JP4587784B2 - 真空チャンバ - Google Patents

Description

本発明は、スパッタリング装置やエッチング装置などの処理装置に備えられ、所定のプロセスを実行する真空チャンバに関する。

近年、例えば液晶ディスプレイは広い製品に応用されていると共に大型化が進み、処理基板としては、例えば２１００ｍｍ×１８５０ｍｍサイズのガラス基板まで用いられるようになってきた。この液晶ディスプレイの製造には、例えば配線用金属膜の成膜プロセスを行うスパッタリング装置など多くの処理装置が用いられ、これらの処理装置は、所定のプロセスを行うべく真空チャンバを有している。

処理基板の大型化に伴って、この処理基板の全面に亘って成膜プロセスなどを一括して行い得るように処理装置の真空チャンバ自体も大型化させる必要がある。この場合、アルミニウムやステンレスなどのブロックから削り出して大型の真空チャンバを製作したのでは、専用の大型切削加工装置が必要になる等、真空チャンバ自体の製作費の高騰を招く。

このことから、複数に分割した構成部品を適宜溶接して枠状の側壁部を形成し、その開口した上面及び底面に、Ｏリングを介して天板及び底板を装着することで、所定容積の真空チャンバを得ることが提案されている（特許文献１）。
特開平８−６４５４２号公報（例えば、特許請求範囲の記載参照）

しかしながら、上記のものでは、真空チャンバの容積を大きく設定すると、側壁部の重量やサイズ（表面積）が大きくなってそれ自体の強度が低下する。この場合、開口した上面及び底面にＯリングなどのシール部材を介して天板及び底板を装着した後、真空排気手段を用いて内部の処理空間を真空排気すると、側壁部のうち、特に強度が低下した部分の領域で歪が生じて側壁部が反り、真空リークが発生する虞がある。このため、リブ等の補強手段によって側壁部を補強する必要があるという不具合がある。

また、上記のものでは、真空チャンバの容積を設定する側壁部を溶接して事前に組立てているため、以後分解することは困難であり、処理装置の設定場所まで輸送するためには、結局大型の特殊なトレーナーなどの輸送手段が必要になって不便であり、また、側壁部のサイズや重量によっては法令の制限を受けて輸送できない虞がある。

そこで、上記点に鑑み、本発明の課題は、内部の処理空間の容積を大きく設定した場合でも、輸送するのに便利であり、また、別個の補強手段を必要とせず、十分な強度を有する真空チャンバを提供することにある。

上記課題を解決するために、本発明の真空チャンバは、内部に処理空間が形成された多面体のチャンバ本体を備え、そのチャンバ本体の上面及び下面の少なくとも一方に処理空間に通じる開口を形成し、この開口を覆って処理空間の真空状態の保持を可能とする密閉手段を装着して構成される真空チャンバにおいて、前記チャンバ本体は複数のチャンバ片から構成され、前記各チャンバ片の前記密閉手段の装着面に、各チャンバ片の内壁面の内側に延出させて第１のフランジ部が形成され、前記各チャンバ片の他のチャンバ片との接合面に、各チャンバ片の外壁面の外側に延出させて第２のフランジ部が形成されると共に、前記接合面の前記装着面寄りの端部に、各チャンバ片の内壁面の内側に延出させて、前記第１のフランジ部に連続する第３のフランジ部が形成され、前記第１のフランジ部に、前記開口を囲う第１の溝が形成され、隣り合う２つのチャンバ片の一方のチャンバ片の前記第２のフランジ部に第２の溝が形成されると共に、前記第３のフランジ部に前記第１の溝と前記第２の溝とを結ぶ第３の溝が形成され、前記第１の溝から前記第３の溝に亘って装着可能な一体的に形成されたシール部材を有することを特徴とする。

