KR101058750B1 - 진공처리장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 진공상태에서 웨이퍼, LCD 패널용 유리기판 등의 기판을 처리할 수 있는 진공처리장치에 관한 것이다.
특히 본 발명에 따른 진공처리장치는 다면체를 형성하고 2개 이상의 면에 개구부가 형성된 제1챔버부재와; 상기 제1챔버부재의 개구부를 복개하여 기판이 진공처리되는 진공처리공간을 형성할 수 있도록 상기 제1챔버부재와 탈착 가능하게 밀착결합되는 복수 개의 제2챔버부재와; 상기 진공처리공간을 밀봉할 수 있도록, 상기 제1,2챔버부재 사이 및 상기 제2챔버부재들 사이에 개재되는 복수 개의 밀봉부재들과; 상기 진공처리공간에 설치되어 상기 기판의 진공처리를 위한 가스를 공급하는 가스공급부를 포함함으로써, 분할되어 용이하게 운송될 수 있다.
진공처리장치, 밀봉부재, 진공처리, 기판, LDC패널용 유리기판

Description

진공처리장치{Vacuum Processing Apparatus}
본 발명은 진공처리장치에 관한 것으로서, 진공상태에서 웨이퍼, LCD 패널용 유리기판 등의 기판을 처리할 수 있는 진공처리장치에 관한 것이다.
진공처리장치는 진공처리공간에 전극을 설치하고, 진공상태에서 전극에 전원을 인가하여 플라즈마를 형성하여 전극 위에 안착된 기판의 표면을 증착, 식각하는 등 처리공정을 수행하는 장치이다.
이러한 진공처리장치에 의해 처리되는 기판 중 하나로는 LCD 패널용 유리기판이 있는데, LCD 패널용 유리기판은 LCD의 대형화 추세에 맞춰 그 크기가 증대되고 있고 수율성을 높이기 위해 대량 생산화하고 있어서, 상기와 같은 LCD 패널용 유리기판 등을 처리하기 위해 진공처리장치 또한 대형화되고 있다.
따라서, 상술한 바와 같이 진공처리장치가 대형화됨에 따라, 대형으로 제작하는데 따른 비용 및 기술상의 문제점뿐만 아니라, 상당한 크기 및 무게의 진공처리장치를 운송하는데 따른 문제점이 있다. 특히 도로 폭 때문에 폭 제한을 받는다.
본 발명의 목적은 상기한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 복수 개로 분할하여 형성하고 탈착 가능토록 조합함으로써 제조 및 운송이 용이해질 수 있는 진공처리장치를 제공하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 밀봉부재를 폐쇄형 구조로 형성함으로써 진공처리 공간 내에 형성되는 진공압의 리크(leak)를 방지할 수 있어 밀봉성이 우수한 진공처리장치를 제공하는 데 있다.
상기한 과제를 해결하기 위해 본 발명은 다면체를 형성하고 2개 이상의 면에 개구부가 형성된 제1챔버부재와; 상기 제1챔버부재의 개구부를 복개하여 기판이 진공처리되는 진공처리공간을 형성할 수 있도록 상기 제1챔버부재와 탈착 가능하게 밀착결합되는 복수 개의 제2챔버부재와; 상기 진공처리공간을 밀봉할 수 있도록, 상기 제1,2챔버부재 사이 및 상기 제2챔버부재들 사이에 개재되는 복수 개의 밀봉부재들과; 상기 진공처리공간에 설치되어 상기 기판의 진공처리를 위한 가스를 공급하는 가스공급부를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치를 개시한다.
상기 제1챔버부재는 직육면체로 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 진공처리장치는 상하방향 길이를 높이, 전후방향 길이를 길이, 그리고 좌우방향 길이를 폭이라 할 때, 최장 길이 치수가 최장 폭 치수보다 크도록 형성된 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 진공처리장치는 적어도 상기 폭방향으로 분할되도록 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 제1챔버부재는 상면 및 복수의 측면 중 서로 마주보는 한쌍의 측면에 각각 상기 개구부가 형성된 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 제2챔버부재는 상기 제1챔버부재의 상면에 형성된 개구부를 복개하고, 그 하측에 상기 가스공급부가 설치되는 상면챔버부재와; 상기 제1챔버부재의 한 쌍의 측면에 형성된 개구부를 각각 복개하는 한 쌍의 측면챔버부재들을 포함하는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 제1챔버부재의 상면에 형성된 개구부는 상기 기판을 지지하는 기판지지부의 평면크기보다 크게 형성된 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 제2챔버부재 중 적어도 하나는 상기 제1챔버부재의 개구부에 형합되는 공간을 갖는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 밀봉부재는 상기 제1챔버부재의 개구부 전 둘레를 감싸는 링 형상으로 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 제1,2챔버부재 사이 및 상기 제2챔버부재들 사이에는 각각, 전도성 오링이 개재되는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 진공처리장치는 한변의 길이가 2000mm 이상인 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 제1,2챔버부재 중 적어도 어느 하나에는 온도제어를 위한 열전달매체가 흐르는 유로가 형성된 것을 특징으로 할 수 있다.
