JPS5881268A - 真空槽 - Google Patents
真空槽Info
- Publication number
- JPS5881268A JPS5881268A JP56177235A JP17723581A JPS5881268A JP S5881268 A JPS5881268 A JP S5881268A JP 56177235 A JP56177235 A JP 56177235A JP 17723581 A JP17723581 A JP 17723581A JP S5881268 A JPS5881268 A JP S5881268A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate
- frame
- recess
- honeycomb structure
- vacuum tank
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
- F16J12/00—Pressure vessels in general
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)
- Pressure Vessels And Lids Thereof (AREA)
- Containers, Films, And Cooling For Superconductive Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
零発割は、真空槽に係り、％に、機械的強度性を十分に
確保した状態で軽量化を飄れ、しかも組立の容易化も図
れるようＫした真空槽に関する。
確保した状態で軽量化を飄れ、しかも組立の容易化も図
れるようＫした真空槽に関する。
大製の超電導機器は、通常、第１１１に示すようＫ、容
器１内に超電導機粉本体２と冷媒１とを収容するととも
に上記容器１を断熱材ｌＩＯ支持部材４等を介して真空
槽５内に収容したものとなっている。
器１内に超電導機粉本体２と冷媒１とを収容するととも
に上記容器１を断熱材ｌＩＯ支持部材４等を介して真空
槽５内に収容したものとなっている。
ところで、このような機器に用いられる真空槽５には、
内外の差圧に十分に耐え得るとと−に内部に収容されて
いるものの重量を十分に支え得る機械的強度を有してい
ること、軽量であること％製作および組立てが容品であ
ることなどの条件を満すことが望まれる。
内外の差圧に十分に耐え得るとと−に内部に収容されて
いるものの重量を十分に支え得る機械的強度を有してい
ること、軽量であること％製作および組立てが容品であ
ることなどの条件を満すことが望まれる。
このよう表ことから、大蓋の真空槽としては従来、ｗＥ
２図に示すように金属製の厚板１１の内面に溝１２を複
数形成し、かつ上記内面に穴１３のあいた板材１４をス
ｌ、ト溶螢倉どによって内張シしてなる板体Ｕを６枚組
合せ、各板体Ｊ６の縁部Ｐ相互を溶１１によって気１１
Ｋｍ！合した軸形構成の４のや、！ｌＥａ図に示すよう
に板材２ノを６枚組合せて箱形の内槽２２を形成すると
と４に各板材２１の外面にハニカム構造体２３を接着し
、さらにハニカム構造体２３の外面に板材２４を轟てが
い、これら板材２４のＩＩｋｉｍ相互を溶接によって気
密に接合して外槽１５を形成１．た、いわゆる三重箱形
構成のものが用いられている。
２図に示すように金属製の厚板１１の内面に溝１２を複
数形成し、かつ上記内面に穴１３のあいた板材１４をス
ｌ、ト溶螢倉どによって内張シしてなる板体Ｕを６枚組
合せ、各板体Ｊ６の縁部Ｐ相互を溶１１によって気１１
Ｋｍ！合した軸形構成の４のや、！ｌＥａ図に示すよう
に板材２ノを６枚組合せて箱形の内槽２２を形成すると
と４に各板材２１の外面にハニカム構造体２３を接着し
、さらにハニカム構造体２３の外面に板材２４を轟てが
い、これら板材２４のＩＩｋｉｍ相互を溶接によって気
密に接合して外槽１５を形成１．た、いわゆる三重箱形
構成のものが用いられている。
しかしながら、上記のように構成された従来の真空槽に
あっては次のような問題があった。
あっては次のような問題があった。
すなわち、１１２図に示す構成のものは、組立作業その
ものは比較的簡単であるが、軽量化を図るために厚板１
