KR100544896B1 - 일체형 실링부재를 구비한 알루미늄 플라즈마 챔버 - Google Patents

일체형 실링부재를 구비한 알루미늄 플라즈마 챔버 Download PDF

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장경환
이혁범
권순기
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Abstract

본 발명은 일체형 실링부재를 구비한 알루미늄 플라즈마 챔버에 관한 것으로서, 챔버를 구성하는 챔버 뚜껑, 챔버 벽을 구성하는 각 판, 및 챔버 바닥을 별도로 가공하여 볼트와 같은 체결부재에 의해 체결함과 동시에, 상기 챔버 뚜껑, 벽을 구성하는 각 판, 및 바닥간의 결합부분에 일체형 실링부재를 삽입함으로써 챔버 내부의 기밀을 유지하면서 동시에 알루미늄 챔버 제조 비용 및 제조 시간을 줄이며, 표면처리를 더 좋게 할 수 있는 알루미늄 플라즈마 챔버에 관한 것이다.
플라즈마, 알루미늄, 챔버, 일체형, 실링부재

Description

일체형 실링부재를 구비한 알루미늄 플라즈마 챔버{Aluminum plasma chamber having one body sealing member}
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 알루미늄 플라즈마 챔버의 분해 사시도.
도 2는 일체형 오링의 사시도.
도 3a는 플라즈마 챔버 벽을 구성하는 제1판의 사시도.
도 3b는 플라즈마 챔버 벽을 구성하는 제2판의 사시도.
도 4는 도 1의 플라즈마 챔버 벽의 평면도.
도 5 또는 도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 플라즈마 챔버 벽의 평면도.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
10...일체형 실링부재 20...챔버 바닥 30...제1판
40...제2판 50...챔버 벽 60...챔버 뚜껑
52...개폐부 100...알루미늄 플라즈마 챔버
본 발명은 일체형 실링부재를 구비한 알루미늄 챔버에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 금형에 의해 일체형 실링부재를 제조하고, 동시에 챔버의 각 면을 구성하는 각 판을 별도로 가공하여 상기 각 면이 접촉하는 일측에 일체형 실링부재를 삽입하고 체결부재에 의해 체결함으로써, 챔버 내부의 기밀을 유지하며, 동시에 알루미늄 챔버 제조 비용 및 제조 시간을 줄일 수 있는 알루미늄 챔버에 관한 것이다.
최근 반도체 소자, LCD, 유기EL, PDP(Plasma Display Panel) 등과 같은 구성부품들은 구조 또는 구성이 보다 정밀해지므로, 이러한 구성부품들의 제조 공정에서는 고정밀 처리 제어가 필요한데, 이러한 고정밀 처리 제어가 가능한 장치 중에 일반적으로 플라즈마 처리 장치가 각광받고 있다.
플라즈마 처리 장치로는 유도성 결합 플라즈마 소스(Inductively coupled plasma source), 마이크로파 플라즈마 소스(Microwave plasma source), 또는 용량성 결합 플라즈마 소스(Capacitively coupled plasma source)를 사용하는 장치가 있는데, 일반적으로 용량 결합형 평판 플라즈마 처리 장치가 널리 사용된다.
용량 결합형 평판 플라즈마 처리 장치는, 챔버내에 한 쌍의 평행 평판 전극(상부 및 하부 전극)이 배치되며 배기계가 연결되고, 또한 평행 평판 전극에는 고주파 전원이 접속되어 있다. 이러한 장치에서는, 배기계의 배기에 의해 진공도를 최대한 높여 챔버내의 불순물을 제거하고, 진공상태로 된 챔버내로 처리 가스를 투입하여 적절한 압력으로 상승시킨 다음, 전극 중 적어도 한쪽에 고주파 전압을 인가하여 전극사이에 고주파 전기장을 형성하여, 이 고주파 전기장에 의해 처리 가스로 플라즈마를 형성시켜 코팅, 에칭(etching), 애싱(ashing), 클리닝 등의 플라즈마 처리를 실시한다.