또한 상기한 과제를 해결하기 위해 본 발명은 다면체를 형성하고, 상면을 포함하여 2개 이상의 면에 개구부가 형성된 제1챔버부재와; 상기 제1챔버부재의 상기 상면을 제외한 나머지 개구부를 복개하도록 상기 밀봉보조부재와 탈착 가능하게 밀착결합된 적어도 하나의 제2챔버부재와; 상기 제1챔버부재의 상기 상면에 형성된 개구부를 탈착 가능하게 복개하여 상기 제2챔버부재와 함께 진공처리공간을 형성하며 상기 진공처리공간에 가스를 공급하는 가스공급부와; 상기 가스공급부가 개재되어 상기 제1챔버부재와 탈착가능하게 결합되는 상면챔버부재와; 상기 진공처리공간을 밀봉할 수 있도록 상기 제1챔버부재 및 상기 가스공급부 사이, 상기 가스공급부 및 상면챔버부재 사이에 각각 개재되는 복수 개의 밀봉부재들을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공처리장치를 개시한다.
또한 상기한 과제를 해결하기 위해 본 발명은 다면체를 형성하고, 상면을 포함하여 2개 이상의 면에 개구부가 형성된 제1챔버부재와; 상기 제1챔버부재의 상기 상면을 제외한 나머지 개구부를 복개하도록 상기 밀봉보조부재와 탈착 가능하게 밀착결합된 적어도 하나의 제2챔버부재와; 상기 제1챔버부재의 상기 상면에 형성된 개구부를 탈착 가능하게 복개하여 상기 제2챔버부재와 함께 진공처리공간을 형성하며 상기 진공처리공간에 가스를 공급하는 가스공급부와; 상기 가스공급부가 개재되어 상기 제1챔버부재와 탈착가능하게 결합되는 상면챔버부재와; 상기 진공처리공간을 밀봉할 수 있도록 상기 제1챔버부재 및 상기 가스공급부, 상기 가스공급부 및 상면챔버부재 사이에 각각 개재되는 복수 개의 밀봉부재들을 포함하는 것을 특징으 로 하는 진공처리장치를 개시한다.
상기 가스공급부와 상기 상면챔버부재 사이에 개재되는 밀봉부재는 상기 가스공급부와 상기 상면챔버부재 사이 전 둘레를 감싸는 링 형상으로 형성되는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 제1챔버부재 및 상기 제2챔버부재, 상기 가스공급부, 상기 상면챔버부재 사이 중 적어도 어느 하나에는 전도성 오링이 개재되는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기 제1,2챔버부재, 상기 상면챔버부재 중 적어도 어느 하나에는 온도제어를 위한 열전달매체가 흐르는 유로가 형성된 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명에 따른 진공처리장치는 복수 개로 분할 형성되어 상호 탈착 가능하게 밀착결합됨으로써, 제조가 용이해질 수 있고 아울러 제조비가 절감될 수 있는 이점을 갖는다.
또한 본 발명에 따른 진공처리장치는 복수 개로 분할 형성되어 상호 탈착 가능하게 밀착 결합됨으로써, 전체적인 크기 및 중량에 구애받지 않고 분할 상태로 용이하게 운송할 수 있는 이점을 갖는다.
또한 본 발명에 따른 진공처리장치는 폭 방향으로 분할 형성됨으로써, 도로의 폭에 제한받지 않고 용이하게 설계될 수 있는 이점을 갖는다.
또한 본 발명에 따른 진공처리장치는 제1챔버부재를 중심으로 구성되는 복수 개의 제2챔버부재들로 형성됨으로써, 그 중심부와 주변부로 분할되기 때문에 그 중심부에 분할경계가 형성되는 것을 피할 수 있어 강성 및 밀봉성이 우수한 이점을 갖는다.