１の内面に溝１２を設けたり、また板材１４を内張りす
るようにしているので板体υの製作に長時間を要する欠
点がある。
ものは比較的簡単であるが、軽量化を図るために厚板１
１の内面に溝１２を設けたり、また板材１４を内張りす
るようにしているので板体υの製作に長時間を要する欠
点がある。
また、第３図に示す構成の−のは、ハニカム構造体２３
を用いているの讐板材１１．ｊ１４の肉厚を薄くシた状
態で十分な機械的強度性を確保でき、しかも軽量化を図
れる利点がある反面。
を用いているの讐板材１１．ｊ１４の肉厚を薄くシた状
態で十分な機械的強度性を確保でき、しかも軽量化を図
れる利点がある反面。
内槽２２と外槽２５を形成するに当って、図中り、ｈで
示す部分を溶接する必要があ〕、Ｓ＊個所が多く組立作
業に長時間を要するばかりか。
示す部分を溶接する必要があ〕、Ｓ＊個所が多く組立作
業に長時間を要するばかりか。
組立後に、たとえば内槽２２のｍｍが不完全であること
が発見されたような場合に＃ｉ、 ４体を分解して手直
しする必ｌｉ！があり、保守が面倒化するのを免れ得な
い問題があった。
が発見されたような場合に＃ｉ、 ４体を分解して手直
しする必ｌｉ！があり、保守が面倒化するのを免れ得な
い問題があった。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、そ
の目的とするところは、全体の軽量化は勿論のこと製作
、組立および保守の容易化を図れる真空槽を提供するこ
とにある。
の目的とするところは、全体の軽量化は勿論のこと製作
、組立および保守の容易化を図れる真空槽を提供するこ
とにある。
すなわち１本発明に係る真空槽は、大きく分けて、骨組
体と、この骨組体に蟲てがわれ互いに溶接によって気密
に接合された複数枚の・９ネルとから構成されている。
体と、この骨組体に蟲てがわれ互いに溶接によって気密
に接合された複数枚の・９ネルとから構成されている。
骨組体は、６面体の稜に相当する部分だけに骨材を配置
し、これら骨材を連結したものとなっている。一方、・
譬ネルは、骨組体の各骨材によって形成された６つの四
辺形枠部にそれぞれ外側から嵌合装着されるとともに隣
接する四辺形枠１１に装着されたものの外縁部どうしが
＃豪によって気密ＩＩｃＩＩ合され九６枚からなってい
る。そして、各・母ネルは。
し、これら骨材を連結したものとなっている。一方、・
譬ネルは、骨組体の各骨材によって形成された６つの四
辺形枠部にそれぞれ外側から嵌合装着されるとともに隣
接する四辺形枠１１に装着されたものの外縁部どうしが
＃豪によって気密ＩＩｃＩＩ合され九６枚からなってい
る。そして、各・母ネルは。
周辺部に前記四辺形枠部の外面に係合する鍔部を有し、
この鍔部の内１１１に前記骨組体の中心方向に向けて凹
没させた凹部を有する＠１の板体と、この第１の板体の
凹部内に装着されたハニカム構造体と、上記Ｉｌｌの脚
体の凹部のｇｏを叢する―係に上記第１の板体ｌ−接合
された第２の軟体とで構成されている。
この鍔部の内１１１に前記骨組体の中心方向に向けて凹
没させた凹部を有する＠１の板体と、この第１の板体の
凹部内に装着されたハニカム構造体と、上記Ｉｌｌの脚
体の凹部のｇｏを叢する―係に上記第１の板体ｌ−接合
された第２の軟体とで構成されている。
したがって・本発ＷＡＫ係る真空槽を形成するＫは、骨
組体とパネルとを製作する必要があるが、骨組体の製作
は、たとえばステンレス角管等を骨材として用い、これ
ら骨材を溶１１によって連結すればよく、その作業はい
走って簡単であり、また、・譬ネルの製作は板材ＪｆＣ
ｆレス加工等で凹部を形成して第１の板体を形成し、こ
の＄１４１の板体の凹部内にハニカム構造体を装着した
後、纂２の板体を溶接などによって接合すればよく、そ
の作ｔａ非常に簡単である。さらＫ。
組体とパネルとを製作する必要があるが、骨組体の製作
は、たとえばステンレス角管等を骨材として用い、これ
ら骨材を溶１１によって連結すればよく、その作業はい
走って簡単であり、また、・譬ネルの製作は板材ＪｆＣ
ｆレス加工等で凹部を形成して第１の板体を形成し、こ
の＄１４１の板体の凹部内にハニカム構造体を装着した
後、纂２の板体を溶接などによって接合すればよく、そ
の作ｔａ非常に簡単である。さらＫ。
組立てＫｉｌしては、骨組体の各骨材によって形成され
