JPS62221435A - 真空容器の密封構造 - Google Patents
真空容器の密封構造Info
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- JPS62221435A JPS62221435A JP6457386A JP6457386A JPS62221435A JP S62221435 A JPS62221435 A JP S62221435A JP 6457386 A JP6457386 A JP 6457386A JP 6457386 A JP6457386 A JP 6457386A JP S62221435 A JPS62221435 A JP S62221435A
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J3/00—Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
- B01J3/03—Pressure vessels, or vacuum vessels, having closure members or seals specially adapted therefor
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
- F16J15/00—Sealings
- F16J15/02—Sealings between relatively-stationary surfaces
- F16J15/021—Sealings between relatively-stationary surfaces with elastic packing
- F16J15/022—Sealings between relatively-stationary surfaces with elastic packing characterised by structure or material
Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、真空容器の二つの合せ面間をパツキンを用
いて密封（気密）する密封構造に関する。
いて密封（気密）する密封構造に関する。
第６図は従来の密封構造を用いた真空容器の部分断面図
であり、第７図は第６図の線■−■方向に見た一例を示
す平面図であり、第８図は第６図のパツキン部分の拡大
断面図である。この例の真空容器２は、平面形状が矩形
（第７図参照）あるいは円形（図示省略）等をしており
、容器本体４に、その中に被処理物等を出し入れするた
めに例えばヒンジ（図示省略）等で支持された開閉可能
な蓋板６が取り付けられている。真空容器２内は、被処
理物等を内部に入れて蓋をした後、真空ポンプ（図示省
略）で所定の真空に排気され、真空状態下において被処
理物等に対する例えばスパッタリング、薄膜形成等の処
理等が行われる。
であり、第７図は第６図の線■−■方向に見た一例を示
す平面図であり、第８図は第６図のパツキン部分の拡大
断面図である。この例の真空容器２は、平面形状が矩形
（第７図参照）あるいは円形（図示省略）等をしており
、容器本体４に、その中に被処理物等を出し入れするた
めに例えばヒンジ（図示省略）等で支持された開閉可能
な蓋板６が取り付けられている。真空容器２内は、被処
理物等を内部に入れて蓋をした後、真空ポンプ（図示省
略）で所定の真空に排気され、真空状態下において被処
理物等に対する例えばスパッタリング、薄膜形成等の処
理等が行われる。
そのため、容器本体４のフランジ部８と蓋板６のフラン
ジ部１０の間には、図示のような密封構造が採用されて
いる。即ちこの例は、フランジ部８側（フランジ部１０
側の場合もある）にパツキン溝１２を設け、その中にパ
ツキン（例えば０リング）１４を収納畝当該パツキン１
４によって真空容器２内外の気密を保つようにしている
。
ジ部１０の間には、図示のような密封構造が採用されて
いる。即ちこの例は、フランジ部８側（フランジ部１０
側の場合もある）にパツキン溝１２を設け、その中にパ
ツキン（例えば０リング）１４を収納畝当該パツキン１
４によって真空容器２内外の気密を保つようにしている
。
尚、パツキン溝１２の形状は、第９図に示すような矩形
断面の場合もあるけれども、蓋板６の開閉時等に当該パ
ツキン溝１２からパツキン１４が脱落するのを防止する
ために、例えば第８図のような両アリ溝、あるいは例え
ば第１０図のような片アリ溝である場合が多い。
断面の場合もあるけれども、蓋板６の開閉時等に当該パ
ツキン溝１２からパツキン１４が脱落するのを防止する
ために、例えば第８図のような両アリ溝、あるいは例え
ば第１０図のような片アリ溝である場合が多い。
パツキン１４は、その長手方向の仕上り長さのばらつき
、あるいは当該パッキン１４装着時の気温による熱膨張
度合等によって、その長さのばらつきは不可避である。
