KR101962896B1 - 보강부를 구비한 진공 챔버 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체용 기판 또는 디스플레이용 기판의 처리 공간을 제공하는 진공 챔버에 관한 것이다. 진공 챔버는, 복수의 내면이 기판 처리를 위한 내부공간을 형성하는 진공 챔버에 있어서, 인접한 내면들 사이의 코너부 중 적어도 어느 하나에, 소정 간격을 두고 인접한 내면을 연결하여 보강하는 복수의 내부 보강부를 구비한다. 이에 의해, 챔버 벽의 두께를 최소화하면서도 챔버 내부의 고진공 상태를 유지하여 챔버의 형상 변형을 최소화할 수 있다.

Description

보강부를 구비한 진공 챔버{VACUUM CHAMBER WITH REINFORCED PART}
본 발명은 반도체용 기판 또는 디스플레이용 기판의 처리 공간을 제공하는 진공 챔버에 관한 것이다.
진공 챔버는 진공 펌프와 연결하여 처리공간을 진공 상태로 유지시키는 챔버이다. 이러한 진공 챔버는 반도체용 기판 또는 디스플레이용 기판 처리를 위한 공정 중 외부로부터 불순물의 유입을 차단하는 이외에 비진공 상태보다 높은 수율을 확보하는 등의 목적으로 사용되고 있다.
반도체용 기판 또는 디스플레이용 기판이 처리되는 진공 챔버는, 공정 챔버(Process Chamber)와 각 공정 챔버로 기판을 이송시키는 트랜스퍼 챔버(Transfer Chamber)로 사용된다. 이 중 트랜스퍼 챔버는, 다수개의 공정 챔버와 결합되고, 챔버 내에 기판을 이송하는 로봇이 설치됨에 따라 공정 챔버에 비하여 훨씬 큰 용량을 갖는 대형 챔버가 사용된다.
이러한 진공 챔버는 일반적으로 다면체 구조로 구성되어 고진공 상태에서 챔버 벽의 중앙부가 처리 공간을 향하여 형상 변형이 발생한다는 문제가 있었다. 또한 진공 챔버의 크기가 커질수록 고진공 상태를 유지하기 위해서 고가의 실링부재를 사용하여야 하며, 챔버의 형태 변형을 막기 위해 챔버 벽을 두껍게 형성하기 때문에 제조 원가가 높을 수 밖에 없었다. 특히 최근 기판의 대면적 추세에 따라 이러한 문제가 가중되고 있는 실정이다.
종래의 일본 특허 제4791110호에 의하면, 챔버의 각 측벽에 수직하도록 챔버 상단 부근의 내벽을 횡방향으로 둘러 설치된 내주플랜지 및 내주플랜지의 하부에 구비된 L자형 보강부재를 구비하였다.
챔버의 내측벽에 구비되는 내주플랜지와 L자형 보강부재는, 챔버 측벽의 강성을 높여 고진공 상태에 있는 챔버의 형상 변형을 방지하고자 하였다.
그러나, 상술한 종래 기술은 내주플랜지와 L자형 보강부재가 챔버 측벽의 상단 부근에 구비되어 챔버 벽의 중앙부가 변형되는 문제를 해결하지 못하였다.
또한, 챔버 측벽을 횡방향으로 둘러 설치된 내주플랜지와 L자형 보강부재는 챔버 측면의 강성만 높일 뿐 챔버 상, 하부면의 강성에는 변화가 없으므로 챔버 상, 하부면이 변형되는 것을 방지할 수 없었다.
한편, 챔버 상, 하부면의 강성을 높이기 위해, 내주플랜지와 L자형 보강부재를 챔버 내벽에 종방향으로 둘러 구비하고자 하였으나, 챔버의 상부는 개구되어 내주플랜지와 L자형 보강부재를 설치할 수 없었다. 가사 내주플랜지와 L자형 보강부재를 종방향으로 둘러 설치하더라도 챔버 내 기판의 이송 경로에 방해될 우려가 있고, 이송 경로의 방해를 피하고자 상, 하부면의 단부에 설치하면 챔버 상, 하부면의 중앙부가 변형되는 문제점이 있었다.