本発明によれば、真空チャンバの設定場所まで、真空チャンバを構成するチャンバ片の状態でそれぞれ輸送し、設定場所において、フランジ部相互を接合してチャンバ本体が組付けられる。この場合、接合面にフランジ部を設けたため、この接合箇所が補強手段としての役割を果たし、真空チャンバの処理空間の容積を大きく設定することで重量やサイズが大きくなっても、真空排気の際に真空チャンバが反ることを防止するために別個の補強手段を必要としない。また、コンパクトで軽量な各チャンバ片からチャンバ本体を構成したため、大型の特殊な輸送手段は不要であり、輸送するのに有利である。

本発明においては、前記各チャンバ片の第２のフランジ部に所定間隔を存してボルト締結用のねじ孔が列設され、前記第３のフランジ部に、第３の溝を挟んでボルト締結用の他のねじ孔が形成されていることが望ましい。

尚、前記チャンバ本体を組付ける際に、チャンバ片の数を変えて処理空間の容積の変更を可能とするのがよい。

以上説明したように、本発明の真空チャンバは、内部の処理空間の容積を大きく設定した場合でも、輸送するのに便利であり、また、別個の補強手段を必要とせず、十分な強度を有するという効果を奏する。

図１及び図２を参照して説明すれば、１は、本発明の真空チャンバである。真空チャンバ１は、略直方体に形成され、その内部には、大面積（例えば２１００ｍｍ×１８５０ｍｍ）のガラス基板への成薄プロセスなどを行い得る処理空間１１が形成されている。真空チャンバ１は、左右一対のチャンバ片１２ａ、１２ｂを接合してなるチャンバ本体１２と、接合したチャンバ本体１２の上面に装着される密閉手段である天板１３ａとから構成されている。チャンバ片１２ａ、１２ｂ及び天板１３ａはそれぞれアルミニウムやステンレス等から製作される。このように、チャンバ本体１２をコンパクトで軽量なチャンバ片１２ａ、１２ｂから構成することで、大型で特殊な輸送手段は不要であり、真空チャンバ１を備えたスパッタ装置などの処理装置の設定場所まで輸送するのに有利である。

両チャンバ片１２ａ、１２ｂは、これらを組付けた際に上面を開口した箱状のチャンバ本体１２をその長手方向の中央部で二分割した形態をそれぞれ有している。各チャンバ片１２ａ、１２ｂの接合面１４の両側には、この接合面１４から延出させてフランジ部１５ａ、１５ｂ（外側に延出させたフランジ部を第２のフランジ部１５ａ、内側に延出させたフランジ部を第３のフランジ部１５ｂである）がそれぞれ形成されている。なお、図２中、各チャンバ片１２ａ、１２ｂの天板との装着面において、各チャンバ片１２ａ、１２ｂの内壁面の内側に延出させて形成されたフランジが第１のフランジ部１５ｃである。

チャンバ本体１２の外側に向かって延出させた第２のフランジ部１５ａは、チャンバ本体１２の外周面全面に亘って一体に形成されている。チャンバ本体１２の内側に延出させた第３のフランジ部１５ｂが第１のフランジ部１５ｃに連続しており、第３のフランジ部１５ｂは、主として、後述するシール部材の片締め防止及びチャンバ本体１２の組付作業の簡素化のため、チャンバ本体１２の内側の上部（接合面１４のうち天板１３ａの装着面寄りの端部）にのみ形成されている。そして、第２及び第３の両フランジ部１５ａ、１５ｂには、相互に対向させて複数のねじ孔１５１がそれぞれ列設され、各ねじ孔１５１にボルトＢを螺着して両チャンバ片１２ａ、１２ｂが相互に接合できる。

これにより、処理空間１１の容積を大きく設定することでチャンバ本体１２のサイズや重量が大きくなっても、その自重によって応力集中するチャンバ本体１２の中央領域にフランジ部１５ａ、１５ｂが存在することでチャンバ本体１２が補強される。このため、別個の補強手段をチャンバ本体１２に取り付ける必要はなく、真空排気の際に真空チャンバ１に生じる歪を可能な限り小さくして真空チャンバ１が反ることが防止できる。その上、フランジ部１５ａ、１５ｂを接合するだけでチャンバ本体１２が組付けられるため、その組付作業も容易である。