た６つの四辺形枠部に外側から・譬ネルを嵌合させ、そ
の外縁部どうしを＠＊によって気密接合すればよく、組
立作業も極めて容品なものとなぁ、そして、この場合Ｋ
Ｆｉ、各ノ臂ネル内ＫＩｌ様的強度性ｉ／Ｃ８Ｉれたハ
ニカム構造体を装着しているので、・譬ネルを構成する
第１．第２の板体の肉厚を薄くでき、・譬ネル自身を軽
量化できるので、結局、全体の軽量化を図ることがで會
る・オた、真空槽の気密性を保持する大めの接合部は全
て外面に露出しているので、組立壁に１１合部に気密不
良が生じた場合でも分解することなく手直しを行なうこ
とができ、保守の容１化も図ることができる。
た６つの四辺形枠部に外側から・譬ネルを嵌合させ、そ
の外縁部どうしを＠＊によって気密接合すればよく、組
立作業も極めて容品なものとなぁ、そして、この場合Ｋ
Ｆｉ、各ノ臂ネル内ＫＩｌ様的強度性ｉ／Ｃ８Ｉれたハ
ニカム構造体を装着しているので、・譬ネルを構成する
第１．第２の板体の肉厚を薄くでき、・譬ネル自身を軽
量化できるので、結局、全体の軽量化を図ることがで會
る・オた、真空槽の気密性を保持する大めの接合部は全
て外面に露出しているので、組立壁に１１合部に気密不
良が生じた場合でも分解することなく手直しを行なうこ
とができ、保守の容１化も図ることができる。
以下、本発明の一実施例を図面を参照しながら説明する
。
。
第４図は本発明の一実施例に係る真空槽の外観を示すも
ので、この真空槽は第５ａｌｌＫ示すように大きく分け
て骨組体Ｓ１と、この骨組体３１の外面を蓋するように
装着された６枚の・臂ネルＪ２とで構成されている。
ので、この真空槽は第５ａｌｌＫ示すように大きく分け
て骨組体Ｓ１と、この骨組体３１の外面を蓋するように
装着された６枚の・臂ネルＪ２とで構成されている。
骨組体Ｊ１は、第６図に示すように、６一体Ｏ稜Ｋ１１
Ａ幽する部分に％九とえばステンレス角管尋よりなる骨
材ＪＪを配置し、これら骨材Ｊ３相亙をＳ＊などＫよっ
て連結して構成されている。
Ａ幽する部分に％九とえばステンレス角管尋よりなる骨
材ＪＪを配置し、これら骨材Ｊ３相亙をＳ＊などＫよっ
て連結して構成されている。
一方、各・ｆネルＪ２は、第５図に示すように、中央部
に凹部Ｊ４を有し、周辺部Ｋｊ１部Ｊ５をＶ Ｌ、た縞
１の板体３６と、この板体Ｊ６の凹部ＪＪ内に接着剤勢
で一定された状１１に装着されたハニカム構造体Ｊ１と
、上記凹部Ｊ４を蓋すｂようＫｍｌの板体ｓｇに接着あ
るいは溶接などによって接合されたＩＩ２の板体Ｓ８と
で構成されている。上記第１の板体Ｓσの凹部ｓ４の存
在によって突出した凸部の幅は骨材３１間の輪にほぼ等
しく設定されており、また＃１部３５の外縁部間の幅は
骨材相互の外面間の−にほぼ／ 等しｈものと１両側にそれぞれ１１亀の板体ＪＩＯ肉厚
分だ轄延長させ九幅の１のとの２種類に設定されている
。そして、上記のように構成され九各・譬ネルＳ２は、
１１６−に示すように骨組体ＩＩを構成する骨材ＪＪＫ
よって形成された６つの四辺形枠部ＪｙＫＩＩＳ図に示
すように凹部３４の存在によって形成された凸部が饋合
し、かつ鐸＠ＳＳが骨材Ｊ３の外面に俤合すみ関係に装
着され、この状態で隣接する四辺形枠部１９に装着され
た・量ネル５ｊｏＨ部３５の外縁部相互が図中Ｑで示す
ように溶Ｗｋｋよって気書に接合されてい石。したがっ
て上記６つの・母ネル２２によって閉じられた空間、つ
ｔａ槽が形成されているととＫなる。
に凹部Ｊ４を有し、周辺部Ｋｊ１部Ｊ５をＶ Ｌ、た縞
１の板体３６と、この板体Ｊ６の凹部ＪＪ内に接着剤勢
で一定された状１１に装着されたハニカム構造体Ｊ１と
、上記凹部Ｊ４を蓋すｂようＫｍｌの板体ｓｇに接着あ
るいは溶接などによって接合されたＩＩ２の板体Ｓ８と
で構成されている。上記第１の板体Ｓσの凹部ｓ４の存
在によって突出した凸部の幅は骨材３１間の輪にほぼ等
しく設定されており、また＃１部３５の外縁部間の幅は
骨材相互の外面間の−にほぼ／ 等しｈものと１両側にそれぞれ１１亀の板体ＪＩＯ肉厚
分だ轄延長させ九幅の１のとの２種類に設定されている
。そして、上記のように構成され九各・譬ネルＳ２は、
１１６−に示すように骨組体ＩＩを構成する骨材ＪＪＫ
よって形成された６つの四辺形枠部ＪｙＫＩＩＳ図に示
すように凹部３４の存在によって形成された凸部が饋合
し、かつ鐸＠ＳＳが骨材Ｊ３の外面に俤合すみ関係に装