、あるいは当該パッキン１４装着時の気温による熱膨張
度合等によって、その長さのばらつきは不可避である。
そのため、パツキン溝１２にパツキン１４を装着して蓋
板６を閉じた際に、当該パツキン１４がパッキン溝１２
内で内側あるいは外側に片寄りしたり、あるいは蛇行し
たりして、パツキン溝１２の底部隅に空気を補足したポ
ケット部（小空間）１６ａ、１６ｂを作る。このポケッ
ト部１６ａ、１６ｂは、−Ｃにパツキン１４の長手方向
に沿う細長い空間になるけれども、パツキン１４の蛇行
やパツキン１４に付着していることがあるグリース等に
よって分断されて複数個のポケットとなる場合もある。
板６を閉じた際に、当該パツキン１４がパッキン溝１２
内で内側あるいは外側に片寄りしたり、あるいは蛇行し
たりして、パツキン溝１２の底部隅に空気を補足したポ
ケット部（小空間）１６ａ、１６ｂを作る。このポケッ
ト部１６ａ、１６ｂは、−Ｃにパツキン１４の長手方向
に沿う細長い空間になるけれども、パツキン１４の蛇行
やパツキン１４に付着していることがあるグリース等に
よって分断されて複数個のポケットとなる場合もある。
そして、真空容器２の使用時等の際の加熱や温度上昇あ
るいは冷却に伴って、容器本体４および蓋板６に熱膨張
や熱収縮による微小な寸法変化が生じたり、更には片側
が真空に達することによるパツキン１４自身の内部応力
が変化したりすること等によって、パツキン１４がパッ
キン溝１２内で微小移動を起こし、真空容器内側のポケ
ット部１６ａの空気を真空容器２内に放出することがあ
る。
るいは冷却に伴って、容器本体４および蓋板６に熱膨張
や熱収縮による微小な寸法変化が生じたり、更には片側
が真空に達することによるパツキン１４自身の内部応力
が変化したりすること等によって、パツキン１４がパッ
キン溝１２内で微小移動を起こし、真空容器内側のポケ
ット部１６ａの空気を真空容器２内に放出することがあ
る。
その場合、ポケット部１６ａの容積は真空容器２の容積
に比べて微小ではあるけれども、真空容器２の内部が例
えば１０−’〜１０−？Ｔ ｏ ｒ ｒ程度の高真空に
達していた時点で当該ポケット部１６ａから空気が真空
側に放出された場合には、真空容器２内全体の真空度を
例えば−桁以上低下させるような影響力を有しており、
このような真空度の低下がひいては真空容器２内の被処
理物の処理品質の低下等をもたらすという問題がある。
に比べて微小ではあるけれども、真空容器２の内部が例
えば１０−’〜１０−？Ｔ ｏ ｒ ｒ程度の高真空に
達していた時点で当該ポケット部１６ａから空気が真空
側に放出された場合には、真空容器２内全体の真空度を
例えば−桁以上低下させるような影響力を有しており、
このような真空度の低下がひいては真空容器２内の被処
理物の処理品質の低下等をもたらすという問題がある。
また、上記パツキン溝１２は、その平面形状が第７図の
ような矩形の場合では例えばエンドミル加工により、円
形の場合では例えば旋削加工により形成されるけれども
、気密に特に重要である溝底面１３（第８図参照）の高
精度加工、例えば研磨作業が行いにくいという問題もあ
る。
ような矩形の場合では例えばエンドミル加工により、円
形の場合では例えば旋削加工により形成されるけれども
、気密に特に重要である溝底面１３（第８図参照）の高
精度加工、例えば研磨作業が行いにくいという問題もあ
る。
そこでこの発明は、上記のような問題点を解決すること
ができる真空容器の密封構造を提供することを目的とす
る。
ができる真空容器の密封構造を提供することを目的とす
る。
この発明の密封構造は、真空容器の二つの合せ面間をパ
ツキンを用いて密封する構造において、一方の合せ面側
に内側部材と外側部材とを互いに所定間隔を開けて沿わ
せて取付け、それによって両部材間に前記パツキンを収
納するパツキン溝を形成しており、かつ当該パツキン溝
を少なくとも真空容器内側へ通じさせる複数の通気部を
有していることを特徴とする。
ツキンを用いて密封する構造において、一方の合せ面側
に内側部材と外側部材とを互いに所定間隔を開けて沿わ
せて取付け、それによって両部材間に前記パツキンを収
納するパツキン溝を形成しており、かつ当該パツキン溝
を少なくとも真空容器内側へ通じさせる複数の通気部を
有していることを特徴とする。
複数の通気部によってパツキン溝が真空容器内側に通じ
ているため、パツキン溝内に形成される真空容器内側の
ポケット部は、真空容器内と同程度の真空に排気される
。従って、当該ポケット部からの気体放出による真空容
器内の真空度低下というような問題は起こらない。
ているため、パツキン溝内に形成される真空容器内側の
ポケット部は、真空容器内と同程度の真空に排気される
。従って、当該ポケット部からの気体放出による真空容
器内の真空度低下というような問題は起こらない。
また、合せ面におけるパツキン溝の底面になる部分は、
内側部材および外側部材を取り付ける前工程で加工する
ことができるため、容易に高精度仕上加工等を行うこと
ができる。