상술한 배경기술의 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 고진공 상태에서 챔버 형상 변형을 최소화한 진공 챔버를 제공함에 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 챔버 벽의 두께를 최소화하여 챔버 제조 원가를 절감시킨 진공 챔버를 제공함에 그 목적이 있다.
또한, 챔버 내 기판의 이송 경로를 방해하지 않는 진공 챔버를 제공함에 그 목적이 있다.
상술한 과제를 해결하기 위한 본 발명의 보강부를 구비한 진공 챔버는, 복수의 내면이 기판 처리를 위한 내부공간을 형성하는 진공 챔버에 있어서, 인접한 내면들 사이의 코너부 중 적어도 어느 하나에, 소정 간격을 두고 상기 인접한 내면을 연결하여 보강하는 복수의 내부 보강부를 구비한다.
바람직하게, 상기 챔버의 외면은, 다면체 구조로 이루어지고, 상기 내부 보강부가 구비된 내면은 일정한 두께로 형성된다.
바람직하게, 상기 챔버의 외면은, 다면체 구조로 이루어지고, 상기 내부 보강부가 구비된 내면은 외곽부의 두께가 중앙부의 두께보다 두꺼운 아치구조로 형성된다.
바람직하게, 상기 챔버는 상부면, 하부면 및 복수의 측면을 갖는 다면체 구조로 이루어지고, 상기 내부 보강부는 상부면과 측면 사이의 코너부와 상기 하부면과 측면 사이의 코너부 중 적어도 어느 하나에 형성된다.
바람직하게, 상기 챔버는, 일체로 이루어지거나, 2 이상의 분할체가 결합된다.
바람직하게, 상기 내부 보강부는, 상기 챔버와 일체로 형성된다.
바람직하게, 상기 내부 보강부는, 상기 챔버에 결합된다.
바람직하게, 상기 내부 보강부는, 상기 인접한 내면을 연결하는 연결면은 내향으로 만곡 형성된다.
바람직하게, 상기 내부 보강부는, 상기 코너부의 모서리를 중심으로 대칭 구조로 형성된다.
바람직하게, 상기 연결면은, 인접한 다른 내부 보강부의 연결면과 가상으로 연장하여 연결하면 비구면으로 형성된다.
바람직하게, 상기 내부 보강부의 연결면은, 상기 내면에 수렴하는 곡면으로 구성된다.
바람직하게, 상기 내부 보강부는, 외곽 부분이 곡면으로 구성된다.
바람직하게, 상기 내부 보강부는, 상기 내면과의 경계가 곡면으로 구성된다.
바람직하게, 상기 내부 보강부는, 상기 내면에 수직한 방향으로 돌출된다.
바람직하게, 상기 내부 보강부는, 상기 챔버 내부 중심 방향으로 돌출된다.
바람직하게, 상기 코너부 중 수평 방향으로 마주하는 코너부에 각각 형성된 내부 보강부는 대향하여 배치된다.
바람직하게, 상기 대향하여 배치된 내부 보강부의 연결면과 그 사이를 연장한 내면의 연장면이 형성된 위치에 상응하는 챔버 외면에 돌출된 복수의 외부 보강부를 더 구비한다.
바람직하게, 상기 외부 보강부는, 상부면이 외향으로 만곡 형성된다.
본 발명의 보강부를 구비한 진공 챔버에 의하면, 챔버 내부에 내부 보강부를 구비함으로써, 챔버 벽의 두께를 최소화하면서도 챔버 내부의 고진공 상태를 유지하여 챔버의 형상 변형을 최소화할 수 있다.