또한 본 발명에 따른 진공처리장치는 밀봉부재가 밀봉보조부재의 개구부의 전 둘레를 감쌀 수 있도록 폐쇄형 구조로 형성됨으로써 진공처리공간의 전 부분에서 진공압의 누설을 방지할 수 있어 밀봉성이 우수한 이점을 갖는다.
또한 본 발명에 따른 진공처리장치는 제1챔버부재의 상면 및 한쌍의 측면이 완전히 뚫리지 않고 개구부가 형성됨으로써 상기 링형의 밀봉부재 전 부분이 지지될 수 있기 때문에, 링형의 밀봉부재를 지지하기 위해 별도의 밀봉보조부재를 설치할 필요가 없는 이점을 갖는다.
이하 본 발명에 따른 진공처리장치에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명의 제1실시 예에 따른 진공처리장치의 분해 사시도이고, 도 2는 본 발명의 제1실시 예에 따른 진공처리장치의 정단면도이고, 도 3은 본 발명의 제1실시 예에 따른 진공처리장치의 측단면도이고, 도 4는 본 발명의 제1실시 예에 따른 진공처리장치의 평단면도이고, 도 5는 본 발명의 제1실시 예에 따른 진공처리장치의 상면챔버부재를 분리한 상태 평면도이다.
본 발명에 따른 진공처리장치는 웨이퍼 또는 LCD 패널용 유리기판 등 기 판(10)의 표면을 식각하거나 표면에 소정의 특성을 가지는 박막을 형성하는 등 진공처리공정을 수행하는 장치로서, 밀폐된 진공처리공간에 가스를 주입하면서 플라즈마를 형성하도록 구성될 수 있다.
상기 진공처리장치는 기판(10)을 지지할 수 있도록 상기 진공처리공간(2)에 설치되는 기판지지부(12)가 설치된다.
그리고 상기 기판지지부(12)는 내부에 기판(10)을 고정하기 위한 정전척(미도시) 및 기판(10)을 기판지지부(12)로부터 승하강시키기 위한 리프트핀(미도시) 등이 설치될 수 있다. 나아가 상기 기판지지부(12)는 안착된 기판(10)을 가열하기 위한 히터가 그 내부에 구비될 수 있다.
또한 상기 진공처리장치는 진공처리공간(2)의 상측, 즉 후술하는 상면챔버부재(22)의 하측에 설치되어 진공처리공간(2)에 가스를 공급하도록 가스공급장치와 가스공급관(16)과 연결되는 가스공급부(15)와, 진공처리공간(2) 내에 플라즈마를 형성하도록 전원을 인가하는 전원인가부와, 배기 및 압력제어를 위한 배기관(18)에 의하여 진공펌프와 연결되는 배기구(미도시) 등 다양한 모듈 및 장치들(설치물)이 설치될 수 있다.
상기 전원인가부는 전원인가방식에 따라서 다양한 구성이 가능하며, 후술하는 제2챔버부재(22,24,26)들을 비롯하여 상기 가스공급부(15)를 접지하여 구성하는 상부전극과, 기판지지부(12)에 설치되어 RF전원이 인가되는 하부전극으로 구성될 수 있다.
상기 진공처리장치는 일체형 구조로 형성될 수 있지만, 대형의 LCD패널용 유 리기판 등 기판(10)의 진공처리도 가능하도록 그 한변의 길이가 2000mm 이상인 대형으로 형성될 수 있도록, 본 실시 예와 같이 분리형 구조로 형성되는 것이 보다 바람직하다.
즉 상기 분리형 구조의 진공처리장치는 복수 개로 분할 형성되어 탈착 가능토록 결합됨으로써, 용이하게 조립, 분리될 수 있다.
특히 상기 진공처리장치는, 상하방향(좌표 Z) 길이를 높이, 전후방향(좌표 Y) 길이를 길이, 그리고 좌우방향(좌표 X) 길이를 폭이라 할 때, 운송시 도로 폭 때문에 폭 제한을 받는다. 따라서 상기 진공처리장치는 상기 진공처리공간(2)이 충분히 확보되고 아울러 상기 진공처리장치의 폭이 운반이 용이한 범위 내에서 설계될 수 있도록, 최장 길이 치수가 최장 폭 치수보다 크도록 형성되는 것이 바람직하다.