内側部材および外側部材を取り付ける前工程で加工する
ことができるため、容易に高精度仕上加工等を行うこと
ができる。
第１図はこの発明の一実施例に係る密封構造を用いた真
空容器の部分断面図であり、第２図は第１図の線ｎ−ｎ
方向に見た一例を示す部分平面図であり、第３図は第１
図の内側部材をＰ方向に見た一例を示す部分正面図であ
る。なお第６図ないし第１Ｏ図と同一または同等部分に
は同一符号を付してその説明を省略する。
空容器の部分断面図であり、第２図は第１図の線ｎ−ｎ
方向に見た一例を示す部分平面図であり、第３図は第１
図の内側部材をＰ方向に見た一例を示す部分正面図であ
る。なお第６図ないし第１Ｏ図と同一または同等部分に
は同一符号を付してその説明を省略する。
この実施例は、従来例と同様に容器本体４のフランジ部
８の合せ面と蓋板６のフランジ部１ｏの合せ面との間を
パツキン１４を用いて密封するものであり、一方の合せ
面、この例ではフランジ部８の合せ面側に、真空容器内
側に位置する内側部材１８と真空容器外側に位置する外
側部材２０とを互いに所定間隔を開けて沿わせて取り付
けておリ、それによって両部材１８．２０間にパツキン
１４を収納する前述したようなパツキン溝１２を形成し
ている。
８の合せ面と蓋板６のフランジ部１ｏの合せ面との間を
パツキン１４を用いて密封するものであり、一方の合せ
面、この例ではフランジ部８の合せ面側に、真空容器内
側に位置する内側部材１８と真空容器外側に位置する外
側部材２０とを互いに所定間隔を開けて沿わせて取り付
けておリ、それによって両部材１８．２０間にパツキン
１４を収納する前述したようなパツキン溝１２を形成し
ている。
内側部材１８および外側部材２０をフランジ８に取り付
ける手段としては種々のものが採り得るけれども、この
例では所々で点溶接（図中の点溶接部２６参照）する手
段を採用している。点溶接によっても、パツキン１４を
介して内側部材１８に加わる外部圧力（例えば大気圧）
に十分耐えることができる。しかも点溶接であれば、溶
接熱によってフランジ部８を歪ませたりその気密面９を
劣化させたりする恐れを無くすることができる。
ける手段としては種々のものが採り得るけれども、この
例では所々で点溶接（図中の点溶接部２６参照）する手
段を採用している。点溶接によっても、パツキン１４を
介して内側部材１８に加わる外部圧力（例えば大気圧）
に十分耐えることができる。しかも点溶接であれば、溶
接熱によってフランジ部８を歪ませたりその気密面９を
劣化させたりする恐れを無くすることができる。
もちろん点溶接以外に、例えば皿小ねじ等によって内側
部材１日および外側部材２０をフランジ部８にねし止め
する等の手段を採用しても良い。
部材１日および外側部材２０をフランジ部８にねし止め
する等の手段を採用しても良い。
また内側部材１８および外側部材２０は、必ずしも一体
の枠構造でなくても良く、それぞれ何個かに分割された
部材から構成されていても良い。
の枠構造でなくても良く、それぞれ何個かに分割された
部材から構成されていても良い。
第２図は、内側部材１８および外側部材２０をそれぞれ
４個の部材から構成した例を示すものであり、同図中２
８は部材間の突合せ部である。この場合、突合せ部２８
の隙間は敢えて溶接等の手段でつなぎ合わせる必要はな
い。
４個の部材から構成した例を示すものであり、同図中２
８は部材間の突合せ部である。この場合、突合せ部２８
の隙間は敢えて溶接等の手段でつなぎ合わせる必要はな
い。
更に、この例では内側部材１８および外側部材２０の上
下（即ちフランジ部１０側およびフランジ部８側）に、
パツキン溝１２を真空容器内側へ通じさせる複数の通気
部２２ａ、２２ｂと、パツキン溝１２を真空容器外側（
大気側）へ通じさせる複数の通気部２４ａ、２４ｂとを
それぞれ設けている。
下（即ちフランジ部１０側およびフランジ部８側）に、
パツキン溝１２を真空容器内側へ通じさせる複数の通気
部２２ａ、２２ｂと、パツキン溝１２を真空容器外側（
大気側）へ通じさせる複数の通気部２４ａ、２４ｂとを
それぞれ設けている。
各通気部２２ａ、２２ｂ、２４ａ、２４ｂは、この例で
は、内側部材１８および外側部材２０の上下側に当該部
材を横切る小溝を設けることによって形成している。但
しそれ以外の手段、例えば内側部材１８および外側部材
２０に貫通孔を設けたり、フランジ部８．１０側に小溝
を設けたりして形成しても良い。
は、内側部材１８および外側部材２０の上下側に当該部
材を横切る小溝を設けることによって形成している。但
しそれ以外の手段、例えば内側部材１８および外側部材
２０に貫通孔を設けたり、フランジ部８．１０側に小溝
を設けたりして形成しても良い。
上記のような密封構造においても、従来と同様に、真空
容器２内を真空状態にするべ（蓋板６が閉じられパツキ
ン１４がフランジ部８および１０に接した際、パツキン
溝１２の底部隅に前述したようなポケット部１６ａ、１
６ｂが形成される場合がある。所が、パッキン溝１２内