또한, 본 발명은 챔버 벽의 두께가 얇아짐에 따라 재료 원가가 절감되고, 챔버의 무게가 감소하여 이송을 용이하게 할 수 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 의한 단면도.
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 의한 단면도.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 의한 내부 보강부를 나타낸 사시도.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 의한 내부 보강부를 나타낸 사시도.
도 5는 본 발명의 제3 실시예에 의한 평단면도.
도 6은 본 발명의 제4 실시예에 의한 평단면도.
도 7은 본 발명의 제5 실시예에 의한 단면도.
도 8은 본 발명의 제5 실시예에 의한 챔버의 저부에서 바라본 단면 사시도.
이하에서는 본 발명의 실시예를 도면을 참고하여 구체적으로 설명한다. 본 발명의 보강부를 구비한 진공 챔버는 제1 내지 제5 실시예로 구분할 수 있으며, 각 실시예의 구성요소는 기본적으로 동일하나, 일부 구성에 있어서 차이가 있다. 또한, 본 발명의 여러 실시예 중 동일한 기능과 작용을 하는 구성요소에 대해서는 도면상의 도면부호를 동일하게 사용하기로 한다.
본 발명의 제1 실시예에 의한 보강부를 구비한 진공 챔버는 도 1, 도 2에 도시한 바와 같이, 챔버(10) 및 내부 보강부(120)로 이루어진다.
챔버(10)는 복수의 내면이 내부공간(11)을 형성하며, 고진공 상태에서 반도체용 기판 또는 디스플레이용 기판이 처리(증착, 식각, 세정, 이송 등)되도록 내부공간(11)을 고진공 상태로 유지하게 된다.
챔버(10)는 내부공간(11)을 이루는 내면 중 인접한 내면 사이의 코너부(12) 중 적어도 하나에 내부 보강부(120)를 구비한다. 여기서 코너부(12)란 인접한 내면 사이의 모서리 근방의 부분을 칭한다.
챔버(10)의 외면은 공정 챔버 및 로드락 챔버와 같은 다른 챔버와의 결합이 용이하도록 결합되는 챔버 개수에 상응하는 면을 갖는 다면체 구조로 이루어진다. 이러한 다면체 구조는 내부 보강부(120)가 구비된 내면이 일정한 두께로 형성된다. 이때 각 면의 두께는 동일 체적을 갖는 기존의 진공 챔버에 비하여 두께를 얇게 구성할 수 있다. 이는 내부 보강부(120)가 챔버(10)의 강성을 높여 진공압에 의한 챔버(10)의 변형을 방지하기 때문이다.
도면에 도시하지는 않았지만, 챔버의 내부 보강부가 구비된 내면은 외곽부의 두께가 중앙부의 두께보다 두꺼운 아치구조로 형성될 수 있다. 아치구조는 챔버의 내면이 외측으로 볼록한 형상으로 구성되며, 이는 챔버의 두께를 최소화하면서도 챔버의 형상 변형을 방지할 수 있게 한다.
챔버(10)는 일체로 이루어지는데, 일체로 구성된 챔버(10)는 고진공 상태에서 기밀 유지가 용이하고, 이로써 기밀 유지를 위한 실링부재의 사용을 최소화할 수 있다.
한편, 챔버(10)를 2 이상의 분할체를 결합하여 구성할 수 있다. 도 2에 도시한 바와 같이, 챔버(10)는 횡방향으로 분할된 상, 하부 분할체(10a, 10b)로 구성되어 두 분할체(10a, 10b)를 결합함으로써 하나의 챔버(10)를 구성할 수 있다. 도면에 도시하지 않았지만, 챔버는 종방향으로 분할한 좌, 우측 분할체의 결합일 수 있고, 3 이상으로 분할하는 것 또한 가능하다. 이처럼 분할체가 결합된 구조의 챔버는 챔버의 이송과 설치가 간편하고 용이하다.
위와 같은 챔버는 주조 방법과 판재 조립 방법을 이용하여 제조할 수 있다.
