JP4587784B2 - 真空チャンバ - Google Patents
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Description
11 処理空間
12 チャンバ本体
12a、12b チャンバ片
13a、天板
14 接合面
15a、15b フランジ部
Claims (3)
- 内部に処理空間が形成された多面体のチャンバ本体を備え、そのチャンバ本体の上面及び下面の少なくとも一方に処理空間に通じる開口を形成し、この開口を覆って処理空間の真空状態の保持を可能とする密閉手段を装着して構成される真空チャンバにおいて、
前記チャンバ本体は複数のチャンバ片から構成され、
前記各チャンバ片の前記密閉手段の装着面に、各チャンバ片の内壁面の内側に延出させて第1のフランジ部が形成され、
前記各チャンバ片の他のチャンバ片との接合面に、各チャンバ片の外壁面の外側に延出させて第2のフランジ部が形成されると共に、前記接合面の前記装着面寄りの端部に、各チャンバ片の内壁面の内側に延出させて、前記第1のフランジ部に連続する第3のフランジ部が形成され、
前記第1のフランジ部に、前記開口を囲う第1の溝が形成され、隣り合う2つのチャンバ片の一方のチャンバ片の前記第2のフランジ部に第2の溝が形成されると共に、前記第3のフランジ部に前記第1の溝と前記第2の溝とを結ぶ第3の溝が形成され、
前記第1の溝から前記第3の溝に亘って装着可能な一体的に形成されたシール部材を有することを特徴とする真空チャンバ。 - 前記各チャンバ片の第2のフランジ部に所定間隔を存してボルト締結用のねじ孔が列設され、前記第3のフランジ部に、第3の溝を挟んでボルト締結用の他のねじ孔が形成されていることを特徴とする請求項1記載の真空チャンバ。
- 前記チャンバ本体を組付ける際、チャンバ片の数を変えて処理空間の容積の変更を可能としたことを特徴とする請求項1または請求項2記載の真空チャンバ。
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