の真空容器内側の底部は通気部２２ｂによって真空容器
２内に通じているため、真空容器２内を排気すればポケ
ット部１６ａも真空容器２内と同じかほぼ同じ程度の真
空度に排気される。従って当該ポケット部１６ａからの
気体（空気）放出による真空容器２内の真空度低下とい
うような問題は起こらない。
容器２内を真空状態にするべ（蓋板６が閉じられパツキ
ン１４がフランジ部８および１０に接した際、パツキン
溝１２の底部隅に前述したようなポケット部１６ａ、１
６ｂが形成される場合がある。所が、パッキン溝１２内
の真空容器内側の底部は通気部２２ｂによって真空容器
２内に通じているため、真空容器２内を排気すればポケ
ット部１６ａも真空容器２内と同じかほぼ同じ程度の真
空度に排気される。従って当該ポケット部１６ａからの
気体（空気）放出による真空容器２内の真空度低下とい
うような問題は起こらない。
つまり、たとえパツキン１４がパッキン溝１２内で微小
移動するようなことが起こっても、当該ポケット部１６
ａから真空容器２内に放出される気体は真空容器２内と
同程度の真空度のものであり、従って真空容器２内の真
空度を低下させることはない。
移動するようなことが起こっても、当該ポケット部１６
ａから真空容器２内に放出される気体は真空容器２内と
同程度の真空度のものであり、従って真空容器２内の真
空度を低下させることはない。
尚、従来の場合もそうであるけれども、フランジ部１０
のフランジ面と内側部材１８の上面（従来の場合はフラ
ンジ部８のフランジ面）との金属接触によりシール効果
が出て、パツキン溝１２の上部側にもポケット部１６ｃ
が形成される場合が稀にではあるけれどもある。従って
そのようなことが懸念される場合は、この例のように内
側部材１８の上部側にも通気部２２ａを設けておいても
良く、そのようにすれば通気部２２ｂの場合と同様の作
用によって、ポケット部１６ｃからの気体放出による真
空容器２内の真空度低下をより完全に防止することがで
きる。もっとも、上記のようなことを考慮する必要がな
ければ、通気部２２ａを設けなくても良い。
のフランジ面と内側部材１８の上面（従来の場合はフラ
ンジ部８のフランジ面）との金属接触によりシール効果
が出て、パツキン溝１２の上部側にもポケット部１６ｃ
が形成される場合が稀にではあるけれどもある。従って
そのようなことが懸念される場合は、この例のように内
側部材１８の上部側にも通気部２２ａを設けておいても
良く、そのようにすれば通気部２２ｂの場合と同様の作
用によって、ポケット部１６ｃからの気体放出による真
空容器２内の真空度低下をより完全に防止することがで
きる。もっとも、上記のようなことを考慮する必要がな
ければ、通気部２２ａを設けなくても良い。
更に、従来の場合もそうであるけれども、パッキン溝１
２内の真空容器外側のポケット部１６ｂ（および場合に
よってはポケット部１６ｄ）に閉じ込められた空気が温
度変化等によって膨張あるいは収縮することによってパ
ツキン１４に加わる力が変化する可能性があるため、こ
の例のように外側部材２０側にも通気部２４ｂ（および
場合によっては通気部２４ａ）を設けておいても良く、
そのようにすればポケット部１６ｂ、１６ｄが常に大気
圧になってパツキン１４に加わる力が安定化し、それに
よって密封機能をより安定化することができる。もっと
も、上記のようなことを考慮する必要がなければ、通気
部２４ａ、２４ｂを設けなくても良い。
２内の真空容器外側のポケット部１６ｂ（および場合に
よってはポケット部１６ｄ）に閉じ込められた空気が温
度変化等によって膨張あるいは収縮することによってパ
ツキン１４に加わる力が変化する可能性があるため、こ
の例のように外側部材２０側にも通気部２４ｂ（および
場合によっては通気部２４ａ）を設けておいても良く、
そのようにすればポケット部１６ｂ、１６ｄが常に大気
圧になってパツキン１４に加わる力が安定化し、それに
よって密封機能をより安定化することができる。もっと
も、上記のようなことを考慮する必要がなければ、通気
部２４ａ、２４ｂを設けなくても良い。
尚、上記通気部２２ａ、２２ｂ、２４ａ、２４ｂの互い
の位置関係は、必ずしも第１図ないし第３図に示すよう
に上下左右等に揃える必要はない。
の位置関係は、必ずしも第１図ないし第３図に示すよう
に上下左右等に揃える必要はない。
一方、機械加工の点から見ると、フランジ部８．１０の
パツキン１４が接し気密に係わる面９．１１は、一般に
高精度の気密面に加工する必要があり、その場合、気密
面１１側は従来と同様であるけれども、この実施例にお
いては気密面９側も、内側部材１８および外側部材２ｏ
をフランジ部８に取り付ける前の工程で加工することが
できるため、容易に研磨等の高精度仕上加工を行うこと
ができる。
パツキン１４が接し気密に係わる面９．１１は、一般に
高精度の気密面に加工する必要があり、その場合、気密
面１１側は従来と同様であるけれども、この実施例にお
いては気密面９側も、内側部材１８および外側部材２ｏ