ところで、上記のようにチャンバ本体１２を構成すると、天板１３ａとのシール面が分割されているが、この場合でも、処理空間１１が高真空領域（例えば１０^−５Ｐａ）まで真空排気できるようにする必要がある。本実施の形態では、一方のチャンバ片１２ａの接合面１４に、この接合面１４に沿って第２の溝１６ａを形成した。また、両チャンバ片１２ａ、１２ｂ相互を接合したときに天板１３ａとの接合面をなす両チャンバ片１２ａ、１２ｂの上面に、両チャンバ片１２ａ、１２ｂを接合すると環状をなすように第１の溝１６ｂを形成し、第３のフランジ部１５ｂに形成した第３の溝１６ｃを介して第２の溝１６ａの両自由端を第１の溝１６ｂに連通させている。

また、両チャンバ片１２ａ、１２ｂの上面には、第１の溝１６ｂの外周に沿ってねじ孔１２１が列設され、各ねじ孔１２１の形成位置に対応させて天板１３ａにはねじ孔１３１が列設されている。そして、各ねじ孔１２１、１３１を一致させてチャンバ本体１２の上面に天板１３ａを載置し、ボルトＢを螺着することで接合されたチャンバ本体１２と天板１３ａとが組付けられる。

この場合、両チャンバ片１２ａ、１２ｂを接合したときの第１、第２及び第３の各溝１６ａ、１６ｂ、１６ｃの形に一致させて、合成ゴムや金属製のシール部材Ｒを一体に製作し、各チャンバ片１２ａ、１２ｂ及び天板１３ａを組付ける際に、無端のシール部材Ｒが第１の溝１６ａ及び第２の溝１６ｂ、１６ｃに取り付けられる。これにより、両チャンバ片１２ａ、１２ｂ及び天板１３ａを組付けて真空チャンバ１を構成した場合、その内部の処理空間１１が密閉されて高真空まで処理空間１１を真空排気できる。

両チャンバ片１２ａ、１２ｂの長手方向に沿った相互に対向する面には、開口部１２２がそれぞれ形成され、開口部１２２の外周にはねじ孔１２３が列設されている。そして、この開口部１２２を設けた面を介して、例えば図示しない別個の真空チャンバに、ねじ孔１２３に処理空間１１側からボルトＢを螺着することで真空チャンバ１を装着でき、これにより、マルチチャンバ方式の処理装置用の真空チャンバに構成できる。この場合、開口部１２２を介して別個の真空チャンバから処理空間１１への処理基板の搬送が可能である。開口部１２２を利用しない場合、開口部１２２の外周を囲うように合成ゴム製Ｏリングなどのシール部材を設けて密閉手段である蓋体を取付けてもよい。

次に、本実施の形態の真空チャンバ１の組付を説明する。真空チャンバ１を備えた処理装置の設定場所まで、チャンバ片１２ａ、１２ｂ及び天板１３ａをそれぞれ搬送する。次いで、一方のチャンバ片１２ａの第１及び第３の溝１６ａ、１６ｃに、シール部材Ｒのうち第１及び第３の溝１６ａ、１６ｃに対応する部分Ｒ１を取り付け、この状態で、両チャンバ片１２ａ、１２ｂの各フランジ部１５ａ、１５ｂを相互に密接させて保持する。この場合、両フランジ部１５ａ、１５ｂのねじ孔１５１を相互に一致させておく。