내부 보강부(120)는 인접한 내면 사이의 코너부(12) 중 적어도 어느 하나에 복수개가 구비되며, 인접한 내면을 연결하여 보강한다.
이러한 내부 보강부(120)는 챔버(10)와 일체로 형성되거나 챔버(10) 코너부(12)에 결합될 수 있다. 내부 보강부(120)를 챔버(10)와 일체로 형성하면, 챔버(10) 내면에 코팅층을 형성하기에 용이하다. 내부 보강부(120)를 챔버(10)에 용접, 볼팅 등의 방법으로 결합하면, 내부 보강부(120)의 탈부착이 가능하며 상황에 따라 다양한 챔버에 결합하여 사용할 수 있다.
특히, 내부 보강부(120)는 챔버(10) 내측의 상부면과 측면 사이의 코너부(12)와 하부면과 측면 사이의 코너부(12) 중 적어도 어느 하나에 구비될 수 있다.
도 3은 하부면과 측면 사이의 코너부(12)에 구비된 내부 보강부(120)를 나타낸 것으로, 두 내면 사이의 모서리로부터 내부 보강부(120)의 양측단까지의 길이를 각각 d1, d2 로 도시하고, 내부 보강부(120)의 모서리 중앙부의 두께를 t2, 측부의 두께를 t1로 도시하였다.
내부 보강부(120)는 인접한 내면을 연결하는 연결면(21)이 형성되고, 연결면은 내향으로 만곡되어 형성된다. 이때 모서리로부터 내부 보강부(120) 양측단까지의 길이(d1, d2)는 코너부(12)의 모서리를 중심으로 대칭 구조를 이루도록 d1과 d2가 동일하게 형성되는 것이 바람직하다. 그러나, 챔버(10) 내부공간(11)의 크기에 따라 모서리로부터 내부 보강부(120) 양측단까지의 길이(d1, d2)를 각각 적절히 설정할 수 있다. 내부 보강부(120)의 두께는 모서리 중앙부(t2)가 양측부(t1)보다 두껍게 형성되는 것이 바람직하다.
다면체 구조의 챔버는 면의 중앙부가 내부공간의 진공압에 취약하여 형태가 변형되기 쉬우므로, 상술한 바와 같이 내부 보강부를 구비함으로써 챔버의 강성을 높여 형상 변형을 방지할 수 있다.
내부 보강부(120)의 연결면(121)은 내향으로 만곡 형성된다. 연결면(121)은 내부 보강부(120)에 오목한 곡면으로, 인접한 내부 보강부의 연결면과 가상으로 연장하여 연결하면 비구면을 갖도록 형성된다. 이때, 연결면(121)은 내면에 수렴하는 곡면으로 형성되는 것이 바람직하다. 이는 연결면(121)을 평면으로 형성하는 것에 비하여 진공압에 대한 챔버(10)의 내구력을 향상시킬 수 있다.
도면에 도시하지는 않았지만, 연결면을 평면 또는 복수의 평면이 오목하게 연결된 형태로 구성할 수도 있다.
상술한 바와 같이, 챔버에 내부 보강부를 구비함으로써, 챔버 벽의 강성을 높여 챔버의 형상 변형을 방지할 수 있다. 또한, 챔버의 전체 두께를 두껍게 하는 것이 아니라 일부 두께를 확장하여 챔버 벽의 두께를 최소화하므로 챔버의 제조 원가가 절감되고, 무게가 가벼워져 이송이 용이하다는 장점이 있다.
본 발명의 제2 실시예는 제1 실시예와 대비하여 내부 보강부의 형태에 있어 차이가 있다. 이하에서는 제1 실시예와 차이를 가지는 구성요소를 중심으로 도 4를 참고하여 설명한다.
