KR100544896B1 - 일체형 실링부재를 구비한 알루미늄 플라즈마 챔버 - Google Patents
일체형 실링부재를 구비한 알루미늄 플라즈마 챔버 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (3)
- 일정한 두께의 직사각형 형상을 가지는 알루미늄 플라즈마 챔버 바닥;아래가 개방된 직육면체 형상을 가지는 알루미늄 플라즈마 챔버 뚜껑;상기 알루미늄 챔버 바닥과 뚜껑이 체결부재에 의해 체결되며, 일정한 두께를 가지며 서로 체결부재에 의해 체결되어 알루미늄 플라즈마 챔버의 벽을 구성하는 직사각형 형상의 네 개의 판;상기 직사각형 형상의 네 개의 판 중에 어느 하나의 판의 측면에 형성된 피처리물이 반입·반출되는 개폐부;상기 플라즈마 챔버 뚜껑, 바닥, 및 각 판이 서로 맞닿는 단면의 어느 한쪽, 또는 양쪽에 형성된 결합턱; 및상기 챔버 뚜껑, 바닥, 및 각 판이 서로 맞닿는 단면에 삽입되어 플라즈마 챔버 내부의 기밀을 유지하는 일체형 실링부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 알루미늄 플라즈마 챔버.
- 제1항에 있어서, 상기 알루미늄 챔버 벽을 구성하는 네 개의 판 중에서,한 쌍의 판은,알루미늄 플라즈마 챔버의 벽을 이루는 벽체부; 및상기 벽체부의 양단부에 형성되며 인접하는 양측 판의 피결합부와 결합되는 결합부;를 포함하고,다른 한 쌍의 판은,알루미늄 플라즈마 챔버의 벽을 이루는 벽체부; 및상기 벽체부의 양단부에 형성되며 인접하는 양측 판의 결합부와 결합되는 피결합부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 알루미늄 플라즈마 챔버.
- 제1항에 있어서, 상기 알루미늄 챔버의 벽을 구성하는 네 개의 판은,알루미늄 플라즈마 챔버의 벽을 이루는 벽체부;상기 벽체부의 일단에 형성되며 인접하는 일측 판의 피결합부와 결합되는 결합부; 및상기 벽체부의 타단에 형성되며 인접하는 타측 판의 결합부와 결합되는 피결합부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 알루미늄 플라즈마 챔버.
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