 포함할 수 있다.
즉 상기 밀봉보조부재(101)는 본 실시 예와 같이 상면 및 사방측면 중 어느 한 세 면에 개구부(101A)가 형성되고, 저면 및 사방측면 중 나머지 한 면이 차폐될 수 있다. 물론 본 실시 예에 한정되지 않고 상기 개구부(1A)의 위치 및 개수가 변경될 수 있다.
상기 복수 개의 챔버부재(120,122,123,124)들은 상기 밀봉보조부재(101)의 상면 이외의 개구부(101A)를 복개하도록 상기 밀봉보조부재(101)와 탈착 가능하게 밀착결합되는 적어도 하나의 본체챔버부재(122,123,124)와, 상기 밀봉보조부 재(101)의 상면을 복개하여 상기 본체챔버부재(122,123,124)와 함께 상기 진공처리공간을 형성하도록 상기 밀봉보조부재(101)와 탈착 가능하게 결합되는 상면챔버부재(120)를 포함한다.
상기 본체챔버부재(122,123,124)는 본 실시 예와 같이 복수 개인 경우, 적어도 어느 하나에 기판의 출입을 위한 게이트가 형성된다.
한편, 상기 밀봉보조부재(101)는 상기 밀봉부재(110)를 지지하기 위한 부재이기 때문에 상기 복수 개의 챔버부재(120,122,123,124)들처럼 구조적으로 진공처리에 따른 진공압력을 견디기에는 강성이 약할 수밖에 없다.
따라서 상기 진공처리장치는 본 실시 예와 같이 상기 복수 개의 챔버부재(120,122,123,124)들이 상기 밀봉보조부재(101)의 개구부(101A)가 형성된 면에만 탈착 가능토록 결합되는 경우, 상기 밀봉보조부재(101)의 차폐된 면을 보강하기 위한 보강부재(130)가 더 포함될 수 있다.
상기 보강부재(130)는 상기 밀봉보조부재(101)와 일체형으로 구성될 수도 있고, 상기 밀봉보조부재(101)와 분리형으로 구성되어 상기 밀봉보조부재(101)와 탈착 가능토록 결합될 수도 있다.
상기 보강부재(130)는 상기 복수 개의 챔버부재(120,122,123,124)들과 함께 상기 진공처리공간을 형성토록 구성될 수도 있고, 이와 상관없이 구성될 수도 있다.
이하, 도 7을 참조하여 본 발명의 제3실시예를 상세히 설명한다.
도 7은 본 발명의 제3실시예에 따른 진공처리장치의 정단면도이다.
본 발명의 제3실시예에 따른 진공처리장치는 도 7에 도시된 바와 같이, 제1실시예의 구성에서 가스공급부(15)의 가장자리부분이 상면챔버부재(22)와 밀봉보조부재(1) 사이에 개재되어 설치된다.
즉, 본 발명의 제3실시예에 따른 진공처리장치는 모든 면에 개구부(1A)가 형성되고 다면체를 형성하는 밀봉보조부재(1)와, 밀봉보조부재(1)의 개구부(1A) 중 상면을 제외한 나머지 개구부(1A)를 각각 복개하여 진공처리공간(2)를 형성할 수 있도록 밀봉보조부재(1)와 탈착 가능하게 밀착결합되는 복수 개의 챔버부재(20,24,25,26,27)들-저면챔버부재(20) 및 측면챔버부재(24,25,26,27)-과, 밀봉보조부재(1)의 상면을 복개하는 가스공급부(15)와, 가스공급부(15)의 상측에는 설치되는 상면챔버부재(22)와, 진공처리공간(2)을 밀봉할 수 있도록 각 부재들 사이에 설치되는 복수 개의 밀봉부재(30)들을 포함하여 구성된다.
이때 상기 가스공급부(15)는 밀봉보조부재(1) 및 상면챔버부재(22) 중 적어도 어느 하나에 결합되거나, 탈착가능하게 결합될 수 있다.