着され、この状態で隣接する四辺形枠部１９に装着され
た・量ネル５ｊｏＨ部３５の外縁部相互が図中Ｑで示す
ように溶Ｗｋｋよって気書に接合されてい石。したがっ
て上記６つの・母ネル２２によって閉じられた空間、つ
ｔａ槽が形成されているととＫなる。
このように、骨組体Ｓ１は勿論のこと・中ネルＪ２の構
成も薬純であるから製作Ｏ容具化を図れ、しかも・母ネ
ル３２′を骨組体３ｉＫ＊着して溶接接合するだけで組
立てることかでＩｌｌゐので、組立ての容易化も図れる
。ｔた、・母ネル１２には強度性に勝れたハニカム構造
体３１を組込んでいるので、全体の軽量化を図れ、その
うえ気密性を保持するための接合部は全て露出している
ので組立および保守の容易化を図ることきる。さらに１
また＄１１０板体３＃にた鐸ｗｉｓｓｔｉを骨材Ｓ３の
外面に係合させｂようにしているので内外圧力差によっ
てΔネルＪ２に力が加わっても図中Ｑで示す＊＊＊合郁
に直接的に力が加わるのを防止でき、この結果、陶一層
強変性を向上させｂことができる。ｔた、ハニカム構造
体５ｒｖｌ−第１の板体Ｓ６を境Ｋ ｔ−て外１１１位
置させてい石のでハニカム構造体Ｓ１の固定Ｋ１１着剤
を用いても、この接着剤のがスが槽内に侵入する虞れが
ない慶どの利点４ある。
成も薬純であるから製作Ｏ容具化を図れ、しかも・母ネ
ル３２′を骨組体３ｉＫ＊着して溶接接合するだけで組
立てることかでＩｌｌゐので、組立ての容易化も図れる
。ｔた、・母ネル１２には強度性に勝れたハニカム構造
体３１を組込んでいるので、全体の軽量化を図れ、その
うえ気密性を保持するための接合部は全て露出している
ので組立および保守の容易化を図ることきる。さらに１
また＄１１０板体３＃にた鐸ｗｉｓｓｔｉを骨材Ｓ３の
外面に係合させｂようにしているので内外圧力差によっ
てΔネルＪ２に力が加わっても図中Ｑで示す＊＊＊合郁
に直接的に力が加わるのを防止でき、この結果、陶一層
強変性を向上させｂことができる。ｔた、ハニカム構造
体５ｒｖｌ−第１の板体Ｓ６を境Ｋ ｔ−て外１１１位
置させてい石のでハニカム構造体Ｓ１の固定Ｋ１１着剤
を用いても、この接着剤のがスが槽内に侵入する虞れが
ない慶どの利点４ある。
なお、上述した実施例では骨材として角管を用いている
が、これに隈られるものではない。
が、これに隈られるものではない。
また、排気機構については格別説明しなかったが、・豐
ネルを貫通させて排気管を接続してもよいし、あるいは
骨材の中を通して排気するようにＥ２てもよい。
ネルを貫通させて排気管を接続してもよいし、あるいは
骨材の中を通して排気するようにＥ２てもよい。
以上詳述したように、零発ｔ１４によれば、機械的強度
性を損なうことなく、職量で、製作および組立てがＳＪ
＆で、しかも保守の容品な真空槽を提供できる。
性を損なうことなく、職量で、製作および組立てがＳＪ
＆で、しかも保守の容品な真空槽を提供できる。
ｇｔ図は真空槽を備え九機器の一例を示す縦断面図、１
１２図および第３図は従来の真空槽を局部的に示す断面
図、第４図は本発明の一実施例に係る真空槽の外観！Ｅ
１．ＩＩＥＳ図は第４図にかけるＡ−Ａ線切断矢視図、
８１１６１ｇは同真空槽の局部的分解斜視図である・ ３１・・・骨組体、Ｊｊ・・り量ネル、ＪＪ・・・骨材
、Ｊ４・・・凹部、１５・・・鍔部％ｓｇ・・１０の板
体、Ｊｒ・・・ハニカム構造体、ＩＩ・・・雛２０＊体
、ｚ９・・・四辺形枠部。
１２図および第３図は従来の真空槽を局部的に示す断面
図、第４図は本発明の一実施例に係る真空槽の外観！Ｅ
１．ＩＩＥＳ図は第４図にかけるＡ−Ａ線切断矢視図、
８１１６１ｇは同真空槽の局部的分解斜視図である・ ３１・・・骨組体、Ｊｊ・・り量ネル、ＪＪ・・・骨材
、Ｊ４・・・凹部、１５・・・鍔部％ｓｇ・・１０の板
体、Ｊｒ・・・ハニカム構造体、ＩＩ・・・雛２０＊体
、ｚ９・・・四辺形枠部。
Claims (1)
- ６面体の稜に和尚すゐ部分だけに骨材を配置しこれら骨
材を連結してなる骨組体と、この骨組体の各骨材によっ
て形成された６つの四辺形枠部にそれぞれ外匈から駅舎
装着されるとともに隣接する四辺形枠部に装着された゛
ものの外縁部どうしがＩＩＩＩＫよりて気密Ｋ１１合さ
れ大６つの／譬ネルとからなり、上記各／ダネルは１周
辺部に上記四辺形枠部の外面に係合する鍔部を有し、こ
の鍔部の内１１に上記骨組体の中心方向に向けて凹没さ