次いで、相互に一致した各ねじ孔１５１にボルトＢを螺着していくことで、両チャンバ片１２ａ、１２ｂを接合する。次いで、両チャンバ片１２ａ、１２ｂを接合することで環状になった第２の溝１６ｂにシール部材の残りの部分Ｒ２を取り付け、チャンバ本体１２の上面のねじ孔１２１と天板１３ａのねじ孔１３１とをそれぞれ一致させつつ、チャンバ本体１２の上面に天板１３ａを載置し、ねじ孔１２１、１３１にボルトを螺着することで真空チャンバ１が組付けられる。

尚、上記実施の形態では、上面開口にシール部材Ｒを介して密閉手段である天板１３ａを装着するものについて説明したが、これに限定されるものではなく、例えば、処理空間１１内の処理基板を加熱する赤外線ランプを備えた加熱手段（図示せず）やスパッタリング用のカソードを装着することもできる。この場合、加熱手段やカソードが密閉手段を構成する。

また、上記実施の形態では、上面を開口したものについて説明したが、これに限定されるものではなく、例えば、各チャンバ片１２ａ、１２ｂをさらに軽量化するために、図３に示すように、上面に加えて下面に開口を形成し、チャンバ本体１２の組付けた後、底板１３ｂを装着するようにしてもよい。この場合、シール部材Ｒの片締防止や強度を高めるために、チャンバ本体１２の内側に形成すべき第３のフランジ部１５ｂを、チャンバ本体１２の内側の上部だけでなく、下部にも形成するのがよい。

両チャンバ片１２ａ、１２ｂの下面にはまた、その上面と同様、他の第１の溝（図示せず）を形成し、接合面に形成した第２の溝１６ａのそれぞれの自由端を、フランジ１５ｂに形成した第３の溝１６ｃを介して第１の溝１６ｂに連通させておく。この場合、各溝１６ａ、１６ｂ、１６ｃに取り付けられるシール部材Ｒ１０は、上記と同様、両チャンバ片１２ａ、１２ｂを接合したときの各溝１６ａ、１６ｂ、１６ｃの形に一致させて一体に製作される。各チャンバ片１２ａ、１２ｂの下面にはねじ孔（図示せず）が列設され、ねじ孔の形成位置に一致させて底板１３ｂにねじ孔１３２が列設され、両チャンバ片１２ａ、１２ｂを接合した後に、ねじ孔１２１、１３２にボルトＢを螺着してチャンバ本体１２に底板１３ｂが取り付け、真空チャンバ１０ａが組付けられる。

また、上記実施の形態では、２個のチャンバ片１２ａ、１２ｂを接合するものについて説明したが、これに限定されるものではなく、各チャンバ片をさらにコンパクトかつ軽量にして輸送を容易にするため、図４に示すように、チャンバ本体１を組付けた場合に上面を開口した箱状のチャンバ本体１２をその長手方向に沿って均等に四分割した形態をそれぞれ有するように各チャンバ片１２ａ、１２ｂ、１２ｃを形成してもよい。この場合、両端に位置するチャンバ片１２ａ、１２ｂは、上記したものと同様の形態を有している。両チャンバ片１２ａ、１２ｂの間に介設される連結用のチャンバ片１２ｃの相互に背向する接合面１４ａ、１４ｂには、両端のチャンバ片１２ａ、１２ｂに形成したフランジ部１５ａ、１５ｂに対応させてフランジ部１５ｄ、１５ｅ（第２のフランジ部）がそれぞれ形成されている。

また、連結用のチャンバ片１２ｃの接合面１４ａ、１４ｂのうち一方１４ａには、この接合面１４ａに沿って第２の溝１６ｄが形成され、天板１３ａとの接合面をなす各チャンバ片１２ａ、１２ｂ、１２ｃの上面には、接合時に環状をなすように第１の溝１６ｅが形成され、第２の溝１６ｄの自由端が第３のフランジ部１５ｃに形成した第３の溝１６ｆを介して第１の溝１６ｅに連通させている。

