JPH0310684Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔考案の目的〕 （産業上の利用分野） 本考案は、気体をレーザ媒体として用いる気体
レーザの発振器に係り、特に放電部・送風機部等
の構造体の取付構造に関する。

（従来の技術） レーザ光は高エネルギー密度であることを始め
とし、多くの優れた特徴を有しており、これらを
生かして広範囲の産業分野で実用化が進められて
いる。

第４図は、従来の気体レーザの発振器を示した
斜視図である。

１は発振器で、放電部２、風胴部３、送風機部
４から成る。

この発振器１の中にはレーザ媒体として、炭酸
ガス、ヘリウム、窒素等の気体が大気圧以下の圧
力で封入されている。レーザ光Ｌは放電部２で生
成されるが、このとき気体は送風機部４内の送風
機５により二点鎖線の矢印に示す方向に強制的に
循環されており、また、風胴部３の中に設けられ
た図示しない熱交換器により強制的に冷却され
る。この発振器１は、通常大気圧以下の圧力で使
用される気密容器であり、各々の構成部材間の接
合面にはゴムパツキンが挿入されてボルト等の緊
締手段により気密に接合されている。すなわち、
第５図は発振器１の中央部を断面した図で、上下
に配置した放電部２および送風機部４の両側には
それぞれ側板６が設けられ、この側板６に、放電
部２および送風機部４の両端部周囲に形成したフ
ランジ２ａ，４ａを図示しないゴムパツキンを介
してボルトで締付けることにより気密を保持して
いる。また、風胴部３についても、周囲に形成し
たフランジ３ａを側板６の外側面にパツキンを介
してボルトで締付けることにより気密を保持して
いる。

（考案が解決しようとする課題） しかしながら、上述した発振器１においては、
フランジ２ａと側板６、フランジ４ａと側板６、
フランジ３ａと側板６というように多数のま接合
面を有しているため、以下に述べるような不具合
が生じていた。

先ず、接合面の気密に対する信頼性に関して
は、一般的に接合面の占める比率が多くなるほど
漏洩の機会が増え、特に容器内部が大気圧以下の
圧力にある場合のパツキン構造については漏洩部
の検出が難しいこともあつて製造に際して十分な
配慮が必要となる。即ち、接合面には精密な機械
加工を施す必要があり、取扱い時にも加工面に損
傷を与えないように注意が必要である。また、パ
ツキンの取付けに際しても、パツキンやパツキン
取付面に微少な塵埃が付着しないようにしなけれ
ばならない等の製造上の煩しさが生じてくる。さ
らに、一般に気体レーザは大出力のものが多いこ
とから発振器１の構造も大型であり、この為、上
述の精密な機械加工を施す部分が多くなつて発振
器１が高価なものとなる。

また、放電部２及び送風機部４が外気に接触す
るように設けられているので、外気の温度変化の
影響をうけやすく、温度変化により放電部２及び
送風機部４が変形する。これにより、レーザ光の
ずれが生じ、精密な加工に適用される場合、その
精度を満足しない状態にもなりうる。

従つて、本考案は上記問題点を鑑み、パツキン
を介した接合面を少なくすることにより、気密の
信頼性に優れ、さらに構造体（放電部・送風機
部）を真空状態を保持する密閉容器内に設けるこ
とにより、外気の温度変化の影響による構造体の
変形を防止し、安定したレーザ光を供給できる安
価な気体レーザの発振器を提供することを目的と
する。

〔考案の構成〕

（課題を解決するための手段） 上記目的を達成するために、本考案は、一部に
開口部を有する箱体と、レーザを発振させる放電
部とレーザ媒体としての気体を循環させる送風機
部とを一体に取付け、上記箱体の開口部を気密に
覆う蓋とを有し、真空状態を保持する密閉容器を
具備し、少なくとも上記放電部及び上記送風機部
が上記密閉容器内にある気体レーザの発振器を提
供する。

（作用） このように構成されたものにおいては、発振器
の内部と外部を気密に接合する必要がある場所
が、箱体の開口部と、これを覆う蓋との間の１ケ
所だけとなり、発振器の組立て、分解が容易にな
り、気密保持能力が向上する。