이 경우, 플라즈마 챔버는 진공상태를 유지하기 위해 외부와 격리되어야 하며, 전기적으로 고주파를 사용함으로써 전기 전도성이 좋아야 한다. 따라서, 종래에는 기밀성과 전기 전도성을 유지하기 위해, 알루미늄 괴 또는 블록을 밀링머신을 이용하여 칩(chip)가공을 하여 내부를 파냄으로써 챔버를 제작하였다. 그러나, 이러한 방법은 칩가공으로 인한 소재의 낭비가 심할 뿐 아니라 한 개의 블록에 대해 한 개의 챔버만 제작가능하므로 경제성이 떨어지고 제조 시간도 길어지며 또한, 챔버 내부의 표면처리가 매끄럽지 않아 플라즈마 처리시 균일한 플라즈마를 확보하기 힘들었고, 부피와 중량이 크며 분해조립이 불가능한 단일체이므로 제조공장에서 설치현장까지 운반하는데 상당한 비용과 시간이 소요되는 등 여러가지 문제점을 수반하였다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 고려하여 창안된 것으로서, 플라즈마 챔버의 각 면을 구성하는 각 판을 별도로 가공함으로써 알루미늄 소재의 낭비를 줄여 제작비를 낮추는 동시에 제조 시간을 단축하며, 표면처리를 좋게함으로써 균일한 플라즈마를 발생시키고, 또한 설치현장까지 간편하게 이동될 수 있는 알루미늄 플라즈마 챔버를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명의 다른 목적은 챔버 뚜껑, 챔버 벽을 구성하는 각 판, 및 챔버 바닥에 형성된 홈에 일체형 실링부재를 삽입하여 플라즈마 챔버를 완성함으로써 보다 용이하게 조립할 수 있는 알루미늄 플라즈마 챔버를 제공하는데 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위해서 본 발명에 따른 알루미늄 챔버는, 일정한 두께의 직사각형 형상을 가지는 알루미늄 플라즈마 챔버 바닥; 아래가 개방된 직육면체 형상을 가지며 일측면에 피처리물이 반입·반출되는 개폐부가 형성된 알루미늄 플라즈마 챔버 뚜껑; 상기 알루미늄 챔버 바닥과 뚜껑이 체결부재에 의해 체결되며, 일정한 두께를 가지며 서로 체결부재에 의해 체결되어 알루미늄 플라즈마 챔버의 벽을 구성하는 직사각형 형상의 네 개의 판; 상기 직사각형 형상의 네 개의 판 중에 어느 하나의 판의 측면에 형성된 피처리물이 반입·반출되는 개폐부;상기 각 판이 서로 맞닿는 단면의 어느 한쪽, 또는 양쪽에 형성된 결합턱; 및 상기 각 판이 서로 맞닿는 단면에 삽입되어 플라즈마 챔버 내부의 기밀을 유지하는 일체형 실링부재;를 포함한다.
한편, 바람직하게 상기 알루미늄 챔버의 벽을 구성하는 네 개의 판은, 알루미늄 플라즈마 챔버의 벽을 이루는 벽체부; 상기 벽체부의 일단에 형성되며 인접하는 일측 판의 피결합부와 결합되는 결합부; 및 상기 벽체부의 타단에 형성되며 인접하는 타측 판의 결합부와 결합되는 피결합부;를 포함한다.
또한, 상기 알루미늄 챔버의 벽을 구성하는 네 개의 판 중에서, 한 쌍의 판은, 알루미늄 플라즈마 챔버의 벽을 이루는 벽체부; 및 상기 벽체부의 양단부에 형성되며 인접하는 양측 판의 피결합부와 결합되는 결합부;를 포함하고, 다른 한 쌍의 판은, 알루미늄 플라즈마 챔버의 벽을 이루는 벽체부; 및 상기 벽체부의 양단부 에 형성되며 인접하는 양측 판의 결합부와 결합되는 피결합부;를 포함한다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 알루미늄 챔버 및 그 제조 방법을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정되는 것은 아니며, 본 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 적절하게 정의되었다. 따라서, 이들의 용어나 단어는 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다. 그러므로, 본 명세서에 기재된 실시예와 도면에 도시된 구성은 본 발명의 가장 바람직한 일 실시예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형예들이 있을 수 있음을 이해해야 한다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 알루미늄 플라즈마 챔버(100)의 분해 사시도이며, 도 2는 일체형 실링부재(10)의 사시도이며, 도 3a는 플라즈마 챔버 벽(50)을 구성하는 제1판(30)의 사시도이고, 도 3b는 플라즈마 챔버 벽(50)을 구성하는 제2판(40)의 사시도이다. 도면을 참조하면, 본 발명에 따른 알루미늄 플라즈마 챔버(100)는 일체형 실링부재(10), 챔버 바닥(20), 챔버 벽(50)을 구성하는 각 판(30)(40), 및 챔버 뚜껑(60)을 포함한다.