第２のフランジ部１５ｄには、両端のチャンバ片１２ａ、１２ｂのフランジ部１５ａに形成したねじ孔１５１に対向させて複数のねじ孔１５２がそれぞれ列設され、その上面には、第１の溝１６ｅの外周にねじ孔１２１が列設されている。そして、各チャンバ片１２ａ、１２ｂ、１２ｃを接合してチャンバ本体１２を組付け、チャンバ本体１２の上面のねじ孔１２１と天板１３ａのねじ孔１３１とをそれぞれ一致させてチャンバ本体１２の上面に天板１３ａを載置し、ねじ孔１２１、１３１にボルトを螺着することで真空チャンバ１０ｂが組付けられる。

ここで、チャンバ本体１２を組付ける際に、両端のチャンバ片１２ａ、１２ｂの間に介設される連結用のチャンバ１２ｃの数を適宜設定して処理空間１１の容積を変更することも可能である。この場合、シール部材Ｒ２は、各チャンバ片１２ａ、１２ｂ、１２ｃを接合したときの第１から第３の各溝の形に一致させて一体に製作される。

また、上記実施の形態では、チャンバ本体１２をその長手方向の所定位置で分割したものについて説明したが、これに限定されるものではなく、図５に示すように、各チャンバ片１２を組付けた際に、上面及び下面を開口すると共に、長手方向に沿った相互に対向する側面に開口部１２２を形成した箱状のチャンバ本体１２をその長手方向の中央部で長手方向及び横方向に四分割した形態をそれぞれ有する各チャンバ片１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ、１２０ｄから構成してもよい。

各チャンバ片１２０ａ、１２０ｂ及び１２０ｃ、１２０ｄの第１の接合面１４０ａには、上記と同様、チャンバ本体１２の内側及び外側に向かって延出させて第２及び第３のフランジ部１５０ａ、１５０ｂがそれぞれ形成されている。この場合、一方のフランジ部１５０ａがチャンバ本体１２の外周面全面に亘って一体に形成され、他方のフランジ部１５０ｂがチャンバ本体１２の内側の上部及び下部に形成されている。なお、図５中、天板１３ａ及び底板１３ｂとの装着面に各チャンバ片１２０ａ、１２０ｂ及び１２０ｃ、１２０ｄの内壁面の内側に延出させて形成されたフランジが第１のフランジ部１５０ｃである。そして、両フランジ部１５０ａ、１５０ｂには、相互に一致させて複数のねじ孔１５１がそれぞれ列設され、ねじ孔１５１にボルトＢを螺着して両チャンバ片１２０ａ、１２０ｂ及び１２０ｃ、１２０ｄがそれぞれ接合できる。

他方、各チャンバ片１２０ａ、１２０ｃ及び１２０ｂ、１２０ｄの他方の接合面１４０ｂには、図示しない他の真空チャンバとの連結を考慮して、チャンバ本体１２の内側にのみ第３のフランジ部１５０ｂが、その上部及び下部に形成されている。この場合、図示しない別個の真空チャンバに、ねじ孔１２３に処理空間１１側からボルトＢを螺着して真空チャンバ１０ｃに装着するため、真空排気の際に真空チャンバ１０ｃが反ることを防止できる。そして、両フランジ部１５０ａ、１５０ｂには、相互に一致させて複数のねじ孔１５１がそれぞれ列設され、ねじ孔１５１にボルトＢを螺着して両チャンバ片１２０ａ、１２０ｃ及び１２０ｂ、１２０ｄがそれぞれ接合できる。

この場合、第１の接合面１４０ａのうち一方には、この接合面１４０ａに沿って第１の溝１６０ａが形成され、この第１の溝１６０ａの両自由端を、天板１３ａ及び底板１３ｂとの接合面をなす上面及び下面に、接合時に環状をなすように形成した第２の溝１６０ｂに連通させている。