내부 보강부(220)는 외곽부(222)의 형상이 곡면으로 구성된다. 구체적으로 내부 보강부(220)의 외곽부(222)가 라운드 처리되도록 모따기한다. 모따기의 경우, 라운드 처리한 곡면 외에, 평면으로 모따기 할 수도 있다. 이때, 외곽부(222)는 내부 보강부(220)의 연결면(221)과 내부 보강부(220)의 측면이 접하는 모서리를 칭한다.
내부 보강부(220)는 경계부(223)가 곡면으로 구성된다. 구체적으로 내부 보강부(220)의 경계부(223)를 라운드 처리하여 곡면으로 구성한다. 이때, 경계부(223)는 내부 보강부(220)의 측면과 챔버(10) 내면이 접하는 모서리를 칭한다.
상술한 바와 같이, 내부 보강부(220)의 외곽부(222) 또는 경계부(223)가 곡면으로 구성되면, 외곽부(222)에 각진 모서리가 없어 챔버(10) 내면에 코팅층을 형성하기가 용이하고, 경계부(223)와 같은 코너에 파티클이 축적되는 것을 방지할 수 있다.
본 발명의 제3 실시예는 제1 실시예와 대비하여 내부 보강부의 구조에 있어 차이가 있다. 이하에서는 제1 실시예와 차이를 가지는 구성요소를 중심으로 도 5를 참고하여 설명한다.
내부 보강부(320)는 챔버(10) 내면에 수직한 방향으로 돌출되어 형성된다. 구체적으로, 내부 보강부(320)의 중심면은 내부 보강부(320)가 구비된 코너부의 인접한 두 내면에 수직하게 구비된다. 여기서 중심면은, 도 2에 도시된 바와 같이, 내부 보강부 연결면의 양측단 각각의 중심(A1, A2)과 내부 보강부가 코너부(12)의 모서리에 접하는 모서리의 중심(A3)을 지나는 면이다. 이때, 각 내부 보강부(320)의 형태는 모두 동일하게 구성할 수 있다. 또한, 챔버(10) 내 위치에 따라 형태를 상이하게 구성할 수도 있으며, 이때 인접한 내부 보강부(320)의 연결면을 연장하여 연결하면 비구면을 형성하도록 구성할 수 있다.
도면에 도시하지는 않았지만, 내부 보강부는 챔버의 하부면과 측면에 수직하게 형성되는 이외에 측면과 측면 또는 상부면과 측면에 수직하게 형성될 수도 있다.
이로써, 내부 보강부(320)가 구비되는 인접한 두 벽면의 강성을 높일 수 있고, 고진공 상태에 있는 챔버 벽면의 중앙부가 내면에 수직한 방향으로 형상 변형되는 것을 방지할 수 있다.
본 발명의 제4 실시예는 제3 실시예와 대비하여 내부 보강부의 구조에 있어 차이가 있다. 이하에서는 제3 실시예와 차이를 가지는 구성요소를 중심으로 도 6을 참고하여 설명한다.
내부 보강부(420)는 챔버(10) 내부 중심 방향으로 돌출되어 형성된다. 구체적으로, 내부 보강부(420)의 중심면은 챔버(10) 내부 중심을 지나도록 구비된다. 여기서 중심면은, 내부 보강부 연결면의 양측단 각각의 중심(A1, A2)과 내부 보강부가 코너부(12)의 모서리에 접하는 모서리의 중심(A3)을 지나는 면이다. 이때, 내부 보강부(420)의 연결면이 챔버(10) 하부면과 접하는 측단을 연장하여 연결하면, 원형, 타원형 또는 다각형으로 구성될 수 있다. 반대로, 내부 보강부(420)의 연결면이 챔버(10) 측면과 접하는 측단의 높이는 동일하게 형성되는 것이 바람직하나, 챔버(10) 내 위치에 따라 다양하게 형성될 수 있다.