나아가 진공처리장치는 적어도 폭방향으로 분할될 수 있도록 형성될 수 있다. 그러면, 상기 진공처리장치가 분할되어 운반됨으로써, 상기 진공처리장치의 폭으로 인한 상기 진공처리장치의 운반의 어려움이 해소될 수 있고, 아울러 상기 진공처리장치의 폭 제한이 완화될 수 있다.
그리고 상기 진공처리장치는 다양한 형상으로 설계될 수 있지만, 구조적으로 간소하고 안정적이도록 본 실시 예와 같이 6개의 면을 갖는 직육면체로 형성되는 것이 보다 바람직하다.
상기 진공처리장치는 다면체를 형성하고 2개 이상의 면에 개구부(1A)가 형성된 제1챔버부재(1)와, 상기 제1챔버부재(1)의 개구부(1A)를 복개하여 상기 진공처 리공간(2)을 형성할 수 있도록 상기 제1챔버부재(1)와 탈착 가능하게 밀착결합되는 복수 개의 제2챔버부재(22,24,26)와, 상기 진공처리공간(2)을 밀봉할 수 있도록 상기 제1,2챔버부재(1,22,24,26) 사이 및 상기 제2챔버부재(22,24,26)들 사이에 개재되는 복수 개의 밀봉부재(30)들을 포함하여 구성될 수 있다. 이때 상기 제1,2챔버부재(1,22,24,26)는 진공처리공정시 형성되는 진공압력을 충분히 견딜 수 있도록 견실하게 형성된다.
상기 제1챔버부재(1)는 일체로 형성되고, 직육면체 등 다면체 형상을 이룬다. 즉 상기 제1챔버부재(1)는 본 실시 예와 같이 6개의 면을 갖는 직육면체로 형성되는 것으로 한정되지 않고 다양한 형상을 가질 수 있다.
다만, 상기 제1챔버부재(1)는 상술한 바와 같이 상기 진공처리장치가 폭방향으로 분할될 수 있도록, 개구부(1A)가 상기 진공처리장치의 폭방향에 대응되는 상기 제1챔버부재(1)의 좌,우측면 중 적어도 어느 하나에 위치되도록 형성되는 것이 보다 바람직하다.
또한 상기 진공처리장치의 중심부에는 상기 기판지지부(12) 및 상기 기판(10) 등이 설치되기 때문에 상기 진공처리장치의 강성 및 밀봉성을 위해서는 분할 경계가 형성되지 않는 것이 바람직하다. 상기 제1챔버부재(1)는 상기 진공처리장치의 중심부를 형성하기 위해, 한 쌍의 개구부(1A)가 상기 제1챔버부재(1)의 복수 측면에 서로 마주보도록 위치되도록 복수 쌍의 개구부(1A)가 형성될 수 있다.
아울러, 상기 제1챔버부재(1)는, 상기 진공처리장치의 상측부를 통해 상기 진공처리장치 내의 중량물을 유지,보수할 수 있도록, 상면에 개구부(1A)가 형성되 는 것이 바람직하다.
이러한 상기 제1챔버부재(1)는 그 안쪽 공간에 상기 기판지지부(12) 등이 위치될 수 있는 크기로 설계되는 것이 보다 바람직하다. 특히 상기 제1챔버부재(1)는 상기 기판지지부(12) 등의 설치가 용이하도록, 그 상면에 형성된 개구부(1A)가 상기 기판 지지부(12)의 평면 크기보다 크게 형성되는 것이 바람직하다.
따라서 상기 제1챔버부재(1)는 복수 측면 중 게이트(4)를 기준으로 좌, 우측면에 각각 개구부(1A)가 형성되는 것이 바람직하다.
상기 제2챔버부재(22,24,26)는 일체로 형성되어 상기 제1챔버부재(1)의 개구부(1A)를 복개할 수도 있지만, 상기 진공처리장치가 보다 많은 개수로 분할되고 상기 진공처리장치의 구조 및 탈착이 용이하도록 상기 제1챔버부재(1)의 개구부(1A)를 각각 복개토록 복수 개로 구성되는 것이 보다 바람직하다.
즉, 상기 제2챔버부재(22,24,26)는 상기 제1챔버부재(1)의 상면에 형성된 개구부(1A)를 복개하고 그 하측에 상기 가스공급부(15)가 설치되는 상면챔버부재(22)와, 상기 제1챔버부재(1)의 한 쌍의 측면에 형성된 개구부(1A)를 각각 복개하는 한 쌍의 측면챔버부재(24,26)들을 포함할 수 있다.