그리고 상기 가스공급부(15)의 가장자리부분은 상면챔버부재(22)와 밀봉보조부재(1) 사이에 개재되어 설치되는 경우 가스공급부(15) 및 밀봉보조부재(1) 사이 및 가스공급부(15) 및 상면챔버부재(22) 사이에 밀봉부재가 설치된다. 이때 상기 가스공급부(15) 및 밀봉보조부재(1) 사이 및 가스공급부(15) 및 상면챔버부재(22) 사이에 전도성 오링이 개재될 수 있다.
한편 가스공급부(15)는 상기 상면챔버부재(22)와 밀봉보조부재(1) 사이에 개 재되는 가장자리부분이 별도의 구성인 보조리드(15a)로 구성되고, 보조리드(15a)에 탈착가능하게 결합되는 하나 이상의 샤워헤드부재로 구성될 수 있다.
본 발명의 제3실시예에 관한 구성은 제2실시예에 적용될 수 있음은 물론이다.
이상은 본 발명에 의해 구현될 수 있는 바람직한 실시예의 일부에 관하여 설명한 것에 불과하므로, 주지된 바와 같이 본 발명의 범위는 위의 실시예에 한정되어 해석되어서는 안 될 것이며, 위에서 설명된 본 발명의 기술적 사상과 그 근본을 함께 하는 기술적 사상은 모두 본 발명의 범위에 포함된다고 할 것이다.
도 1은 본 발명의 제1실시 예에 따른 진공처리장치의 분해 사시도이다.
도 2는 본 발명의 제1실시 예에 따른 진공처리장치의 정단면도이다.
도 3은 본 발명의 제1실시 예에 따른 진공처리장치의 측단면도이다.
도 4는 본 발명의 제1실시 예에 따른 진공처리장치의 평단면도이다.
도 5는 본 발명의 제1실시 예에 따른 진공챔버의 상면챔버부재를 분리한 상태 평면도이다.
도 6은 본 발명의 제2실시 예에 따른 진공처리장치의 분해 사시도이다.
도 7은 본 발명의 제3실시예에 따른 진공처리장치의 정단면도이다.
<도면의 주요 부분에 관한 부호의 설명>
1; 밀봉보조부재 3; 챔버부재 10; 기판 12; 기판지지부
20; 저면챔버부재 22; 상면챔버부재
24,25,26,27; 측면챔버부재 30; 밀봉부재
32; 전도성 오링
Claims (20)
- 직육면체를 형성하고 모든 면에 개구부가 형성된 밀봉보조부재와; 상기 밀봉보조부재의 저면을 복개하도록 상기 밀봉보조부재와 일체로 결합되거나 탈착 가능하게 밀착결합되는 저면챔버부재와; 상기 밀봉보조부재의 측면을 복개하도록 상기 밀봉보조부재와 탈착 가능하게 밀착결합되고, 적어도 어느 하나에 기판의 출입을 위한 게이트가 형성된 복수 개의 측면챔버부재들과; 상기 밀봉보조부재의 상면을 복개하여 상기 저면챔버부재 및 상기 측면챔버부재들과 함께 진공처리공간을 형성하도록 상기 밀봉보조부재와 탈착 가능하게 결합되는 상면챔버부재와; 상기 상면챔버부재의 하측에 설치되어 상기 진공처리공간에 가스를 공급하는 가스공급부와; 상기 진공처리공간을 밀봉할 수 있도록, 각각 상기 밀봉보조부재에 의해 지지되어 상기 저면챔버부재, 상기 복수 개의 측면챔버부재들 및, 상기 상면챔버부재에 밀착되는 복수 개의 밀봉부재들과; 상기 진공처리공간에 설치되어 상기 기판을 지지하는 기판지지부를 포함하며,상기 밀봉보조부재의 상면에 형성된 개구부는, 상기 기판지지부의 평면 크기보다 크게 형성되며,상기 밀봉보조부재는 상기 밀봉부재를 지지하며,상기 복수 개의 측면챔버부재들 중 적어도 어느 하나는 상기 밀봉보조부재의 개구부에 형합되는 공간을 갖는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
- 직육면체를 형성하고 모든 면에 개구부가 형성된 밀봉보조부재와; 상기 밀봉보조부재의 저면을 복개하도록 상기 밀봉보조부재와 일체로 결합되거나 탈착 가능하게 밀착결합되는 저면챔버부재와; 상기 밀봉보조부재의 측면을 복개하도록 상기 밀봉보조부재와 탈착 가능하게 밀착결합되고, 적어도 어느 하나에 기판의 출입을 위한 게이트가 형성된 복수 개의 측면챔버부재들과; 상기 밀봉보조부재의 상면을 복개하여 상기 저면챔버부재 및 상기 측면챔버부재들과 함께 진공처리공간을 형성하도록 상기 밀봉보조부재와 탈착 가능하게 결합되고, 상기 진공처리공간에 가스를 공급하는 가스공급부와; 상기 가스공급부의 상측에 설치되는 