第２の接合面１４０ｂにはまた、略Ｌ字状に湾曲させて第３の溝１６０ｃが形成され、この第３の溝１６０ｃの自由端の一端を第２の溝１６０ｂに連通させると共に、開口部１２２の周囲を囲うように形成した他の第２の溝１６０ｄに連通させている。この場合もまた、第１及び第２の溝１６０ａ、１６０ｂ、１６０ｃ、１６０ｄに装着されるシール部材Ｒ３０は、各チャンバ片１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ、１２０ｄを接合したときの第１及び第２の各溝１６０ａ、１６０ｂ、１６０ｃ、１６０ｄの形に一致させて一体に形成されている。

そして、無端のシール部材Ｒ３０を装着しつつ、各チャンバ片１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ、１２０ｄを接合してチャンバ本体１２を組付け、開口した上面及び下面に、天板１３ａ及び底板１３ｂを取り付けて真空チャンバ１０ｃが構成される。この場合、各接合面１４０ａ、１４０ｂの間に、図示しない別のチャンバ片を介在させて処理空間の容積を変更できるようにしてもよい。

さらに、上記実施の形態では、例えば上面（及び下面）の開口に一体の天板（及び底板）を装着するものについて説明したが、これに限定されるものではなく、表面積の小さい複数の天板や底板が装着できるようにチャンバ本体２１を構成し、天板や底板の輸送が便利になるようにしてもよい。

図６に示すように、真空チャンバ１０ｄのチャンバ本体２１は、このチャンバ本体２１を組付けた際に内部に処理空間１１を形成した直方体のチャンバ本体２１を、その長手方向に沿って均等に三分割した形態をそれぞれ有する各チャンバ片２１ａ、２１ｂ、２１ｃから構成されている。両端に位置するチャンバ片２１ａ、２１ｂの相互に向かい合う接合面２２ａ、２２ｂには、チャンバ本体２１の外側に向かって延出させてフランジ部２３ａ、２３ｂがその外周面全面に亘って一体に形成されている。フランジ部２３ａ、２３ｂには、相互に対向させて複数のねじ孔２４ａ、２４ｂがそれぞれ列設され、ねじ孔２４ａの内側に位置させて一方のチャンバ片２１ａの接合面２２ａには、合成ゴム製Ｏリングなどのシール部材Ｒ４の装着を可能とする第１の溝２５ａが環状に形成されている。

チャンバ片２１ａ、２１ｂの上面２６には、内部の処理空間１１に通じる開口部２６ａが形成され、各開口部２６ａの外側には、合成ゴム製Ｏリングなどのシール部材Ｒ５の装着を可能とする第２の溝２６ｂが環状に形成され、第２の溝２６ｂの外側にはねじ孔２６ｃが列設されている。そして、各ねじ孔２６ｃの形成位置に対応させてねじ孔１３０ａを列設した天板１３０が、各ねじ孔２７，１３０ａにボルトＢを螺着することで装着できる。

尚、他方のチャンバ片２１ｂの側面２７には開口部２７ａが形成され、その外周にはねじ孔２７ｂが列設されている。そして、この開口部２７ａを設けた側面２７を介して、例えば図示しない別個の真空チャンバに、ねじ孔２７ｂに処理空間１１側からボルトＢを螺着することで真空チャンバ１０ｄを装着でき、これにより、マルチチャンバ方式の処理装置用の真空チャンバに構成できる。開口部２７ａを利用しない場合、開口部２７ａの外周を囲うように合成ゴム製Ｏリングなどのシール部材を設けて密閉手段である蓋体を取付けてもよい。

両チャンバ片２１ａ、２１ｂの間に介設される連結用のチャンバ片２１ｃの相互に背向する接合面２２ｃ、２２ｄには、両端のチャンバ片２１ａ、２１ｂに形成したフランジ部２３、２３ｂに対応させてフランジ部２３ｃ、２３ｄがそれぞれ形成されている。各フランジ部２３ｃ、２３ｄには、フランジ部２３ａ、２３ｂに形成したねじ孔２４ａ、２４ｂに対向させて複数のねじ孔２４ｃがそれぞれ列設されている。