をフランジ部８に取り付ける前の工程で加工することが
できるため、容易に研磨等の高精度仕上加工を行うこと
ができる。
また、フランジ部８．１０．パッキン溝１２等の形状は
、第２図に示すような矩形以外のもの、例えば第４図に
示すような円形等であっても良い。
、第２図に示すような矩形以外のもの、例えば第４図に
示すような円形等であっても良い。
パツキン溝１２の断面形状も、第１図に示すような梯形
以外のもの、例えば第９図に示したような矩形、あるい
は第１０図に示したような梯形等であっても良い。用い
るパツキン１４も、必ずしも上記のような０リングに限
らず、他の断面形状をしたものでも良い。また上記のよ
うな内側部材１８、外側部材２０等は、蓋板６のフラン
ジ部１０側に取り付けても良い。
以外のもの、例えば第９図に示したような矩形、あるい
は第１０図に示したような梯形等であっても良い。用い
るパツキン１４も、必ずしも上記のような０リングに限
らず、他の断面形状をしたものでも良い。また上記のよ
うな内側部材１８、外側部材２０等は、蓋板６のフラン
ジ部１０側に取り付けても良い。
更に、上記のような密封構造は、上述したようなフラン
ジ部以外の箇所、例えば第５図に示すように真空容器を
構成する二つの部材３０ａ、３０ｂの合せ面間の密封等
にも広く適用することができる。
ジ部以外の箇所、例えば第５図に示すように真空容器を
構成する二つの部材３０ａ、３０ｂの合せ面間の密封等
にも広く適用することができる。
以上のようにこの発明によれば、パツキン溝部からの真
空容器内への気体放出が防止されるため、高性能で安定
した密封機能が得られる。またパツキン溝の底面になる
気密面の加工が容易に行えるため、当該密封構造の製作
費用も安くなる。
空容器内への気体放出が防止されるため、高性能で安定
した密封機能が得られる。またパツキン溝の底面になる
気密面の加工が容易に行えるため、当該密封構造の製作
費用も安くなる。
第１図は、この発明の一実施例に係る密封構造を用いた
真空容器の部分断面図である。第２図は、第１図の線Ｕ
−１１方向に見た一例を示す部分平面図である。第３図
は、第１図の内側部材をＰ方向に見た一例を示す部分正
面図である。第４図は、第１図のｎ−ｎ方向に見た他の
例を示す部分平面図である。第５図は、この発明の他の
実施例に係る密封構造を示す部分断面図である。第６図
は、従来の密封構造を用いた真空容器の部分断面図であ
る。第７図は、第６図の線■−■方向に見た一例を示す
平面図である。第８図は、第６図のパツキン部分の拡大
断面図である。第９図および第１０図は、それぞれ、パ
ツキン溝の断面形状の他の例を示す断面図である。
真空容器の部分断面図である。第２図は、第１図の線Ｕ
−１１方向に見た一例を示す部分平面図である。第３図
は、第１図の内側部材をＰ方向に見た一例を示す部分正
面図である。第４図は、第１図のｎ−ｎ方向に見た他の
例を示す部分平面図である。第５図は、この発明の他の
実施例に係る密封構造を示す部分断面図である。第６図
は、従来の密封構造を用いた真空容器の部分断面図であ
る。第７図は、第６図の線■−■方向に見た一例を示す
平面図である。第８図は、第６図のパツキン部分の拡大
断面図である。第９図および第１０図は、それぞれ、パ
ツキン溝の断面形状の他の例を示す断面図である。
Claims (1)
- （１）真空容器の二つの合せ面間をパッキンを用いて密
封する構造において、一方の合せ面側に内側部材と外側
部材とを互いに所定間隔を開けて沿わせて取付け、それ
によって両部材間に前記パッキンを収納するパッキン溝
を形成しており、かつ当該パッキン溝を少なくとも真空
容器内側へ通じさせる複数の通気部を有していることを
特徴とする真空容器の密封構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6457386A JPH0741158B2 (ja) | 1986-03-22 | 1986-03-22 | 真空容器の密封構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6457386A JPH0741158B2 (ja) | 1986-03-22 | 1986-03-22 | 真空容器の密封構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62221435A true JPS62221435A (ja) | 1987-09-29 |
| JPH0741158B2 JPH0741158B2 (ja) | 1995-05-10 |
Family
ID=13262103