せた凹部を有するＩＩＥＩの板体と、この第１の板体の
上配凹部内に装着されたハニカム構造体と、上記凹部の
一〇を蓋する関係に上記Ｉｌｌの板体Ｋｉｔ）合された
１１１２の板体とで形成されてなること′に特徴とする
真空槽。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56177235A JPS5881268A (ja) | 1981-11-06 | 1981-11-06 | 真空槽 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56177235A JPS5881268A (ja) | 1981-11-06 | 1981-11-06 | 真空槽 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5881268A true JPS5881268A (ja) | 1983-05-16 |
Family
ID=16027507
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56177235A Pending JPS5881268A (ja) | 1981-11-06 | 1981-11-06 | 真空槽 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5881268A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01304036A (ja) * | 1988-06-01 | 1989-12-07 | Hajime Ishimaru | 真空空間保持用パネル |
| JPH01307440A (ja) * | 1988-06-06 | 1989-12-12 | Hajime Ishimaru | 真空容器 |
| JPH02102973A (ja) * | 1988-10-07 | 1990-04-16 | Sumitomo Light Metal Ind Ltd | 耐圧容器 |
| EP1231426A1 (en) * | 2001-02-09 | 2002-08-14 | Chart, Inc. | Rectangular vacuum insulated container |
| US8763833B2 (en) | 2008-07-14 | 2014-07-01 | Canon Anelva Corporation | Vacuum vessel, vacuum processing apparatus comprising vacuum vessel, and vacuum vessel manufacturing method |
-
1981
- 1981-11-06 JP JP56177235A patent/JPS5881268A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01304036A (ja) * | 1988-06-01 | 1989-12-07 | Hajime Ishimaru | 真空空間保持用パネル |
| JPH01307440A (ja) * | 1988-06-06 | 1989-12-12 | Hajime Ishimaru | 真空容器 |
| JPH02102973A (ja) * | 1988-10-07 | 1990-04-16 | Sumitomo Light Metal Ind Ltd | 耐圧容器 |
| EP1231426A1 (en) * | 2001-02-09 | 2002-08-14 | Chart, Inc. | Rectangular vacuum insulated container |
| US8763833B2 (en) | 2008-07-14 | 2014-07-01 | Canon Anelva Corporation | Vacuum vessel, vacuum processing apparatus comprising vacuum vessel, and vacuum vessel manufacturing method |
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