도면에 도시하지는 않았지만, 내부 보강부는 챔버의 하부면과 측면이 인접한 코너부에 형성되는 이외에 측면과 측면 또는 상부면과 측면이 인접한 코너부에 챔버 내부 중심 방향으로 형성될 수도 있다.
또한, 본 실시예는 도면을 단순화하여 사각 기둥 형태의 챔버를 도시하였으나, 챔버는 육각기둥, 팔각기둥 등 다양한 다면체 구조로 구성할 수 있으며, 챔버가 원기둥 형태에 가까울수록 챔버 내부 중심 방향으로 돌출된 내부 보강부의 지지력을 향상시킬 수 있다.
이로써, 내부 보강부(420)가 구비되는 인접한 두 벽면의 강성을 높일 수 있고, 고진공 상태에 있는 챔버 벽면이 챔버 내부 중심 방향으로 형상 변형되는 것을 방지할 수 있다.
본 발명의 제5 실시예는 제1 실시예와 대비하여 외부 보강부를 부가적으로 구비한다는 점에서 차이가 있다. 이하에서는 제1 실시예와 차이를 가지는 구성요소를 중심으로 도 7, 도 8을 참고하여 설명한다.
내부 보강부(520)는 수평 방향으로 마주하는 코너부 각각에 대향하여 배치된다. 이때, 대향하여 배치된 내부 보강부(520)의 연결면(521) 사이를 연장한 챔버(10)의 내면을 연장면이라 칭한다.
외부 보강부(30)는 대향하여 배치된 내부 보강부(520)의 연결면(521)과 연장면이 형성된 위치에 상응하는 챔버(10) 외면에 돌출된다. 이때, 내부 보강부의 연결면(521)과 연장면으로부터 그 에 상응하는 위치의 외부 보강부(30)의 상부면(31)까지의 간격이 일정하도록 외부 보강부(30)를 형성할 수 있다. 즉, 도 7에 도시한 바와 같이, 도면상 좌측에 위치한 내부 보강부의 연결면(521)과 그에 상응하는 위치의 외부 보강부의 상부면(31) 사이의 간격(t3) 및 도면상 우측에 위치한 내부 보강부의 연결면(521)과 그에 상응하는 위치의 외부 보강부의 상부면(31) 사이의 간격(t4)은 동일하게 형성되고, 두 내부 보강부의 연결면(521) 사이를 연장한 내면의 연장면과 그에 상응하는 위치의 외부 보강부의 상부면(31) 사이의 간격(t5) 또한 동일하게 형성될 수 있다.
따라서, 외부 보강부의 상부면(31)은 내부 보강부의 연결면(521) 및 연장면과 동일한 형상을 갖는 것이 바람직하나, 이에 한정하지는 않는다.
이러한 외부 보강부(30)는 챔버(10)와 일체로 형성되거나 챔버(10) 외면에 결합될 수 있다. 또한, 외부 보강부(30)는 내부 보강부(520)가 형성되는 위치에 따라 챔버(10) 외측의 하부면, 측면, 상부면에 구비될 수 있다.
도 8은 챔버(10)의 하부면에 구비된 외부 보강부(30)를 나타낸 것으로, 외부 보강부(30)는 내부 보강부(520)의 위치에 따라 소정 간격을 두고 일렬로 배치된다.
도면에 도시하지는 않았지만, 제3 실시예와 같이 내부 보강부(120)를 배치하면, 외부 보강부의 상부면은 격자 형태로 배치되고, 제4 실시예와 같이 내부 보강부를 배치하면 외부 보강부의 상부면은 방사형으로 배치된다.
외부 보강부를 구비하여 챔버 벽의 강성을 높임으로써, 챔버 벽의 중앙부가 진공압에 의해 처리 공간을 향하여 형상이 변형되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 챔버 벽 전체의 두께를 두껍게 형성하는 것에 비하여 챔버 벽 일부에 보강부를 구비하므로 챔버 벽의 두께를 최소화하면서도 챔버의 형상 변형을 방지할 수 있어 제조 원가를 절감시킬 수 있다.