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6457386A Expired - Lifetime JPH0741158B2 (ja) | 1986-03-22 | 1986-03-22 | 真空容器の密封構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0741158B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH058130U (ja) * | 1991-07-18 | 1993-02-05 | 株式会社トヤマ | 超高真空容器 |
| WO2005104287A1 (ja) * | 2004-04-26 | 2005-11-03 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | 燃料電池モジュール |
| US7569298B2 (en) | 2001-06-08 | 2009-08-04 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Separator seal structure for a fuel cell |
| CN109826953A (zh) * | 2019-03-08 | 2019-05-31 | 北京瑞莱博石油技术有限公司 | 一种高温高压密封装置 |
| US20190353248A1 (en) * | 2018-05-18 | 2019-11-21 | General Electric Company | Protection system with gasket for ceramic core processing operation and related method |
| EP3649384A4 (en) * | 2017-07-06 | 2021-03-24 | Amber Kinetics, Inc. | GREASE CHANNEL FOR REDUCING GAS PERMEABILITY IN VACUUM CHAMBERS |
-
1986
- 1986-03-22 JP JP6457386A patent/JPH0741158B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH058130U (ja) * | 1991-07-18 | 1993-02-05 | 株式会社トヤマ | 超高真空容器 |
| US7569298B2 (en) | 2001-06-08 | 2009-08-04 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Separator seal structure for a fuel cell |
| WO2005104287A1 (ja) * | 2004-04-26 | 2005-11-03 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | 燃料電池モジュール |
| US7732082B2 (en) | 2004-04-26 | 2010-06-08 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Fuel cell module |
| EP3649384A4 (en) * | 2017-07-06 | 2021-03-24 | Amber Kinetics, Inc. | GREASE CHANNEL FOR REDUCING GAS PERMEABILITY IN VACUUM CHAMBERS |
| AU2018297279B2 (en) * | 2017-07-06 | 2022-05-12 | Amber Kinetics, Inc. | Grease channel for reducing gas permeation into vacuum chambers |
| US20190353248A1 (en) * | 2018-05-18 | 2019-11-21 | General Electric Company | Protection system with gasket for ceramic core processing operation and related method |
| US10830354B2 (en) * | 2018-05-18 | 2020-11-10 | General Electric Company | Protection system with gasket for ceramic core processing operation and related method |
| CN109826953A (zh) * | 2019-03-08 | 2019-05-31 | 北京瑞莱博石油技术有限公司 | 一种高温高压密封装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0741158B2 (ja) | 1995-05-10 |
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