상면챔버부재와; 상기 가스공급부와 상기 상면챔버부재 사이, 상기 밀봉보조부재와 상기 저면챔버부재 사이, 상기 밀봉보조부재와 상기 측면챔버부재들 사이, 상기 밀봉보조부재 및 상기 가스공급부 사이에 각각에 설치되는 복수 개의 밀봉부재들과; 상기 진공처리공간에 설치되어 상기 기판을 지지하는 기판지지부를 포함하며,상기 밀봉보조부재의 상면에 형성된 개구부는, 상기 진공처리공간에 설치되어 상기 기판을 지지하는 기판지지부의 평면 크기보다 크게 형성되며,상기 복수 개의 측면챔버부재들 중 적어도 어느 하나는 상기 밀봉보조부재의 개구부에 형합되는 공간을 갖는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
- 삭제
- 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,상기 밀봉보조부재는 스테인레스 스틸, 알루미늄 합금, 테프론, 엔지니어링 플라스틱 재질 중 적어도 어느 한 재질로 형성되는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
- 삭제
- 삭제
- 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,상기 복수 개의 측면챔버부재들 중 적어도 어느 하나는 상기 밀봉보조부재의 개구부에 삽입되어 형합되는 양각부가 형성되는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
- 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,상기 복수 개의 측면챔버부재들 중 일부는 상기 밀봉보조부재의 개구부에 형합되는 공간을 갖고, 상기 복수 개의 측면챔버부재들 중 또 다른 일부는 상기 밀봉보조부재의 개구부에 삽입되어 형합되는 양각부가 형성되는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
- 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,상기 저면챔버부재 및 상기 복수 개의 측면챔버부재들, 상면챔버부재, 가스공급부 중 적어도 어느 하나의 내측면에는 면 손상을 방지할 수 있도록 라이너가 복개되는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
- 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,상기 밀봉보조부재에 의해 지지되는 밀봉부재는 상기 밀봉보조부재의 개구부를 둘러 감싸는 링 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
- 청구항 2에 있어서,상기 가스공급부와 상기 상면챔버부재 사이에 개재되는 밀봉부재는 링 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
- 청구항 1에 있어서,상기 밀봉보조부재 및 상기 저면챔버부재, 상기 복수 개의 측면챔버부재들, 상면챔버부재는 상호 결합에 의하여 상기 진공처리공간에 단차가 형성되지 않도록 결합되는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
- 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,상기 밀봉보조부재, 상기 저면챔버부재 및 상기 복수 개의 측면챔버부재들, 상기 상면챔버부재, 상기 가스공급부 사이 중 적어도 어느 하나에는 각각, 전도성 오링이 개재되는 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
- 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,상기 진공처리장치의 한변의 길이가 2000mm이상인 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
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