상기 일체형 실링부재(10)는 도 2에서 확인할 수 있듯이, 직육면체 형상의 알루미늄 플라즈마 챔버(100)를 구성하는 챔버 바닥(20), 챔버 벽을 구성하는 각 판(30)(40), 및 챔버 뚜껑(60)이 서로 맞닿는 단면에 삽입될 수 있도록, 직육면체의 변(邊)을 따라 연장되는 일체로 된 형상을 갖는다.
일체형 실링부재(10)는 챔버 바닥(20), 챔버 벽을 구성하는 각 판(30)(40), 및 챔버 뚜껑(60)사이의 기밀성을 유지하여, 플라즈마 반응에 필요한 챔버(100) 내부의 진공상태를 유지한다. 본 발명에서 일체형 실링부재(10)는 상기 목적을 달성하기 위해 합성고무로 제조되었지만 이제 한정되지 않는다.
상기 챔버 바닥(20)은 일정한 두께의 직사각형 형상을 가지며, 바람직하게 가장자리를 따라 결합턱(22)이 형성되고, 상기 결합턱(22)에는 일체형 실링부재(10)가 삽입되는 홈(24)이 가장자리를 따라 형성된다.
상기 결합턱(22)은 챔버(100) 내부 반응에 의해 발생하는 플라즈마에 의해 챔버 바닥(20)과 벽(50)이 맞닿는 단면사이에 삽입되는 상기 일체형 실링부재(10)가 손상받는 것을 방지하기 위해 형성된다. 즉, 챔버 바닥(20)의 가장자리를 따라 결합턱(22)이 형성되면, 챔버 바닥(20)과 벽(50)이 맞닿는 단면에 플라즈마가 침투하는 경로가 꺾이는 다중경로가 형성되어, 플라즈마의 침투를 방지하여 일체형 실링부재(10)를 보호할 수 있다. 이러한 결합턱(22)은 챔버 바닥(20), 챔버 벽(50)을 구성하는 각 판(30)(40), 및 챔버 뚜껑(60)이 서로 맞닿는 단면의 어느 한쪽, 또는 양쪽에 모두 형성될 수 있으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 수정 및 변형이 가능함은 물론이다.
결합턱(22)에 형성되는 상기 홈(24)은 일체형 실링부재(10)가 삽입되기에 적당한 크기로 형성되며, 챔버 바닥(20)뿐만 아니라, 챔버 벽(50)을 구성하는 각 판(30)(40), 챔버 뚜껑(60)의 하단부 등, 챔버 바닥(20), 벽(50)을 구성하는 각 판(30)(40), 및 뚜껑(60)이 서로 맞닿는 단면에 형성된다.
또한, 상기 결합턱(22)에는 챔버 바닥(20)과 벽을 구성하는 각 판(30)(40)을 서로 체결시켜주는 볼트와 같은 체결부재(28)가 삽입되는 통공(26)이 형성되며, 비록 도면에는 도시되지 않았지만 챔버 벽(50)을 구성하는 각 판(30)(40)의 하단부 단면에는 상기 통공(26)에 대응하는 결합공이 형성된다. 바람직하게 볼트와 같은 체결부재(28)를 사용하며, 이 경우에 챔버 바닥(20)과 벽(50)이 상기 볼트와 같은 체결부재(28)에 의해 이격되는 것을 방지하기 위해, 상기 통공(26)에는 나사산이 형성되지 않으며, 결합공에만 나사산이 형성된다. 도면에는 챔버 바닥(20)의 각 면의 가장자리에 세 개의 통공(26)이 각각 형성됐지만, 이에 한정되지는 않으며, 챔버 바닥(20)과 벽(50)을 서로 체결시켜주며 기밀성을 유지하기에 적당한 갯수의 통공(26)과 결합공이 형성될 수 있다. 챔버 벽(50)을 구성하는 각 판(30)(40)의 상단부 단면 및 챔버 뚜껑(60)에도 결합공(32)(42)과 통공(61)이 형성되며 이에 대한 설명은 상기 설명으로 대체하겠다.