상기 상면챔버부재(22)는 진공처리장치의 상면을 이루는 구성으로서, 진공처리장치의 내부에 설치된 설치물들의 수리나 교체를 위하여 측면챔버부재(24,26)의 상측에 탈착가능하게 설치되며, 샤워헤드인 가스공급부(15)가 하측에 탈착가능하게 결합될 수 있다.
상기 한 쌍의 측면챔버부재(24,26)는 내측면이 평활하거나 상기 제1챔버부 재(1)의 개방된 부분에 삽입되도록 양각부가 형성될 수 있다. 또는 본 실시예와 같이 한 쌍의 측면챔버부재(24,26)는 상기 진공처리공간(2)의 일부를 이루는 공간이 형성될 수 있도록 음각부(24A,26A)가 형성될 수 있다.
여기서, 상기 진공처리공간(2)에 각진 부분이 있으면 플라즈마 반응시 아킹이 발생될 수 있기 때문에 상기 진공처리장치의 내측면에 단차가 형성되지 않도록 상기 한쌍의 측면챔버부재(24,26)의 음각부(24A,26A)는 상기 제1챔버부재(1)의 개구부(1A)와 형합되도록 형성되는 것이 보다 바람직하다.
한편, 상기 제1,2챔버부재(1,22,24,26)들의 각각의 내측면에는 진공처리공정시 상기 제1,2챔버부재(1,22,24,26)의 각각의 내측면 손상을 방지할 수 있도록 라이너(34)(liner)가 복개될 수 있다. 상기 라이너(34)는 상술한 특성을 만족할 수 있다면 어느 것이든 무방하다. 다만, 상기 라이너(34)는 상기 진공처리장치가 상기 기판(10)의 진공처리를 위해 이용되는 경우 상기 진공처리장치가 전기의 접지 역할을 하는바 상기 진공처리장치의 전기적 특성을 만족할 수 있도록 형성된다.
상기 제1,2챔버부재(1,22,24,26)들은 스크류 등의 체결부재(미도시)에 의해 상호 결합되며, 상기 제1,2챔버부재(1,22,24,26) 중 적어도 어느 하나에는 상기 기판(10) 등의 출입이 가능토록 적어도 하나의 게이트(4)가 형성될 수 있다. 상기 게이트(4)는 게이트 밸브 등에 의해 개폐된다.
그리고 상기 제1,2챔버부재(1,22,24,26) 중 적어도 어느 하나에는 후술할 밀봉부재(30)가 끼워질 수 있도록 홈(H)이 형성될 수 있으며, 상기 밀봉부재(30)는 상기 진공처리장치의 내부공간이 견고하게 밀봉할 수 있도록 상기 각각의 제1,2챔 버부재(1,22,24,26) 사이에 개재된다.
특히 밀봉부재(30)는 상기 제1챔버부재(1)의 개구부(1A)를 둘러 감쌀 수 있도록 링 형상을 취함으로써, 상기 진공처리장치의 내부공간을 뚫린 곳 없이 폐쇄형태로 견고하게 밀봉할 수 있다. 이때 상기 제1챔버부재(1)는 상기 밀봉부재(30)가 개재되는 면이 완전히 뚫리지 않고 개구부(1A)가 형성됨으로써 상기 링형의 밀봉부재(30) 전 부분을 지지할 수 있기 때문에, 상기 링형의 밀봉부재(30)를 지지하기 위해 별도의 밀봉보조부재를 설치할 필요가 없어 보다 효과적이다.
이러한 밀봉부재(30)는 밀봉 역할을 할 수 있다면 어떠한 것이든 가능하며, 바람직한 예로써 탄성재질의 오링이나 실리콘, 페이스트로 구현될 수 있다.
상기한 바와 같은 진공처리장치는 전기의 접지 역할을 하는바, 상기 복수 개의 제1,2챔버부재(1,22,24,26)들의 경계부분에서도 전기의 흐름이 원활하도록 상기 복수 개의 제1,2챔버부재(22,24,26)들이 상호간에 전기적으로 연결하는 전도성 오링(32)이 개재될 수 있다. 상기 전도성 오링(32)은 금속 가스켓을 비롯하여 상기 진공처리장치의 전기적 특성을 만족할 수 있다면 어떠한 재질이든 무방하다.