また、放電部及び送風機部が真空状態を保持す
る密閉容器内にあるので、外気と接触せず、外気
の温度変化による影響をうけにくくなる。

（実施例） 以下本考案を第１図乃至第３図に示す一実施例
を参照して説明する。第１図は本考案による発振
器の中央断面図、第２図は本考案の発振容器にお
ける放電部と送風機部を示す斜視図、第３図は密
閉容器を構成する箱体を示す斜視図である。図
中、第４図及び第５図と同一符号のものは同一、
又は相当の部分を示す。７は密閉容器を構成する
太鼓状の箱体であり、上面の一部が開放されて開
口部８が形成されている。この開口部８周辺には
フランジ７ａが設けられている。この箱体７の内
面には、後述する側板６のブレを防ぐためのスト
ツパー７ｂが設けてある。９は箱体７の蓋であ
り、この蓋９には一対の側板６が間隔をおいて垂
直に取り付けられている。一対の側板６の間に
は、レーザを発生させる放電部２が上部に、送風
機５を収納した送風機部４がその下方に一体に取
付けられており、側板６がそれぞれに当該する部
分には通気口６ａ，６ｂが設けられている。

この蓋９は、側板６がストツパー７ｂにて支え
られる様にして箱体７の開口部から放電部２とを
送風機部４を取付けた側板６を箱体７内に挿入し
た後、箱体７のフランジ７ａにパツキン１０を介
してボルト等により緊締される。これにより、箱
体７と蓋９により密閉容器が構成され、その内部
にレーザ媒体としての気体が封入される。密閉容
器の内側は側板６により、放電部２と送風機部４
を設けた中央部と、その両側の風胴部７ｃに分け
られる。放電部２と送風機部４は上、下に独立し
て設けられ、それぞれ通気口６ａ，６ｂを介して
両側の風胴部７ｃと連通するので、放電部２、一
方の風胴部７ｃ、送風機部４、他方の風胴部７ｃ
とにより循環路を構成し、送風機５により、気体
を強制的に循環させることができる。なお、風胴
部７ｃには図示しない熱交換器が設けられてお
り、放電部２で発熱した気体を冷却するようにな
つている。また、放電部２はレーザ発振方向に設
けた図示しない穴及び箱体７に設けた図示しない
ミラーを通してレーザを発する。側板６と箱体７
の内面との間には隙間ができるが、大部分の気体
は送風機５により循環されるので、問題はない。

上述の様に構成した気体レーザの発振器によれ
ば、パツキンを介して接合部を設けるところは１
ケ所のみにして、他を溶接等により形成している
ので、気体の漏洩が起こりにくくなる。この為、
漏洩箇所から侵入する空気によつて生じる放電特
性の低下を防止でき、また、仮に漏洩があつたと
しても位置の確認を容易に行うことができる。ま
た、パツキン接合構造の減少により、パツキン面
の精密加工が不要となり、このための費用が節減
される。

また、放電部２及び送風機部４とを密閉容器内
に設けたので、外気と接触しておらず、外気の温
度変化により放電部２や送風機部４が変形せず、
レーザ光のずれも発生しない。よつて、安定した
レーザ光の供給が可能である。

更に、従来の様に多数本のボルト締めでは、ボ
ルト径よりも大きい穴を放電部、送風機部、側板
に設けて、それぞれの相対位置を合わせながら締
付けを行なう必要があつたが、本実施例では箱体
７と上蓋８のみを締め付けるだけでよいので、組
立工数を大幅に削減できるばかりか、故障や保守
点検の際の分解・再組立の際にも作業が容易にな
る。

また、外観形状が従来のように複雑ではないた
め、据付や他の機器との接続が容易になり、更に
騒音の発生源となる送風機部を密閉容器内に収納
したことによつて防音効果も得られる。

〔考案の効果〕

以上説明したように、本考案によれば、パツキ
ン接合面を少なくすることにより気密性に優れ、
外気の温度変化による悪影響をうけず、安価な気
体レーザの発振容器を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案の一実施例を示す気体レーザ
の発振器の断面図、第２図は第１図に示す発振器
における放電部と送風機部の取付状態を示す斜視
図、第３図は第１図に示す発振器の箱体を示す斜
視図、第４図は従来の気体レーザの発振器を示す
斜視図、第５図は第４図の−線断面図であ
る。 １……発振器、２……放電部、３，７ｃ……風
胴部、４……送風機部、５……送風機、６……側
板、７……箱体、７ａ……フランジ、７ｂ……ス
トツパー、８……開口部、９……蓋。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 一部に開口部を有する箱体と、レーザを発生さ
   せる放電部とレーザ媒体としての気体を循環させ
   る送風機部とを一体に取付け、前記箱体の開口部
   を気密に覆う蓋とを有し、真空状態を保持する密
   閉容器を具備し、前記放電部及び前記送風機部が
   前記密閉容器内にあることを特徴とする気体レー
   ザの発振器。