상기 알루미늄 플라즈마 챔버 벽(50)은 네 개의 직사각형 판(30)(40)으로 구성되며, 본 실시예에서 각 판은 같은 형상 및 크기를 갖는 제1판(30) 및 제2판(40)이 한 쌍씩 마주보도록 체결되어 플라즈마 챔버 벽(50)을 구성한다.
상기 제1판(30)은 일정한 두께를 갖는 직사각형의 형상을 가지며, 플라즈마 챔버의 벽을 이루는 벽체부(34), 인접하는 양측 판의 결합부와 결합되며 결합공(37)이 형성되는 피결합부(35)(36)로 이루어진다.
상기 피결합부(35)(36)에는 벽체부(34)와 직각이 되도록 양측 판 결합부의 선단부 내측면이 결합되며, 벽체부(34) 외측면과 양측 판 선단부가 동일 평면에 놓 이게 결합된다. 피결합부(35)(36)의 선단부에는 적당한 갯수의 결합공(37)이 형성되어 볼트와 같은 체결부재(44)에 의해 양측 판의 결합부와 결합되며, 하부면을 제외한 상부면, 양측면에 일체형 실링부재(10)가 삽입되는 홈(31)이 연장되어 형성된다.
상기 제2판(40)은 일정한 두께를 갖는 직사각형의 형상을 가지며, 플라즈마 챔버의 벽을 이루는 벽체부(46), 인접하는 양측 판의 피결합부와 결합되며 통공(43)이 형성되는 결합부(47)(48)로 이루어진다.
상기 결합부(47)(48)의 선단부 내측면에는 양측 판의 피결합부가 결합되며, 선단부와 양측 판 벽체부의 외측면이 동일 평면에 놓이게 결합된다. 결합부(47)(48)의 선단부 내측면에는 적당한 갯수의 통공(43)이 형성되어 볼트와 같은 체결부재(44)에 의해 양측 판의 피결합부와 결합되며, 일체형 실링부재(10)가 삽입되는 홈(41)이 상면을 따라 형성된다. 또한, 제2판(40)의 양단부에는 결합부(47)(48)와 함께 결합턱(45)이 형성되어 전술한대로 일체형 실링부재(10)가 플라즈마에 의해 손상받는 것을 방지한다.
상기 제1판(30) 또는 제2판(40)의 측면에는 피처리물이 반입·반출되는 개폐부(52)가 형성된다. 비록, 도면에서는 제1판(30)에 형성된 것으로 도시됐지만, 이제 한정되지 않고 제2판(40)에 형성될 수 있음은 물론이다. 상기 개폐부(52)는 챔버 뚜껑(60)의 일측면에 형성된 개구부(54)와 상기 개구부(54)를 개폐시키는 개폐부재(56) 및 상기 개폐부재(56)가 상·하로 움직이는 경우에 가이드해주는 가이드부재(55)를 포함한다. 상기 개구부(54)는 피처리물이 반입·반출되기에 적당한 크 기로 챔버 뚜껑(60)의 일측면에 뚜껑(60)의 벽을 관통하여 형성되며, 바람직하게 수평방향으로 길게 연장된 납작한 형상을 갖는다. 상기 개폐부재(56)는 가이드부재(55)를 따라 상·하로 이동을 하는데, 작업자가 수동으로 개폐부재(56)를 직접 움직일 수도 있지만, 이러한 예에만 한정되지는 않으며, 별도의 실린더 등을 구비하여 자동으로 움직이도록 구성할 수도 있다. 개폐부재(56)의 안쪽 측면에는 상기 개구부(54)의 형상에 대응하는 돌출부(미도시)가 형성되어, 개폐부재(56)가 가이드부재(55)를 따라 상승한 경우, 돌출부가 개구부(54)에 끼워맞춰져서 개구부(54)가 폐쇄되며, 개폐부재(56)가 가이드부재(55)를 따라 하강한 경우에는 개폐부재(56)가 개구부(54)에서 떨어지게 되어 개구부(54)가 개방된다. 이러한 개폐부(52)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 적절하게 변형되어 채용될 수 있다.