連結用のチャンバ片２１ｃの一方の接合面（第１の溝が形成されていない接合面と対向する面）２２ｄには、この接合面２２ｄに沿ってシール部材Ｒ４の装着が可能な第１の溝２５ｂが環状に形成されている。チャンバ片２１ｃの上面２８にはまた、上記と同様、開口部２８ａが形成され、開口部２８ａの外側には、第２の溝２８ｂが環状に形成されていると共にねじ孔２８ｃが形成され、天板１３０が装着できるようになっている。

そして、第１の溝２５ａ、２５ｂにシール部材Ｒ４を装着した後、各フランジ部２３ａ、２３ｂ、２３ｃ、２３ｄを相互に密接させ、ボルトＢをねじ孔２４ａ、２４ｂ、２４ｃに螺着することで各チャンバ片２１ａ、２１ｂ、２１ｃを接合してチャンバ本体２１が組付けられる。次いで、チャンバ本体２１の上面に形成した第２の溝２６ｂ、２８ｂを装着した後、各ねじ孔２７と天板１３０の各ねじ孔１３０ａとをそれぞれ一致させて天板１３ａをそれぞれ載置し、各ねじ孔２７、１３０ａにボルトＢを螺着することで真空チャンバ１０ｄが組付けられる。この場合、連結用のチャンバ片２１ｃの組付ける数を変えると、処理空間１１の容積が変更できる。

本発明の真空チャンバを組付状態で示す斜視図。 図１に示す真空チャンバを分解した状態で示す斜視図。 本発明の真空チャンバの他の変形例を分解した状態で示す斜視図。 本発明の真空チャンバの他の変形例を分解した状態で示す斜視図。 本発明の真空チャンバの他の変形例を分解した状態で示す斜視図。 本発明の真空チャンバの他の変形例を分解した状態で示す斜視図。

１ 真空チャンバ
１１ 処理空間
１２ チャンバ本体
１２ａ、１２ｂ チャンバ片
１３ａ、天板
１４ 接合面
１５ａ、１５ｂ フランジ部

Claims (3)

1. 内部に処理空間が形成された多面体のチャンバ本体を備え、そのチャンバ本体の上面及び下面の少なくとも一方に処理空間に通じる開口を形成し、この開口を覆って処理空間の真空状態の保持を可能とする密閉手段を装着して構成される真空チャンバにおいて、
   前記チャンバ本体は複数のチャンバ片から構成され、
   前記各チャンバ片の前記密閉手段の装着面に、各チャンバ片の内壁面の内側に延出させて第１のフランジ部が形成され、
   前記各チャンバ片の他のチャンバ片との接合面に、各チャンバ片の外壁面の外側に延出させて第２のフランジ部が形成されると共に、前記接合面の前記装着面寄りの端部に、各チャンバ片の内壁面の内側に延出させて、前記第１のフランジ部に連続する第３のフランジ部が形成され、
   前記第１のフランジ部に、前記開口を囲う第１の溝が形成され、隣り合う２つのチャンバ片の一方のチャンバ片の前記第２のフランジ部に第２の溝が形成されると共に、前記第３のフランジ部に前記第１の溝と前記第２の溝とを結ぶ第３の溝が形成され、
   前記第１の溝から前記第３の溝に亘って装着可能な一体的に形成されたシール部材を有することを特徴とする真空チャンバ。
2. 前記各チャンバ片の第２のフランジ部に所定間隔を存してボルト締結用のねじ孔が列設され、前記第３のフランジ部に、第３の溝を挟んでボルト締結用の他のねじ孔が形成されていることを特徴とする請求項１記載の真空チャンバ。
3. 前記チャンバ本体を組付ける際、チャンバ片の数を変えて処理空間の容積の変更を可能としたことを特徴とする請求項１または請求項２記載の真空チャンバ。

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