한편, 상기 진공처리장치의 진공처리능력 향상을 위해 상기 진공처리장치를 냉각하거나 상기 진공처리장치의 온도를 상승시킬 수 있도록, 상기 진공처리장치 즉 상기 제1,2챔버부재(1,22,24,26) 중 적어도 어느 하나에는 온도제어를 위한 냉매와 같은 열전달매체가 유동되고, 상기 열전달매체를 방열 또는 가열하는 열처리시스템과 연결된 유로(미도시)가 형성될 수 있다.
이하, 도 6을 참조하여 본 발명의 제2실시예를 상세히 설명한다.
도 6은 본 발명의 제2실시예에 따른 진공처리장치의 분해 사시도이다.
본 발명의 제2실시예에 따른 진공처리장치는 상면 및 저면, 측면 중 2면에 개구부(101A)가 형성된 제1챔버부재(101)와, 상기 제1챔버부재(101)의 개구부(101A)를 복개할 수 있도록 상기 제1챔버부재(101)와 탈착 가능하게 밀착 결합되는 복수 개의 제2챔버부재(120,122,124,126)와, 상기 제1챔버부재(101)와 상기 제2챔버부재(120,122,124,126) 사이에 개재되는 밀봉부재(130)를 포함할 수 있다.
상기 제1챔버부재(101)는 상기 진공처리장치가 폭 방향 및 길이방향으로 각각 분할될 수 있도록, 좌,우측면 중 어느 한 면과 전,후측면 중 어느 한 면에 각각 개부구(101A)가 형성될 수 있다.
상기 제2챔버부재(120,122,124,126)는 상기 제1챔버부재(101)의 상면을 복개할 수 있는 챔버부재 덮개부(120)와, 상기 제1챔버부재(101)의 측면에 형성된 개구부(101A) 각각 복개할 수 있는 챔버부재 측방부(122,124)와, 상기 제1챔버부재(101)의 저면에 형성된 개구부(101A)를 복개할 수 있는 챔버부재 저면부(126)로 구성될 수 있다.
상기한 제1,2챔버부재(101)(120,122,124,126)들은 내측면에 단차가 형성되지 않도록 형성되는 것이 보다 바람직하고, 외측면 또한 단차가 형성되지 않도록 형성될 수 있다.
이하, 도 7을 참조하여 본 발명의 제3실시예를 상세히 설명한다.
도 7은 본 발명의 제3실시예에 따른 진공처리장치의 정단면도이다.
본 발명의 제3실시예에 따른 진공처리장치는 도 7에 도시된 바와 같이, 제1실시예의 구성에서 가스공급부(15)의 가장자리부분이 상면챔버부재(22)와 측면챔버부재(24,26) 사이에 개재되어 설치된다.
즉, 본 발명의 제3실시예에 따른 진공처리장치는 제1챔버부재(1)에 상면을 포함하여 적어도 2면에 개구부(1A)가 형성되고, 제1챔버부재(1)의 상면을 제외한 나머지 개구부(1A)는 제2챔버부재(24,26)에 의해 복개되고, 제1챔버부재(1)의 상면은 가스공급부(15)에 의해 복개되며, 가스공급부(15)의 상측에는 상면챔버부재(22)가 설치된다.
이때 상기 가스공급부(15)는 제1챔버부재(1) 및 상면챔버부재(22) 중 어느 하나에 결합되거나, 탈착가능하게 결합될 수 있다.
그리고 상기 가스공급부(15)의 가장자리부분은 상면챔버부재(22)와 측면챔버부재(24,26) 사이에 개재되어 설치되는 경우 가스공급부(15) 및 측면챔버부재(24,26) 사이 및 가스공급부(15) 및 상면챔버부재(22) 사이에 밀봉부재가 설치된다. 이때 상기 가스공급부(15) 및 측면챔버부재(24,26) 사이 및 가스공급부(15) 및 상면챔버부재(22) 사이에 전도성 오링이 개재될 수 있다.
한편 가스공급부(15)는 상기 상면챔버부재(22)와 측면챔버부재(24,26) 사이에 개재되는 가장자리부분이 별도의 구성인 보조리드(15a)로 구성되고, 보조리드(15a)에 탈착가능하게 결합되는 하나 이상의 샤워헤드부재로 구성될 수 있다.
본 발명의 제3실시예에 관한 구성은 제2실시예에 적용될 수 있음은 물론이 다.