한편, 제1판(30) 및 제2판(40)의 상면 및 하면에는 적당한 갯수의 결합공(32)(42)이 형성되어 각각 챔버 뚜껑(60) 및 바닥(20)과 볼트와 같은 체결부재(62)(28)에 의해 체결된다.
한 쌍의 제1판(30) 및 제2판(40)이 서로 체결되어 플라즈마 챔버 벽(50)을 이루게 되는데, 플라즈마 챔버 벽을 이루는 각 판은 본 실시예의 크기 및 형상에 의해 한정되지 않고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 적절하게 변형될 수 있다. 도 4는 도 1의 플라즈마 챔버 벽(50)의 평면도를 나타내며 도 5 또는 6은 다양한 실시예에 의한 플라즈마 챔버 벽(70)(80)의 평면도를 나타낸다.
도면을 참조하면, 본 실시예의 플라즈마 챔버 벽(50)의 각 판은, 전술한대로 마주보는 한 쌍의 제1판(30)의 양단부에 피결합부가 형성되고, 한 쌍의 제2판(40)의 양단부에는 결합부와 함께 결합턱이 형성되어 결합된다(도 4 참조). 이에 반해 다른 실시예에서는 각 판의 일단에 결합부 및 결합턱이 형성되고, 타단에 피결합부가 형성되어 결합되거나(도 5 참조), 각 판의 양단에 결합턱과 함께 결합부 또는 피결합부가 적절하게 형성되어 결합될 수 있다(도 6 참조).
상기 챔버 뚜껑(60)은 아래가 개방된 직육면체의 형상을 가지며, 전술한대로 챔버 벽(50)과 맞닿는 단면에 결합턱이 형성되는 것이 바람직하며, 또한 적당한 갯수의 통공(61)이 형성되어 볼트와 같은 체결부재(62)에 의해 챔버 벽(50)과 체결된다.
그러면, 상기와 같은 구조를 가진 본 발명에 따른 알루미늄 챔버의 조립 방법에 대해서 간단히 살펴보기로 한다.
본 발명에서 상기 일체형 실링부재(10)는 일반 금형에 의해 사출성형의 방법으로 제조된다. 먼저 원료고무를 롤러로 개어서 고무입자의 균일화, 및 분자의 절단을 유도하여 탄성을 없애고 가소성을 증가시키며, 가황제, 노화방지제 등을 배합한다. 이경우, 가황제는 원료고무를 3차원 그물 모양 구조로 만들어 탄력성을 부여하며, 노화방지제는 시간이 흐를수록 점착성이 증가하거나 균열이 생기고 또 굳어지기도 하는 고무의 노화를 방지한다. 이어서, 원료고무를 미리 준비한 금형 내에 장전하고, 조립된 금형을 고압으로 가압하여 일체형 실링부재(10)를 성형한다. 원하는 수준으로 가압성형이 이루어지면, 금형을 분리하고 일체형 실링부재(10)를 분 리한다. 이와 같은 공정을 거쳐, 직육면체의 골격 형상을 갖는 일체형 실링부재(10)를 얻을 수 있다.
챔버 바닥(20)은 밀링머신 등을 이용하여 챔버 벽(50)의 하면 형상 및 크기에 대응하여 일정한 두께를 갖는 직사각형 형상으로 제조하며, 챔버 벽(50)을 구성하는 각 판(30)(40)은 전술한대로 벽체부(34)(46), 결합부(47)(48), 및 피결합부(35)(36)가 형성된 직사각형 형상으로 제조한다. 또한, 챔버 뚜껑(60)은 알루미늄 괴 또는 블록을 밀링머신 등을 이용하여 가공하여 일정한 두께를 갖는 아래가 개방된 직육면체 형상으로 제조한다. 이경우, 바람직하게 상기 플라즈마 챔버 바닥(20), 벽(50)을 구성하는 각 판(30)(40), 및 뚜껑(60)이 서로 맞닿는 단면의 어느 한쪽, 또는 양쪽에 결합턱, 및 일체형 실링부재(10)가 삽입되는 홈을 적절하게 형성시킨다.