이상에서는 본 발명의 구체적인 실시예를 도면을 중심으로 설명하였으나, 본 발명의 권리범위는 특허 청구 범위에 기재된 기술적 사상을 중심으로 그 변형물 또는 균등물에까지 미침은 자명하다 할 것이다.
10 : 챔버
11 : 내부공간
12 : 코너부
120 : 내부 보강부
121 : 내부 보강부의 연결면
222 : 내부 보강부의 외곽부
223 : 내부 보강부의 경계부
30 : 외부 보강부
31 : 외부 보강부의 상부면

Claims (18)

  1. 복수의 내면이 기판 처리를 위한 내부공간을 형성하는 진공 챔버에 있어서,
    인접한 내면들 사이의 코너부 중 적어도 어느 하나에, 소정 간격을 두고 상기 인접한 내면을 연결하여 보강하는 복수의 내부 보강부를 구비하되,
    상기 챔버는 상부면, 하부면 및 복수의 측면을 갖는 다면체 구조로 이루어지고,
    상기 내부 보강부는,
    상기 챔버와 일체로 형성되고,
    상부면과 측면 사이의 코너부와 상기 하부면과 측면 사이의 코너부 중 적어도 어느 하나에 구비되고, 상기 코너부에 직교하는 방향으로 상기 인접한 내면을 연결하는 연결면이 내향으로 만곡 형성되어 모서리 중앙부(t2)가 모서리 양측부(t1)보다 두껍게 형성되는 것을 특징으로 하는 진공 챔버.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 챔버의 외면은, 다면체 구조로 이루어지고,
    상기 내부 보강부가 구비된 내면은 일정한 두께로 형성된 것을 특징으로 하는 진공 챔버.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 챔버의 외면은, 다면체 구조로 이루어지고,
    상기 내부 보강부가 구비된 내면은 외곽부의 두께가 중앙부의 두께보다 두꺼운 아치구조로 형성된 것을 특징으로 하는 진공 챔버.
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서,
    상기 챔버는, 일체로 이루어지거나, 2 이상의 분할체가 결합된 것을 특징으로 하는 진공 챔버.
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 제1항에 있어서,
    상기 내부 보강부는, 상기 코너부의 모서리를 중심으로 대칭 구조로 형성되는 것을 특징으로 하는 진공 챔버.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 연결면은, 인접한 다른 내부 보강부의 연결면과 가상으로 연장하여 연결하면 비구면으로 형성되는 것을 특징으로 하는 진공 챔버.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 내부 보강부의 연결면은, 상기 내면에 수렴하는 곡면으로 구성된 것을 특징으로 하는 진공 챔버.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 내부 보강부는, 외곽 부분이 곡면으로 구성된 것을 특징으로 하는 진공 챔버.
  13. 제1항에 있어서,
    상기 내부 보강부는, 상기 내면과의 경계가 곡면으로 구성된 것을 특징으로 하는 진공 챔버.
  14. 제1항에 있어서,
    상기 내부 보강부는, 상기 내면에 수직한 방향으로 돌출된 것을 특징으로 하는 진공 챔버.
  15. 제1항에 있어서,
    상기 내부 보강부는, 상기 챔버 내부 중심 방향으로 돌출된 것을 특징으로 하는 진공 챔버.
  16. 제1항에 있어서,
    상기 코너부 중 수평 방향으로 마주하는 코너부에 각각 형성된 내부 보강부는 대향하여 배치된 것을 특징으로 하는 진공 챔버.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 대향하여 배치된 내부 보강부의 연결면과 그 사이를 연장한 내면의 연장면이 형성된 위치에 상응하는 챔버 외면에 돌출된 복수의 외부 보강부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 진공 챔버.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 외부 보강부는, 상부면이 외향으로 만곡 형성된 것을 특징으로 하는 진공 챔버.
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