이상은 본 발명에 의해 구현될 수 있는 바람직한 실시예의 일부에 관하여 설명한 것에 불과하므로, 주지된 바와 같이 본 발명의 범위는 위의 실시예에 한정되어 해석되어서는 안 될 것이며, 위에서 설명된 본 발명의 기술적 사상과 그 근본을 함께 하는 기술적 사상은 모두 본 발명의 범위에 포함된다고 할 것이다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 진공처리장치의 진공처리장치 분해 사시도이다.
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 진공처리장치의 정단면도이다.
도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 진공처리장치의 측단면도이다.
도 4는 본 발명의 제1실시예에 따른 진공처리장치의 평단면도이다.
도 5는 본 발명의 제1실시예에 따른 진공처리장치의 덮개부재를 분리한 상태 평면도이다.
도 6은 본 발명의 제2실시예에 따른 진공처리장치의 분해 사시도이다.
도 7은 본 발명의 제3실시예에 따른 진공처리장치의 정단면도이다.
<도면의 주요 부분에 관한 부호의 설명>
1; 제1챔버부재 2; 진공처리장치
3; 제2챔버부재 4; 게이트
10; 기판 12; 기판지지부
22; 상면챔버부재 24,25; 측면챔버부재
30; 밀봉부재 32; 전기가스켓

Claims (15)

  1. 삭제
  2. 직육면체를 형성하고, 상면을 포함하여 2개 이상의 면에 개구부가 형성된 제1챔버부재와;
    상기 제1챔버부재의 상기 상면을 제외한 나머지 개구부를 복개하도록 상기 제1챔버부재와 탈착 가능하게 밀착결합된 적어도 하나의 제2챔버부재와;
    상기 제1챔버부재와 탈착가능하게 결합되는 상면챔버부재와;
    상기 상면챔버부재의 하측에 설치되어 상기 제1챔버부재, 상기 제2챔버부재 및 상기 상면챔버부재에 의하여 형성되는 진공처리공간에 가스를 공급하도록 가스공급장치와 연결되는 가스공급부와;
    상기 진공처리공간을 밀봉할 수 있도록 상기 제1챔버부재 및 상기 가스공급부 사이, 상기 가스공급부 및 상면챔버부재 사이에 각각 개재되는 복수 개의 밀봉부재들과;
    상기 제1챔버부재에 설치되어 기판을 지지하는 기판지지부를 포함하는 진공처리장치로서,
    상기 제1챔버부재는 상기 상면 및 서로 마주보는 한 쌍의 측면에 각각 상기 개구부가 형성되며,
    상기 제2챔버부재는 상기 제1챔버부재의 한 쌍의 측면에 형성된 개구부를 각각 복개하는 한 쌍의 측면챔버부재들을 포함하며,
    상기 진공처리장치는 상하방향 높이, 전후방향 길이, 그리고 좌우방향 폭을 기준으로 상기 전후방향 길이가 좌우방향 폭보다 크도록 형성되고, 상기 제1챔버부재 및 상기 제2챔버부재는 상기 좌우방향 폭방향으로 배치되도록 분할하여 형성되어 상기 제2챔버부재들이 상기 제1챔버부재의 양측에 각각 결합되며,
    상기 제2챔버부재 중 적어도 하나는 상기 제1챔버부재의 개구면에 대응하는 면에 상기 제1챔버부재의 개구부에 형합되는 공간을 가지며,
    상기 제1챔버부재의 상면에 형성된 개구부는 상기 기판을 지지하는 기판지지부의 평면크기보다 크게 형성되며,
    상기 제1챔버부재는 그 안쪽 공간에 상기 기판지지부가 위치될 수 있는 크기를 가지며,
    상기 밀봉부재는 링 형상으로 형성되며,
    상기 제1챔버부재 및 상기 제2챔버부재, 상기 가스공급부, 상기 상면챔버부재 사이 중 적어도 어느 하나에는 전도성 오링이 개재되며,
    상기 진공처리장치의 한변의 길이가 2000mm 이상이며,
    상기 제1, 2챔버부재, 상기 상면챔버부재 중 적어도 어느 하나에는 온도제어를 위한 열전달매체가 흐르는 유로가 형성되며,
    상기 기판지지부는 기판을 상기 기판지지부로부터 승하강시키기 위한 리프트핀이 설치된 것을 특징으로 하는 진공처리장치.
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