다음으로, 일체형 실링부재(10)에 플라즈마 챔버 바닥(20), 한 쌍의 제1판(30), 한 쌍의 제2판(40), 플라즈마 챔버 뚜껑(60)을 순서대로 조립한다. 플라즈마 챔버 바닥(20), 뚜껑(60), 및 각 판(30)(40)의 홈(24)(31)(41)에 상기 일체형 실링부재(10)를 삽입하고, 볼트와 같은 체결부재(28)(44)(62)에 의해 서로 체결을 하여 알루미늄 플라즈마 챔버(100)를 완성한다.
본 발명에 따른 알루미늄 플라즈마 챔버에 따르면, 챔버를 구성하는 챔버 뚜껑, 챔버 벽을 구성하는 각 판, 및 챔버 바닥을 별도로 가공함으로써 종래의 칩가공에 비해 소재의 낭비를 줄일 수 있어 제조 비용을 낮출 수 있을 뿐만 아니라, 제 조 시간도 단축할 수 있다. 또한, 각 요소의 표면처리를 좋게하여 균일한 플라즈마를 형성시킬 수 있으며, 각 구성요소별로 이동이 가능하여 설치현장까지 운반하는데 편리하다.
또한, 본 발명에 따르면 챔버 뚜껑, 챔버 벽을 구성하는 각 판, 및 챔버 바닥에 형성된 홈에 일체형 실링부재를 삽입하여 플라즈마 챔버를 완성함으로써 보다 용이하게 챔버를 조립할 수 있다.

Claims (3)

  1. 일정한 두께의 직사각형 형상을 가지는 알루미늄 플라즈마 챔버 바닥;
    아래가 개방된 직육면체 형상을 가지는 알루미늄 플라즈마 챔버 뚜껑;
    상기 알루미늄 챔버 바닥과 뚜껑이 체결부재에 의해 체결되며, 일정한 두께를 가지며 서로 체결부재에 의해 체결되어 알루미늄 플라즈마 챔버의 벽을 구성하는 직사각형 형상의 네 개의 판;
    상기 직사각형 형상의 네 개의 판 중에 어느 하나의 판의 측면에 형성된 피처리물이 반입·반출되는 개폐부;
    상기 플라즈마 챔버 뚜껑, 바닥, 및 각 판이 서로 맞닿는 단면의 어느 한쪽, 또는 양쪽에 형성된 결합턱; 및
    상기 챔버 뚜껑, 바닥, 및 각 판이 서로 맞닿는 단면에 삽입되어 플라즈마 챔버 내부의 기밀을 유지하는 일체형 실링부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 알루미늄 플라즈마 챔버.
  2. 제1항에 있어서, 상기 알루미늄 챔버 벽을 구성하는 네 개의 판 중에서,
    한 쌍의 판은,
    알루미늄 플라즈마 챔버의 벽을 이루는 벽체부; 및
    상기 벽체부의 양단부에 형성되며 인접하는 양측 판의 피결합부와 결합되는 결합부;를 포함하고,
    다른 한 쌍의 판은,
    알루미늄 플라즈마 챔버의 벽을 이루는 벽체부; 및
    상기 벽체부의 양단부에 형성되며 인접하는 양측 판의 결합부와 결합되는 피결합부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 알루미늄 플라즈마 챔버.
  3. 제1항에 있어서, 상기 알루미늄 챔버의 벽을 구성하는 네 개의 판은,
    알루미늄 플라즈마 챔버의 벽을 이루는 벽체부;
    상기 벽체부의 일단에 형성되며 인접하는 일측 판의 피결합부와 결합되는 결합부; 및
    상기 벽체부의 타단에 형성되며 인접하는 타측 판의 결합부와 결합되는 피결합부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 알루미늄 플라즈마 챔버.
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